JPH066950B2 - 多段式ルーツ型真空ポンプ - Google Patents
多段式ルーツ型真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH066950B2 JPH066950B2 JP1289836A JP28983689A JPH066950B2 JP H066950 B2 JPH066950 B2 JP H066950B2 JP 1289836 A JP1289836 A JP 1289836A JP 28983689 A JP28983689 A JP 28983689A JP H066950 B2 JPH066950 B2 JP H066950B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- housing
- compression
- chamber
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は以下を含む多段式ルーツ型真空ポンプに係る。
即ち、中間プレートによって互いに軸方向に分離されて
いる複数の連続する圧縮室を規定する回転子と、固定子
のエンドプレート内に軸受によって支持され、且つ固定
子の内側に配置された２つの平行軸から構成され、各軸
には各室内で圧縮ローブが、各室が２つの接合した圧縮
ローブを含むようにして備えられている回転子ユニット
と、２本の軸の一方を回転するためのものであって、他
方の軸は固定子の対応するエンドプレートに取付けられ
たハウジング内に位置づけられた歯車によって反対方に
駆動され、各々の軸は対応するリップ形シールを介して
前記エンドプレートを貫通するモータとを該真空ポンプ
が含む。
即ち、中間プレートによって互いに軸方向に分離されて
いる複数の連続する圧縮室を規定する回転子と、固定子
のエンドプレート内に軸受によって支持され、且つ固定
子の内側に配置された２つの平行軸から構成され、各軸
には各室内で圧縮ローブが、各室が２つの接合した圧縮
ローブを含むようにして備えられている回転子ユニット
と、２本の軸の一方を回転するためのものであって、他
方の軸は固定子の対応するエンドプレートに取付けられ
たハウジング内に位置づけられた歯車によって反対方に
駆動され、各々の軸は対応するリップ形シールを介して
前記エンドプレートを貫通するモータとを該真空ポンプ
が含む。
発明の背景 この種のポンプでは、圧縮ローブと圧縮室との間にオイ
ルシールが存在しており、ポンプは「乾式」であると云
われる。しかし歯車が位置づけられたハウジング内には
歯車を潤滑するための油が入っており、さらにハウジン
グは最も近い圧縮室から各軸の周囲のリップ形シールに
よって分離されてはいるが、得られる密封性はこの種の
ポンプが、圧縮室が油から完全に解放されなければなら
ない一次ポンプとして用いられる場合には不充分であ
る。
ルシールが存在しており、ポンプは「乾式」であると云
われる。しかし歯車が位置づけられたハウジング内には
歯車を潤滑するための油が入っており、さらにハウジン
グは最も近い圧縮室から各軸の周囲のリップ形シールに
よって分離されてはいるが、得られる密封性はこの種の
ポンプが、圧縮室が油から完全に解放されなければなら
ない一次ポンプとして用いられる場合には不充分であ
る。
ポンプの吸上げ圧力に依存して、ハウジングに最も近い
圧縮室内の圧力、即ち高圧力段を構成する室の圧力はハ
ウジング内の圧力より高くなり得、リップ形シールのリ
ップ部が持上げられる危険を生じる。
圧縮室内の圧力、即ち高圧力段を構成する室の圧力はハ
ウジング内の圧力より高くなり得、リップ形シールのリ
ップ部が持上げられる危険を生じる。
この問題を解決するため、ハウジングと圧縮室との間に
連通管路を備付けることによってシールの両側の圧力を
平衡化することができるであろう。但しハウジングから
圧縮室への前記連通管路を経由してオイル蒸気流が流れ
やすくなり、従って圧縮室内での油の凝縮を生じる危険
がある。
連通管路を備付けることによってシールの両側の圧力を
平衡化することができるであろう。但しハウジングから
圧縮室への前記連通管路を経由してオイル蒸気流が流れ
やすくなり、従って圧縮室内での油の凝縮を生じる危険
がある。
反対方向に取付けた２枚のリップを持つシールの使用も
避けられるべきである。何故なら圧縮室に隣接したリッ
プは潤滑されることができず、摩耗が生じて寿命が非常
に短縮してしまうからである。
避けられるべきである。何故なら圧縮室に隣接したリッ
プは潤滑されることができず、摩耗が生じて寿命が非常
に短縮してしまうからである。
加えてハウジングに隣接する圧縮室はガス圧縮のため非
常に熱くなり、この高温度は油に伝導し、先ずその粘性
を減じて洩れを増やし、次にオイルの蒸発を増し、蒸気
のトラップをさらに困難にする。最後に、吸上げたガス
が腐食性であれば、シールを急速に害し洩れを生じさせ
る。
常に熱くなり、この高温度は油に伝導し、先ずその粘性
を減じて洩れを増やし、次にオイルの蒸発を増し、蒸気
のトラップをさらに困難にする。最後に、吸上げたガス
が腐食性であれば、シールを急速に害し洩れを生じさせ
る。
本発明の目的はこれらの欠点を是正することである。
発明の要約 本発明は上に定義した形式の多段式ルーツ型真空ポンプ
を提供する。前記ポンプにおいては、密封モジュールが
前記ハウジングに隣接して位置する前記エンドプレート
と前記ハウジングに隣接する圧縮室との間に挿入されて
おり、前記密封モジュールは各軸の周囲に、対応するラ
ビリンスシールの固定部分を取付けた隔壁を含んでお
り、各軸はラビリンスシールの運動補助部分を備えてお
