JP4699345B2 - 部品の接合方法、部品の接合装置、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び、液滴吐出ヘッドの製造装置 - Google Patents

Description

インクジェット印字ヘッド構成部品の高精度位置調整技術に関する。

従来から、部品の接合方法及び接合装置が知られている（例えば、特許文献１等参照）。

２枚のパネルを接着剤を介して重ね合わせた状態で加圧して貼り合わせるパネル貼り合わせ方法として、２枚のパネルの加圧を開始し、所定の加圧力に到達するまでの間に２枚のパネルのうち少なくとも一方を予め設定された予測位置ずれ量に相当する移動距離だけパネル面に平行に移動し、所定の加圧力に到達した時点で２枚のパネルが位置合わせされた状態で加圧を終了する。

この他に、微細部品の組立方法及び組立装置が出願人自らによって提案されている（特許文献２参照）。
特開２００４−２１２９８７号公報 特開２００４−９８２４８号公報

インクを吐出して、用紙上に印字するインクジェット方式の印字ヘッドを用いて画像を記録するプリンタ、ファクシミリ、コピー等の画像機器装置が増えてきている。インクジェットヘッドには、種々の構造のものが知られており、インク滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルに対応して設けられた電気機械変換素子や、発熱抵抗体などのアクチュエータとを備えており、各ノズルに対応したアクチュエータが選択的に駆動することにより、記録信号に応じたインク滴をノズルより吐出し、画像を形成する。

インクジェットヘッドの１つの例として、基板上に複数の圧電素子を設け、この圧電素子に振動板の変位部を接合し、この振動板と液室を形成するための流路板を接合し、この流路板上に、振動板の変位部に各ノズルが対応するように、ノズル板を接合し、圧電素子を駆動することにより、振動板を介して液室内のインクを加圧し、ノズル板のノズルからインクを吐出するようにしたものがある。このような、インクジェットヘッドにおいて、高密度、高品質記録を行うためには、インクジェットヘッドを構成する部品、ノズル板、流路板、振動板、圧電素子等の各微細部品を高精度に組み立てる必要がある。

これらの高精度組立を実現するために、インクジェットヘッドに限らず、種々の組立装置が提案されている。

２つの部品を、接着剤を介して加圧した場合の位置ずれに対して、たとえば液晶パネルの製造装置に関して、特許文献１「パネル貼り合わせ方法及び装置」においては、垂直方向の加圧動作と水平方向の位置合わせ動作を交互あるいは同時に繰り返すことで、高精度位置決めを実現し、かつ、加圧動作に対応して、水平方向を予め設定された移動距離だけ、水平方向に対して移動させる方法が提案されている。

また、特許文献２は、第１の部品と第２の部品を加圧接合中に、上記２種類の部品の位置検出基準マークを再度検出し、接合後の２種類の部品の位置ずれ量を再演算し、その演算結果から接合検査を行う接合検査工程を具備することを特徴とする微細部品の組立方法であり、加圧接合後の完成品の位置ずれ量を検査し、その検査結果を完成品に付加することにより、後工程への不良品の流出を防止する方法が提案されている。

これら上記特許文献１、特許文献２においては、アライメント後に加圧した後であっても、部品の位置合わせに使用したアライメントマークが検出できることが前提のシステムであった。しかし、近年部品の微細化が進み、アライメントマークに十分な領域確保が難しい状態となり、接着領域とアライメントマーク領域が従来に比べて、格段に狭い配置となり、加圧後には、接合用の接着剤がアライメントマーク領域にはみ出し、アライメントマークが検出できない状況が発生してきた。このため，上記特許文献１、特許文献２においては、加圧後の部品の位置精度が検出できないという問題がある。

本発明は、これらの問題を鑑み、加圧後に部品のアライメントマークが検出できない場合であっても、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる接合装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために請求項１に記載された発明は、第１の部品と第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧工程と、を有する部品の接合方法であって、前記アライメント工程の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動工程と、前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出工程と、前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算工程と、前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算工程と、前記ステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算工程でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算工程を有する位置判断工程と、前記加圧工程における加圧時に、前記位置演算工程から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正工程と、を有する部品の接合方法を特徴としている。

そして、請求項２に記載された発明は、前記位置判断工程の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断工程を有する請求項１に記載の部品の接合方法を特徴としている。

また、請求項３に記載された発明は、前記接合完了判断工程は、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置情報と、前記加圧工程における加圧力情報とから、規定圧力において規定位置精度であることを判断する請求項２に記載の部品の接合方法を特徴としている。

さらに、請求項４に記載された発明は、振動板、流路板、ノズル板のいずれか２つを第１の部品、第２の部品として、前記第１の部品と前記第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧工程と、を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記アライメント工程の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動工程と、前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出工程と、前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算工程と、前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算工程と、前記ステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算工程でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算工程を有する位置判断工程と、前記加圧工程における加圧時に、前記位置演算工程から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正工程と、を有する液滴吐出ヘッドの製造方法を特徴としている。

そして、請求項５に記載された発明は、第１の部品と第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧手段と、を有する部品の接合装置であって、前記アライメント手段の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動手段と、前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出手段と、前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算手段と、前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算手段と、前記ステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算手段でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算手段を有する位置判断手段と、前記加圧手段における加圧時に、前記位置演算手段から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正手段と、を具備する部品の接合装置を特徴としている。

