JP2002221177A - 真空ポンプにおける軸封構造 - Google Patents
真空ポンプにおける軸封構造Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressor (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】真空ポンプにおいて良好なシール性能を確保し
つつリップシールの長寿命化を達成できる軸封構造を提
供する。 【解決手段】ラジアルベアリング３７，３８とロータ２
７，３２との間における回転軸１９，２０の周面にはゴ
ム製のリップリング５１，５２が配置されている。リヤ
ハウジング１４の室形成壁面１４１には排気圧波及溝５
５，５６が形成されている。排気圧波及溝５５は、ロー
タ２７，３２の回転に伴って容積変化する最大圧力領域
４３２に通じている。又、排気圧波及溝５５は、リヤハ
ウジング１４に回転軸１９を通すための軸孔１４２に通
じている。排気圧波及溝５６は、最大圧力領域４３２に
通じ、かつリヤハウジング１４に回転軸２０を通すため
の軸孔１４３に通じている。
つつリップシールの長寿命化を達成できる軸封構造を提
供する。 【解決手段】ラジアルベアリング３７，３８とロータ２
７，３２との間における回転軸１９，２０の周面にはゴ
ム製のリップリング５１，５２が配置されている。リヤ
ハウジング１４の室形成壁面１４１には排気圧波及溝５
５，５６が形成されている。排気圧波及溝５５は、ロー
タ２７，３２の回転に伴って容積変化する最大圧力領域
４３２に通じている。又、排気圧波及溝５５は、リヤハ
ウジング１４に回転軸１９を通すための軸孔１４２に通
じている。排気圧波及溝５６は、最大圧力領域４３２に
通じ、かつリヤハウジング１４に回転軸２０を通すため
の軸孔１４３に通じている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸の回転に基
づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送
体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真
空ポンプにおける軸封構造に関するものである。
づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送
体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真
空ポンプにおける軸封構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガ
ス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガス
を移送して吸引作用をもたらす真空ポンプは、例えば特
開平６−１０１６７４号公報に開示される。この種の真
空ポンプでは、ガス移送体であるロータを支持する複数
本の回転軸が歯車機構を用いて同期して回転される。こ
の歯車機構は、歯車機構を収容するハウジング内のオイ
ルバスに貯留された潤滑油によって潤滑される。この潤
滑油は、回転軸を回転可能に支持するためのベアリング
の潤滑にも利用される。
ス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガス
を移送して吸引作用をもたらす真空ポンプは、例えば特
開平６−１０１６７４号公報に開示される。この種の真
空ポンプでは、ガス移送体であるロータを支持する複数
本の回転軸が歯車機構を用いて同期して回転される。こ
の歯車機構は、歯車機構を収容するハウジング内のオイ
ルバスに貯留された潤滑油によって潤滑される。この潤
滑油は、回転軸を回転可能に支持するためのベアリング
の潤滑にも利用される。
【０００３】オイルバスの潤滑油がロータを収容するケ
ーシング内の室（ポンプ室）へ洩れないようにするた
め、前記ベアリングと前記ケーシングとの間の回転軸の
部位にはリップシールが配設される。
ーシング内の室（ポンプ室）へ洩れないようにするた
め、前記ベアリングと前記ケーシングとの間の回転軸の
部位にはリップシールが配設される。
【０００４】前記したリップシールの前後の差圧が大き
いと、オイルバスの潤滑油がロータを収容するケーシン
グ内の室へ洩れ易くなる。又、リップシールの耐久性が
低下し、リップシールの寿命が短くなる。
いと、オイルバスの潤滑油がロータを収容するケーシン
グ内の室へ洩れ易くなる。又、リップシールの耐久性が
低下し、リップシールの寿命が短くなる。
【０００５】特開平６−８１７８８号公報のスクリュー
真空ポンプでは、スクリューロータの吐出端面に環状の
くぼみを設け、このくぼみの一部を被うように吐出口を
開口させている。吐出口の圧力がくぼみを介してリップ
シールの背面側に波及し、リップリーシの前後の圧力差
が低減する。
真空ポンプでは、スクリューロータの吐出端面に環状の
くぼみを設け、このくぼみの一部を被うように吐出口を
開口させている。吐出口の圧力がくぼみを介してリップ
シールの背面側に波及し、リップリーシの前後の圧力差
が低減する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、所謂まゆ型の
ロータを噛み合わせたルーツポンプでは、吐出口に連な
るようにロータ側に環状のくぼみを設ける構成は、吐出
口の位置が非常に限られた箇所に制約される等のために
難しい。
ロータを噛み合わせたルーツポンプでは、吐出口に連な
るようにロータ側に環状のくぼみを設ける構成は、吐出
口の位置が非常に限られた箇所に制約される等のために
難しい。
【０００７】本発明は、リップシールの前後の差圧を低
減して良好なシール性能を確保しつつリップシールの長
寿命化を達成できる真空ポンプにおける軸封構造を提供
することを目的とする。
減して良好なシール性能を確保しつつリップシールの長
寿命化を達成できる真空ポンプにおける軸封構造を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、回
転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項１の発明
では、真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガス
を吐出する吐出通路と、前記吐出通路に連なるポンプ室
と油存在領域との間の前記回転軸の周面に摺接するよう
に配置された軸シール用のリップリングと、前記油存在
領域側の圧力を受ける前記リップリングの受圧面とは反
対側の背圧面に対し、前記吐出通路に連通して前記吐出
通路と略同等の圧力領域の圧力、又は前記吐出通路の圧
力を波及させるための排気圧波及通路とを備えた軸封構
造を構成し、真空ポンプの本体のハウジングに前記排気
圧波及通路を形成した。
転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項１の発明
では、真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガス
を吐出する吐出通路と、前記吐出通路に連なるポンプ室
と油存在領域との間の前記回転軸の周面に摺接するよう
に配置された軸シール用のリップリングと、前記油存在
領域側の圧力を受ける前記リップリングの受圧面とは反
対側の背圧面に対し、前記吐出通路に連通して前記吐出
