JPH02157490A - 多段式ルーツ型真空ポンプ - Google Patents
多段式ルーツ型真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH02157490A JPH02157490A JP1289836A JP28983689A JPH02157490A JP H02157490 A JPH02157490 A JP H02157490A JP 1289836 A JP1289836 A JP 1289836A JP 28983689 A JP28983689 A JP 28983689A JP H02157490 A JPH02157490 A JP H02157490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- vacuum pump
- shaft
- compression
- end plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 33
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 33
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は以下を含む多段式ルーツ型真空ポンプに係る。
即ち、中間プレートによって互いに軸方向に分離されて
いる複数の連続する圧縮室を規定する回転子と、固定子
のエンドプレート内に軸受によって支持され、且つ固定
子の内側に配置された２つの平行軸から構成され、各軸
には各室内で圧縮ローブが、各室が２つの接合、した圧
縮ローブを含むようにして備えられている回転子ユニッ
トと、２本の軸の一方を回転するためのものであって、
他方の軸は固定子の対応するエンドプレートに取付けら
れたハウジング内に位置づけられた歯車によって反対方
向に駆動され、各々の軸は対応するリップ形シールを介
して前記エンドプレートを貢遇するモータとを該真空ポ
ンプが含む。
いる複数の連続する圧縮室を規定する回転子と、固定子
のエンドプレート内に軸受によって支持され、且つ固定
子の内側に配置された２つの平行軸から構成され、各軸
には各室内で圧縮ローブが、各室が２つの接合、した圧
縮ローブを含むようにして備えられている回転子ユニッ
トと、２本の軸の一方を回転するためのものであって、
他方の軸は固定子の対応するエンドプレートに取付けら
れたハウジング内に位置づけられた歯車によって反対方
向に駆動され、各々の軸は対応するリップ形シールを介
して前記エンドプレートを貢遇するモータとを該真空ポ
ンプが含む。
１豆立且１
この種のポンプでは、圧縮ローブと圧縮室との間にオイ
ルシールが存在しており、ポンプは「乾式」であると云
われる。しかし歯車が位１づけられたハウジング内には
歯車を潤滑するための油が入っており、さらにハウジン
グは最も近い圧縮室から各軸の周囲のリップ形シールに
よって分離されてはいるが、得られる密封性はこの種の
ポンプが、圧縮室が油から完全に解放されなければなら
ない一次ボンブとして用いられる場合には不充分である
。
ルシールが存在しており、ポンプは「乾式」であると云
われる。しかし歯車が位１づけられたハウジング内には
歯車を潤滑するための油が入っており、さらにハウジン
グは最も近い圧縮室から各軸の周囲のリップ形シールに
よって分離されてはいるが、得られる密封性はこの種の
ポンプが、圧縮室が油から完全に解放されなければなら
ない一次ボンブとして用いられる場合には不充分である
。
ポンプの吸上げ圧力に依存して、ハウジングに最も近い
圧縮室内の圧力、即ち高圧力段を構成する室の圧力はハ
ウジング内の圧力より高くなり得、リップ形シールのリ
ップ部が持上げられる危険を生じる。
圧縮室内の圧力、即ち高圧力段を構成する室の圧力はハ
ウジング内の圧力より高くなり得、リップ形シールのリ
ップ部が持上げられる危険を生じる。
この問題を解決するため、ハウジングと圧縮室との間に
連通管路を備付けることによってシールの両側の圧力を
平衡化することができるであろう。
連通管路を備付けることによってシールの両側の圧力を
平衡化することができるであろう。
但しハウジングから圧縮室への前記連通管路を経由して
オイル蒸気流が流れやすくなり、従って圧縮室内での油
の凝縮を生じる危険がある。
オイル蒸気流が流れやすくなり、従って圧縮室内での油
の凝縮を生じる危険がある。
反対方向に取付けた２枚のリップを持つシールの使用も
避けられるべきである。何故なら圧縮室に隣接したリッ
プは潤滑されることができず、摩耗が生じて寿命が非常
に短縮してしまうからである。
避けられるべきである。何故なら圧縮室に隣接したリッ
プは潤滑されることができず、摩耗が生じて寿命が非常
に短縮してしまうからである。
加えてハウジングに隣接する圧縮室はガス圧縮のため非
常に熱くなり、この高温度は油に伝導し、先ずその粘性
を減じて洩れを増やし、次にオイルの蒸発を増し、蒸気
のトラップをさらに困難にする。
常に熱くなり、この高温度は油に伝導し、先ずその粘性
を減じて洩れを増やし、次にオイルの蒸発を増し、蒸気
のトラップをさらに困難にする。
最後に、吸上げたガスが腐食性であれば、シールを急速
に害し洩れを生じさせる。
に害し洩れを生じさせる。
本発明の目的はこれらの欠点を是正することである。
ｍと１ｎ
本発明は上に定義した形式の多段式ルーツ型真空ポンプ
を提供する。前記ポンプにおいては、密封モジュールが
前記ハウジングに隣接して位置する前記エンドプレート
と前記ハウジングに隣接する圧縮室との間に挿入されて
おり、前記密封モジュールは各軸の周囲に、対応するラ
ビリンスシールの固定部分を取付けた隔壁を含んでおり