また、請求項６に記載された発明は、前記位置判断手段の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断手段を具備する請求項５に記載の部品の接合装置を特徴としている。

さらに、請求項７に記載された発明は、前記接合完了判断手段は、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置情報と、前記加圧手段における加圧力情報とから、規定圧力において規定位置精度であることを判断する請求項６に記載の部品の接合装置を特徴としている。

そして、請求項８に記載された発明は、振動板、流路板、ノズル板のいずれか２つを第１の部品、第２の部品として、前記第１の部品と前記第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧手段と、を有する液滴吐出ヘッドの製造装置であって、前記アライメント手段の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動手段と、前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出手段と、前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算手段と、前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算手段と、前記ステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算手段でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算手段を有する位置判断手段と、前記加圧手段における加圧時に、前記位置演算手段から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正手段と、を具備する液滴吐出ヘッドの製造装置を特徴としている。

請求項１に記載の発明では、第１の部品と第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧工程と、を有する部品の接合方法であって、前記アライメント工程の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動工程と、前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出工程と、前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算工程と、前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算工程と、前記ステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算工程でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算工程を有する位置判断工程と、前記加圧工程における加圧時に、前記位置演算工程から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正工程と、を有することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。

そして、請求項２に記載の発明では、前記位置判断工程の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断工程を有することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。

また、請求項３に記載の発明では、前記接合完了判断工程は、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置情報と、前記加圧工程における加圧力情報とから、規定圧力において規定位置精度であることを判断することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。

また、請求項４に記載の発明では、振動板、流路板、ノズル板のいずれか２つを第１の部品、第２の部品として、前記第１の部品と前記第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧工程と、を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記アライメント工程の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動工程と、前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出工程と、前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算工程と、前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算工程と、前記ステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算工程でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算工程を有する位置判断工程と、前記加圧工程における加圧時に、前記位置演算工程から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正工程と、を有することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。

また、請求項５に記載の発明では、第１の部品と第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧手段と、を有する部品の接合装置であって、前記アライメント手段の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動手段と、前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出手段と、前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算手段と、前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算手段と、前記ステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算手段でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算手段を有する位置判断手段と、前記加圧手段における加圧時に、前記位置演算手段から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正手段と、を具備することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。

請求項６に記載の発明では、前記位置判断手段の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断手段を具備することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。

請求項７に記載の発明によれば、前記接合完了判断手段は、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置情報と、前記加圧手段における加圧力情報とから、規定圧力において規定位置精度であることを判断することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。

請求項８に記載の発明によれば、振動板、流路板、ノズル板のいずれか２つを第１の部品、第２の部品として、前記第１の部品と前記第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧手段と、を有する液滴吐出ヘッドの製造装置であって、前記アライメント手段の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動手段と、前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出手段と、前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算手段と、前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算手段と、前記ステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算手段でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算手段を有する位置判断手段と、前記加圧手段における加圧時に、前記位置演算手段から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正手段と、を具備することにより、部品の位置合わせ精度及び接合品質を確保できる。

以下、本発明に係る実施の形態の実施例に基づいて本発明を説明する。

図１〜図４によりＰＺＴ方式印字ヘッドの概要構造を説明する。

図１に示すように、ＰＺＴ方式印字ヘッド１は、駆動ユニット２と、駆動ユニット２に接合された液室ユニット３とを備えている。

駆動ユニット２は、基板１５上に複数の圧電素子駆動部（以下駆動部）１４ａ及び支柱部１４ｂが交互に配設されてなり、これらの駆動部１４ａ及び支柱部１４ｂは所定の間隔を空けて基板１５に接合されている。

また、液室ユニット３は、図３に示すように、インク滴を吐出する複数のノズル４０を有するノズル板１１と、図２に示すように、ノズル４０に対応した液室３０が形成されている流路板（第２の部品）１２と、液室３０に対応し、かつ駆動ユニット２の駆動部１４ａの振動を液室に伝える振動板（第１の部品）１３から形成されている。

液室ユニット３を構成するノズル板（第２の部品）１１と流路板１２、及び振動板１３と流路板１２は、流路板上面に接着剤１６を塗布し、接着剤１６を介して接合している。

液室ユニット３には図示しないインク供給機構によりインクが供給され、液室３０にインクが供給される。

そして、駆動ユニット２の各圧電素子駆動部１４ａ及び支柱部１４ｂ上面に接着剤１６を介して液室ユニット３を接着接合している。

この駆動ユニット２の圧電素子駆動部１４ａを選択的に駆動することにより、液室ユニット３のノズル４０からインク滴が吐出される。

つまり、高品質な印字ヘッドを提供するためには、液室ユニット３を構成するノズル板１１と流路板１２、及び振動板１３と流路板１２、そして液室ユニット３と駆動ユニット２は、接着剤１６を介して高い精度で接合する必要がある。

ここで、印字ヘッドの組立に関して、図２〜６を用いて、ノズル板１１（あるいは振動板１３）と流路板１２の位置調整方式を説明する。

図２に示す流路板１２の厚さ方向両側には、図１に示すように位置検出用基準マーク２２ａ，２２ｂが形成されている。

一方、図３に示すように、ノズル板１１（あるいは振動板１３）の両端にも、位置検出用基準マーク２１が形成されていて、これらは貫通穴となっており、この貫通穴を通してのみ、流路板１２が検出可能となる。

