JP3554115B2

JP3554115B2 - 薬液供給装置

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Publication number: JP3554115B2
Application number: JP22418696A
Authority: JP
Inventors: 丈夫矢島
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 1996-08-26
Filing date: 1996-08-26
Publication date: 2004-08-18
Anticipated expiration: 2016-08-26
Also published as: JPH1061558A; US6183223B1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は薬液などの液体を所定量吐出するようにした薬液供給装置に関し、たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布するために使用して好適な薬液供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ製造技術を始めとして、液晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術および多層配線基板製造技術などの種々の技術分野における製造プロセスにあっては、フャトレジスト液、スピニオンガラス液、ポリイミド樹脂液、純水、現像液、エッチング液、有機溶剤などの化学薬液が使用されている。
【０００３】
たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面内において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を滴下するようにしている。このようなレジスト液の塗布のために使用される薬液供給装置としては、ポンプ機能を弾性変形自在のチューブや蛇腹形状のベローズによって得るようにしたものがある。
【０００４】
ベローズによってポンプ機能を得るようにした薬液供給装置としては、これまでに、たとえば、図８に示すようなものが開発されている。図８（Ａ）はベローズ５０の外側にポンプ室５１を形成し、ベローズ５０をこの内部に組み込まれた駆動ロッド５２によって膨張収縮することにより、薬液タンク５３内の薬液をボンプ室５１内に案内して塗布ノズル５４から吐出するようにした薬液供給装置を示す。また、図８（Ｂ）は薬液タンク５３と塗布ノズル５４とを接続する流路の一部に膨張収縮自在の可撓性チューブ５５を設け、その外側に配置された筒体内の加圧室５６とベローズ５０の外側のポンプ室５１とを接続するようにした薬液供給装置を示す。
【０００５】
特開平５−２９２０７号公報には、図８（Ｂ）と同様に可撓性のチューブないし可撓性膜を用いて薬液を塗布するための薬液供給装置が開示されており、この装置にあっては、可撓性膜の内側に薬液を案内するようにし、可撓性膜の外側に非圧縮性流体をアクチュエータによってポンピング動作させるようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この公報に記載されているように、可撓性膜から離れた位置にベローズ式のアクチュエータを設置し、アクチュエータから可撓性膜の外側に非圧縮性流体を供給するようにした場合には、装置全体のサイズが大きくなる。しかも装置の構造が複雑となり、薬液と接触する部分の部品の交換を容易に行うことが困難であり、非圧縮性流体を装置内に充填する作業が容易でなく、製造作業が容易でない。また、非圧縮性流体の管理が難しくその洩れが発生した場合には、洩れを容易に検知することができず、装置の信頼性に欠けるという問題点がある。
【０００７】
また、図８（Ａ）に示すように、蛇腹形状のベローズによって直接薬液のポンプ動作を行う場合には、ベローズ５０の後端側には薬液の流れが発生せず、しかも、ベローズ５０の外面が凹凸形状となっているので、ポンプ室に薬液が滞留する可能性があり、滞留によって薬液が変質して塗布時に発塵の原因となることがある。
【０００８】
本発明の目的は、構造が簡単で信頼性に優れた薬液供給装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００１１】