通路と略同等の圧力領域の圧力、又は前記吐出通路の圧
力を波及させるための排気圧波及通路とを備えた軸封構
造を構成し、真空ポンプの本体のハウジングに前記排気
圧波及通路を形成した。
【０００９】リップリングの背圧面は、吐出通路に連な
るポンプ室内の最大圧力領域の圧力の影響、又は吐出通
路の圧力の影響を排気圧波及通路を介して受ける。最大
圧力領域の圧力、又は吐出通路の圧力を排気圧波及通路
を介してリップリングの背圧面に波及させる構成は、排
気圧波及通路のない場合に比べ、リップリングの前後の
圧力差を少なくする。
るポンプ室内の最大圧力領域の圧力の影響、又は吐出通
路の圧力の影響を排気圧波及通路を介して受ける。最大
圧力領域の圧力、又は吐出通路の圧力を排気圧波及通路
を介してリップリングの背圧面に波及させる構成は、排
気圧波及通路のない場合に比べ、リップリングの前後の
圧力差を少なくする。
【００１０】請求項２の発明では、請求項１において、
前記吐出通路と略同等の圧力領域は、前記吐出通路に連
なるポンプ室内の最大圧力領域であり、前記排気圧波及
通路は、前記最大圧力領域の圧力を前記リップリングの
背圧面に波及させるようにした。
前記吐出通路と略同等の圧力領域は、前記吐出通路に連
なるポンプ室内の最大圧力領域であり、前記排気圧波及
通路は、前記最大圧力領域の圧力を前記リップリングの
背圧面に波及させるようにした。
【００１１】リップリングの背圧面は、吐出通路に連な
るポンプ室内の最大圧力領域の圧力の圧力の影響を排気
圧波及通路を介して受ける。最大圧力領域の圧力を排気
圧波及通路を介してリップリングの背圧面に波及させる
構成は、排気圧波及通路のない場合に比べ、リップリン
グの前後の圧力差を少なくする。
るポンプ室内の最大圧力領域の圧力の圧力の影響を排気
圧波及通路を介して受ける。最大圧力領域の圧力を排気
圧波及通路を介してリップリングの背圧面に波及させる
構成は、排気圧波及通路のない場合に比べ、リップリン
グの前後の圧力差を少なくする。
【００１２】請求項３の発明では、請求項１及び請求項
２のいずれか１項において、前記排気圧波及通路を形成
する前記ハウジングは、前記油存在領域と前記吐出通路
に連なるポンプ室とを隣接させ、かつ前記吐出通路に連
なるポンプ室側から前記油存在領域に達するように前記
回転軸を貫通させる隔壁とした。
２のいずれか１項において、前記排気圧波及通路を形成
する前記ハウジングは、前記油存在領域と前記吐出通路
に連なるポンプ室とを隣接させ、かつ前記吐出通路に連
なるポンプ室側から前記油存在領域に達するように前記
回転軸を貫通させる隔壁とした。
【００１３】排気圧波及通路は隔壁に形成されており、
リップリングの背圧面は、排気圧波及通路を介して吐出
通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域の圧力の圧力の
影響を受ける。
リップリングの背圧面は、排気圧波及通路を介して吐出
通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域の圧力の圧力の
影響を受ける。
【００１４】請求項４の発明では、請求項３において、
前記隔壁は、前記吐出通路に連なるポンプ室の形成壁面
の一部となる室形成壁面を備えており、前記排気圧波及
通路は、前記隔壁の前記室形成壁面に凹設された排気圧
波及溝であり、前記排気圧波及溝は、前記回転軸を貫通
させるように前記隔壁に貫設された軸孔に達するように
した。
前記隔壁は、前記吐出通路に連なるポンプ室の形成壁面
の一部となる室形成壁面を備えており、前記排気圧波及
通路は、前記隔壁の前記室形成壁面に凹設された排気圧
波及溝であり、前記排気圧波及溝は、前記回転軸を貫通
させるように前記隔壁に貫設された軸孔に達するように
した。
【００１５】吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領
域の圧力、又は吐出通路の圧力は、排気圧波及溝及び軸
孔を介してリップリングの背圧面に波及する。請求項５
の発明では、請求項４において、前記回転軸の周面と前
記軸孔との間の間隙を狭めるための間隙縮小用張り出し
部を前記回転軸の周面に設け、前記排気圧波及溝は、前
記間隙縮小用張り出し部の一部を伝って前記軸孔に達す
るようにした。
域の圧力、又は吐出通路の圧力は、排気圧波及溝及び軸
孔を介してリップリングの背圧面に波及する。請求項５
の発明では、請求項４において、前記回転軸の周面と前
記軸孔との間の間隙を狭めるための間隙縮小用張り出し
部を前記回転軸の周面に設け、前記排気圧波及溝は、前
記間隙縮小用張り出し部の一部を伝って前記軸孔に達す
るようにした。
【００１６】間隙縮小用張り出し部の存在は、吐出通路
に連なるポンプ室内の最大圧力領域、又は吐出通路から
の圧力を効果的に波及させる。請求項６の発明では、請
求項１乃至請求項５のいずれか１項において、前記油存
在領域は、前記回転軸を回転可能に支持するための軸受
けを収容する領域とした。
に連なるポンプ室内の最大圧力領域、又は吐出通路から
の圧力を効果的に波及させる。請求項６の発明では、請
求項１乃至請求項５のいずれか１項において、前記油存
在領域は、前記回転軸を回転可能に支持するための軸受
けを収容する領域とした。
【００１７】軸受けを潤滑する油がリップリングを潤滑
する。請求項７の発明では、請求項１乃至請求項６のい
ずれか１項において、前記真空ポンプは、複数の前記回
転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータ
を配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わ
せ、互いに噛み合った状態の複数のロータを１組として
収容する複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えた
ルーツポンプとした。
する。請求項７の発明では、請求項１乃至請求項６のい
ずれか１項において、前記真空ポンプは、複数の前記回
転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータ
を配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わ
せ、互いに噛み合った状態の複数のロータを１組として
収容する複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えた
ルーツポンプとした。
【００１８】このような真空ポンプは、本発明の適用対
象として好適である。請求項８の発明では、請求項７に
おいて、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期し
て回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容す
る領域とした。
象として好適である。請求項８の発明では、請求項７に
おいて、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期し
て回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容す
る領域とした。
【００１９】歯車機構を潤滑する油がリップリングを潤
滑する。
滑する。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明をルーツポンプに具
