CN113910773A - 墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种使用显示有坐标系的基板上的图案来自动测量和校正墨水的撞击点的墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统。所述墨水撞击点校正装置包括：识别部，从位于基板上的多个位置获得与墨水的撞击点有关的信息；以及校正部，基于与撞击点有关的信息校正基板上的墨水喷射位置的位置，其中，在多个位置处形成坐标系形态的坐标图案。

Description

墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统

技术领域

本发明涉及墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统。更详细地，涉及用于制造显示装置的墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统。

背景技术

当在透明基板上执行印刷工艺(例如，RGB图案化(RGB patterning))以制造LCD面板、PDP面板、LED面板等显示装置时，可以使用具有喷墨头模块(inkjet head module)的印刷设备。

发明内容

为了准确地进行R/G/B图案化(Patterning)，必须进行用于应对印刷设备的机械性缺点的校正作业，以校正并减小在传送路径系统中对基板上的各个液滴(droplet)的撞击产生影响的误差(例如，平移误差、旋转误差等)。

为了改善机械性误差，需要对玻璃的每个位置进行撞击校正。为此，在现有技术中，采用了在经疏水处理的玻璃上进行墨水撞击之后，通过视觉相机(Vision Camera)手动确认墨水撞击的方式。

然而，上述方式因额外需要经疏水处理的玻璃而可能产生费用。此外，上述方式因作业时间非常长而可能需要大量的时间来完成校正作业，而且由于手动进行方案(Recipe)校正，所以可能不适合大量生产经图案化的产品。

本发明所要解决的技术问题为，提供一种使用显示有坐标系的基板上的图案来自动测量和校正墨水的撞击点的墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统。

本发明的技术问题不限于以上提及的技术问题，本领域的技术人员可以通过以下的描述明确地理解未提及的其他技术问题。

用于实现上述技术问题的本发明的墨水撞击点校正装置的一个方面包括：识别部，从位于基板上的多个位置获得与墨水的撞击点有关的信息；以及校正部，基于与所述撞击点有关的信息校正所述基板上的墨水喷射位置的位置，其中，在所述多个位置处形成坐标系形态的坐标图案。

当墨水液滴喷射到所述坐标图案时，所述识别部可以识别所述墨水液滴的坐标，以获得与所述撞击点有关的信息。

当获得多个墨水液滴的坐标作为与所述撞击点有关的信息时，所述校正部可以基于所述多个墨水液滴的坐标计算出斜率，并且可以基于所述斜率来校正所述墨水喷射位置的位置。

当获得多个墨水液滴的坐标作为与所述撞击点有关的信息时，所述校正部可以校正所述墨水喷射位置的位置，使得在所述多个墨水液滴的坐标中至少一个坐标轴的坐标值都为0。

在所述基板上存在多个单元区域的情况下，所述校正部可以基于相邻的两个单元区域之间的关系信息，使用第一模式和第二模式中的任一模式来校正所述墨水喷射位置的位置。

所述校正部在校正待共同适用到所述相邻的两个单元区域的图案方案(patternrecipe)时，可以使用所述第一模式来校正所述墨水喷射位置的位置，且在校正待区分适用到所述相邻的两个单元区域的图案方案时，可以使用所述第二模式来校正所述墨水喷射位置的位置。

在所述校正部使用所述第一模式来校正所述墨水喷射位置的位置的情况下，所述识别部可以从位于所述相邻的两个单元区域的外围的多个位置识别所述撞击点，或者在所述校正部使用所述第二模式来校正所述墨水喷射位置的位置的情况下，所述识别部可以从位于所述相邻的两个单元区域的外围的多个位置以及位于所述相邻的两个单元区域之间的至少一个位置识别所述撞击点。

所述校正部可以使用关于是否在所述相邻的两个单元区域中设置具有相同大小的应用的信息、关于是否在所述相邻的两个单元区域中设置发生热变形的应用的信息、以及关于是否在所述相邻的两个单元区域之间存在对准变化的信息中的至少一种信息作为所述关系信息。

所述多个位置可以形成在所述基板上未形成单元区域的虚拟区域中。

所述多个位置可以在所述基板上形成所述单元区域之前，形成在所述虚设区域中，或者可以在所述基板上形成所述单元区域之后，形成在所述虚设区域中，且在所述基板上形成所述单元区域之前形成在所述虚拟区域中的情况下，所述多个位置可以基于在所述基板上形成的对准标记(Align Mark)形成在所述虚拟区域中。

所述识别部可以从在所述基板上沿至少一个方向布置成一列的所述多个位置识别所述撞击点，以获得与所述撞击点有关的信息。

在从所述基板上沿至少一个方向布置成一列的所述多个位置识别所述撞击点的情况下，所述识别部可以从位于外围的两个位置识别所述撞击点。

可以通过考虑所述基板的移动方向来选择所述多个位置。

可以将沿与所述基板的移动方向不同的方向布置的位置选择为所述多个位置。

所述识别部可以从所述基板上沿至少两个方向分别布置成一列的所述多个位置识别所述撞击点，且所述校正部可以校正待沿至少两个方向适用到所述基板上的单元区域的图案方案。

所述校正部可以通过控制将墨水喷射到所述基板上的时间来校正所述墨水喷射位置的位置，或者可以通过校正将墨水喷射到所述基板上的设备的位置或姿势来校正所述墨水喷射位置的位置，或者可以通过校正所述基板的位置或姿势来校正所述墨水喷射位置的位置。

