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JPH01143211A - ウエハーに対する保護テープの貼付け切り抜き方法および装置 - Google Patents

ウエハーに対する保護テープの貼付け切り抜き方法および装置

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Publication number
JPH01143211A
JPH01143211A JP62301189A JP30118987A JPH01143211A JP H01143211 A JPH01143211 A JP H01143211A JP 62301189 A JP62301189 A JP 62301189A JP 30118987 A JP30118987 A JP 30118987A JP H01143211 A JPH01143211 A JP H01143211A
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JP
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wafer
cutter
tape
protective tape
roller
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JP62301189A
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Yoshitaka Yoshimura
善孝 吉村
Yasuhiro Oura
大浦　靖弘
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TAKATORI HAITETSUKU KK
TAKATORI KK
Takatori Corp
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TAKATORI HAITETSUKU KK
TAKATORI KK
Takatori Corp
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Publication date
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Priority to US07/268,965 priority patent/US4925515A/en
Priority to IT4856888A priority patent/IT1224571B/it
Priority to DE3839690A priority patent/DE3839690A1/de
Publication of JPH01143211A publication Critical patent/JPH01143211A/ja
Publication of JPH0583170B2 publication Critical patent/JPH0583170B2/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、集積回路等の製造工程中におけるウェハー
上への保護テープの貼付は及び切り扱き方法並びに装置
に関する゛しのである。
〈従来の技術〉 集積回路は半導体ウェハーの表面にトランジスター、ダ
イオード等の回路を高密度に構成した後、各素子に切断
する。
この素子の小型化のためにはウェハーをできるだけ薄ク
シなければならない。
このため、既に回路構成の工程が終わっているウェハー
の裏面を水流を使用して研摩する等の作業を行なうが、
その前に回路構成面に保護テープを貼付し、この貼付し
た保護テープをウェハーの外周に沿って切断する工程が
必要であるが、ウェハーに対づる保護テープの貼付は種
々の方法が実施されている。
例えば巻軸にロール状に巻いた貼着テープからなる保護
テープを、その粘着面を下にして展張し、この保護テー
プの下部に位置決め後のウェハーを搬送し、このウェハ
ー上にテープを押し付けてテープを貼付後、リング状の
カッターでテープをウェハーに沿って打ち抜き、打ち抜
き後のテープは巻取軸で巻取り、テープを貼付されたウ
ェハーは適宜搬送するようにしたものがある。
〈発明が解決しようとする問題点〉 上記のような従来の保護テープの貼付方法は保護テープ
の下面前面をウェハーに押圧し、その後貼付ローラーで
貼付するのでウェハーと保護テープの間に気泡が入り易
く、又カッターはウェハーの外周に沿うようなリング状
であるため極めて正確な形状にする必要があるから、ウ
ェハーの寸法が変更になるとカッターを取りかえなけれ
ばならない等の問題点があった。
く問題点を解決するための手段〉 この発明は上記のような従来の保護テープの貼付方法や
その装置の問題点を解決するためになされたもので、ウ
ェハーを支持台の上面に支持して固定した状態で、巻軸
から引き出した保護テープを、貼付ローラーによってウ
ェハー上に貼付すると共に、該貼付ローラーと共に移動
