JPH106509A - インクジェットヘッド接合装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精度の位置合わせが行えない。 【解決手段】 振動板を載置する第１載置手段１のテー
ブル１１をＸ軸、Ｙ軸及びθ軸方向に移動させる移動機
構２を備えると共に、ノズル板を載置する第２載置手段
３のテーブル４１をＸ軸、Ｙ軸及びθ軸方向に移動させ
るＸ−Ｙ軸移動台４５及びθ軸回転台４９を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ド接合装置に関し、特にインクジェットヘッドを構成す
る２つの部材を接合するインクジェットヘッド接合装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットヘッドを用いて画像を記
録するプリンタ、ファクシミリ、コピー等のインクジェ
ット記録装置は、インク滴を吐出するための複数のノズ
ルと、各ノズルに対応して設けた電気機械変換素子や発
熱抵抗体などのアクチュエータとを備えたインクジェッ
トヘッドを記録ヘッドに用いて、記録信号に応じてノズ
ルからインク滴を記録媒体（インク滴が付着するもの）
に吐出することによって、高速、高密度、高品質の記録
を行なうものである。

【０００３】インクジェットヘッドとしては種々の構造
のものが知られているが、例えば、基板上に複数の圧電
素子を設け、この圧電素子に振動板の変位部を接合し、
この振動板上に変位部に対応する液室を形成するための
液室形成部材を設け、この液室形成部材上に振動板の変
位部に対向するノズルを形成したノズル板（ノズルプレ
ート）を設けて、圧電素子を駆動することで振動板を介
して液室内のインクを加圧し、ノズル板のノズルからイ
ンク滴を吐出するようにしたものがある。また、基板上
に複数の圧電素子と液室隔壁となる支柱部とを交互に列
設し、圧電素子に対向するノズルを形成したノズル板を
支柱部に接合して、圧電素子の変位によって対向するノ
ズルからインク滴を吐出するようにしたものもある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したようなインク
ジェットヘッドにおいて、高密度、高品質記録を行うた
めにヘッド構成部品の個々の精度を高くしなければなら
ないと共に、ノズル板、振動板、圧電素子等の各構成部
品を接合して組み立てるときの組み立て精度（部品相互
の位置精度即ち接合精度）を高くしなければならない。

【０００５】特に、組立ての中でも、ノズル板のノズル
と振動板の変位部との位置精度、振動板の変位部と圧電
素子との位置精度、ノズル板のノズルと圧電素子との位
置精度を高くしなければ、圧電素子の変位が効率的に振
動板から液室に伝達されなくなってインクの吐出効率が
低下したり、複数の圧電素子を同時に駆動したときに相
互の干渉を生じて吐出速度が低下したりして、画像品質
が低下するなどの不都合が発生する。

【０００６】したがって、上述したようなインクジェッ
トヘッドを構成している２つの部材を自動的に接合する
インクジェットヘッド接合装置を構成しようとする場
合、２つの部材の位置合せ精度の向上が要求される。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、位置合わせ精度の向上を図ることができるインク
ジェットヘッド接合装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッド接合装置は、イン
クジェットヘッドを構成する２つの第１、第２部材の内
の前記第１部材を載置する第１載置手段と、前記第２部
材を載置する第２載置手段と、この第２載置手段に載置
された前記第２部材を固定保持する固定手段と、前記第
１載置手段と固定手段とを相対移動させる移動機構と、
前記第１、第２部材の位置を検出する位置検出手段と、
前記第１、第２部材を加熱する加熱手段とを備えて、前
記第１部材と第２部材とを接合するインクジェットヘッ
ド接合装置であって、前記第１、第２載置手段には前記
第１、第２部材をＸ軸、Ｙ軸及びθ軸方向に位置調整す
る機構を備えている構成とした。

【０００９】請求項２のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する２つの第１、第２
部材の内の前記第１部材を載置する第１載置手段と、前
記第２部材を載置する第２載置手段と、この第２載置手
段に載置された前記第２部材を固定保持する固定手段
と、前記第１載置手段と固定手段とを相対移動させる移
動機構と、前記第１、第２部材の位置を検出する位置検
出手段と、前記第１、第２部材を加熱する加熱手段とを
備えて、前記第１部材と第２部材とを接合するインクジ
ェットヘッド接合装置であって、前記固定手段を前記第
２載置手段と第１載置手段との間で直線移動させる機構
を備えている構成とした。

