JPH09314848A - インクジェットヘッド接合装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精度の接合或いは短い生産タクトでの接合
を行なえない。 【解決手段】 離間して配置されかつ段差のある駆動ユ
ニット２の基板４とノズルプレート３の各位置検出用基
準孔１１，１２を撮像する２重焦点光学系を有する１つ
の位置検出用カメラ４１を設け、この位置検出用カメラ
４１の第１の焦点でノズルプレート３を撮像し、第２の
焦点で駆動ユニット２の基板４を撮像する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ド接合装置に関し、特にインクジェットヘッドを構成す
る２つの部材にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出
して、この検出結果に基づいて２つの部材を接合するイ
ンクジェットヘッド接合装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットヘッドを用いて画像を記
録するプリンタ、ファクシミリ、コピー等のインクジェ
ット記録装置は、インク滴を吐出するための複数のノズ
ルと、各ノズルに対応して設けた電気機械変換素子や発
熱抵抗体などのアクチュエータとを備えたインクジェッ
トヘッドを記録ヘッドに用いて、記録信号に応じてノズ
ルからインク滴を記録媒体（インク滴が付着するもの）
に吐出することによって、高速、高密度、高品質の記録
を行なうものである。

【０００３】インクジェットヘッドとしては種々の構造
のものが知られているが、例えば、基板上に複数の圧電
素子を設け、この圧電素子に振動板の変位部を接合し、
この振動板上に変位部に対応する液室を形成するための
液室形成部材を設け、この液室形成部材上に振動板の変
位部に対向するノズルを形成したノズル板（ノズルプレ
ート）を設けて、圧電素子を駆動することで振動板を介
して液室内のインクを加圧し、ノズル板のノズルからイ
ンク滴を吐出するようにしたものがある。また、基板上
に複数の圧電素子と液室隔壁となる支柱部とを交互に列
設し、圧電素子に対向するノズルを形成したノズル板を
支柱部に接合して、圧電素子の変位によって対向するノ
ズルからインク滴を吐出するようにしたものもある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したようなインク
ジェットヘッドおいて、高密度、高品質記録を行うため
はヘッド構成部品の個々の精度を高くしなければならな
いと共に、ノズル板、振動板、圧電素子等の各構成部品
を接合して組み立てるときの組み立て精度（部品相互の
位置精度即ち接合精度）を高くしなければならない。

【０００５】特に、組立ての中でも、ノズル板のノズル
と振動板の変位部との位置精度、振動板の変位部と圧電
素子との位置精度、ノズル板のノズルと圧電素子との位
置精度を高くしなければ、圧電素子の変位が効率的に振
動板から液室に伝達されなくなってインクの吐出効率が
低下したり、複数の圧電素子を同時に駆動したときに相
互の干渉を生じて吐出速度が低下したりして、画像品質
が低下するなどの不都合が発生する。

【０００６】したがって、上述したようなインクジェッ
トヘッドを構成している２つの部材を自動的に接合する
インクジェットヘッド接合装置を構成しようとする場
合、接合に要する時間を短縮して生産タクトの短縮化を
図ると共に、２つの部材の位置合せ精度の向上が要求さ
れる。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、生産タクトの短縮化や位置合わせ精度の向上を図
ることができるインクジェットヘッド接合装置を提供す
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッド接合装置は、イン
クジェットヘッドを構成する２つの部材にそれぞれ設け
た位置検出用基準孔を検出し、この検出結果に基づいて
前記２つの部材を接合するインクジェットヘッド接合装
置において、離間して配置されかつ段差のある前記２つ
の部材の位置検出用基準孔を撮像する２重焦点光学系を
有する１つの撮像手段を設け、この撮像手段の第１の焦
点で前記２つの部材の一方の部材を撮像し、第２の焦点
で他方の部材を撮像する構成とした。

【０００９】請求項２のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する２つの部材にそれ
ぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出結果に
基づいて前記２つの部材を接合するインクジェットヘッ
ド接合装置において、離間して配置されかつ段差のある
前記２つの部材の位置検出用基準孔を同時に撮像可能な
光学系を有する１つの撮像手段を設けた。

【００１０】請求項３のインクジェットヘッド接合装置
は、上記請求項２のインクジェットヘッド接合装置にお
いて、前記撮像手段の光学系が焦点深度の深い光学系か
らなる構成とした。

【００１１】請求項４のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する２つの部材にそれ
ぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出結果に
基づいて前記２つの部材を接合するインクジェットヘッ
ド接合装置において、前記２つの部材の位置検出用基準
孔を撮像する撮像手段を設けると共に、前記２つの部材
を接合した後の前記撮像手段の撮像結果に基づいて前記
２つの部材の接合誤差量を演算し、この演算結果に基づ
いて接合状態の良／不良を判定する検査手段を備えた。

【００１２】請求項５のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する２つの部材にそれ
ぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出結果に
基づいて前記２つの部材を接合するインクジェットヘッ
ド接合装置において、前記２つの部材の位置検出用基準
孔を撮像する撮像手段を設けると共に、前記２つの部材
を接合した後の前記撮像手段の撮像結果に基づいて前記
２つの部材の接合誤差量を演算し、この演算結果に基づ
いて前記２つの部材のうちの他方の部材の位置を補正す
る補正量演算に使用する初期オフセット量を修正する手
段を備えた。

【００１３】請求項６のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する２つの部材にそれ
ぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出結果に
基づいて前記２つの部材を接合するインクジェットヘッ
ド接合装置において、前記２つの部材の位置検出用基準
孔を撮像する撮像手段を設けると共に、この撮像手段の
撮像結果に基づいて一方の部材の仮想接合点に対する他
方の部材の仮想接合点の補正量を算出し、この算出結果
で補正した仮想接合点を基準として前記２つの部材を接
合する手段を備えた。

【００１４】請求項７のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する２つの部材にそれ
ぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出結果に
基づいて前記２つの部材を接合するインクジェットヘッ
ド接合装置において、前記２つの部材の位置検出用基準
孔を撮像する撮像手段と、この撮像手段によって撮像す
る被撮像部材を照明する光源とを設けると共に、この光
源は位置検出時の照明位置とこの照明位置から退避する
退避位置との間で移動可能に設けた。