所述校正部可以于在所述基板上进行RGB图案化之前校正所述墨水喷射位置的位置。

所述墨水撞击点校正装置还可以包括在所述基板上选择待喷射墨水的位置的选择部。

用于实现上述技术问题的本发明的墨水撞击点校正装置的另一个方面包括：识别部，从位于基板上的多个位置获得与墨水的撞击点有关的信息；以及校正部，基于与所述撞击点有关的信息校正所述基板上的墨水喷射位置的位置，其中，在所述基板上存在多个单元区域的情况下，所述校正部基于相邻的两个单元区域之间的关系信息，使用第一模式和第二模式中的任一模式来校正所述墨水喷射位置的位置，其中，当校正待共同适用到所述相邻的两个单元区域的图案方案时，所述校正部使用所述第一模式来校正所述墨水喷射位置的位置，且当校正待区分适用到所述相邻的两个单元区域的图案方案时，所述校正部使用所述第二模式来校正所述墨水喷射位置的位置。

用于实现上述技术问题的本发明的基板处理系统的一个方面包括：基板支承单元，支承基板；门架单元，以能够移动的方式设置在所述基板上；喷墨头模块，设置在门架单元上，并且将墨水喷射到所述基板上；以及墨水撞击点校正装置，包括：识别部，从位于基板上的多个位置获得与墨水的撞击点有关的信息；以及校正部，基于与所述撞击点有关的信息校正所述基板上的墨水喷射位置的位置，其中，在所述多个位置处形成坐标系形态的坐标图案。

其他实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。

附图说明

图1是示意性地示出基板处理系统的内部结构的立体图。

图2是示意性地示出基板处理系统的内部结构的平面图。

图3是示意性地示出根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的内部构成的概念图。

图4是用于说明根据本发明的一个实施例形成在基板上的多个墨水喷射位置的布置结构的第一示例图。

图5是用于说明根据本发明的一个实施例形成在基板上的多个墨水喷射位置的布置结构的第二示例图。

图6是用于说明根据本发明的一个实施例形成在基板上的多个墨水喷射位置的形成方法的第一示例图。

图7是用于说明根据本发明的一个实施例形成在基板上的多个墨水喷射位置的形成方法的第二示例图。

图8是根据本发明的一个实施例设置在基板上的多个位置的坐标图案的示例图。

图9是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第一示例图。

图10是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第二示例图。

图11是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第三示例图。

图12是用于说明构成根据本发明实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第四示例图。

图13是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第五示例图。

图14是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第六示例图。

图15是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第七示例图。

图16是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第八示例图。

图17是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第一示例图。

图18是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第二示例图。

图19是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第三示例图。

图20是用于说明根据本发明一个实施例适用到单元区域的图案化的共同模式的示例图。

图21是用于说明根据本发明的一个实施例适用到单元区域的图案化的区分模式的示例图。

图22是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第四示例图。

图23是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第五示例图。

图24是示意性地示出根据本发明的另一个实施例的墨水撞击点校正装置的内部构成的概念图。

附图标记的说明

100：印刷设备 110：基座

130：门架单元 150：喷墨头模块

300：墨水撞击点校正装置 310：识别部

320：校正部 350：选择部

411、412：单元区域 420：虚拟区域

431～439：墨水喷射位置 440：对准标记

450：基板的移动方向 510：坐标图案

520：墨水液滴 S：基板

具体实施方式

下面，将参照附图详细描述本发明的优选的实施例。本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本发明并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本发明的公开完整，并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告知发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。。

元件或层被称为在另一个元件或层“上(on)”或“上方(on)”不仅包括其在另一个元件或层的正上方，而且还包括其他元件或层介于中间的情况。相反，元件被称为“直接”在“上”或“在正上方”表示没有其他元件或层介于中间的情况。

为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。

虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。

本说明书中使用的术语是为了说明实施例，并不是为了限制本发明。在本说明书中，除非在句中特别提及，单数形式也包括复数形式。说明书中使用的“包括(comprises)”和/或“包含(comprising)”不排除除了所提及的构成要素、步骤、操作和/或元件之外存在或增加一个以上的其他构成要素、步骤、操作和/或元件。

如果没有其他定义，则在本说明书中使用的所有术语(包括技术和科学术语)可以以本发明所属领域的普通技术人员能够共同理解的含义使用。此外，除非明确地特别定义，否则通常使用的词典中定义的用语不被理想化地或过度地解释。

以下，参照附图详细说明本发明的实施例，在参照附图说明时，与附图标记无关地，相同或对应的构成要素被赋予相同的参照标号，并省略对其的重复说明。

在现有技术中，为了改善印刷设备的机械性误差，在经疏水处理的玻璃上进行墨水撞击之后，通过视觉相机手动(manual)测量墨水与实际图案之间的距离，且在方案补偿中手动反映测量距离，然后进行印刷工艺。

然而，这种方式需要另外具备经疏水处理的玻璃，而且需要在执行印刷工艺之前重复上述的过程，因此产品生产的效率可能会降低。

本发明涉及一种使用显示有坐标系的基板上的图案来自动测量和校正墨水的撞击点的墨水撞击点校正装置及具有其的基板处理系统。

根据本发明的墨水撞击点校正装置，可以使用在量产玻璃的虚拟区域中显示有X坐标和Y坐标的图案，实时测量和校正墨水的撞击点，而不需要额外的疏水处理玻璃。根据本发明，可以得到以下效果。