、各軸はラビリンスシールの運動補助部分を備えており
、ラビリンスシールの前記運動補助部分は前記密封モジ
ュールの共通のキャビティ内に位置づけられており、キ
ャビティは前記ハウジングに隣接する前記圧縮室から送
出し通路に逆止め弁を介して結合されており、前記逆止
め弁は流体が前記キャビティから前記送出し通路へ流れ
ることを可能にしている。
を提供する。前記ポンプにおいては、密封モジュールが
前記ハウジングに隣接して位置する前記エンドプレート
と前記ハウジングに隣接する圧縮室との間に挿入されて
おり、前記密封モジュールは各軸の周囲に、対応するラ
ビリンスシールの固定部分を取付けた隔壁を含んでおり
、各軸はラビリンスシールの運動補助部分を備えており
、ラビリンスシールの前記運動補助部分は前記密封モジ
ュールの共通のキャビティ内に位置づけられており、キ
ャビティは前記ハウジングに隣接する前記圧縮室から送
出し通路に逆止め弁を介して結合されており、前記逆止
め弁は流体が前記キャビティから前記送出し通路へ流れ
ることを可能にしている。
前記密封モジュールは冷却水循環室を含んでいてもよい
。
。
少量の不活性ガスが前記キャビティに注入されてもよい
。
。
次に添付図面を参照して本光明の１実施例につき例とし
て説明する。
て説明する。
友」Ｌｌ
多段式ルーツ型真空ポンプを図に表す。
このポンプ４０は固定子と回転子ユニットを含む。
固定子はエンドプレート２及び３、中間プレート１及び
固定子リング４から成るスライスの積重ねを組合わせる
ことによって作られる。こうして固定子は固定子リング
によって径方向を限定され、プレトによって軸方向を限
定された連続する複数個の圧縮室５を限定する。固定子
の両端は２枚のカバー６及び７で閉じられている。
固定子リング４から成るスライスの積重ねを組合わせる
ことによって作られる。こうして固定子は固定子リング
によって径方向を限定され、プレトによって軸方向を限
定された連続する複数個の圧縮室５を限定する。固定子
の両端は２枚のカバー６及び７で閉じられている。
固定子内部に配置された回転子ユニットはエンドプレー
ト２内に、さらにまたエンドプレート３内にボール軸受
１１及び１２によって担持された２つの平行軸８及び９
を含む。
ト２内に、さらにまたエンドプレート３内にボール軸受
１１及び１２によって担持された２つの平行軸８及び９
を含む。
各圧縮室内では、軸８には圧縮ロー１１３が取付けられ
、軸９には圧縮ローブ１４が取付けられている。こうし
て各圧縮室５は２つの圧縮ロー１１３及び１４を受取る
。これらのローブは対の形状をもち、それ自体で公知で
ある。
、軸９には圧縮ローブ１４が取付けられている。こうし
て各圧縮室５は２つの圧縮ロー１１３及び１４を受取る
。これらのローブは対の形状をもち、それ自体で公知で
ある。
軸８は継手装置１６を介して駆動モータ１５により回転
される。軸９は、軸８に取付けられた歯車１７と軸９に
取付けられた歯車１８から成る歯車装置によって反対方
向に回転する。この歯車１７．１８はハウジングを構成
するカバー６の内側に位置づけられている。このハウジ
ングカバー６はエンドプレート２に固定されている。作
動時にハウジング６は歯車１７．１Ｂを潤滑する油を含
む。
される。軸９は、軸８に取付けられた歯車１７と軸９に
取付けられた歯車１８から成る歯車装置によって反対方
向に回転する。この歯車１７．１８はハウジングを構成
するカバー６の内側に位置づけられている。このハウジ
ングカバー６はエンドプレート２に固定されている。作
動時にハウジング６は歯車１７．１Ｂを潤滑する油を含
む。
軸８はリップ形シール１９を介してエンドプレート２を
貫通し、また同様に軸９はリップ形シール２０を介して
エンドプレート２を通る。
貫通し、また同様に軸９はリップ形シール２０を介して
エンドプレート２を通る。
第１図は吸込口２１及び消音器２４を含む様々な部材を
介して送出し通路２３（第２図）と結合する送出口２２
を示す。送出し通路２３はハウジング６に隣接する最後
の固定子リング４を通過する。従って定常状態で大気圧
にある高圧端部は歯車１７．１８に隣接して位置づけら
れる。
介して送出し通路２３（第２図）と結合する送出口２２
を示す。送出し通路２３はハウジング６に隣接する最後
の固定子リング４を通過する。従って定常状態で大気圧
にある高圧端部は歯車１７．１８に隣接して位置づけら
れる。
ポンプが始動すると、下流側圧縮室内に余分の圧力が生
じ、ポンプは圧縮比をもつ圧縮機として動く。こうして
吸込み２１が大気圧で始まるとき、最後の室５内の圧力
はハウジング６内に存在する雰囲気圧よりかなり高くな
るであろう。そして対策手段が備わっていなければ、シ
ール１９及び２０のリップはめくれ上がるであろう。
じ、ポンプは圧縮比をもつ圧縮機として動く。こうして
吸込み２１が大気圧で始まるとき、最後の室５内の圧力
はハウジング６内に存在する雰囲気圧よりかなり高くな
るであろう。そして対策手段が備わっていなければ、シ
ール１９及び２０のリップはめくれ上がるであろう。
こうして本発明によれば、密封モジュール２４がエンド
プレート２と最後の圧縮室５との間、即ちエンドプレー
ト２とハウジング６に最も近い最後の固定子リング４と
の間に挿入されている。
プレート２と最後の圧縮室５との間、即ちエンドプレー
ト２とハウジング６に最も近い最後の固定子リング４と
の間に挿入されている。
この密封モジュール２４は、それを與遇する軸８及び９
をもつ隔壁によって構成されており、各軸の周囲の隔壁
はラビリンスシールの固定された部分２５．２６を備え
ており、他方ではシールの運動補助部分２７．２８は対
応軸８又は９により担持されている。ラビリンスシール
の運動部分２７及び２８はＯリング２９．３０を用いて