そして、図５に示すように、２視野検出系の場合は、部品の両端に形成された流路板位置検出用基準マーク２２ｂと、振動板位置検出用基準マーク２３のそれぞれの中心を検出してから、各部品の両端のマークから演算されるセンター、振動板センター（Ｘｓ,Ｙｓ,θｓ）、流路板センター（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）を求め、それぞれのセンターが合うように、振動板１３と、流路板１２のセンター間の位置誤差量
（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）＝（Ｘｓ,Ｙｓ,θｓ）−（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）
を演算し、振動板１３を基準に、流路板１２をＸＹθ補正する。

なお、この実施例では、振動板１３（以下、ノズル板１１の場合も同様である）の位置を基準として、流路板１２の位置をＸＹθ補正しているが、逆に振動板１３側を補正する方法でもよい。

そして、ＸＹθ位置補正完了後に、Ｚ軸方向に加圧接合する。

ここで、従来のように接着剤塗布領域とアライメントマーク領域の広さが十分に確保できていた場合は、加圧後も、図６（ａ）に示すように、ノズル板１１（あるいは振動板１３）の位置検出用基準マーク２１（２３）を通して、流路板１２の位置検出用基準マーク２２ａ（あるいは位置検出用基準マーク２２ｂ）を検出することが可能であった。

しかし、最近の部品の微細化により、アライメントマーク領域が十分に確保できなくなり、接着剤塗布領域とアライメントマーク領域が非常に近接した配置となったために、加圧後は、図６（ｂ）に示すように、接着剤がアライメントマーク内に浸入してくるため、ノズル板１１（あるいは振動板１３）の位置検出用基準マーク２１および、流路板１２の位置検出用基準マーク２２ａ（あるいは位置検出用基準マーク２２ｂ）の両方が検出不能となってしまった。

そこで、部品のアライメントマークとは別に、ノズル板１１（あるいは振動板１３）が保持される接合上ステージ８０には、図８に示すように、上ステージ位置基準マーク８４を設けて、また、流路板１２が保持される接合下ステージ８７には、下ステージ位置基準マーク８６を設ける。

そこで、ノズル板１１（あるいは振動板１３）の位置検出用基準マーク２１（２３）と、上ステージ位置基準マーク８４とを、マーク検出手段７０が移動することにより検出し、ノズル板１１（あるいは振動板１３）の位置検出用基準マーク２１と、上ステージ位置基準マーク８４の相対位置関係を演算する。

同様に、流路板１２の位置検出用基準マーク２２ａ（あるいは位置検出用基準マーク２２ｂ）と、下ステージ位置基準マーク８６とを、マーク検出手段７０が移動することにより検出し、流路板１２の位置検出用基準マーク２２ａ（２２ｂ）と、下ステージ位置基準マーク８６の相対位置関係を演算する。

これにより、上ステージ位置基準マーク８４と、下ステージ位置基準マーク８６を検出することにより、ノズル板１１（あるいは振動板１３）と流路板１２の位置精度を演算により求めることができる。

上ステージ位置基準マーク８４と、下ステージ位置基準マーク８６の位置合わせ方法は、図５に示す振動板１３と流路板１２の位置合わせ方法と同じであり、上ステージ位置基準マークセンターと下ステージ位置基準マークセンターを、振動板１３と流路板１２の位置誤差量が規定値以内となる位置に位置合わせする。

さらに、図７に示すように、２視野２０の検出系の場合について詳しく説明すると、振動板１３の両端に形成された振動板位置検出用基準マーク２３を検出して、振動板センター座標（Ｘｓ,Ｙｓ,θｓ）を演算する。

次に、マーク検出手段７０を図示しない移動手段で上ステージ位置基準マークの検出位置に移動させ、振動板１３の位置基準マーク２３に合わせて設定されて、上ステージ位置基準マーク８４を検出し、上ステージセンター座標（Ｘｋ，Ｙｋ，θｋ）を演算する。

それぞれの中心を検出してから、上部品と接合上ステージ８０のセンター座標間の第１の相対位置関係（ΔＸｊ，ΔＹｊ，Δθｊ）は、
（ΔＸｊ，ΔＹｊ，Δθｊ）＝（Ｘｓ,Ｙｓ,θｓ）−（Ｘｋ，Ｙｋ，θｋ）
となり、振動板１３と上ステージ位置基準マーク８４との相対位置関係が定義される。

同様に、流路板１２の全センター座標（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）と、下ステージ位置基準マーク８６のセンター座標（Ｘｎ，Ｙｎ，θｎ）の、第２の相対位置関係（ΔＸｍ，ΔＹｍ，Δθｍ）は、
（ΔＸｍ，ΔＹｍ，Δθｍ）＝（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）−（Ｘｎ，Ｙｎ，θｎ）
となる。

