JPH03127849A - ウエハの移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路の基板となるシリコンウェハ
のような円形などの任意形状のウェハの上部に粘着テー
プを貼り付け、このテープをウェハの外周に沿ってカッ
トしたのち、ウェハ上に貼着された部分以外のテープを
剥離する装置のようなウェハの処理装置におけるウェハ
の移送装置に関する。

〔従来の技術］ 従来のウェハと粘着テープの貼着装置として、例えば特
開昭６４−４３４５８号公報により開示されているもの
は、巾の広い粘着テープをウェハに貼着して、この貼着
したテープをウェハの周縁に沿ってカントするものであ
る。

この公知技術におけるウェハの移送装置はカセット内に
収納した多数の処理前のウェハをウェハ取出用無端ベル
トにて一枚づつ取出し、このウェハを搬送ヘルドにより
処理部へ搬送し、この処理部において、粘着テープの貼
着やカントなどの処理を施し、処理ずみのウェハは再び
搬送ベルトにより搬送され、ウェハ挿入用無端ヘルドに
よりカセット内に挿入される。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハ処理装置におけるウェハの移送装置は上記
のように全てに無端搬送ベルトを用いるものが多く、こ
のため、ウェハの処理部において、ヘルドが処理の邪魔
にならないようにするために、処理台にヘルドの入る溝
を設けたり、ヘルドを取付けたフレームを昇降させるよ
うにするなどの複雑な機構が必要であるなどの問題があ
った。

この発明の課題は上記のような従来技術の問題点を解決
して無端ベルトの利用を最小限とするかまたは無端ベル
トを省略したウェハの移送装置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題を解決するために、この発明ばカセット内の
ウェハを一枚づつ取出すウェハ取出用無端ベルトと、こ
のウェハ取出用無端ヘルドにより取出したウェハをウェ
ハ処理部の一側方に設けた真空吸着式の第１昇降台上に
載せるウェハ搬入用無端ベルトを設け、上記処理部の他
側には、処理ずみのウェハを搬出するウェハ搬出用無端
ベルトと、このウェハ搬出用無端ベルトで搬出されてき
た処理ずみのウェハをアンロード部のカセット内に一枚
づつ挿入するウェハ挿入用無端ヘルドを設け、前記第１
昇降台と前記処理部に設けた真空吸着式の第２の昇降台
の前方の間で往復する移動台には、この移動台の移動方
向と直交する方向に進退して第１の昇降台上のウェハを
第２の昇降台上に移し替える真空吸着板を設けたウェハ
の移送装置を提供する。

また、上記第２の昇降台とウェハ搬出用無端ベルトの間
に第３の昇降台を設け、前記第１の昇降台と前記処理部
に設けた真空吸着式の第２の昇降台の前方の間で往復す
る第１の移動台には、この移動台の移動方向と直交する
方向に進退して第１の昇降台上のウェハを処理部第２の
昇降台上に移し替える真空吸着板を設け、さらに第２の
移動台にも、この移動台の移動方向と直交する方向に進
退して第２の昇降台上の処理ずみのウェハを第３の昇降
台上に移し替える真空吸着板を設けたウェハの移送装置
やウェハ処理装置のロード部とアンロード部の間で移動
する移動台を設け、この移動台上には旋回台を設け、こ
の旋回台上には、同旋回台の旋回によりロード部および
処理部ならびにアンロード部に自在に向けられる進退部
材を設け、この進退部材には、真空吸着によりロード部
のカセットから取出したウェハを処理部に移送し、処理
ずみのウェハを処理部からアンロード部のカセットへ移
送する真空吸着板を設けたウェハの移送装置も提供する
。

〔作用〕 この発明は上記の構成であり、第１の発明ではロード部
のカセットに収納した多数のウェハは、ウェハ取出用無
端ベルトにより最下端のものから一枚づつ取出されてウ
ェハ搬入用無端ベルト上に移される。

上記のようにウェハ搬入用無端ベルト上に移されたウェ
ハは、このベルトの駆動により下降位置の第１の昇降台
上へきて停止する。

ついで、第１の昇降台が上昇するのでベルト上のウェハ
が昇降台上に移され、真空吸着により台上に固定される
。

つぎに第１の移動台上の真空吸着板が第１の昇降台上の
ウェハの下側に進出し、ついで第１の昇降台が若干下降
して真空吸着板上にウェハを載せると同時に真空吸引を
解除し、真空吸着板がウェハを吸着する。