軸に取付けられ、さらにそれらはモジュールの共通のキ
ャビティ３１内に位置づけられている。
をもつ隔壁によって構成されており、各軸の周囲の隔壁
はラビリンスシールの固定された部分２５．２６を備え
ており、他方ではシールの運動補助部分２７．２８は対
応軸８又は９により担持されている。ラビリンスシール
の運動部分２７及び２８はＯリング２９．３０を用いて
軸に取付けられ、さらにそれらはモジュールの共通のキ
ャビティ３１内に位置づけられている。
この共通のキャピテイ３１は、ばね３３によって一方に
片寄らされたボール３２から成る弁を介して送出し通路
２３に結合する。
片寄らされたボール３２から成る弁を介して送出し通路
２３に結合する。
こうして共通のキャビティ３１内に余分の圧力が存在す
れば、キャビティは送出し通路２３と連通する。従って
リップ形シール１９の危険は何ら生じることはない。
れば、キャビティは送出し通路２３と連通する。従って
リップ形シール１９の危険は何ら生じることはない。
密封モジュール２４は冷却水の循環用室３４をも含む。
この循環は隣接する圧ｆ１室内に生じる熱を除去し、ハ
ウジング６内の油を周囲ｍ度に保つ役割を果す。これは
こうして熱障壁を構成する。給排水ダクトは図示してい
ない。
ウジング６内の油を周囲ｍ度に保つ役割を果す。これは
こうして熱障壁を構成する。給排水ダクトは図示してい
ない。
窒素のような少量の不活性ガスも共通のキャビティ３１
内にここに吸込まれる腐食性ガスを稀薄化するため注入
され、こうしてリップ形シール１９を腐食や破損から防
いでいる。
内にここに吸込まれる腐食性ガスを稀薄化するため注入
され、こうしてリップ形シール１９を腐食や破損から防
いでいる。
密封モジュール２４はまたオイルトラップとしても働く
。もしオイルが蒸気の形でリップ形シール１９及び２Ｇ
から洩れれば、ラビリンスシールの可動部分２７及び２
８は冷えた壁に蒸気を吹付けて凝縮させる偏向体として
働く。洩れが液体の形で生じれば、シールリング２９及
び３０はオイルが軸に沿ってにじみ出るのを防ぐ。オイ
ルは共通のキャビティ３１内に集められ、抽出孔を介し
てそこから除去される。
。もしオイルが蒸気の形でリップ形シール１９及び２Ｇ
から洩れれば、ラビリンスシールの可動部分２７及び２
８は冷えた壁に蒸気を吹付けて凝縮させる偏向体として
働く。洩れが液体の形で生じれば、シールリング２９及
び３０はオイルが軸に沿ってにじみ出るのを防ぐ。オイ
ルは共通のキャビティ３１内に集められ、抽出孔を介し
てそこから除去される。
本発明の範囲には含まれないが、各圧縮室は勿論入口と
出口を含み、１つの室の出口は次の室の入口に中間プレ
ート１内の通路を通過することによって結合する。この
ような構造は従来式であるので、煩雑を避けるため図か
ら削除しである。
出口を含み、１つの室の出口は次の室の入口に中間プレ
ート１内の通路を通過することによって結合する。この
ような構造は従来式であるので、煩雑を避けるため図か
ら削除しである。
第１図は本発明真空ポンプの極めて概略的な外面図、第
２図は本発明ポンプの１部を内面で表した立面図、第３
図は本発明ポンプの第２図に対し直角方向から見た、１
部を内面で表した平面図である。 １・・・・・・中間プレート、 ２．３・・・・・・
エンドプレート、５・・・・・・圧縮室、 ８・・・
・・・ハウジング、８．９・・・・・・平行軸、１１．
１２・・・・・・軸 受、１３、１４・・・・・・圧縮
ローブ、１５・・・・・・モータ、１７．１８・・・・
・・歯 車、 １９．２０・・・・・・リップ形シー
ル、２３・・・・・・送出し通路、２４・・・・・・密
封モジュール、２５．２６・・・・・・固定部、２７．
２８・・・・・・補助部、３１・・・・・・共通のキャ
ビティ、３２．３３・・・・・・逆止め弁。
２図は本発明ポンプの１部を内面で表した立面図、第３
図は本発明ポンプの第２図に対し直角方向から見た、１
部を内面で表した平面図である。 １・・・・・・中間プレート、 ２．３・・・・・・
エンドプレート、５・・・・・・圧縮室、 ８・・・
・・・ハウジング、８．９・・・・・・平行軸、１１．
１２・・・・・・軸 受、１３、１４・・・・・・圧縮
ローブ、１５・・・・・・モータ、１７．１８・・・・
・・歯 車、 １９．２０・・・・・・リップ形シー
ル、２３・・・・・・送出し通路、２４・・・・・・密
封モジュール、２５．２６・・・・・・固定部、２７．
２８・・・・・・補助部、３１・・・・・・共通のキャ
ビティ、３２．３３・・・・・・逆止め弁。
Claims (3)
- （１）多段式ルーツ型真空ポンプであって、中間プレー
トによって互いに軸方向に分離された複数の連続する圧
縮室を規定する回転子と、固定子の内部に配置され、且
つ固定子のエンドプレート内の軸受によって担持された
２つの平行軸によって構成され、各軸には各室内で圧縮
ローブが、各室が２つの対をなす圧縮ローブを含むよう
にして備えられている回転子ユニットと、２つの軸の一
方を回転駆動するためのもので、他方の軸が固定子の対
応するエンドプレートに取付けられたハウジング内に位
置づけられた歯車によって反対方向に駆動され、各々の
軸が対応するリップ形シールを介して前記エンドプレー
トを貫通するモータとを含んでおり、 密封モジュールが、前記ハウジングに隣接して位置する
前記エンドプレートと前記ハウジングに隣接する圧縮室
との間に挿入されており、前記密封モジュールが各軸の
周囲に、対応するラビリンスシールの固定部分を取付け
た隔壁を含んでおり、各軸がラビリンスシールの運動補
助部分を備えており、ラビリンスシールの前記運動補助
部分が前記密封モジュールの共通のキャビティ内に位置
づけられており、キャビティが逆止め弁を介して前記ハ
ウジングに隣接する前記圧縮室から送出し通路に結合さ