【００１０】請求項３のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する２つの第１、第２
部材の内の前記第１部材を載置する第１載置手段と、前
記第２部材を載置する第２載置手段と、この第２載置手
段に載置された前記第２部材を固定保持する固定手段
と、前記第１載置手段と固定手段とを相対移動させる移
動機構と、前記第１、第２部材の位置を検出する位置検
出手段と、前記第１、第２部材を加熱する加熱手段とを
備えて、前記第１部材と第２部材とを接合するインクジ
ェットヘッド接合装置であって、前記第１載置手段及び
前記固定手段には前記加熱手段を備えている構成とし
た。

【００１１】請求項４のインクジェットヘッド接合装置
は、インクジェットヘッドを構成する２つの第１、第２
部材の内の前記第１部材を載置する第１載置手段と、前
記第２部材を載置する第２載置手段と、この第２載置手
段に載置された前記第２部材を固定保持する固定手段
と、前記第１載置手段と固定手段とを相対移動させる移
動機構と、前記第１、第２部材の位置を検出する位置検
出手段と、前記第１、第２部材を加熱する加熱手段とを
備えて、前記第１部材と第２部材とを接合するインクジ
ェットヘッド接合装置であって、前記位置検出手段は前
記第１載置手段に設けた第１光源と、前記第１載置手段
と固定手段との間に揺動可能に配設した第２光源と、前
記第１光源及び第２光源からの各射出光を受光する撮像
手段とを備えるとともに、前記第１載置手段には前記第
１光源からの射出光を透過する透過孔を設け、前記固定
手段には前記第２光源からの射出光が透過する透過孔を
設けた構成とした。

【００１２】請求項５のインクジェットヘッド接合装置
は、上記請求項１、２及び４のいずれかのインクジェッ
トヘッド接合装置において、前記第１載置手段に載置し
た前記第１部材と前記固定手段で固定保持した第２部材
とを圧接するステーションに前記位置検出手段を配置し
た構成とした。

【００１３】請求項６のインクジェットヘッド接合装置
は、上記請求項４又は５のインクジェットヘッド接合装
置において、前記位置検出手段には２視野の撮像手段を
備え、一定距離にある２点の位置情報を得る構成とし
た。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明に係るインクジ
ェットヘッド接合装置の正面図、図２は図１の第１載置
手段の要部拡大図、図３は図２の固定手段の要部拡大図
である。このインクジェットヘッド接合装置は、インク
ジェットヘッドを構成する２つの部材（インクジェット
ヘッド部品）として振動板（第１部材）とノズル板（第
２部材）とを接合する装置であって、振動板を載置する
第１載置手段１と、この第１載置手段１を移動させる移
動機構２と、ノズル板を載置する第２載置手段３と、第
２載置手段３に載置されたノズル板を固定保持する固定
手段４と、この固定手段４を第２載置手段３の位置と第
１載置手段１との間で移動させる直線移動機構５と、振
動板とノズル板の位置を検出する位置検出手段６等とを
備えている。

【００１５】第１載置手段１は、図２をも参照して、供
給された第１部材である振動板を載置するテーブル１１
を備えている。このテーブル１１は、中央凸部１２に吸
着用の複数の孔が形成されて図示しない真空発生器によ
って載置された振動板を吸着して固定位置決めする。こ
のテーブル１１の側部には９０゜の位置関係で振動板に
接触可能な２個のアクチュエータ１３を配設し、これら
２個のアクチュエータ１３の進退可能な先端部１３ａに
振動板を当接させて位置決めし、位置決め後先端部１３
ａを後退させる。

【００１６】このテーブル１１はヒータ保持部材１５上
に固定している。このヒータ保持部材１５の上面側には
断熱材１７上に加熱手段である円板状のヒータ１６を設
け、またテーブル１１の上面側にも断熱材１８を付設し
ている。

【００１７】この第１載置手段１のテーブル１１をＸ
軸、Ｙ軸及びθ軸方向に移動させる移動機構２は、架台
２０上にＸ軸直動ガイドレール２１を敷設し、このガイ
ドレール２１上にＸ軸ステージ２２をＸ軸方向に移動可
能に載置し、このＸ軸ステージ２２上にＹ軸直動ガイド
レール２３を敷設し、このガイドレール２３上に摺動す
るブロック２４をＹ軸方向に移動可能に載置し、このブ
ロック２４上にＹ軸ステージ２５を取付けている。