ウェハを吸着した真空吸着板はその位置のままで、前記
移動台が処理部の前方に移動して停止し、真空吸着板に
吸着されているウェハを下降位置の第２の昇降台上に位
置させる。

つぎに第２の昇降台が若干上昇し、この第２の昇降台上
にウェハを真空吸着させたのち、真空吸着板は真空吸引
を解除して移動台と共に最初の位置に戻る。

上記の処理部に残されたウェハには粘着テープの貼着や
、貼着された粘着テープのカントなどの処理が施される
。

上記のように処理部によりウェハに対する処理が終ると
、ウェハ搬出用無端ヘルドが駆動されて処理ずみのウェ
ハをウェハ挿入用無端ベルト上に移送して停止し、最後
にウェハ挿入用無端ベルトが駆動されてカセット内に処
理ずみのウェハを挿入する。

上記の操作の繰返しによりロード部のカセット内のウェ
ハを一枚づつ取出して処理したのち、アンロード部のカ
セットに一枚づつ挿入していく。

第２の発明の場合はウェハに対する粘着テープ貼着など
の処理や処理が行われるまでの工程は前記第１の発明と
同じであるが、それ以後が異なる。

すなわち、ウェハ上に粘着テープが貼着され、カントさ
れたのち、処理部の前方に移動してきた第２の移動台上
の真空吸着板が処理部の方に進出して処理ずみのウェハ
を真空吸着すると同時に第２の昇降台の真空吸着が解除
され、第２移動台がウェハを吸着した真空吸着板ととも
に移動して第３の昇降台上にウェハを移送し、上昇した
第３の昇降台上にウェハを載せて真空吸着させると同時
に真空吸着を解除した真空吸着板は第３の移動台と共に
最初の位置に戻る。

一方、処理ずみのウェハを吸着した第３の昇降台は若干
下降してウェハ搬出用無端ヘルド上にウェハを載せ真空
吸着を解除する。

その後は前記の第１の発明装置と同じである。

第３の発明においては搬送用の無端ベルトは全く用いて
いないが、移動台上に旋回台を設けて、真空吸着板を旋
回および進退自在としであるから、真空吸着板をロード
部に向けて進退させ、カセットからウェハを取出す。

ついで、真空吸着板を処理部に向けてウェハを供給して
前記第１、第２の発明と同様の処理を施す。

処理が終ると真空吸着板を処理部へ向けて進退させて処
理ずみのウェハを取出す。

つぎに、真空吸着板をアンロード部に向けて進退させ、
アンロード部のカセ・７ト内に処理ずみのウェハを挿入
する。

− 上記の操作の繰返しによりロード部のカセット内のウェ
ハを一枚づつ取出して処理したのち、アンロード部のカ
セットに一枚づつ挿入していく。

〔実施例］ 以下にこの発明の装置の一例としてのウェハとテープを
貼り合わせる装置について説明する。

第１図、第２図の第１実施例において、１はロード部で
、カセット２を載せる台１４を有する。

この台１４上のカセ・ｙト２には多数のウェハ３が素子
形成面を上にして適当間隔で積み上げられ、ウェハ取出
用無端ベルト４．５．６によりカセット２内の最下位の
ウェハ３をガイド台７上に送り込む。ガイド台７は第１
図のように複数に分割され、その間に前記ベルト６と、
このヘルド６に直交する方向のウェハ搬入用無端ベルト
８．９を配置し、かつ複数のガイドバー１０を固定しで
ある。

上記ベルト８は第２図に示すように複数のプーリにより
屈曲されてベルト６と干渉しないようにし、ベルト６に
より台７上ヘウエハ３が送り込まれてベルト６が停止し
、ベルト８．９がモーク１１および伝動ベルト１２によ
り第２図の矢印の方向に駆動されるとウェハ３はつぎの
第１の昇降台１５に送り込まれる。

