JPH1061558A

JPH1061558A - 薬液供給装置

Info

Publication number: JPH1061558A
Application number: JP8224186A
Authority: JP
Inventors: Takeo Yajima; 丈夫矢島
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 1996-08-26
Filing date: 1996-08-26
Publication date: 1998-03-03
Anticipated expiration: 2016-08-26
Also published as: US6183223B1; JP3554115B2

Abstract

(57)【要約】【課題】構造が簡単で信頼性に優れた薬液供給装置を
提供する。【解決手段】径方向に弾性膨張収縮自在の可撓性チュ
ーブ１３には、供給側開閉弁２１が設けられた供給側流
路１７と、吐出側開閉弁２２が設けられた吐出側流路１
９とが接続されており、可撓性チューブ１３の外側には
軸方向に弾性変形自在のベローズ１４が配置されてい
る。このベローズ１４は小型ベローズ部２４と大型ベロ
ーズ部２５とを有し、可撓性チューブ１３とベローズ１
４との間のポンプ室４２には非圧縮性媒体４３が封入さ
れている。小型ベローズ部２４と大型ベローズ部２５と
の間の作動ディスク部を軸方向に変位させて、ベローズ
１４の内側の容積を変化させることにより、可撓性チュ
ーブ１３が径方向に膨張収縮してポンプ動作が行われ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は薬液などの液体を所
定量吐出するようにした薬液供給装置に関し、たとえ
ば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布する
ために使用して好適な薬液供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ製造技術を始めとして、液
晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術および多層配線
基板製造技術などの種々の技術分野における製造プロセ
スにあっては、フャトレジスト液、スピニオンガラス
液、ポリイミド樹脂液、純水、現像液、エッチング液、
有機溶剤などの化学薬液が使用されている。

【０００３】たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレ
ジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面内
において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面
にフォトレジスト液を滴下するようにしている。このよ
うなレジスト液の塗布のために使用される薬液供給装置
としては、ポンプ機能を弾性変形自在のチューブや蛇腹
形状のベローズによって得るようにしたものがある。

【０００４】ベローズによってポンプ機能を得るように
した薬液供給装置としては、これまでに、たとえば、図
８に示すようなものが開発されている。図８（Ａ）はベ
ローズ５０の外側にポンプ室５１を形成し、ベローズ５
０をこの内部に組み込まれた駆動ロッド５２によって膨
張収縮することにより、薬液タンク５３内の薬液をボン
プ室５１内に案内して塗布ノズル５４から吐出するよう
にした薬液供給装置を示す。また、図８（Ｂ）は薬液タ
ンク５３と塗布ノズル５４とを接続する流路の一部に膨
張収縮自在の可撓性チューブ５５を設け、その外側に配
置された筒体内の加圧室５６とベローズ５０の外側のポ
ンプ室５１とを接続するようにした薬液供給装置を示
す。

【０００５】特開平5-29207 号公報には、図８（Ｂ）と
同様に可撓性のチューブないし可撓性膜を用いて薬液を
塗布するための薬液供給装置が開示されており、この装
置にあっては、可撓性膜の内側に薬液を案内するように
し、可撓性膜の外側に非圧縮性流体をアクチュエータに
よってポンピング動作させるようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この公
報に記載されているように、可撓性膜から離れた位置に
ベローズ式のアクチュエータを設置し、アクチュエータ
から可撓性膜の外側に非圧縮性流体を供給するようにし
た場合には、装置全体のサイズが大きくなる。しかも装
置の構造が複雑となり、薬液と接触する部分の部品の交
換を容易に行うことが困難であり、非圧縮性流体を装置
内に充填する作業が容易でなく、製造作業が容易でな
い。また、非圧縮性流体の管理が難しくその洩れが発生
した場合には、洩れを容易に検知することができず、装
置の信頼性に欠けるという問題点がある。

