JP4115930B2

JP4115930B2 - 位置調整方法と位置調整装置と組立装置及びそれにより組み立てられた印字ヘッド

Info

Publication number: JP4115930B2
Application number: JP2003435194A
Authority: JP
Inventors: 研一吉村; 徹丸山; 憲一篠崎; 拓也内田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2003-12-26
Filing date: 2003-12-26
Publication date: 2008-07-09
Anticipated expiration: 2023-12-26
Also published as: JP2005193307A

Description

この発明は、例えばインクジェットプリンタの印字ヘッド等の微細部品を組み立てるとき、各構成部品を高精度に位置合わせする位置調整方法と位置調整装置と微細部品の組立装置及びそれにより組み立てられた印字ヘッドに関するものである。

例えばインクを吐出して記録用紙に印字するインクジェット方式の印字ヘッドを用いて画像を記録するプリンタやファクシミリ，複写機等の画像形成装置が広く使用されてきている。この印字ヘッドには種々の構造のものがあり、インク滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルに対応して設けられた電気機械変換素子や発熱抵抗体などのアクチュエータとを備えており、各ノズルに対応したアクチュエータを記録信号に応じて選択的に駆動することにより、インク滴をノズルより吐出して記録用紙に画像を形成する。

この印字ヘッドの１つの例として、基板上に複数の圧電素子を設け、この圧電素子に振動板の変位部を接合し、この振動板と液室を形成するための流路板を接合し、流路板上に、振動板の変位部に各ノズルが対応するようにノズル板を接合し、圧電素子を駆動することにより、振動板を介して液室内のインクを加圧し、ノズル板のノズルからインクを吐出するようにしている。このような印字ヘッドにおいて、高密度で高品質の記録を行うためには、印字ヘッドを構成する部品であるノズル板と流路板と振動板と圧電素子等の各微細部品を高精度に位置合わせして組み立てる必要がある。

これらの部品を高精度に位置合わせして組み立てるために、種々の位置調整装置や組立装置が開発されている。例えば、特許文献１に示された微細部品の組立装置は、２つの微細部品のうち一方の部品を供給する第１ステーションと、この部品を接着剤の塗布位置に位置決めための位置決め手段を有し、接着剤を塗布する塗布する第２ステーションと、２つの部品を接合する第３ステーションと、接合した組立物を排出する第４ステーションを順次配置している。第３ステーションには、他方の微細部品を吸着して保持する保持手段と、この保持手段を他方の部品供給側との間で往復移動させる移動機構部と、２つの部品の位置を計測する位置検出手段と、計測した結果に基づいて一方の部品の位置を調整する位置調整手段を有する。この第３ステーションで２つの部品を位置決めするとき、２つの部品のアライメントマークを撮像装置で撮像し、この撮像結果に基づいて２つの部品の位置を調整するようにしている。

しかしながら、２つの部品のアライメントマークが撮像装置の撮像視野内に無い場合は、アライメント工程が実施できないため、作業者が手動アライメントに切り替えてアライメントマークを移動し、２つの部品のアライメントマークを撮像装置の撮像視野にとらえてから、アライメント工程を実行していたため、装置全体としての稼働率が下がり、生産性が低下するという短所があった。

この短所を改善するために、撮像光学系の倍率変更機構やズーム機構を採用したり、高解像度ＣＣＤカメラを採用したり、機械系の位置決め精度を向上すると、いずれも装置自体が大掛かりとなり設置スペースが確保できないとともにコストアップになるなどの問題があった。

これに対して特許文献２に示されたアライメントマークの自動サーチ方式は、既存の光学系を利用して行う２点以上のアライメントにおいて、第１の視野にも第２の視野にもアライメントマークが存在しないとき、最初に視野に入ったエリアである原位置の視野を中心にして、その周囲に視野を設定する。このとき、アライメントマークが直近にあれば見逃さないようにするため、原位置の視野に対してアライメントマークの大きさ以上の範囲でオーバーラップさせて視野を設定してアライメントマークが入ったか否を判断する。この処理を原位置の視野を中心にして、Ｘ方向とＹ方向に順次繰り返して、第１の視野あるいは第２の視野にアライメントマークが入った場合は、そのアライメントマークが視野の中心に位置させるようにＸＹ方向に移動させ、この状態で、アライメントマークがはみ出さない角度だけ回転させ、再びアライメントマークが視野の中心に位置させるようにＸＹ方向に移動させることを他方のアライメントマークが検出できるまで繰り返すようにしている。

このアライメントマークの自動サーチ方式では、２つのアライメントマークの位置が近い場合でも、そのサーチ順序により第２のアライメントマークが検出されるのが最終ステップになる場合があり、マークサーチによるタイムロスが発生するという問題がある。

また、特許文献３に示された位置合わせ方法は、あらかじめ位置合わせする物体のアライメントマークの画像とともにその周辺の画像パターンを検出する画像の大きさに区切って記憶し、区切られた周辺パターンの形状によりどのエリアであるか判別可能にしておく。アライメント工程では、まず、アライメントする物体のアライメントマークを検出し、アライメントマークが検出されない場合は、記憶された周辺パターンと取り込んだ画像パターンとパターンマッチングを行い、記憶した周辺パターンのアライメントマークとの距離から取り込んだ画像パターンの位置ずれ量を算出する。この位置ずれ量によりアライメントする物体を移動して位置合わせするようにしている。

この位置合わせ方法は、あらかじめアライメントする物体毎に、アライメントマークと周辺パターンを記憶し、その位置関係を定義する必要があり、登録作業には多大な労力を要し、登録画像の変更が困難である。また、アライメントマークと周辺パターンの位置関係は、視野サイズを基準とするものであり、高精度なアライメントができないという問題もある。

また、特許文献４に示された微細部品の組立て装置は、例えばインクジェット方式の印字ヘッドの振動板と流路板を組み立てるとき、振動板に設けた２つの位置検出用基準マークの位置を検出し、検出したマーク位置を基準にして、振動板に接合する流路板の初期位置を規制する。この初期位置に位置決めされた流路板に設けた２つの位置検出用基準マークの位置を検出し、振動板の位置検出用基準マークと流路板の位置検出用基準マークとの位置誤差量により流路板の初期位置を補正して、振動板と流路板を高精度に位置合わせするようにしている。

この特許文献４に示された微細部品の組立て装置は、ノズル板と流路板を部品投入排出ステージに投入し、この投入されたノズル板を接合ステージに移載して保持し、ノズル板に設けた２つの位置検出用基準マークの位置を検出し、検出したマーク位置を基準にして、ノズル板に接合する流路板の初期位置を決定する。次に流路板を接合ステージに移載して初期位置に仮位置決めし、初期位置に位置決めされた流路板に設けた２つの位置検出用基準マークの位置を検出し、ノズル板の位置検出用基準マークと流路板の位置検出用基準マークとの位置誤差量により流路板の初期位置を補正して、ノズル板と流路板を高精度に位置合わせしている。このように接合するときの上部品であるノズル板に設けた位置検出用基準マークの検出結果により下部品である流路板の初期位置を粗調整するから、流路板の位置検出用基準マークがノズル板に隠れて検出できなくなることを防ぐことができ、ノズル板と流路板を高精度に位置合わせすることができる。また、振動板と流路板も同様にして位置合わせする。

