TW201604454A - 逆止閥及設有逆止閥之液體供給裝置 - Google Patents

Abstract

逆止閥10a包括有閥箱25，閥箱25的內部設置有閥室23。閥箱25係由設有閥孔22的閥座部材21及包含有圓筒部材26之箱本體24所構成，其中圓筒部材26設有保持件27。閥室23內配置有閥體31。閥箱25的保持件27上設置有多個接合槽35。閥室23內安裝有依液體流向橫切方向置放的封閉環狀的彈性部材41，彈性部材41接合於接合槽35，並在相對於接合槽35之圓周方向分布之多處對閥體31施加朝向閥孔22之彈性力。

Description

逆止閥及設有逆止閥之液體供給裝置

本發明是關於一種容許液體在一方向上的流動並阻止液體在逆方向上的流動之逆止閥及設有逆止閥之液體供給裝置。

半導體晶圓或液晶用玻璃基板的表面經常為了塗抹光阻液等液體而使用液體供給裝置。液體供給裝置具有能使幫浦室膨脹收縮之幫浦。根據專利文獻1之記載，在幫浦中，幫浦室可以用伸縮管或隔膜劃分。根據專利文獻2之記載，在幫浦中，幫浦室可以用富有彈性之軟管劃分。伸縮管幫浦係為以伸縮管作為幫浦部材之幫浦。隔膜幫浦係為包括由隔膜構成的幫浦部材之幫浦。軟管隔膜(tubephragm)幫浦係為包括由軟管構成的幫浦部材之幫浦。汽缸幫浦係為包括汽缸與在汽缸內往復移動的活塞之幫浦。

流入側的逆止閥設置於幫浦室的流入口與液體容器之間的流入側流道。流出側之逆止閥設置於幫浦室的流出口與液體吐(排)出部材之間的流出側流道。流入側的逆止閥容許由液體容器流向幫浦室之液體在順方向上的流動並阻止液體在逆方向上的流動。流出側的逆止閥則容許由幫浦室流向液體排出部材之液體在順方向上的流動並阻止液體在逆方向上的流動。如此這般，逆止閥能夠用於容許液體在一方向上的流動並阻止液體在逆方向上的流動。逆止閥的種類包含有與外殼結合之類型，其外殼以收容幫浦部材為目的，及於外殼連接有配管之類型。

使用於以供給液體予排出部材為目的之液體供給裝置的逆止閥在幫浦動作停止後，因閥體的本身的重量使其接觸閥座而關閉閥孔。對於將低黏度液體供給到排出部材的液體供給裝置而言，幫浦動作停止後閥體能以較短時間關閉閥孔。相較於此，對於將高黏度液體供給到排出部材的液體供給裝置而言，幫浦動作停止後，利用閥體的重量使其接觸閥座 而關閉閥孔則需花費較多時間。因此，對於供給高黏度液體於排出部材之液體供給裝置使用的逆止閥，在朝向閥座的方向上利用彈簧部材施力於閥體是有其必要性的。

供給光阻液於被塗布物時，光阻液與金屬部材接觸後，光阻液會發生變質的狀況。因此，根據專利文獻3之記載，可以在逆止閥上使用耐化學性優良的氟樹脂製之彈簧部材。

【先前技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本專利第3320896號公報

【專利文獻2】日本專利第45473686號公報

【專利文獻3】日本專利公開第2003-127014號公報

然而，使用氟樹脂製之彈簧部材時，樹脂製之彈簧部材會因長時間負重而產生變形無法回復的現象，進而逐漸失去其彈簧力，使得逆止閥的功能減弱。有鑑於此，為了更換彈簧部材，逆止閥必須頻繁地進行維護。

而且，若將樹脂製的渦狀彈簧組裝於逆止閥的話，由於必須使樹脂製之螺旋彈簧之撓度較金屬製之螺旋彈簧撓度小，螺旋彈簧的長度必須加長。如此一來，逆止閥的軸向長度不得不加長，而無法達到逆止閥小型化及液體供給裝置小型化。