【０００７】また、図８（Ａ）に示すように、蛇腹形状
のベローズによって直接薬液のポンプ動作を行う場合に
は、ベローズ５０の後端側には薬液の流れが発生せず、
しかも、ベローズ５０の外面が凹凸形状となっているの
で、ポンプ室に薬液が滞留する可能性があり、滞留によ
って薬液が変質して塗布時に発塵の原因となることがあ
る。

【０００８】本発明の目的は、構造が簡単で信頼性に優
れた薬液供給装置を提供することにある。

【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１１】すなわち、本発明の薬液供給装置は、それ
ぞれ弾性部材により形成された小型ベローズ部とこの小
型ベローズ部よりも軸方向の単位変位量当たりの容積変
化が大きい大型ベローズ部とを有して、軸方向に弾性変
形自在のベローズと、前記ベローズの一端部と薬液収容
部との間に接続され、供給側開閉弁が設けられた供給側
流路と、前記ベローズの他端部と薬液吐出部との間に接
続され、吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路と、前記
ベローズを軸方向に弾性変形して前記小型ベローズ部を
収縮させるとともに前記大型ベローズ部を膨張させる一
方、前記小型ベローズ部を膨張させるとともに前記大型
ベローズ部を収縮させる駆動手段とを有することを特徴
とする。

【００１２】また、本発明の薬液供給装置は、弾性材料
により形成されて径方向に弾性膨張収縮自在の可撓性チ
ューブと、前記可撓性チューブの一端部と薬液収容部と
の間に接続され、供給側開閉弁が設けられた供給側流路
と、前記可撓性チューブの他端部と薬液吐出部との間に
接続され、吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路と、そ
れぞれ弾性部材により形成された小型ベローズ部とこの
小型ベローズ部よりも軸方向の単位変位量当たりの容積
変化が大きい大型ベローズ部とを有するとともに、前記
可撓性チューブの外側に配置されて軸方向に弾性変形自
在のベローズと、前記可撓性チューブと前記ベローズと
の間に封入された非圧縮性媒体と、前記ベローズを軸方
向に弾性変形して前記小型ベローズ部を収縮させるとと
もに前記大型ベローズ部を膨張させる一方、前記小型ベ
ローズ部を膨張させるとともに前記大型ベローズ部を収
縮させて前記可撓性チューブを径方向に弾性変形する駆
動手段とを有することを特徴とする。

【００１３】前記ベローズを相互に平行に２つ設け、一
方のベローズの小型ベローズ部と他方のベローズの大型
ベローズ部とを隣接させて配置し、一方のベローズの大
型ベローズ部と他方のベローズの小型ベローズ部とを隣
接させて配置するようにしても良い。

【００１４】本発明の薬液供給装置にあっては、小型ベ
ローズ部と大型ベローズ部とを有するベローズ内に薬液
を案内するようにし、ベローズの軸方向の膨張収縮によ
ってポンプ動作を行うようにしたので、ベローズ内を薬
液が貫流することになり、ベローズの内面に凹凸面が存
在していても、薬液の滞留発生が防止される。

【００１５】また、本発明の薬液供給装置にあっては、
小型ベローズ部と大型ベローズ部とを有するベローズ内
に可撓性チューブを配置し、ベローズの膨張収縮動作を
ベローズと可撓性チューブとの間に充填された非圧縮性
媒体を介して可撓性チューブを弾性変形させるようにし
たので、ベローズによるポンプ動作が迅速に可撓性チュ
ーブに伝達され、応答特性に優れた薬液供給装置が得ら
れ、薬液は内面がフラットな可撓性チューブに案内され
ることから、薬液の可撓性チューブ内での滞留発生が防
止される。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１７】図１〜図３は本発明の一実施の形態である
薬液供給装置を示す図であり、この薬液供給装置はポン
プ部１１とポンプ駆動部１２とを有しており、ポンプ部
１１は弾性材料により形成されて径方向に弾性膨張収縮
自在の可撓性チューブ１３と、この外側に配置されると
ともに弾性材料により形成され、軸方向に弾性変形自在
のベローズ１４とを備えている。