前記台１４は図示省略しである昇降手段により昇降する
もので、ウェハ３が１枚取り出される毎にカセット２を
下げてつぎのウェハ３をベルト４上に載せる。

上記第１の昇降台１５は、第２図に示すエアシリンダ１
６で昇降させ、その上面に吸着用の溝または孔を設け、
これを真空吸引装置に連通させて、台１５上のウェハを
吸着固定するものである。

１９は昇降台１５の横に設けたウェハ位置決め板で、半
円形で、ウェハ３の外周に沿う弧状突縁２０を有し、ベ
ルト９の搬送側が嵌入する一対の切欠２１を設けである
。

また、上記昇降台１５をウェハアライメント用の旋回台
として用いる場合、ステンピングモータで台１５を旋回
させるようにし、検出器によりウェハのオリフラが所定
の位置になったときモータを停止させるようにする。

Ａは処理部で、図示例ではステージ１７上のウェハ３上
に粘着テープを貼着したのち、テープカン）・手段１８
によりウェハ３上に貼着されたテープをカントするもの
である。

また、第２図の２２は機台で、この機台２２上の機箱２
３には、粘着テープ２５の繰出リール２６と、同巻取り
−ル２７を設け、リール２６から繰り出されたテープ２
５はスイングローラ２８と一対のガイドローラ２９を経
て粘着面を下にした状態で上下のローラ３０．３１間を
通り、さらに移動フレーム３４に設けたガイドローラ３
５と貼着ローラ３６に導かれ、後記するテープ剥離手段
３７の上下一対のピーリングローラ３８間を通り、ガイ
ドローラ３９と機箱２３に設けたガイドローラ４０．４
１、スイングローラ４２．４３を経て巻取り−ル２７に
巻取られる。

また、セパレータ４５は、移動フレーム３４のローラ４
６．４７を経てローラ３１．４８間を通り、ガイドロー
ラ４９に導かれ、スイングローラ５０を経てセパレータ
巻取リール５１に巻取らせ１ る。

前記のテープカット手段１８は機箱２３の側壁内面ムこ
固定した垂直のエアシリンダで昇降される第２図の昇降
枠５５に設けられる。

昇降枠５５の下部には垂直の筒体５６を設ける。

５７は前記筒体５６の下端に設けた回転支持板で、この
支持板５７の下部にガイドに沿って水平方向に移動可能
の調節板５８を設ける。この調節板５８を水平方向に移
動させて任意の個所で固定することによりカット寸法に
合わせるものである。

上記調節板５８の下部に送りネジにより移動する摺動体
５９を設け、この摺動体５９の側部に枠６０を設け、こ
の枠６０の下端に刃物６１を設けて、真空吸引式の前記
ステージ１７上のウェハ３に貼着された粘着テープ２５
をウェハ３の周囲に沿ってカントするものである。

上記ステージ１７は上面に多数の吸引孔または吸引溝を
設けて、その上に移動してきたウェハ３を真空吸引によ
り固定するものであり、第２図のエアシリンダ６３によ
り昇降することができる。

２ 前記テープ剥離手段３７は第１図のように、ガイド４４
に沿って移動する移動台５２に前記ビーリングローラ３
８とガイドローラ３９を設けたものである。また移動フ
レーム３４もガイド４４に沿って移動する。

上記ステージ１７の中央には開口６４を設けて、ここに
第２の昇降台６５を装着する。この昇降台６５は前記エ
アシリンダ６３と別のエアシリンダにより、ステージ１
７に対して昇降自在とする。

この第２の昇降台６５もその上面に吸着用の溝または孔
を設け、これを真空吸引装置に連通させて、台６５上の
ウェハを吸着固定するものである。

第１図の６６はアンロード部で、このアンロード部６６
は前記ロード部１の逆の作用を有している。すなわち、
第１図のようにカセット６７を載せる台６８とその昇降
装置からなり、後方にはガイド台６９を有する。

ガイド台６Ｓは複数に分割されるとともにガイドバー７
７を有し、その間に左右一対のウェハ搬出用無端ベルト
７０．７１を設け、さらに、ベルドア１と前記台６８間
にはヘルド７１と直交する左右一対のウェハ挿入用無端
ベルト７２．７３．７４を順次配置してその上のウェハ
３を台６８上のカセット６７へ送り込むようにする。