本發明之目的在於，能夠達成在朝向閥座的方向上施加力於閥體的逆止閥的小型化。

本發明所述之逆止閥，是容許液體在一方向上的流動並阻止液體在逆方向上的流動之逆止閥，包括有：流入口，供液體流入；流出口，供液體流出；閥座，設置於該流入口與該流出口之間，且設有連通於該流入口與該流出口的閥孔；閥室，設於該閥座與該流出口之間；閥體，配置 於該閥室內且開關該閥孔；多個保持面，位於徑向上比該閥體外側處，且在軸向上延伸；以及彈性部材，由該些保持面所保持而安裝於該閥室內，以對該閥體施加朝向該閥孔的彈性力。

本發明所述之液體供給裝置，將收容於液體容器的液體供給到排出器具，其中該液體供給裝置包括：幫浦塊，設於連通流入側流道與流出側流道的幫浦室；驅動部材，設於該幫浦塊，且膨脹收縮該幫浦室；流入側逆止閥，配置於該流入側流道，且當該幫浦室膨脹時，該流入側逆止閥容許從該流入側流道往該幫浦室的液體的流動，當該幫浦室收縮時，該流入側逆止閥阻止從該幫浦室往該流入側流道的液體的逆流；以及流出側逆止閥，配置於該流出側流道，且當該幫浦室收縮時，該流出側逆止閥容許從該幫浦室往該流出側流道的液體的流動，當該幫浦室膨脹時，該流出側逆止閥阻止從該流出側流道往該幫浦室的液體的逆流；其中該流入側逆止閥與該流出側逆止閥的至少其中之一為具備有前述彈性部材之逆止閥。

彈性部材，對閥體施加朝向閥孔的彈性力，並被多個保持面所保持。該些保持面，位於徑向上比該閥體外側處，且在軸向上延伸。因此，本發明不增加逆止閥長度方向的尺寸，而藉由對逆止閥閥體施加施壓力來達成小型化目標。液體供給裝置，可結合設有彈性部材的逆止閥來達成液體供給裝置之小型化。

