JP4072946B2 - 微細部品の組立方法及び組立装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、インクジェット印字ヘッド構成部品の高精度組立技術に関するものであり、微細部品を高精度で組立てることができ、接合位置不良品の発生を防止し、組立て工程の歩留を向上させることができるものである。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】
いわゆるインクジェット方式の印字ヘッドを用いて画像を記録するプリンタ、ファクシミリ、コピー等の画像機器装置が増えている。インクジェットヘッドには、種々の構造のものが知られているが、これらは基本的には、インク滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルに対応して設けられた電気機械変換素子や、発熱抵抗体などのアクチュエータとを備えており、各ノズルに対応したアクチュエータが選択的に作動することにより、記録信号に応じたインク滴をノズルより吐出し画像を形成するものである。
【０００３】
インクジェットヘッドの１つの例として、基板上に複数の圧電素子を設け、この圧電素子に振動板の変位部を接合し、この振動板と液室を形成するための流路板を接合し、この流路板上に、振動板の変位部に各ノズルが対応するように、ノズル板を接合し、圧電素子を駆動することにより、振動板を介して液室内のインクを加圧し、ノズル板のノズルからインクを吐出させるようにしたものがある。このような、インクジェットヘッドにおいて、高密度、高品質記録を行うためには、インクジェットヘッドを構成する部品、ノズル板、流路板、振動板、圧電素子等の各微細部品を高精度に組立てる必要がある。そして、これらの高精度組立を実現するための組立装置が種々提案されている。しかしそのいずれにおいても高精度の組立てを実現するのに長時間を要し、そのために生産性が低下するという問題がある。
【０００４】
ところで、生産性を向上することを目的とするものの一例として、特開平５−２９３７２７号公報に記載された「工程分割型組立装置における物品組立方法」がある。このものは、第１ステーションで、第１部材が供給され、第２ステーションで、前記第１部材が配置された第１の位置検出手段でその位置を計測し、その後、第２部材を第１部材上に供給するものであり、上記第１の部材と第２の部材が第２ステーションから第３ステーションに移動する間に、上記第１部材の計測結果をもとに、第３のステーションに配置された第２の位置検出手段の位置を、上記第２の部材の位置を計測するために、毎回、第２の位置検出手段を移動させるものである。このものでは、位置計測用の検出手段が、第１の検出手段と第２の検出手段という２系統の検出系を用いて部材の位置調整を行うもので、２つの部品を直接計測するのではなく、校正部品を使用して２系統の検出手段の位置関係を把握して、間接的に部材を調整するものであるため、部材どうしの位置関係はステーションをまたがって、間接的に検出される。したがって、高い組立精度が確保されない可能性があり、また、第１部材の位置に合わせて、毎回、第２の位置検出手段を移動させるため、検出手段移動による検出誤差が発生し、組立精度が確保できないという問題がある。
【０００５】
さらに、従来技術として、特開平１０−２７７８５３号公報に記載された「微細部品の組立装置」があり、このものは、部品を供給する第１ステーションと、接着剤を塗布する第２ステーションと、２つの部品を接合する第３ステーションと、接合した組立物を排出する第４ステーションを順次配置し、第２ステーションに、位置検出手段と、接着剤塗布位置に位置決めする位置決め手段を備え、第３ステーションに、他方の微細部品を吸着して保持する保持手段と、この保持手段を他方の部品供給側との間で往復移動させる移動機構部と上記２つの部品が位置計測可能な位置検出手段と、その結果に基づいて一方の部品の位置を調整する位置調整手段を具備しているものである。このものは、２つの部品を同時に撮像可能な位置検出手段を具備し、１つの部品を基準として、他方の部品を位置調整することにより高精度な組立を実現しているものである。しかし、このものは、接着剤塗布手段にスクリーン印刷方式を採用しており、ある一定期間ごとに、接着剤の交換、スクリーンの清掃、及びスクリーンの交換等のメンテナンスが必要であり、メンテナンス期間中は、装置がダウンしていまい、装置全体としての稼働率が下がるので、生産性が低いという問題がある。
【０００６】
これらの問題に対応するものとして、公知ではないが、先行技術として特願２００２−０６３７７０号明細書に記載されている「微細部品の組立方法並びに組立システム」があり、これは次のとおりのものである。
このものは、部品投入排出ステージと接着剤塗布ステージと接合ステージと搬送手段及び制御装置を有し、部品投入排出ステージには接合する２種類の部品をそれぞれ投入する部品供給手段と、上面に接着剤を塗布した第２の部品を一定量貯蔵するバッファ手段と、接合完了後の完成品を排出する排出手段を有し、接着剤塗布ステージは、仮位置決め手段と接着剤塗布手段を有し、仮位置決め手段は移動自在な駆動機構を有し、上面に接着剤を塗布する第２の部品を仮位置決めして保持し、接着剤塗布手段は、仮位置決め手段で保持された部品の接着剤塗布面に接着剤を塗布するものであり、その接合ステージは、位置調整・接合手段と位置検出手段と仮止め手段を有し、位置調整・接合手段は、水平方向と垂直方向の駆動軸を有する駆動機構と、駆動機構の上面に設けられ、接着剤を塗布した第２の部品を保持する下部品投入部と、他方の部品を保持する上部品投入部を有し、接合する２種類の部品の位置をそれぞれ別個に調整し、位置検出手段は接合する２種類の部品にそれぞれ設けられた位置検出用基準マークを検出し、仮止め手段は位置調整・接合手段の上部品投入部に保持された第１の部品を仮止めし、
搬送手段は部品投入排出ステージと接着剤塗布ステージと接合ステージの間で各部品と接合された完成品を移動し、
制御装置は、位置検出手段で検出した仮止め手段に保持された部品の位置検出用基準マークの検出情報により接着剤を塗布した部品の初期位置を演算して初期位置を再設定し、位置検出手段で検出した２種類の部品の位置検出用基準マークの検出情報により、接着剤塗布した部品の位置を補正する。
【０００７】
そして、この微細部品の組立装置は、バッファ手段により、印刷機のダウンタイムをカバーし、また、位置検出手段で検出した仮止め手段に保持された部品の位置検出用基準マークの検出情報により接着剤を塗布した部品の初期位置を演算して初期位置を再設定することにより、初期位置でマークを検出できないことによるアライメントエラーと、そのリカバリーのためのダウンタイムをなくし、確実にアライメントすることにより、歩留を向上させことができるものである。