【００１５】請求項８のインクジェットヘッド接合装置
は、上記請求項１乃至７のいずれかのインクジェットヘ
ッド接合装置において、順次配置した第１、第２、第
３、第４及び第５ステーションと、これらの各ステーシ
ョンに前記２つの部材のうちの他方の部材を移送位置決
めする移送機構部とを備え、前記第１ステーションは、
前記他方の部材を吸着保持し、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸及びθ
軸まわりに移動させる移動機構部を有する支持機構部を
備え、前記第２ステーションは、前記前記支持機構部で
保持された他方の部材を撮像する位置検出用カメラと、
この位置検出用カメラの検出結果に基づいて前記第３ス
テーションに配設されるスクリーンマスクとの位置合せ
をするに必要な指令を前記支持機構部の移動機構部に送
出する手段とを備え、前記第３ステーションは移送され
た前記他方の部材と前記スクリーンマスクとを重ね合せ
て前記他方の部材の所定位置に接着剤を塗布する接着剤
塗布装置を備え、前記第４ステーションは、前記第２つ
の部材のうちの一方の部材を吸着保持する保持手段と、
この保持手段を前記一方の部材を搭載する前記第５ステ
ーションとの間で往復移動させる移動機構部と、前記請
求項１乃至７のいずれかに記載の手段とを備えている構
成とした。

【００１６】請求項９のインクジェットヘッド接合装置
は、上記請求項１乃至８のいずれかのインクジェットヘ
ッド接合装置において、前記２つの部材のうちの一方の
部材がノズルを形成したノズルプレートであり、他方の
部材が圧電素子を接合した基板又は圧電素子で変形され
る振動板である構成とした。

【００１７】請求項１０のインクジェットヘッド接合装
置は、上記請求項１乃至８のいずれかのインクジェット
ヘッド接合装置において、前記２つの部材のうちの一方
の部材がノズルを形成したノズルプレート及び圧電素子
で変形される振動板を有する部材であり、他方の部材が
圧電素子を接合した基板である構成とした。

【００１８】請求項１１のインクジェットヘッド接合装
置は、上記請求項１乃至１０のいずれかのインクジェッ
トヘッド接合装置において、２つの部材を接合するため
の接着剤を塗布する接着剤塗布装置にディスペンサーシ
ステムを備えた構成とした。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。先ず、図１乃至図４を参照し
て本発明に係るインクジェットヘッド接合装置で接合す
るインクジェットヘッドの一例について説明する。図１
はインクジェットヘッドの模式的説明図、図２は同ヘッ
ドの駆動ユニットの平面図、図３は同駆動ユニットの正
面に、図４は同ヘッドのノズルプレートの平面図であ
る。

【００２０】このインクジェットヘッド１は、駆動ユニ
ット２と、この駆動ユニット２に接合したノズルプレー
ト３とを備えている。駆動ユニット２は、図２及び図３
にも示すように、基板４上に複数の圧電素子５及び支柱
部６を交互に配設してなり、これらの圧電素子５及び支
柱部６は所定の間隔を置いて基板４に接合している。ま
た、ノズルプレート３には、図４にも示すように、イン
ク滴を吐出する複数のノズル７を形成している。そし
て、駆動ユニット２の各支柱部６上面に接着剤８を介し
てノズルプレート３を高い精度で接着接合している。な
お、圧電素子５及び支柱部６の周囲は図示しない隔壁部
材によって画成されて液室９が形成され、圧電素子５を
選択的に駆動することによってノズルプレート３のノズ
ル７からインク滴が吐出される。

【００２１】ここで、駆動ユニット２の基板４には４隅
の一角を除いた３箇所に位置検出用基準孔１１を形成
し、一方、ノズルプレート３にも基板４の位置検出用基
準孔１１に対応する位置に位置検出用基準孔１２を形成
している。このノズルプレート３の位置検出用基準孔１
２は基板４の位置検出用基準孔１１よりも大径に形成し
ている。また、ノズルプレート３の位置検出用基準孔１
２と基板４の位置検出用基準孔１１とは接合時に同心円
状になる位置に形成しているが、後述するように上方か
らカメラ（撮像手段）で撮像したときにノズルプレート
３の位置検出用基準孔１２と基板４の位置検出用基準孔
１１とを検出可能な位置に配置していれば良い。

【００２２】そこで、本発明に係るインクジェットヘッ
ド接合装置について図５以降を参照して説明する。図５
は同接合装置の全体構成を示す正面図、図６は図５のＡ
−Ａ線に沿う断面図、図７は図５のＢ−Ｂ線に沿う断面
図である。

【００２３】このインクジェットヘッド接合装置は、剛
性のある溶接構造で構成したフレーム２１上にベース２
２を載置し、このベース２２上にスライドレール２３を
敷設している。そして、ベース２２上に、第１ステーシ
ョンＳ１、第２ステーションＳ２、第３ステーションＳ
３、第４ステーションＳ４及び第５ステーションＳ５を
順次配置すると共に、接合対象となるインクジェットヘ
ッド１を構成する他方の部材である駆動ユニット２を第
１、第２、第３及び第４ステーションＳ１〜Ｓ４に順次
移送する図示しない移送機構部を備えている。

【００２４】ここで、第１ステーションＳ１は、接合対
象となるインクジェットヘッド１の駆動ユニット２を搭
載するステーションであり、駆動ユニット２を搭載する
テーブル２４を備えている。このテーブル２４は、スラ
イドレール２３上に支持機構部２５を介して支持される
と共に、図示しない真空源に連結されて、搭載された駆
動ユニット２を吸着保持する。支持機構部２５は、スラ
イドレール２３上に一方向（Ｙ方向）に可動台２６を摺
動自在の搭載し、この可動台２６上にＺ軸移動機構部２
７を支持し、このＺ軸移動機構部２７上にＸ軸移動機構
部２８を支持し、このＸ軸移動機構部２８上にθ軸移動
機構部２９を支持してなり、このθ軸移動機構部２９上
にテーブル２４を載設している。