これと、初めに検出した振動板１３と、流路板１２のセンター間の部品の位置誤差量は、
（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）＝（Ｘｓ,Ｙｓ,θｓ）−（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）
であり、現在の上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ，ΔＹｉ，Δθｉ）と、第１の相対位置、第２の相対位置、および部品の位置誤差量の関係は、
（ΔＸｉ,ΔＹｉ,Δθｉ）＝（ΔＸｊ−ΔＸｍ−ΔＸｕ,ΔＹｊ−ΔＹｍ−ΔＹｕ,Δθｊ−Δθｍ−Δθｕ）
となり、上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ，ΔＹｉ，Δθｉ）を検出することにより、振動板１３と、流路板１２のセンター間の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）を演算できる。

すなわち、振動板１３と、流路板１２のセンター間の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）が規定値内になる、上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ，ΔＹｉ，Δθｉ）に位置補正することにより、振動板１３と、流路板１２を規定値内に位置調整することができる。

また、加圧動作中に、位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ，ΔＹｉ，Δθｉ）から、振動板１３と、流路板１２のセンター間の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）が演算された場合は、振動板１３と、流路板１２のセンター間の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）が規定値以内となるように、上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ，ΔＹｉ，Δθｉ）を位置補正手段（アライメント手段９４）により位置補正する。

このように、ステージ位置基準マークを設けることにより、部品のアライメントマークが検出不可能となった場合でも、部品の位置精度を演算することが可能となる。

接合工程の完了は、位置誤差量が規定値以内（例えば１μｍ以下）であり、かつ加圧力が規定値（例えば１００Ｎ）の時、接合工程完了としている。

加圧中の位置補正回数に関しては、要求精度と要求タクトにより、適宜決定すればよい。 また、今回の例では、加圧前に部品のマークを用いたアライメントを実施したが、部品は位置検出後に、部品の位置誤差情報を取得すれば、部品によるアライメントを行わずとも、ステージ基準マークでアライメント及び位置補正動作することも可能である。

また、マーク検出手段７０の移動手段は、マーク検出手段７０の位置精度が、マーク検出精度に影響するため、高精度な位置決め精度が必要である。

この例では、位置検出用基準マーク２２ａと２１は、同心上に配置されるように設定しているため、このノズル板位置検出用基準マーク２１は、流路板１２の位置検出用基準マーク２２ａより大径に形成している。

しかし、必ずしも検出用基準マーク２２ａと検出用基準マーク２１とは、同心上に配置される必要はなく、上方からのカメラ（撮像手段）で撮像したときに検出可能な位置に配置され、そのマーク間の位置関係（オフセット）が明確になっていれば良い。

また、上ステージ位置基準マーク８４及び下ステージ位置基準マーク８６のマークピッチは部品のマークピッチと同等である。

ただし、カメラ移動手段が２軸移動構成であれば、特にマークピッチを規定する必要はない。

また、流路板１２と振動板１３も、ノズル板１１と流路板１２と同様のマーク構成となっており、位置調整方式も同様である。

本発明の接合装置１００は、振動板１３と流路板１２の、それぞれに設けた位置検出基準と、上下ステージ８０、８１に設けた位置基準マーク８４，８６を検出して、その検出結果に基づいて部品の位置調整を行う接合装置であって、図８〜９に示すように、本装置は、振動板１３が供給される第１ステーションと、第１ステーションの上方に配置され、振動板１３を吸着保持する第２ステーションと、第２ステーションから、第２移載手段（インデックステーブル）により移載された、振動板１３の位置を基準として、流路板１２位置を調整する第３ステーションと全体を制御する制御手段からなる。

第２移載手段は、上部品である振動板１３の移載を行い、第２ステーションと第３ステーションを１８０度単位で反転移動する。

振動板１３は、ｎ番目の部品が第３ステーションで接合されている間に、ｎ＋１番目の部品が第２ステーションに移載される。

第１ステーションは、振動板１３を第１仮置き部５２に供給する第１部品供給手段と、振動板１３を仮置きする第１仮置き部５２と、振動板１３を第２ステーションに配置された接合上ステージ８０に移載する第１移載手段からなる。

第１仮置き部は、振動板１３の仮置き台と、この仮置き台上で、振動板１３を、突き当て仮位置決めする仮位置決め機構と、振動板１３を吸着保持する保持機構からなる。

第２ステーションは、振動板１３を吸着保持する接合上ステージ８０と、上ステージ位置基準部品８３を有する。

接合上ステージ８０は、中央部には透視窓８８を２系統（計４つ）有しており、１つは振動板１３の位置基準マーク２３の検出用、もう一つは、上ステージ位置基準部品８３の検出用である。

第１移載手段５１によって接合上ステージ８０の直下に移載された振動板１３を吸着固定する。

上ステージ位置基準部品８３は、金属を加工したものあるいは、ガラス基板にマークが付してあるものなど精度にあわせて選択すればよい。

上ステージ位置基準マーク８４の高さ方向の位置は、実際のワーク撮像面高さに合わせて設置してある。

第３ステーションは、完成品の排出と、流路板１２を、第３ステーションに配置されたアライメント手段９４上の第２仮置き部７２に、流路板の供給・排出する第２部品供給・排出手段と、
振動板１３の位置基準マーク２３と、振動板１３の位置基準マーク２３を通して、流路板１２の位置を計測するマーク検出手段７０と、図示しないマーク検出手段７０の移動手段と、振動板１３と流路板１２の位置検出結果に基づいて、振動板１３に対して流路板１２のアライメント並びに、上ステージ位置基準マーク８４及び下ステージ位置基準マーク８６の位置検出結果に基づいて位置補正を行うアライメント手段９４と、マーク検出手段７０の結果に基づいて、振動板１３と上ステージ基準位置の相対位置関係を演算する第１の相対位置演算手段９０と、流路板１２と下ステージ基準位置の相対位置関係を演算する第２の相対位置演算手段９１と、振動板１３と流路板１２の位置を判断する位置判断手段９２と、接合完了を判断する接合完了判断手段９５を具備する。