【０００８】
しかし、上記先行技術の「微細部品の組立方法並びに組立システム」では、加圧接合後の部品ずれを検出していないため、接合前は規定値内でアライメントした２種類の部品が、接合後にずれている可能性があり（例えば、最大で５０μｍ程度のずれを生じる場合がある）、このために接合不良品となり、その結果、組立工程の歩留が低下するという問題がある。
また、その不良品を後工程に流してしまうと、後工程での正常な他の部品まで無駄に使うことになり、さたに、次の検査工程まで部品を無駄に使用することとなり、トータルとして歩留が低下するという問題がある。
【０００９】
【特許文献１】
特開平５−２９３７２７号公報
【特許文献２】
特開平１０−２７７８５３号公報
【特許文献２】
特願２００２−０６３７７０号明細書
【００１０】
【解決しようとする課題】
この発明は、上記先行技術の問題を解消することを目的とし、ＰＺＴ方式印字ヘッドを構成する微細部品を高精度で組立て、信頼性の高いＰＺＴ方式印字ヘッドを提供でき、また、生産性の高い微細部品の組立方法および組立装置を提供することをその課題とするものである。
この課題を、主な請求項に対応させて整理すれば次のとおりである。
【００１１】
【課題１】
（請求項１、請求項６に対応）
課題１は、加圧接合後の完成品の位置ずれ量を検査し、その検査結果を完成品に付加することにより、後工程への不良品の流出を防ぎ、トータル歩留を向上させることである。
【００１２】
【課題２】
（請求項２、請求項７に対応）
課題２は、接合検査工程において、検査結果が接合位置不良の場合には、前記制御工程において演算された２種類の部品の加圧後の位置ずれ量を補正量として、前記第２の部品を再位置調整することにより、加圧によるずれ量までも補正することにより、位置ずれによる不良品を排除し、歩留を向上させることである。
【００１３】
【課題３】
（請求項３、請求項８に対応）
課題３は、第１の部品と第２の部品に加えられる規定の接合加圧力を減圧してから、前記第２の部品を再位置調整し、再位置調整完了後に再び規定値まで加圧接合することにより、接合圧力による第１の部品の位置ずれを防止し、２種類の部品を確実に再位置調整することにより、位置ずれによる不良品を排除し、歩留を向上させることである。
【００１４】
【課題４】
（請求項４、請求項９に対応）
課題４は、加圧接合直後の誤差量をメモリーし、誤差量の平均化処理をして接合オフセット値を自動的に算出し、前記位置調整工程において、第１の部品と第２の部品を、前記接合オフセット値だけオフセットさせて位置調整することにより、加圧後のずれ量を予測して接合前の位置調整を行うことにより、接合後の位置ずれを小さくすることで、再位置調整時間を短縮することができ、タクトを短くし、歩留を向上させることである。
【００１５】
【課題解決のために講じた手段】
【解決手段１】
（請求項１に対応）
解決手段１は上記課題１を解決するための、組立方法に関する手段であり、第１の部品と第２の部品のそれぞれに設けた位置検出基準を検出して、その検出結果に基づいて該部品の位置調整を行い、前記２つの部品を接着接合する組立方法であり、
第１の部品の位置検出基準を検出する第１の部品位置検出工程と、
上記第１の部品の位置検出情報をもとに、第１の部品の初期セッティング位置のずれ量を算出し、上記第２の部品の検出初期位置を上記第１の部品のずれ量分だけ変更する検出初期位置再設定工程と、
上記第２の部品の変更された検出初期位置に基づいて、第２の部品の位置を調整し位置決めする位置決め工程と、
上記第１の部品の位置検出用基準マークを通して、上記第２の部品の位置検出用基準マークを検出し、２種類の部品の位置検出用基準マークの検出情報により、第２の部品の位置を補正する制御工程を具備する微細部品の組立方法を前提として、次の(イ)〜(ハ)によるものである。
(イ) 上記第１の部品の位置検出用基準マークが円形の貫通孔であり、第２の部品の位置検出用基準マークが前記円形の貫通孔より小さい六角形の有底孔であり、前記２種類の部品の位置検出用基準マークを、第１の部品と第２の部品を加圧接合中に再度検出し、
(ロ) 前記制御工程により接合後の２種類の部品の位置ずれ量を再演算し、
(ハ) その演算結果から接合検査を行う接合検査工程を具備すること。
【００１６】
【作用】
２種類の部品が位置検出用基準マークを備えているので、接着のための加圧後、これらの位置検出用基準マークを光学的に検出し、演算して、その相対位置のずれ量を求める。この相対的な位置ずれ検査により、その位置ずれ量を検出し、接合位置の良否を判別するとともに、接合工程において必要な位置修正を行うことにより、２種類の部品の接合位置精度が確実に高められる。
したがって、接合位置不良による不良品の発生が防止され、接合工程の歩留が向上する。
【００１７】
【実施態様１】
（請求項２に対応）
実施態様２は、上記課題２を解決するもので、上記解決手段１の上記接合検査工程において、検査結果が接合位置不良の場合には、前記制御工程において演算された２種類の部品の加圧後の位置ずれ量を補正量として、上記第２の部品を再補正する再位置調整工程を具備することである。
【作用】
再位置調整工程を備えているので、検査工程において接合位置不良の場合には、前記制御工程において演算された２種類の部品の加工後の位置ズレ量を補正量として、前記第２の部品を再位置調整することにより、接合工程の歩留まりが向上する。
【００１８】
【実施態様２】
（請求項３に対応）
実施態様２は、上記課題３を解決するもので、上記実施態様１の上記再位置調整工程において、第１の部品と第２の部品に加えられる規定の接合加圧力を減圧してから、上記第２の部品を再位置調整し、再位置調整完了後に再び規定値まで加圧接合することである。
【作用】
接合加圧力を減圧してから、前記第２の部品を再位置調整することにより、第１の部品と第２の部品間に作用する摩擦力を小さくしてから、再位置調整することにより、第１の部品の再位置調整時に作用する摩擦力による位置ズレが防止され、接合工程の歩留まりが向上する。
【００１９】
【実施態様３】
（請求項４に対応）
実施態様３は、上記課題４を解決するもので、上記実施態様２の再位置調整工程において、加圧接合直後の第１の部品と第２の部品との位置ずれ量をメモリーし、該位置ずれ量の平均化処理をして接合オフセット値を自動的に算出し、部品を接合する前の上記位置決め工程において、第１の部品と第２の部品を、前記接合オフセット値分だけオフセットさせて位置調整することである。
【作用】
加圧後の位置ずれ量をそれまでの位置ずれ量に基いて平均化処理し、そのずれ量を接合前の位置合わせオフセット値として位置合わせしてから接合することによって、狙いの位置に位置合わせさせるための、接合後の再位置調整を省略できる場合があり、これにより、接合工程のタクトが短縮される。