10a~e‧‧‧逆止閥

10A‧‧‧流入側的逆止閥

10B‧‧‧流出側的逆止閥

11‧‧‧外殼

12‧‧‧流入口

13‧‧‧第一外殼組件

14‧‧‧流出口

15‧‧‧第二外殼組件

15a‧‧‧圓筒部

16‧‧‧收納孔

17a、17b‧‧‧頂接面

18a‧‧‧第一強化環

18b‧‧‧第二強化環

19‧‧‧螺釘構件

20a、20b‧‧‧配管

21‧‧‧閥座部材

22‧‧‧閥孔

23‧‧‧閥室

24‧‧‧箱本體

25‧‧‧閥箱

26‧‧‧圓筒部材

27‧‧‧保持件

27a‧‧‧止擋面

28‧‧‧圓筒部

29‧‧‧端壁

30‧‧‧連通孔

31‧‧‧閥體

32a‧‧‧同心圓弧面

32b‧‧‧偏心圓弧面

33‧‧‧對向面

33a、33b‧‧‧對向面

34‧‧‧接合突起物

35‧‧‧接合槽

36‧‧‧內周面

37‧‧‧保持片

38‧‧‧保持面

41‧‧‧彈性部材

42‧‧‧頂接部分

43a、43b‧‧‧密封部材

45‧‧‧圓錐面

46‧‧‧圓盤部

47‧‧‧施壓部

50‧‧‧液體供給裝置

51‧‧‧幫浦組件

52‧‧‧幫浦塊

53、54‧‧‧流道塊

55‧‧‧驅動塊

56‧‧‧底部孔

57‧‧‧伸縮管

57a‧‧‧基部

57b‧‧‧頭部

57c‧‧‧蛇腹部

58‧‧‧幫浦室

61‧‧‧流入側流道

61a‧‧‧連通孔

62‧‧‧流出側流道

62a‧‧‧連通孔

63‧‧‧液體容器

64‧‧‧排出器具

65‧‧‧柱塞

66‧‧‧驅動桿

67‧‧‧軸

68‧‧‧驅動輪

71‧‧‧馬達支座

72‧‧‧電動馬達

73‧‧‧凸輪軸

74a、74b‧‧‧軸承

75‧‧‧馬達軸

76‧‧‧連結器

77‧‧‧凸輪部材

78‧‧‧凸輪面

81‧‧‧導引件

82‧‧‧導引槽

83‧‧‧導引輪

第1圖(A)為逆止閥的一實施例的縱剖面圖，第1圖(B)為第1圖(A)中1B-1B線的剖面圖。

第2圖為第1圖(A)的平面圖。

第3圖(A)為第1圖(A)之主要部位放大的剖面圖，第3圖(B)為第1圖(B)之主要部位放大的剖面圖。

第4圖(A)為第3圖所示的逆止閥之分解立體圖，第4圖(B)為第4圖(A)所 示之保持件的內表面的立體圖。

第5圖(A)為閥體關閉閥孔狀態的逆止閥之縱剖面圖，第5圖(B)為第5圖(A)中5B-5B線的剖面圖，第5圖(C)為閥體打開閥孔狀態的逆止閥之縱剖面圖，第5圖(D)為第5圖(C)中5D-5D線的剖面圖。

第6圖(A)~(E)為第3圖所示之逆止閥的組裝流程的工程圖。

第7圖為一逆止閥改造例，第7圖(A)為逆止閥之縱剖面圖，第7圖(B)為第7圖(A)中7B-7B線的剖面圖。

第8圖為另一逆止閥改造例，第8圖(A)為第8圖(C)中8A-8A線的剖面圖，第8圖(B)為第8圖(A)中8B-8B線的剖面圖，第8圖(C)為第8圖(A)中8C-8C線的剖面圖。

第9圖為另一逆止閥改造例，第9圖(A)為第9圖(C)中9A-9A線的剖面圖，第9圖(B)為第9圖(A)中9B-9B線的剖面圖，第9圖(C)為第9圖(A)中9C-9C線的剖面圖。

第10圖為另一逆止閥改造例，第10圖(A)為第10圖(D)中10A-10A線的剖面圖，第10圖(B)及(C)為第10圖(A)中10B-10B線的剖面圖，其中第10圖(B)為閥體關閉閥孔狀態之示意圖，而第10圖(C)為閥體開放閥孔狀態之示意圖，第10圖(D)及(E)為第10圖(A)中10D-10D線的剖面圖，其中第10圖(D)為閥體關閉閥孔狀態之示意圖，而第10圖(E)為閥體開放閥孔狀態之示意圖。

第11圖為裝設有第3圖展示之逆止閥的液體供給裝置的剖面圖。

第12圖為第11圖中12-12線的剖面圖。

第13圖為第11圖中13-13線的剖面圖。

以下為本發明根據圖式就其實施方式詳細說明。各實施方式中具有相同功能之部材將以同一符號進行說明。

第1圖示意一單獨使用之逆止閥10a。該逆止閥10a安裝於外殼11內。外殼11包括有設有流入口12之第一外殼組件13(housing piece)以及設有流出口14之第二外殼組件15。該外殼組件13及15係由氟樹脂製成。第 一外殼組件13設有圓筒狀的收納孔16。第一外殼組件13設有頂接面17a。第二外殼組件15設有頂接面17b。逆止閥10a頂接於頂接面17a及17b而安裝於收納孔16中。

第一外殼組件13外面配置有第一強化環18a，第二外殼組件15外面配置有第二強化環18b。強化環18a及18b由多個螺釘構件19緊固組成外殼11。強化環18a及18b皆由金屬製成。

配管20a包含有流入側流道並與流入口12連接，配管20b包含有流出側流道並與流出口14連接。逆止閥10a容許由流入口12流向流出口14之流動，使液體能從配管20a流向配管20b。逆止閥10a阻止由流出口14流向流入口12之流動，且阻止液體從配管20b逆流到配管20a。如此，逆止閥10a容許液體在一方向上的流動並阻止液體在逆方向上的流動。