【００１８】このＹ軸ステージ２５には４本のＺ軸方向
案内部材２７を立設して設け、この案内部材２７に昇降
部材２８をＺ軸方向に昇降可能に装着し、この昇降部材
２８を昇降させるアクチュエータであるエアーシリンダ
２９をＸ軸ステージ２２上に取付けている。また、案内
部材２７の上端部側にストッパを兼ねたショックアブソ
ーバ３１を配設し、Ｙ軸ステージ２５上には昇降部材２
８の下死点ストッパ部材３２を立設している。

【００１９】そして、昇降部材２８上に支持部材３３を
固定し、この支持部材３３上にθ軸回転台３４を固定
し、このθ軸回転台３４上に上述した第１載置手段１の
テーブル１１を載設したヒータ保持部材１５を固定して
取付けている。

【００２０】一方、第２載置手段３は供給された第２部
材であるノズル板を載置するテーブル４１を備え、この
テーブル４１は、中央凸部４２に吸着用の複数の孔が形
成されて図示しない真空発生器によって載置されたノズ
ル板を吸着して固定位置決めする。このテーブル４１の
側部には９０゜の位置関係でノズル板に接触可能な２個
のアクチュエータ４３を配設し、これら２個のアクチュ
エータ４３の進退可能な先端部４３ａにノズル板を当接
させて位置決めし、位置決め後先端部４３ａを後退させ
る。

【００２１】そして、架台２０上に取付けたＸ−Ｙ軸移
動台４５上に４本のガイドシャフト４６を立設し、この
ガイドシャフト４６にガイドシャフト固定板４７をＺ軸
方向に昇降可能に取付け、Ｘ−Ｙ軸移動台４５上にガイ
ドシャフト固定板４７を昇降させるアクチュエータであ
るエアーシリンダ４８を設け、ガイドシャフト固定板４
７上にθ軸回転台４９を載設して、このθ軸回転台４９
上に前記テーブル４１を固定している。なお、Ｘ−Ｙ軸
移動台４５及びθ軸回転台４９は初期位置合わせを行っ
た後は固定状態にする。

【００２２】次に、固定手段４は、図３をも参照して、
第２載置手段３のテーブル４１に載置されたノズル板を
固定保持する固定プレート５１を備え、この固定プレー
ト５１は、中央凸部５２に吸着用の複数の孔が形成され
て図示しない真空発生器によって載置されたノズル板を
吸着して固定位置決めする。この固定プレート５１の下
面側には断熱材５３の内側に加熱手段である円板状のヒ
ータ５４を設け、また固定プレート５１の上面側にも断
熱材５５を付設している。

【００２３】そして、この固定プレート５１はプレート
５６に固定し、このプレート５６にプレート５７を取付
けて、この固定手段４を第１載置手段１と第２載置手段
３との間で往復移動させる直線移動機構５で保持してい
る。

【００２４】この直線移動機構５は架台２０上に立設し
た支柱６１上に取付けた上板６２の下面側に直線案内ガ
イド６３を敷設して、この直線案内ガイド６３に前記プ
レート５７を移動可能に保持すると共に、上板６２の第
２載置手段３上方にプレート５７を直線案内ガイド６３
に沿って直線移動させるアクチュエータであるエアーシ
リンダ６４を配設している。

【００２５】また、上板６２の下面側には第１載置手段
１側での固定プレート５１の移動終端を規制する第１ソ
フトアブソーバ６５を、第２載置手段２側での固定プレ
ート５１に移動終端を規制する第２ソフトアブソーバ６
６を配設している。なお、固定プレート５１を保持して
いるプレート５７の両端側にはそれぞれ第１，第２ソフ
トアブソーバ６５，６６に当接するストッパ部材６７，
６８を設けている。

【００２６】次に、位置検出手段６は、図２をも参照し
て、第１載置手段１のヒータ保持部材１５内側でθ軸回
転台３４上に光源保持板７１を固定し、この光源保持板
７１に一定間隔で第１光源である光源７２，７２を保持
すると共に、ヒータ保持部材１５及びテーブル１１には
これらの光源７２からの光が透過する光源光透過孔７
３，７３を形成している。