り、ラビリンスシールの前記運動補助部分は前記密封モ
ジュールの共通のキャビティ内に位置づけられており、
キャビティは前記ハウジングに隣接する前記圧縮室から
送出し通路に逆止め弁を介して結合されており、前記逆
止め弁は流体が前記キャビティから前記送出し通路へ流
れることを可能にしている。
を提供する。前記ポンプにおいては、密封モジュールが
前記ハウジングに隣接して位置する前記エンドプレート
と前記ハウジングに隣接する圧縮室との間に挿入されて
おり、前記密封モジュールは各軸の周囲に、対応するラ
ビリンスシールの固定部分を取付けた隔壁を含んでお
り、各軸はラビリンスシールの運動補助部分を備えてお
り、ラビリンスシールの前記運動補助部分は前記密封モ
ジュールの共通のキャビティ内に位置づけられており、
キャビティは前記ハウジングに隣接する前記圧縮室から
送出し通路に逆止め弁を介して結合されており、前記逆
止め弁は流体が前記キャビティから前記送出し通路へ流
れることを可能にしている。
前記密封モジュールは冷却水循環室を含んでいてもよ
い。
い。
少量の不活性ガスが前記キャビティに注入されてもよ
い。
い。
次に添付図面を参照して本発明の１実施例につき例とし
て説明する。
て説明する。
実施例 多段式ルーツ型真空ポンプを図に表す。
このポンプ40は固定子と回転子ユニットを含む。固定子
はエンドプレート２及び３、中間プレート１及び固定子
リング４から成るスライスの積重ねを組合わせることに
よって作られる。こうして固定子は固定子リングによっ
て径方向を限定され、プレトによって軸方向を限定され
た連続する複数個の圧縮室５を限定する。固定子の両端
は２枚のカバー６及び７で閉じられている。
はエンドプレート２及び３、中間プレート１及び固定子
リング４から成るスライスの積重ねを組合わせることに
よって作られる。こうして固定子は固定子リングによっ
て径方向を限定され、プレトによって軸方向を限定され
た連続する複数個の圧縮室５を限定する。固定子の両端
は２枚のカバー６及び７で閉じられている。
固定子内部に配置された回転子ユニットはエンドプレー
ト２内に、さらにまたエンドプレート３内にボール軸受
11及び12によって担持された２つの平行軸８及び９を含
む。
ト２内に、さらにまたエンドプレート３内にボール軸受
11及び12によって担持された２つの平行軸８及び９を含
む。
各圧縮室内では、軸８には圧縮ローブ13が取付けられ、
軸９には圧縮ローブ14が取付けられている。こうして各
圧縮室５は２つの圧縮ローブ13及び14を受取る。これら
のローブは対の形状をもち、それ自体で公知である。
軸９には圧縮ローブ14が取付けられている。こうして各
圧縮室５は２つの圧縮ローブ13及び14を受取る。これら
のローブは対の形状をもち、それ自体で公知である。
軸８は継手装置16を介して駆動モータ15により回転され
る。軸９は、軸８に取付けられた歯車17と軸９に取付け
られた歯車18から成る歯車装置によって反対方向に回転
する。この歯車17、18はハウジングを構成するカバー６
の内側に位置づけられている。このハウジングカバー６
はエンドプレート２に固定されている。作動時にハウジ
ング６は歯車17、18を潤滑する油を含む。
る。軸９は、軸８に取付けられた歯車17と軸９に取付け
られた歯車18から成る歯車装置によって反対方向に回転
する。この歯車17、18はハウジングを構成するカバー６
の内側に位置づけられている。このハウジングカバー６
はエンドプレート２に固定されている。作動時にハウジ
ング６は歯車17、18を潤滑する油を含む。
軸８はリップ形シール19を介してエンドプレート２を貫
通し、また同様に軸９はリップ形シール20を介してエン
ドプレート２を通る。
通し、また同様に軸９はリップ形シール20を介してエン
ドプレート２を通る。
第１図は吸込口21及び消音器24を含む様々な部材を介し
て送出し通路23（第２図）と結合する送出口22を示す。
送出し通路23はハウジング６に隣接する最後の固定子リ
ング４を通過する。従って定常状態で大気圧にある高圧
端部は歯車17、18に隣接して位置づけられる。
て送出し通路23（第２図）と結合する送出口22を示す。
送出し通路23はハウジング６に隣接する最後の固定子リ
ング４を通過する。従って定常状態で大気圧にある高圧
端部は歯車17、18に隣接して位置づけられる。
ポンプが始動すると、下流側圧縮室内に余分の圧力が生
じ、ポンプは圧縮比をもつ圧縮機として働く。こうして
吸込み21が大気圧で始まるとき、最後の室５内の圧力は
ハウジング６内に存在する雰囲気圧よりかなり高くなる
であろう。そして対策手段が備わっていなければ、シー
ル19及び20のリップはめくれ上がるであろう。
じ、ポンプは圧縮比をもつ圧縮機として働く。こうして
吸込み21が大気圧で始まるとき、最後の室５内の圧力は
ハウジング６内に存在する雰囲気圧よりかなり高くなる
であろう。そして対策手段が備わっていなければ、シー
ル19及び20のリップはめくれ上がるであろう。
こうして本発明によれば、密封モジュール24がエンドプ
レート２と最後の圧縮室５との間、即ちエンドプレート
２とハウジング６に最も近い最後の固定子リング４との
間に挿入されている。
レート２と最後の圧縮室５との間、即ちエンドプレート
２とハウジング６に最も近い最後の固定子リング４との
間に挿入されている。
この密封モジュール24は、それを貫通する軸８及び９を
もつ隔壁によって構成されており、各軸の周囲の隔壁は
ラビリンスシールの固定された部分25、26を備えてお
り、他方ではシールの運動補助部分27、28は対応軸８又
は９により担持されている。ラビリンスシールの運動部