れており、前記逆止め弁が流体が前記キャビティから前
記送出し通路へ流れることを可能にしている多段式ルー
ツ型真空ポンプ。 - （２）前記密封モジュールが冷却水の循環のための室を
含んでいる請求項１に記載の真空ポンプ。 - （３）少量の不活性ガスが前記共通キャビティ内に注入
される請求項１に記載の真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8814494A FR2638788B1 (fr) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | Pompe a vide du type roots multietage |
| FR8814494 | 1988-11-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02157490A true JPH02157490A (ja) | 1990-06-18 |
| JPH066950B2 JPH066950B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=9371625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1289836A Expired - Lifetime JPH066950B2 (ja) | 1988-11-07 | 1989-11-07 | 多段式ルーツ型真空ポンプ |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4990069A (ja) |
| EP (1) | EP0368122B1 (ja) |
| JP (1) | JPH066950B2 (ja) |
| AT (1) | ATE86011T1 (ja) |
| DE (1) | DE68905026T2 (ja) |
| ES (1) | ES2039804T3 (ja) |
| FR (1) | FR2638788B1 (ja) |
| RU (1) | RU1784072C (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1199476A2 (en) | 2000-10-16 | 2002-04-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| US6663367B2 (en) | 2001-02-28 | 2003-12-16 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Shaft seal structure of vacuum pumps |
| JP2008051116A (ja) * | 2007-11-05 | 2008-03-06 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0569455B1 (de) * | 1991-02-01 | 1994-08-03 | Leybold Aktiengesellschaft | Trockenlaufende zweiwellenvakuumpumpe |
| FR2685392B1 (fr) * | 1991-12-18 | 1995-04-28 | Cit Alcatel | Dispositif pour assurer l'etancheite au lubrifiant de machines de transfert de gaz. |
| US6123526A (en) * | 1998-09-18 | 2000-09-26 | Industrial Technology Research Institute | Multistage pump and method for assembling the pump |
| DE20010216U1 (de) * | 2000-06-09 | 2001-10-18 | Hugo Vogelsang Maschinenbau GmbH, 49632 Essen | Axiale Dichtung |
| JP2002221177A (ja) * | 2001-01-24 | 2002-08-09 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| JP2002257244A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| JP4061850B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2008-03-19 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| JP4747437B2 (ja) * | 2001-05-08 | 2011-08-17 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP2002332963A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP2003013876A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| JP4617615B2 (ja) * | 2001-07-05 | 2011-01-26 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 |