第一，可以将作业时间从每天4小时缩短到5分钟，从而可以提高设备的生产率。

第二，可以通过自动校正传送系统的机械性缺点来提高产品的产出率，并且可以通过在量产中监测撞击点来预先防止工艺缺陷。

第三，可以通过自动调试(Auto Tuning)功能消除人为错误(Human error)，由此可以提高设备的品质。

以下，参照附图等对本发明进行详细说明。首先，对具有墨水撞击点校正装置的基板处理系统进行说明。

图1是示意性地示出基板处理系统的内部结构的立体图，且图2是示意性地示出基板处理系统的内部结构的平面图。

基板处理系统用于处理基板。例如，这种基板处理系统可以实现为使用喷墨头模块将墨水等喷射到基板上的印刷设备。以下，以基板处理系统为印刷设备的情况为例进行说明。

参照图1和图2，印刷设备100可以构成为包括基座110、基板支承单元120、门架单元130、门架移动单元140、喷墨头模块150、头部移动单元160、液滴喷射量测量单元170和喷嘴检查单元180。

基座110用于构成印刷设备100的主体。基座110可以设置为具有一定厚度的长方体形状。此外，基座110的上表面上可以布置有基板支承单元120。

基板支承单元120用于支承基板S。这种基板支承单元120可以具有放置有基板S的支承板121。

支承板121用于安装基板S。这种支承板121可以是四边形形状的平板。此外，旋转驱动部件122可以连接到支承板121的下表面。

旋转驱动部件122用于旋转支承板121。为此，旋转驱动部件122可以实现为旋转电机。旋转驱动部件122可以利用沿垂直于支承板121的方向形成的旋转中心轴来旋转支承板121。

当支承板121通过旋转驱动部件122旋转时，基板S也可以随着支承板121旋转。例如，当形成在待涂布液滴的基板S上的单元的长边方向朝向第二方向20时，旋转驱动部件122可以旋转基板S，使得单元的长边方向朝向第一方向10。

直线驱动部件123用于直线移动支承板121和旋转驱动部件122。这种直线驱动部件123可以沿第一方向10直线移动支承板121和旋转驱动部件122。

直线驱动部件123可以包括滑动件124和引导部件125。在这种情况下，旋转驱动部件122可以设置在滑动件124的上表面上。

引导部件125可以在基座110的上表面的中心部以第一方向10为长度方向延伸。在滑动件124中可嵌入有直线电机(未示出)，且滑动件124可以通过直线电机随着引导部件125沿第一方向10直线移动。

门架单元(Gantry Unit)130用于支承多个喷墨头模块150。这种门架单元130可以设置在支承板121移动路径的上方。

门架单元130可以从基座110的上表面向上方间隔开。此外，门架单元130可以布置成其长度方向朝向第二方向20。

门架移动单元140用于沿第一方向10直线移动门架单元130。这种门架移动单元140可以包括第一移动单元141和第二移动单元142。

第一移动单元141可以设置在门架单元130的一端，且第二移动单元142可以设置在门架单元130的另一端。在这种情况下，第一移动单元141可以沿着设置在基座110的一侧的第一导轨211滑动移动，且第二移动单元142可以沿着设置在基座110的另一侧的第二导轨212滑动移动，以沿第一方向10直线移动门架单元130。

喷墨头模块150用于将诸如墨水等的液滴喷射到基板S上。这种喷墨头模块150可以设置在门架单元130的侧表面上，以由门架单元130支承。

喷墨头模块150可以通过头部移动单元160沿门架单元130的长度方向，即第二方向20直线移动，也可以沿第三方向30直线移动。此外，喷墨头模块150也可以相对于头部移动单元160以平行于第三方向30的轴为中心旋转。

多个喷墨头模块150可以设置在门架单元130上。例如，喷墨头模块150可以设置为第一头部单元151、第二头部单元152、第三头部单元153等三个。例如，多个喷墨头模块150可以沿第二方向20并排成一列而结合到门架单元130。

喷墨头模块150可以构成为包括喷射液滴的多个喷嘴(未示出)以及形成有多个喷嘴的喷嘴板(未示出)。例如，在喷墨头模块150中可以设置有128个喷嘴或256个喷嘴。

在喷墨头模块150中可以设置有与多个喷嘴的数量对应的压电元件。通过对施加到压电元件的电压的控制，可以分别独立地调节多个喷嘴的液滴喷射量。

头部移动单元160用于直线移动喷墨头模块150。这种头部移动单元160可以与喷墨头模块150的数量对应地设置在印刷设备100内部。例如，当喷墨头模块150设置为第一头部单元151、第二头部单元152、第三头部单元153等三个时，头部移动单元160也可以设置为三个。

此外，头部移动单元160也可以设置为单个，且在这种情况下，喷墨头模块150可以同时一起移动，而不是单独移动。

液滴喷射量测量单元170用于测量喷墨头模块150的液滴喷射量。这种液滴喷射量测量单元170可以布置在基座110上的基板支承单元120的一侧。

液滴喷射量测量单元170可以针对每个喷墨头模块150测量从全部喷嘴喷射的液滴量。通过喷墨头模块150的液滴喷射量的测量，可以宏观地确认喷墨头模块150的全部喷嘴是否有异常。即，如果喷墨头模块150的液滴喷射量超出基准值，则可以得知喷墨头模块150中的至少一个有异常。

喷墨头模块150可以通过门架移动单元140和头部移动单元160沿第一方向10和第二方向20移动，以位于液滴喷射量测量单元170的上方。头部移动单元160可以沿第三方向30移动喷墨头模块150，以调节喷墨头模块150与液滴喷射量测量单元170之间的上下方向的距离。