すなわち、本発明の薬液供給装置は、それぞれ弾性部材により形成された小型ベローズ部と、この小型ベローズ部とにより内部にポンプ室を形成するとともに前記小型ベローズ部よりも軸方向の単位変位量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部とを有し、軸方向に弾性変形自在のベローズと、前記ポンプ室に連通させて前記ベローズに設けられ、供給側開閉弁が設けられた供給側流路が接続される一端部と、前記ポンプ室に連通させて前記ベローズに設けられ、吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路が接続される他端部と、前記ベローズを外側から軸方向に弾性変形して前記小型ベローズ部を収縮させるとともに前記大型ベローズ部を膨張させる一方、前記小型ベローズ部を膨張させるとともに前記大型ベローズ部を収縮させる駆動手段とを有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の薬液供給装置は、供給側開閉弁が設けられた供給側流路が接続される一端部と、吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路が接続される他端部とを有するとともに、弾性材料により形成されて径方向に弾性変形自在の可撓性チューブと、それぞれ弾性部材により形成された小型部ローズ部と、この小型ベローズ部よりも軸方向の単位変位量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部とを有するとともに、前記可撓性チューブの外側に配置されて軸方向に弾性変形自在のベローズと、前記可撓性チューブと前記ベローズとの間に形成されるポンプ室内に封入される非圧縮性媒体と、前記ベローズを外側から軸方向に弾性変形して前記小型ベローズ部を収縮させるとともに前記大型ベローズ部を膨張させる一方、前記小型ベローズ部を膨張させるとともに前記大型ベローズ部を収縮させて前記可撓性チューブを径方向に弾性変形する駆動手段とを有することを特徴とする。
【００１３】
前記ベローズを相互に平行に２つ設け、一方のベローズの小型ベローズ部と他方のベローズの大型ベローズ部とを隣接させて配置し、一方のベローズの大型ベローズ部と他方のベローズの小型ベローズ部とを隣接させて配置するようにしても良い。
【００１４】
本発明の薬液供給装置にあっては、小型ベローズ部と大型ベローズ部とを有するベローズ内に薬液を案内するようにし、ベローズの軸方向の膨張収縮によってポンプ動作を行うようにしたので、ベローズ内を薬液が貫流することになり、ベローズの内面に凹凸面が存在していても、薬液の滞留発生が防止される。
【００１５】
また、本発明の薬液供給装置にあっては、小型ベローズ部と大型ベローズ部とを有するベローズ内に可撓性チューブを配置し、ベローズの膨張収縮動作をベローズと可撓性チューブとの間に充填された非圧縮性媒体を介して可撓性チューブを弾性変形させるようにしたので、ベローズによるポンプ動作が迅速に可撓性チューブに伝達され、応答特性に優れた薬液供給装置が得られ、薬液は内面がフラットな可撓性チューブに案内されることから、薬液の可撓性チューブ内での滞留発生が防止される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
図１〜図３は本発明の一実施の形態である薬液供給装置を示す図であり、この薬液供給装置はポンプ部１１とポンプ駆動部１２とを有しており、ポンプ部１１は弾性材料により形成されて径方向に弾性膨張収縮自在の可撓性チューブ１３と、この外側に配置されるとともに弾性材料により形成され、軸方向に弾性変形自在のベローズ１４とを備えている。
【００１８】
可撓性チューブ１３の両端部にはアダプタ部１５，１６が取り付けられ、一方のアダプタ部１５には供給側流路１７が接続され、この供給側流路１７は薬液収容部としての薬液タンク１８に接続されている。他方のアダプタ部１６には吐出側流路１９が接続され、この吐出側流路１９は薬液吐出部としての塗布ノズル２０に接続されている。供給側流路１７にはこの流路を開閉するための供給側開閉弁２１が設けられ、吐出側流路１９にはこの流路を開閉するための吐出側開閉弁２２が設けられている。それぞれの開閉弁２１，２２としては、電気信号により作動するソレノイドバルブ、空気圧により作動するエアオペレートバルブを用いても良く、さらには、逆止弁つまりチェッキ弁を用いるようにしても良い。
【００１９】