体化した第１の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明
する。
体化した第１の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明
する。
【００２１】図１（ａ）に示すように、多段ルーツポン
プ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウ
ジング１３が接合されており、フロントハウジング１３
には封鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１
２の後端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロ
ータハウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の
室形成壁１６とからなる。図２（ｂ）に示すように、シ
リンダブロック１５は、一対のブロック片１７，１８か
らなり、室形成壁１６は一対の壁片１６１，１６２から
なる。図１（ａ）に示すように、フロントハウジング１
３と室形成壁１６との間の空間、隣合う室形成壁１６の
間の空間、及びリヤハウジング１４と室形成壁１６との
間の空間は、それぞれポンプ室３９，４０，４１，４
２，４３となっている。
プ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウ
ジング１３が接合されており、フロントハウジング１３
には封鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１
２の後端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロ
ータハウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の
室形成壁１６とからなる。図２（ｂ）に示すように、シ
リンダブロック１５は、一対のブロック片１７，１８か
らなり、室形成壁１６は一対の壁片１６１，１６２から
なる。図１（ａ）に示すように、フロントハウジング１
３と室形成壁１６との間の空間、隣合う室形成壁１６の
間の空間、及びリヤハウジング１４と室形成壁１６との
間の空間は、それぞれポンプ室３９，４０，４１，４
２，４３となっている。
【００２２】フロントハウジング１３とリヤハウジング
１４とには一対の回転軸１９，２０がラジアルベアリン
グ２１，３７，２２，３８を介して回転可能に支持され
ている。両回転軸１９，２０は互いに平行に配置されて
いる。回転軸１９，２０は室形成壁１６に通されてい
る。
１４とには一対の回転軸１９，２０がラジアルベアリン
グ２１，３７，２２，３８を介して回転可能に支持され
ている。両回転軸１９，２０は互いに平行に配置されて
いる。回転軸１９，２０は室形成壁１６に通されてい
る。
【００２３】回転軸１９には複数のロータ２３，２４，
２５，２６，２７が一体形成されており、回転軸２０に
は同数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形
成されている。ロータ２３〜３２は、回転軸１９，２０
の軸線１９１，２０１の方向に見て同形同大の形状をし
ている。ロータ２３，２４，２５，２６，２７の厚みは
この順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ２
８，２９，３０，３１，３２の厚みはこの順に小さくな
ってゆくようにしてある。ロータ２３，２８は互いに噛
合した状態でポンプ室３９に収容されており、ロータ２
４，２９は互いに噛合した状態でポンプ室４０に収容さ
れている。ロータ２５，３０は互いに噛合した状態でポ
ンプ室４１に収容されており、ロータ２６，３１は互い
に噛合した状態でポンプ室４２に収容されている。ロー
タ２７，３２は互いに噛合した状態でポンプ室４３に収
容されている。ポンプ室３９〜４３内は無潤滑状態にさ
れる。そのため、各ロータ２３〜３２は、シリンダブロ
ック１５、室形成壁１６、フロントハウジング１３及び
リヤハウジング１４との間で摺接しないようになってい
る。又、噛合するロータ同士の間でも摺接しないように
なっている。
２５，２６，２７が一体形成されており、回転軸２０に
は同数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形
成されている。ロータ２３〜３２は、回転軸１９，２０
の軸線１９１，２０１の方向に見て同形同大の形状をし
ている。ロータ２３，２４，２５，２６，２７の厚みは
この順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ２
８，２９，３０，３１，３２の厚みはこの順に小さくな
ってゆくようにしてある。ロータ２３，２８は互いに噛
合した状態でポンプ室３９に収容されており、ロータ２
４，２９は互いに噛合した状態でポンプ室４０に収容さ
れている。ロータ２５，３０は互いに噛合した状態でポ
ンプ室４１に収容されており、ロータ２６，３１は互い
に噛合した状態でポンプ室４２に収容されている。ロー
タ２７，３２は互いに噛合した状態でポンプ室４３に収
容されている。ポンプ室３９〜４３内は無潤滑状態にさ
れる。そのため、各ロータ２３〜３２は、シリンダブロ
ック１５、室形成壁１６、フロントハウジング１３及び
リヤハウジング１４との間で摺接しないようになってい
る。又、噛合するロータ同士の間でも摺接しないように
なっている。
【００２４】図２（ａ）に示すように、ロータ２３，２
８は、ポンプ室３９内に吸入領域３９１と、吸入領域３
９１よりも高圧となる圧力領域３９２とを区画する。同
様に、ロータ２４，２９はポンプ室４０内に、ロータ２
５，３０はポンプ室４１内に、ロータ２６，３１はポン
プ室４２内に、それぞれ吸入領域３９１及び圧力領域３
９２と同様の吸入領域及び圧力領域を区画する。図３
（ａ）に示すように、ロータ２７，３２はポンプ室４３
内に、吸入領域３９１及び圧力領域３９２と同様の吸入
領域４３１及び圧力領域４３２を区画する。
８は、ポンプ室３９内に吸入領域３９１と、吸入領域３
９１よりも高圧となる圧力領域３９２とを区画する。同
様に、ロータ２４，２９はポンプ室４０内に、ロータ２
５，３０はポンプ室４１内に、ロータ２６，３１はポン
プ室４２内に、それぞれ吸入領域３９１及び圧力領域３
９２と同様の吸入領域及び圧力領域を区画する。図３
（ａ）に示すように、ロータ２７，３２はポンプ室４３
内に、吸入領域３９１及び圧力領域３９２と同様の吸入
領域４３１及び圧力領域４３２を区画する。
【００２５】図１（ａ）に示すように、リヤハウジング
１４にはギヤハウジング３３が組み付けられている。回
転軸１９，２０は、ポンプ室４３側からリヤハウジング
１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出しており、
各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，３５が互
いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウジング３
３には電動モータＭが組み付けられている。電動モータ
Ｍの駆動力は、軸継ぎ手４４を介して回転軸１９に伝え