上記ヘルド７１はその搬送側を第２図に示すように複数
のプーリにより屈曲させて、ヘルド７２と干渉しないよ
うにし、モータ７５により伝動ヘルド７６を介して第２
図の矢印方向に駆動する。

８８は前記ステージ１７の上面から所定の深さに設けた
左右平行の溝で、この溝８８に沿ってウェハ搬送用無端
ヘルド８９を走行させる。

上記ベルト８９は第２図のようにステージ１７の両側上
下に配置した複数のブーりによりステージ１７の上下両
側を囲むように配置され、ベルト７０側はベルト７０の
プーリと兼用とし、前記モータ７５により伝動ベルト９
４を介して第２図の矢印方向に駆動する。

第１図の８０は第１の昇降台１５から第２昇降台６５の
前方に亘って設けたテーブルで、このテーブル上に設け
たガイドバー８１に沿って移動する移動台８２を設ける
。

上記移動台８２はテーブル８０上に配置した送りネジ８
４の正逆転により進退する。

また、」二記送りネジ８４はテーブル８０上に軸受によ
り支持され、正逆転モータ８６により伝動ベルトを介し
て駆動される。

上記の移動台８２上には進退部材ＳＯを設ける。

この部材９０は移動台８２の移動方向と直角の方向番こ
エアシリンダなどによって進退する。

上記進退部材９０上には先端すなわち、昇降台１５．６
５側の端部を２叉状とした真空吸着板９２を固定する。

上記吸着板９２の２叉部の上面または下面などの必要部
分に複数の吸着孔を設け、吸着板９２内に設けた細い連
通孔を上記吸着孔に連通させると共に、この連通孔を部
材９０に連結した真空吸引ホースに連通させ、このホー
スを自動制御弁を介して真空吸引装置に連結する。

つぎに上記第１実施例の作用を説明すれば、前記のよう
に、カセット２から取出されたウェハ３５ は無端ベルト４．５．６．８を経てベルト９により第１
の昇降台１５上に搬入され、ウェハ位置決め板１９の突
縁２０に当ると同時にベルト８．９は停止する。このと
き、昇降台１５はヘルド９の搬送面より下にあるがウェ
ハ３が、その直上で停止すると、シリンダ１６が働いて
昇降台１５が上昇し、ウェハ３をヘルド９上より持ち上
げ突縁２０より上にすると同時に真空吸引装置が作用し
てウェハ３を昇降台１５上に吸着固定する。

そして、ウェハ３のアライメントが必要なときは昇降台
１５が旋回するなどしてウェハ３のアライメントを行う
。

つぎに、第１図の位置にある移動台８２上の進退部材９
０が第１昇降台１５の方向に前進してその先端の２叉部
を第１図の鎖線のようにベルト９の搬送面より上で、か
つウェハ３の下部に挿入する。

ついで、昇降台１５を下げると同時に真空吸着を解除し
、真空吸着板９２によりウェハ３を真空吸着し、そのま
ま移動台８２を第１図に向って左へ移動させて吸着板９
２を第１図のＭ線ａの位置として停止するとウェハ３は
第２の昇降台６５上になる。

このとき、ステージ１７、第２の昇降台６５、ベルト８
９は吸着板９２より下にあるが、吸着板９２が停止した
条件で昇降台６５が上昇してウェハ３に接触すると同時
にこのウェハ３を真空吸着し、同時に吸着板９２の真空
吸着が解除され、進退部材９０が後退し、移動台８２は
第１図の鎖線すの位置に戻り第１図の元の位置に戻る。

上記のように吸着板９２がステージ１７上から退去した
条件でステージ１７が第２図鎖線の位置に上昇し、昇降
台６５の上面とステージ１７の上面が同一平面となり、
ステージ１７がウェハ３を支えて真空吸着する。

