KR100365474B1 - 접착 필름 절단 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 접착 필름 절단 장치에 관한 것으로, 멀티(Multi) 반도체 패키지와 이를 운반하기 위한 프레임에 접착 필름을 부착시키고 프레임에 접착된 필름을 컷팅시키는 종래의 구조를 개선하여 부착된 필름을 용이하게 컷팅시킬 수 있도록 함과 동시에 필름의 낭비를 최소화 시킬 수 있도록 한 것이다.

본 발명은 웨이퍼 마운터의 접착 필름 절단 장치에 있어서, 본체(110)의 일측에 구비되는 필름 권취드럼(120)으로부터 이형지가 분리되어 공급되는 필름공급부(100)와, 본체(110)의 타측에 구비되어 회전시 전후진되며 공급된 필름(F)을 눌러 안치된 패키지(P)와 프레임을 동시에 부착시키는 본딩롤러부(300)와, 회전시 본체(110)의 상측에 밀착되어 노출된 손잡이의 회전에 따라 프레임에 부착된 필름을 컷팅시키는 필름컷팅부(400)를 포함하며; 상기 본체(110)의 상측면 개방홀에 제공되며, 그 외측단에 직사각 형상으로 된 적어도 2개 이상의 멀티 패키지(P)를 안착시키도록 다수의 클램프(212)를 갖는 안치판(210)과; 상기 본체(110)의 상측면에 핀(213)고정되며, 상기 안치판(210)에 놓여진 멀티 패키지(P)를 수용하도록 사각형상의 홀(221)을 형성하고, 상기 패키지(P)의 상면과 동일평면을 유지하는 판상의 각프레임(220)과; 상기 본체(110)의 일측과 힌지(411) 결합되는 상기 필름컷팅부(400)에 구비되며, 회전시 안내수단(430)에 의해 상기 각프레임(220)에 접착된 필름(F)을 사각라인을 따라 컷팅시키는 컷팅기(440);를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

접착 필름 절단 장치{BONDING FILM CUTTING DEVICE IN WAFER MOUNTER}

본 발명은 웨이퍼 마운터의 접착 필름 절단 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 멀티(Multi) 반도체 패키지와 이를 운반하기 위한 프레임에 접착 필름을 부착시키고 프레임에 접착된 필름을 컷팅시키는 종래의 구조를 개선하여 부착된 필름을 용이하게 컷팅시킬 수 있도록 함과 동시에 필름의 낭비를 최소화 시킬 수 있도록 한 접착 필름 절단 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 소잉(Wafer sawing), 다이 본딩(Die bonding) 등 반도체 제조 공정에 있어서 웨이퍼 상의 수많은 반도체 칩들을 동시에 용이하게 취급하기 위하여 웨이퍼 배면에 접착 필름을 부착하는데, 여기에 사용되는 장비가 바로 웨이퍼 마운터이다.

상기한 웨이퍼 마운터는 본원 발명인에 의해 다수 제안된 바 있으며, 그 예를 살펴보면 다음과 같다.

국내 공개번호 특허1999-34139호 "반도체 장비용 웨이퍼 마운터"에는, '두루마리 형태로 감겨진 접착테이프가 제1로울러에 설치되고, 이 접착테이프의 선단이 제2로울러와 제3로울러 및 제4로울러를 거쳐 공급되는 접착테이프공급부와, 상기 접착테이프공급부의 선단부에 위치되도록 안착판이 설치되고, 이 안착판의 상부에는 배큠홀이 형성된 웨이퍼안착패드가 고정축의 상단에 고정 설치되며, 상기 웨이퍼안착패드의 외측으로는 링 형상의 프레임이 배큠에 의해 흡착 고정되도록 테이블이 설치된 마운트부와, 상기 마운트부에 안착된 웨이퍼 및 프레임에 접착테이프를 접착시키는 본드로울러가 설치되고, 이 본드로울러를 상기 접착테이프의 상부로 슬라이딩되도록 가이드레일이 설치된 접착부와, 상기 접착부에 의해 접착된 접착테이프를 일정량만큼 횡으로 절단하는 제1칼날과 프레임의 크기로 원형으로 절단하는 제2칼날이 설치된 커팅부로 이루어진 반도체 장비용 웨이퍼 마운터'가 개시된 바 있다.