喷嘴检查单元180用于确认设置在喷墨头模块150中的单个喷嘴是否有异常。例如，这种喷嘴检查单元180可以通过光学检查来确认单个喷嘴是否有异常。

当在液滴喷射量测量单元170中宏观地确认喷嘴是否有异常的结果为，非特定喷嘴有异常时，喷嘴检查单元180可以在确认单个喷嘴是否有异常的同时对喷嘴进行全数检查。

喷嘴检查单元180可以布置在基座110上的基板支承单元120的一侧。喷墨头模块150可以通过门架移动单元140和头部移动单元160沿第一方向10和第二方向20移动，以位于喷嘴检查单元180的上部。头部移动单元160可以沿第三方向30移动喷墨头模块150，以调节喷墨头模块150与喷嘴检查单元180之间的上下方向的距离。

此外，印刷设备100还可以包括液滴供应装置190。

液滴供应装置190可以设置在门架单元130的上部和侧部。这种液滴供应装置190可以包括液滴供应模块191和压力调节模块192。

液滴供应模块191用于将墨水等液体供应到喷墨头模块150。这种液滴供应模块191可以从储存液体的储存罐(未示出)接收液体之后，将液体供应到喷墨头模块150。

压力调节模块192用于调节液滴供应模块191的压力。这种压力调节模块192可以向液滴供应模块191提供正压或负压，以调节液滴供应模块191的压力。

此外，液滴供应模块191和压力调节模块192可以结合到门架单元130。

为了改善印刷设备100的机械性误差(例如，平移误差、旋转误差等)，需要对基板根据位置进行撞击校正。为此，基板处理系统可以具有墨水撞击点校正装置。

墨水撞击点校正装置可以自动测量和校正墨水的撞击点以应对印刷设备的机械性缺点。墨水撞击错误可能因传送系统(例如，门架单元130)的机械性缺点而发生。在本实施例中，尽管存在传送系统的机械性缺点，但可以通过校正上述误差来改善基板的印刷精度。可以将墨水撞击点校正装置应用到对于坐标系中的非正交性失配的校正。

以下，将对墨水撞击点校正装置进行说明。

图3是示意性地示出根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的内部构成的概念图。

根据图3，墨水撞击点校正装置300可以构成为包括识别部310、校正部320和控制部330。这种墨水撞击点校正装置300可以构成为还包括电源部340和选择部350。关于此，将在后面参照图24进行描述。

当通过喷墨头模块150将墨水喷射到基板S(例如，用于制造显示装置的玻璃基板)上的多个位置时，识别部310执行从各个墨水喷射位置获得与墨水的撞击点有关的位置信息的功能。为此，识别部310可以从各个墨水喷射位置识别墨水的撞击点。

识别部310可以实现为具有识别功能的视觉相机等。此时，控制部330可以实现为控制这种识别部310的操作的计算机装置(或装载在计算机装置中的软件)。此外，识别部310也可以被理解为包括视觉相机和控制视觉相机的操作的计算机装置的概念。

形成在基板S上的多个位置用于在基板S上准确地进行RGB图案化。喷墨头模块150可以向这些多个位置喷射墨水。

多个位置可以形成在基板S上未形成单元(Cell)的虚拟区域(Dummy area)中。例如，如图4所示，在基板S上有两个单元区域411、412的情况下，在除了两个单元区域411、412之外的区域即虚拟区域420中可以形成九个位置431～439。以上，单元区域411、412指进行RGB图案化的区域。图4是用于说明根据本发明的一个实施例形成在基板上的多个墨水喷射位置的布置结构的第一示例图。

多个位置中的一部分可以形成为与对准标记(Align mark)440相邻。例如，如图4所示，第一位置431、第二位置432、第三位置433、第七位置437、第八位置438、第九位置439等可以形成为与对准标记440相邻，且第四位置434、第五位置435、第六位置436等可以形成为不与对准标记440相邻。

然而，本实施例不限于此。多个位置也可以全部形成为与对准标记440相邻。例如，如图5所示，第一位置431、第二位置432、第三位置433、第四位置434、第五位置435、第六位置436等可以形成为与对准标记440相邻。图5是用于说明根据本发明的一个实施例形成在基板上的多个墨水喷射位置的布置结构的第二示例图。

如图6所示，形成在虚拟区域420中的多个位置可以在基板S上形成单元区域411、412之后形成。在这种情况下，可以在与单元区域411、412相邻的区域上形成多个位置。还可以通过考虑对准标记440来形成多个位置。例如，可以在单元区域411、412以及与对准标记440相邻的区域上形成多个位置。图6是用于说明根据本发明的一个实施例形成在基板上的多个墨水喷射位置的形成方法的第一示例图。

然而，本实施例不限于此。如图7所示，也可以在基板S上形成单元区域411、412之前形成多个位置。在这种情况下，可以在与对准标记440相邻的区域上形成多个位置。图7是用于说明根据本发明的一个实施例形成在基板上的多个墨水喷射位置的形成方法的第二示例图。

此外，在图4至图7的示例中，说明了在基板S上形成两个单元区域411、412。然而，本实施例不限于此。可以在基板S上形成一个单元区域，或者也可以形成三个以上的单元区域。

为了使识别部310处各个墨水喷射位置识别墨水的撞击点，需要喷墨头模块150将墨水喷射到基板S上的各个位置。在本实施例中，喷墨头模块150可以在对两个单元区域411、412执行印刷工艺之前，将墨水喷射到基板S上的多个位置。在本实施例中，可以通过这种方法实现提高基板的印刷精度的效果。

当从各个墨水喷射位置识别墨水的撞击点时，识别部310可以使用设置在各个墨水喷射位置的坐标图案来识别墨水的撞击点。

坐标图案可以实现为由X轴坐标值和Y轴坐标值构成的坐标系。例如，如图8所示，坐标图案可以实现为正交坐标系。图8是根据本发明的一个实施例设置在基板上的多个位置处的坐标图案的示例图。