【００２０】
【実施態様４】
（請求項５に対応）
実施態様４は、上記解決手段１、実施態様１乃至実施態様３のいずれかについて、その第１の部品の位置検出用基準マークと第２の部品の位置検出用基準マークとを第１の部品側から撮像してそれぞれの位置を検出するとき、第２の部品の位置検出用基準マークが第１の部品の位置検出用基準マークに内在する形状であることである。
なお、上記の「内在」は、上記加圧接合中での位置ずれ量が予想される最大値であっても、第２の部品の位置検出用基準マークが第１の部品の位置検出用基準マークに内在することであり、また上記「形状」はその形およびサイズを意味する。
【作用】
第１の部品の位置検出用基準マークと第２の部品の位置検出用基準マークとを第１の部品側から撮像してそれぞれの位置を検出するとき、第２の部品の位置検出用基準マークが第１の部品の位置検出用基準マークに内在する形状であるので、第１の部材は不透明であるにもかかわらず第１の部品の位置検出用基準マークを通して第２の部品の位置検出用基準マークが撮影され、第１の部品の位置検出用基準マークと第２の部品の位置検出用基準マークが同一画像に取り込まれる。
そして、第２の部品の位置検出用基準マークが第１の部品の位置検出用基準マークに内在する形状であるので、両基準マークが異なる画像として確実に識別される。
したがって、上記加圧接合中での位置ずれ量が、予想される最大値であっても、上記両位置検出用基準マークが一つの画像内において互いに別個の映像でとらえられ、画像処理によってそれぞれの位置を正確に検出することが可能である。
【００２１】
【解決手段２】
（請求項６に対応）
解決手段２は、上記課題１を解決するための、組立装置（解決手段１の組立方法を実施するための装置）に関する手段であり、
第１の部品と第２の部品それぞれに設けた位置検出基準を検出して、その検出結果に基づいて部品の位置調整を行い、上記２つの部品を接着接合する組立装置であり、
部品投入排出ステージと接着剤塗布ステージと接合ステージと搬送手段及び制御装置を有し、
上記部品投入排出ステージは接合する２種類の部品をそれぞれ投入する部品供給手段と、上面に接着剤を塗布した第２の部品を一定量貯蔵するバッファ手段と、接合完了後の完成品を排出する排出手段を有し、
上記接着剤塗布ステージは、仮位置決め手段と接着剤塗布手段を有し、前記仮位置決め手段は移動自在な駆動機構を有し、上面に接着剤を塗布する第２の部品を仮位置決めして保持するものであり、上記接着剤塗布手段は、上記仮位置決め手段で保持された部品の接着剤塗布面に接着剤を塗布するものであり、
上記接合ステージは、位置調整・接合手段と位置検出手段と接合上ステージを有し、上記位置調整・接合手段は、水平方向と垂直方向の駆動軸を有する駆動機構と、駆動機構の上面に設けられ、接着剤を塗布した第２の部品を保持する下部品投入部と、第１の部品を保持する上部品投入部を有し、接合する２種類の部品の位置をそれぞれ別個に調整するものであり、上記位置検出手段は接合する２種類の部品にそれぞれ設けられた位置検出用基準マークを検出するものであり、上記接合上ステージは第１の部品を吸着保持する吸着手段と仮止め手段を有し、この仮止め手段は上記吸着手段に吸着保持された第１の部品と、位置調整・接合手段の下部品投入部に保持された第２の部品を仮止めするものであり、
上記搬送手段は部品投入排出ステージと接着剤塗布ステージと接合ステージの間で各部品と接合された完成品を移動させるものであり、
上記制御装置は、接合上ステージの吸着手段に吸着保持された第１の部品の位置検出情報により、該第１の部品の初期セッティング位置のずれ量を演算し、このずれ量により第２の部品の検出初期位置を再設定し、この再設定された検出初期位置に基づいて、第２の部品の位置を調整して位置決めし、上記第１の部品の位置検出用基準マークを通して、上記第２の部品の位置検出用基準マークを検出し、２種類の部品の位置検出用基準マークの検出情報により、第２の部品の位置を補正する微細部品の組立装置を前提として、次の(イ)，(ロ)によるものである。
(イ) 上記第１の部品の位置検出用基準マークが円形の貫通孔であり、第２の部品の位置検出用基準マークが前記円形の貫通孔より小さい六角形の有底孔であり、上記第２の部品の位置の補正完了後に、上記位置調整・接合手段により第１の部品と第２の部品を加圧接合中に、前記２種類の部品の位置検出用基準マークを再度検出し、
(ロ) 上記制御装置により接合後の２種類の部品の位置ずれ量を演算し、２種類の部品の接合検査を行う接合検査手段を備えること。
【００２２】
【実施態様１】
（請求項７に対応）
実施態様１は、上記課題２を解決するもので、解決手段２の上記接合検査手段が、接合位置不良の場合には、前記制御装置において演算された２種類の部品の位置ずれ量を補正量として、前記位置調整・接合手段により、前記第２の部品を再位置調整する再位置調整手段を備えることである。
【００２３】
【実施態様２】
（請求項８に対応）
実施態様２は、上記課題３を解決するもので、上記実施態様１の上記再位置調整手段は、前記位置調整・接合手段により、規定の接合加圧力を減圧してから、前記接着剤を塗布した第２の部品を再位置調整し、再位置調整完了後に再び規定値まで加圧することである。
【００２４】
【実施態様３】
（請求項９に対応）
実施態様３は、上記課題４を解決するもので、上記実施態様２の上記再位置調整において、加圧接合直後の第１の部品と第２の部品との位置ずれ量をメモリーし、該位置ずれ量の平均化処理をして接合オフセット値を自動的に算出し、部品を接合する前の上記位置決め工程において、第１の部品と第２の部品を、上記接合オフセット値分だけオフセットさせて位置調整する自動オフセット設定手段を具備することである。
【００２５】
【実施の形態】
まず、図１〜図４を参照しながらＰＺＴ方式印字ヘッドの概要を説明する。
図１に示すように、ＰＺＴ方式印字ヘッド１は、駆動ユニット３と、この駆動ユニット３に接合した液室ユニット２とを備えている。上記駆動ユニット３は、基板１５上に複数の圧電素子駆動部（以下駆動部）１４ａ及び支柱部１４ｂを交互に配設しているものであり、これらの駆動部１４ａ及び支柱部１４ｂは所定の間隔をおいて、基板１５に接合している。また、液室ユニット２は、図３に示すように、インク滴を吐出する複数のノズル４０を有するノズル板１１と、図２に示すように、ノズル４０に対応した液室３０が形成されている流路板１２と、液室３０に対応し、かつ駆動ユニット３の駆動部１４ａの振動を液室に伝える振動板１３から形成されている。液室ユニット２を構成するノズル板１１と流路板１２、及び振動板１３と流路板１２は、流路板上面に接着剤１６を塗布し、接着剤１６を介して接合している。