如第3圖所示，逆止閥10a包含有環狀的閥座部材21。閥座部材21的徑向中心設有閥孔22，閥孔22與流入側流道連通。逆止閥10a包含有箱本體24，箱本體24與閥座部材21一起分隔閥室23，箱本體24與閥座部材21一同構成閥箱25。閥座部材21及箱本體24皆由氟樹脂製成。

箱本體24包含有圓筒部材26及保持件27。圓筒部材26之一端安裝有閥座部材21，圓筒部材26之另一端安裝有保持件27。閥座部材21與圓筒部材26與保持件27組成閥箱25。保持件27包含有安裝於圓筒部材26上之圓筒部28及與圓筒部28一體成形之端壁29。如第4圖(A)所示，端壁29中心部設有兩連通孔30。連通孔30與流出側流道連通，閥室23通過連通孔30而與流出側流道連通。

球體狀的閥體31配置於閥室23內，其中閥體31可開關閥孔22。閥體31頂接於閥座部材21時閥孔22會關閉，閥體31與閥座部材21分離時閥孔22會開啟。從流入側流道向閥室23供給液體時，閥孔22會開啟，液體便從閥孔22朝向連通孔30在閥室23內流動。第1圖及第3圖中，閥體31與閥座部材21分離之狀態以兩點一長線標示。

如第4圖所示，將閥體31收納於其內部之圓筒部材26包含有朝向閥體31的兩同心圓弧面32a及兩偏心圓弧面32b。兩個同心圓弧面32a之半徑稍大於閥體31之半徑，並以閥孔22的中心軸為共同的中心軸，且朝箭頭R1的兩相對方向上形成於圓筒部材26。兩中心軸Z1及Z2，相對於閥孔22 的中心軸，沿著與箭頭R1垂直相交之箭頭R2的兩相反方向偏心一同樣長度L1。兩偏心圓弧面32b即以該兩中心軸Z1及Z2為中心軸，在圓筒部材26上形成。如第3圖所示，偏心圓弧面32b與閥體31之間的液體流道寬度比同心圓弧面32a與閥體31之間的液體流道寬度大。內周面32包含有兩同心圓弧面32a與兩偏心圓弧面32b，且形成於圓筒部材26上。

圓筒部材26有一面向保持件27的頂端面之對向面33，對向面33上與同心圓弧面32a連接之對向部33a的徑向厚度比與偏心圓弧面32b連接之對向部33b較大。如第3圖(B)及第4圖(B)所示，保持件27上設有兩接合突起物34，與徑向厚度較大的對向部33a對應。該接合突起物34以圓筒部材26的中心軸為中心朝兩相對軸方向延伸。在該接合突起物34與圓筒部28的內周面36之間形成有一接合槽35。該接合槽35設置於接合突起物34的徑向外側，比閥體31更徑向外方的位置。保持面38為接合突起物34與圓筒部28的內周面36對向之表面。

如第4圖所示，閥室23內配置有封閉環狀的彈性部材41。彈性部材41由橡膠材料塑成。彈性部材41由兩保持面38所保持，並安裝於閥室23內。彈性部材41為橢圓形，以橫切閥室23內的液體流路方向置放。彈性部材41安裝於閥室23時，如第3圖(A)所示，彈性部材41包括受兩保持面38所保持的兩處被保持部分及位於被保持部分圓周方向90度的兩處頂接部分42。兩處頂接部分42與閥體31頂接，由彈性部材41對閥體31施加朝閥孔22方向的彈性力。

第5圖(A)及(B)示意閥體31與閥座部材21接觸後閥孔關閉之狀態。在此狀態下，當流出口14的液體壓力與來自彈性部材41的壓緊力之合計變得比流入口12的液體壓力高時，閥孔22將會被關閉，阻止從閥室23流向流入口12之液體流動。

第5圖(C)及(D)示意了當流入口12的液體壓力變得比流出口14的液體壓力與來自彈性部材41的壓緊力之合計高時，閥體31離開閥座部材21而使閥孔22開啟之狀態。這樣一來，從開啟的閥孔22流入閥室23內的液體能從連通孔30排出至逆止閥10a外部。這時，閥體31離開閥座部材21的動作被閥體31與端壁29的止擋面27a之接觸所限制。如此一來，原來用以保持彈性部材41的保持件27具備有限制閥體31移動之止擋機能。但是，在流 入閥室23的液體流量較少的狀況下，閥體31能在不與止擋面27a接觸的狀況下開啟閥孔22。