するカッターによって、ウェハーのオリエンテーション
フラットに沿って保護テープを切断し、次いで上方に位
置しているメインカッターを下降させて旋回させること
により、該メインカッターにより保護テープをウェハー
の円周状の周縁に沿って切断し、その後切り抜かれた後
の保護テープは適宜の巻取軸に巻取ることを特徴とする
ウェハーに対する保護テープの貼付は切り抜き方法及び
この方法を実施する装置を提供するものである。
〈実施例〉 第１図ないし第５図はこの発明の方法を実施する装置の
一例を示すものである。
これらの図において、１は機台であり、その右端上にロ
ーダ−側のウェハーカセット２、左端上にアンローダ側
のウェハーカセット３がある。
該機台１の中間部上にはウェハー移送台４があり、この
移送台４と前記ローダ側カセット２間及び移送台４と前
記アンロータ側ウェハーカセット３の間にはそれぞれ左
右一対の無端搬送ベルト５．６を配置しである。
又、各カセット２．３は適宜の昇降機構により、ウェハ
ー１枚分上昇又は下降するようにしてカセット２内の最
下端にあるベルト５上のウェハー８が、該ベルト５の駆
動により前記澱送台４上に送り出されると、カセット２
が１ピツチ下降してカセット２内の次のウェハー８がベ
ルト５上に載るようにし、又カセット３はベルト６によ
り搬送されてきたウェハー８がカセット３内に送り込ま
れると、１ピツチ上昇して次のウェハー８の受は入れ体
勢となるようになっている。
１１はカセット２の後方に設けたスタンド１２上に装着
した保護テープの巻軸で、この巻軸１１にセパレーター
１３と共に保護テープ１４がロール巻きされている。
１５は前記機台１の後方上に設けたフレームであって、
このフレーム１５のスタンド１２側には、第１駆動ロー
ラー１６とこのローラーに圧着する従動ローラー１７を
ＩＩし、又、該スタンド１２の下部にはセパレーター１
３の巻軸１８を設けて、橢台１上のモーター９によりベ
ルト伝動等を介して該ローラー１６と巻軸１８を駆動す
ることにより前記巻軸１１から保護テープ１４を引き出
すと共にセパレーター１３は巻軸１８に巻き取るように
する。
２１は貼付ローラーで、このローラー２１はシリンダ２
２により駆動される昇降枠２３に装着され、該シリンダ
ー２２はモーター２４により駆動される走行べルト２５
により移動する枠２６に固定されたもので、その下部に
はシリンダ２７により昇降する昇降枠２８に装着された
回転不可の昇降ローラー２９が対向している。
３０は前記枠２Ｇに固定したＺ形のブラケットで、この
ブラケット３０にサブカッター１９の取付板２０を固定
し、この取付板２０にシリンダー３１を固定して、この
シリンダー３１により昇降するサブカッター１９を下向
きに設ける。
該取付板２０には複数箇所に取付孔３２を設けて、この
孔の任意のものを利用してブラケット３０に対する取付
板２０の取り付は位置を変更することによりサブカッタ
ー１９の位置を任意に変更できる。
３３はチャックでで、シリンダ３４により昇降し、モー
ター３５により駆動される走行ベルト３６によって左右
方向に移動可能な移動体３７に取り付けられている。
該移動体３７にはチャック３３の直下に位置するテープ
引き出しローラー３８を取り付けである。
従ってチャック３３と引き出しローラー３８とは一体と
なって左右に移動できる。
又、該ローラー３８は第４図のように、ワンウェイクラ
ッチ３９により第１図に向って左方向の移動時には回転
せず、右方向の移動時にのみラックピニオン４０により
反時計方向に回転する。
前記フレーム１５上の支持板１０の正面中央には、第４
図のようにシリンダ４１によりガイド４２に沿って昇降
する昇降台４３を設け、この台４３上にはモーター４５
によりギヤ４６を介して回転する回転枠４７を設け、こ
の回転枠４７にはガイド枠４８に沿って左右方向に移動
するカッター取付部材４９を設け、この取付部材４９に
メインカッター５０を固定するが、該取付部材４９はシ
リンダー５１とバネ５２により左右方向の移動が規制さ
れる。
５５は切断後のテープ１４′の巻取軸で、その下方には
モーター５６で駆動される第２駆動ローラー５９とこれ
に接触する従動ローラー５８が配置され、更にその下方
にはガイドローラー５９を設ける。
前記の構造により巻軸１１から引き出した保護テープ１
４は第１駆動ローラー１６と従動ローラー１７の部分で
セパレーター１３と分離し、第１駆動ローラー１６、貼
付ローラー２１の下部を経て、テープ引き出しローラー
３８の上を通り、ガイドローラー５９を経てローラー５
７．５８間から巻取軸５５に巻取られる。
前記のウェハー移送台４は左右一対のガイドレール６１
に沿ってシリンダー６０によりセット２．３の中心を結
ぶ線の位置から前記メインカッター５０の旋回範囲の下
方へと移動するようになっている。
この移送台４は第４図のように真空吸引口６２を有する
真空吸引式で、その上面にはウェハー８の外側縁下部に
沿う溝６３が形成しである。
〈作用〉 次に上記実施例の作用を説明すれば、第５図に示すスタ
ート位置において、予め第２図のようにローダ−側のウ
ェハーカセット２からベルト５によって移送台４上に送
り出され、この部分に設けた公知の位置決め装置（図示