この特許文献４に示された微細部品の組立て装置では、接合ステージに対する振動板の供給工程と、振動板の位置検出工程と、流路板の投入位置を演算する工程と、流路板を供給する工程及び流路板の位置を検出して位置を補正する工程を１連の流れでシリーズに処理しているため、１つの印字ヘッドを組み立てるために多くの時間がかかり、生産性が低下するという問題があった。
特開平１０−２７７８５３号公報特許第２９３４６８９号公報特開２０００−２１７６９号公報特開２００３−２６０７９８号公報

この発明は、前記問題を解消し、簡単な構成で手動アライメントを必要としないとともにアライメントマークサーチによるタイムロスを無くし、かつ組立タクトタイムを短縮化して、高速で稼動率が高く、生産性の高い位置調整方法と位置調整装置と微細部品の組立装置及びそれにより高精度に位置合わせして組み立てられた印字ヘッドを提供することを目的とするものである。

この発明の位置調整方法は、第1の部品と第２の部品とにそれぞれに設けた位置検出基準マークを検出して、その検出結果に基づいて２つの部品の位置合わせを行う位置調整方法であって、位置合わせの基準となる第１の部品を保持し、第１のマーク検出手段を用いて保持した第１の部品の位置検出基準マークを検出して第１の部品の保持位置を計測する第１部品検出工程と、保持した第１の部品を第２の部品の仮置き位置の上に移送するときに、第２の部品の位置検出基準マークが第１の部品の位置検出基準マークの範囲内に位置するように、計測した第１の部品の保持位置により、仮置き位置に移載した第２の部品の位置を粗調整する第２部品粗調整工程と、保持した第１の部品を第２の部品の仮置き位置の上に移送し、第２のマーク検出手段を用いて第１の部品の位置検出基準マークと第２の部品の位置検出基準マークを検出して、第１の部品に対して第２の部品の位置を合わせる位置調整工程を有し、前記位置調整工程と並行して、次に位置調整が行われる第１の部品の第１部品検出工程を行うことを特徴とする。前記第１の部品と第２の部品のそれぞれ一定距離隔てた位置に２組の位置検出基準マークを設けると良い。

この発明の位置調整装置は、第1の部品と第２の部品とにそれぞれに設けた位置検出基準マークを検出して、その検出結果に基づいて２つの部品の位置合わせを行う位置調整装置であって、第１の部品を仮置きする第１部品仮置き台を有する第１部品仮置き部と、第２の部品を仮置きする第２部品仮置き台と位置調整機構部とを有する第２部品仮置き部と、第１部品仮置き台に仮置きされた第１の部品を吸着して保持する第１部品保持手段を有し、前記第１部品保持手段に吸着された前記第１の部品を第１部品仮置き部から第２部品仮置き部へと移動させる第１部品移送手段と、第１部品仮置き部と相対する位置に設けられ、第１の部品の位置検出基準マークを検出する１組の第１のマーク検出手段と、第２部品仮置き部と相対する位置に設けられ、第１部品移送手段により移送された第１の部品の位置検出基準マークと第２部品仮置き台に保持された第２の部品の位置検出基準マークとを検出する１組の第２のマーク検出手段と、前記２組のマーク検出手段の検出結果に基づいて位置調整機構部の駆動を制御する位置調整制御部とを有し、前記位置調整制御部は、第１のマーク検出手段で検出された第１の部品の位置検出基準マークの検出結果により位置調整機構部を駆動し、第２部品仮置き台で保持された第２の部品の位置の粗調整を行うとともに、第２のマーク検出手段で検出された第１の部品と第２の部品との位置検出基準マークの検出結果により位置調整機構部を駆動し、第２部品仮置き台で保持された第２の部品の位置を第１の部品の位置に位置合わせすることを特徴とする。

この発明の第２の位置調整装置は、第1の部品と第２の部品とにそれぞれに設けた位置検出基準マークを検出して、その検出結果に基づいて２つの部品の位置合わせを行う位置調整装置であって、第１部品仮置き部と第２部品仮置き部と第１部品移送手段と計測手段及び位置調整制御部を有し、第１部品仮置き部は、第１部品仮置き台と昇降機構部を有し、第１部品仮置き台は、第１の部品を仮位置決めして保持し、昇降機構部は第１部品仮置き台を昇降させ、第２部品仮置き部は、第２部品仮置き台と位置調整機構部を有し、第２部品仮置き台は、第２の部品を仮位置決めして保持し、位置調整機構部は、水平方向と垂直方向及び旋回軸を有する駆動機構を有し、第２部品仮置き台に保持した第２の部品の位置を調整して昇降させ、第１部品移送手段は、インデックステーブルからなり、第１部品保持手段を保持して第１部品仮置き部と第２部品仮置き部の間で反転移動させ、第１部品保持手段は、中央部に透過窓を有し、第１部品仮置き台に保持された第１の部品を吸着して保持し、計測手段は２組のマーク検出手段を有し、第１部品移送手段の上部で、第１部品仮置き台と第２部品仮置き台と相対する位置にそれぞれ設けられ、位置調整制御部は、第１の部品を保持した第１部品仮置き台を昇降機構部で上昇させて第１の部品を第１部品移送手段の第１部品保持手段に移送したとき、第１部品保持手段で保持した第１の部品の位置検出基準マークを計測手段の一方のマーク検出手段で検出し、検出した第１の部品の位置検出基準マークの位置により、第２部品仮置き部の位置調整機構部により第２部品仮置き台で保持した第２の部品の位置を粗調整し、第２の部品の位置を粗調整した後、第１部品移送手段を駆動して第１部品保持手段で保持した第１の部品を第２部品仮置き部の上に移送し、移送した第１の部品と第２の部品の位置検出基準マークを計測手段の他方のマーク検出手段で検出して、第２部品仮置き部の位置調整機構部により第２部品仮置き台で保持した第２の部品を第１の部品に位置合わせすることを特徴とする。

前記第１の部品と第２の部品とのそれぞれに一定距離隔てた位置に１組の位置検出基準マークを有し、前記２組のマーク検出手段のそれぞれに１対の視覚センサを設けると良い。また、前記２組の位置検出基準マークを有するマスタワークを保持するマスタワーク保持手段を有し、前記位置調整制御部は、２組のマーク検出手段のそれぞれに設けられた１対の視覚センサでマスタワークの２組の位置検出基準マークを検出して、２組のマーク検出手段のオフセット値を計測し、計測したオフセット値により第２の部品の位置を粗調整するときの粗調整量を補正する。