【００２５】第２ステーションＳ２は、図示しない移送
機構部によって支持機構部２５で支持されたテーブル２
４と共に第１ステーションＳ１から移送された駆動ユニ
ット２の位置検出及び位置調整を行うステーションであ
り、駆動ユニット２の基板４に形成した位置検出用基準
孔１１を撮像する位置検出用カメラ３１を備えている。
この位置検出用カメラ３１は、駆動ユニット２の基板４
に形成した複数の位置検出用基準孔１１を撮像すること
が可能な３視野の光学系を備えているものを用いてい
る。

【００２６】そして、この第２ステーションＳ２では、
位置検出用カメラ３１による撮像結果を画像処理して駆
動ユニット２の位置を検出測定し、この測定結果と後述
する第３ステーションＳ３のスクリーンマスク３３の位
置情報とに基づいて支持機構部２５を駆動制御して、駆
動ユニット２の支柱部６と第３ステーションＳ３のスク
リーンマスク３３との位置合わせを行う。

【００２７】すなわち、この接合装置では、駆動ユニッ
ト２の支柱部６上にスクリーン印刷方式で接着剤８を塗
布してノズルプレート３と接合するため、支柱部６上に
接着剤８を塗布しなければならない。そのために、第３
ステーションＳ３の所定位置に設けたスクリーンマスク
３３と駆動ユニット２の支柱部６とを合致させることが
必要になる。ここで、スクリーンマスク３３は予め所定
の姿勢でマスク支持プレート３４にセットされているの
で、駆動ユニット２の位置を検出判定してスクリーンマ
スク３３とのずれ量を算出し、この算出したずれ量に応
じて支持機構部２５の可動台２６及びＺ軸，Ｘ軸，θ軸
の各移動機構部２７，２８，２９を駆動制御することに
よって、テーブル２４上の駆動ユニット２をスクリーン
マスク３３と合致する位置に正確に位置調整する。

【００２８】第３ステーションＳ３は、上述したように
駆動ユニット２に接着剤８を塗布するステーションであ
る。すなわち、駆動ユニット２とスクリーンマスク３３
とを重ね合わせて、ベース２２上に載置したスクリーン
印刷式接着剤塗布装置３５によって駆動ユニット２の支
柱部６上面に接着剤８をスクリーン印刷で塗布する。こ
のスクリーン印刷式接着剤塗布装置３５にはディスペン
サシステムを具備して接着剤８を自動供給できるように
し、作業時間の短縮を図っている。

【００２９】第４ステーションＳ４と第５ステーション
Ｓ５とはノズルプレート移動機構部３６のスライドレー
ル３７を介して連結している。このノズルプレート移動
機構部３６は、ベース２２上に載置され、スライドレー
ル３７上に摺動自在に支持した透明部材からなる保持手
段３８を備え、この保持手段３８を第４ステーションＳ
４と第５ステーションＳ５との間で往復移動させる。こ
のノズルプレート移動機構部３６は、モータ３９、ボー
ルネジ４０及びスライドレール３７とからなる。保持手
段３８は、ノズルプレート３を吸着保持するものであ
り、図示しない真空源に連結されている。

【００３０】第４ステーションＳ４は、第３ステーショ
ンＳ３から移送されてきた駆動ユニット２と、インクジ
ェットヘッド１を構成する一方の部材であるノズルプレ
ート３を搭載するステーションである第５ステーション
Ｓ５から移送されたノズルプレート３とを重ねた状態
で、駆動ユニット２の基板４の位置検出用基準孔１１及
びノズルプレート３の位置検出用基準孔１２を撮像する
撮像手段である位置検出用カメラ４１を備え、この位置
検出用カメラ４１の撮像結果を画像処理して駆動ユニッ
ト２とノズルプレート３の各位置を検出し、駆動ユニッ
ト２をノズルプレート３と合致する位置に正確に位置調
整して、駆動ユニット２とノズルプレート３とを接合す
るステーションである。

【００３１】なお、位置検出用カメラ４１は、駆動ユニ
ット２の基板４及びノズルプレート３に形成した複数の
位置検出用基準孔１１，１２を同時に撮像可能な３視野
の光学系を具備すると共に、その光学系として２焦点光
学系を用いている。この位置検出用カメラ４１の光学系
及び被撮像対象物の位置検出の詳細については後述す
る。

【００３２】この第４ステーションＳ４には被撮像部材
である駆動ユニット２及びノズルプレート３の位置検出
を行う際にこれらの被撮像部材を照射する光源４２を備
えている。この光源４２を載置した照明支持プレート４
３は、フレーム２１上に支持したアングル４５上に取付
けたスライドシリンダ４４によって移動可能としてい
る。

【００３３】そして、光源４２は、第３ステーションＳ
３から駆動ユニット２が移送されてくる際には、スライ
ドシリンダ４４によって駆動ユニット２に移送経路から
退避した退避位置に移動し、駆動ユニット２及びノズル
プレート３の位置検出をするための撮像の際には所定位
置（被撮像対象を照明する位置）に移動させる。また、
この光源４２は、ノズルプレート３を駆動ユニット２に
接合する際にも退避位置に移動する。このようにするこ
とで、光源４２と移送される駆動ユニット２との干渉を
防止することができる。

【００３４】ここで、このインクジェットヘッド接合装
置による接合工程について図８を参照して説明する。ま
ず、駆動ユニット２（図中では、「ＰＺＴ」で表記す
る。）を第１ステーションＳ１のテーブル２４上に吸着
保持した後、テーブル２４を図示しない移送機構部によ
って第２ステーションＳ２に移送する。そして、位置検
出用カメラ３１によって駆動ユニット２の基板４の位置
検出用基準孔１１を撮像して、駆動ユニット２の位置を
検出計測した後、この計測結果と第３ステーションＳ３
のスクリーンマスク３３の位置情報に基づいて駆動ユニ
ット２（支柱部６）の現位置がスクリーンマスク３３の
位置と一致するか否かを判別する。