られ、回転軸１９は、電動モータＭによって図２
（ａ），（ｂ）及び図３（ａ）の矢印Ｒ１の方向に回転
される。回転軸１９の回転は歯車３４，３５を介して回
転軸２０に伝えられ、回転軸２０は図２（ａ），（ｂ）
及び図３（ａ）の矢印Ｒ２で示すように回転軸１９とは
逆方向に回転する。即ち、回転軸１９，２０は、歯車３
４，３５を用いて同期して回転される。
１４にはギヤハウジング３３が組み付けられている。回
転軸１９，２０は、ポンプ室４３側からリヤハウジング
１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出しており、
各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，３５が互
いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウジング３
３には電動モータＭが組み付けられている。電動モータ
Ｍの駆動力は、軸継ぎ手４４を介して回転軸１９に伝え
られ、回転軸１９は、電動モータＭによって図２
（ａ），（ｂ）及び図３（ａ）の矢印Ｒ１の方向に回転
される。回転軸１９の回転は歯車３４，３５を介して回
転軸２０に伝えられ、回転軸２０は図２（ａ），（ｂ）
及び図３（ａ）の矢印Ｒ２で示すように回転軸１９とは
逆方向に回転する。即ち、回転軸１９，２０は、歯車３
４，３５を用いて同期して回転される。
【００２６】図２（ｂ）に示すように、室形成壁１６内
には通路１６３が形成されている。に示すように、室形
成壁１６には通路１６３の入口１６４及び出口１６５が
形成されている。隣合うポンプ室３９，４０，４１，４
２，４３は、通路１６３を介して連通している。
には通路１６３が形成されている。に示すように、室形
成壁１６には通路１６３の入口１６４及び出口１６５が
形成されている。隣合うポンプ室３９，４０，４１，４
２，４３は、通路１６３を介して連通している。
【００２７】図２（ａ）に示すように、ブロック片１８
には導入口１８１がポンプ室３９の吸入領域３９１に連
通するように形成されている。図３（ａ）に示すよう
に、ブロック片１７には排出口１７１がポンプ室４３の
圧力領域４３２に連通するように形成されている。導入
口１８１からポンプ室３９の吸入領域３９１に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転に伴って圧力領域３
９２へ移行する。圧力領域３９２へ移行したガスは、吸
入領域３９１での状態よりも圧縮されて増圧された状態
となる。圧力領域３９２のガスは、室形成壁１６の入口
１６４から通路１６３を経由して出口１６５から隣のポ
ンプ室４０の吸入領域へ移送される。以下、同様にガス
は、ポンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ
室４０，４１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室
４３の吸入領域４３１へ移送されたガスは、ロータ２
７，３２の回転によって圧力領域４３２へ移行した後、
排出口１７１から外部へ排出される。ロータ２３〜３２
は、ガスを移送するガス移送体である。
には導入口１８１がポンプ室３９の吸入領域３９１に連
通するように形成されている。図３（ａ）に示すよう
に、ブロック片１７には排出口１７１がポンプ室４３の
圧力領域４３２に連通するように形成されている。導入
口１８１からポンプ室３９の吸入領域３９１に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転に伴って圧力領域３
９２へ移行する。圧力領域３９２へ移行したガスは、吸
入領域３９１での状態よりも圧縮されて増圧された状態
となる。圧力領域３９２のガスは、室形成壁１６の入口
１６４から通路１６３を経由して出口１６５から隣のポ
ンプ室４０の吸入領域へ移送される。以下、同様にガス
は、ポンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ
室４０，４１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室
４３の吸入領域４３１へ移送されたガスは、ロータ２
７，３２の回転によって圧力領域４３２へ移行した後、
排出口１７１から外部へ排出される。ロータ２３〜３２
は、ガスを移送するガス移送体である。
【００２８】排出口１７１は、真空ポンプの本体のハウ
ジングの外部へ前記ガスを吐出する吐出通路である。ポ
ンプ室４３は、吐出通路である排出口１７１に連なる最
終のポンプ室であり、最終のポンプ室４３内の圧力領域
４３２は、ポンプ室３９〜４３内で最大の圧力となる最
大圧力領域である。排出口１７１は、ロータ２７，３２
によってポンプ室４３内に区画される最大圧力領域４３
２に連通している。
ジングの外部へ前記ガスを吐出する吐出通路である。ポ
ンプ室４３は、吐出通路である排出口１７１に連なる最
終のポンプ室であり、最終のポンプ室４３内の圧力領域
４３２は、ポンプ室３９〜４３内で最大の圧力となる最
大圧力領域である。排出口１７１は、ロータ２７，３２
によってポンプ室４３内に区画される最大圧力領域４３
２に連通している。
【００２９】図４（ａ）に示すように、ラジアルベアリ
ング３７とロータ２７との間における回転軸１９の周囲
にはシール収容室４７が形成されており、シール収容室
４７にはリップシール４５が収容されている。図４
（ｂ）に示すように、ラジアルベアリング３８とロータ
３２との間における回転軸２０の周囲にはシール収容室
４８が形成されており、シール収容室４８にはリップシ
ール４６が収容されている。
ング３７とロータ２７との間における回転軸１９の周囲
にはシール収容室４７が形成されており、シール収容室
４７にはリップシール４５が収容されている。図４
（ｂ）に示すように、ラジアルベアリング３８とロータ
３２との間における回転軸２０の周囲にはシール収容室
４８が形成されており、シール収容室４８にはリップシ
ール４６が収容されている。
【００３０】図１（ｃ）に示すように、リップシール４
５は、リング形状の保持金具４９と、保持金具４９の一
部を被覆するように保持金具４９に保持されたゴム製の
リップリング５１とを備える。図１（ｂ）に示すよう
に、リップシール４６は、リング形状の保持金具５０
と、保持金具５０の一部を被覆するように保持金具に保
持されたゴム製のリップリング５２とを備える。シール
収容室４７に収容されたリップシール４５のゴム製のリ
ップリング５１の内周側が回転軸１９の周面１９２に接
触する。シール収容室４８に収容されたリップシール４
６のゴム製のリップリング５２の内周側が回転軸２０の
周面２０２に接触する。
５は、リング形状の保持金具４９と、保持金具４９の一
部を被覆するように保持金具４９に保持されたゴム製の
リップリング５１とを備える。図１（ｂ）に示すよう
に、リップシール４６は、リング形状の保持金具５０
と、保持金具５０の一部を被覆するように保持金具に保
持されたゴム製のリップリング５２とを備える。シール
収容室４７に収容されたリップシール４５のゴム製のリ
ップリング５１の内周側が回転軸１９の周面１９２に接
触する。シール収容室４８に収容されたリップシール４
６のゴム製のリップリング５２の内周側が回転軸２０の
周面２０２に接触する。
【００３１】リップシール４５は、シール収容室４７を