この発明の組立装置は、第１部品供給手段と第２部品供給手段と位置調整装置及び完成品排出手段を有し、前記第１部品供給手段は第１の部品を前記位置調整装置に供給し、前記第２部品供給手段は第２の部品を前記位置調整装置に供給し、前記位置調整装置は、第１の部品を仮置きする第１部品仮置き台を有する第１部品仮置き部と、第２の部品を仮置きする第２部品仮置き台と位置調整機構部とを有する第２部品仮置き部と、第１部品仮置き台に仮置きされた第１の部品を吸着して保持する第１部品保持手段を有し、前記第１部品保持手段に吸着された前記第１の部品を第１部品仮置き部から第２部品仮置き部へと移動させる第１部品移送手段と、第１部品仮置き部と相対する位置に設けられ、第１の部品の位置検出基準マークを検出する１組の第１のマーク検出手段と、第２部品仮置き部と相対する位置に設けられ、第１部品移送手段により移送された第１の部品の位置検出基準マークと第２部品仮置き台に保持された第２の部品の位置検出基準マークとを検出する１組の第２のマーク検出手段と、前記２組のマーク検出手段の検出結果に基づいて位置調整機構部の駆動を制御する位置調整制御部とを有し、前記位置調整制御部は、第１のマーク検出手段で検出された第１の部品の位置検出基準マークの検出結果により位置調整機構部を駆動し、第２部品仮置き台で保持された第２の部品の位置の粗調整を行うとともに、第２のマーク検出手段で検出された第１の部品と第２の部品との位置検出基準マークの検出結果により位置調整機構部を駆動し、第２部品仮置き台で保持された第２の部品の位置を第１の部品の位置に位置合わせを行い、第２の部品を第１の部品に加圧接合し、前記完成品排出手段は接合した第１の部品と第２の部品を前記位置調整装置から排出することを特徴とする。

この発明の第２の組立装置は、第１部品供給手段と第２部品供給手段と位置調整装置及び完成品排出手段を有し、第１部品供給手段は第１の部品を前記位置調整装置に供給し、前記第２部品供給手段は第２の部品を前記位置調整装置に供給し、位置調整装置は、第１部品仮置き部と第２部品仮置き部と第１部品移送手段と計測手段及び位置調整制御部を有し、第１部品仮置き部は、第１部品仮置き台と昇降機構部を有し、第１部品仮置き台は、第１の部品を仮位置決めして保持し、昇降機構部は第１部品仮置き台を昇降させ、第２部品仮置き部は、第２部品仮置き台と位置調整機構部を有し、第２部品仮置き台は、第２の部品を仮位置決めして保持し、位置調整機構部は、水平方向と垂直方向及び旋回軸を有する駆動機構を有し、第２部品仮置き台に保持した第２の部品の位置を調整して昇降させ、第１部品移送手段は、インデックステーブルからなり、第１部品保持手段を保持して第１部品仮置き部と第２部品仮置き部の間で反転移動させ、第１部品保持手段は、中央部に透過窓を有し、第１部品仮置き台に保持された第１の部品を吸着して保持し、計測手段は２組のマーク検出手段を有し、第１部品移送手段の上部で、第１部品仮置き台と第２部品仮置き台と相対する位置にそれぞれ設けられ、位置調整制御部は、第１の部品を保持した第１部品仮置き台を昇降機構部で上昇させて第１の部品を第１部品移送手段の第１部品保持手段に移送したとき、第１部品保持手段で保持した第１の部品の位置検出基準マークを計測手段の一方のマーク検出手段で検出し、検出した第１の部品の位置検出基準マークの位置により、第２部品仮置き部の位置調整機構部により第２部品仮置き台で保持した第２の部品の位置を粗調整し、第２の部品の位置を粗調整した後、第１部品移送手段を駆動して第１部品保持手段で保持した第１の部品を第２部品仮置き部の上に移送し、移送した第１の部品と第２の部品の位置検出基準マークを計測手段の他方のマーク検出手段で検出して、第２部品仮置き部の位置調整機構部により第２部品仮置き台で保持した第２の部品を第１の部品に位置合わせして、第２の部品を第１の部品に加圧接合し、完成品排出手段は接合した第１の部品と第２の部品を前記位置調整装置から排出することを特徴とする。

前記位置調整制御部は、接合した第１の部品の位置検出基準マークと第２の部品の位置検出基準マークのそれぞれを第２のマーク検出手段で検出して接合位置の適否を判定する。

また、第１の部品と第２の部品とのそれぞれに一定距離隔てた位置に１組の位置検出基準マークを有し、前記位置調整装置の２組のマーク検出手段のそれぞれに１対の視覚センサを設けると良い。

さらに、前記２組の位置検出基準マークを有するマスタワークを保持するマスタワーク保持手段を有し、前記位置調整制御部は、２組のマーク検出手段のそれぞれに設けられた１対の視覚センサでマスタワークの２組の位置検出基準マークを検出して、２組のマーク検出手段のオフセット値を計測し、計測したオフセット値により第２の部品の位置を粗調整するときの粗調整量を補正する。

また、前記組立装置に供給する第１の部品はインクジェット方式の印字ヘッドのノズル板又は振動板のいずれかであり、第２の部品は流路板であり、インクジェット方式の印字ヘッドを組み立てることを特徴とする。

この発明の印字ヘッドは、前記組立装置でノズル板に流路板を位置合わせして接合し、振動板に流路板を位置合わせして接合して作製したことを特徴とする。

この発明は、位置合わせの基準となる第１の部品を保持し、保持した第１の部品の位置検出基準マークを検出して第１の部品の保持位置を計測し、計測した第１の部品の位置により、保持した第１の部品を第２の部品の仮置き位置の上に移送するときに、第２の部品の位置検出基準マークが第１の部品の位置検出基準マークの範囲内に位置するように、仮置き位置に移載した第２の部品の位置を粗調整するようにしたから、第１の部品に対して第２の部品を位置合わせするとき、第１の部品の位置検出基準マークと第２の部品の位置検出基準マークを確実に検出することができ、第１の部品と第２の部品を確実に位置合わせすることができ、手動アライメントをする必要がなく、第１の部品と第２の部品との位置調整をするときのタクトタイムを短縮することができる。

また、仮置きした第１の部品を仮置きした第２の部品の上に移送するようにしたから、保持した第１の部品を仮置きした第２の部品に移送して第１の部品と第２の部品を位置合わせしているときに、次の第１の部品を保持して第１の部品の位置検出基準マークを検出することができるから、次の第２の部品を供給して仮置きしたとき、次の第２の部品の位置を直ちに粗調整することができ、位置調整のタクトタイムを短縮して稼働率を向上することができる。

また、第２の部品の位置を粗調整してから第１の部品の位置検出基準マークと第２の部品の位置検出基準マークを検出して、第１の部品と第２の部品の位置合わせをするから、
第１の部品と第２の部品を精度良く位置合わせすることができる。

さらに、第１の部品をインクジェット方式の印字ヘッドのノズル板又は振動板のいずれかとし、第２の部品を流路板にして、ノズル板に流路板を位置合わせして接合し、振動板に流路板を位置合わせして接合することにより、精度良くに位置合わせした印字ヘッドを作製することができ、良質な印字ヘッドを効率良く作製することができる。