【００３５】このとき、駆動ユニット２の位置がスクリ
ーンマスク３３の位置と一致していないければ、計測結
果とスクリーンマスク３３の位置情報とに基づいて駆動
ユニット２の位置補正量を演算して、この演算結果に応
じて支持機構部２５の可動台２６及びＺ軸，Ｘ軸，θ軸
の各移動機構部２７，２８，２９を駆動制御して駆動ユ
ニット２の位置を調整し、再度駆動ユニット２の基板４
の位置検出用基準孔１１をカメラ３１で撮像して駆動ユ
ニット２の位置を計測する。

【００３６】そして、駆動ユニット２とスクリーンマス
ク３３との位置合せができたときには、駆動ユニット２
を第３ステーションＳ３に移送し、駆動ユニット２の支
柱部６上面に接着剤８を塗布した後、駆動ユニット２を
第４ステーションＳ４に移送する。

【００３７】一方、第５ステーションＳ５ではノズルプ
レート３をノズルプレート移動機構部３６で吸着保持し
て、ノズルプレート３を第４ステーションＳ４に移送す
る。

【００３８】そこで、第４ステーションＳ４では、位置
検出用カメラ４１によって駆動ユニット２の基板４に位
置検出用基準孔１１とノズルプレート３の位置検出用基
準孔１２とを、後述するように被撮像対象物である駆動
ユニット２及びノズルプレート３を移動させることなく
撮像して、この撮像結果に基づいて駆動ユニット２とノ
ズルプレート３の位置を検出測定し、両者のずれ量（偏
差量）を演算し、算出した両者の偏差量が予め定めた許
容範囲内か否かを判別する。

【００３９】このとき、駆動ユニット２とノズルプレー
ト３の偏差量が許容範囲内でなければ、算出した偏差量
を駆動ユニット２の位置補正量として、この補正量に応
じて支持機構部２５の可動台２６及びＺ軸，Ｘ軸，θ軸
の各移動機構部２７，２８，２９を駆動制御して駆動ユ
ニット２の位置を調整し、再度駆動ユニット２の基板４
の位置検出用基準孔１１及びノズルプレート３の位置検
出用基準孔１２を位置検出用カメラ４１で撮像して、こ
の撮像結果に基づいて駆動ユニット２とノズルプレート
３の位置を検出測定し、両者の偏差量を演算する処理を
繰り返し行う。

【００４０】そして、駆動ユニット２とノズルプレート
３の偏差量が許容範囲内になったときには、Ｚ軸移動機
構部２７を駆動制御してＺ軸を上昇させ、駆動ユニット
２を上昇させることによって駆動ユニット２の支柱部６
とノズルプレート３とを接合する。

【００４１】このように、この接合装置は、順次配置し
た第１、第２、第３、第４及び第５ステーションと、こ
れらの各ステーションに２つの部材のうちの他方の部材
を移送位置決めする移送機構部とを備え、第１ステーシ
ョンは、他方の部材を吸着保持し、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸及
びθ軸まわりに移動させる移動機構部を有する支持機構
部を備え、第２ステーションは、支持機構部で保持され
た他方の部材を撮像する位置検出用カメラと、この位置
検出用カメラの検出結果に基づいて第３ステーションに
配設されるスクリーンマスクとの位置合せをするに必要
な指令を支持機構部の移動機構部に送出する手段とを備
え、第３ステーションは移送された他方の部材とスクリ
ーンマスクとを重ね合せて他方の部材の所定位置に接着
剤を塗布する接着剤塗布装置を備え、第４ステーション
は、第２つの部材のうちの一方の部材を吸着保持する保
持手段と、この保持手段を一方の部材を搭載する第５ス
テーションとの間で往復移動させる移動機構部と、前記
２つの部材の各位置検出用基準孔を撮像して、この撮像
結果に基づいて他方の部材の位置調整をして接合する手
段とを備えているので、インクジェットヘッド１を構成
する駆動ユニット２とノズルプレート３とを自動的に高
精度に接合することができる。

【００４２】ここで、第４ステーションＳ４で行う駆動
ユニット２とノズルプレート３との接合について説明す
る。駆動ユニット２或いはノズルプレート３の各位置検
出用基準孔１１，１２のピッチが、部品加工誤差等によ
って等ピッチでなかった場合には、片側の位置検出用基
準孔を基準にして位置合わせを行うと、加工誤差がその
まま組立誤差となる。そこで、位置検出用基準孔とは別
に、位置検出用基準孔の位置測定結果から仮想接合点を
設定して、この仮想接合点を基準とした補正量を演算
し、駆動ユニット２の位置修正を行って接合する。

【００４３】このように、２つの部材の位置検出用基準
孔を検出する撮像手段を設けると共に、この撮像手段の
撮像結果に基づいて一方の部材の仮想接合点に対する他
方の部材の仮想接合点の補正量を算出し、この算出結果
で補正した仮想接合点を基準として２つの部材を接合す
ることによって、加工誤差をキャンセルすることがで
き、より高精度に接合することができる。

【００４４】次に、第４ステーションＳ４で駆動ユニッ
ト２及びノズルプレート３の位置検出を行うための位置
検出用カメラ４１の光学系と位置検出及び位置調整動作
について図９乃至図１１をも参照して説明する。上述し
たように第４ステーションＳ４に移送された駆動ユニッ
ト２の位置検出用基準孔１１を形成した基板４と位置検
出用基準孔１２を形成したノズルプレート３とは離間し
て配置されているので、位置検出用基準孔１１と位置検
出用基準孔１２とは離間しかつ段差がある状態に位置し
ている。

【００４５】そこで、位置検出用カメラ４１には、この
ように離間して配置されかつ段差のある位置検出用基準
孔１１と位置検出用基準孔１２とを被撮像対象物の移動
を伴うことなく撮像するために、２重焦点光学系を備え
ている。なお、単に離間した仮に２点の位置検出用基準
孔１１，１１を検出するには、１つには１台のカメラに
２方向レンズを使用し、或いは、カメラ２台を使用して
それぞれのレンズを共通治具に固定して使用する方法が
考えられるが、そのいずれでもよい。