또한, 국내 공개번호 실용신안99-16500호 "웨이퍼 마운터의 본드 롤러부 구조"에는 '레일에 결합되어 이동하며 일측에 경사면이 형성된 베이스와, 상기 베이스의 경사면과 접촉 가능하도록 일측에 경사면이 형성되어 있으며 상기 베이스에 회전축으로써 회전가능하게 결합된 제1가동판과, 상기 제1가동판에 결합된 제2가동판과, 상기 제2가동판의 일단에 결합되어 웨이퍼 후면에 테이프를 압착시켜 접착시키는 본드롤러와, 상기 제1가동판에 설치되어 상기 본드롤러가 테이프 상면을 가압하며 이동할 수 있도록 하는 손잡이를 포함하여 이루어진 웨이퍼마운터의 본드롤러부 구조에 있어서, 상기 베이스의 경사면에는 제1가동판의 경사면과 정확히 밀착되도록 다수의 자석이 설치되어 있으며, 상기 제1가동판에는 고정돌기부가 형성되어 있고 제2가동판에는 가동주가 설치된 채 그 사이에 인장된 상태의 스프링이 설치되어 본드롤러가 테이프의 상면을 가압시에 소정의 완충력을 제공하도록 된 웨이퍼마운터의 본드롤러부 구조'가 개시되어 있다.

또한, 국내 공개번호 실용신안99-16501호 "웨이퍼 마운터의 테이프롤러 역회전 방지 구조"에는 '웨이퍼 마운터의 바디에 일측이 회전 가능하게 설치되어 있으며 두루마기 형태의 접착 테이프가 끼워져 회전됨으로서 웨이퍼마운트부에 일정 길이의 접착테이프를 제공하는 웨이퍼마운터의 테이프롤러 구조에 있어서, 상기 바디에 지지된 테이프롤러의 외측 연장선에는 역회전 방지용 롤러가 더 설치되어 있고, 상기 역회전 방지용 롤러의 양측면에는 마찰력을 제공하도록 클램프가 각각 더 설치되어 있으며, 상기 클램프들의 끝단은 바디에 고정된 브라켓에 일정 각도로 회동가능하도록 하나의 클램프 지지축에 지지되어 있는 웨이퍼 마운터의 테이프롤러 역회전 방지 구조'가 개시되어 있다.

그러나, 상술한 바와 같은 종래의 웨이퍼 마운터는 커팅부의 칼날이 원형 프레임 주변을 원형으로 돌면서 접착 필름을 절단하게 되므로, 프레임 내에는 하나의 웨이퍼 또는 패키지를 올려놓게 되어 웨이퍼 생산성을 저하시키게 되고, 또한 패키지 주변의 필름을 불필요하게 낭비하는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 웨이퍼 마운터에 설치된 칼날은 측단부가 날카로운 직선형으로 이루어져 있으므로, 곡선 구간을 절단하다가 단부가 파손되는 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 목적은 두 개 이상의 멀티 패키지를 동시에 접착 필름에 부착하여 절단할 수 있는 웨이퍼 마운터의 접착 필름 절단 장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 직선 구간 및 곡선 구간의 절단에 적합한 웨이퍼 마운터의 접착 필름 절단 장치를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 웨이퍼 마운터를 나타낸 측면 구성도,