ベローズ１４は軸方向中央部の作動ディスク部２３と、これに一体となり、図１に示すように有効径ｄを有する小型ベローズ部２４と、前記作動ディスク部２３を介して前記小型ベローズ部２４と一体となり、小型ベローズ部２４の有効径ｄよりも大きな内径の有効径Ｄを有する大型ベローズ部２５とを有している。ここで、有効径ｄ，Ｄとは、小型ベローズ部２４と大型ベローズ２５の膨張収縮過程におけるそれぞれのベローズ２４，２５の平均内径を意味する。ベローズ１４の両端部には固定ディスク部２６，２７が一体となっており、大型ベローズ部２５側の固定ディスク部２６は可撓性チューブ１３を介してアダプタ部１５に固定され、小型ベローズ部２４側の固定ディスク部２７は可撓性チューブ１３を介してアダプタ部１６に固定されている。
【００２０】
この可撓性チューブ１３は、図示する場合には供給される薬液がフォトレジスト液であることから、薬液と反応しないように、フッ素樹脂であるテトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）により形成されており、アダプタ部１５，１６も同様の材料により形成されている。また、ベローズ１４も、同様の樹脂材料により、ディスク部２３，２６，２７とベローズ部２４，２５とが一体となって形成されている。ただし、樹脂材料としては、ＰＦＡに限られず、弾性変形する材料であれば、可撓性チューブ１３およびベローズ１４についても、他の樹脂材料を使用するようにしても良い。また、可撓性チューブ１３とベローズ１４とを一体に形成するようにしても良く、その場合にはアダプタ部１５，１６は不要となる。さらに、ベローズ１４については、金属製としても良い。
【００２１】
ベローズ１４はそれぞれの固定ディスク部２６，２７の部分で支持台２８に取り付けられており、固定ディスク部２６はこれに嵌め込まれた固定ブラケット３１により支持台２８に取り付けられ、固定ディスク部２７はこれに嵌め込まれた固定ブラケット３２により支持台２８に取り付けられている。
【００２２】
ベローズ１４はその軸方向中央部の作動ディスク部２３を軸方向に変位させることにより、ポンプ動作がなされるようになっており、作動ディスク部２３に嵌め込まれた作動ブラケット３３は、支持台２８にベローズ１４と平行に延びて回転自在に取り付けられたボールねじ軸３４にねじ結合されたボールナット３５に連結されている。ボールナット３５は支持台２８に設けられたガイドレール３６に対して摺動自在に接触しており、ボールねじ軸３４の回転によって軸方向に駆動されるようになっている。このボールねじ軸３４を回転駆動するために、支持台２８に取り付けられたモータ３７のシャフトに固定されたプーリー３８と、ボールねじ軸３４に固定されたプーリー３９との間にはベルト４１が装着されている。
【００２３】
可撓性チューブ１３とこの外側に配置されたベローズ１４との間の空間はポンプ室４２となっており、このポンプ室４２内には液体等の非圧縮性媒体４３が充填されている。したがって、ベローズ１４をその中央部分の作動ディスク部２３で軸方向に弾性変形すると、ベローズ１４の全長は変化することなく、小型ベローズ部２４と大型ベローズ２５の内側の容積が変化することになる。これにより、非圧縮性媒体４３を介して可撓性チューブ１３が径方向つまり横方向に膨張収縮して可撓性チューブ１３はポンプ動作することになる。
【００２４】
可撓性チューブ１３は図２に示すように、円弧状部と平坦部とを有する断面が長円形となっており、ポンプ室４２の容積が変化すると、主として平坦部が弾性変形してベローズ１４の内側の容積変化に対応して可撓性チューブ１３が所定の量だけ弾性変形することになる。ただし、可撓性チューブ１３の断面を円形あるいは他の異形断面形状としても良い。
【００２５】
図３は作動ディスク部２３を軸方向に変位させることによるポンプ動作を示す図であり、図１に示すように、作動ディスク部２３がベローズ１４の軸方向のほぼ中央の位置となっている状態を中立状態とすると、この状態からモータ３７によって作動ディスク部２３を小型ベローズ部２４側に変位させると、ベローズ１４の全体では、小径部が短くなり、大径部が長くなることから、ベローズ１４の内側の容積が大きくなる。これにより、可撓性チューブ１３は径方向に膨張してその内部の容積が大きくなり、薬液タンク１８内の薬液は可撓性チューブ１３内に吸入される。このときには、供給側開閉弁２１の作動より供給側流路１７の流路は開かれ、吐出側開閉弁２２の作動により吐出側流路１９の流路は閉じられることになる。
【００２６】
一方、作動ディスク部２３を大型ベローズ部２５側に変位させると、ベローズ１４の全体では、大径部が短くなり、小径部が長くなることから、ベローズ１４の内側の容積が小さくなる。これにより、可撓性チューブ１３は径方向に収縮してその内部の容積が小さくなり、可撓性チューブ１３内の薬液は、塗布ノズル２０に向けて吐出されることになる。このときには、供給側開閉弁２１の作動より供給側流路１７の流路は閉じられ、吐出側開閉弁２２の作動により吐出側流路１９の流路は開かれている。