| US9004491B2 (en) * | 2002-06-21 | 2015-04-14 | Inpro/Seal Llc | Shaft seal assembly |
| US8979093B2 (en) | 2002-06-21 | 2015-03-17 | Inpro/Seal, LLC | Pressure balanced shaft seal assembly |
| WO2015048752A1 (en) | 2013-09-30 | 2015-04-02 | Inpro/Seal Llc | Shaft seal assembly |
| CN100400881C (zh) * | 2002-08-23 | 2008-07-09 | 株式会社丰田自动织机 | 具有轴密封结构的真空泵 |
| JP3896930B2 (ja) * | 2002-09-10 | 2007-03-22 | 株式会社豊田自動織機 | 流体ポンプ装置 |
| DE10306547B4 (de) * | 2003-02-17 | 2005-08-04 | Aerzener Maschinenfabrik Gmbh | Drehkolbenmaschine |
| GB0310615D0 (en) * | 2003-05-08 | 2003-06-11 | Boc Group Plc | Improvements in seal assemblies |
| GB2408801A (en) * | 2003-12-03 | 2005-06-08 | Boc Group Plc | Detection of seal leak using differential pressure measurement |
| JP4844489B2 (ja) * | 2007-07-19 | 2011-12-28 | 株式会社豊田自動織機 | 流体機械 |
| GB0719394D0 (en) * | 2007-10-04 | 2007-11-14 | Edwards Ltd | A multi stage clam shell vacuum pump |
| US9611847B2 (en) * | 2009-04-16 | 2017-04-04 | Eaton Industrial Corporation | Aircraft main engine fuel pump with multiple gear stages using shared journals |
| CN103899539A (zh) * | 2014-03-03 | 2014-07-02 | 苏州伊莱茨流体装备有限公司 | 一种具备自循环油密封系统的罗茨真空泵 |
| TWI735960B (zh) | 2018-09-28 | 2021-08-11 | 美商英普羅密封有限責任公司 | 環狀密封組件 |
| US11815095B2 (en) * | 2019-01-10 | 2023-11-14 | Elival Co., Ltd | Power saving vacuuming pump system based on complete-bearing-sealing and dry-large-pressure-difference root vacuuming root pumps |
| EP4093972A4 (en) * | 2020-01-24 | 2023-02-22 | CIRCOR Pumps North America, LLC | SCREW PUMP FEATURES IMPROVED SEAL AND BEARING ASSEMBLY |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US937916A (en) * | 1909-04-22 | 1909-10-26 | Bliss E W Co | Steam-packing. |
| DE3047699A1 (de) * | 1980-12-18 | 1982-07-01 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Waelzkolbenpumpe mit druckausgleichskammer |
| IT1155126B (it) * | 1982-03-10 | 1987-01-21 | Fiat Auto Spa | Compressore volumetrico rotativo del tipo roots |
| JPS59213984A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-03 | Nippon Piston Ring Co Ltd | ベ−ン形回転圧縮機の軸受装置 |
| JPS61252889A (ja) * | 1985-04-23 | 1986-11-10 | Anretsuto:Kk | 多段式高圧用ル−ツブロワ− |
| JPH0733834B2 (ja) * | 1986-12-18 | 1995-04-12 | 株式会社宇野澤組鐵工所 | ロータ内蔵ハウジングの外周温度が安定化された内部分流逆流冷却多段式の三葉式真空ポンプ |
-
1988
- 1988-11-07 FR FR8814494A patent/FR2638788B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-10-31 DE DE8989120179T patent/DE68905026T2/de not_active Revoked
- 1989-10-31 AT AT89120179T patent/ATE86011T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-10-31 EP EP89120179A patent/EP0368122B1/fr not_active Revoked