つぎに移動フレーム３４が移動して貼着ローラ３６によ
り粘着テープ２５をステージ１７上のウェハ３に貼着す
る。

つぎにテープカット手段１８が下降し、刃物６１で、ウ
ェハ３上のテープ２５をウェハ３の外周に沿ってカット
したのち、上昇する。

そののち、テープ剥離手段３７が移動してカット後の孔
のあいたテープ２５を剥離してリール２７に巻取る。

上記のようにステージ１７上でウェハ３にテープ２５を
貼着してカットしたのち、ステージ１７によるウェハの
真空吸着を解除し、昇降台６５とステージ１７が共に下
降してウェハ３がベルト８９上に載った状態となる。

つぎにヘルド８Ｓが第１図に向って右へ走行を始める。

上記のようにヘルド８９が走行を始めるとベルト７０．
７１も走行を始めてウェハ３をアンロード部６６の後部
のウェハ挿入用無端ベルト７２上に送り込み、ヘルド７
０．７１．８９は停止する。

同時に、ベルト７２．７３．７４が前方へ回転を始めて
、処理ずみのウェハ３を台６８上のカセット６７へ送り
込む。

台６８はカセット６７内にウェハ３が１枚送り込まれる
毎に上昇していく公知のものである。

９ 上記の操作の繰返しによりロード部のカセット内のウェ
ハを一枚づつ取出して処理したのち、アンロード部のカ
セットに一枚づつ挿入していく。

第３図、第４図は第２の実施例で、第１実施例のウェハ
搬送用無端ベルト８９は省略し、ステジ１７のつぎに第
３の昇降台７８を設ける。

この昇降台７８は左右のベルト７０間に設けたもので、
エアシリンダ７９で昇降し、前記各昇降台１５．６５と
同様にその上面に吸着用の溝または孔を設け、これを真
空吸引装置に連通させて、台７８上のウェハを吸着固定
するものである。

前記のテーブル８０は第１の昇降台１５から第３の昇降
台７８の前方に亘って設け、このチーフル上には前記ガ
イドバー８１に沿って移動する第２の移動台８３を設け
る。

」二記移動台８３もテーブル８０上に配置した送りネジ
８４と平行の送りネジ８５の正逆転により進退する。

また、上記送りネジ８５はテーブル８０上に軸受により
支持され、正逆転モータ８７により駆動０ される。

上記の移動台８３上にも進退部材９１を設け、この部材
９１も移動台８３の移動方向と直角の方向にエアシリン
ダなどによって進退する。

上記進退部材９１上にも前記真空吸着板Ｓ２と同様の真
空吸着板９３を固定する。

上記の第２の実施例では、ステージ１７上でウェハ３に
テープ２５を貼着してカットしたのち、ステージ１７に
よるウェハの真空吸着を解除したのちの作用が異なる。

すなわち、昇降台６５を残してステージ１７は下降し、
昇降台６５はウェハ３を真空吸着したままステージ１７
上に突出した状態となる。

つぎに第２の移動台８３が第３図に向って右へ移動し、
その上の真空吸着板９３を鎖線すの位置に移動させ、つ
いで進退部材９１を前進させて吸着板９３を鎖線ａの位
置とする。

吸着板９３がこの位置のとき、ウェハ３は吸着板９３の
直上にあるから、第２の昇降台６５を下降させてウェハ
３を吸着板９３上に載せると同時に真空吸着を解除し、
吸着板９３がウェハ３を真空吸着する。

上記のように吸着板９３が処理ずみのウェハ３を吸着し
、第２昇降台６５とステージ１７が下降した条件で、第
２の移動台８３が第３図に向って左へ移動し、吸着板Ｓ
３を第３図実線の位置として停止する。

このとき吸着板９３はウェハ搬出用無端ベルト７０およ
び第３の昇降台７８上であるから、昇降台７８が上昇し
てウェハ３の下面に接触すると同時にウェハ３を真空吸
着し、同時に吸着板Ｓ３は真空吸着を解除して進退部材
Ｓ１の後退により最初の位置に戻る。

つぎに上記の第３の昇降台７８が下降してウェハ３をウ
ェハ搬出用無端ヘルド７０上に載せると同時に真空吸引
を解除し、ベルト７０．７１が走行を始める。その後は
第１の実施例と同じである。