【００２７】
上述したポンプ動作に際しては、可撓性チューブ１３の外側に非圧縮性媒体４３を介してベローズ１４が配置されているので、ベローズ１４の容積変化が応答性良く可撓性チューブ１３に伝達されることになる。図８（Ｂ）に示すように、可撓性チューブ５５の外側の加圧室５６に対して細い流路を介してポンプ室５１から媒体を案内するようにした場合には、絞られる部分が存在することから、可撓性チューブ５５にポンプ動作が伝達されるまでに遅延時間があったが、図示する場合にはそのような遅延時間がなく迅速にポンプ動作がなされる。
【００２８】
塗布ノズル２０から所定の量の薬液を吐出した後に、塗布ノズル２０から薬液が液垂れするのを防止するために、サックバック動作を行うことが必要となる場合がある。その場合には、供給側開閉弁２１を閉じ、吐出側開閉弁２２を開いた状態として、作動ディスク部２３を小型ベローズ部２４側に変位させて可撓性チューブ１３を膨張させる。そのようなサックバック動作を行う場合には、それぞれの開閉弁２１，２２としては、逆止弁を使用することなく、外部からの信号により開閉するタイプの電磁弁やエアーオペレート弁を使用することになる。
【００２９】
このように、図示する薬液供給装置にあっては、可撓性チユーブ１３の外側にベローズ１４を配置するようにしたので、装置の構造を簡単かつ小型化することが可能となり、部品点数も少なくすることができる。また、非圧縮性媒体４３は可撓性チューブ１３とベローズ１４の間のポンプ室４２のスペース内に充填されており、この非圧縮性媒体４３の量を少なくすることができる。
【００３０】
この媒体４３をポンプ室４２内に充填する際には、媒体４３が充填される空間の形状が単純な形状となり、媒体存在個所が集中されているので、媒体の充填作業を容易に行うことができる。前述した公報や図８（Ｂ）に示されるような従来の薬液供給装置にあっては、可撓性チューブの外側の加圧室とベローズの外側のポンプ室とを細い流路で接続しているために、流路形状が複雑であり、空気が入り込まないようにして媒体を注入することは非常に困難な作業となるが、本発明にあっては容易に媒体を注入充填することができる。もしも、媒体の中に空気が入り込むと、ベローズ１４の伸縮と可撓性チューブ１３の膨張収縮との対応が高い精度とならないが、本発明にあっては、これらの対応関係を高い精度で確保して、吐出精度を高めることができる。
【００３１】
ポンプ室４２は複雑な形状の充填空間とはなっておらず、媒体の充填個所は集中しているので、非圧縮性媒体４３の洩れの危険個所が少なく、万一この媒体４３が洩れるようなことがあっても、その漏れの位置を容易に検出することができて液洩れの管理が容易となる。つまり、洩れの危険性が少なく、もしも洩れてもそれを容易に発見することができる。従来では、複雑な形状の空間内に媒体が充填されているので、その空間を形成するための部品相互の接続個所が多くなり、媒体の洩れが発生しても、その位置の判断が容易でないが、本発明ではこのようなことがなく、装置の信頼性を高めることができる。
【００３２】
可撓性チューブ１３はベローズ１４と一体として、ポンプ駆動部１２から容易に分離することができるので、これらの交換が容易となる。つまり、図示する薬液供給装置によってレジスト液を吐出する場合には、可撓性チューブ１３の内面にレジスト液の変質した物が付着すると、これが発塵の原因となるために、定期的に可撓性チューブ１３などのように液体と接触する部分を交換する必要があるが、その場合には、従来の装置では可撓性チューブとアクチュエータ部とが分離して配置されているために、容易に可撓性チューブを交換することはできないが、図示する場合には、その作業を容易に行うことができる。
【００３３】
図４は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す図であり、この場合には、相互に平行となった２つの可撓性チューブ１３ａ，１３ｂと、それぞれの外側に配置された２つのベローズ１４ａ，１４ｂとによりポンプ部１１が形成されている。そして、一方のベローズ１４ａの小型ベローズ部２４ａと、他方のベローズ１４ｂの大型ベローズ部２５ｂは供給側流路１７に位置し、一方のベローズ１４ａの大型ベローズ部２５ａと、他方のベローズ１４ｂの小型ベローズ部２４ｂは吐出側流路１９に位置している。このように２つのベローズ１４ａ，１４ｂが相互に逆向きに配置されていることを除き、ポンプ駆動部１２の構造は前記した実施の形態と同様である。