도 2a는 본 발명의 제1실시예에 따른 마운터부의 평면도,

도 2b는 본 발명의 제1실시예에 따른 필름컷팅부의 평면도,

도 3은 본 발명의 제1실시예에 도 1의 "C" 부분 절개 사시도,

도 4는 본 발명의 제1실시예에 컷팅기의 단면도,

도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 도 4의 컷팅기 측면도,

도 6a는 본 발명의 제1실시예에 따라 필름을 인출시킨 상태 측면도,

도 6b는 본 발명의 제1실시예에 따라 필름이 본딩롤러에 의해 각프레임에 부착되는 상태의 측면도,

도 6c는 본 발명의 제1실시예에 따라 각프레임에 부착된 필름이 절단되는 상태의 측면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1000: 마운터 100: 필름공급부

110: 본체 120: 필름권취드럼

130: 이형지권취드럼 141: 이형지 안내용 가이드드럼

142: 필름 안내용 가이드드럼 150: 와이어

200: 마운터부 210: 안치판

213: 핀 220: 각프레임

221: 홀 222: 핀

300: 본딩롤러부 310: 가이드

320: 블럭 330: 회전체

331: 손잡이 340: 인장스프링

400: 필름컷팅부 410: 회동체

415: 원형홀 416: 안내레일

417: 안내홈 420: 회전판

421: 레일부재 422: 가이드

423: 블럭 430: 안내수단

440: 컷팅기 441,442: 캠플로어

443: 고정블럭 444: 이동축

445: 회전칼날 446: 연동블럭

448: 가이드브래킷 449: 압축스프링

450: 코일스프링

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 웨이퍼 마운터의 접착 필름 절단 장치에 있어서, 본체의 일측에 구비되는 필름 권취드럼으로부터 이형지가 분리되어 공급되는 필름공급부와, 본체의 타측에 구비되어 회전시 전후진되며 공급된 필름을 눌러 안치된 패키지와 프레임을 동시에 부착시키는 본딩롤러부와, 회전시 본체의 상측에 밀착되어 노출된 손잡이의 회전에 따라 프레임에 부착된 필름을 컷팅시키는 필름컷팅부를 포함하며; 상기 본체의 상측면 개방홀에 제공되며, 그 외측단에 직사각 형상으로 된 적어도 2개 이상의 멀티 패키지를 안착시키도록 다수의 클램프를 갖는 안치판과; 상기 본체의 상측면에 핀고정되며, 상기 안치판에 놓여진 멀티 패키지를 수용하도록 사각형상의 홀을 형성하고, 상기 패키지의 상면과 동일평면을 유지하는 판상의 각프레임과; 상기 본체의 일측과 힌지 결합되는 상기 필름컷팅부에 구비되며, 회전시 안내수단에 의해 상기 각프레임에 접착된 필름을 사각라인을 따라 컷팅시키는 컷팅기;를 더욱 포함하는 것을 제공한다.

상기 컷팅기는, 상면에 전후 한 쌍의 캠플로어를 갖는 고정블럭; 상기 고정블럭의 저면에 근접 제공되는 환봉형상의 이동축; 상기 고정블럭에 고정되어져 상기 이동축을 상하로 슬라이드 안내하도록 안내홀을 갖는 가이드브래킷; 상기 이동축의 하단부에 구비되며 일측면에 회전칼날을 고정하는 연동블럭; 일측단이 상기 가이드브래킷의 저면에 지지되고 타측단이 상기 이동축을 감싼 상태로 연동블럭에 탄지되는 압축스프링을 제공한다.

상기 안내수단은, 저면에 상기 각프레임의 상면을 따라 안내될 수 있도록 사각라인 형상의 캠플로어 안내용 안내홈이 형성되고, 중심 위치에 내주면을 따라 안내레일를 갖는 원형홀이 형성되는 회동체; 상면에 상기 원형홀의 안내레일에 결합되어 중심축과 연결된 상기 손잡이의 회전에 따라 원운동하도록 복수개의 레일부재를 가지며, 저면에 직선이동용 가이드와 이에 결합되어 전후방 이송되는 블럭이 구비된 회전판; 상기 회전판의 저부에서 블럭과 연결된 상기 가이드브래킷을 중심방향으로 당기도록 된 코일스프링;을 제공한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 마운터를 나타낸 측면 구성을 도시한 것이고, 도 2의 (a)(b)는 본 발명의 제1실시예에 따른 도 1의 평면 작동상태를 도시한 것이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 도 1의 "C" 부분 절개 사시도로서 컷팅기가 안내수단에 의해 필름컷팅부에 결합되는 상태를 도시한 것이다.