因彈性部材41對閥體31施加彈性力，當流入口12的壓力相等於或小於閥室23內的壓力與來自彈性部材41的緊壓力之合計時，閥體31因彈性力會迅速向閥座部材21驅動而關閉閥孔22。因此，即使從流入口12朝流出口14的方向供給高黏度的液體時，流入口12的壓力相等於或小於閥室23內的壓力與來自彈性部材41的緊壓力之合計時，也能藉由推開介於閥孔22及閥體31之間的液體，使閥體31迅速關閉閥孔22。供給黏度較低之液體時，閥體31也能同樣地迅速關閉閥孔22。

彈性部材41的兩頂接部分42頂接於閥體31在以閥體31移動方向上的移動中心軸為中心之對稱位置上。因此，兩頂接部分42會朝彼此接近的方向對閥體31施加彈性力的同時，也對閥體31施加朝向閥孔22彈性力。這樣一來，彈性部材41備有將閥體31的中心調整至閥孔22的中心位置之調心功能。此外，因彈性部材41以閥室23內液體流動的橫切方向配置於閥室23內，閥箱25的長度不需加長即能以對閥體31施加施加力的方式達成逆止閥10a小型化之可能。

第6圖(A)~(E)為逆止閥10a的組裝流程的工程圖，為第3圖從下方往上看的仰視圖。第6圖(A)示意保持件27的內表面，保持件27如第6圖(B)所示，安裝有彈性部材41。彈性部材41的初始狀態因彈性力而呈現圓形狀，彈性部材41一但被兩接合突起物34外側的保持面38所保持住時，如第6圖(B)所示，彈性部材41安裝於保持件27時將為橢圓形。

第6圖(C)表示圓筒部材26組合於保持件27後之狀態。圓筒部材26組裝於保持件27後，對向面33上的對向部33a面對接合突起物34，接合槽35即被對向部33a閉合。這樣一來，彈性部材41便不會脫落。頂接面42的徑向外方，如第6圖(C)所示，與內周面36之間形成有一充分的彈性變形空間。第6圖(D)表示球體狀閥體31插入圓筒部材26內部的狀態。閥體31與彈性部材41的頂接部分42相鄰接。第6圖(E)表示閥座部材21組裝於圓筒部材26之狀態。

依據上述方法組作而成之逆止閥10a，當安裝於供給液體之配管時，如第1圖所示，逆止閥10a會安裝於外殼11上。密封部材43a安裝在 外殼部件13及閥座部材21之間，而密封部材43b安裝在外殼部件15及箱本體24之間。

上述逆止閥10a的閥箱25，是由閥座部材21與圓筒部材26與保持件27三樣部材所構成。但是，圓筒部材26與保持件27時常合為一體產生一體型的箱本體21。這種情況下，箱本體24與閥座部件21組合來構成閥箱25。另外，閥座部材21與圓筒部材26有時為樹脂一體成形，此時便將與圓筒部材26一體形成之閥座部材21與保持件27組合構成閥箱25。

第7圖為逆止閥之一改造例的逆止閥10b。第7圖所示之逆止閥10b的箱本體24是由上述逆止閥10a的圓筒部材26與保持件27一體形成。接合突起物34在與圓筒部材26對向的表面有保持面38。接合突起物34於端壁29之內部面向軸方向延伸處設置。保持面38，與上述逆止閥10a相同，設置於以閥體31移動方向中心軸為中心的相對兩處。

第8圖為另一逆止閥改造例逆止閥10c。第8圖所示之逆止閥10c之箱本體24，與第7圖所述之逆止閥1相同，由圓筒部材26及保持件27一體形成。逆止閥10c的保持件27，橫跨閥室23朝徑向延伸，在圓筒部材26的端部與其一體設置。如第8圖(B)及(C)所示，保持件27內建於設置於外殼部件15上的圓筒部15a。保持件27的長度相近於圓筒部15a之內徑，寬度小於閥體31之直徑。保持件27的兩端設有保持面38，彈性部材41被保持面38所保持並安裝於箱本體上。連通孔30在保持件27與圓筒部15a的內周面之間形成。