【００２７】また、第１載置手段１のテーブル１１と固
定手段４の固定プレート５１との間には第２光源である
平面光源７４を揺動可能に配設している。この平面光源
７４は、案内部材２７上に取付けたブラケット７５で保
持した回転アクチュエータ７６によって回動されるアー
ム部材７７に固定している。さらに、固定手段４の固定
プレート５１及びプレート５６には上記光源７２，７２
及び平面光源７４からの光が透過する光源光透過孔７８
を形成している。

【００２８】そして、上板６２上にＸ軸方向に移動可能
でＺ軸方向に昇降可能なＸ−Ｚ軸ステージ８１を設け、
このＸ−Ｚ軸ステージ８１でＸ軸及びＺ軸方向に移動さ
れる保持板８２を取付け、この保持板８２の先端部に保
持板８３を取付け、この保持板８３に撮像手段であるＣ
ＣＤカメラ８４，８４を取付けている。これらのＣＣＤ
カメラ８４，８４は、光源７２，７２から第１載置手段
１の光源光透過孔７３，７３及び固定手段４の光源光透
過孔７８，７８を透過した光及び平面光源７４から固定
手段４の光源光透過孔７８，７８を透過した光を受光す
る位置に設けることで、２つの視野を有する撮像手段を
構成している。

【００２９】次に、以上のように構成したインクジェッ
トヘッド接合装置に作用について説明する。まず、図４
及び図５を参照してインクジェットヘッド接合装置で接
合するインクジェットヘッド部品としての振動板Ｂ及び
ノズル板Ｎには、それぞれ位置合わせ用の２つの透孔Ｂ
ａ，Ｎａを所定の間隔で形成している。また、接合前に
振動板Ｂ及びノズル板Ｎには両者を接合するために接着
フィルムをラミネートしている。

【００３０】そこで、図示しない供給装置によって第２
載置手段３のテーブル４１上にノズル板Ｎを供給して載
置し、２つのアクチュエータ４３の先端部４３ａに当接
させて位置決めした後、真空吸引によってノズル板Ｎを
テーブル４１上に固定位置決めする。この位置決め後ア
クチュエータ４３の先端部４３ａは退避する。なお、前
述したようにこの第２載置手段３のＸ−Ｙ軸移動台４５
及びθ軸回転台４９は、固定手段４の固定プレート５１
とテーブル４１との初期位置合わせを行った後固定した
ままにしている。

【００３１】ここで、固定手段４の固定プレート５１が
直線移動機構５によって第２載置手段３側に移動されて
ソフトアブソーバ６６にストッパ６８が当接して停止し
た状態にあり、第２載置手段３のエアーシリンダ４８を
駆動してテーブル４１を上昇させ、テーブル４１上のノ
ズル板Ｎと固定プレート５１とが接触したときに上昇を
停止して、固定プレート５１の真空吸引機構でノズル板
Ｎを吸着した後、テーブル４１側での吸着を解除し、エ
アーシリンダ４８によってテーブル４１を下降させる。

【００３２】一方、図示しない供給装置によって第１載
置手段１のテーブル１１上に振動板Ｂを供給して載置
し、２つのアクチュエータ１３の先端部１３ａに当接さ
せて位置決めした後、真空吸引によって振動板Ｂをテー
ブル１１上に固定位置決めする。この位置決め後アクチ
ュエータ１３の先端部１３ａは退避する。そして、エア
ーシリンダ２９を作動させてテーブル１１を上昇させ、
ソフトアブソーバ３１に支持部材３３が当接したときに
停止して、ＣＣＤカメラ８４，８４からの視写界限度内
にテーブル１１が入るようにする。

【００３３】そこで、ＣＣＤカメラ８４，８４によって
光源７２，７２から射出されて透過孔７３，７３を透過
した光を受光して振動板Ｂを撮像し、この撮像結果を画
像処理して振動板Ｂの透過孔Ｂａ，Ｂａの位置を識別し
て記憶する。その後、アクチュエータ２９によってテー
ブル１１を下降させて下死点ストッパ３２に当接させて
停止させる。