ポンプ室４３側の背圧室５３と、ラジアルベアリング３
７側の油存在室４７１とに区画する。リップシール４６
は、シール収容室４８をポンプ室４３側の背圧室５４
と、ラジアルベアリング３８側の油存在室４８１とに区
画する。背圧室５３は、ゴム製のリップリング５１とポ
ンプ室４３との間でゴム製のリップリング５１に対する
ように形成されている。背圧室５４は、ゴム製のリップ
リング５２とポンプ室４３との間でゴム製のリップリン
グ５２に対するように形成されている。油存在室４７
１，４８１は、ラジアルベアリング３７，３８のリング
間隙３７１，３８１及びラジアルベアリング３７，３８
の収容室１４４，１４５〔図１（ａ）に図示〕を介して
ギヤ収容室３３１に連通している。
ポンプ室４３側の背圧室５３と、ラジアルベアリング３
７側の油存在室４７１とに区画する。リップシール４６
は、シール収容室４８をポンプ室４３側の背圧室５４
と、ラジアルベアリング３８側の油存在室４８１とに区
画する。背圧室５３は、ゴム製のリップリング５１とポ
ンプ室４３との間でゴム製のリップリング５１に対する
ように形成されている。背圧室５４は、ゴム製のリップ
リング５２とポンプ室４３との間でゴム製のリップリン
グ５２に対するように形成されている。油存在室４７
１，４８１は、ラジアルベアリング３７，３８のリング
間隙３７１，３８１及びラジアルベアリング３７，３８
の収容室１４４，１４５〔図１（ａ）に図示〕を介して
ギヤ収容室３３１に連通している。
【００３２】図４（ａ），（ｂ）に示すように、ギヤハ
ウジング３３内のギヤ収容室３３１には潤滑油Ｙが貯留
されており、この潤滑油Ｙが歯車３４，３５を潤滑す
る。歯車機構を構成する歯車３４，３５を収容するギヤ
ハウジング３３のギヤ収容室３３１は、多段ルーツポン
プ１１の本体の外部に連通しないように密封された油存
在領域である。ギヤ収容室３３１に連通するラジアルベ
アリング３７，３８の収容室１４４，１４５も油存在領
域である。ギヤ収容室３３１内の貯留油は、歯車３４，
３５の回転動作によってかき上げられる。歯車３４，３
５の回転動作によってかき上げられた潤滑油Ｙは、ラジ
アルベアリング３７，３８を潤滑する。ラジアルベアリ
ング３７，３８のリング間隙３７１，３８１から油存在
室４７１，４８１へ入り込んだ潤滑油Ｙは、リップシー
ル４５，４６のゴム製のリップリング５１，５２を潤滑
する。リップシール４５，４６のゴム製のリップリング
５１，５２は、回転軸１９，２０の周面１９２，２０２
に沿った油存在室４７１，４８１から背圧室５３，５４
への油洩れを阻止する。
ウジング３３内のギヤ収容室３３１には潤滑油Ｙが貯留
されており、この潤滑油Ｙが歯車３４，３５を潤滑す
る。歯車機構を構成する歯車３４，３５を収容するギヤ
ハウジング３３のギヤ収容室３３１は、多段ルーツポン
プ１１の本体の外部に連通しないように密封された油存
在領域である。ギヤ収容室３３１に連通するラジアルベ
アリング３７，３８の収容室１４４，１４５も油存在領
域である。ギヤ収容室３３１内の貯留油は、歯車３４，
３５の回転動作によってかき上げられる。歯車３４，３
５の回転動作によってかき上げられた潤滑油Ｙは、ラジ
アルベアリング３７，３８を潤滑する。ラジアルベアリ
ング３７，３８のリング間隙３７１，３８１から油存在
室４７１，４８１へ入り込んだ潤滑油Ｙは、リップシー
ル４５，４６のゴム製のリップリング５１，５２を潤滑
する。リップシール４５，４６のゴム製のリップリング
５１，５２は、回転軸１９，２０の周面１９２，２０２
に沿った油存在室４７１，４８１から背圧室５３，５４
への油洩れを阻止する。
【００３３】図３（ｂ）に示すように、最終のポンプ室
４３を形成するリヤハウジング１４の室形成壁面１４１
には排気圧波及溝５５，５６が形成されている。排気圧
波及溝５５は、ロータ２７，３２の回転に伴って容積変
化する最大圧力領域４３２に通じている。又、排気圧波
及溝５５は、リヤハウジング１４に回転軸１９を通すた
めの軸孔１４２〔図４（ａ）に図示〕に通じている。排
気圧波及溝５６は、最大圧力領域４３２に通じ、かつリ
ヤハウジング１４に回転軸２０を通すための軸孔１４３
〔図４（ｂ）に図示〕に通じている。リヤハウジング１
４は、油存在領域であるギヤ収容室３３１と、排出口１
７１に通じる最終のポンプ室４３とを隣接させ、かつ最
終のポンプ室４３側からギヤ収容室３３１に達するよう
に回転軸１９，２０を貫通させる隔壁となる。
４３を形成するリヤハウジング１４の室形成壁面１４１
には排気圧波及溝５５，５６が形成されている。排気圧
波及溝５５は、ロータ２７，３２の回転に伴って容積変
化する最大圧力領域４３２に通じている。又、排気圧波
及溝５５は、リヤハウジング１４に回転軸１９を通すた
めの軸孔１４２〔図４（ａ）に図示〕に通じている。排
気圧波及溝５６は、最大圧力領域４３２に通じ、かつリ
ヤハウジング１４に回転軸２０を通すための軸孔１４３
〔図４（ｂ）に図示〕に通じている。リヤハウジング１
４は、油存在領域であるギヤ収容室３３１と、排出口１
７１に通じる最終のポンプ室４３とを隣接させ、かつ最
終のポンプ室４３側からギヤ収容室３３１に達するよう
に回転軸１９，２０を貫通させる隔壁となる。
【００３４】第１の実施の形態では以下の効果が得られ
る。 （１-1）回転軸１９の周面１９２と軸孔１４２との間に
は僅かな間隙があり、ロータ２７，３２とリヤハウジン
グ１４の室形成壁面１４１との間には僅かな間隙があ
る。そのため、最終のポンプ室４３の圧力が前記の僅か
な間隙を介して背圧室５３に波及する。同様に、回転軸
２０の周面２０２と軸孔１４３との間にも僅かな間隙が
あるため、最終のポンプ室４３の圧力が背圧室５４に波
及する。
る。 （１-1）回転軸１９の周面１９２と軸孔１４２との間に
は僅かな間隙があり、ロータ２７，３２とリヤハウジン
グ１４の室形成壁面１４１との間には僅かな間隙があ
る。そのため、最終のポンプ室４３の圧力が前記の僅か
な間隙を介して背圧室５３に波及する。同様に、回転軸
２０の周面２０２と軸孔１４３との間にも僅かな間隙が
あるため、最終のポンプ室４３の圧力が背圧室５４に波
及する。
【００３５】排気圧波及溝５５，５６のない場合には、
吸入領域４３１の圧力と最大圧力領域４３２の圧力とが
背圧室５３，５４に同程度に波及する。最終のポンプ室
４３の吸入領域４３１の圧力をＰ１、最大圧力領域４３
２の圧力をＰ２（＞Ｐ１）とすると、ゴム製のリップリ
ング５１，５２の背圧面５１２，５２２は、両圧力Ｐ
１，Ｐ２の中間（Ｐ２＋Ｐ１）／２程度の圧力を受ける
ことになる。一方、ギヤ収容室３３１に連通する油存在
室４７１，４８１の圧力は、ロータ２３〜３２の動作に
よって圧力変動を来さない大気圧相当の圧力（１０００
Ｔｏｒｒ程度）の領域である。ゴム製のリップリング５
１，５２の受圧面５１１，５２１は、大気圧相当の圧力
を受ける。従って、ゴム製のリップリング５１，５２の
前後の圧力差は、〔１０００−（Ｐ２＋Ｐ１）／２〕Ｔ
ｏｒｒ程度となる。
吸入領域４３１の圧力と最大圧力領域４３２の圧力とが
背圧室５３，５４に同程度に波及する。最終のポンプ室
４３の吸入領域４３１の圧力をＰ１、最大圧力領域４３
２の圧力をＰ２（＞Ｐ１）とすると、ゴム製のリップリ
ング５１，５２の背圧面５１２，５２２は、両圧力Ｐ
１，Ｐ２の中間（Ｐ２＋Ｐ１）／２程度の圧力を受ける
ことになる。一方、ギヤ収容室３３１に連通する油存在
室４７１，４８１の圧力は、ロータ２３〜３２の動作に