【００１８】可撓性チューブ１３の両端部にはアダプタ
部１５，１６が取り付けられ、一方のアダプタ部１５に
は供給側流路１７が接続され、この供給側流路１７は薬
液収容部としての薬液タンク１８に接続されている。他
方のアダプタ部１６には吐出側流路１９が接続され、こ
の吐出側流路１９は薬液吐出部としての塗布ノズル２０
に接続されている。供給側流路１７にはこの流路を開閉
するための供給側開閉弁２１が設けられ、吐出側流路１
９にはこの流路を開閉するための吐出側開閉弁２２が設
けられている。それぞれの開閉弁２１，２２としては、
電気信号により作動するソレノイドバルブ、空気圧によ
り作動するエアオペレートバルブを用いても良く、さら
には、逆止弁つまりチェッキ弁を用いるようにしても良
い。

【００１９】ベローズ１４は軸方向中央部の作動ディス
ク部２３と、これに一体となり、図１に示すように有効
径ｄを有する小型ベローズ部２４と、前記作動ディスク
部２３を介して前記小型ベローズ部２４と一体となり、
小型ベローズ部２４の有効径ｄよりも大きな内径の有効
径Ｄを有する大型ベローズ部２５とを有している。ここ
で、有効径ｄ，Ｄとは、小型ベローズ部２４と大型ベロ
ーズ２５の膨張収縮過程におけるそれぞれのベローズ２
４，２５の平均内径を意味する。ベローズ１４の両端部
には固定ディスク部２６，２７が一体となっており、大
型ベローズ部２５側の固定ディスク部２６は可撓性チュ
ーブ１３を介してアダプタ部１５に固定され、小型ベロ
ーズ部２４側の固定ディスク部２７は可撓性チューブ１
３を介してアダプタ部１６に固定されている。

【００２０】この可撓性チューブ１３は、図示する場合
には供給される薬液がフォトレジスト液であることか
ら、薬液と反応しないように、フッ素樹脂であるテトラ
フルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル
共重合体（ＰＦＡ）により形成されており、アダプタ部
１５，１６も同様の材料により形成されている。また、
ベローズ１４も、同様の樹脂材料により、ディスク部２
３，２６，２７とベローズ部２４，２５とが一体となっ
て形成されている。ただし、樹脂材料としては、ＰＦＡ
に限られず、弾性変形する材料であれば、可撓性チュー
ブ１３およびベローズ１４についても、他の樹脂材料を
使用するようにしても良い。また、可撓性チューブ１３
とベローズ１４とを一体に形成するようにしても良く、
その場合にはアダプタ部１５，１６は不要となる。さら
に、ベローズ１４については、金属製としても良い。

【００２１】ベローズ１４はそれぞれの固定ディスク部
２６，２７の部分で支持台２８に取り付けられており、
固定ディスク部２６はこれに嵌め込まれた固定ブラケッ
ト３１により支持台２８に取り付けられ、固定ディスク
部２７はこれに嵌め込まれた固定ブラケット３２により
支持台２８に取り付けられている。

【００２２】ベローズ１４はその軸方向中央部の作動デ
ィスク部２３を軸方向に変位させることにより、ポンプ
動作がなされるようになっており、作動ディスク部２３
に嵌め込まれた作動ブラケット３３は、支持台２８にベ
ローズ１４と平行に延びて回転自在に取り付けられたボ
ールねじ軸３４にねじ結合されたボールナット３５に連
結されている。ボールナット３５は支持台２８に設けら
れたガイドレール３６に対して摺動自在に接触してお
り、ボールねじ軸３４の回転によって軸方向に駆動され
るようになっている。このボールねじ軸３４を回転駆動
するために、支持台２８に取り付けられたモータ３７の
シャフトに固定されたプーリー３８と、ボールねじ軸３
４に固定されたプーリー３９との間にはベルト４１が装
着されている。