【００３４】
この場合には、モータ３７によってそれぞれの作動ディスク部２３ａ，２３ｂを図４において上方に変位させると、一方のベローズ１４ａはその大型ベローズ部２５ａが収縮して小型ベローズ部２４ａが膨張し、他方のベローズ１４ｂはその小型ベローズ部２４ｂが収縮して大型ベローズ部２５ｂが膨張するので、一方の可撓性チューブ１３ａは径方向に収縮し、他方の可撓性チューブ１３ｂは膨張することになる。これにより、ボールナット３５が直線方向の一方に移動するときと、他方に移動するときの往動時と復動時との両方においてポンプ動作を行うことができ、連続して薬液を塗布ノズル２０から吐出することができる。
【００３５】
図５（Ａ）〜図５（Ｃ）は図１に示した可撓性チューブ１３の変形例を示す。この可撓性チューブ１３はその内部に可撓性チューブ１３と同一の素材からなる帯状のストッパ板４６が配置されており、ポンプ室４２の容積が小さくなった場合に、図５（Ｃ）に示すように、可撓性チューブ１３の平坦部がストッパ板４６に接触することになり、可撓性チューブ１３の円弧状部が必要以上に押し潰されることが防止され、円弧状部に折り目がつくことを防止している。このようなストッパ板４６は可撓性チューブ１３の材質に応じて設けるようにする。
【００３６】
図６（Ａ）〜図６（Ｃ）は可撓性チューブ１３の他の変形例を示す図であり、この可撓性チューブ１３の平坦部には内方に向けて突出した突起部４７が形成されている。可撓性チューブ１３が中立状態となっているときには、その横断面は図６（Ｂ）に示されるようになっているが、径方向に収縮した場合には、その横断面は図６（Ｃ）に示すように、突起部４７相互が接触することになり、可撓性チューブ１３の円弧状部が潰されることが防止される。
【００３７】
図５および図６に示す可撓性チューブ１３は、図１に示すタイプの薬液供給装置にも図４に示すタイプの薬液供給装置にも適用することができる。
【００３８】
図７は本発明のさらに他の実施の形態である薬液供給装置を示す図であり、この装置は図１に示された薬液供給装置における可撓性チューブ１３を取り除いた装置に相当する。したがって、ベローズ１４の固定ディスク部２６にはポンプ室４２に連通させて供給側流路１７が接続され、固定ディスク部２７にはポンプ室４２に連通させて吐出側流路１９が接続されており、薬液はベローズ１４内を貫流することになる。
【００３９】
このようにベローズ１４内を薬液が一端から他端に向けて貫流するようになっているので、ベローズ１４の内面が凹凸となっていても、薬液の滞留部の発生が少なく、薬液の変質発生を防止することができる。
【００４０】
このタイプの薬液供給装置にあっても、図４に示したように、２つのベローズを相互に逆向きとして２つ設けるようにしても良い。
【００４１】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４２】
たとえば、図示するようにレジスト液の塗布以外に、種々の液体を供給するための薬液供給装置として本発明を適用することが可能である。また、ベローズは全長の長さを変えないようにして、小型ベローズ部と大型ベローズ部の長さを交互に変位させるのであれば、作動ディスク部２３を固定して、固定ディスク部２６，２７を同期させて軸方向に変位させることによりポンプ動作を行うようにしても良い。さらに、図示する実施の形態にあっては、モータ３７によりボールねじ軸３４を介して作動ディスク部２３を軸方向に駆動するようにしているが、エアーシリンダなどの他の駆動手段を用いるようにしても良い。そして、非圧縮性媒体としては、液体以外に粉体や粒体などを用いるようにしても良い。
【００４３】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００４４】
（１）．小型ベローズ部と大型ベローズ部とを有するベローズのうち小型ベローズ部と大型ベローズ部とを軸方向に変位させることにより、ベローズ内側の容積を膨張収縮させてポンプ動作を行わせるようにしたので、簡単な構造の薬液供給装置が得られる。
【００４５】
（２）．ポンプ室内に薬液を貫流させることにより、ベローズの内面に凹凸が存在しても、ベローズ内に薬液が滞留することがなく、滞留に起因した薬液の変質発生を防止することができる。
【００４６】
（３）．ベローズのポンプ室内に可撓性チューブを配置して、可撓性チューブの膨張収縮によりポンプ動作を行うことにより、ベローズの軸方向の変位によるこれの内側の容積の膨張収縮によって可撓性チューブを非圧縮性媒体を介して迅速に作動させることができ、応答性に優れた薬液供給装置が得られた。