【００３４】そして、上述したようにしてノズル板Ｎを
固定保持している固定プレート５１を直線移動機構５に
よって第１載置手段１のテーブル１１上に移動させ、ソ
フトアブソーバ６５にストッパ６７が当接した状態で停
止させる。次いで、回転アクチュエータ７５を回転駆動
して平面光源７４を固定プレート５１の下方に移動させ
て、固定手段４の光源光透過孔７８，７８を通過した光
をＣＣＤカメラ８４，８４で受光し、画像処理をしてノ
ズル板Ｎの透過孔Ｎａの位置を識別して記憶する。その
後、平面光源７４を退避位置に揺動して退避させる。

【００３５】このようにして振動板Ｂの透過孔Ｂａの位
置とノズル板Ｎの透過孔Ｎａの位置を検出し、これらの
検出結果に基づいてノズル板Ｎの位置に対する振動板Ｂ
の位置の補正量を演算して、この演算結果に基づいてＸ
軸ステージ２２、Ｙ軸ステージ２５及びθ軸回転台３４
をそれぞれ駆動して振動板Ｂの位置補正を行う。そし
て、振動板Ｂとノズル板Ｎとの位置合わせを行った後、
エアーシリンダ２９を作動してテーブル１１を上昇させ
て、ノズル板Ｎと振動板Ｂとを圧接する。

【００３６】このとき、テーブル１１に設けたヒータ１
６及び固定プレート５１に設けたヒータ５４を発熱させ
て、振動板Ｂ及びノズル板Ｎにそれぞれラミネートした
接着フィルムを加熱溶融し、ノズル板Ｎと振動板Ｂとを
圧接接合する。その後、固定プレート５１による吸着を
解除して、テーブル１１を下降させ、テーブル１１によ
る吸着も解除する。

【００３７】このように、このインクジェットヘッド接
合装置においては、振動板を載置する第１載置手段と、
ノズル板を載置する第２載置手段と、第２載置手段に載
置されたノズル板を固定保持する固定手段と、第１載置
手段を固定手段に対して相対移動させる移動機構と、振
動板及びノズル板の位置を検出する位置検出手段と、前
記振動板及びノズル板を加熱する加熱手段とを備えると
共に、第１、第２載置手段には振動板及びノズル板をＸ
軸、Ｙ軸及びθ軸方向に位置調整する機構を備えている
ので、振動板とノズル板とを高精度に位置合わせするこ
とができる。

【００３８】また、このインクジェットヘッド接合装置
においては、固定手段を第２載置手段と第１載置手段と
の間で直線移動させる機構を備えているので、第２載置
手段からノズル板を受取ってそのまま第１載置手段上に
移動することができ、振動板とノズル板とを高精度に位
置合わせすることができる。さらに、第１載置手段及び
固定手段には加熱手段であるヒータを備えているので、
振動板とノズル板とを高精度に位置合わせした状態で予
め接着剤をラミネートして両者を圧接接合することがで
きる。しかも、振動板とノズル板に接着剤を塗布するた
めのブリッジを設ける必要がなくなって、塗布の困難性
（位置、量、しみ込みの管理の困難性）を回避すること
ができ、更に接合後のブリッジの切断工程が省略でき
て、工法の短縮化、切断工程によるバリ、歪などの後処
理も不要になる。

【００３９】さらに、位置検出手段として、第１載置手
段に設けた第１光源と、第１載置手段と固定手段との間
に揺動可能に配設した第２光源と、第１光源及び第２光
源からの各射出光を受光する撮像手段とを備えるととも
に、第１載置手段には第１光源からの射出光を透過する
透過孔を設け、固定手段には第１光源及び第２光源から
の射出光が透過する透過孔を設けているので、振動板と
ノズル板とを同じステーションで位置検出して圧接接合
することができるようにでき、両者の位置合わせ精度が
向上する。

【００４０】さらにまた、位置検出手段には２視野の撮
像手段を備え、一定距離にある２点の位置情報を得るよ
うにしているので、対象物が大きなときでも高精度に位
置検出を行うことができて位置合わせ精度が向上する。

【００４１】なお、上記実施例においては、本発明によ
るインクジェットヘッド接合装置で接合する２つの部材
として、ノズルを形成したノズル板と振動板である例で
説明したが、インクジェットヘッドとしては、振動板及
びノズル板の双方にインク流路を形成する層部材を設け
て、振動板及びノズル板の層部材を接合することで全体
として所要のインク流路が形成されるようにしたもの、
或いは振動板又はノズル板の一方にインク流路を形成す
る層部材を設けて、他方の部材と接合することでインク
流路が形成されるようにしたものなどもあり、２つの部
材の一方又は双方がこれらのインク流路を形成する層部
材を設けたものであっても、本発明に係るインクジェッ
トヘッド接合装置で接合することができる。