よって圧力変動を来さない大気圧相当の圧力（１０００
Ｔｏｒｒ程度）の領域である。ゴム製のリップリング５
１，５２の受圧面５１１，５２１は、大気圧相当の圧力
を受ける。従って、ゴム製のリップリング５１，５２の
前後の圧力差は、〔１０００−（Ｐ２＋Ｐ１）／２〕Ｔ
ｏｒｒ程度となる。
【００３６】本実施の形態における排気圧波及溝５５，
５６は、背圧室５３，５４に対する最大圧力領域４３２
の圧力の波及効果を高める。即ち、排気圧波及溝５５，
５６を介した最大圧力領域４３２の圧力の波及効果が吸
入領域４３１の圧力の波及効果を大きく上回る。従っ
て、背圧室５３，５４における圧力は、前記した（Ｐ２
＋Ｐ１）／２を大きく上回ることになり、ゴム製のリッ
プリング５１，５２の前後の圧力差は、前記した〔１０
００−（Ｐ２＋Ｐ１）／２〕Ｔｏｒｒを大きく下回る。
その結果、油存在室４７１，４８１側から背圧室５３，
５４側への潤滑油洩れを防止する効果が高まり、ゴム製
のリップリング５１，５２のシール性が向上する。又、
ゴム製のリップリング５１，５２の耐久性が向上し、ゴ
ム製のリップリング５１，５２の寿命が長くなる。
５６は、背圧室５３，５４に対する最大圧力領域４３２
の圧力の波及効果を高める。即ち、排気圧波及溝５５，
５６を介した最大圧力領域４３２の圧力の波及効果が吸
入領域４３１の圧力の波及効果を大きく上回る。従っ
て、背圧室５３，５４における圧力は、前記した（Ｐ２
＋Ｐ１）／２を大きく上回ることになり、ゴム製のリッ
プリング５１，５２の前後の圧力差は、前記した〔１０
００−（Ｐ２＋Ｐ１）／２〕Ｔｏｒｒを大きく下回る。
その結果、油存在室４７１，４８１側から背圧室５３，
５４側への潤滑油洩れを防止する効果が高まり、ゴム製
のリップリング５１，５２のシール性が向上する。又、
ゴム製のリップリング５１，５２の耐久性が向上し、ゴ
ム製のリップリング５１，５２の寿命が長くなる。
【００３７】（１-2）排気圧波及溝５５，５６を経由し
た背圧室５３，５４に対する最大圧力領域４３２の圧力
の波及効果は、排気圧波及溝５５，５６における通過断
面積の大きさに左右される。所望の断面積の排気圧波及
溝５５，５６の形成は容易であり、排気圧波及溝５５，
５６は、最大圧力領域４３２の圧力を波及させる排気圧
波及通路として最適である。
た背圧室５３，５４に対する最大圧力領域４３２の圧力
の波及効果は、排気圧波及溝５５，５６における通過断
面積の大きさに左右される。所望の断面積の排気圧波及
溝５５，５６の形成は容易であり、排気圧波及溝５５，
５６は、最大圧力領域４３２の圧力を波及させる排気圧
波及通路として最適である。
【００３８】（１-3）排気圧波及溝５５，５６は、ポン
プ室４３の形成壁面の一部を構成するリヤハウジング１
４の室形成壁面１４１上に設けられる。回転軸１９，２
０をリヤハウジング１４に通すための軸孔１４２，１４
３は、室形成壁面１４１を貫いており、ポンプ室４３の
一部である最大圧力領域４３２は室形成壁面１４１に面
している。従って、最大圧力領域４３２に通じるよう
に、かつ軸孔１４２，１４３に通じるように室形成壁面
１４１上に排気圧波及通路を形成するのは簡単である。
即ち、室形成壁面１４１は、軸孔１４２，１４３と最大
圧力領域４３２とを繋ぐ排気圧波及通路の形成箇所とし
て最適である。
プ室４３の形成壁面の一部を構成するリヤハウジング１
４の室形成壁面１４１上に設けられる。回転軸１９，２
０をリヤハウジング１４に通すための軸孔１４２，１４
３は、室形成壁面１４１を貫いており、ポンプ室４３の
一部である最大圧力領域４３２は室形成壁面１４１に面
している。従って、最大圧力領域４３２に通じるよう
に、かつ軸孔１４２，１４３に通じるように室形成壁面
１４１上に排気圧波及通路を形成するのは簡単である。
即ち、室形成壁面１４１は、軸孔１４２，１４３と最大
圧力領域４３２とを繋ぐ排気圧波及通路の形成箇所とし
て最適である。
【００３９】（１-4）ドライポンプ型のルーツポンプ１
１では、ポンプ室３９〜４３内での潤滑油Ｙの使用は行
われない。ポンプ室３９〜４３内に潤滑油Ｙを存在させ
たくないルーツポンプ１１は、本発明の適用対象として
好適である。
１では、ポンプ室３９〜４３内での潤滑油Ｙの使用は行
われない。ポンプ室３９〜４３内に潤滑油Ｙを存在させ
たくないルーツポンプ１１は、本発明の適用対象として
好適である。
【００４０】次に、図５（ａ），（ｂ）の第２の実施の
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が用いてある。最大圧力領域４３２に通じる排気
圧波及通路５７，５８は、リヤハウジング１４の壁内を
通って背圧室５３，５４に直接接続している。第２の実
施の形態においても第１の実施の形態における（１-1）
項、（１-4）項と同じ効果が得られる。
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が用いてある。最大圧力領域４３２に通じる排気
圧波及通路５７，５８は、リヤハウジング１４の壁内を
通って背圧室５３，５４に直接接続している。第２の実
施の形態においても第１の実施の形態における（１-1）
項、（１-4）項と同じ効果が得られる。
【００４１】次に、図６（ａ），（ｂ）の第３の実施の
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が用いてある。回転軸１９，２０の周面１９２，
２０２とリヤハウジング１４の軸孔１４２，１４３との
間には間隙Ｇ１がある。ロータ２７，３２に対する回転
軸１９，２０の接続部付近の周面１９２，２０２には環
状の間隙縮小用張り出し部１９３，２０３が形成されて
いる。排気圧波及溝５５，５６の先端部５５１，５６１
は、クランク形状に屈曲して間隙Ｇ１に接続している。
即ち、排気圧波及溝５５，５６は、間隙縮小用張り出し
部１９３，２０３の一部を横切るように伝って軸孔１４
２，１４３に達している。排気圧波及溝５５，５６と間
隙Ｇ１との間の通過断面積は、第１の実施の形態の場合
と変わらないようにしてある。
形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が用いてある。回転軸１９，２０の周面１９２，
２０２とリヤハウジング１４の軸孔１４２，１４３との
間には間隙Ｇ１がある。ロータ２７，３２に対する回転
軸１９，２０の接続部付近の周面１９２，２０２には環
状の間隙縮小用張り出し部１９３，２０３が形成されて
いる。排気圧波及溝５５，５６の先端部５５１，５６１
は、クランク形状に屈曲して間隙Ｇ１に接続している。
即ち、排気圧波及溝５５，５６は、間隙縮小用張り出し
部１９３，２０３の一部を横切るように伝って軸孔１４
２，１４３に達している。排気圧波及溝５５，５６と間
隙Ｇ１との間の通過断面積は、第１の実施の形態の場合
と変わらないようにしてある。
【００４２】間隙縮小用張り出し部１９３，２０３は、
周面１９２，２０２と軸孔１４２，１４３との間の間隙
を狭めて吸入領域４３１と間隙Ｇ１との間の通過断面積
を小さくする。そのため、吸入領域４３１から背圧室５
３，５４への圧力波及効果は、第１の実施の形態の場合
よりも低減し、最大圧力領域４３２から背圧室５３，５
４への圧力波及効果が第１の実施の形態の場合よりも一
層高まる。その結果、油存在室４７１，４８１側から背
圧室５３，５４側への潤滑油洩れを防止する効果が第１
の実施の形態の場合よりも高まり、ゴム製のリップリン