省略）によりオリエンテーションフラット（以下オリフ
ラと略称する）７を位置決めされた後、該ウェハー８が
真空吸引によって移送台４上に固定される。
上記のようにウェハー８を固定した移送台４はメインカ
ッター５０の取付部の下方に移動して停止する。
その後、チャック３３がシリンダー３４の作動で下降し
て、保護テープ１４を、前記引き出しローラー３８上に
固定した後、モーター３５によるベルト３６の駆動で移
動体３７が前方へ移動して第６図のようにテープ１４を
移送台４上のウェハー８上に展張する。
次にシリンダー２２の作用により昇降枠２３が下がり、
貼付ローラー２１がテープ１４を押し下げた後、モータ
ー２４によるベルト２５の駆動で貼付ローラー２１がウ
ェハー８上を回転走行して第７図のようにテープ１４を
ウェハー８上に貼付けする。
又、このときサブカッター１９も共に走行するから、シ
リンダー３１の作用でサブカッター１９を第７図の鎖線
のように下降させた後走行させると、該ザブカッター１
９が、ウェハー８のオリフラ７に泊って第１１図のａの
ようにテープ１４をカットする。
しかし、上記のように貼付ローラー２１がテープ１４を
貼付した後、元の位置に後退する際にシリンダー３１を
作用させてサブカッター１９を下げて戻り工程でテープ
１４をオリフラ７に沿って切断してもよい。
上記のように貼付ローラー２１が保護テープ１４をウェ
ハー８上に貼付して一旦停止している状態において、シ
リンダー４１が働き昇降台４３が下降して、これと共に
カッター取付部材４９が下降し、メインカッター５０が
ウェハー８の外周に沿うようにテープ１４に切り込む。
同時にシリンダー５１の作動でカッター５０がウェハー
の周面に接するようにバネ５２により付勢される。
次にモーター４５が回転枠４７を駆動してカッター５０
をウェハー８の外周に沿って旋回させ、第１１図のｂの
ようにテープ１４をウェハー８と同形に切断する。
切断後はシリンダー４１とモーター２４の作用により第
９図のように貼付ローラー２１やサブカッター１９が元
の位置に戻る。
次にシリンダー３４の働きでチャック３３が上昇してテ
ープ１４を解放した後、前記モーター３５によるベルト
３６の駆動により移動体３７が戻り、これに取り付けた
チャック３３と引き出しローラー３８も最初の位置に戻
り、第１０図のように切抜き後のテープ１４を浮かせる
。
上記のように保護テープ１４を貼付され、且つ周縁に沿
ってテープ１４を切断したウェハー８は、移送台４と共
に第２図実線のようにベルト５．６間に戻り停止する。
次にウェハー８の真空吸引が解除され、適宜の手段によ
りウェハー８がベルト６上に送り出され、同ベルト６に
よりアンローダ−側のカセット３内に供給されて１工程
が終了する。
なお、ウェハー８の寸法が変更になったときは、取付板
２０の複数の取付孔３２を利用して、ブラケット３０に
対するサブカッター１９の取り付は位置を変更し、又メ
インカッターの取付位置を変更するにはブラケット６４
の複数の取付孔と更にガイド枠４８の複数の取付孔を利
用してメインカッターの取付位置を変更してメインカッ
ター５０の旋回半径を変更することによりカッターを取
り替えることなく容易に対応できる。
又、実施例ではサブカッター１９及びメインカッター５
０として切刃を有するナイフ状のものを用いたが、その
他に超音波カッター或いは発熱により保護テープを溶融
切断するヒーター式カッター等も利用できる。
又、各シリンダーは、一般にエアシリンダーを用いると
よいが、エアシリンダーに替えて、電磁石等を用いても
よい部分もある。
〈効果〉 この発明は上記のように、移送台上のウェハーの上方に
チャックと引き出しローラーによって保護テープを把持
して引き出すことによりテープを展張した後に貼付ロー
ラーを移動させてウェハーの端からテープを押圧して貼
付していくのでウェハーとテープの間に気泡が挟み込ま
れるおそれがない。
又、ウェハーに設けたオリフラの部分では貼付ローラー
と共に直線的に移動するサブカッターによりテープが正
確に切断され、続いてウェハーの円形の外周の中心と同
心の円を描いてメインカッターが旋回しつつテープに切
り込んでウェハーの外周に沿ってテープを正確に切断す
るものであるから、ウェハーの寸法が変わればサブカッ
ターの取り付は位置とメインカッターの旋回半径を変・
えるだけでよいのでカッターを替えることなくウェハー
の寸法の変更に容易に対応できる等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の実施例を示す正面図、第２図は同平
面図、第３図は貼付ローラ一部とサブカッタ一部の縦断
側面図、第４図は移送台とメインカッタ一部分の縦断側
面図、第５図ないし第１０図は作用を示す各工程別の正
面図、第１１図はサブカッターとメインカッターで保護
テープが切断されていく様子を示す平面図である。 ４・・・ウェハー移送台　　　７・・・オリフラ８・・
・ウェハー　　　　　　１４・・・保護テープ１９・・
・サブカッター　　　　２１・・・貼付ローラー３３・
・・チャック　　　　　　３９・・・引き出しローラー
５０・・・メインカッター 出願人代理人　　弁理士　　和　１）昭第３図 し、−１ □