【００２３】可撓性チューブ１３とこの外側に配置され
たベローズ１４との間の空間はポンプ室４２となってお
り、このポンプ室４２内には液体等の非圧縮性媒体４３
が充填されている。したがって、ベローズ１４をその中
央部分の作動ディスク部２３で軸方向に弾性変形する
と、ベローズ１４の全長は変化することなく、小型ベロ
ーズ部２４と大型ベローズ２５の内側の容積が変化する
ことになる。これにより、非圧縮性媒体４３を介して可
撓性チューブ１３が径方向つまり横方向に膨張収縮して
可撓性チューブ１３はポンプ動作することになる。

【００２４】可撓性チューブ１３は図２に示すように、
円弧状部と平坦部とを有する断面が長円形となってお
り、ポンプ室４２の容積が変化すると、主として平坦部
が弾性変形してベローズ１４の内側の容積変化に対応し
て可撓性チューブ１３が所定の量だけ弾性変形すること
になる。ただし、可撓性チューブ１３の断面を円形ある
いは他の異形断面形状としても良い。

【００２５】図３は作動ディスク部２３を軸方向に変位
させることによるポンプ動作を示す図であり、図１に示
すように、作動ディスク部２３がベローズ１４の軸方向
のほぼ中央の位置となっている状態を中立状態とする
と、この状態からモータ３７によって作動ディスク部２
３を小型ベローズ部２４側に変位させると、ベローズ１
４の全体では、小径部が短くなり、大径部が長くなるこ
とから、ベローズ１４の内側の容積が大きくなる。これ
により、可撓性チューブ１３は径方向に膨張してその内
部の容積が大きくなり、薬液タンク１８内の薬液は可撓
性チューブ１３内に吸入される。このときには、供給側
開閉弁２１の作動より供給側流路１７の流路は開かれ、
吐出側開閉弁２２の作動により吐出側流路１９の流路は
閉じられることになる。

【００２６】一方、作動ディスク部２３を大型ベローズ
部２５側に変位させると、ベローズ１４の全体では、大
径部が短くなり、小径部が長くなることから、ベローズ
１４の内側の容積が小さくなる。これにより、可撓性チ
ューブ１３は径方向に収縮してその内部の容積が小さく
なり、可撓性チューブ１３内の薬液は、塗布ノズル２０
に向けて吐出されることになる。このときには、供給側
開閉弁２１の作動より供給側流路１７の流路は閉じら
れ、吐出側開閉弁２２の作動により吐出側流路１９の流
路は開かれている。

【００２７】上述したポンプ動作に際しては、可撓性チ
ューブ１３の外側に非圧縮性媒体４３を介してベローズ
１４が配置されているので、ベローズ１４の容積変化が
応答性良く可撓性チューブ１３に伝達されることにな
る。図８（Ｂ）に示すように、可撓性チューブ５５の外
側の加圧室５６に対して細い流路を介してポンプ室５１
から媒体を案内するようにした場合には、絞られる部分
が存在することから、可撓性チューブ５５にポンプ動作
が伝達されるまでに遅延時間があったが、図示する場合
にはそのような遅延時間がなく迅速にポンプ動作がなさ
れる。

【００２８】塗布ノズル２０から所定の量の薬液を吐出
した後に、塗布ノズル２０から薬液が液垂れするのを防
止するために、サックバック動作を行うことが必要とな
る場合がある。その場合には、供給側開閉弁２１を閉
じ、吐出側開閉弁２２を開いた状態として、作動ディス
ク部２３を小型ベローズ部２４側に変位させて可撓性チ
ューブ１３を膨張させる。そのようなサックバック動作
を行う場合には、それぞれの開閉弁２１，２２として
は、逆止弁を使用することなく、外部からの信号により
開閉するタイプの電磁弁やエアーオペレート弁を使用す
ることになる。

【００２９】このように、図示する薬液供給装置にあっ
ては、可撓性チユーブ１３の外側にベローズ１４を配置
するようにしたので、装置の構造を簡単かつ小型化する
ことが可能となり、部品点数も少なくすることができ
る。また、非圧縮性媒体４３は可撓性チューブ１３とベ
ローズ１４の間のポンプ室４２のスペース内に充填され
ており、この非圧縮性媒体４３の量を少なくすることが
できる。