分27及び28はＯリング29，30を用いて軸に取付けられ、
さらにそれらはモジュールの共通のキャビティ31内に位
置づけられている。
もつ隔壁によって構成されており、各軸の周囲の隔壁は
ラビリンスシールの固定された部分25、26を備えてお
り、他方ではシールの運動補助部分27、28は対応軸８又
は９により担持されている。ラビリンスシールの運動部
分27及び28はＯリング29，30を用いて軸に取付けられ、
さらにそれらはモジュールの共通のキャビティ31内に位
置づけられている。
この共通のキャビティ31は、ばね33によって一方に片寄
らされたボール32から成る弁を介して送出し通路23に結
合する。
らされたボール32から成る弁を介して送出し通路23に結
合する。
こうして共通のキャビティ31内に余分の圧力が存在すれ
ば、キャビティは送出し通路23と連通する。従ってリッ
プ形シール19の危険は何ら生じることはない。
ば、キャビティは送出し通路23と連通する。従ってリッ
プ形シール19の危険は何ら生じることはない。
密封モジュール24は冷却水の循環用室34をも含む。この
循環は隣接する圧縮室内に生じる熱を除去し、ハウジン
グ６内の油を周囲温度に保つ役割を果す。これはこうし
て熱障壁を構成する。給排水ダクトは図示していない。
循環は隣接する圧縮室内に生じる熱を除去し、ハウジン
グ６内の油を周囲温度に保つ役割を果す。これはこうし
て熱障壁を構成する。給排水ダクトは図示していない。
窒素のような少量の不活性ガスも共通のキャビティ31内
にここに吸込まれる腐食性ガスを稀薄化するため注入さ
れ、こうしてリップ形シール19を腐食や破損から防いで
いる。
にここに吸込まれる腐食性ガスを稀薄化するため注入さ
れ、こうしてリップ形シール19を腐食や破損から防いで
いる。
密封モジュール24はまたオイルトラップとしても働く。
もしオイルが蒸気の形でリップ形シール19及び20から洩
れれば、ラビリンスシールの可動部分27及び28は冷えた
壁に蒸気を吹付けて凝縮させる偏向体として働く。洩れ
が液体の形で生じれば、シールリング29及び30はオイル
が軸に沿ってにじみ出るのを防ぐ。オイルは共通のキャ
ビティ31内に集められ、抽出孔を介してそこから除去さ
れる。
もしオイルが蒸気の形でリップ形シール19及び20から洩
れれば、ラビリンスシールの可動部分27及び28は冷えた
壁に蒸気を吹付けて凝縮させる偏向体として働く。洩れ
が液体の形で生じれば、シールリング29及び30はオイル
が軸に沿ってにじみ出るのを防ぐ。オイルは共通のキャ
ビティ31内に集められ、抽出孔を介してそこから除去さ
れる。
本発明の範囲には含まれないが、各圧縮室は勿論入口と
出口を含み、１つの室の出口は次の室の入口に中間プレ
ート１内の通路を通過することによって結合する。この
ような構造は従来式であるので、煩雑を避けるため図か
ら削除してある。
出口を含み、１つの室の出口は次の室の入口に中間プレ
ート１内の通路を通過することによって結合する。この
ような構造は従来式であるので、煩雑を避けるため図か
ら削除してある。
第１図は本発明真空ポンプの極めて概略的な外面図、第
２図は本発明ポンプの１部を断面で表した立面図、第３
図は本発明ポンプの第２図に対し直角方向から見た、１
部を断面で表した平面図である。 １……中間プレート、 ２，３……エンドプレート、 ５……圧縮室、 ６……ハウジング、 ８，９……平行軸、 11,12……軸受、 13,14……圧縮ローブ、 15……モータ、 17,18……歯車、 19,20……リップ形シール、 23……送出し通路、 24……密封モジュール、 25,26……固定部、 27,28……補助部、 31……共通のキャビティ、32,33……逆止め弁。
２図は本発明ポンプの１部を断面で表した立面図、第３
図は本発明ポンプの第２図に対し直角方向から見た、１
部を断面で表した平面図である。 １……中間プレート、 ２，３……エンドプレート、 ５……圧縮室、 ６……ハウジング、 ８，９……平行軸、 11,12……軸受、 13,14……圧縮ローブ、 15……モータ、 17,18……歯車、 19,20……リップ形シール、 23……送出し通路、 24……密封モジュール、 25,26……固定部、 27,28……補助部、 31……共通のキャビティ、32,33……逆止め弁。
Claims (3)
- 【請求項１】多段式ルーツ型真空ポンプであって、 中間プレートによって互いに軸方向に分離された複数の
連続する圧縮室を規定する回転子と、 固定子の内部に配置され、且つ固定子のエンドプレート
内の軸受によって担持された２つの平行軸によって構成
され、各軸には各室内で圧縮ローブが、各室が２つの対
をなす圧縮ローブを含むようにして備えられている回転
子ユニットと、 ２つの軸の一方を回転駆動するためのもので、他方の軸
が固定子の対応するエンドプレートに取付けられたハウ
ジング内に位置づけられた歯車によって反対方向に駆動
され、各々の軸が対応するリップ形シールを介して前記
エンドプレートを貫通するモータとを含んでおり、 密封モジュールが、前記ハウジングに隣接して位置する
前記エンドプレートと前記ハウジングに隣接する圧縮室
との間に挿入されており、前記密封モジュールが各軸の
周囲に、対応するラビリンスシールの固定部分を取付け
た隔壁を含んでおり、各軸がラビリンスシールの運動補
助部分を備えており、ラビリンスシールの前記運動補助
部分が前記密封モジュールの共通のキャビティ内に位置
づけられており、キャビティが逆止め弁を介して前記ハ
ウジングに隣接する前記圧縮室から送出し通路に結合さ
れており、前記逆止め弁が流体が前記キャビテイから前
記送出し通路へ流れることを可能にしている多段式ルー