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ウェハーを支持台の上面に支持して固定した状態
    で巻軸から引き出した保護テープを、貼付ローラーによ
    ってウェハー上に貼付すると共に、該貼付ローラーと共
    に移動するサブカッターによって、ウェハーのオリエン
    テーションフラットに沿って保護テープを切断し、次い
    で上方に位置しているメインカッターを下降させて旋回
    させることにより、該メインカッターにより保護テープ
    をウェハーの円周状の周縁に沿つて切断し、切り抜き後
    の保護テープは適宜の巻取軸に巻取ることを特徴とする
    ウェハーに対する保護テープの貼付け切り抜き方法。
  2. （２）ローター側ウェハーカセットから送り込まれたウ
    ェハーを支持してメインカッターの作動範囲の下方まで
    移送するウェハー移送台と、巻軸から引き出した保護テ
    ープを該移送台上のウェハー上に圧着しながら移動する
    貼付ローラーと、該貼付ローラーと共に移動して保護テ
    ープをウェハーのオリエンテーシヨンフラットに沿って
    切断するサブカッターと、保護テープを貼付されて停止
    中のウェハーの上方にあって、ウェハーの外側に沿って
    保護フィルムを切断するメインカッターと、切り抜き後
    の保護テープの巻取り手段からなることを特徴とするウ
    ェハーに対する保護テープの貼付け切り抜き装置。
JP62301189A 1987-11-27 1987-11-27 ウエハーに対する保護テープの貼付け切り抜き方法および装置 Granted JPH01143211A (ja)

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JP62301189A JPH01143211A (ja) 1987-11-27 1987-11-27 ウエハーに対する保護テープの貼付け切り抜き方法および装置
US07/268,965 US4925515A (en) 1987-11-27 1988-11-09 Method and apparatus for applying a protective tape on a wafer and cutting it out to shape
IT4856888A IT1224571B (it) 1987-11-27 1988-11-17 Procedimento ed apparecchio per applicare un nastro protettivo su materiale a disco sottile e per ritagliarlo in forma
DE3839690A DE3839690A1 (de) 1987-11-27 1988-11-24 Verfahren und vorrichtung zum aufbringen eines schutzbandes auf eine halbleiterscheibe und zum formgerechten ausschneiden desselben

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JP62301189A JPH01143211A (ja) 1987-11-27 1987-11-27 ウエハーに対する保護テープの貼付け切り抜き方法および装置

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JPH0583170B2 JPH0583170B2 (ja) 1993-11-25

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