グ５１，５２のシール性が更に向上する。又、ゴム製の
リップリング５１，５２の耐久性が更に向上し、ゴム製
のリップリング５１，５２の寿命が更に長くなる。
周面１９２，２０２と軸孔１４２，１４３との間の間隙
を狭めて吸入領域４３１と間隙Ｇ１との間の通過断面積
を小さくする。そのため、吸入領域４３１から背圧室５
３，５４への圧力波及効果は、第１の実施の形態の場合
よりも低減し、最大圧力領域４３２から背圧室５３，５
４への圧力波及効果が第１の実施の形態の場合よりも一
層高まる。その結果、油存在室４７１，４８１側から背
圧室５３，５４側への潤滑油洩れを防止する効果が第１
の実施の形態の場合よりも高まり、ゴム製のリップリン
グ５１，５２のシール性が更に向上する。又、ゴム製の
リップリング５１，５２の耐久性が更に向上し、ゴム製
のリップリング５１，５２の寿命が更に長くなる。
【００４３】次に、図７（ａ），（ｂ）の第４の実施の
形態を説明する。第３の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が用いてある。ロータ２７，３２の端面２７１，
３２１とリヤハウジング１４の室形成壁面１４１との間
には間隙Ｇ２がある。回転軸１９，２０の周囲のロータ
２７，３２の端面２７１，３２１には環状の間隙縮小用
張り出し部２７２，３２２が形成されている。間隙縮小
用張り出し部２７２，３２２は、第３の実施の形態にお
ける間隙縮小用張り出し部１９３，１９４と同じ機能を
果たす。
形態を説明する。第３の実施の形態と同じ構成部には同
じ符号が用いてある。ロータ２７，３２の端面２７１，
３２１とリヤハウジング１４の室形成壁面１４１との間
には間隙Ｇ２がある。回転軸１９，２０の周囲のロータ
２７，３２の端面２７１，３２１には環状の間隙縮小用
張り出し部２７２，３２２が形成されている。間隙縮小
用張り出し部２７２，３２２は、第３の実施の形態にお
ける間隙縮小用張り出し部１９３，１９４と同じ機能を
果たす。
【００４４】本発明では以下のような実施の形態も可能
である。 （１）排出口１７１と背圧室５３，５４とを排気圧波及
通路で繋ぐこと。 （２）最終のポンプ室４３とギヤ収容室３３１との間に
一対のリップリングを並設すると共に、一対のリップリ
ングの間に背圧室を設け、最終のポンプ室４３の最大圧
力領域４３２と背圧室とを第２の実施の形態の排気圧波
及通路で繋ぐこと。 （３）単一のポンプ室を備えたルーツポンプに本発明を
適用すること。 （４）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。
である。 （１）排出口１７１と背圧室５３，５４とを排気圧波及
通路で繋ぐこと。 （２）最終のポンプ室４３とギヤ収容室３３１との間に
一対のリップリングを並設すると共に、一対のリップリ
ングの間に背圧室を設け、最終のポンプ室４３の最大圧
力領域４３２と背圧室とを第２の実施の形態の排気圧波
及通路で繋ぐこと。 （３）単一のポンプ室を備えたルーツポンプに本発明を
適用すること。 （４）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。
【００４５】
【発明の効果】以上詳述したように本発明では、吐出通
路に連通して前記吐出通路と略同等の圧力領域の圧力、
又は前記吐出通路の圧力をリップリングの背圧面に波及
させるための排気圧波及通路を真空ポンプの本体のハウ
ジングに形成したので、真空ポンプにおいて良好なシー
ル性能を確保しつつリップシールの長寿命化を達成でき
るという優れた効果を奏する。
路に連通して前記吐出通路と略同等の圧力領域の圧力、
又は前記吐出通路の圧力をリップリングの背圧面に波及
させるための排気圧波及通路を真空ポンプの本体のハウ
ジングに形成したので、真空ポンプにおいて良好なシー
ル性能を確保しつつリップシールの長寿命化を達成でき
るという優れた効果を奏する。
【図１】第１の実施の形態を示し、（ａ）は多段ルーツ
ポンプ１１全体の平断面図。（ｂ）はリップシール４５
側の要部平断面図。（ｃ）はリップシール４６側の要部
平断面図。
ポンプ１１全体の平断面図。（ｂ）はリップシール４５
側の要部平断面図。（ｃ）はリップシール４６側の要部
平断面図。
【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は図１
のＢ−Ｂ線断面図。
のＢ−Ｂ線断面図。
【図３】（ａ）は図１のＣ−Ｃ線断面図。（ｂ）は図１
のＤ−Ｄ線断面図。
のＤ−Ｄ線断面図。
【図４】（ａ）は図３（ｂ）のＥ−Ｅ線断面図。（ｂ）
は図３（ｂ）のＦ−Ｆ線断面図。
は図３（ｂ）のＦ−Ｆ線断面図。
【図５】第２の実施の形態を示し、（ａ）は回転軸１９
側の縦断面図。（ｂ）は回転軸２０側の縦断面図。
側の縦断面図。（ｂ）は回転軸２０側の縦断面図。
【図６】第３の実施の形態を示し、（ａ）は縦断面図。
（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線拡大断面図。
（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線拡大断面図。
【図７】第４の実施の形態を示し、（ａ）は縦断面図。
（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ線拡大断面図。
（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ線拡大断面図。
１１…真空ポンプである多段ルーツポンプ。１４…隔壁
となるリヤハウジング。１４１…室形成壁面。１４２，
１４３…軸孔。１９，２０…回転軸。１９２，２０２…
周面。１９３，２０３…間隙縮小用張り出し部。２３，
２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，３
２…ガス移送体となるロータ。２７２，３２２…間隙縮
小用張り出し部。３３１…油存在領域となるギヤ収容
室。３４，３５…歯車機構を構成する歯車。３７，３８
…軸受けとなるラジアルベアリング。４３…吐出通路に
連なるポンプ室。４３２…最大圧力領域。４７１，４８
１…油存在領域となる油存在室。５１，５２…ゴム製の
リップリング。５１１，５２１…受圧面。５１２，５２
２…背圧面。５５，５６…排気圧波及通路である排気圧
波及溝。５７，５８…排気圧波及通路。
となるリヤハウジング。１４１…室形成壁面。１４２，
１４３…軸孔。１９，２０…回転軸。１９２，２０２…
周面。１９３，２０３…間隙縮小用張り出し部。２３，
２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，３
２…ガス移送体となるロータ。２７２，３２２…間隙縮
小用張り出し部。３３１…油存在領域となるギヤ収容
室。３４，３５…歯車機構を構成する歯車。３７，３８
…軸受けとなるラジアルベアリング。４３…吐出通路に
連なるポンプ室。４３２…最大圧力領域。４７１，４８
１…油存在領域となる油存在室。５１，５２…ゴム製の
リップリング。５１１，５２１…受圧面。５１２，５２
２…背圧面。５５，５６…排気圧波及通路である排気圧