【００４２】また、インクジェットヘッドとしては、予
め基板上に圧電素子及び支柱部を交互に列設したアクチ
ュエータユニットと、ノズルプレート、液室を形成する
液室流路形成部材及び振動板を一体にした液室ユニット
とを別の工程で加工・組付て、これらの各ユニットを接
合するものもあり、このようなアクチュエータユニット
と液室ユニットの接合にも適用することができる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッド接合装置によれば、第１部材を載置する
第１載置手段と、第２部材を載置する第２載置手段と、
この第２載置手段に載置された第２部材を固定保持する
固定手段と、第１載置手段と固定手段とを相対移動させ
る移動機構と、第１、第２部材の位置を検出する位置検
出手段と、第１、第２部材を加熱する加熱手段とを備え
ると共に、第１、第２載置手段には第１、第２部材をＸ
軸、Ｙ軸及びθ軸方向に位置調整する機構を備えている
構成としたので、第１部材と第２部材とを高精度に位置
合わせして接合することができる。

【００４４】請求項２のインクジェットヘッド接合装置
によれば、第１部材を載置する第１載置手段と、第２部
材を載置する第２載置手段と、この第２載置手段に載置
された第２部材を固定保持する固定手段と、第１載置手
段と固定手段とを相対移動させる移動機構と、第１、第
２部材の位置を検出する位置検出手段と、第１、第２部
材を加熱する加熱手段とを備えると共に、固定手段を第
２載置手段と第１載置手段との間で直線移動させる機構
を備えている構成としたので、第１部材と第２部材とを
高精度に位置合わせして接合することができる。

【００４５】請求項３のインクジェットヘッド接合装置
によれば、第１部材を載置する第１載置手段と、第２部
材を載置する第２載置手段と、この第２載置手段に載置
された第２部材を固定保持する固定手段と、第１載置手
段と固定手段とを相対移動させる移動機構と、第１、第
２部材の位置を検出する位置検出手段と、第１、第２部
材を加熱する加熱手段とを備えると共に、第１載置手段
及び固定手段には加熱手段を備えている構成としたの
で、第１部材と第２部材とを高精度に位置合わせした状
態のまま接合することができるとともに、工程の簡略化
を図ることができる。

【００４６】請求項４のインクジェットヘッド接合装置
によれば、第１部材を載置する第１載置手段と、第２部
材を載置する第２載置手段と、この第２載置手段に載置
された第２部材を固定保持する固定手段と、第１載置手
段と固定手段とを相対移動させる移動機構と、第１、第
２部材の位置を検出する位置検出手段と、第１、第２部
材を加熱する加熱手段とを備えると共に、位置検出手段
は第１載置手段に設けた第１光源と、第１載置手段と固
定手段との間に揺動可能に配設した第２光源と、第１光
源及び第２光源からの各射出光を受光する撮像手段とを
備え、第１載置手段には第１光源からの射出光を透過す
る透過孔を設け、固定手段には第２光源からの射出光が
透過する透過孔を設けた構成としたので、振動板とノズ
ル板とを同じステーションで位置検出して圧接接合する
ことができるようにでき、両者の位置合わせ精度が向上
する。

【００４７】請求項５のインクジェットヘッド接合装置
によれば、上記請求項１、２及び４のいずれかのインク
ジェットヘッド接合装置において、第１載置手段に載置
した第１部材と固定手段で固定保持した第２部材とを圧
接するステーションに位置検出手段を配置した構成とし
たので、両者の位置合わせ精度が向上する。

【００４８】請求項６のインクジェットヘッド接合装置
によれば、上記請求項４又は５のインクジェットヘッド
接合装置において、位置検出手段には２視野の撮像手段
を備え、一定距離にある２点の位置情報を得る構成とし
たので、大きな対象物であっても高精度に位置検出がで
きて両者の位置合わせ精度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェットヘッド接合装置の
正面図