그리고, 도 4는 도 3의 컷팅기를 도시한 단면이며, 도 5는 도 4의 컷팅기 측면을 도시한 것이고, 도 6의 (a)(b)(c)는 각프레임에 부착되는 필름이 컷팅되는 상태를 순차적으로 도시한 것이다.

본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 마운터(1000)는 크게 필름공급부(100), 마운터부(200), 본딩롤러부(300) 및 필름컷팅부(400)로 구성된다.

상기 필름공급부(100)는, 필름 권취드럼(120)과 이형지 권취드럼(130) 및 한쌍의 이형지 분리 및 안내용 가이드드럼(140)(141)으로 구성되며, 이들 드럼은 공지 구성과 같이 본체(110)의 일측에 각기 회전가능하게 결합된다.

그리고, 상기 이형지 권취드럼(130)은 접착 필름 당김시 이형지 분리용 가이드드럼(140)의 풀리와 이형지 권취드럼(130)의 풀리에 연결되는 와이어(150)의 연동에 의해 동시에 회전되며 이형지를 감게 된다.

상기 마운터부(20)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와같이 상기 본체(110)의 상면에 구비되는 안치판(210)과, 각프레임(220)을 포함한다.

상기 안치판(210)은, 상기 본체(110)의 상측면 개방홀(211)에 제공되며, 그 외측단에 직사각 형상으로 된 적어도 2개 이상의 멀티 패키지를 안착시키도록 다수의 클램프(212)를 갖는다.

상기 각프레임(220)은, 사각라인 형태을 갖는 판상의 부재로 상기 본체(110)의 상측면에 좌우 유동이 방지되도록 제공되는 핀(213)에 결합되도록 핀홀(222)이 형성되고, 상기 안치판(210)에 놓여진 멀티 패키지(P)를 수용하도록 사각형상의 홀(221)이 형성되며, 상기 패키지(P)의 상면과 동일평면을 유지한다.

상기 본딩롤러부(300)는, 통상의 구조와 동일한 구조로 본체(110)의 외측면에 결합된 가이드(310) 및 가이드(310)를 따라 전후 이동하는 블럭(320)과 블럭(320)에 힌지 결합되며 내측에 필름 부착용 로울러(350)가 제공되는 회전체(330) 그리고 회전체(330)와 블럭(320)에 연결된 인장스프링(340)으로 구성되어, 상기 회전체(330)의 노출단에 제공된 손잡이(331)를 상향으로 회전시키게 되면 로울러(350)가 본체(110)의 상면에 안착되고 동시에 전방으로 밀게되면블럭(320)의 이동에 따라 회전체(330)가 이동하게 되며 연속해서 로울러(350)가 필름(F)을 눌러 안치된 패키지(P)와 각프레임(220) 상면을 동시에 부착시킨다.

상기 필름컷팅부(400)는, 회전시 본체(110)의 상면에 밀착되어 노출된 손잡이의 회전에 따라 각프레임(220)에 부착된 필름(F)을 컷팅시키게 되는 것이며, 본체(110)에 힌지되어 회동하는 회동체(410)와, 회동체(410)와 결합되어 원운동하게 되는 회전판(420), 안내수단(430)에 의해 회전판(420)과 결합되며 이동시 필림(F)을 컷팅시키게 되는 컷팅기(440)로 구성된다.