【００２６】
液室ユニット２には図示しないインク供給機構によりインクが供給され、液室３０にインクが供給される。そして、駆動ユニット３の各圧電素子駆動部１４ａ及び支柱部１４ｂ上面に接着剤１６を介して液室ユニット２を接着接合している。この駆動ユニット３の圧電素子駆動部１４ａを選択的に駆動することにより、液室ユニット２のノズル４０からインク滴が吐出される。そして、高品質なインク吐出による印字ヘッドを製作するためには、前記液室ユニット２を構成するノズル板１１と流路板１２、及び振動板１３と流路板１２、そして該液室ユニット２と駆動ユニット３を接着剤１６を介して高い精度で接合させることが必要である。
ここで、印字ヘッドの品質を左右するヘッドの高精度組立に関して、図２〜４を用いて、ノズル板１１と流路板１２の位置調整方式を説明する。
【００２７】
図２に示すように流路板１２の両端には、位置検出用基準マーク２２ａが形成されている。一方、図３から分かるように、ノズル板１１の両端にも、位置検出用基準マーク２１が形成されていて、こちらは貫通穴となっている。そして、これらの基準マークを検出し、それぞれの重心が互いに合致するように、ノズル板１１と、流路板１２の位置誤差量をＸＹθ補正する。この例では、ノズル板１１（以下振動板１３の場合も同様である）の位置を基準として、流路板１２の位置をＸＹθ補正しているが、逆にノズル板１１側を補正するようにしてもよい。そして、位置補正完了後に、Ｚ軸方向に加圧接合し、接合後は、図４に示すように、両端のノズル板の位置検出用基準マーク２１の中に、流路板１２の位置検出用基準マーク２２ａが高精度に位置合わせされる。また、流路板１２と振動板１３も、前記ノズル板１１と流路板１２と同様の基準マーク構成となっており、位置調整方式も同様である。
この例では、位置検出用基準マーク２２ａと２１は、同心円上に配置されるように設定しているため、このノズル板の位置検出用基準マーク２１は、流路板１２の位置検出用基準マーク２２ａより大径に形成している。しかし、必ずしも位置検出用基準マーク２２ａと２１は、同心円上に配置される必要はなく、上方からのカメラ（撮像手段）で撮像したときに、両基準マークが検出可能な位置に配置され、その基準マーク間の位置関係（オフセット）が明確になっていれば良い。
【００２８】
また、上部品のノズル板１１及び振動板１３の貫通穴２１，２３に、下部品である流路板１２の基準マーク２２ａ，２２ｂを配置するアライメント方法においては、上部品であるノズル板１１あるいは振動板１３の貫通穴２１，２３を通して、下部品である流路板１２の基準マーク２２ａ，２２ｂを検出するため、もし、上部品のノズル板１１、振動板１３に隠れて、下部品の流路板１２の基準マーク２２ａ，２２ｂが検出できない場合はリカバリーは不可能ではないが、生産性が大幅にダウンすることになる。確実に、上部品を通して下部品の基準マークを検出するためには、部品マークサイズの関係と、部品の初期相対位置精度が重要である。しかし、部品マークサイズの大きさにあまり差があると、検出分解能が低下するために、十分な組立精度を確保することができなくなる。また、上部品を最適な位置にセッティングするようにＸＹθ調整手段を具備することも考えられるが、それでは、設備コストが極めて高くなるため実用的でない。同様に、初期セッティング前にそれぞれの部品の基準マークを検出してから投入位置を演算する方法も採り得るが、この場合は、初期位置検出工程が付加されるため、タクトが長くなり、生産性が低下する。
【００２９】
この装置においては、部品のマークサイズに適度な差をつけるとともに、上部品の位置を検出し、その位置に合わせて、毎回流路板１２の投入位置を、位置調整手段によって調整するようにしている。そうすることにより、部品の初期相対位置精度を確保し、確実に基準マーク検出ができることになる。
【００３０】
印字ヘッド１を組立てる組立装置１００は、図５に示すように、部品投入排出ステージ５０と接着剤塗布ステージ９１と接合ステージ９０と搬送手段６５及び制御装置６６を有する。
この発明の微細部品の組立装置は、振動板１３と流路板１２の、それぞれに設けた位置検出基準を検出して、その検出結果に基づいて部品の位置調整を行い、これらの部品を接着接合する組立装置であって、図５、図６に示すように、上記部品投入排出ステージ５０は、振動板供給手段５１，５２と、流路板供給手段５３，５４と、流路板１２に接着剤１６を塗布する接着剤塗布手段５８と、接着剤１６を塗布した流路板１２を一定量貯蔵するバッファ手段５７と上記２部品の接合完了後の完成品を排出する排出手段５５，５６を有している。
【００３１】
上記接着剤塗布ステージ９１は、仮位置決め手段５９と清掃手段６０と接着剤塗布手段５８とメンテナンス手段６７を有する。仮位置決め手段５９は、水平方向であるＸＹ軸と垂直方向であるＺ軸の３軸機構を有するものであり、接着剤１６を塗布する流路板１２を仮位置決めする。清掃手段６０は、流路板１２の接着剤塗布面の異物等を除去するものであり、図８に示すように、静電除去機能を有する清掃前処理手段７５と異物を吸引する吸引手段７０とを有する。吸引手段７０は、流路板１２の接着剤塗布面と僅かな間隙をもって対向した複数の吸引孔を有する吸引ノズル７１と、吸引ノズル７１に接続する真空ポンプまたは排風機等の吸引駆動手段７４と、吸引動作の切り替えを行う切替弁７３及び吸引ノズル７１より吸引されたごみ等の異物を捕獲するフィルタ７２を有する。
【００３２】
上記接合ステージ９０は、振動板１３と流路板１２を仮止めするための仮止め接着剤を塗布する仮止め用接着剤塗布手段６２と、振動板の位置検出用基準マーク２３及び流路板の位置検出用基準マーク２２ｂを検出する位置検出手段６３と、位置検出結果に基づいて流路板１２の位置を調整する位置調整・接合手段６１と、上記仮止め用接着剤を硬化させて前記２部品を仮接着する仮止め手段６４とを有する。
【００３３】
位置調整・接合手段６１は、水平方向であるＸＹ軸と、垂直方向であるＺ軸と旋回軸であるθ軸を有する駆動機構８１と、駆動機構上面に設けた下部品投入部６１ａと、上部品投入部６１ｂを有し、振動板１３と流路板１２の仮位置決めをする。
【００３４】
位置検出手段６３は、２視野で、かつ焦点深度が深い光学系であり、接合上ステージ８０の上部に配置され、振動板の位置検出用基準マーク２３及び流路板の位置検出用基準マーク２２ｂを検出する。接合上ステージ８０は、上部品吸着手段と仮止め手段６４を有し、中央部には透視窓を有しており、振動板１３を吸着固定し、流路板１２とのアライメントが完了し、接合された後、仮止め手段６４により、振動板１３と流路板１２を仮止め固着する。
搬送手段６５は、部品投入排出ステージ５０と接合ステージ９０と接着剤塗布ステージ９１の間で流路板１２と振動板１３と完成品を移動させる。