【図２】図１の第１載置手段の要部拡大図

【図３】図２の固定手段の要部拡大図

【図４】振動板の説明図

【図５】ノズル板の説明図

【符号の説明】 １…第１載置手段、２…移動機構、３…第２載置手段、
４…固定手段、５…直線移動機構、６…位置検出手段、
１１…テーブル、１５…ヒータ保持部材、１６…ヒー
タ、２２…Ｘ軸ステージ、２５…Ｙ軸ステージ、２８…
昇降部材、４１…テーブル、４５…Ｘ−Ｙ軸移動台、５
１…固定プレート、５４…ヒータ、６４…エアーシリン
ダ、７２…光源、７３…光源光透過孔、７４…平面光
源、８４…ＣＣＤカメラ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   第１、第２部材の内の前記第１部材を載置する第１載置
   手段と、前記第２部材を載置する第２載置手段と、この
   第２載置手段に載置された前記第２部材を固定保持する
   固定手段と、前記第１載置手段と固定手段とを相対移動
   させる移動機構と、前記第１、第２部材の位置を検出す
   る位置検出手段と、前記第１、第２部材を加熱する加熱
   手段とを備えて、前記第１部材と第２部材とを接合する
   インクジェットヘッド接合装置であって、前記第１、第
   ２載置手段には前記第１、第２部材をＸ軸、Ｙ軸及びθ
   軸方向に位置調整する機構を備えていることを特徴とす
   るインクジェットヘッド接合装置。
2. 【請求項２】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   第１、第２部材の内の前記第１部材を載置する第１載置
   手段と、前記第２部材を載置する第２載置手段と、この
   第２載置手段に載置された前記第２部材を固定保持する
   固定手段と、前記第１載置手段と固定手段とを相対移動
   させる移動機構と、前記第１、第２部材の位置を検出す
   る位置検出手段と、前記第１、第２部材を加熱する加熱
   手段とを備えて、前記第１部材と第２部材とを接合する
   インクジェットヘッド接合装置であって、前記固定手段
   を前記第２載置手段と第１載置手段との間で直線移動さ
   せる機構を備えていることを特徴とするインクジェット
   ヘッド接合装置。
3. 【請求項３】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   第１、第２部材の内の前記第１部材を載置する第１載置
   手段と、前記第２部材を載置する第２載置手段と、この
   第２載置手段に載置された前記第２部材を固定保持する
   固定手段と、前記第１載置手段と固定手段とを相対移動
   させる移動機構と、前記第１、第２部材の位置を検出す
   る位置検出手段と、前記第１、第２部材を加熱する加熱
   手段とを備えて、前記第１部材と第２部材とを接合する
   インクジェットヘッド接合装置であって、前記第１載置
   手段及び前記固定手段には前記加熱手段を備えているこ
   とを特徴とするインクジェットヘッド接合装置。
4. 【請求項４】 インクジェットヘッドを構成する２つの
   第１、第２部材の内の前記第１部材を載置する第１載置
   手段と、前記第２部材を載置する第２載置手段と、この
   第２載置手段に載置された前記第２部材を固定保持する
   固定手段と、前記第１載置手段と固定手段とを相対移動
   させる移動機構と、前記第１、第２部材の位置を検出す
   る位置検出手段と、前記第１、第２部材を加熱する加熱
   手段とを備えて、前記第１部材と第２部材とを接合する
   インクジェットヘッド接合装置であって、前記位置検出
   手段は前記第１載置手段に設けた第１光源と、前記第１
   載置手段と固定手段との間に揺動可能に配設した第２光
   源と、前記第１光源及び第２光源からの各射出光を受光
   する撮像手段とを備えるとともに、前記第１載置手段に
   は前記第１光源からの射出光を透過する透過孔を設け、
   前記固定手段には前記第２光源からの射出光が透過する
   透過孔を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド
   接合装置。
5. 【請求項５】 請求項１、２及び４のいずれかに記載の
   インクジェットヘッド接合装置において、前記第１載置
   手段に載置した前記第１部材と前記固定手段で固定保持
   した第２部材とを圧接するステーションに前記位置検出
   手段を配置したことを特徴とするインクジェットヘッド
   接合装置。
6. 【請求項６】 請求項４又は５に記載のインクジェット
   ヘッド接合装置において、前記位置検出手段には２視野
   の撮像手段を備え、一定距離にある２点の位置情報を得
   ることを特徴とするインクジェットヘッド接合装置。