この発明の微細部品の組立装置を説明するにあたり、まず、組み立てる微細部品を有する一例をインクジェット方式の画像形成装置に使用する印字ヘッドにより説明する。印字ヘッド１は、図１の構成図に示すように、液室ユニット２と駆動ユニット３を有する。液室ユニット２はノズル板４と流路板５及び振動板６を有する。ノズル板４は、図２の平面図に示すように、インク滴を吐出する複数のノズル７を有する。流路板５は、図３の平面図に示すように、ノズル板４のノズル７に対応した液室８が形成され、振動板６は各液室８に対応した振動部を有し、各液室８毎に振動を伝える。このノズル板４と流路板５及び振動板６は接着剤９によりそれぞれ接合している。駆動ユニット３は、基板１０上に複数の圧電素子を有する駆動部１１ａと支柱部１１ｂを交互に有し、駆動部１１ａと支柱部１１ｂは所定の間隔をおいて、基板１０に接着剤９で接合している。

この印字ヘッド１により記録用紙に画像を形成するとき、液室ユニット２の液室８にインク供給機構によりインクが供給される。この状態で駆動ユニット３の圧電素子駆動部１１ａを選択的に駆動すると、液室ユニット２の振動板６が振動し、ノズル７からインク滴を吐出する。この各ノズル７から吐出するインクを高精度に制御して高品質な画像を形成するためには、液室ユニット２を構成するノズル板４と流路板５及び振動板６をそれぞれ高い精度で位置合わせして接合するとともに、液室ユニット２と駆動ユニット３も高精度に位置合わせして接合する必要がある。

このノズル板４と流路板５を高精度に位置合わせして接合するため、ノズル板４には、図２に示すように、両端部に位置検出用基準マーク１２が貫通穴で形成され、流路板５の両端部の上面と下面にそれぞれ位置検出用基準マーク１３が形成されている。また、振動板６の両端部にも貫通穴からなる位置検出用基準マーク１４が形成されている。このノズル板４の位置検出用基準マーク１２と振動板６の位置検出用基準マーク１４は、流路板５の位置検出用基準マーク１３と中心が一致するように配置され、位置検出用基準マーク１２，１４は、位置検出用基準マーク１３より大径に形成している。但し、位置検出用基準マーク１２，１４と位置検出用基準マーク１３は必ずしも中心が一致するように配置しなくても、上方からの撮像手段で撮像したときに検出可能な位置に配置され、位置検出用基準マーク１２，１４と位置検出用基準マーク１３間の位置関係（オフセット）が明確になっていれば良い。

そしてノズル板４と流路板５を接合するために位置決めするとき、図４の配置図に示すように、まず、ノズル板４の量端部に形成された位置検出用基準マーク１２を検出し、その位置に合わせて流路板５の位置を粗調整する。次に、ノズル板４の両端部に形成された位置検出用基準マーク１２と流路板５の両端部に設けた位置検出用基準マーク１３の中心を検出してから、Ｘ軸方向とＹ軸方向及び座標軸の旋回角θにより、ノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２間の中心Ａの座標（Ｘｎ,Ｙｎ,θｎ）と、流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３間の中心Ｂの座標（Ｘr，Ｙr，θr）を求め、それぞれの中心Ａ，Ｂの座標からノズル板４と流路板５の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）を、
（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）＝（Ｘｎ,Ｙｎ,θｎ）−（Ｘr，Ｙr，θr）
で演算し、ノズル板４と流路板５のいずれか一方を基準にし、演算した位置誤差量により他方をＸ軸方向とＹ軸方向及び座標軸の旋回角θで補正する。この位置補正完了後に垂直方向であるＺ軸方向に加圧してノズル板４と流路板５を接合する。このようにノズル板４の位置検出用基準マーク１２間の中心Ａ（Ｘｎ,Ｙｎ,θｎ）と、流路板５の位置検出用基準マーク１３間の中心Ｂ（Ｘr，Ｙr，θr）からノズル板４と流路板５の位置誤差量を算出して位置合わせすることにより、ノズル板４と流路板５を接合した後、図５に示すように、ノズル板４の位置検出用基準マーク１２と流路板５の位置検出用基準マーク１３の中心を高精度に一致させることができる。また、ノズル板４と流路板５の接合後も、ノズル板４の位置検出用基準マーク１２の中に流路板５の位置検出用基準マーク１３を検出することができるから、位置検出用基準マーク１２と位置検出用基準マーク１３の中心を検出することにより、ノズル板４と流路板５との間の位置精度を検査することができる。また、流路板５と振動板６も、同様に位置検出用基準マーク１３，１４により位置合わせすることができる。

この印字ヘッド１の例えばノズル板４と流路板５を組み立てる組立装置２０は、図６の平面配置図に示すように、ノズル板４を供給する第１ステーション２１と、ノズル板４と流路板５の位置合わせをして接合する第２ステーション２２と、流路板５を供給するとともに完成品を排出する第３ステーション２３を有する。

第１ステーション２１は、第１部品搬送装置２４と第１部品供給手段２５を有する。第１部品搬送装置２４はノズル板４を搬入する。第１部品供給手段２５は、例えば多関節ロボットからなり、第１部品搬送装置２４で搬入されたノズル板４を第２ステーション２２に供給する。

第２ステーション２２は、図７（ａ），（ｂ）の側面図に示すように、第１部品仮置き部２６と第２部品仮置き部２７と第１部品移送手段２８と計測手段２９及び回収手段３０を有する。第１部品仮置き部２６は、第１部品仮置き台３１と昇降機構部３２を有する。第１部品仮置き台３１は、第１部品供給手段２５で供給されたノズル板４を仮位置決め機構に突き当てて仮位置決めして吸着保持する。昇降機構部３２は垂直方向であるＺ軸方向の駆動機構を有し、第１部品仮置き台３１を昇降させる。第２部品仮置き部２７は、第２部品仮置き台３３と位置調整機構部３４を有する。第２部品仮置き台３３は、第１部品移送手段２８の中心を基準にして第１部品仮置き部２６と角度が１８０度異なる位置に設けられ、第３ステーション２３から供給された流路板５を仮位置決め機構で仮位置決めし吸着して保持する。位置調整機構部３４は、水平方向であるＸＹ軸と、垂直方向であるＺ軸及び旋回軸であるθ軸を有する駆動機構を有し、第２部品仮置き台３３に保持した流路板５をＸＹθ軸方向に位置合わせして第２部品仮置き台３３をＺ軸方向に昇降させる。

第１部品移送手段２８は、インデックステーブルからなり、第１部品保持手段３５ａ，３５ｂを保持して第１ステーション２１と第３ステーション２３の間で反転移動させる。第１部品保持手段３５ａ，３５ｂは、第１部品移送手段２８の下面で、第１部品移送手段２８の回転中心に対して点対称で、角度が１８０度異なる位置に設けられ、中央部に透過窓を有し、第１部品仮置き台３１に保持されたノズル板４を吸着して保持する。

計測手段２９は２組のマーク検出手段３６ａ，３６ｂ及びマスタワーク保持手段３７を有する。マーク検出手段３６ａはノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２の距離と同じ間隔だけ隔てた１対のＣＣＤカメラ３８ａ，３８ｂと焦点深度が大きい光学系を有し、第１部品移送手段２８の上部で、第１部品仮置き台３１と相対する位置に設けられ、マーク検出手段３６ｂも同じ間隔だけ隔てた１対のＣＣＤカメラ３８ｃ，３８ｄと焦点深度が大きい光学系を有し、第１部品移送手段２８の上部で、第２部品仮置き台３３と相対する位置に設けられている。マスタワーク保持手段３７は、第１部品移送手段２８の回転中心を基準にして第１部品仮置き部３１と角度が９０度異なる位置に設けられ、マーク検出手段３６ａ，３６ｂ間のオフセット値を計測するためのマスタワーク３９を保持する。