第9圖為另一改造例逆止閥10d。該逆止閥10d，與第8圖所示之逆止閥10c相同，箱本體24是由圓筒部材26與保持件27一體形成。保持件27在從其中心以放射狀朝徑向方向延伸設有三保持片37。三保持片37沿圓周方向彼此間隔120度。該些保持片37的徑向外方端處設有保持面38。如此，三保持面38沿圓周方向彼此間隔一定距離設置於閥箱25。

彈性部材41被三保持面38所保持，如第9圖(A)所示，以接近正三角形形狀安裝於箱本體24。因此，在該逆止閥10d，彈性部材41在保持面38之間的三處頂接部分42與閥體31鄰接，並向閥體31施加彈性力。逆止閥10d從保持面38向圓周方向分布之三處頂接部分42，由彈性部材41向閥體31施加向閥孔22之彈性力。

因此，關於頂接部分42的數量，若欲以從保持面38朝圓周方向分布之多處之方式向閥體31施加彈性力，該多處不限於兩處或三處，彈性部材41也可設四處以上之頂接部分42。另外，即使箱本體24是由圓筒部材26與保持件27形成，在箱本體24設置三個接合槽35也是可行的。

第10圖為另一改造例逆止閥10e。與第3圖~第5圖所示之逆止閥10a相同，該逆止閥10e構成箱本體24的圓筒部材26與保持件27分開(各為單獨部件)，圓筒部材26與保持件27合體構成箱本體24。與逆止閥10a相同，保持件27包含有圓筒部28及端壁29，其中端壁29中心部設有兩連通孔30。與逆止閥10a相同，保持件27上設有兩接合突起物34。該接合突起物34以閥體31移動方向之中心軸為中心朝兩相對軸方向延伸。該接合突起物34的保持面38，形成於與圓筒部28之內周面36對向之表面。彈性部材41由兩保持面38所保持，在閥室23內之液體流動的橫切方向以橢圓形狀態安裝於閥室23。

閥體31包含有與閥孔22的開口部連接的圓錐面45尖端設置之圓盤部46及與其一體形成之施壓部47。施壓部47從圓盤部46之徑向延伸，與圓盤部46之外徑長度相近。按壓彈性部材41的兩處頂接部分42之按壓面49設於施壓部47的兩端。

這樣一來，不止球體，也可使用具有圓錐面45的圓盤狀閥體。甚至也可以使用非圓錐面45，而是以平面與閥座連接之閥體。

第11圖為第3圖所示設有逆止閥之液體供給裝置50的剖面圖。第12圖為第11圖中12-12線的剖面圖，第13圖為第11圖中13-13線的剖面圖。

如第11圖~第13圖所示，液體供給裝置50包含有幫浦組件51，其中幫浦組件51包括有幫浦塊52及裝置於幫浦塊上下方彼此對向的兩流道塊53、54。驅動塊55附接於幫浦組件51。幫浦塊52形成有兩底部孔56，兩底部孔56位於驅動塊55側邊之開口部，該底部孔56內部裝有伸縮管57。伸縮管57包含有固定於底部孔56開口部之基部57a、頭部57b及位於基部57a與頭部57b之間的蛇腹部57c。幫浦室58將伸縮管57與底部孔56隔開，在幫浦塊52設有兩幫浦室58。

如第13圖所示，流入側流道61設於流道塊53。流入側流道61 經由設於幫浦塊52上之連通孔61a連接至幫浦室58。流出側流道62設於流道塊54。流出側流道62經由設於幫浦塊52上之連通孔62a連接至幫浦室58。

流入側的逆止閥10A安裝於流入側流道61與連通孔61a之間，且被夾於幫浦塊52與流道塊53之間。流出側的逆止閥10B安裝於流出側流道62與連通孔62a之間，且被夾於幫浦塊52與流道塊54之間。前述逆止閥10A、10B，與第3圖所示之逆止閥構造相同。