【００３０】この媒体４３をポンプ室４２内に充填する
際には、媒体４３が充填される空間の形状が単純な形状
となり、媒体存在個所が集中されているので、媒体の充
填作業を容易に行うことができる。前述した公報や図８
（Ｂ）に示されるような従来の薬液供給装置にあって
は、可撓性チューブの外側の加圧室とベローズの外側の
ポンプ室とを細い流路で接続しているために、流路形状
が複雑であり、空気が入り込まないようにして媒体を注
入することは非常に困難な作業となるが、本発明にあっ
ては容易に媒体を注入充填することができる。もしも、
媒体の中に空気が入り込むと、ベローズ１４の伸縮と可
撓性チューブ１３の膨張収縮との対応が高い精度となら
ないが、本発明にあっては、これらの対応関係を高い精
度で確保して、吐出精度を高めることができる。

【００３１】ポンプ室４２は複雑な形状の充填空間とは
なっておらず、媒体の充填個所は集中しているので、非
圧縮性媒体４３の洩れの危険個所が少なく、万一この媒
体４３が洩れるようなことがあっても、その漏れの位置
を容易に検出することができて液洩れの管理が容易とな
る。つまり、洩れの危険性が少なく、もしも洩れてもそ
れを容易に発見することができる。従来では、複雑な形
状の空間内に媒体が充填されているので、その空間を形
成するための部品相互の接続個所が多くなり、媒体の洩
れが発生しても、その位置の判断が容易でないが、本発
明ではこのようなことがなく、装置の信頼性を高めるこ
とができる。

【００３２】可撓性チューブ１３はベローズ１４と一体
として、ポンプ駆動部１２から容易に分離することがで
きるので、これらの交換が容易となる。つまり、図示す
る薬液供給装置によってレジスト液を吐出する場合に
は、可撓性チューブ１３の内面にレジスト液の変質した
物が付着すると、これが発塵の原因となるために、定期
的に可撓性チューブ１３などのように液体と接触する部
分を交換する必要があるが、その場合には、従来の装置
では可撓性チューブとアクチュエータ部とが分離して配
置されているために、容易に可撓性チューブを交換する
ことはできないが、図示する場合には、その作業を容易
に行うことができる。

【００３３】図４は本発明の他の実施の形態である薬液
供給装置を示す図であり、この場合には、相互に平行と
なった２つの可撓性チューブ１３ａ，１３ｂと、それぞ
れの外側に配置された２つのベローズ１４ａ，１４ｂと
によりポンプ部１１が形成されている。そして、一方の
ベローズ１４ａの小型ベローズ部２４ａと、他方のベロ
ーズ１４ｂの大型ベローズ部２５ｂは供給側流路１７に
位置し、一方のベローズ１４ａの大型ベローズ部２５ａ
と、他方のベローズ１４ｂの小型ベローズ部２４ｂは吐
出側流路１９に位置している。このように２つのベロー
ズ１４ａ，１４ｂが相互に逆向きに配置されていること
を除き、ポンプ駆動部１２の構造は前記した実施の形態
と同様である。

【００３４】この場合には、モータ３７によってそれぞ
れの作動ディスク部２３ａ，２３ｂを図４において上方
に変位させると、一方のベローズ１４ａはその大型ベロ
ーズ部２５ａが収縮して小型ベローズ部２４ａが膨張
し、他方のベローズ１４ｂはその小型ベローズ部２４ｂ
が収縮して大型ベローズ部２５ｂが膨張するので、一方
の可撓性チューブ１３ａは径方向に収縮し、他方の可撓
性チューブ１３ｂは膨張することになる。これにより、
ボールナット３５が直線方向の一方に移動するときと、
他方に移動するときの往動時と復動時との両方において
ポンプ動作を行うことができ、連続して薬液を塗布ノズ
ル２０から吐出することができる。

