JPH01227037A - 漏れ試験機用容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、トレースガスが供給される被試験物を真空
排気された密閉容器内に置き、前記被試験物より容器内
に漏れるトレースガスをセンサによって検出する漏れ試
験機に係り、特にその容器の改良に関するものである。

〔従来の技術〕

従来から、圧力容器等の気密性を検査するために用いら
れているこの種の漏れ試験機としては種々知られており
、その−例として特開昭４９−４５８６号公報、特開昭
６０−１７８３３２号公報等がある。これらは、容器と
この容器内に配量された被試験物との各内部を真空排気
して、前記被試験物の内部または外部に供給したトレー
スガスが、該被試験物を介してその外部または内部に漏
れるのをリークデテクタで検出するようにしたものであ
る。

第３図はこのような漏れ試験機の従来例を示すもので、
１は被試験物２を収納する密閉型の容器で、この容器１
は粗引ポンプ３によって真空排気され、また、掃気時に
は空気源４よシ清浄な空気が清浄器５を介して供給され
前記ポンプ３によって排気されるように構成されている
。前記容器１内に収納される被試験物２はスタンドオフ
６によって保持されることにより、容器内面との間に空
間７を形成しており、トレースガス供給源８よシヘリウ
ム等のトレースガスＧがボートシール９を通って供給さ
れる。この状態において被試験物２かもトレースガスＧ
が容器１内に漏れていた場合、その漏れガスは検出用ポ
ンプ１０によりトレースガスセンサ１１に導かれて検出
され、漏れ量が検出器１２によって記録もしくは表示さ
れる。

なお、１３〜１８は接続管、１９Ａ〜１９Ｆは切換弁、
２０はダクト、２１はサージタンク、２２はボートシー
ルである。

漏れの検出に際しては、先ず被試験物２を容器内に収納
して該容器１を密閉すると共にボートシール９．２２の
内端を前記被試験物２にそれぞれ接続する。次に、粗引
ポンプ３によって容器１を排気し所定圧になるまで排気
すると、該ポンプ３を停止する一方、トレースガス供給
源８よブトレースガスＧを被試験物２に供給し、容器１
を検出用ポンプ１０によって真空引きする。この状態で
被試験物２より漏れるトレースガスＧは上述した通り、
接続管１４を経てトレースガスセンサ１１に導かれ、こ
こで検出される。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、従来の容器１は剛体で製作され、その容積が
一定とされる。また、容器１は被試験物２に合わせて製
作されるため、被試験物２が変ると、その大きさに合っ
た容器を使用する必要がある。その場合、大小いずれの
被試験物２に対しても便用し得るよう容器１を大きく形
成して容器の共通化を計ることは可能であるが、そうす
ると被試験物２の大きさにより、検出時間および検出感
度が変化し、小さい被試験物の場合検出時間が長く、検
出感度が低下するという問題があった。

すなわち、被試験物２が小さく、該被試験物２と容器１
との間に形成される空間Ｔが大きいときは、被試験物２
から容器１内に漏れたトレースガスＧの分子が広範囲に
拡散するため、ガス濃度が低下し、センサ１１の感度が
下ると共に漏れガスがセンサー１１に到達するまでの時
間が長くなるからである。

したがって、この発明は上述したような問題点を解決し
、簡単な構成で、被試験物の大きさに関係なく容器と被
試験物との間の空間を略一定の体積とすることができ、
検査時間および検出感度を略一定に維持し得るようＫし
た漏れ試験機用容器を提供することを目的とするもので
ある。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は上記目的を達成するために、密閉排気された
容器内に被試験物を収納し、この被試験物にトレースガ
スを供給し、該被試験物よυ容器内に漏れたトレースガ
スをセンサによって検出するようにした漏れ試験機にお
いて、前記容器を可撓性材料によって形成し、その内面
に真空排気時に被試験物外表面と接触し該外表面との間
に一定の空間を形成するスタンドオフを一体に設けたも
のである。

〔作用〕

この発明において容器は可撓性を有するため真空排気に
よって収縮し、スタンドオフが被試験物の外表面に密接
する。したがって、容器と被試験物との間に形成される
空間の体積は被試験物の大きさに拘わらす略一定となる
。