そして、制御装置６６で組立装置１００の動作を制御する。
【００３５】
次いで、組立装置１００で、振動板１３と流路板１２を接合して組立てる動作を説明する。まず、部品供給手段に関して、振動板１３は複数部品を搭載したトレイにより振動板供給手段５１に、また、流路板１２は流路板供給手段５３にそれぞれ投入される。ここで、図７の部品供給工程の検出工程と判別工程とトレイ供給工程の手順を示す図を参照して説明する。各トレイには、各部品に対応した識別マークが設定されている。部品供給手段は、この識別マークを振動板トレイ検出手段５１ａにより検出して、振動板トレイ識別手段５１ｂにより、トレイの引き込みを判断し、トレイ供給手段５１ｃにより、トレイを装置内に引き込む。この識別マーク及び検出手段としては、ＣＣＤカメラによるマーク認識、バーコード、ＩＤプレート、センサによるバイナリコード等、全体システムとの適合性のよいものを選択すれば良い。
【００３６】
また、図７に示すように、振動板１３に関して、第１の振動板供給手段５１と、第２の振動板供給手段５２の、少なくとも２つ以上の供給手段を配設している。第２の振動板供給手段５２は、第１の振動板供給手段５１と同様に、識別マークを振動板トレイ検出手段５２ａにより検出して、振動板トレイ識別手段５２ｂにより、トレイの引き込みを判断し、トレイ供給手段５２ｃにより、トレイを装置内に引き込むようになっている。したがって、第１の振動板供給手段５１での振動板がなくなると、次に待機した第２の振動板供給手段５２から振動板が供給される。これによって、トレイ交換によるシステムダウンを排除し、組立装置の稼働率を向上させることができる。
同様に、流路板１２に関しても、第１の流路板供給手段５３と、第２の流路板供給手段５４とを配設している。
また、完成品の排出手段に関しても、第１の完成品排出手段５５と、第２の完成品排出手段５６を配設し、それぞれには、トレイ検出手段と識別手段と排出手段を具備し、前記供給手段と同様の手順で動作し、トレイ交換による完成品排出の滞留を排除している。
【００３７】
供給手段により供給された流路板１２は、搬送手段６５により接着剤塗布手段５８の仮位置決め手段５９に移載され、接着剤塗布用の仮位置決めをされる。仮位置決め手段５９に移載された流路板１２は、仮位置決めされた後、清掃手段６０の下を通過して、塗布部に搬送される。部品の接着剤塗布面に異物がある場合は、所望の塗布領域に接着剤が塗布されないなどの理由から接合不良となる場合があるので、これを防止するために、清掃手段６０の下を通過する間に、部品の接着剤塗布面を清掃する。
【００３８】
清掃手段６０は、図８に示すように、静電除去機能を有する清掃前処理手段７５と接着剤の塗布面の異物等を吸引する吸引手段７０からなり、当該吸引手段７０は、部品塗布面に僅かな間隙をもって対向配置した複数の吸引孔を有する吸引ノズル７１と、前記吸引ノズルに接続する真空ポンプ又は排風機７４と、前記吸引動作の切替を行う切替弁７３と、前記吸引ノズルより吸引されたゴミ等の異物を捕獲するフィルター７２で構成されている。
【００３９】
接着剤塗布手段５８で、接着剤１６を塗布した流路板１２は、搬送手段６５により、バッファ手段５７に移載される。バッファ手段５７には、複数個の接着剤塗布済みの流路板１２が貯蔵されており、その投入排出は先入れ先出し（ＦＩＦＯ）制御で行われる。前記流路板１２のバッファ手段５７での貯蔵数は、上記接着剤塗布手段５８のメンテナンスによる塗布工程のダウン時間をカバーできる数量である。また、前記接着剤塗布手段５８のメンテナンスを容易にするように、メンテナンス手段６７を具備している。つまり、本組立装置は、接着剤塗布手段５８がメンテナンス中であっても、バッファ手段５７に貯蔵された部品を使用した自動運転が可能であり、これにより組立装置の稼働率が高められる。
搬送手段６５は、前記バッファ手段５７から接着剤塗布済みの流路板１２を取り出し、また、振動板供給トレイから振動板１３を取り出し、位置調整・接合手段６１上に移動させ、接着剤塗布済みの流路板１２を流路板投入部６１ａに移載する。そして流路板投入部６１ａに移載された流路板１２は仮位置決め手段で仮位置決めされる。同様に振動板１３は振動板投入部６１ｂに移載され、振動板投入部６１ｂに移載された振動板１３は仮位置決め手段で仮位置決めされる。
【００４０】
位置調整・接合手段６１上の振動板１３と接着剤塗布済みの流路板１２は、位置調整・接合手段６１によって、接合ステージ９０内部に搬送される。
振動板１３は、位置検出手段６３と同じベース上に配置された接合上ステージ８０（図６）に移載され、位置検出手段６３により、振動板の位置検出用基準マーク２３の位置を検出し、その位置を、制御装置６６にメモリーするとともに、その後の流路板１２の投入位置を演算し、位置データをセットする。位置演算の方法は、マークセンターにおいてＸＹθ位置補正を行う方法と同じ方法である。
振動板の位置検出用基準マーク２３の検出結果から算出される振動板１３の初期セッティング位置のセンターずれ量が、（Δｘ，Δｙ，Δθ）であると算出されると、この結果により、流路板１２の検出初期位置（ｘ，ｙ，θ）は（ｘ＋Δｘ，ｙ＋Δｙ，θ＋Δθ）に再設定される。
次に、接着剤塗布済みの流路板１２は、仮止め用接着剤塗布手段６２により、仮止め用接着剤が塗布され、ＸＹθＺ軸を具備する位置調整・接合手段６１により、先に振動板の位置検出用基準マーク２３の検出結果から算出された流路板の検出初期位置（ｘ，ｙ，θ）に搬送される。
【００４１】
この流路板の検出初期位置（ｘ，ｙ，θ）は、先に検出した振動板１３の初期セッティング位置を検出した結果から、マークセンター基準でずれ量を演算し、補正量（Δｘ，Δｙ，Δθ）を算出し、毎回、検出初期位置を（ｘ＋Δｘ，ｙ＋Δｙ，θ＋Δθ）に変更し、流路板１２を位置決めする。そうすることにより、流路板１２は、振動板１３に対して、流路板の流路板投入部６１ａでの仮位置決め精度で位置決めでき、振動板の位置検出用基準マーク２３を通して、流路板の位置検出用基準マーク２２ｂを確実に検出できる。
振動板の位置検出用基準マーク２３を通して、流路板の位置検出用基準マーク２２ｂを検出手段６３で検出したら、上記振動板の位置検出用基準マーク２３との位置誤差量を演算し、当該誤差量が所定の位置誤差量（例えば、５μｍ）を超えている場合には、位置調整・接合手段６１により、振動板の位置検出用基準マーク２３を基準として、流路板の位置検出用基準マーク２２ｂの位置をＸＹθの３軸方向で補正する。
【００４２】
また、振動板１３と流路板１２は、僅かな間隙をもって位置決めされているが、撮像手段６３は、２視野で、かつ焦点深度が深い光学系であり、振動板１３、及び流路板１２を撮像する際には、撮像手段６３及び部品を移動させなくても撮像可能な光学系であるため、撮像手段６３や部品を移動することによる位置検出誤差は発生せず、したがって、高精度の位置検出が可能である。