【００４６】一方、離間しかつ段差のある位置検出用基
準孔１１，１２を撮像するために用いる２重焦点光学系
について図９及び図１０を参照して説明すると、図９に
示すように、通常対物レンズ５１を通過した光はある１
点が焦点（これを「焦点Ｏ１」とする。）となる。この
光路の途中に空気と屈折率の異なる透明部材５２（厚さ
ｄ、屈折率ｎ、図１０参照）を挿入すると、この透明部
材５２で屈折するため、焦点位置が焦点距離の差Δχだ
けずれた焦点Ｏ２に移動する。なお、屈折率ｎは、図１
０において入射角θ１、屈折角θ２としたとき、sinθ
１／sinθ２で表わされ、焦点距離の差Δχは、ｄ（１
−１／ｎ）で算出される。

【００４７】したがって、位置検出用カメラ４１とノズ
ルプレート３との間の光路中に透明部材５２を移動手段
によって光路中に介在する位置と光路から退避した位置
との間で移動可能に配設する。このとき、位置検出用カ
メラ４１の２つの焦点の内の第１焦点（上記の焦点Ｏ１
に相当する。）をノズルプレート３の位置検出用基準孔
１２に合せた状態で、透明部材５２を挿入することによ
って位置検出用カメラ４１の焦点がΔχだけずれた第２
焦点（上記の焦点Ｏ２に相当する。）に移動し、この第
２焦点が駆動ユニット２の基板４の位置検出用基準孔１
２に合致する。すなわち、透明部材５２として、このよ
うな焦点距離の差Δχが得られる厚さｄ及び屈折率ｎを
有するものを用いる。

【００４８】そこで、駆動ユニット２とノズルプレート
３との位置検出を行う場合には、図１１に示すように、
透明部材５２を退避位置にした状態にし、位置検出用カ
メラ４１の第１焦点をノズルプレート３の位置検出用基
準孔１２に合せて撮像し、この撮像結果に基づいてノズ
ルプレート３の位置を測定する。次いで、透明部材５２
を移動して光路中に挿入し、位置検出用カメラ４１の第
２焦点を駆動ユニット２の位置検出用基準孔１１に合せ
て撮像し、この撮像結果に基づいて駆動ユニット２の位
置を測定する。そして、これらの測定結果に基づいて偏
差量から駆動ユニット２の補正量を演算し、補正が必要
か否かを判別して、補正が必要であれば、補正量に基づ
いて支持機構部２５を駆動制御して駆動ユニット２の位
置を修正（調整）する。

【００４９】このように離間して配置されかつ段差のあ
る２つの部材の位置検出用基準孔を撮像する２重焦点光
学系を有する１つの撮像手段を設けて、この撮像手段の
第１の焦点で２つの部材の一方の部材を撮像し、第２の
焦点で他方の部材を撮像することによって、撮像系及び
被撮像系を動作させることなく検出することができるの
で、高精度の位置検出を行なうことができて、駆動ユニ
ットとノズルプレートとを高い位置精度で接合すること
ができる。また、Ｚ軸移動を行なうことなく位置検出が
できるので、位置合せ工程が簡略化して生産タクトを短
縮することができる。

【００５０】すなわち、位置検出用カメラの光学系が駆
動ユニットとノズルプレートの段差のある位置検出用基
準孔を同時に撮像することができない場合には、ノズル
プレートの撮像を行なった後に、駆動ユニットの撮像を
行なうためには駆動ユニットをＺ軸移動機構部によって
位置検出用カメラの焦点位置まで移動させなければなら
ないため、誤差を生じ易くなるのに対して、上述のよう
にすることでＺ軸方向の移動がないために誤差が生じ難
くなる。

【００５１】次に、離間して配置されかつ段差のある駆
動ユニット２の基板４の位置検出用基準孔１１とノズル
プレート３の位置検出用基準孔１２とを同時に検出可能
な光学系の１つである焦点深度の深い光学系について説
明する。ここで、焦点深度の深い光学系とは、焦点がジ
ャストフォーカス点を中心にしてある幅を持っていると
いうことであり、ピントの合う幅が広いということであ
る。つまり、焦点の合う幅が駆動ユニット２の位置検出
用基準孔１１とノズルプレート３の位置検出用基準孔１
２との段差よりも大きく、駆動ユニット２とノズルプレ
ート３の各位置検出用基準孔１１，１２を同時に検出
（測定）することができる。このとき、光学系のセッテ
ィングとしては、ジャストフォーカスの位置を駆動ユニ
ット２の基板４とノズルプレート３の各位置検出用基準
孔１１，１２との間に中心に設定することが好ましい。

【００５２】そこで、駆動ユニット２とノズルプレート
３との位置検出を行う場合には、図１１に示すように、
図１２に示すように、ノズルプレート３の位置検出用基
準孔１２と駆動ユニット２の基板４の位置検出用基準孔
１１を位置検出用カメラ４１で同時に撮像して、この撮
像結果から駆動ユニット２及びノズルプレート３の位置
を検出測定する。そして、これらの測定結果に基づいて
偏差量から駆動ユニット２の補正量を演算し、補正が必
要か否かを判別して、補正が必要であれば、補正量に基
づいて支持機構部２５を駆動制御して駆動ユニット２の
位置を修正（調整）する。

【００５３】このように、離間して配置されかつ段差の
ある２つの部材の位置検出用基準孔を同時に撮像可能な
光学系を有する１つの撮像手段、例えば焦点深度の深い
撮像手段を設けることによって、撮像系及び被撮像系を
動作させることなく検出することができるので、高精度
の位置検出を行なうことができて、駆動ユニットとノズ
ルプレートとを高い位置精度で接合することができると
共に、Ｚ軸移動を行なうことなく位置検出ができるの
で、位置合せ工程が簡略化して生産タクトを短縮するこ
とができる。特に、この焦点深度の深い光学系を用いた
場合には、焦点深度を変更する必要がなく、１回の撮像
で駆動ユニットとノズルプレートの位置情報を得ること
ができて、位置合せ工程がいっそう簡単になり、より生
産タクトを短縮することができる。