第３ステーション２３は、第２部品搬送装置４０と第２部品供給手段４１と完成品排出手段４２及び完成品搬送装置４３を有する。第２部品搬送装置４０は流路板５を搬入する。第２部品供給手段４１は、例えば多関節ロボットからなり、第２部品搬送装置４０で搬入された流路板５を第２ステーション２２の第２部品仮置き台３３に供給する。完成品排出手段４２も、例えば多関節ロボットからなり、第２ステーション２２で接合したノズル板４と流路板５の完成品を排出する。完成品搬送装置４３は排出された完成品を搬送する。

この組立装置２０の制御装置５０は図８のブロック図に示すように、中央処理部５１と位置調整制御部５２と駆動制御部５３を有する。中央処理部５１はＣＰＵやメモリを有し、装置全体の動作を管理する。位置調整制御部５２は、各ＣＣＤカメラ３８ａ〜３８ｄで撮像したノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２と流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３の位置から位置調整機構部３４を駆動制御して、ノズル板４に対する流路板５の位置を調整してノズル板４と流路板５を位置合わせする。駆動制御部５３は第１部品供給手段２５から完成品排出手段４２までの各駆動手段の動作を制御する。

この組立装置２０でノズル板４に対して流路板５を位置合わせして接合するにあたり、まず、マスタワーク保持手段３７に保持されたマスタワーク３９を使用してマーク検出手段３６ａ，３６ｂのオフセット値を正確に計測して設定する。このオフセット値を計測して設定するとき、ノズル板４や流路板５と同様に、両端部に位置基準マークが設けられたマスタワーク３９を、マスタワーク保持手段３７に正確に位置決めして固定する。この状態で制御装置５０の中央処理部５１は、位置調整制御部５２を駆動制御して、第１部品移送手段２８に連動させてマーク検出手段３６ａを正確に９０度回転し、位置調整制御部５２によりマーク検出手段３６ａのＣＣＤカメラ３８ａ，３８ｂでマスタワーク３９に設けた２つの位置基準マークの中心を検出し、検出した位置基準マークの座標から２つ位置基準マーク間の中心座標（Ｘａ,Ｙａ,θａ）を演算する。次に、第１部品移送手段２８とマーク検出手段３６ａを９０度回転して初期位置に戻し、第１部品移送手段２８に連動させてマーク検出手段３６ｂを正確に９０度回転し、マーク検出手段３６ｂのＣＣＤカメラ３８ｃ，３８ｄでマスタワーク３９に設けた２つの位置基準マークの中心を検出し、検出した位置基準マークの座標から２つ位置基準マーク間の中心座標（Ｘｂ,Ｙｂ,θｂ）を演算する。この一方のマーク検出手段３６ａの検出結果により算出した中心座標（Ｘａ,Ｙａ,θａ）と他方のマーク検出手段３６ｂの検出結果により算出した中心座標（Ｘｂ,Ｙｂ,θｂ）のずれ量（Ｘcf、Ｙcf、θcf）を、
（Ｘcf、Ｙcf、θcf）＝（Ｘａ,Ｙａ,θａ）−（Ｘｂ,Ｙｂ,θｂ）
で演算して、マーク検出手段３６ａ，３６ｂのオフセット値として設定し、流路板５の位置調整時のパラメータとして使用する。

その後、ノズル板４に対して流路板５を位置合わせして接合する。ノズル板４と流路板５を位置合わせをするに際しては、第１ステーション２１の第１部品搬送装置２４により搬入されたノズル板４を、第１部品供給手段２５によって第２ステーション２２に供給するノズル板供給工程と、第３ステーション２３の第２部品搬送装置４０により投入された流路板５を第２部品供給手段４１によって第２ステーション２２に供給する流路板供給工程を並列して行い、第２ステーション２２におけるノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２と流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３のマーク検出工程と粗調整を並列して行い、引き続いてノズル板４に対する流路板５の位置調整工程を行う。このようにノズル板供給工程と流路板供給工程を並列して行い、マーク検出工程と粗調整を並列して行うことによりタクトタイムを短縮することができる。

この組立装置２０でノズル板４に対して流路板５を位置合わせして組み立てる各工程を説明する。

制御装置５０の中央処理部５１は、駆動制御部５３を駆動制御し、第１ステーション２１の第１部品供給手段２５に設けたセンサにより、第２ステーション２２の第１部品仮置き台３１にノズル板４が保持されているかどうかを確認する。そして、第１部品仮置き台３１にノズル板４が無い場合は、第１部品搬送装置２４上のノズル板４を第１部品供給手段２５により第１部品仮置き台３１に移載し、第１部品仮置き台３１の仮位置決め機構によりＸＹ方向に突き当て仮位置決めする。第１部品仮置き台３１は仮位置決めされたノズル板４を吸着して保持する。

一方、第３ステーション２３の第２部品搬送装置４０で投入された流路板５は、第２部品供給手段４１により、ノズル板４の供給と並列して第２部品仮置き台３３に供給され、第２部品仮置き台３３の仮位置決め機構によりＸＹ方向に突き当て仮位置決めし、仮位置決めされた流路板５を第２部品仮置き台３３で吸着して保持する。

中央処理部５１は第１部品仮置き台３１でノズル板４を吸着して保持したことを確認すると、駆動制御部５３により昇降機構部３２を駆動させて第１部品仮置き台３１を上昇させて、第１部品移送手段２８の下面に設けた第１部品保持手段３５ａに対して僅かな隙間を持って位置決めする。その後、第１部品仮置き台３１と第１部品保持手段３５ａの吸着を切り替え、第１部品仮置き台３１で保持したノズル板４を第１部品保持手段３５ａに移載する。その後、昇降機構部３２を駆動させて第１部品仮置き台３１を初期位置に下降させ、次のノズル板４の供給工程に入る。

第１部品保持手段３５ａにノズル板４を移載したことを確認すると、位置調整制御部５２は、マーク検出手段３６ａのＣＣＤカメラ３８ａ，３８ｂでノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２を検出しているかどうかを確認する。この確認の結果、ＣＣＤカメラ３８ａ，３８ｂでノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２を検出できない場合は、第１部品保持手段３５ａに移載したノズル板４を回収手段３０により回収する。この回収されたノズル板４は組立装置２０外に取出して再投入し再利用する。

また、ＣＣＤカメラ３８ａ，３８ｂでノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２を検出している場合、位置調整制御部５２は、ＣＣＤカメラ３８ａ，３８ｂで撮像した２つの画像から、ノズル板４の両端部に形成された位置検出用基準マーク１２の中心を検出し、検出した２つの位置検出用基準マーク１２の中心の座標からノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２間の中心Ａの座標値（Ｘｎ,Ｙｎ,θｎ）を算出し、算出した座標値（Ｘｎ,Ｙｎ,θｎ）にマーク検出手段３８ａ，３８ｂのオフセット値（Ｘｃｆ、Ｙｃｆ、θｃｆ）を加えて粗調整量を演算し、演算した粗調整量により、第２部品仮置き部２７の位置調整機構部３４を駆動して第２部品仮置き台３３で保持した流路板５の位置を粗調整する。