また、従来流路板に接着剤を塗布する際には、前面に接着剤を塗布していたために、流路板の位置検出用基準マーク２２ｂにも接着剤がかかり、画像上では、流路板の位置検出用基準マーク２２ｂであるか、接着剤であるかの判別が困難であり、基準マークの検出精度が低下するという問題がある。そこで、図９に示すように、流路板の位置検出用基準マーク２２ｂの近傍に、接着剤非塗布領域３１を形成することにより、流路板の位置検出用基準マーク２２ｂのコントラストが鮮明となり、正確な位置検出が可能となる。
【００４３】
この例では位置調整・接合手段６１の軸構成をＸＹθＺ軸構成としたために、流路板１２の位置補正をかけたが、ＸＹθの補正が出来れば、ＸＹθの各軸を分離した軸構成でもよい。また、ステージとしてＵＶＷステージを使用しても良い。
このようにして、振動板１３と流路板１２の上記位置誤差量が規定値以内に位置補正完了すると、位置調整・接合手段６１のＺ軸を上昇させ、接合上ステージ８０に吸着された振動板１３の下面に流路板１２を当接させ、規定圧力まで加圧する。Ｚ軸は、位置決め自在の機構であり、振動板１３と流路板１２を所望の圧力で加圧接合することが可能である。
従来、振動板１３と流路板１２は、規定のギャップを設けて、振動板１３の位置を基準に、流路板１２を位置調整して、加圧接合する方式を採用していた。しかし、どんなに高精度に流路板１２を位置調整しても、接合時には、振動板１３と流路板１２が接着剤１６を介して、接触し、加圧することにより、２種類の部品の位置関係が、初期のアライメント状態からずれて位置ずれが生じる。規定値以内の位置ずれであれば問題ないが、規定値（例えば、５μｍ）から大きくずれた場合には不良品となる。そして、これをそのまま後工程に流してしまうと、それに付随する部品は全て無駄になってしまい、その結果、トータルとしての歩留が低下することになる。
【００４４】
そこで、図１０の組立フローに示すように、接合加圧後に、振動板１３と流路板１２の位置を再び検出し、制御装置においてその位置ずれを演算し、位置ずれ量が規定値（例えば、５μｍ）を越えている場合は、それに検査ＮＧのフラグを付加する。
なお、位置ずれの検出は次のようにして行われる。すなわち、重なった振動板１３の位置検出用基準マーク２３（円形の貫通孔。図３の基準マーク２１と同じ）と流路板１２の位置検出用基準マーク２２ｂ（六角形の有底穴、図２参照）を位置検出手段６３で撮影する。このとき、流路板１２の位置検出用基準マーク２２ｂは、上記振動板１３の位置検出用基準マーク２３よりも小さく、撮像内において位置検出用基準マーク２３の映像に完全に内在する（図４はノズル板１１と流路板１２の位置検出用基準マークの重なり具合を示しているものであるが、振動板１３と流路板１２の位置検出用基準マークの重なり具合も同じであるので、両基準マーク２３と２２ｂとの内在関係については図４を参照されたい）ので、その各画像を各基準マーク２３，２２ｂの形状の違いで認識し、その画像の重心位置を求めて、両基準マーク２３，２２ｂ間の位置ずれ量を演算して求める。
なお、上記両基準マークの形状の違いについては、例えば両方を円形にすることもでき、その場合は貫通孔と有底穴の直径の違いによって形状の違いを認識するようにすればよい。
【００４５】
上記のように検査ＮＧのフラグを付加することで後工程への不良品の流出が止められるが、それでも、接合位置不良が減少しない限り、組立工程の歩留は向上しないので、図１１の組立フローに示すように、振動板１３と流路板１２は、規定のギャップを設けて、振動板１３の位置を基準に、流路板１２を位置調整し、加圧接合し、接合後の位置ずれを検査し、制御装置６６においてその位置ずれを演算した後、位置調整・接合手段６１において、流路板１２の位置ずれ量を補正することにより、加圧による位置ずれを位置調整する。これで、従来なら不良品になるはずの完成品が、良品に修正されて組立てられる。
【００４６】
図１１の組立フローの場合、振動板１３と流路板１２は、規定の圧力で加圧された状態で、流路板１２を補正することになる。またこの場合、振動板１３は、接合上ステージ８０に吸着保持され、流路板１２も下部品投入部６１ａに吸着保持され、接合時は、振動板１３と流路板１２は、接着剤１６を介して加圧されているために、この状態で流路板１２の位置補正を行うと、振動板１３と流路板１２の間の摩擦力が働き、この状態で一番保持力の弱い振動板１３と接合上ステージ８０の吸着保持に抗して、振動板１３の位置が初期位置よりもずれてしまうことがあった。この様に振動板１３の位置がずれてしまうと流路板１２の補正動作は収束せず、結果的にアライメントエラーとなってしまい、予想以上に歩留が向上しない場合がある。この組立方法の問題点は、振動板１３と接合上ステージ８０の吸着保持力よりも加圧による振動板１３と流路板１２間の間摩擦力が大きくなって、振動板の位置をずらしてしまうことである。
【００４７】
そこで、図１２の組立フローに示すように、振動板１３と接合上ステージ８０の吸着保持力よりも、加圧による振動板１３と流路板１２の間摩擦力が小さくなる様に、再位置調整の時には、振動板１３と流路板１２の規定の加圧力よりも下げる（例えば、接着剤が比較的粘性の高い熱硬化性樹脂の場合、加圧力が６〜１０ｋｇｆで、再アラインメントのために低下させた圧力は３ｋｇｆ以下）ことにより、垂直抗力を小さく抑えて、振動板１３と流路板１２間の摩擦力を小さくし、振動板１３と接合上ステージ８０の吸着保持が壊されないようにする。ただし、再アライメント時に減圧できる範囲は、一度規定値まで加圧した接着剤の接合状態が破壊されない圧力である。この限度を越えると、一度加圧して均一に広がっている接着剤が、減圧しすぎることにより不均一になり、接着状態が崩れるので、仮に再アライメントがなされ、位置精度は確保できたとしても、接着品質が確保されないので、最終的には不良品となる。
【００４８】
接合加圧による位置ずれ量を検出し、位置再調整を行う際には、振動板１３と流路板１２の加圧力を、一度規定値まで加圧した接着剤の接合状態が破壊されない圧力まで減圧してから、位置調整・接合手段６１を駆動して当該位置調整・接合手段６１に吸着保持された流路板１２を振動板１３との摩擦力に抗して移動させることにより、上記位置ずれを補正する。
上記のようにして再位置調整することにより、高精度な接合を、高歩留で実現できるが、しかし、毎回、再位置調整が発生するとその分だけマシンタクトが長くなってしまう問題もある。
【００４９】