【００５４】次に、本発明の他の実施例について図１３
を参照して説明する。駆動ユニット２とノズルプレート
３との位置合せを行なうために駆動ユニット２を移動さ
せたとき、Ｚ軸移動による駆動ユニット２の変位による
誤差等が存在するために、これを初期オフセット量とし
て予め設定しておき、駆動ユニット２の位置の補正量を
演算するときにこの初期オフセット量を勘案するように
している。しかしながら、このＺ軸移動による駆動ユニ
ット２の変位による誤差が変動したり、駆動ユニット２
とノズルプレート３とを接合する際に生じるずれ成分が
必ずしも一定ではないために、初期オフセット量を一定
値としても駆動ユニット２とノズルプレート３との位置
合せ精度が変動することがある。

【００５５】そこで、この実施例においては、初期オフ
セット量を設定した後、接合前の駆動ユニット２とノズ
ルプレート３の位置検出用基準孔１１，１２を位置検出
用カメラ４１で撮像した結果に基づいて前述したように
して駆動ユニット２とノズルプレート３との位置を測定
し、これらの測定結果に基づいて駆動ユニット２の位置
補正量として初期オフセット量を加えた補正量を算出
し、この算出した補正量に基づいて駆動ユニット２に位
置を調整した後、Ｚ軸を上昇して駆動ユニット２とノズ
ルプレート３とを接合する。

【００５６】その後、接合後の駆動ユニット２とノズル
プレート３の各位置検出用基準孔１１，１２を再度位置
検出用カメラ４１で撮像して、この撮像した結果に基づ
いて駆動ユニット２とノズルプレート３との位置を測定
し、この測定結果に基づいて接合後の状態で駆動ユニッ
ト２とノズルプレート３とのずれ量（偏差量＝接合誤差
量）を演算する。

【００５７】そして、演算した接合誤差量（偏差量）が
予め定めた許容範囲内か否かを判別し、当該接合部品が
良品か不良品かの判定検査を行ない、接合誤差量が許容
範囲内でなければ、当該接合部品を不良品として取扱う
処理をする。また、当該接合部品の接合誤差量が許容範
囲内であれば、この演算結果に応じて初期オフセット量
を自動変更（修正）する。

【００５８】このように、２つの部材を接合した後の撮
像手段の撮像結果に基づいて２つの部材の接合誤差量を
演算し、この演算結果に基づいて接合状態を判定するこ
とによって、接合後他の検査機を用いることなく直ちに
接合状態を検査することができて、接合装置全体のコス
トを低減することができ、生産タクトも短縮される。

【００５９】また、２つの部材を接合した後の撮像手段
の撮像結果に基づいて２つの部材の接合誤差量を演算
し、この演算した接合誤差量に基づいて２つの部材の初
期オフセット量を補正（修正）するようにすることで、
次回からの接合に反映させることができ、Ｚ軸移動によ
る誤差成分や接合時のずれ成分を含めた位置合わせがで
きるようになり、より高精度に２つの部材を接合するこ
とができる。

【００６０】なお、上記実施例においては、本発明によ
るインクジェットヘッド接合装置で接合する２つの部材
として、ノズルを形成したノズルプレートと駆動ユニッ
ト（圧電素子を接合した基板）である例で説明したが、
インクジェットヘッドとしては、前述したように圧電素
子で変形される振動板を用いるものもあるので、ノズル
プレートと振動板との接合にも適用することができる。

【００６１】また、インクジェットヘッドとしては、予
め基板上に圧電素子及び支柱部を交互に列設したアクチ
ュエータユニットと、ノズルプレート、液室を形成する
液室流路形成部材及び振動板を一体にした液室ユニット
とを別の工程で加工・組付て、これらの各ユニットを接
合するものもあり、このようなアクチュエータユニット
と液室ユニットの接合にも適用することができる。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッド接合装置によれば、インクジェットヘッ
ドを構成する２つの部材にそれぞれ設けた位置検出用基
準孔を検出し、この検出結果に基づいて２つの部材を接
合するインクジェットヘッド接合装置において、離間し
て配置されかつ段差のある２つの部材の位置検出用基準
孔を撮像する２重焦点光学系を有する１つの撮像手段を
設け、この撮像手段の第１の焦点で２つの部材の一方の
部材を撮像し、第２の焦点で他方の部材を撮像する構成
としたので、撮像系及び被撮像系を動作させることなく
検出することができて、高精度の位置検出を行なうこと
ができ、２つの部材の接合精度が向上すると共に、Ｚ軸
移動を行なうことなく位置検出ができるので、位置合せ
工程が簡略化して生産タクトを短縮することができる。

【００６３】請求項２のインクジェットヘッド接合装置
によれば、インクジェットヘッドを構成する２つの部材
にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出
結果に基づいて２つの部材を接合するインクジェットヘ
ッド接合装置において、離間して配置されかつ段差のあ
る２つの部材の位置検出用基準孔を同時に撮像可能な光
学系を有する１つの撮像手段を設けたので、撮像系及び
被撮像系を動作させることなく検出することができて、
高精度の位置検出を行なうことができ、２つの部材の接
合精度が向上すると共に、Ｚ軸移動を行なうことなく位
置検出ができるので、位置合せ工程が簡略化して生産タ
クトを短縮することができる。

【００６４】請求項３のインクジェットヘッド接合装置
によれば、上記請求項２のインクジェットヘッド接合装
置において、撮像手段の光学系が焦点深度の深い光学系
からなる構成としたので、撮像系及び被撮像系を動作さ
せることなく検出することができて、高精度の位置検出
を行なうことができ、２つの部材の接合精度が向上する
と共に、Ｚ軸移動を行なうことなく位置検出ができるの
で、位置合せ工程が簡略化して生産タクトを短縮するこ
とができ、特に、焦点深度を変更する必要がなく、１回
の撮像で２つの部材の位置情報を得ることができて、位
置合せ工程がいっそう簡単になり、より生産タクトを短
縮することができる。