この流路板５の位置を粗調整するときの処理を例えばノズル板４と流路板５の１つの位置検出用基準マーク１２，１３を例に説明する。組立装置２０のマーク検出手段３６ａ，３６ｂのＣＣＤカメラ３８ａ〜３８ｄは、ノズル板４と流路板５をそれぞれ第１部品仮置き台３１と第２部品仮置き台３３に仮位置決めして保持したとき、図９（ａ）に示すように、ノズル板４の位置検出用基準マーク１２の中心（Ｘt、Ｙｔ、θｔ）と流路板５の位置検出用基準マーク１３の中心（Ｘｏ、Ｙｏ、θｏ）が各ＣＣＤカメラ３８ａ〜３８ｄの視野６０の中心（Ｘc、Ｙｃ、θｃ）になるように設定されている。しかし、ノズル板４は、非常に薄い板状ワークであるため、第１部品仮置き台３１における仮位置決め精度があまり良くないため、第１部品仮置き台３１から第１部品保持手段３５ａに移載して、マーク検出手段３６ａのＣＣＤカメラ３８ａ，３８ｂで位置検出用基準マーク１２の中心を検出したとき、図９（ｂ）に示すように、設定された中心（Ｘt、Ｙｔ、θｔ）に対して（ΔＸ１、ΔＹ１、Δθ１）だけずれた位置（Ｘｔ１、Ｙｔ１、θｔ１）に位置検出用基準マーク１２の中心がセットされることがよくある。この状態で第１部品移送手段２８を回転してノズル板４を第２部品仮置き部２７側に移送すると、所定の位置（Ｘt、Ｙｔ、θｔ）に位置検出用基準マーク１３の中心が仮位置決めされた流路板５の位置検出用基準マーク１３をマーク検出手段３６ｂのＣＣＤカメラ３８ｃ，３８ｄで検出できなくなってしまう。そこで図９（ｃ）に示すように、流路板５の位置検出用基準マーク１３の中心がノズル板４の位置検出用基準マーク１２の中心（Ｘｔ１、Ｙｔ１、θｔ１）に一致するように、第２部品仮置き台３３に保持された流路板５の位置を粗調整し、マーク検出手段３６ｂのＣＣＤカメラ３８ｃ，３８ｄでノズル板４と流路板５の位置検出用基準マーク１２，１３を検出できるようにする。

そこで、ノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２と流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３を検出する場合は、ノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２間の中心Ａの座標値（Ｘｎ,Ｙｎ,θｎ）にマーク検出手段３６ａ，３６ｂのオフセット値（Ｘｃｆ、Ｙｃｆ、θｃｆ）を加えた粗調整量により、第２部品仮置き部２７の位置調整機構部３４を駆動して流路板５の位置を粗調整し、第１部品移送手段２８を回転してノズル板４を第２部品仮置き部２７側に移送したときに、マーク検出手段３６ｂのＣＣＤカメラ３８ｃ，３８ｄでそれぞれノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２と流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３を検出できるようにする。

位置調整制御部５２は、第２部品仮置き部２７の位置調整機構部３４を駆動して流路板５の位置を粗調整した後、第１部品移送手段２８を角度１８０度だけ回転して第１部品保持手段３５ａで保持したノズル板４を第２部品仮置き部２７側に移送する。この状態で、位置調整制御部５２は、マーク検出手段３６ｂのＣＣＤカメラ３８ｃ，３８ｃでノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２を撮像し、撮像した２つの画像から、ノズル板４の両端部に形成された２つの位置検出用基準マーク１２の中心を再度検出し、検出した２つの位置検出用基準マーク１２の中心の座標からノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２間の中心Ａの座標値（Ｘｎ２,Ｙｎ２,θｎ２）を算出する。次に、位置調整制御部５２は、第２部品仮置き台３３に保持されて位置調整機構部３４で位置が粗調整された流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３を、ノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２を通して検出し、２つの位置検出用基準マーク１３の中心の座標から流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３間の中心Ｂの座標値（Ｘｒ２,Ｙｒ２,θｒ２）を算出する。この算出した位置検出用基準マーク１２間の中心Ａの座標値（Ｘｎ２,Ｙｎ２,θｎ２）と位置検出用基準マーク１３間の中心Ｂの座標値（Ｘｒ２,Ｙｒ２,θｒ２）を比較し、座標値（Ｘｎ２,Ｙｎ２,θｎ２）と座標値（Ｘｒ２,Ｙｒ２,θｒ２）の位置ずれ量があらかじめ定めた規定値外であれば、位置調整機構部３４によってＸＹθ軸方向の位置調整を行う。また、位置ずれ量が規定値以内であれば、位置調整機構部３４で第２部品仮置き台３３をＺ軸方向に上昇させ、上面に接着剤を塗布した流路板５をノズル板４に規定の圧力で圧接して、ノズル板４に流路板５を接合する。この接合後、マーク検出手段３６ｂのＣＣＤカメラ３８ｃ，３８ｃでノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２と流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３を検出して、接合位置精度を計測して、その適否を判定する。

このように１系統のマーク検出手段３６ｂでノズル板４の位置検出用基準マーク１２と流路板５の位置検出用基準マーク１３を検出することにより、高精度な位置合せを行うことができる。また、ノズル板４の位置に応じて流路板５の位置を粗調整するから、マーク検出手段３６ｂでノズル板４の位置検出用基準マーク１２と流路板５の位置検出用基準マーク１３を確実に検出することができる。したがってノズル板４の位置検出用基準マーク１２と流路板５の位置検出用基準マーク１３の大きさをほぼ同等にすることができ、マーク検出手段３６ａ，３６ｂの倍率を最適に選択して画素分解能を向上させることができ、ノズル板４と流路板５の位置合わせ精度をより向上することができる。

ノズル板４と流路板５を接合した後、完成品排出手段４２で接合した完成品を取り出し完成品搬送装置４３に排出し、第２部品供給手段４１は引き続いて第２部品搬送装置４０から流路板５を取り出して第２部品仮置き台３３に供給する。この時、すでに、第１部品保持手段３５ｂで保持したノズル板４の位置検出基準マーク１２をマーク検出手段３６ｂのＣＣＤカメラ３８ａ，３８ｂで検出して粗補正量の演算が完了しているので、第２部分仮置き台３３に流路板５が載置完了すると同時に、流路板５の位置を粗調整し、第１部品移送手段２８の第１部品保持手段３５ｂで保持したノズル板４を流路板５上に移動させる。

この動作を繰り返すことにより、ノズル板４に対する流路板５の位置調整を連続的に行いノズル板４に流路板５を高精度に接合することができる。

前記説明でノズル板４に対して流路板５を位置合わせして接合する場合について説明したが、振動板６に対して流路板５を位置合わせして接合する場合にも、同様に振動板６と流路板５を高精度に位置合わせして接合することができる。