识别部310可以处基板S上的多个位置中的沿第一方向10布置成一列的墨水喷射位置识别墨水的撞击点。此时，识别部310可以将沿第一方向10布置成一列的位置全部作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。

例如，如图9所示，在基板S上形成有第一位置431至第九位置439的情况下，识别部310可以将沿第一方向10布置成一列的三个位置(第一位置431至第三位置433、或第四位置434至第六位置436、或第七位置437至第九位置439)作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。图9是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第一示例图。

然而，本实施例不限于此。识别部310也可以将沿第一方向10布置成一列的位置中的一部分作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。

例如，如图10所示，识别部310可以将沿第一方向10布置成一列的三个位置中的位于外围的两个位置(第一位置431和第三位置433、或第四位置434和第六位置436、或第七位置437和第九位置439)作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。图10是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第二示例图。

识别部310也可以处基板S上的多个位置中的沿第二方向20布置成一列的墨水喷射位置识别墨水的撞击点。在这种情况下，识别部310可以将沿第二方向20布置成一列的位置全部作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。

例如，如图11所示，在基板S上形成有第一位置431至第九位置439的情况下，识别部310可以将沿第二方向20布置成一列的三个位置(第一位置431和第四位置434和第七位置437、或第二位置432和第五位置435和第八位置438、或第三位置433和第六位置436和第九位置439)作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。图11是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第三示例图。

然而，本实施例不限于此。识别部310也可以将沿第二方向20布置成一列的位置中的一部分作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。

例如，如图12所示，识别部310可以将沿第二方向20布置成一列的三个位置中的位于外围的两个位置(第一位置431和第七位置437、或第二位置432和第八位置438、或第三位置433和第九位置439)作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。图12是用于说明构成根据本发明实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第四示例图。

识别部310可以在基板S上的多个位置中的预定数量的墨水喷射位置识别墨水的撞击点。在这种情况下，识别部310可以从考虑基板S的移动方向而选择的墨水喷射位置识别墨水的撞击点。

例如，如图13所示，在基板S的移动方向是第二方向20的情况下，识别部310可以将沿与第二方向20垂直的第一方向10布置成一列的多个位置作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。

此外，识别部310可以将形成在移动的基板S的后端部的多个位置作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。即，识别部310可以将沿第一方向10布置成一列的多个位置中的形成在基板S的后端部的三个位置(即，第一位置431至第三位置433)作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。图13是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第五示例图。

如上所述，识别部310可以将形成在基板S上的多个位置中的一部分位置作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。然而，本实施例不限于此。识别部310也可以将形成在基板S上的多个位置全部作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。

在将形成在基板S上的多个位置全部识别为墨水喷射位置的情况下，识别部310可以按照第一方向10和第二方向20的顺序考虑第一方向10和第二方向20，以将多个位置全部识别为墨水喷射位置。

例如，如图14所示，在按照第一方向10和第二方向20的顺序将多个位置全部识别为墨水喷射位置的情况下，识别部310可以将沿第一方向10布置成一列的三个位置(第一位置431至第三位置433)按顺序第一次识别为墨水喷射位置之后，沿第二方向20移动以将沿第一方向10布置成一列的另外三个位置(第四位置434至第六位置436)按顺序第二次识别为墨水喷射位置，并且再次沿第二方向20移动以将沿第一方向10布置成一列的其他三个位置(第七位置437至第九位置439)按顺序最终识别为墨水喷射位置。

在本实施例中，识别部310也可以按照第七位置437至第九位置439、第四位置434至第六位置436以及第一位置431至第三位置433的顺序将多个位置全部识别为墨水喷射位置。图14是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第六示例图。

在将形成在基板S上的多个位置全部识别为墨水喷射位置的情况下，识别部310也可以按照第二方向20和第一方向10的顺序考虑第一方向10和第二方向20，以将多个位置全部识别为墨水喷射位置。

例如，如图15所示，在按照第二方向20和第一方向10的顺序将多个位置全部识别为墨水喷射位置的情况下，识别部310可以将沿第二方向20布置成一列的三个位置(第一位置431、第四位置434和第七位置437)按顺序第一次识别为墨水喷射位置之后，沿第一方向10移动以将沿第二方向20布置成一列的另外三个位置(第二位置432、第五位置435和第八位置438)按顺序第二次识别为墨水喷射位置，并且再次沿第一方向10移动以将沿第二方向20布置成一列的其他三个位置(第三位置433、第六位置436和第九位置439)按顺序最终识别为墨水喷射位置。

在本实施例中，识别部310也可以按照第三位置433和第六位置436和第九位置439、第二位置432和第五位置435和第八位置438、以及第一位置431和第四位置434和第七位置437的顺序将多个位置全部识别为墨水喷射位置。图15是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第七示例图。

此外，在将形成在基板S上的多个位置全部作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点的情况下，识别部310也可以随机地将多个位置全部作为墨水喷射位置以识别墨水的撞击点。

如上所述，识别部310可以沿第一方向10和第二方向20中的至少一个方向移动，以识别多个墨水喷射位置。以下，以识别部310沿第一方向10移动以识别多个墨水喷射位置的情况为例进行说明。

如上所述，识别部310可以使用设置在各个墨水喷射位置处的坐标图案来识别墨水的撞击点。当喷墨头模块150将墨水喷射到设置在墨水喷射位置处的坐标图案上时，识别部310可以基于坐标图案上的墨水液滴的位置信息获得墨水的撞击点的位置信息。