ツ型真空ポンプ。 - 【請求項２】前記密封モジュールが冷却水の循環のため
の室を含んでいる請求項１に記載の真空ポンプ。 - 【請求項３】少量の不活性ガスが前記共通キャビティ内
に注入される請求項１に記載の真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8814494A FR2638788B1 (fr) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | Pompe a vide du type roots multietage |
| FR8814494 | 1988-11-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02157490A JPH02157490A (ja) | 1990-06-18 |
| JPH066950B2 true JPH066950B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=9371625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1289836A Expired - Lifetime JPH066950B2 (ja) | 1988-11-07 | 1989-11-07 | 多段式ルーツ型真空ポンプ |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4990069A (ja) |
| EP (1) | EP0368122B1 (ja) |
| JP (1) | JPH066950B2 (ja) |
| AT (1) | ATE86011T1 (ja) |
| DE (1) | DE68905026T2 (ja) |
| ES (1) | ES2039804T3 (ja) |
| FR (1) | FR2638788B1 (ja) |
| RU (1) | RU1784072C (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100400881C (zh) * | 2002-08-23 | 2008-07-09 | 株式会社丰田自动织机 | 具有轴密封结构的真空泵 |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0569455B1 (de) * | 1991-02-01 | 1994-08-03 | Leybold Aktiengesellschaft | Trockenlaufende zweiwellenvakuumpumpe |
| FR2685392B1 (fr) * | 1991-12-18 | 1995-04-28 | Cit Alcatel | Dispositif pour assurer l'etancheite au lubrifiant de machines de transfert de gaz. |
| US6123526A (en) * | 1998-09-18 | 2000-09-26 | Industrial Technology Research Institute | Multistage pump and method for assembling the pump |
| DE20010216U1 (de) * | 2000-06-09 | 2001-10-18 | Hugo Vogelsang Maschinenbau GmbH, 49632 Essen | Axiale Dichtung |
| JP2002122088A (ja) | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける流路構造 |
| JP2002221177A (ja) * | 2001-01-24 | 2002-08-09 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| JP2002257070A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| JP2002257244A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| JP4061850B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2008-03-19 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| JP4747437B2 (ja) * | 2001-05-08 | 2011-08-17 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP2002332963A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP2003013876A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP4617615B2 (ja) * | 2001-07-05 | 2011-01-26 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| US9004491B2 (en) * | 2002-06-21 | 2015-04-14 | Inpro/Seal Llc | Shaft seal assembly |