そこで、図１３の組立フローに示すように、加圧直後の位置ずれ量をメモリーし、そのずれ量を平均化処理して、その値を接合オフセット量とし、接合前のアライメントのオフセット量として、位置調整を行う。これにより、接合後の規則性のある、加圧による位置ずれ量を、接合前のアライメント時に、予測してオフセットして位置調整することで、加圧接合後に、狙いの接合精度を達成でき、アライメント再調整時間を省き、高精度接合を短マシンタイムで実現できる。仮に、接合ずれが、予想した接合オフセットと多少違っても、再調整工程で高精度に位置調整することができるので、常に高精度で、歩留の高い組立を実現できる。このように、高精度に位置調整、接合された振動板１３と流路板１２は、仮止め手段６４により仮止めする。
仮止めが完了した完成品は、位置調整・接合手段６１により接合位置から初期位置に搬送され、搬送手段６５によって、第１及び第２完成品排出手段に移載される。
【００５０】
【発明の効果】
この発明の効果は次のとおりである。
１．請求項１、請求項６の発明の効果
この発明では、第１の部品と第２の部品を加圧接合中に、前記２種類の部品の位置検出 用基準マークを再度検出し、前記制御工程により接合後の２種類の部品の位置ずれ量を再演算し、その演算結果から接合検査を行う接合検査することにより、加圧接合後の完成品の位置ずれ量を検査し、その検査結果を完成品に付加することにより、後工程への不良品の流出を防ぎ、トータル歩留を向上させ、信頼性の高い微細部品の組立装置を提供することができる。
【００５１】
２．請求項２、請求項７の発明の効果
この発明では、接合検査工程において、検査結果が接合位置不良の場合には、前記制御工程において演算された２種類の部品の加圧後の位置ずれ量を補正量として、前記第２の部品を再位置調整することにより、加圧によるずれ量までも補正することにより、位置ずれによる不良品を排除し、歩留がよく、生産性の高い微細部品の組立装置装置を提供することができる。
【００５２】
３．請求項３、請求項８の発明の効果
この発明では、第１の部品と第２の部品に加えられる規定の接合加圧力を減圧してから、上記第２の部品を再位置調整し、再位置調整完了後に再び規定値まで加圧接合することにより、接合圧力による第１の部品の位置ずれを防止し、２種類の部品が確実に再位置調整できるようにすることにより、位置ずれによる不良品を排除し、歩留がよく、生産性の高い微細部品の組立装置を提供することができる。
【００５３】
４．請求項４、請求項９の発明の効果
この発明では、加圧接合直後の誤差量をメモリーし、誤差量の平均化処理をして接合オフセット値を自動的に算出し、前記位置調整工程において、第１の部品と第２の部品を、前記接合オフセット値をオフセットさせて位置調整することにより、加圧後のずれ量を予測して接合前の位置調整を行うことにより、接合後の位置ずれを小さくすることで、再位置調整時間を短縮することができ、短タクトで歩留がよく、生産性の高い微細部品の組立装置を提供することができる。
【００５４】
５．請求項１０の発明の効果
この発明では、前記請求項１乃至請求項９の組立方法並びに装置により組立てられたインクジェット印字ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、ＰＺＴ方式印字ヘッドの１つの実施例における模式的説明図である。
【図２】は、ＰＺＴ方式印字ヘッドの１つの実施例における流路板の平面図である。
【図３】は、ＰＺＴ方式印字ヘッドの１つの実施例におけるノズルユニットの平面図である。
【図４】は、ＰＺＴ方式印字ヘッドの１つの実施例における流路板とノズル板の接合後の平面図である。
【図５】は、本発明の微細接合の組立装置に係わる１つの実施例における組立装置の全体構成を示す平面図である。
【図６】は、本発明の微細接合の組立装置に係わる１つの実施例における組立装置の接合部の断面図である。
【図７】は、本発明の微細接合の組立装置に係わる１つの実施例における部品供給工程の検出工程と判別工程とトレイ供給工程の手順を示す図である。
【図８】は、本発明の微細接合の組立装置に係わる１つの実施例における清掃手段の構成を示す図である。
【図９】は、本発明の微細接合の組立装置に係わる１つの実施例における接着剤非塗布部形成を示す図である。
【図１０】は、本発明の微細接合の組装置に係わる１つの実施例における流路板と振動板を接合し、検査する手順を示す図である。
【図１１】は、本発明の微細接合の組立装置に係わる１つの実施例における流路板と振動板を接合し、再位置調整する手順を示す図である。
【図１２】は、本発明の微細接合の組立装置に係わる１つの実施例における流路板と振動板を接合し、減圧して再位置調整する手順を示す図である。
【図１３】は、本発明の微細接合の組立装置に係わる１つの実施例における流路板と振動板を接合し、減圧して再位置調整するとともに接合オフセットする手順を示す図である。
【符号の説明】
１：ＰＺＴ方式印字ヘッド
２：液室ユニット
３：駆動ユニット
１１：ノズル板
１２：流路板
１３：振動板
１４ａ：圧電素子駆動部
１４ｂ：圧電素子支柱部
１５：基板
１６：接着剤
２１：ノズル板の位置検出用基準マーク
２２ａ：流路板のノズル板位置検出用基準マーク（流路板の位置検出用基準マーク）
２２ｂ：流路板の振動板位置検出用基準マーク（流路板の位置検出用基準マーク）
２３：振動板の位置検出用基準マーク
３０：液室
３１：流路板接着剤非塗布領域
４０：ノズル穴
５０：部品投入排出ステージ
５１：第１の振動板供給手段
５１ａ：第１の振動板トレイ検出手段
５１ｂ：第１の振動板トレイ識別手段
５１ｃ：第１の振動板トレイ供給手段
５２：第２の振動板供給手段
５２ａ：第２の振動板トレイ検出手段
５２ｂ：第２の振動板トレイ識別手段
５２ｃ：第２の振動板トレイ供給手段
５３：第１の流路板供給手段
５３ａ：第１の流路板トレイ検出手段
５３ｂ：第１の流路板トレイ識別手段
５３ｃ：第１の流路板トレイ供給手段
５４：第２の流路板供給手段
５４ａ：第２の流路板流トレイ検出手段
５４ｂ：第２の流路板流トレイ識別手段
５４ｃ：第２の流路板流トレイ供給手段
５５：第１の完成品排出手段
５５ａ：第１の完成品トレイ検出手段
５５ｂ：第１の完成品トレイ識別手段
５５ｃ：第１の完成品トレイ排出手段
５６：第２の完成品排出手段
５６ａ：第２の完成品トレイ検出手段
５６ｂ：第２の完成品トレイ識別手段
５６ｃ：第２の完成品トレイ排出手段
５７：バッファ手段
５８：接着剤塗布手段
５９：塗布部品仮位置決め手段
６０：清掃手段
６１：位置調整・接合手段
６１ａ：流路板投入部
６１ｂ：振動板投入部
６２：仮止め用接着剤塗布手段
６３：位置検出手段
６４：仮止め手段
６５：搬送手段
６６：制御装置
６７：塗布メンテナンス手段
７０：吸引手段
７１：吸引ノズル
７２：フィルタ
７３：切替弁
７４：真空ポンプまたは排風機
７５：清掃前処理手段
８０：接合上ステージ
８１：ＸＹＺθ駆動機構
９０：接合ステージ
９１：接着剤塗布ステージ
１００：微細部品組立装置

Claims (10)