例如，如图16的左侧图所示，在墨水液滴520喷射到坐标图案510上的情况下，如图16的右侧图所示，识别部310可以将墨水的撞击点识别为X轴坐标值和Y轴坐标值分别为1。在这种情况下，识别部310可以获得(1，1)作为墨水的撞击点的位置信息。图16是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的识别部的功能的第八示例图。

再次参照图3进行说明。

当由识别部310获得与墨水的撞击点有关的位置信息时，校正部320基于此信息执行校正墨水喷射位置的位置的功能。此时，校正部320可以基于墨水的撞击点的位置信息实时和/或自动地校正墨水喷射位置的位置。

例如，如图17所示，在第一位置431、第二位置432和第三位置433的坐标图案511、512、513上按顺序喷射有墨水液滴521、522、523的情况下，识别部310可以将第一墨水液滴521的位置信息、第二墨水液滴522的位置信息和第三墨水液滴523的位置信息分别获得为(0，0)、(1，1)和(2，2)。然后，校正部320可以通过对由识别部310获得的数据进行线性分析来测量斜率，并且可以通过自动校正图案方案来校正墨水喷射位置的位置。图17是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第一示例图。

如图17所示，在通过对由识别部310获得的数据进行线性分析来测量斜率的情况下，当分别获得(0，0)、(1，1)和(2，2)作为第一墨水液滴521的位置信息、第二墨水液滴522的位置信息和第三墨水液滴523的位置信息时，如图18所示，校正部320可以对坐标图案511、512、513上连接三个墨水液滴521、522、523的位置信息的线段的斜率进行测量。图18是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第二示例图。

此外，在通过自动校正图案方案来校正墨水喷射位置的位置的情况下，如图18所示，当测量出坐标图案511、512、513上连接三个墨水液滴521、522、523的位置信息的线段的斜率时，如图19所示，校正部320可以校正墨水喷射位置的位置，使得获得其中三个墨水液滴521、522、523的位置信息分别为(0，0)、(1，0)和(2，0)的线段的斜率。校正部320也可以校正墨水喷射位置的位置，使得三个墨水液滴521、522、523的位置信息全部为(0，0)。图19是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第三示例图。

校正部320可以实现为能够确定墨水的喷射时间以校正墨水喷射位置的位置的软件(或执行这种软件的计算机装置)。然而，本实施例不限于此。校正部320也可以实现为根据计算机装置的控制在确定的喷射时间喷射墨水的装置(例如，喷射驱动器(JettingDrive))。

此外，校正部320也可以实现为通过控制构件的位置和姿势来校正墨水喷射位置的位置的装置(例如，轴移动控制部)。在这种情况下，校正部320可以通过控制门架单元130或喷墨头模块150的位置和姿势来校正墨水喷射位置。此外，校正部320也可以通过控制基板S的位置和姿势来校正墨水喷射位置的位置。

此外，在校正部320实现为喷射驱动器、轴移动控制部等的情况下，控制部330可以实现为软件或执行这种软件的计算机装置。然而，本实施例不限于此，校正部320不仅包括喷墨驱动器、轴移动控制部等，还可以包括控制喷墨驱动器、轴移动控制部等的(即，能够确定墨水的喷射时间以校正墨水喷射位置的位置的)软件。

如上所述，虽然可以在基板S上形成一个单元区域，但也可以形成多个单元区域。以下，将说明在基板S上形成多个单元区域的情况下，校正部320是如何校正墨水喷射位置的位置的。

以下，将以在基板S上形成有两个单元区域，即第一单元区域411和第二单元区域412，并且第一位置431、第二位置432和第三位置433沿第一方向10形成为墨水喷射位置的情况为例进行说明。

以上，第一位置431指形成在第二单元区域412的外围、即基板S的一个边界与第二单元区域412之间的墨水喷射位置。此外，第二位置432指形成在第一单元区域411与第二单元区域412之间的墨水喷射位置，且第三位置433指形成在第一单元区域411的外围、即基板S的另一边界与第一单元区域411之间的墨水喷射位置。

校正部320可以基于共同模式和区分模式中的哪种模式适用到两个单元区域411、412来校正墨水喷射位置的位置。

共同模式指玻璃印刷模式。在基板S上形成有第一单元区域411和第二单元区域412、并且在两个单元区域411、412适用共同模式的情况下，可以以相同的方式对第一单元区域411和第二单元区域412进行RGB图案化。例如，如图20所示，可以在第一单元区域411和第二单元区域412中形成相同大小的面板时适用共同模式。图20是用于说明根据本发明一个实施例适用到单元区域的图案化的共同模式的示例图。

区分模式指区分单元的印刷模式。在基板S上形成有第一单元区域411和第二单元区域412、并且在两个单元区域411、412适用区分模式的情况下，可以以不同的方式对第一单元区域411和第二单元区域412进行RGB图案化。例如，如图21所示，可以在第一单元区域411和第二单元区域412中形成不同大小的面板时适用区分模式。图21是用于说明根据本发明的一个实施例适用到单元区域的图案化的区分模式的示例图。

如图21的示例所示，可以在与任一单元区域相比，在另一个单元区域中适用大面积的应用时考虑区分模式。然而，本实施例不限于此。也可以当在两个单元区域中的至少一个单元区域中适用变形大的应用(例如，热变形大的应用)时考虑区分模式，还可以在两个单元区域之间存在一些变化(例如，对准变化等)时考虑区分模式。

在将共同模式适用到两个单元区域411、412的情况下，校正部320可以基于形成在两个单元区域411、412的外围的多个墨水喷射位置的墨水液滴的位置信息，自动和/或实时地校正待共同适用到两个单元区域411、412的图案方案。