アライメント手段９４は、水平方向であるＸＹθ軸と、垂直方向であるＺ軸を有する駆動機構で構成される接合下ステージ８７と、駆動機構上面に設けた第２仮置き部７２と、流路板１２の仮位置決めする仮位置決め機構と、下ステージ位置基準部品８５を有する。

加圧手段８２の上部に配置された第２仮置き部７２は、流路板１２の仮置き台と、仮置き台上で、流路板１２を、突き当て仮位置決めする仮位置決め機構と、流路板１２を吸着保持する保持機構からなる。

下ステージ位置基準部品８５は、金属を加工したものあるいは、ガラス基板にマークが付してあるものなど精度にあわせて選択すればよい。

位置判断手段９２は、上ステージの位置基準マーク８４と下ステージの位置基準マーク８６とを検出する上下ステージのマーク検出手段７０と、上下ステージの検出位置情報と、第１と第２の相対位置情報と、初期の部品の位置誤差情報に基づき、第１の部品と第２の部品の位置誤差量を演算する位置演算手段９３と、位置演算手段（位置演算工程）９３から算出された第１の部品と第２の部品の位置誤差量を規定値内に補正する位置補正手段９４を具備する。

加圧手段８２は、電空レギュレータにより、連続的な荷重を発生可能で、数ｍｍストロークを要したエアベアリングアクチュエータなどが好ましい。

図示しない荷重検出手段（例えばロードセルなど）の検出手段を常設する場合は、荷重検出手段の検出結果から、フィードバック制御が可能である。

また、図示しない荷重検出手段等の検出手段を常設しない場合は、エアベアリングアクチュエータの加圧力と電空レギュレータの制御電圧の相関を測定しておき、電空レギュレータの制御電圧から間接的に荷重値を設定してもよい。

接合完了判断手段は、加圧手段より得られる荷重情報と、位置判断手段の位置情報から、接合完了を判断する。

マーク検出手段７０は、２視野以上で、第３ステーションの接合上ステージ８０および第２移載手段の上部に配置され、振動板位置検出基準マーク２３及び流路板位置検出基準マーク２２が、加圧接合前の僅かな間隙をあけた状態および、加圧接合前の僅かな間隙をあけた状態と加圧中の上下ステージ位置基準マークが、図示しない移動手段を介して検出可能な構成となっている。

接合上ステージ８０は、中央部には透視窓８８を２つ有しており、接合上ステージの直下に吸着固定された振動板１３と流路板１２は、僅かな間隙を設けて配置され、マーク検出手段７０は、振動板１３の位置検出基準マーク２３と、振動板１３の位置検出基準マーク２３を通して、流路板１２の位置検出基準マーク２２ｂを検出可能である。

また、もう一つの透視窓８８を通して、上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６が検出可能となっている。

この接合装置１００で、振動板１３と流路板１２を位置調整する動作を、図９〜図１３で説明する。

図１０に、第１ステーション振動板供給工程のフロー図を示す。

まず、第１仮置き部５２に、振動板１３のあるなしを確認する（Ｓ．１）。

そして、振動板１３が無い場合は、第１部品供給手段により、第１仮置き部５２の仮置き台の上に移載される（Ｓ．２）。

移載された振動板１３は、第１仮置き部の仮位置決め機構により、ＸＹ方向に突き当て位置決めされ（Ｓ．３）、仮位置決め完了後に、保持機構により吸着保持される（Ｓ．４）。

吸着保持完了した振動板１３は、第２ステーションに対して、振動板１３移載要求をだし（Ｓ．５）、振動板移載完了後の振動板移載完了信号で、ｎ番目の動作完了する。

次に、再び振動板１３のあるなしを確認し（Ｓ．６）、無い場合は、（ｎ＋１）番目の振動板をセットする。

このように、第１ステーション振動板供給工程においては、常に次の振動板１３を用意している。

図１１に、第２ステーションの振動板移載工程のフロー図を示す。

図１１に示すように、まず、第１ステーションの振動板移載要求信号を受けて（Ｓ．１０）、第１移載手段５１（Ｚ軸）を上昇させる（Ｓ．１１）。

第１移載手段５１と接合上ステージ８０は、僅かな間隙をもって位置決めされ、振動板１３を、第１仮置き部５２から接合上ステージ８０に吸着機構の切替（Ｓ．１２）により受け渡し、第１移載手段５１は下降する（Ｓ．１３）。