連接於流入側流道61的流入口61b之流入側配管20a，延伸至液體容器53將液體容器63內之液體經由配管20a供給至幫浦組件51。流出側流道62的流出口62b從配管20b連接至排出器具64，將從幫浦組件51排出之液體供給至排出器具64，再從排出器具64將液體塗布於塗布物上。

驅動幫浦之驅動部材中，伸縮管57內裝有柱塞65。隨著柱塞65的軸向往復移動，伸縮管57可以朝軸方向伸縮。伸縮管57伸展時幫浦室58會收縮，伸縮管57收縮時幫浦室58會膨脹。幫浦室58若膨脹，液體容器63內之液體會被吸入至幫浦室58。此時，就流入側的逆止閥10A來說，閥體31會將閥孔22開啟容許從流入側流道61流至幫浦室58的液體流動。就流出側的逆止閥10B來說，閥體31會將閥孔22關閉阻止液體的逆流動。相反地，若幫浦室58收縮，已吸入幫浦室58內之液體會被供給至排出器具64。此時，流出側的逆止閥10B來說，閥體31會將閥孔22開啟容許從幫浦室58流至流出側流道62的液體流動，而在流入側的逆止閥10A，閥體31會將閥孔22關閉阻止液體的逆流動。

如第12圖所示，兩驅動桿66被安裝於驅動塊55上使其能在軸向自由往復移動。該驅動桿66的一端與柱塞65連接，另一端則安裝有軸67。軸67在驅動桿66的徑向延伸。驅動輪68被安裝於軸67上使其能自由滾動。

馬達支座71附接於驅動塊55，電動馬達72又附接於馬達支座71。凸輪軸73安裝於驅動塊55，由軸承74a、74b支持其旋轉。凸輪軸73透過連結器76與馬達軸75連接，由電動馬達72所轉動。凸輪部材77設置於凸輪軸73上，驅動輪68滾動並與凸輪部材77之凸輪面78接觸。如第11圖所示，凸輪面78相對於凸輪軸73之旋轉中心軸較為傾斜。凸輪軸73旋轉驅動時，驅動輪68滾動接觸凸輪面78，使驅動桿66在軸向往復移動。藉由驅動桿66的往復移動，伸縮管57能通過柱塞65伸縮驅動，進而膨脹收縮幫浦室58。

凸輪軸73旋轉時，其中一驅動桿66會朝伸縮管57伸展方向驅動，而另一驅動桿66會朝伸縮管57收縮方向驅動。如此，兩驅動桿66朝相反方向驅動，輪流將液體從兩幫浦室58排出。這樣一來，在抑制波紋產生的同時，可以從幫浦組件51朝排出器具64供給定量之液體。

為使驅動桿66順暢地軸向驅動，驅動塊55裝設有兩導引件81。驅動桿66貫穿該導引件81，將導引槽82設於導引件81。導引槽82內配置導引輪83，設於軸67的兩端。驅動桿66軸向來回移動時，因為導引輪83的作用，驅動桿66不會偏離軸向，而能確實地被導引在軸向上。

當幫浦室58膨脹，將液體吸入幫浦室58內的動作停止時，設有彈性部材41的逆止閥10A的閥體31會因彈性力朝閥孔關閉方向驅動。因此，即使供給排出器具64高黏度的液體的情況下，幫浦室58膨脹動作變成收縮動作前，閥孔22會確實地被閥體31關閉。如此這般，液體供給裝置50便可對排出器具64以高精度地供給液體。

更進一步來說，彈性部材41因具有定心作用，可將閥體31的中心定位於閥孔22中心處，因而可經由閥體31確實地進行閥孔22開關動作。如此便能提高提供予排出器具64的液體準確度。由於彈性部材41以閥室23內液體流動之橫切方向配置於閥室23內，因此能夠縮短逆止閥的流道的流動方向長度。所以，能夠將設有逆止閥之幫浦組件51小型化。