상기 회동체(410)는, 일단이 상기 본체(110)에 회동가능하게 힌지(411) 결합되고, 노출단에 회동용 손잡이(412) 및 그 하측에 안착시 상기 본체(110)의 상면에 제공된 록킹구(413)에 걸림 고정되도록 걸림구(414)가 구비되며, 상면 중앙에는 원형홀(415)이 형성된다. 그리고 상기 원형홀(415)의 내주면에는 안내레일(416)이 형성되고, 또한 회동체(410)의 저면에는 하향으로 개방되며 상기 각프레임(220)과 동일형상으로 사각라인을 가지되 모서리가 라운딩된 안내홈(417)이 형성된다.

상기 회전판(420)은, 상기 회동체(410)의 저면에 제공되며, 상면에 상기 원형홀(415)의 안내레일(416)을 따라 이동하도록 복수개의 레일부재(421)가 구비되고, 저면에는 가이드(422)가 복수개의 보올트로서 결합된다. 또한, 회전중심의 상면에는 절곡된 손잡이(424)가 구비되어 회전시 회전판(420)을 회전시키게 된다.

상기 가이드(422)에는 이송용 블럭(423)이 결합되며, 상기 블럭(423)에는 각프레임(220)에 부착된 필름(F)을 안내수단(430)을 따라 이동하면서 컷팅시키게 되는 컷팅기(440)가 구비된다. 즉, 상기 컷팅기(440)는, 회전시 안내수단(430)에 의해 상기 각프레임(220)에 접착된 필름(F)을 사각라인을 따라 컷팅시키게 된다.

상기한 컷팅기(440)는, 상기 회동체(410)의 안내홈(417)을 따라 슬라이드 이동하게 되는 전후 한 쌍의 캠플로어(441)(442)와, 상기 캠플로어(441)(442)가 고정되는 캠플로어 고정블럭(443)과, 환봉형상의 이동축(444)과, 일측에 상기 이동축(444)이 승하강 안내되도록 안내홀(447)을 가지며 타측 연장단이 상기 블럭(423)과 연결된 가이드브래킷(448)과, 상기 이동축(444)의 하단부에 구비되며 일측면에 회전칼날(445)을 고정하는 연동블럭(446)과, 일측단이 상기 가이드브래킷의 저면에 지지되고 타측단이 상기 이동축(444)을 감싼 상태로 연동블럭(446)에 탄지되는 압축스프링(449) 및 일단이 상기 가이드브래킷(448)에 고정되고 타단이 회전판(420)의 저면에 고정되어 항상 캠플러어(441)(442)를 당길 수 있도록 된 코일스프링(450)으로 구성되며, 상기 이동축(444)과 안내홀(447)에는 서로간의 상하 이탈을 방지하도록 걸림구(444a)와 걸림턱(447a)이 형성된다.

여기서, 상기 회전칼날(445)의 수직한 컷팅날 중심은 전후방으로 배치된 상기 캠플로어(441)(442) 사이의 중간라인에 위치하도록 하며, 상기 회전칼날(445)은, 필름(F)에 밀착상태에서의 회전시 파손이 방지되도록 라운딩된 컷팅날로 형성된다.

이같은 컷팅기(440)는, 상기 손잡이(424)의 회전에 따른 회전판(420)의 회전시 캠플로어(441)(442)가 사각라인으로 된 회동체(410)의 안내홈(417)을 따라 이동하게 되고, 동시에 이동되는 캠플러어(441)(442)에 의해 고정블럭(443)과 가이드브래킷(448)을 매개로 고정하는 블럭(423)이 가이드(422)를 따라 전후 이동하게 되며, 이때 코일스프링(450)의 당김력에 의해 캠플로어(441)(442)는 항상 안내홈(417)의 내측벽에 밀착 지지되어 이동하게 되고, 동시에 캠플로어(441)(442)의 중간에 위치한 회전칼날(445)가 필름(F) 상면에 안착되어 캠플로어(441)(442)의 이동에 의해 필름(F)을 컷팅시키게 된다.