第１移載手段下降後に、第１ステーションに対して、振動板移載完了信号を出力する（Ｓ．１４）。

そして、第２移載手段６１が回転可能になったら（Ｓ．１５）、第２移載手段６１が回転し（Ｓ．１６）、振動板１３を第３ステーションに移載する。

図１２に第３ステーションの位置調整工程のフローチャートを示す。

第３ステーションにおいて、振動板１３と、流路板１２は、僅かな間隙をあけて、対向して配置されている。

まず、マーク検出手段７０において、振動板１３の位置検出基準マーク２３を検出し、振動板センター座標（Ｘｓ，Ｙｓ，θｓ）を算出する（Ｓ．２０）。

この算出された振動板センター座標（Ｘｓ，Ｙｓ，θｓ）に対して、流路板１２の初期投入位置を変更して、振動板１３の貫通穴を通して、確実に検出できる位置に、流路板１２を粗調整する（Ｓ．２１）。

次に、流路板１２の位置基準マーク２２ｂを、振動板１３の位置検出基準マーク２３を通して検出（Ｓ．２２）し、流路板センター座標（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）を算出する。

次に、位置ずれが規定値か否かを判断する（Ｓ．２３）。それぞれのセンター同士の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）が規定値外であれば、アライメント手段９４によって、流路板１２のＸＹθ方向のアライメント調整を行う（Ｓ．２２ａ）。

この例では、部品でのアライメントを実施しているが、部品でのアライメント動作は必須ではなく、部品それぞれのセンター同士の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）が取得できれば、ステージ基準マークでアライメント及び位置補正動作することも可能である。

次に、マーク検出手段７０を、図示しない移動手段によって、上ステージ位置基準マーク８４と、下ステージ位置基準マーク８６の撮像位置に移動する（Ｓ．２４）。

マーク検出手段７０により、上ステージ位置基準マーク８４のセンター座標（Ｘｋ，Ｙｋ，θｋ）と、下ステージ位置基準マーク８６のセンター座標（Ｘｎ、Ｙｎ、θｎ）とを算出する（Ｓ．２５）。

次に、振動板センター座標（Ｘｓ，Ｙｓ，θｓ）と上ステージ位置基準マーク８４のセンター座標（Ｘｋ，Ｙｋ，θｋ）の、センター座標間の第１の相対位置関係（ΔＸｊ，ΔＹｊ，Δθｊ）は、
（ΔＸｊ，ΔＹｊ，Δθｊ）＝（Ｘｓ,Ｙｓ,θｓ）−（Ｘｋ，Ｙｋ，θｋ）
となり、振動板１３と上ステージ位置基準マーク８４との相対位置関係が定義される（Ｓ．２６）。

同様に、流路板１２の全センター座標（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）と、下ステージ位置基準マーク８６のセンター座標（Ｘｎ，Ｙｎ，θｎ）の、第２の相対位置関係（ΔＸｍ，ΔＹｍ，Δθｍ）は、
（ΔＸｍ，ΔＹｍ，Δθｍ）＝（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）−（Ｘｎ，Ｙｎ，θｎ）
となる（Ｓ．２７）。

これと、初めに検出した振動板１３と、流路板１２のセンター間の位置誤差量
（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）＝（Ｘｓ,Ｙｓ,θｓ）−（Ｘｒ，Ｙｒ，θｒ）
と、現在の上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ，ΔＹｉ，Δθｉ）との関係は、
（ΔＸｉ,ΔＹｉ,Δθｉ）＝（ΔＸｊ−ΔＸｍ−ΔＸｕ,ΔＹｊ−ΔＹｍ−ΔＹｕ,Δθｊ−Δθｍ−Δθｉ）
となり、上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ，ΔＹｉ，Δθｉ）を検出することにより、振動板１３と、流路板１２のセンター間の位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）を演算できることになる（Ｓ．２８）。

この位置関係の演算が完了したら、加圧手段により振動板１３と流路板１２を、接着剤を介して、接触させる。

加圧の方法としては、段階的に加圧する段階加圧と、連続的に加圧する連続加圧の両方式があるが、目標精度とタクトの関係から適宜最適な方法を選択すればよい。

タクト短縮をめざす場合は、段階的な回数を減らして位置補正を行う、あるいは連続荷重変化速度を早くすればよい。

また、高精度を目指す場合は、段階的な加圧回数と位置補正を増やすか、連続荷重変化速度を遅くして補正遅れがでないように位置補正すればよい。今回は１つの実施例として、段階加圧方式で説明する。

まず初めに弱い荷重（例えば２Ｎ）で、振動板１３と流路板１２を接触させる（Ｓ．２９）。

このとき、マーク検出手段７０で、上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ1，ΔＹｉ1，Δθｉ1）を検出する（Ｓ．３０）。

この時の振動板１３と流路板１２のセンター位置誤差量（ΔＸｕ1、ΔＹｕ1、Δθｕ1）とが演算される（Ｓ．３１）。ついで、この位置ずれが規定値か否かを判断する（Ｓ．３２）。この位置誤差量が規定値（例えば１μｍ）より大きい場合は、規定荷重か否かを判断し（Ｓ．３３）、振動板１３と流路板１２のセンター位置誤差量（ΔＸｕ，ΔＹｕ，Δθｕ）が規定値に入るように、上ステージ位置基準マーク８４と下ステージ位置基準マーク８６の位置誤差量（ΔＸｉ，ΔＹｉ，Δθｉ）を調整するために、接合下ステージ８７の位置を調整する（Ｓ．３４）。Ｓ．３２において、位置ずれが規定値以内のときには、ずれ変化量が規定値か否かを判断する（Ｓ．３５）。