液體供給裝置50雖然在幫浦組件51設有兩幫浦室58，並包含有四逆止閥，但設於幫浦組件51上之幫浦室58的數量並不限於兩個。也可以在幫浦組件51設置一個或三個以上的幫浦室58。該逆止閥不須組裝於幫浦組件51，也可與幫浦組件51分開，配置於流入側的配管20a與流出側的配管20b。此種狀況，即如第1圖所示，是使用裝置於外殼內之逆止閥。另外，液體供給裝置50雖然在流入側的逆止閥10a與流出側的逆止閥10b兩者皆使用第3圖所示之逆止閥10a，但也可以僅在其中一方使用逆止閥10a。

液體供給裝置50，雖如第3圖所示設有逆止閥10a，但設於液體供給裝置50的逆止閥10A、10B也可從逆止閥10a~10e任意選用之。

本發明並不限定於上述實施例，在不脫離本發明要旨下尚有許多變化的可能。例如，液體供給裝置50的種類並不限於第11圖~13所示之伸縮管幫浦。只要能讓幫浦室膨脹收縮來進行液體排出動作的幫浦，如具 有伸縮管幫浦、軟管隔膜幫浦、隔膜幫浦及注射幫浦等的液體供給裝置上，皆可使用前述逆止閥。另外，彈性部材的橫截面不一定要一樣。例如，橫截面形狀及面積皆可以更改。

【產業上的利用性】

液體供給裝置可被使用於塗布光阻液於被塗布物上，而逆止閥可用於液體供給裝置之上。

10a‧‧‧逆止閥

11‧‧‧外殼

12‧‧‧流入口

13‧‧‧第一外殼組件

14‧‧‧流出口

15‧‧‧第二外殼組件

16‧‧‧收納孔

17a、17b‧‧‧頂接面

18a‧‧‧第一強化環

18b‧‧‧第二強化環

19‧‧‧螺釘構件

30‧‧‧連通孔

31‧‧‧閥體

41‧‧‧彈性部材

43a、43b‧‧‧密封部材

Claims (7)

1. 一種逆止閥，容許液體在一方向上的流動並阻止液體在逆方向上的流動，其中該逆止閥包括：流入口，供液體流入；流出口，供液體流出；閥座，設置於該流入口與該流出口之間，且設有連通於該流入口與該流出口的閥孔；閥室，設於該閥座與該流出口之間；閥體，配置於該閥室內且開關該閥孔；多個保持面，位於徑向上比該閥體外側處，且在軸向上延伸；以及彈性部材，由該些保持面所保持而安裝於該閥室內，以對該閥體施加朝向該閥孔的彈性力。
2. 如申請專利範圍第1項所述之逆止閥，其中該些保持面位於相對該閥體的移動中心軸的對稱位置。
3. 如申請專利範圍第1項所述之逆止閥，其中該些保持面相對該閥體的移動中心軸以等角度設有三個。
4. 如申請專利範圍第1項所述之逆止閥，其中該彈性部材為封閉環狀。
5. 如申請專利範圍第1項所述之逆止閥，其中該閥體為球體，使該彈性部材頂接於該球體。
6. 如申請專利範圍第1項所述之逆止閥，該閥體包括接觸該閥孔的開口部的表面以及設有抵壓面的施加部，其中該彈性部材抵壓於該抵壓面。
7. 一種液體供給裝置，將收容於液體容器的液體供給到吐出器具，其中該液體供給裝置包括：幫浦塊，設於連通流入側流道與流出側流道的幫浦室；驅動部材，設於該幫浦塊，且膨脹收縮該幫浦室；流入側逆止閥，配置於該流入側流道，且當該幫浦室膨脹時，該流入側逆止閥容許從該流入側流道往該幫浦室的液體的流動，當該幫浦室收縮時，該流入側逆止閥阻止從該幫浦室往該流入側流道的液體的逆流；以及流出側逆止閥，配置於該流出側流道，且當該幫浦室收縮時，該流出側逆止閥容許從該幫浦室往該流出側流道的液體的流動，當該幫浦室膨脹 時，該流出側逆止閥阻止從該流出側流道往該幫浦室的液體的逆流；其中該流入側逆止閥與該流出側逆止閥的至少其中之一為申請專利範圍第1項所述之逆止閥。