| US8979093B2 (en) | 2002-06-21 | 2015-03-17 | Inpro/Seal, LLC | Pressure balanced shaft seal assembly |
| WO2015048752A1 (en) | 2013-09-30 | 2015-04-02 | Inpro/Seal Llc | Shaft seal assembly |
| JP3896930B2 (ja) * | 2002-09-10 | 2007-03-22 | 株式会社豊田自動織機 | 流体ポンプ装置 |
| DE10306547B4 (de) * | 2003-02-17 | 2005-08-04 | Aerzener Maschinenfabrik Gmbh | Drehkolbenmaschine |
| GB0310615D0 (en) * | 2003-05-08 | 2003-06-11 | Boc Group Plc | Improvements in seal assemblies |
| GB2408801A (en) * | 2003-12-03 | 2005-06-08 | Boc Group Plc | Detection of seal leak using differential pressure measurement |
| JP4844489B2 (ja) * | 2007-07-19 | 2011-12-28 | 株式会社豊田自動織機 | 流体機械 |
| GB0719394D0 (en) * | 2007-10-04 | 2007-11-14 | Edwards Ltd | A multi stage clam shell vacuum pump |
| JP4670854B2 (ja) * | 2007-11-05 | 2011-04-13 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| US9611847B2 (en) * | 2009-04-16 | 2017-04-04 | Eaton Industrial Corporation | Aircraft main engine fuel pump with multiple gear stages using shared journals |
| CN103899539A (zh) * | 2014-03-03 | 2014-07-02 | 苏州伊莱茨流体装备有限公司 | 一种具备自循环油密封系统的罗茨真空泵 |
| TWI735960B (zh) | 2018-09-28 | 2021-08-11 | 美商英普羅密封有限責任公司 | 環狀密封組件 |
| US11815095B2 (en) * | 2019-01-10 | 2023-11-14 | Elival Co., Ltd | Power saving vacuuming pump system based on complete-bearing-sealing and dry-large-pressure-difference root vacuuming root pumps |
| EP4093972A4 (en) * | 2020-01-24 | 2023-02-22 | CIRCOR Pumps North America, LLC | SCREW PUMP FEATURES IMPROVED SEAL AND BEARING ASSEMBLY |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US937916A (en) * | 1909-04-22 | 1909-10-26 | Bliss E W Co | Steam-packing. |
| DE3047699A1 (de) * | 1980-12-18 | 1982-07-01 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Waelzkolbenpumpe mit druckausgleichskammer |
| IT1155126B (it) * | 1982-03-10 | 1987-01-21 | Fiat Auto Spa | Compressore volumetrico rotativo del tipo roots |
| JPS59213984A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-03 | Nippon Piston Ring Co Ltd | ベ−ン形回転圧縮機の軸受装置 |
| JPS61252889A (ja) * | 1985-04-23 | 1986-11-10 | Anretsuto:Kk | 多段式高圧用ル−ツブロワ− |
| JPH0733834B2 (ja) * | 1986-12-18 | 1995-04-12 | 株式会社宇野澤組鐵工所 | ロータ内蔵ハウジングの外周温度が安定化された内部分流逆流冷却多段式の三葉式真空ポンプ |
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1988
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1989
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100400881C (zh) * | 2002-08-23 | 2008-07-09 | 株式会社丰田自动织机 | 具有轴密封结构的真空泵 |
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