第５図は第３の実施例を示すものでこの例では無端ベル
トを全く用いない。

また、移動台８２、進退部材９０、真空吸着板９２は第
１の実施例と同様に１個であるが、移動台８２上にロー
クリアクチュエータなどで駆動される旋回台Ｓ５を設け
、この旋回台９５上に進退部材９０を設けて、吸着板９
２を９０°毎に右または左へ旋回させ、かつ進退させる
ものである。

この実施例では最初吸着板Ｓ２を右のロード部１へ向け
、つぎに、吸着板９２をロード部１へ向けて前進させる
ことによりその先端の２叉部を台１４上のカセット２内
の最下端のウェハ３の下側に挿入する。

つぎに、上記吸着板９２がウェハ３を真空吸着して後退
することによりカセット２から１枚のウェハ３を取出す
。

こうしてウェハ３を取出した吸着板９２は第５図に向い
左へ９０°旋回して進退部材９０とともに前進して第５
図鎖線Ｃのようにその先端のウェハ３がウェハ位置決め
板１９の突縁２０に当ると同時に吸着板９２は停止する
。

このとき、昇降台１５は吸着板９２より下にあるが、ウ
ェハ３がその直上で停止すると、シリン３ ダ１６が働いて昇降台１５が上昇し、ウェハ３に接触し
、吸着板９２が真空吸着を解除して、ウェハ３を吸着板
Ｓ２上より持ち上げ突縁２ｏより上にすると同時に真空
吸引装置が作用してウェハ３を昇降台１５上に吸着固定
し、吸着板９２は元の位置に後退する。

そして、ウェハ３のアライメントが必要なときは昇降台
１５が旋回するなどしてウェハ３のアライメントを行う
。

つぎに、再び第５図の実線の位置にある移動台８２上の
進退部材９０が昇降台１５の方向に前進してその先端の
２叉部をウェハ３の下部に挿入する。

ついで、昇降台１５を下げると同時に真空吸着を解除し
、真空吸着板Ｓ２によりウェハ３を真空吸着し、そのま
ま移動台８２を第５図に向って左へ移動させて吸着板Ｓ
２を第５図の鎖線ａの位置として停止するとウェハ３は
昇降台６５上になる。

このとき、ステージ１７、昇降台６５は吸着板９２より
下にあるが、吸着板９２が停止した条件４ で昇降台６５が上昇してウェハ３に接触すると同時にこ
のウェハ３を真空吸着し、同時に吸着板Ｓ２の真空吸着
が解除され、進退部材９０が後退し、吸着板９２が第５
図のｂの位置に戻る。

上記のように吸着板９２がステージ１７上から退去した
条件でステージ１７が上昇し、昇降台６５の上面とステ
ージ１７の上面が同一平面となり、ステージ１７がウェ
ハ３を支えて真空吸着して、他の実施例と同様に、ウェ
ハ３上へのテープの貼着およびカットが行われる。

ステージ１７上でウェハ３にテープ２５を貼着してカッ
トしたのち、ステージ１７によるウェハの真空吸着を解
除し、昇降台６５を残してステージ１７は下降し、昇降
台６５はウェハ３を真空吸着したままステージ１７上に
突出した状態となる。

つぎに鎖！’Ｘｂの位置に待機していた吸着板９２が鎖
ｖＡａの位置に再び前進する。

吸着板９２がこの位置のとき、ウェハ３は吸着板９２の
直上にあるから、昇降台６５を下降させてウェハ３を吸
着板９２上に載せると同時に真空吸着を解除し、吸着板
９２がウェハ３を真空吸着する。

上記のように吸着板９２が処理ずみのウェハ３を吸着し
、昇降台６５とステージ１７が下降した条件で、移動台
８２が第５図に向って左へ移動し、吸着板９２を第５図
ｄの位置として停止する。

つぎに旋回台９５が左へ９０’旋回し、さらに進退部材
９０が左方のアンロード部６６の方へ進出して鎖線ｅの
ように吸着板ｓ２の２叉部を台６８上のカセット６７に
挿入して処理ずみのウェハ３をカセット６７へ送り込ん
だのち、真空吸着を解除し、吸着板Ｓ２が後退し、元の
位置に戻る。