また、このようにノズル板４と流路板５及び振動板６を高精度に位置合わせして組み立てた印字ヘッド１を使用して記録用紙にインクを吐出して画像を形成することにより、良質な画像を安定して形成することができる。

さらに、前記説明ではノズル板４や振動板６に対して流路板５を位置決めして接合して印字ヘッド１を組み立てる場合について説明したが、その他の微細部品も同様にして位置調整して組み立てることができる。

また、前記説明ではノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２の中心の座標からノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２間の中心Ａの座標を求めて流路板５の粗調整量を算出したり、ノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２の中心の座標から算出したノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２間の中心Ａの座標と、流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３の中心の座標から算出した流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３間の中心Ｂの座標を使用して、ノズル板４に対する流路板５の位置を調整する場合について説明したが、ノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２の中心の座標から流路板５の位置を粗調整したり、ノズル板４の２つの位置検出用基準マーク１２の中心の座標と流路板５の２つの位置検出用基準マーク１３の中心の座標を使用して、ノズル板４に対する流路板５の位置を調整するようにしても良い。

また、前記説明では位置調整をする２つの部品にそれぞれ２つの位置検出用基準マークを設けた場合について説明したが、位置調整をする２つの部品によっては、それぞれ３個以上の位置検出用基準マークを設け、一方の部品の３個以上の位置検出用基準マークから算出される中心座標により他方の部品の位置を粗調整し、両方の部品の３個以上の位置検出用基準マークの中心座標により、２つの部品の位置を調整するようにしても良い。

インクジェット方式の画像形成装置に使用する印字ヘッドの構成図である。ノズル板を示す平面図である。流路板を示す平面図である。ノズル板と流路板の位置合わせを示す配置図である。ノズル板と流路板とを正確に位置合わせ状態を示すを示す平面図である。組立装置の構成を示す平面図である。ノズル板と流路板の位置合わせをする第２ステーションの構成を示す側面図である。制御装置の構成を示すブロック図である。流路板の位置を粗調整する粗調整量の算出処理を示す模式図である。

符号の説明

１；印字ヘッド、２；液室ユニット、３；駆動ユニット、４；ノズル板、５；流路板、
６；振動板、７；ノズル、８；液室、９；接着剤、１０；基板、
１２，１３，１４；位置検出用基準マーク、２０；組立装置、
２１；第１ステーション、２２；第２ステーション、２３；第３ステーション、
２４；第１部品搬送装置、２５；第１部品供給手段、２６；第１部品仮置き部、
２７；第２部品仮置き部、２８；第１部品移送手段、２９；計測手段、３０；回収手段、
３１；第１部品仮置き台、３２；昇降機構部、３３；第２部品仮置き台、
３４；位置調整機構部、３５；第１部品保持手段、３６；マーク検出手段、
３７；マスタワーク保持手段、３８；ＣＣＤカメラ、３９；マスタワーク、
４０；第２部品搬送装置、４１；第２部品供給手段、４２；完成品排出手段、
４３；完成品搬送装置、５０；制御装置、５１；中央処理部、５２；位置調整制御部、
５３；駆動制御部。