【００６５】請求項４のインクジェットヘッド接合装置
によれば、インクジェットヘッドを構成する２つの部材
にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出
結果に基づいて２つの部材を接合するインクジェットヘ
ッド接合装置において、２つの部材の位置検出用基準孔
を撮像する撮像手段を設けると共に、２つの部材を接合
した後の撮像手段の撮像結果に基づいて２つの部材の接
合誤差量を演算し、この演算結果に基づいて接合状態の
良／不良を判定する検査手段を備えたので、２つの部材
を接合後特別の検査機を要することなく検査を行なうこ
とができ、生産タクトが向上すると共に、コストも廉価
になる。

【００６６】請求項５のインクジェットヘッド接合装置
によれば、インクジェットヘッドを構成する２つの部材
にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出
結果に基づいて２つの部材を接合するインクジェットヘ
ッド接合装置において、２つの部材の位置検出用基準孔
を撮像する撮像手段を設けると共に、２つの部材を接合
した後の撮像手段の撮像結果に基づいて２つの部材の接
合誤差量を演算し、この演算結果に基づいて２つの部材
のうちの他方の部材の位置を補正する補正量演算に使用
する初期オフセット量を修正する手段を備えたので、接
合時の他方の部材の移動に伴う誤差や接合時のずれ成分
に応じた位置調整を行なうことができて、接合精度が向
上する。

【００６７】請求項６のインクジェットヘッド接合装置
によれば、インクジェットヘッドを構成する２つの部材
にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出
結果に基づいて２つの部材を接合するインクジェットヘ
ッド接合装置において、２つの部材の位置検出用基準孔
を撮像する撮像手段を設けると共に、この撮像手段の撮
像結果に基づいて一方の部材の仮想接合点に対する他方
の部材の仮想接合点の補正量を算出し、この算出結果で
補正した仮想接合点を基準として２つの部材を接合する
手段を備えたので、部品の加工誤差を吸収してより高精
度の接合を行なうことができる。

【００６８】請求項７のインクジェットヘッド接合装置
によれば、インクジェットヘッドを構成する２つの部材
にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この検出
結果に基づいて２つの部材を接合するインクジェットヘ
ッド接合装置において、２つの部材の位置検出用基準孔
を撮像する撮像手段と、この撮像手段によって撮像する
被撮像部材を照明する光源とを設けると共に、この光源
は位置検出時の照明位置とこの照明位置から退避する退
避位置との間で移動可能に設けたので、移送に伴う干渉
が防止しつつ撮像精度を向上することができる。

【００６９】請求項８のインクジェットヘッド接合装置
によれば、上記請求項１乃至７のいずれかのインクジェ
ットヘッド接合装置において、順次配置した第１、第
２、第３、第４及び第５ステーションと、これらの各ス
テーションに２つの部材のうちの他方の部材を移送位置
決めする移送機構部とを備え、第１ステーションは、他
方の部材を吸着保持し、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸及びθ軸まわ
りに移動させる移動機構部を有する支持機構部を備え、
第２ステーションは、支持機構部で保持された他方の部
材を撮像する位置検出用カメラと、この位置検出用カメ
ラの検出結果に基づいて第３ステーションに配設される
スクリーンマスクとの位置合せをするに必要な指令を支
持機構部の移動機構部に送出する手段とを備え、第３ス
テーションは移送された他方の部材とスクリーンマスク
とを重ね合せて他方の部材の所定位置に接着剤を塗布す
る接着剤塗布装置を備え、第４ステーションは、第２つ
の部材のうちの一方の部材を吸着保持する保持手段と、
この保持手段を一方の部材を搭載する第５ステーション
との間で往復移動させる移動機構部と、請求項１乃至７
のいずれかに記載の手段とを備えているので、インクジ
ェットヘッドを構成する２つの部材を自動的に高精度に
接合することができ、インクジェットヘッドの生産効率
が向上する。

【００７０】請求項９のインクジェットヘッド接合装置
によれば、上記請求項１乃至８のいずれかのインクジェ
ットヘッド接合装置において、２つの部材のうちの一方
の部材がノズルを形成したノズルプレートであり、他方
の部材が圧電素子を接合した基板又は圧電素子で変形さ
れる振動板である構成としたので、ノズルプレートと圧
電素子を接合した基板を具備した駆動ユニットとを高精
度に接合することができる。

【００７２】請求項１０のインクジェットヘッド接合装
置によれば、上記請求項１乃至８のいずれかのインクジ
ェットヘッド接合装置において、２つの部材のうちの一
方の部材がノズルを形成したノズルプレート及び圧電素
子で変形される振動板を有する部材であり、他方の部材
が圧電素子を接合した基板である構成としたので、駆動
ユニットと液室ユニットで構成されるインクジェットヘ
ッドを高精度の組み立てることができる。

【００７３】請求項１１のインクジェットヘッド接合装
置によれば、上記請求項１乃至１０のいずれかのインク
ジェットヘッド接合装置において、２つの部材を接合す
るための接着剤を塗布する接着剤塗布装置にディスペン
サーシステムを備えた構成としたので、接着剤の自動塗
布ができて、生産タクトが短縮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】インクジェットヘッドの模式的説明図