上記の操作の繰返しによりロード部のカセット内のウェ
ハを一枚づつ取出して処理したのち、アンロード部のカ
セットに一枚づつ挿入していく。

〔発明の効果〕

この発明は上記のように、ウェハの処理部に真空吸着式
の昇降台を設けるとともに、その片側または両側に真空
吸着式の昇降台を設け、これら各昇降台の前方において
往復する移動台には第１の昇降台上にある処理前のウェ
ハを吸着して第２の昇降台上に移す進退自在の真空吸着
板を設けたものであるから、処理前のウェハの処理部へ
の供給や位置決めが容易となる。

また、第２の発明のように昇降台を３台、移動台を２台
設けたものは第１の移動台上の真空吸着板がロード部の
カセットからウェハを取出して第１の昇降台上に供給し
ている間に第２の移動台上の真空吸着板が第２の昇降台
上の処理ずみのウェハを取出すことができるので作業能
率が向上する。

さらに第３の発明では搬送用などの無端ヘルドを一切廃
止でき、−台の移動台と２台と昇降台で構成できるので
機構が著しく簡単となるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明装置の第１の実施例を示す平面図、第
２図は同上の正面図、第３図は第２の実施例を示す平面
図、第４図は同上の正面図、第５図は第３の実施例を示
す平面図である。 １・・・・・・ロード部、　　　　２．６７・・・・・
・カセット、３・・・・・・ウェハ、 ４．５．６・・・・・・ウェハ取出用無端ヘルド、８．
９・・・・・・ウェハ搬入用無端ベルｌ−１１５・・・
・・・第１昇降台、　２５・・・・・・粘着テープ、６
５・・・・・・第２昇降台、 ７０．７１・・・・・・ウェハ搬出用無端ベルト、７２
．７３．７４・・・・・・ウェハ挿入用無端ベルト、７
８・・・・・・第３昇降台、８２・・・・・・第１移動
台、８３・・・・・・第２移動台、９０．９１・・・・
・・進退部材、９２、Ｓ３・・・・・・真空吸着板、 ９５・・・・・・旋回台、　　　Ａ・・・・・・ウェハ
処理部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハに粘着テープを貼着してカットするなどの
   処理を施すウェハ処理装置において、ロード部のカセッ
   ト内のウェハを一枚づつ取出すウェハ取出用無端ベルト
   と、このウェハ取出用無端ベルトにより取出したウェハ
   をウェハ処理部の一側方に設けた真空吸着式の第１の昇
   降台上に載せるウェハ搬入用無端ベルトを設け、上記処
   理部の他側には、処理ずみのウェハを搬出するウェハ搬
   出用無端ベルトと、このウェハ搬出用無端ベルトで搬出
   されてきた処理ずみのウェハをアンロード部のカセット
   内に一枚づつ挿入するウェハ挿入用無端ベルトを設け、
   前記第１の昇降台と前記処理部に設けた真空吸着式の第
   ２の昇降台の前方の間で往復する移動台には、この移動
   台の移動方向と直交する方向に進退して第１の昇降台上
   のウェハを第２の昇降台上に移し替える真空吸着板を設
   けたウエハの移送装置。
2. （２）上記第２の昇降台とウェハ搬出用無端ベルトの間
   に第３の昇降台を設け、前記第１の昇降台と前記処理部
   に設けた真空吸着式の第２の昇降台の前方の間で往復す
   る第１の移動台には、この移動台の移動方向と直交する
   方向に進退して第１の昇降台上のウェハを処理部第２の
   昇降台上に移し替える真空吸着板を設け、さらに第２の
   移動台にも、この移動台の移動方向と直交する方向に進
   退して第２の昇降台上の処理ずみのウェハを第３の昇降
   台上に移し替える真空吸着板を設けた請求項（１）記載
   のウェハの移送装置。
3. （３）ウェハ処理装置のロード部とアンロード部の間で
   移動する移動台を設け、この移動台上には旋回台を設け
   、この旋回台上には、同旋回台の旋回によりロード部お
   よび処理部ならびにアンロード部に自在に向けられる進
   退部材を設け、この進退部材には、真空吸着によりロー
   ド部のカセットから取出したウェハを処理部に移送し、
   処理ずみのウェハを処理部からアンロード部のカセット
   へ移送する真空吸着板を設けたウェハの移送装置。