1. 第１の部品と第２の部品のそれぞれに設けた位置検出基準を検出して、その検出結果に基づいて該部品の位置調整を行い、前記２つの部品を接着接合する組立方法であり、
   第１の部品の位置検出基準を検出する第１の部品位置検出工程と、
   上記第１の部品の位置検出情報をもとに、第１の部品の初期セッティング位置のずれ量を算出し、上記第２の部品の検出初期位置を上記第１の部品のずれ量分だけ変更する検出初期位置再設定工程と、
   上記第２の部品の変更された検出初期位置に基づいて、第２の部品の位置を調整し位置決めする位置決め工程と、
   上記第１の部品の位置検出用基準マークを通して、上記第２の部品の位置検出用基準マークを検出し、２種類の部品の位置検出用基準マークの検出情報により、第２の部品の位置を補正する制御工程を具備する微細部品の組立方法であって、
   上記第１の部品の位置検出用基準マークが円形の貫通孔であり、第２の部品の位置検出用基準マークが前記円形の貫通孔より小さい六角形の有底孔であり、前記２種類の部品の位置検出用基準マークを、第１の部品と第２の部品を加圧接合中に再度検出し、前記制御工程により接合後の２種類の部品の位置ずれ量を再演算し、その演算結果から接合検査を行う接合検査工程を具備することを特徴とする微細部品の組立方法。
2. 上記接合検査工程において、検査結果が接合位置不良の場合には、前記制御工程において演算された２種類の部品の加圧後の位置ずれ量を補正量として、上記第２の部品を再補正する再位置調整工程を具備することを特徴とする請求項１の微細部品の組立方法。
3. 上記再位置調整工程において、第１の部品と第２の部品に加えられる規定の接合加圧力を減圧してから、上記第２の部品を再位置調整し、再位置調整完了後に再び規定値まで加圧接合することを特徴とする請求項２の微細部品の組立方法。
4. 上記再位置調整工程において、加圧接合直後の第１の部品と第２の部品との位置ずれ量をメモリーし、該位置ずれ量の平均化処理をして接合オフセット値を自動的に算出し、部品を接合する前の上記位置決め工程において、第１の部品と第２の部品を、前記接合オフセット値分だけオフセットさせて位置調整することを特徴とする請求項３の微細部品の組立方法。
5. 第１の部品の位置検出用基準マークと第２の部品の位置検出用基準マークとを第１の部品側から撮像してそれぞれの位置を検出するとき、第２の部品の位置検出用基準マークが第１の部品の位置検出用基準マークに内在する形状である、請求項１乃至請求項４のいずれかの微細部品の組立方法。
6. 第１の部品と第２の部品それぞれに設けた位置検出基準を検出して、その検出結果に基づいて部品の位置調整を行い、上記２つの部品を接着接合する組立装置であり、
   部品投入排出ステージと接着剤塗布ステージと接合ステージと搬送手段及び制御装置を有し、
   上記部品投入排出ステージは接合する２種類の部品をそれぞれ投入する部品供給手段と、上面に接着剤を塗布した第２の部品を一定量貯蔵するバッファ手段と、接合完了後の完成品を排出する排出手段を有し、
   上記接着剤塗布ステージは、仮位置決め手段と接着剤塗布手段を有し、前記仮位置決め手段は移動自在な駆動機構を有し、上面に接着剤を塗布する第２の部品を仮位置決めして保持するものであり、上記接着剤塗布手段は、上記仮位置決め手段で保持された部品の接着剤塗布面に接着剤を塗布するものであり、
   上記接合ステージは、位置調整・接合手段と位置検出手段と接合上ステージを有し、上記位置調整・接合手段は、水平方向と垂直方向の駆動軸を有する駆動機構と、駆動機構の上面に設けられ、接着剤を塗布した第２の部品を保持する下部品投入部と、第１の部品を保持する上部品投入部を有し、接合する２種類の部品の位置をそれぞれ別個に調整するものであり、上記位置検出手段は接合する２種類の部品にそれぞれ設けられた位置検出用基準マークを検出するものであり、上記接合上ステージは第１の部品を吸着保持する吸着手段と仮止め手段を有し、この仮止め手段は上記吸着手段に吸着保持された第１の部品と、位置調整・接合手段の下部品投入部に保持された第２の部品を仮止めするものであり、
   上記搬送手段は部品投入排出ステージと接着剤塗布ステージと接合ステージの間で各部品と接合された完成品を移動させるものであり、
   上記制御装置は、接合上ステージの吸着手段に吸着保持された第１の部品の位置検出情報により、該第１の部品の初期セッティング位置のずれ量を演算し、このずれ量により第２の部品の検出初期位置を再設定し、この再設定された検出初期位置に基づいて、第２の部品の位置を調整して位置決めし、上記第１の部品の位置検出用基準マークを通して、上記第２の部品の位置検出用基準マークを検出し、２種類の部品の位置検出用基準マークの検出情報により、第２の部品の位置を補正する微細部品の組立装置であって、
   上記第１の部品の位置検出用基準マークが円形の貫通孔であり、第２の部品の位置検出用基準マークが前記円形の貫通孔より小さい六角形の有底孔であり、上記第２の部品の位置の補正完了後に、上記位置調整・接合手段により第１の部品と第２の部品を加圧接合中に、前記２種類の部品の位置検出用基準マークを再度検出し、上記制御装置により接合後の２種類の部品の位置ずれ量を演算し、２種類の部品の接合検査を行う接合検査手段を備えることを特徴とする微細部品の組立装置。
7. 上記接合検査手段が、接合位置不良の場合には、前記制御装置において演算された２種類の部品の位置ずれ量を補正量として、前記位置調整・接合手段により、前記第２の部品を再位置調整する再位置調整手段を備えることを特徴とする請求項６の微細部品の組立装置。
8. 上記再位置調整手段は、前記位置調整・接合手段により、規定の接合加圧力を減圧してから、前記接着剤を塗布した第２の部品を再位置調整し、再位置調整完了後に再び規定値まで加圧することを特徴とする請求項７の微細部品の組立装置。
9. 上記再位置調整において、加圧接合直後の第１の部品と第２の部品との位置ずれ量をメモリーし、該位置ずれ量の平均化処理をして接合オフセット値を自動的に算出し、部品を接合する前の上記位置決め工程において、第１の部品と第２の部品を、上記接合オフセット値分だけオフセットさせて位置調整する自動オフセット設定手段を具備することを特徴とする請求項８の微細部品の組立装置。
10. 請求項１乃至請求項５のいずれかの微細部品の組立方法、又は請求項６乃至請求項９のいずれかの組立装置を使用して、第１の部品であるインク滴を吐出する複数ノズルを有するノズル板と各ノズルに対応した振動部を有する振動板を、第２の部品である各ノズルに対応した液室が形成された流路板に接合して作製したことを特徴とするインクジェット印字ヘッド。

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