【００３５】図５（Ａ）〜図５（Ｃ）は図１に示した可
撓性チューブ１３の変形例を示す。この可撓性チューブ
１３はその内部に可撓性チューブ１３と同一の素材から
なる帯状のストッパ板４６が配置されており、ポンプ室
４２の容積が小さくなった場合に、図５（Ｃ）に示すよ
うに、可撓性チューブ１３の平坦部がストッパ板４６に
接触することになり、可撓性チューブ１３の円弧状部が
必要以上に押し潰されることが防止され、円弧状部に折
り目がつくことを防止している。このようなストッパ板
４６は可撓性チューブ１３の材質に応じて設けるように
する。

【００３６】図６（Ａ）〜図６（Ｃ）は可撓性チューブ
１３の他の変形例を示す図であり、この可撓性チューブ
１３の平坦部には内方に向けて突出した突起部４７が形
成されている。可撓性チューブ１３が中立状態となって
いるときには、その横断面は図６（Ｂ）に示されるよう
になっているが、径方向に収縮した場合には、その横断
面は図６（Ｃ）に示すように、突起部４７相互が接触す
ることになり、可撓性チューブ１３の円弧状部が潰され
ることが防止される。

【００３７】図５および図６に示す可撓性チューブ１３
は、図１に示すタイプの薬液供給装置にも図４に示すタ
イプの薬液供給装置にも適用することができる。

【００３８】図７は本発明のさらに他の実施の形態であ
る薬液供給装置を示す図であり、この装置は図１に示さ
れた薬液供給装置における可撓性チューブ１３を取り除
いた装置に相当する。したがって、ベローズ１４の固定
ディスク部２６にはポンプ室４２に連通させて供給側流
路１７が接続され、固定ディスク部２７にはポンプ室４
２に連通させて吐出側流路１９が接続されており、薬液
はベローズ１４内を貫流することになる。

【００３９】このようにベローズ１４内を薬液が一端か
ら他端に向けて貫流するようになっているので、ベロー
ズ１４の内面が凹凸となっていても、薬液の滞留部の発
生が少なく、薬液の変質発生を防止することができる。

【００４０】このタイプの薬液供給装置にあっても、図
４に示したように、２つのベローズを相互に逆向きとし
て２つ設けるようにしても良い。

【００４１】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４２】たとえば、図示するようにレジスト液の塗
布以外に、種々の液体を供給するための薬液供給装置と
して本発明を適用することが可能である。また、ベロー
ズは全長の長さを変えないようにして、小型ベローズ部
と大型ベローズ部の長さを交互に変位させるのであれ
ば、作動ディスク部２３を固定して、固定ディスク部２
６，２７を同期させて軸方向に変位させることによりポ
ンプ動作を行うようにしても良い。さらに、図示する実
施の形態にあっては、モータ３７によりボールねじ軸３
４を介して作動ディスク部２３を軸方向に駆動するよう
にしているが、エアーシリンダなどの他の駆動手段を用
いるようにしても良い。そして、非圧縮性媒体として
は、液体以外に粉体や粒体などを用いるようにしても良
い。

【００４３】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００４４】(1).小型ベローズ部と大型ベローズ部とを
有するベローズのうち小型ベローズ部と大型ベローズ部
とを軸方向に変位させることにより、ベローズ内側の容
積を膨張収縮させてポンプ動作を行わせるようにしたの
で、簡単な構造の薬液供給装置が得られる。

【００４５】(2).ポンプ室内に薬液を貫流させることに
より、ベローズの内面に凹凸が存在しても、ベローズ内
に薬液が滞留することがなく、滞留に起因した薬液の変
質発生を防止することができる。

【００４６】(3).ベローズのポンプ室内に可撓性チュー
ブを配置して、可撓性チューブの膨張収縮によりポンプ
動作を行うことにより、ベローズの軸方向の変位による
これの内側の容積の膨張収縮によって可撓性チューブを
非圧縮性媒体を介して迅速に作動させることができ、応
答性に優れた薬液供給装置が得られた。

【００４７】(4).可撓性チューブとその外側のベローズ
とによる内外二重構造のポンプ部とすることによって、
装置全体のサイズを小型化して簡単な構造にすることが
でき、装置の信頼性を向上することができる。