또한, 상기 컷팅기(440)는 상기 회전판(420)의 양쪽에 구비되도록 하여 손잡이(424)의 180도 회전에 의해서도 필름(F)의 컷팅이 이루어질 수 있도록 함이 가능할 것이다.

이상에서와 같이 구성되는 접착 필름 절단 장치를 첨부된 도면을 참조로 하여 작동상태를 설명한다.

먼저 도 1 및 도 2 그리고 도 6a에 도시된 바와같이 마운터부(200)의 안치판(210) 상면 클램프(212)들 사이에 2개의 패키지(P)를 나란히 올려놓고 연속해서 각프레임(220)에 형성된 핀홀(222)을 통해 본체(110) 상면에 핀(213) 고정시킨다. 연속해서 필름공급부(100)에 권취된 필름(F)을 잡아 당긴후 필름(F)이 각프레임(220)을 도포하도록 한 다음, 도 6b에 도시된 바와같이 본딩롤러부(300)의 회전체(330)를 상향으로 90도 각도 회전시킨 후 전방으로 밀게되면 회전체(330)가 가이드(310)를 따라 전후 이동되면서 회전체(330)의 로울러(350)가 필름(F)을 눌러 필름(F)이 각프레임(220)과 패키지(P)를 부착시키게 된다. 연속해서 도 6b에 도시된 바와같이 상기 필름공급부(100)로부터 인출되는 필름(F)을 컷팅시킨 다음, 도 6c에 도시된 바와같이 필름컷팅부(400)의 손잡이(412)를 당겨 회동체(410)를 하향으로 회전시킨다. 그러면 상기 회동체(410)의 노출단부에 구비된 걸림구(414)가 본체(110)의 록킹구(413)에 슬라이드 걸림 고정되며, 동시에 회동체(410)의 내측 회전판(420)에 구비된 컷팅기(440)의 회전칼날(445)이 필름(F)의 상면에 안착되어지고, 이때 사용자가 손잡이(424)를 회전시키게 되면, 도 2 및 도 3에 도시된 바와같이 회전판(420)이 회동체(410)의 안내레일(416)에 결합된 레일부재(421)에 의해 동심원을 이루며 회전하게 되고, 연속해서 캠플로어(441)(442)가 안내홈(417)을 안내로 이동하게 되며, 동시에 상기 캠플로어(441)(442)의 하측 회전칼날(445)이 압축스프링(449)의 탄지력으로 접착 필름(F)을 누루면서 컷팅시키게 된다.

이때, 캠플러어(441)(442)가 사각라인의 모서리 방향을 회전하게 되어도 회전칼날(445)은 이들 사이에 위치하며 이동함에 따라 큰 회전반경 없이 필름(F)을 절단시킬 수 있게 된다.

또한, 일단부가 회전판(420)의 저부에 고정된 코일스프링(450)이 항상 컷팅기(440)를 고정시키는 가이드브래킷(448)을 당기게 되므로 이동되는 회전칼날(445)의 좌우 편중이 방지되게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 접착 필름 절단 장치는, 필름이 부착되어 절단되는 각프레임의 내측에 두 개 이상의 멀티 패키지를 동시에 안치시킬 수 있도록 함과 동시에 컷팅기가 사각라인 형태로 접착 필름을 컷팅시킬 수 있도록 하므로써, 한번에 패키지를 두개 이상 접착함과 동시에 필름의 잔량이 최소화되어 작업시간을 절감 및 필름의 효율적 이용에 따른 원가를 크게 절감시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 컷팅기를 이동시키는 캠플러어가 전후 한쌍으로 구비되고 또한 이들 사이에 컷팅기의 회전칼날이 제공되도록 하므로써, 필름을 컷팅시에 직선 구간 및 곡선 구간을 무리한 회동없이 이동하며 필름을 절단할 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 웨이퍼 마운터의 접착 필름 절단 장치에 있어서,