〔実施例〕

以下、この発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説
明する。

第１図はこの発明に係る漏れ試験機用容器の一実施例を
示す真空排気前の断面図、第２図は同容器の真空排気後
の断面図である。なお、図中第３図と同一構成部品、部
分に対しては同一符号を以て示し、その説明を省略する
。これらの図において、被試験物２を収納する容器３０
はゴム等の可撓性材料によって一端が開放する袋状に形
成され、その開口端３０ｍが外ケース３１の開口部３２
の内側周縁部に接合固定されている。前記外ケース３１
は剛体で、外部と連通する連通孔３３を有し、前記開口
部３２に蓋体３４がＯＩＪング３５を介して嵌合される
ことにより、前記容器３０が機密に密閉される。前記蓋
体３４の内側面には前記容器３０内に収納される被試験
物２が配設され、また該蓋体３４には接続管１３　、．
１５が接続されると共にボートシール９．２２が貫通さ
れている。そして、容器３０の内面には真空排気時に被
試験物２の外表面に接触するスタンドオフ６が一体に突
設されている。

なお、その他の構成は第３図と同様である。

このような構成からなる漏れ試験機用容器３０において
、被試験物２を蓋体３４の内側面にセットして容器３０
内に押入し、前記蓋体３４を外ケース３１の開口部３２
に嵌合し、容器３０を密閉する。との時、容器３０と被
試験物２との間には第１図に示すように大きな空間７が
形成されている。この状態において、被試験物２Ｋ）レ
ースガスＧを供給すると同時に前記容器３０を真空排気
すると、圧力低下に伴い容器３０が第２図に示すように
収縮してスタンドオフ６が被試験物２の外表面に密接す
る。すなわち、容器３０は可変容積型の容器を構成する
もので、したがって、被試験物２の大きさが変っても、
それに応じた大きさの容器に交換する必要がなく、また
この状態での容器３０と被試験物２との間の空間Ｔ′は
著しく減少してその体積が被試験物２の大きさに拘わら
す略一定となるため、小さま被試験物２の場合でも、前
記空間７′に漏れるトレースガスＧのガス濃度が下がら
ず、センサの感度を略一定に維持し、またセンサにトレ
ースガスＧが到達する時間も長くならず、略一定にする
ことができるものである。

なお、容器３０のスタンドオフ６の断面形状は矩形に限
らず種々の形状に変更することができ、またその先端面
に、耐摩耗性材料からなるチップ３８を設けておくと、
スタンドオフ６、換ＭｆｔＬば容器３０の耐久性を向上
させることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明に係る漏れ試験機用容器は
、可撓性材料によって形成されその内面にスタンドオフ
を一体に形成したもので、容器内部に被試験物を収納し
て密閉し、該容器を真空排気によって収縮させ、前記ス
タンドオフを被試験物外表面に接触させるように構成し
たので、被試験物の大小に拘わらず容器と被試験物との
間の空間体積を略一定にすることができ、したがって特
に小さな被試験物の漏れ検出時においても検出感度が良
好で短時間に検出することができ、その上容積可変型で
あるため容器変換の必要もないため、試験機の取扱いが
簡単かつ容易で、−ｍ迅速な検出を可能にする。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る漏れ試験機用容器の一実施例を
示す排気前の断面図、 第２図は同容器の排気後の断面図、 第３図は漏れ試験機の従来例を示す構成図である。 １・・・・容器、２・・・・被試験物、３・・・・粗引
ポンプ、４・・・・空気源、６・−・番スタンドオフ、 １１・・・・トレースガスセンサ、 ３０・・・・容器、３１・・・・外ケース、３４・・・
・蓋体、 ３８・・−・耐摩耗性材料からなるチップ、Ｇ争・舎・
トレースガス。 特許出願人　ヤ　マ　ハ　株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 密閉排気された容器内に被試験物を収納し、この被試験
   物にトレースガスを供給し、該被試験物より前記容器内
   に洩れたトレースガスをセンサによつて検出するように
   した漏れ試験機において、前記容器は可撓性材料によつ
   て形成されることにより可変容積型とされ、内面には真
   空排気時に被試験物外表面と接触し該外表面との間に一
   定の空間を形成するスタンドオフが一体に設けられてい
   ることを特徴とする漏れ試験機用容器。