位置調整完了後は、段階的な加圧と、位置ずれが起きた場合には位置補正を行い、荷重が規定荷重（例えば１００Ｎ）に達するまで加圧し、規定荷重に達したら、判定フラグＯＫを付与する（Ｓ．３７）。

また、規定荷重に達したが、位置精度が規定値から外れた場合は、ＮＧフラグを付与し（Ｓ．３８）、位置調整完了となる。

また、図１３に示すように、ＮＧ品に関しては、接着剤が剥離または分断しないレベルまで一度減圧して（Ｓ．３８’）、再度、位置補正工程を実施してもよい。

位置調整完了後は、図示しない仮接着手段により仮接着した後、加圧開放する（Ｓ．３９）。

なお、本発明で用いることができるインクジェットヘッドは、電歪素子に電圧を印加して電歪素子を変形させることでインクを吐出する、いわゆるピエゾ方式であっても良いし、電熱変換素子に電流を流すことで発熱させて、発熱によりインクを発泡させることでインクを吐出する、いわゆるサーマル方式であっても良い。

ピエゾ方式を用いる場合、ピエゾ素子を肥大させたり縮小したり、ピエゾ素子の変形量を調整したりしてそれらの駆動波形を調整することで、様々な大きさのインク滴を吐出させることができる。

そのため、階調性が良好な画像を形成するのに有利である。

一方、サーマル方式は、ノズルの高集積化が容易であるため、多ノズルヘッドの作製に向いている。

そのため、解像度が高い画像を高速で印刷するのに有利である。

本発明で用いることができるインクジェットヘッドは、インク流路から吐出口にかけての形状が直線的であるエッジシューター方式であっても良いし、インク流路の向きと吐出口の向きが異なるサイドシューター方式であっても良い。

エッジシューター方式の記録ヘッドの例を図１４に示す。

この記録ヘッドは、吐出エネルギー発生体１０７（この発生体に吐出信号を印加する電極およびこの発生体に必要に応じて設けられる保護層などは省略してある）を有する基板１０１に、流路１０４の側壁およびオリフィス１０５を構成する壁材１０２および流路１０４の覆いを構成する天板１０３を積層した構成を有する。

この記録ヘッドにおいては、インクが貯えられている液室（不図示）から流路１０４にインクが充填された状態で、不図示の電極を介して記録信号を吐出エネルギー発生体１０７に印加すると、該発生体から発生した吐出エネルギーが流路１０４内のインクに吐出エネルギー発生体１０７上方（吐出エネルギー作用部）で作用し、その結果インクが破線１１４ｂで示すようにオリフィス１０５から液滴として吐出される。吐出されたインク滴はオリフィス１０５前方に送り込まれた紙などの被記録材に付着される。

図１４に示したようなエッジシューター方式の記録ヘッドにおいては、各部分の精度良い微細化やオリフィスのマルチ化、あるいは小型化が極めて容易であり、また量産性に富むという利点を有する。

その一方で、インク滴吐出の際の応答周波数やインク滴の飛行速度に限界がある。

また、電熱変換素子が発熱することでインク中に気泡が発生するが、この気泡が温度低下により収縮し、吐出エネルギー発生体１０７近辺で消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体１０７を徐々に破壊される。

この現象はいわゆるキャビテーション現象と呼ばれ、エッジシューター方式において顕著である。そのため、エッジシューター方式の記録ヘッドは寿命が比較的短い。

サイドシューター方式の記録ヘッドの例を図１５に示す。

この記録ヘッドは、天板１０３にオリフィスを設け、破線１１４cで示されたように流路１０４内の吐出エネルギー作用部へのインクの流れ方向とオリフィス１０５の開口中心軸とを直角となした構成を有する。

このような構成とすることによって、吐出エネルギー発生体１０７からのエネルギーをより効率良くインク滴の形成とその飛行の運動エネルギーへと変換でき、またインクの供給によるメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を有し、吐出エネルギー発生体に発熱素子を用いた場合に特に効果的である。

また、エッジシューターにおいて問題となる気泡が消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体１０７を徐々に破壊する、いわゆるキャビテーション現象をサイドシューターであれば回避することができる。

つまり、サイドシューターにおいて気泡が成長し、その気泡がオリフィス１０５に達すれば気泡が大気に通じることになり温度低下による気泡の収縮が起こらない。

そのため、記録ヘッドの寿命が長いという長所を有する。

以上、本発明を実施の形態に基づき詳述してきたが、この具体的な構成に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明の技術的範囲に含まれる。

ＰＺＴ方式印字ヘッドの１つの実施例における模式的説明図である。 ＰＺＴ方式印字ヘッドの１つの実施例における流路板の平面図である。 ＰＺＴ方式印字ヘッドの１つの実施例におけるノズルユニットの平面図である。 ＰＺＴ方式印字ヘッドの１つの実施例における流路板とノズル板の接合後の平面図である。 本発明の２視野の振動板と流路板の位置調整を示す図である。 加圧前後の振動板アライメントマークと流路板アライメントマーク関係を示す図であり、（ａ）は、僅かな間隙をあけて場合のマークの平面図、（ｂ）は、加圧後のマークの平面図である。 本発明の２視野の振動板と上ステージ基準マークの位置関係を示す図である。 本発明の接合装置に係わる１つの実施例における接合装置の断面図である。 本発明の接合装置に係わる１つの実施例における接合装置の平面図である。 本発明の接合装置に係わる１つの実施例における第１ステーションの手順を示す図である。 本発明の接合装置に係わる１つの実施例における第２ステーションの手順を示す図である。 本発明の接合装置に係わる１つの実施例における第３ステーションの接合手順１を示す図である。 本発明の接合装置に係わる１つの実施例における第３ステーションの接合手順２を示す図である。 エッジシュータ方式のインクジェット記録ヘッドの吐出口を示す断面図である。 サイドシュータ方式インクジェット記録ヘッドの吐出口を示す断面図である。