【００４８】(5).可撓性チューブの交換を容易に行うこ
とができ、装置のメンテナンスを容易に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である薬液供給装置を示
す一部切り欠き正面図である。

【図２】図１における２−２線に沿う断面図である。

【図３】（Ａ），（Ｂ）は図１に示す薬液供給装置のベ
ローズのポンプ動作を示す断面図である。

【図４】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を
示す一部切り欠き正面図である。

【図５】（Ａ）は本発明の他の実施の形態である薬液供
給装置の要部を示す断面図、（Ｂ）は同図（Ａ）におけ
る可撓性チューブの断面図、（Ｃ）は可撓性チューブが
径方向に収縮した状態を示す断面図である。

【図６】（Ａ）は可撓性チューブの変形例の一部を示す
斜視図、（Ｂ）は同図（Ａ）の断面図、（Ｃ）は可撓性
チューブが径方向に収縮した状態を示す断面図である。

【図７】本発明の他の実施の形態である薬液供給装置を
示す一部切り欠き正面図である。

【図８】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来の薬液供給装置
の概略構造を示す概略断面図である。

【符号の説明】

１１ポンプ部１２ポンプ駆動部１３可撓性チューブ１４ベローズ１５，１６アダプタ部１７供給側流路１８薬液タンク（薬液収容部）１９吐出側流路２０塗布ノズル（薬液吐出部）２１供給側開閉弁２２吐出側開閉弁２３作動ディスク部２４小型ベローズ部２５大型ベローズ部２６，２７固定ディスク部２８支持台３１，３２固定ブラケット３３作動ブラケット３４ボールねじ軸３５ボールナット３６ガイドレール３７モータ３８，３９プーリー４１ベルト４２ポンプ室４３非圧縮性媒体４６ストッパ板４７突起部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】それぞれ弾性部材により形成された小型
ベローズ部と、この小型ベローズ部よりも軸方向の単位
変位量当たりの容積変化が大きい大型ベローズ部とを有
して、軸方向に弾性変形自在のベローズと、前記ベローズの一端部と薬液収容部との間に接続され、
供給側開閉弁が設けられた供給側流路と、前記ベローズの他端部と薬液吐出部との間に接続され、
吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路と、前記ベローズを軸方向に弾性変形して前記小型ベローズ
部を収縮させるとともに前記大型ベローズ部を膨張させ
る一方、前記小型ベローズ部を膨張させるとともに前記
大型ベローズ部を収縮させる駆動手段とを有することを
特徴とする薬液供給装置。
【請求項２】弾性材料により形成されて径方向に弾性
膨張収縮自在の可撓性チューブと、前記可撓性チューブの一端部と薬液収容部との間に接続
され、供給側開閉弁が設けられた供給側流路と、前記可撓性チューブの他端部と薬液吐出部との間に接続
され、吐出側開閉弁が設けられた吐出側流路と、それぞれ弾性部材により形成された小型ベローズ部と、
この小型ベローズ部よりも軸方向の単位変位量当たりの
容積変化が大きい大型ベローズ部とを有するとともに、
前記可撓性チューブの外側に配置されて軸方向に弾性変
形自在のベローズと、前記可撓性チューブと前記ベローズとの間に封入された
非圧縮性媒体と、前記ベローズを軸方向に弾性変形して前記小型ベローズ
部を収縮させるとともに前記大型ベローズ部を膨張させ
る一方、前記小型ベローズ部を膨張させるとともに前記
大型ベローズ部を収縮させて前記可撓性チューブを径方
向に弾性変形する駆動手段とを有することを特徴とする
薬液供給装置。
【請求項３】請求項１または２記載の薬液供給装置で
あって、前記ベローズを相互に平行に２つ設け、一方の
ベローズの小型ベローズ部と他方のベローズの大型ベロ
ーズ部とを隣接させて配置し、一方のベローズの大型ベ
ローズ部と他方のベローズの小型ベローズ部とを隣接さ
せて配置したことを特徴とする薬液供給装置。