   본체(110)의 일측에 구비되는 필름 권취드럼(120)으로부터 이형지가 분리되어 공급되는 필름공급부(100)와, 본체(110)의 타측에 구비되어 회전시 전후진되며 공급된 필름(F)을 눌러 안치된 패키지(P)와 프레임을 동시에 부착시키는 본딩롤러부(300)와, 회전시 본체(110)의 상측에 밀착되어 노출된 손잡이의 회전에 따라 프레임에 부착된 필름을 컷팅시키는 필름컷팅부(400)를 포함하며;

   상기 본체(110)의 상측면 개방홀에 제공되며, 그 외측단에 직사각 형상으로 된 적어도 2개 이상의 멀티 패키지(P)를 안착시키도록 다수의 클램프(212)를 갖는 안치판(210)과;

   상기 본체(110)의 상면에 탈착가능하도록 핀(213) 고정되며, 내측에 상기 안치판(210)에 놓여진 멀티 패키지(P)를 수용하도록 사각형상의 홀(221)을 형성하고, 상기 패키지(P)의 상면과 동일평면을 유지하게 되는 판상의 각프레임(220)과;

   상기 본체(110)의 일측과 힌지(411) 결합되는 상기 필름컷팅부(400)의 회동체(410)에 구비되며, 회전시 안내수단(430)에 의해 상기 각프레임(220)에 접착된 필름(F)을 사각라인을 따라 컷팅시키는 컷팅기(440);를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운터의 접착 필름 절단 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 컷팅기(440)는

   상면에 전후 한 쌍의 캠플로어(441)(442)를 갖는 고정블럭(443)과;

   상기 고정블럭(443)의 저면에 근접 제공되는 환봉형상의 이동축(444)과;

   상기 고정블럭(443)에 고정되어져 상기 이동축(444)을 상하로 슬라이드 안내하도록 안내홀(447)을 갖는 가이드브래킷(448)과;

   상기 이동축(444)의 하단부에 구비되며 일측면에 회전칼날(445)을 고정하는 연동블럭(446)과;

   일측단이 상기 가이드브래킷(448)의 저면에 지지되고 타측단이 상기 이동축(444)을 감싼 상태로 연동블럭(446)에 탄지되는 압축스프링(449)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접착 필름 절단 장치.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 안내수단(430)은

   저면에 상기 각프레임(220)의 상면을 따라 안내될 수 있도록 사각라인 형상의 캠플로어(441)(442) 안내용 안내홈(417)이 형성되고, 중심 위치에 내주면을 따라 안내레일(416)를 갖는 원형홀(415)이 형성되는 회동체(410)와;

   상면에 상기 원형홀(415)의 안내레일(416)에 결합되어 중심축과 연결된 상기 손잡이(424)의 회전에 따라 원운동하도록 복수개의 레일부재(421)를 가지며, 저면에 직선이동용 가이드(422)와 이에 결합되어 전후방 이송되는 블럭(423)이 구비된 회전판(420);

   상기 회전판(420)의 저부에서 블럭(423)과 연결된 상기 가이드브래킷(448)을 중심방향으로 당기도록 된 코일스프링(450);으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접착 필름 절단 장치.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 회전칼날(445)의 수직한 컷팅날 중심이, 전후방으로 배치된 한 쌍의 상기 캠플로어(441)(442) 중간라인에 위치하도록 하는 것을 특징으로 하는 접착 필름 절단 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 회전칼날(445)의 날끝이, 필름 밀착상태에서의 회전시 파손이 방지되도록 라운딩 컷팅날로 형성되는 것을 특징으로 하는 접착 필름 절단 장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 컷팅기(440)가 상기 본체(110)에 제공된 필름컷팅부(400)의 양쪽으로 설치되어 필름(F)을 컷팅시키도록 하는 것을 특징으로 하는 접착 필름 절단 장치.