Claims

第1の部品と第２の部品とにそれぞれに設けた位置検出基準マークを検出して、その検出結果に基づいて２つの部品の位置合わせを行う位置調整方法であって、
位置合わせの基準となる第１の部品を保持し、第１のマーク検出手段を用いて保持した第１の部品の位置検出基準マークを検出して第１の部品の保持位置を計測する第１部品検出工程と、
保持した第１の部品を第２の部品の仮置き位置の上に移送するときに、第２の部品の位置検出基準マークが第１の部品の位置検出基準マークの範囲内に位置するように、計測した第１の部品の保持位置により、仮置き位置に移載した第２の部品の位置を粗調整する第２部品粗調整工程と、
保持した第１の部品を第２の部品の仮置き位置の上に移送し、第２のマーク検出手段を用いて第１の部品の位置検出基準マークと第２の部品の位置検出基準マークを検出して、第１の部品に対して第２の部品の位置を合わせる位置調整工程を有し、
前記位置調整工程と並行して、次に位置調整が行われる第１の部品の第１部品検出工程を行うことを特徴とする位置調整方法。
前記第１の部品と第２の部品のそれぞれ一定距離隔てた位置に２組の位置検出基準マークを設けた請求項１記載の位置調整方法。
第1の部品と第２の部品とにそれぞれに設けた位置検出基準マークを検出して、その検出結果に基づいて２つの部品の位置合わせを行う位置調整装置であって、
第１の部品を仮置きする第１部品仮置き台を有する第１部品仮置き部と、
第２の部品を仮置きする第２部品仮置き台と位置調整機構部とを有する第２部品仮置き部と、
第１部品仮置き台に仮置きされた第１の部品を吸着して保持する第１部品保持手段を有し、前記第１部品保持手段に吸着された前記第１の部品を第１部品仮置き部から第２部品仮置き部へと移動させる第１部品移送手段と、
第１部品仮置き部と相対する位置に設けられ、第１の部品の位置検出基準マークを検出する１組の第１のマーク検出手段と、
第２部品仮置き部と相対する位置に設けられ、第１部品移送手段により移送された第１の部品の位置検出基準マークと第２部品仮置き台に保持された第２の部品の位置検出基準マークとを検出する１組の第２のマーク検出手段と、
前記２組のマーク検出手段の検出結果に基づいて位置調整機構部の駆動を制御する位置調整制御部とを有し、
前記位置調整制御部は、第１のマーク検出手段で検出された第１の部品の位置検出基準マークの検出結果により位置調整機構部を駆動し、第２部品仮置き台で保持された第２の部品の位置の粗調整を行うとともに、第２のマーク検出手段で検出された第１の部品と第２の部品との位置検出基準マークの検出結果により位置調整機構部を駆動し、第２部品仮置き台で保持された第２の部品の位置を第１の部品の位置に位置合わせすることを特徴とする位置調整装置。
第1の部品と第２の部品とにそれぞれに設けた位置検出基準マークを検出して、その検出結果に基づいて２つの部品の位置合わせを行う位置調整装置であって、
第１部品仮置き部と第２部品仮置き部と第１部品移送手段と計測手段及び位置調整制御部を有し、
第１部品仮置き部は、第１部品仮置き台と昇降機構部を有し、第１部品仮置き台は、第１の部品を仮位置決めして保持し、昇降機構部は第１部品仮置き台を昇降させ、
第２部品仮置き部は、第２部品仮置き台と位置調整機構部を有し、第２部品仮置き台は、第２の部品を仮位置決めして保持し、位置調整機構部は、水平方向と垂直方向及び旋回軸を有する駆動機構を有し、第２部品仮置き台に保持した第２の部品の位置を調整して昇降させ、
第１部品移送手段は、インデックステーブルからなり、第１部品保持手段を保持して第１部品仮置き部と第２部品仮置き部の間で反転移動させ、第１部品保持手段は、中央部に透過窓を有し、第１部品仮置き台に保持された第１の部品を吸着して保持し、
計測手段は２組のマーク検出手段を有し、第１部品移送手段の上部で、第１部品仮置き台と第２部品仮置き台と相対する位置にそれぞれ設けられ、
位置調整制御部は、第１の部品を保持した第１部品仮置き台を昇降機構部で上昇させて第１の部品を第１部品移送手段の第１部品保持手段に移送したとき、第１部品保持手段で保持した第１の部品の位置検出基準マークを計測手段の一方のマーク検出手段で検出し、検出した第１の部品の位置検出基準マークの位置により、第２部品仮置き部の位置調整機構部により第２部品仮置き台で保持した第２の部品の位置を粗調整し、第２の部品の位置を粗調整した後、第１部品移送手段を駆動して第１部品保持手段で保持した第１の部品を第２部品仮置き部の上に移送し、移送した第１の部品と第２の部品の位置検出基準マークを計測手段の他方のマーク検出手段で検出して、第２部品仮置き部の位置調整機構部により第２部品仮置き台で保持した第２の部品を第１の部品に位置合わせすることを特徴とする位置調整装置。
前記第１の部品と第２の部品とのそれぞれに一定距離隔てた位置に１組の位置検出基準マークを有し、前記２組のマーク検出手段のそれぞれに１対の視覚センサを設けた請求項３又は４記載の位置調整装置。
前記２組の位置検出基準マークを有するマスタワークを保持するマスタワーク保持手段を有し、前記位置調整制御部は、２組のマーク検出手段のそれぞれに設けられた１対の視覚センサでマスタワークの２組の位置検出基準マークを検出して、２組のマーク検出手段のオフセット値を計測し、計測したオフセット値により第２の部品の位置を粗調整するときの粗調整量を補正する請求項５記載の位置調整装置。
第１部品供給手段と第２部品供給手段と位置調整装置及び完成品排出手段を有し、
前記第１部品供給手段は第１の部品を前記位置調整装置に供給し、前記第２部品供給手段は第２の部品を前記位置調整装置に供給し、
前記位置調整装置は、
第１の部品を仮置きする第１部品仮置き台を有する第１部品仮置き部と、
第２の部品を仮置きする第２部品仮置き台と位置調整機構部とを有する第２部品仮置き部と、
第１部品仮置き台に仮置きされた第１の部品を吸着して保持する第１部品保持手段を有し、前記第１部品保持手段に吸着された前記第１の部品を第１部品仮置き部から第２部品仮置き部へと移動させる第１部品移送手段と、
第１部品仮置き部と相対する位置に設けられ、第１の部品の位置検出基準マークを検出する１組の第１のマーク検出手段と、
第２部品仮置き部と相対する位置に設けられ、第１部品移送手段により移送された第１の部品の位置検出基準マークと第２部品仮置き台に保持された第２の部品の位置検出基準マークとを検出する１組の第２のマーク検出手段と、
前記２組のマーク検出手段の検出結果に基づいて位置調整機構部の駆動を制御する位置調整制御部とを有し、
前記位置調整制御部は、第１のマーク検出手段で検出された第１の部品の位置検出基準マークの検出結果により位置調整機構部を駆動し、第２部品仮置き台で保持された第２の部品の位置の粗調整を行うとともに、第２のマーク検出手段で検出された第１の部品と第２の部品との位置検出基準マークの検出結果により位置調整機構部を駆動し、第２部品仮置き台で保持された第２の部品の位置を第１の部品の位置に位置合わせを行い、第２の部品を第１の部品に加圧接合し、
前記完成品排出手段は接合した第１の部品と第２の部品を前記位置調整装置から排出することを特徴とする組立装置。
第１部品供給手段と第２部品供給手段と位置調整装置及び完成品排出手段を有し、
前記第１部品供給手段は第１の部品を前記位置調整装置に供給し、前記第２部品供給手段は第２の部品を前記位置調整装置に供給し、
前記位置調整装置は、第１部品仮置き部と第２部品仮置き部と第１部品移送手段と計測手段及び位置調整制御部を有し、第１部品仮置き部は、第１部品仮置き台と昇降機構部を有し、第１部品仮置き台は、第１の部品を仮位置決めして保持し、昇降機構部は第１部品仮置き台を昇降させ、第２部品仮置き部は、第２部品仮置き台と位置調整機構部を有し、第２部品仮置き台は、第２の部品を仮位置決めして保持し、位置調整機構部は、水平方向と垂直方向及び旋回軸を有する駆動機構を有し、第２部品仮置き台に保持した第２の部品の位置を調整して昇降させ、第１部品移送手段は、インデックステーブルからなり、第１部品保持手段を保持して第１部品仮置き部と第２部品仮置き部の間で反転移動させ、第１部品保持手段は、中央部に透過窓を有し、第１部品仮置き台に保持された第１の部品を吸着して保持し、計測手段は２組のマーク検出手段を有し、第１部品移送手段の上部で、第１部品仮置き台と第２部品仮置き台と相対する位置にそれぞれ設けられ、位置調整制御部は、第１の部品を保持した第１部品仮置き台を昇降機構部で上昇させて第１の部品を第１部品移送手段の第１部品保持手段に移送したとき、第１部品保持手段で保持した第１の部品の位置検出基準マークを計測手段の一方のマーク検出手段で検出し、検出した第１の部品の位置検出基準マークの位置により、第２部品仮置き部の位置調整機構部により第２部品仮置き台で保持した第２の部品の位置を粗調整し、第２の部品の位置を粗調整した後、第１部品移送手段を駆動して第１部品保持手段で保持した第１の部品を第２部品仮置き部の上に移送し、移送した第１の部品と第２の部品の位置検出基準マークを計測手段の他方のマーク検出手段で検出して、第２部品仮置き部の位置調整機構部により第２部品仮置き台で保持した第２の部品を第１の部品に位置合わせして、第２の部品を第１の部品に加圧接合し、
前記完成品排出手段は接合した第１の部品と第２の部品を前記位置調整装置から排出することを特徴とする組立装置。
前記位置調整制御部は、接合した第１の部品の位置検出基準マークと第２の部品の位置検出基準マークのそれぞれを第２のマーク検出手段で検出して接合位置の適否を判定する請求項７又は８記載の組立装置。
前記第１の部品と第２の部品とのそれぞれに一定距離隔てた位置に１組の位置検出基準マークを有し、前記位置調整装置の２組のマーク検出手段のそれぞれに１対の視覚センサを設けた請求項７乃至９のいずれかに記載の組立装置。
前記２組の位置検出基準マークを有するマスタワークを保持するマスタワーク保持手段を有し、前記位置調整制御部は、２組のマーク検出手段のそれぞれに設けられた１対の視覚センサでマスタワークの２組の位置検出基準マークを検出して、２組のマーク検出手段のオフセット値を計測し、計測したオフセット値により第２の部品の位置を粗調整するときの粗調整量を補正する請求項１０記載の組立装置。
前記第１の部品はインクジェット方式の印字ヘッドのノズル板又は振動板のいずれかであり、第２の部品は流路板である請求項７乃至１１のいずれかに記載の組立装置。
請求項１２に記載の組立装置で組み立てたことを特徴とする印字ヘッド。