符号の説明

１１…ノズル板（第１の部品）
１２…流路板（第２の部品）
１３…振動板（第１の部品）
２２ｂ…位置検出用基準マーク（第２の部品の位置基準マーク）
２３…位置検出用基準マーク（第１の部品の位置基準マーク）
７０…マーク検出手段、ステージ検出手段
８０…接合上ステージ（上ステージ）
８２…加圧手段
８４…上ステージ位置基準マーク（上ステージに設けられた位置基準マーク）
８６…下ステージ位置基準マーク（下ステージに設けられた位置基準マーク）
８７…接合下ステージ（下ステージ）
９０…第１の相対位置演算手段
９１…第２の相対位置演算手段
９２…位置判断手段
９３…位置演算手段
９４…位置補正手段（アライメント手段）
９５…接合完了判断手段

Claims (8)

1. 第１の部品と第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、
   前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、
   前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧工程と、
   を有する部品の接合方法であって、
   前記アライメント工程の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動工程と、
   前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出工程と、
   前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算工程と、
   前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算工程と、
   前記ステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算工程でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算工程を有する位置判断工程と、
   前記加圧工程における加圧時に、前記位置演算工程から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正工程と、
   を有することを特徴とする部品の接合方法。
2. 前記位置判断工程の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断工程を有することを特徴とする請求項１に記載の部品の接合方法。
3. 前記接合完了判断工程は、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置情報と、前記加圧工程における加圧力情報とから、規定圧力において規定位置精度であることを判断することを特徴とする請求項２に記載の部品の接合方法。
4. 振動板、流路板、ノズル板のいずれか２つを第１の部品、第２の部品として、
   前記第１の部品と前記第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給工程と、
   前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント工程と、
   前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧工程と、
   を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記アライメント工程の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動工程と、
   前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出工程と、
   前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算工程と、
   前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算工程と、
   前記ステージ検出工程で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算工程でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算工程を有する位置判断工程と、
   前記加圧工程における加圧時に、前記位置演算工程から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正工程と、
   を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
5. 第１の部品と第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、
   前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、
   前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧手段と、
   を有する部品の接合装置であって、
   前記アライメント手段の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動手段と、
   前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出手段と、
   前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算手段と、
   前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算手段と、
   前記ステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算手段でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算手段を有する位置判断手段と、
   前記加圧手段における加圧時に、前記位置演算手段から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正手段と、
   を具備することを特徴とする部品の接合装置。
6. 前記位置判断手段の結果に基づき、接合完了を判断する接合完了判断手段を具備することを特徴とする請求項５に記載の部品の接合装置。
7. 前記接合完了判断手段は、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置情報と、前記加圧手段における加圧力情報とから、規定圧力において規定位置精度であることを判断することを特徴とする請求項６に記載の部品の接合装置。
8. 振動板、流路板、ノズル板のいずれか２つを第１の部品、第２の部品として、
   前記第１の部品と前記第２の部品とをそれぞれ上ステージ面と下ステージ面とに上下対向するようにセットする部品供給手段と、
   前記第１の部品の位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークとを前記第１の部品の位置基準マークの上方からマーク検出手段により検出し前記第１の部品と前記第２の部品との相対的な位置合わせを行うアライメント手段と、
   前記第１の部品と前記第２の部品とを接着剤を介して接触させて前記上ステージ面と前記下ステージ面とが相対的に接近する方向に前記第１の部品及び前記第２の部品を加圧する加圧手段と、
   を有する液滴吐出ヘッドの製造装置であって、
   前記アライメント手段の後に、前記マーク検出手段を、前記上ステージに設けられた位置基準マークと前記下ステージに設けられた位置基準マークとの真上位置に水平移動するステージ基準位置移動手段と、
   前記第１の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記上ステージの位置基準マークと前記第２の部品の位置基準マークと略同一の高さに設けられた前記下ステージの位置基準マークとを、前記マーク検出手段により前記上ステージの位置基準マークの上方から検出するステージ検出手段と、
   前記第１の部品の位置基準マークと前記上ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第１の相対位置演算手段と、
   前記第２の部品の位置基準マークと前記下ステージの位置基準マークとの相対位置を演算する第２の相対位置演算手段と、
   前記ステージ検出手段で得られた上下ステージの位置情報と、前記第１、第２の相対位置演算手段でそれぞれ得られた第１、第２の相対位置情報とに基づき、前記第１の部品と前記第２の部品との位置を判断すると共に、前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置を演算する位置演算手段を有する位置判断手段と、
   前記加圧手段における加圧時に、前記位置演算手段から算出された前記第１の部品と前記第２の部品との相対位置のずれ量を規定値内に補正する位置補正手段と、
   を具備することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造装置。

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