【図２】同ヘッドの駆動ユニットの平面図

【図３】同駆動ユニットの正面図

【図４】同ヘッドのノズルプレートの平面図

【図５】本発明に係るインクジェットヘッド接合装置の
全体構成を示す正面図

【図６】同５のＡ−Ａ線に沿う断面図

【図７】同６のＢ−Ｂ線に沿う断面図

【図８】同接合装置による接合工程を説明するフロー図

【図９】２焦点光学系の説明に供する説明図

【図１０】同じく２焦点光学系の説明に供する透明部材
の説明図

【図１１】同じく２焦点光学系を備えた位置検出カメラ
を用いた位置検出及び位置調整の説明に供するフロー図

【図１２】焦点深度の深い光学系を備えた位置検出カメ
ラを用いた位置検出及び位置調整の説明に供するフロー
図

【図１３】本発明の他の実施例の説明に供するフロー図

【符号の説明】

１…インクジェットヘッド、２…駆動ユニット、３…ノ
ズルプレート、４…基板、１１，１２…位置検出用基準
孔、２４…テーブル、２５…支持機構部、２６…可動
台、２７…Ｘ軸移動機構部、２８…Ｚ軸移動機構部、２
９…θ軸移動機構部、３１…位置検出用カメラ、３３…
スクリーンマスク、３５…接着剤塗布装置、３６…ノズ
ルプレート移動機構部、４１…位置検出用カメラ、５１
…対物レンズ、５２…透明部材、Ｓ１…第１ステーショ
ン、Ｓ２…第２ステーション、Ｓ３…第３ステーショ
ン、Ｓ４…第４ステーション、Ｓ５…第５ステーショ
ン。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   部材にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この
   検出結果に基づいて前記２つの部材を接合するインクジ
   ェットヘッド接合装置において、離間して配置されかつ
   段差のある前記２つの部材の位置検出用基準孔を撮像す
   る２重焦点光学系を有する１つの撮像手段を設け、この
   撮像手段の第１の焦点で前記２つの部材の一方の部材を
   撮像し、第２の焦点で他方の部材を撮像することを特徴
   とするインクジェットヘッド接合装置。
2. 【請求項２】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   部材にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この
   検出結果に基づいて前記２つの部材を接合するインクジ
   ェットヘッド接合装置において、離間して配置されかつ
   段差のある前記２つの部材の位置検出用基準孔を同時に
   撮像可能な光学系を有する１つの撮像手段を設けたこと
   を特徴とするインクジェットヘッド接合装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のインクジェットヘッド
   接合装置において、前記撮像手段の光学系が焦点深度の
   深い光学系からなることを特徴とするインクジェットヘ
   ッド接合装置。
4. 【請求項４】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   部材にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この
   検出結果に基づいて前記２つの部材を接合するインクジ
   ェットヘッド接合装置において、前記２つの部材の位置
   検出用基準孔を撮像する撮像手段を設けると共に、前記
   ２つの部材を接合した後の前記撮像手段の撮像結果に基
   づいて前記２つの部材の接合誤差量を演算し、この演算
   結果に基づいて接合状態の良／不良を判定する検査手段
   を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド接合装
   置。
5. 【請求項５】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   部材にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この
   検出結果に基づいて前記２つの部材を接合するインクジ
   ェットヘッド接合装置において、前記２つの部材の位置
   検出用基準孔を撮像する撮像手段を設けると共に、前記
   ２つの部材を接合した後の前記撮像手段の撮像結果に基
   づいて前記２つの部材の接合誤差量を演算し、この演算
   結果に基づいて前記２つの部材のうちの他方の部材の位
   置を補正する補正量演算に使用する初期オフセット量を
   修正する手段を備えたことを特徴とするインクジェット
   ヘッド接合装置。
6. 【請求項６】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   部材にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この
   検出結果に基づいて前記２つの部材を接合するインクジ
   ェットヘッド接合装置において、前記２つの部材の位置
   検出用基準孔を撮像する撮像手段を設けると共に、この
   撮像手段の撮像結果に基づいて一方の部材の仮想接合点
   に対する他方の部材の仮想接合点の補正量を算出し、こ
   の算出結果で補正した仮想接合点を基準として前記２つ
   の部材を接合する手段を備えたことを特徴とするインク
   ジェットヘッド接合装置。
7. 【請求項７】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   部材にそれぞれ設けた位置検出用基準孔を検出し、この
   検出結果に基づいて前記２つの部材を接合するインクジ
   ェットヘッド接合装置において、前記２つの部材の位置
   検出用基準孔を撮像する撮像手段と、この撮像手段によ
   って撮像する被撮像部材を照明する光源とを設けると共
   に、この光源は位置検出時の照明位置とこの照明位置か
   ら退避する退避位置との間で移動可能に設けたことを特
   徴とするインクジェットヘッド接合装置。
8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッド接合装置において、この接合装置は、
   順次配置した第１、第２、第３、第４及び第５ステーシ
   ョンと、これらの各ステーションに前記２つの部材のう
   ちの他方の部材を移送位置決めする移送機構部とを備
   え、前記第１ステーションは、前記他方の部材を吸着保
   持し、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸及びθ軸まわりに移動させる移
   動機構部を有する支持機構部を備え、前記第２ステーシ
   ョンは、前記支持機構部で保持された他方の部材を撮像
   する位置検出用カメラと、この位置検出用カメラの検出
   結果に基づいて前記第３ステーションに配設されるスク
   リーンマスクとの位置合せをするに必要な指令を前記支
   持機構部の移動機構部に送出する手段とを備え、前記第
   ３ステーションは移送された前記他方の部材と前記スク
   リーンマスクとを重ね合せて前記他方の部材の所定位置
   に接着剤を塗布する接着剤塗布装置を備え、前記第４ス
   テーションは、前記第２つの部材のうちの一方の部材を
   吸着保持する保持手段と、この保持手段を前記一方の部
   材を搭載する前記第５ステーションとの間で往復移動さ
   せる移動機構部と、前記請求項１乃至７のいずれかに記
   載の手段とを備えていることを特徴とするインクジェッ
   トヘッド接合装置。
9. 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれかに記載のイン
   クジェットヘッド接合装置において、前記２つの部材の
   うちの一方の部材がノズルを形成したノズルプレートで
   あり、他方の部材が圧電素子を接合した基板又は圧電素
   子で変形される振動板であることを特徴とするインクジ
   ェットヘッド接合装置。
10. 【請求項１０】 請求項１乃至８のいずれかに記載のイ
    ンクジェットヘッド接合装置において、前記２つの部材
    のうちの一方の部材がノズルを形成したノズルプレート
    及び圧電素子で変形される振動板を有する部材であり、
    他方の部材が圧電素子を接合した基板であることを特徴
    とするインクジェットヘッド接合装置。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれかに記載の
    インクジェットヘッド接合装置において、前記２つの部
    材を接合するための接着剤を塗布する接着剤塗布装置に
    ディスペンサーシステムを備えたことを特徴とするイン
    クジェットヘッド接合装置。