波及溝。５７，５８…排気圧波及通路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｃ 29/00 Ｆ０４Ｃ 29/00 Ｇ (72)発明者 井田 昌宏 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 (72)発明者 川口 真広 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Ｆターム(参考） 3H029 AA03 AA06 AA09 AA18 AB06 BB16 BB44 CC04 CC08 CC16 CC20 CC22
Claims (8)
- 【請求項１】回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス
移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを
移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、 真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガスを吐出
する吐出通路と、 前記吐出通路に連なるポンプ室と油存在領域との間の前
記回転軸の周面に摺接するように配置された軸シール用
のリップリングと、 前記油存在領域側の圧力を受ける前記リップリングの受
圧面とは反対側の背圧面に対し、前記吐出通路に連通し
て前記吐出通路と略同等の圧力領域の圧力、又は前記吐
出通路の圧力を波及させるための排気圧波及通路とを備
え、 真空ポンプの本体のハウジングに前記排気圧波及通路を
形成した真空ポンプにおける軸封構造。 - 【請求項２】前記吐出通路と略同等の圧力領域は、前記
吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域であり、前
記排気圧波及通路は、前記最大圧力領域の圧力を前記リ
ップリングの背圧面に波及させる請求項１に記載の真空
ポンプにおける軸封構造。 - 【請求項３】前記排気圧波及通路を形成する前記ハウジ
ングは、前記油存在領域と前記吐出通路に連なるポンプ
室とを隣接させ、かつ前記吐出通路に連なるポンプ室側
から前記油存在領域に達するように前記回転軸を貫通さ
せる隔壁である請求項１及び請求項２のいずれか１項に
記載の真空ポンプにおける軸封構造。 - 【請求項４】前記隔壁は、前記吐出通路に連なるポンプ
室の形成壁面の一部となる室形成壁面を備えており、前
記排気圧波及通路は、前記室形成壁面に凹設された排気
圧波及溝であり、前記排気圧波及溝は、前記回転軸を貫
通させるように前記隔壁に貫設された軸孔に達している
請求項３に記載の真空ポンプにおける軸封構造。 - 【請求項５】前記回転軸の周面と前記軸孔との間の間隙
を狭めるための間隙縮小用張り出し部を前記回転軸の周
面に設け、前記排気圧波及溝は、前記間隙縮小用張り出
し部の一部を伝って前記軸孔に達するようにした請求項
４に記載の真空ポンプにおける軸封構造。 - 【請求項６】前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能
に支持するための軸受けを収容する領域である請求項１
乃至請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプにおけ
る軸封構造。 - 【請求項７】前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平
行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置
し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互い
に噛み合った状態の複数のロータを１組として収容する
複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えたルーツポ
ンプである請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載
の真空ポンプにおける軸封構造。 - 【請求項８】複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同
期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収
容する領域である請求項７に記載の真空ポンプにおける
軸封構造。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP2001015350A JP2002221177A (ja) | 2001-01-24 | 2001-01-24 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| US10/011,099 US6554594B2 (en) | 2001-01-24 | 2001-12-07 | Shaft seal structure for vacuum pump |
| EP01129965A EP1227246B1 (en) | 2001-01-24 | 2001-12-17 | Shaft seal structure for vacuum pump |
| DE60135627T DE60135627D1 (de) | 2001-01-24 | 2001-12-17 | Wellenabdichtung für Vakuumpumpen |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001015350A JP2002221177A (ja) | 2001-01-24 | 2001-01-24 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
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|---|---|
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ID=18881914
Family Applications (1)
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2001
- 2001-01-24 JP JP2001015350A patent/JP2002221177A/ja active Pending
- 2001-12-07 US US10/011,099 patent/US6554594B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-17 EP EP01129965A patent/EP1227246B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-17 DE DE60135627T patent/DE60135627D1/de not_active Expired - Lifetime
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| EP1227246A2 (en) | 2002-07-31 |
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| US6554594B2 (en) | 2003-04-29 |
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