例如，在撞击到第一位置431的第一墨水液滴521的位置信息为(0，0)、撞击到第二位置432的第二墨水液滴522的位置信息为(1，1)、且撞击到第三位置433的第三墨水液滴523的位置信息为(2，2)的情况下，校正部320可以基于第一墨水液滴521的位置信息和第三墨水液滴523的位置信息校正各个墨水喷射位置的位置，以校正待共同适用到两个单元区域411、412的图案方案。

即，如图22所示，校正部320可以校正各个墨水喷射位置的位置，使得获得其中第一墨水液滴521和第三墨水液滴523的位置信息分别为(0，0)和(2，0)的线段的斜率，以校正待共同适用到两个单元区域411、412的图案方案。图22是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第四示例图。

在将区分模式适用到两个单元区域411、412的情况下，校正部320可以基于形成在两个单元区域411、412的外围和两个单元区域411、412之间的多个墨水喷射位置的墨水液滴的位置信息，自动和/或实时地校正待区分适用到两个单元区域411、412的图案方案。

例如，在撞击到第一位置431的第一墨水液滴521的位置信息为(0，0)、撞击到第二位置432的第二墨水液滴522的位置信息为(1，1)、且撞击到第三位置433的第三墨水液滴523的位置信息为(2，1.5)的情况下，校正部320可以基于第一墨水液滴521的位置信息、第二墨水液滴522的位置信息和第三墨水液滴523的位置信息校正各个墨水喷射位置的位置，以校正待区分适用到两个单元区域411、412的图案方案。

即，如图23所示，校正部320可以校正各个墨水喷射位置的位置，使得获得其中第一墨水液滴521和第二墨水液滴522的位置信息分别为(0，0)和(1，0)的线段的斜率，以第一次校正待适用到第二单元区域412的图案方案，并且可以校正各个墨水喷射位置的位置，使得获得其中第二墨水液滴522和第三墨水液滴523的位置信息分别为(1，0)和(2，0)的线段的斜率，以第二次校正待适用到第一单元区域411的图案方案。图23是用于说明构成根据本发明的一个实施例的墨水撞击点校正装置的校正部的功能的第五示例图。

如果校正部320使用共同模式和区分模式中的任一模式来校正墨水喷射位置的位置，则可以根据应用的变化应对多模玻璃(Multi Model Glass，MMG)。这里，MMG指在两个单元区域411、412中生产不同大小的面板(例如，65英寸面板和55英寸面板)的情况。

在本实施例中，由于可以在量产玻璃的虚拟区域中使用坐标图案，所以具有可以在量产中途随时进行方案校正的优点。例如，具有可以以盒(cassette)为单位(例如，20个玻璃)对第一个玻璃进行这种方案检查和校正的优点。

以上，说明了当在基板S上形成两个单元区域时，校正部320如何校正墨水喷射位置的位置。然而，在本实施例中，也可以在基板S上形成三个以上的单元区域。

在这种情况下，校正部320可以将相邻的两个单元区域作为第一单元区域411和第二单元区域412并且将形成在相邻的两个单元区域的外围和相邻的两个单元区域之间的墨水喷射位置作为第一位置431至第三位置433，以根据共同模式和区分模式中的任一模式校正待共同适用到相邻的两个单元区域的图案方案，或者校正待区分适用到相邻的两个单元区域的图案方案。

校正部320可以基于与沿第一方向10布置成一列的多个墨水喷射位置有关的信息，沿X轴方向校正形成在基板S上的单元区域的图案方案。

然而，本实施例不限于此。校正部320也可以基于与沿第二方向20布置成一列的多个墨水喷射位置有关的信息，沿Y轴方向校正形成在基板S上的单元区域的图案方案。

此外，校正部320不仅可以基于与沿第一方向10布置成一列的多个墨水喷射位置有关的信息以及与沿第二方向20布置成一列的多个墨水喷射位置有关的信息沿X轴方向上校正形成在基板S上的单元区域的图案方案，还可以沿Y轴方向和θ轴(斜率)方向进行校正。

再次参照图3进行说明。

控制部330具有控制构成墨水撞击点校正装置300的识别部310和校正部320的全部操作的功能。这种控制部330可以实现为计算机装置(或装载在计算机装置中的软件)。

在本实施例中，墨水撞击点校正装置300也可以实现为计算机装置。在这种情况下，识别部310可以作为能够控制视觉相机的软件装载在计算机装置中，且校正部320可以作为能够控制喷射驱动器、轴移动控制部等的软件装载在计算机装置中。

如图24所示，墨水撞击点校正装置300可以构成为还包括电源部340和选择部350。图24是示意性地示出根据本发明的另一个实施例的墨水撞击点校正装置的内部构成的概念图。

电源部340执行向构成墨水撞击点校正装置300的各个模块供电的功能。

选择部350执行在基板S上选择墨水喷射的墨水喷射位置的功能。当由选择部350选择墨水喷射位置时，门架单元130可以在基座110上移动，使得喷墨头模块150位于基板S上的所选择的位置，且喷墨头模块150可以将墨水喷射到相应的位置。然后，识别部310和校正部320可以针对由选择部350选择的墨水喷射位置执行以上说明的功能。

选择部350可以在基板S上选择多个墨水喷射位置。此时，喷墨头模块150可以每当到达基板S上的各个墨水喷射位置(即，第一位置至第n位置(这里，n是2以上的自然数))时将墨水喷射到相应的位置。

选择部350可以实现为装载在计算机装置中的软件。或者，选择部350可以是执行软件的计算机装置。

以上参照图3至图24说明了根据本发明的各种实施形态的墨水撞击点校正装置300。墨水撞击点校正装置300是使用显示有坐标系的基板上的图案来实时/自动地测量和校正墨水撞击点的。这种墨水撞击点校正装置300可以适用到包括喷墨设备的各种图案印刷设备。