- 1989-10-31 ES ES198989120179T patent/ES2039804T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-11-04 RU SU894742466A patent/RU1784072C/ru active
- 1989-11-06 US US07/432,428 patent/US4990069A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-07 JP JP1289836A patent/JPH066950B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1199476A2 (en) | 2000-10-16 | 2002-04-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| US6663367B2 (en) | 2001-02-28 | 2003-12-16 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Shaft seal structure of vacuum pumps |
| JP2008051116A (ja) * | 2007-11-05 | 2008-03-06 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES2039804T3 (es) | 1993-10-01 |
| FR2638788B1 (fr) | 1994-01-28 |
| JPH066950B2 (ja) | 1994-01-26 |
| US4990069A (en) | 1991-02-05 |
| EP0368122A1 (fr) | 1990-05-16 |
| EP0368122B1 (fr) | 1993-02-24 |
| DE68905026T2 (de) | 1993-06-17 |
| DE68905026D1 (de) | 1993-04-01 |
| FR2638788A1 (fr) | 1990-05-11 |
| RU1784072C (ru) | 1992-12-23 |
| ATE86011T1 (de) | 1993-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02157490A (ja) | 多段式ルーツ型真空ポンプ | |
| US4519755A (en) | Gerotor vacuum pump | |
| US5957667A (en) | Oilless compressor with a pressurizable crankcase and motor containment vessel | |
| KR101286187B1 (ko) | 다단형 건식 진공펌프 | |
| JP5814934B2 (ja) | ポンプ | |
| US3677664A (en) | Rotary mechanical pumps of the screw type | |
| JPS62243982A (ja) | ２段型真空ポンプ装置およびその運転方法 | |
| US6663366B2 (en) | Compressor having cooling passage integrally formed therein | |
| US4934908A (en) | Vacuum pump systems | |
| JPH079239B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| KR950007519B1 (ko) | 로터리 형식의 진공펌프장치 | |
| US10851783B2 (en) | Dry vacuum pump with pressurized bearing and seal | |
| JPS59115489A (ja) | 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ | |
| JP4145830B2 (ja) | 油冷式圧縮機 | |
| JPS6217389A (ja) | 機械ポンプ | |
| JP2019039395A (ja) | 多段ルーツポンプ | |
| JPS61152990A (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| CA1196615A (en) | Gerotor vacuum pump | |
| JPH04311696A (ja) | メカニカル真空ポンプ | |
| GB2140102A (en) | Improvements in shaft seals | |
| EP1013934A1 (en) | Multi-stage rotary vacuum pump used for high temperature gas | |
| KR101925975B1 (ko) | 진공오일 사용 회전식 진공펌프 | |
| KR102612899B1 (ko) | 용적 이송식 건식 펌프 | |
| KR20200140839A (ko) | 건식 진공 펌프 | |
| BE1011349A3 (nl) | Compressoreenheid met minstens een olievrij compressorelement voorzien van een asafdichting. |