【００４７】
（４）．可撓性チューブとその外側のベローズとによる内外二重構造のポンプ部とすることによって、装置全体のサイズを小型化して簡単な構造にすることができ、装置の信頼性を向上することができる。
【００４８】
（５）．可撓性チューブの交換を容易に行うことができ、装置のメンテナンスを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である薬液供給装置を示す一部切り欠き正面図である。
【図２】図１における２−２線に沿う断面図である。
【図３】（Ａ），（Ｂ）は図１に示す薬液供給装置のベローズのポンプ動作を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す一部切り欠き正面図である。
【図５】（Ａ）は本発明の他の実施の形態である薬液供給装置の要部を示す断面図、（Ｂ）は同図（Ａ）における可撓性チューブの断面図、（Ｃ）は可撓性チューブが径方向に収縮した状態を示す断面図である。
【図６】（Ａ）は可撓性チューブの変形例の一部を示す斜視図、（Ｂ）は同図（Ａ）の断面図、（Ｃ）は可撓性チューブが径方向に収縮した状態を示す断面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を示す一部切り欠き正面図である。
【図８】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来の薬液供給装置の概略構造を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１１ポンプ部
１２ポンプ駆動部
１３可撓性チューブ
１４ベローズ
１５，１６アダプタ部
１７供給側流路
１８薬液タンク（薬液収容部）
１９吐出側流路
２０塗布ノズル（薬液吐出部）
２１供給側開閉弁
２２吐出側開閉弁
２３作動ディスク部
２４小型ベローズ部
２５大型ベローズ部
２６，２７固定ディスク部
２８支持台
３１，３２固定ブラケット
３３作動ブラケット
３４ボールねじ軸
３５ボールナット
３６ガイドレール
３７モータ
３８，３９プーリー
４１ベルト
４２ポンプ室
４３非圧縮性媒体
４６ストッパ板
４７突起部

Claims

それぞれ弾性部材により形成された小型ベローズ部と、この小型ベローズ部とにより内部にポンプ室を形成するとともに前記小型ベローズ部よりも軸方向の単位変位量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部とを有し、軸方向に弾性変形自在のベローズと、
前記ポンプ室に連通させて前記ベローズに設けられ、供給側開閉弁が設けられた供給側流路が接続される一端部と、
前記ポンプ室に連通させて前記ベローズに設けられ、吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路が接続される他端部と、
前記ベローズを外側から軸方向に弾性変形して前記小型ベローズ部を収縮させるとともに前記大型ベローズ部を膨張させる一方、前記小型ベローズ部を膨張させるとともに前記大型ベローズ部を収縮させる駆動手段とを有することを特徴とする薬液供給装置。
供給側開閉弁が設けられた供給側流路が接続される一端部と、吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路が接続される他端部とを有するとともに、弾性材料により形成されて径方向に弾性変形自在の可撓性チューブと、
それぞれ弾性部材により形成された小型部ローズ部と、この小型ベローズ部よりも軸方向の単位変位量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部とを有するとともに、前記可撓性チューブの外側に配置されて軸方向に弾性変形自在のベローズと、
前記可撓性チューブと前記ベローズとの間に形成されるポンプ室内に封入される非圧縮性媒体と、
前記ベローズを外側から軸方向に弾性変形して前記小型ベローズ部を収縮させるとともに前記大型ベローズ部を膨張させる一方、前記小型ベローズ部を膨張させるとともに前記大型ベローズ部を収縮させて前記可撓性チューブを径方向に弾性変形する駆動手段とを有することを特徴とする薬液供給装置。
請求項１または２記載の薬液供給装置であって、前記ベローズを相互に平行に２つ設け、一方のベローズの小型ベローズ部と他方のベローズの大型ベローズ部とを隣接させて配置し、一方のベローズの大型ベローズ部と他方のベローズの小型ベローズ部とを隣接させて配置したことを特徴とする薬液供給装置。