以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但本发明所属技术领域的普通技术人员应当理解，本发明在不改变其技术思想或必要特征的情况下，能够以其他具体形态实施。因此，应理解为上述实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。

Claims (20)

1.墨水撞击点校正装置，包括：

识别部，从位于基板上的多个位置获得与墨水的撞击点有关的信息；以及

校正部，基于与所述撞击点有关的信息校正所述基板上的墨水喷射位置的位置，

其中，在所述多个位置处形成坐标系形态的坐标图案。

2.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

当墨水液滴喷射到所述坐标图案上时，所述识别部识别所述墨水液滴的坐标，以获得与所述撞击点有关的信息。

3.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

当获得多个墨水液滴的坐标作为与所述撞击点有关的信息时，所述校正部基于所述多个墨水液滴的坐标计算出斜率，并且基于所述斜率校正所述墨水喷射位置的位置。

4.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

当获得多个墨水液滴的坐标作为与所述撞击点有关的信息时，所述校正部校正所述墨水喷射位置的位置，使得在所述多个墨水液滴的坐标中至少一个坐标轴的坐标值都为0。

5.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

在所述基板上存在多个单元区域的情况下，所述校正部基于相邻的两个单元区域之间的关系信息，使用第一模式和第二模式中的任一模式来校正所述墨水喷射位置的位置。

6.根据权利要求5所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述校正部在校正待共同适用到所述相邻的两个单元区域的图案方案时，使用所述第一模式来校正所述墨水喷射位置的位置，或者

在所述校正部使用所述第一模式来校正所述墨水喷射位置的位置的情况下，所述识别部从位于所述相邻的两个单元区域的外围的多个位置识别所述撞击点。

7.根据权利要求5所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述校正部在校正待区分适用到所述相邻的两个单元区域的图案方案时，使用所述第二模式来校正所述墨水喷射位置的位置，或者

在所述校正部使用所述第二模式来校正所述墨水喷射位置的位置的情况下，所述识别部从位于所述相邻的两个单元区域的外围的多个位置以及位于所述相邻的两个单元区域之间的至少一个位置识别所述撞击点。

8.根据权利要求5所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述校正部使用关于是否在所述相邻的两个单元区域中设置具有相同大小的应用的信息、关于是否在所述相邻的两个单元区域中设置发生热变形的应用的信息、以及关于是否在所述相邻的两个单元区域之间存在对准变化的信息中的至少一种信息作为所述关系信息。

9.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述多个位置形成在所述基板上未形成单元区域的虚拟区域中。

10.根据权利要求9所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述多个位置在所述基板上形成所述单元区域之前，形成在所述虚设区域中，或者在所述基板上形成所述单元区域之后，形成在所述虚设区域中，以及

在所述基板上形成所述单元区域之前形成在所述虚拟区域中的情况下，所述多个位置基于在所述基板上形成的对准标记形成在所述虚拟区域中。

11.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述识别部从所述基板上沿至少一个方向布置成一列的所述多个位置识别所述撞击点，以获得与所述撞击点有关的信息。

12.根据权利要求11所述的墨水撞击点校正装置，其中，

在从所述基板上沿至少一个方向布置成一列的所述多个位置识别所述撞击点的情况下，所述识别部从位于外围的两个位置识别所述撞击点。

13.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

通过考虑所述基板的移动方向来选择所述多个位置。

14.权利要求13的墨水撞击点校正装置，其中，

将沿与所述基板的移动方向不同的方向布置的位置选择为所述多个位置。

15.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述识别部从所述基板上沿至少两个方向分别布置成一列的所述多个位置识别所述撞击点，以及

所述校正部校正待沿至少两个方向适用到所述基板上的单元区域的图案方案。

16.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述校正部通过控制将墨水喷射到所述基板上的时间来校正所述墨水喷射位置的位置，或者通过校正将墨水喷射到所述基板上的设备的位置或姿势来校正所述墨水喷射位置的位置，或者通过校正所述基板的位置或姿势来校正所述墨水喷射位置的位置。

17.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，其中，

所述校正部于在所述基板上进行RGB图案化之前校正所述墨水喷射位置的位置。

18.根据权利要求1所述的墨水撞击点校正装置，还包括：

选择部，在所述基板上选择待喷射墨水的位置。

19.墨水撞击点校正装置，包括：

识别部，从位于基板上的多个位置获得与墨水的撞击点有关的信息；以及

校正部，基于与所述撞击点有关的信息校正所述基板上的墨水喷射位置的位置，

其中，在所述基板上存在多个单元区域的情况下，所述校正部基于相邻的两个单元区域之间的关系信息，使用第一模式和第二模式中的任一模式来校正所述墨水喷射位置的位置，

其中，当校正待共同适用到所述相邻的两个单元区域的图案方案时，所述校正部使用所述第一模式来校正所述墨水喷射位置的位置，以及

当校正待区分适用到所述相邻的两个单元区域的图案方案时，所述校正部使用所述第二模式来校正所述墨水喷射位置的位置。

20.基板处理系统，包括：

基板支承单元，支承基板；

门架单元，以能够移动的方式设置在所述基板上；

喷墨头模块，设置在所述门架单元上，并且将墨水喷射到所述基板上；以及

墨水撞击点校正装置，包括：

识别部，从位于基板上的多个位置获得与墨水的撞击点有关的信息；以及

校正部，基于与所述撞击点有关的信息校正所述基板上的墨水喷射位置的位置，

其中，在所述多个位置处形成坐标系形态的坐标图案。

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