JP3036297B2 - 自動搬送車両 - Google Patents
自動搬送車両Info
- Publication number
- JP3036297B2 JP3036297B2 JP5134965A JP13496593A JP3036297B2 JP 3036297 B2 JP3036297 B2 JP 3036297B2 JP 5134965 A JP5134965 A JP 5134965A JP 13496593 A JP13496593 A JP 13496593A JP 3036297 B2 JP3036297 B2 JP 3036297B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- vibration
- actuator
- transport vehicle
- electromagnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B13/00—Other railway systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60G—VEHICLE SUSPENSION ARRANGEMENTS
- B60G17/00—Resilient suspensions having means for adjusting the spring or vibration-damper characteristics, for regulating the distance between a supporting surface and a sprung part of vehicle or for locking suspension during use to meet varying vehicular or surface conditions, e.g. due to speed or load
- B60G17/015—Resilient suspensions having means for adjusting the spring or vibration-damper characteristics, for regulating the distance between a supporting surface and a sprung part of vehicle or for locking suspension during use to meet varying vehicular or surface conditions, e.g. due to speed or load the regulating means comprising electric or electronic elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
- B60P1/00—Vehicles predominantly for transporting loads and modified to facilitate loading, consolidating the load, or unloading
- B60P1/02—Vehicles predominantly for transporting loads and modified to facilitate loading, consolidating the load, or unloading with parallel up-and-down movement of load supporting or containing element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
- B60P1/00—Vehicles predominantly for transporting loads and modified to facilitate loading, consolidating the load, or unloading
- B60P1/04—Vehicles predominantly for transporting loads and modified to facilitate loading, consolidating the load, or unloading with a tipping movement of load-transporting element
- B60P1/045—Levelling or stabilising systems for tippers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61F—RAIL VEHICLE SUSPENSIONS, e.g. UNDERFRAMES, BOGIES OR ARRANGEMENTS OF WHEEL AXLES; RAIL VEHICLES FOR USE ON TRACKS OF DIFFERENT WIDTH; PREVENTING DERAILING OF RAIL VEHICLES; WHEEL GUARDS, OBSTRUCTION REMOVERS OR THE LIKE FOR RAIL VEHICLES
- B61F5/00—Constructional details of bogies; Connections between bogies and vehicle underframes; Arrangements or devices for adjusting or allowing self-adjustment of wheel axles or bogies when rounding curves
- B61F5/02—Arrangements permitting limited transverse relative movements between vehicle underframe or bolster and bogie; Connections between underframes and bogies
- B61F5/22—Guiding of the vehicle underframes with respect to the bogies
- B61F5/24—Means for damping or minimising the canting, skewing, pitching, or plunging movements of the underframes
- B61F5/245—Means for damping or minimising the canting, skewing, pitching, or plunging movements of the underframes by active damping, i.e. with means to vary the damping characteristics in accordance with track or vehicle induced reactions, especially in high speed mode
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B62—LAND VEHICLES FOR TRAVELLING OTHERWISE THAN ON RAILS
- B62D—MOTOR VEHICLES; TRAILERS
- B62D33/00—Superstructures for load-carrying vehicles
- B62D33/06—Drivers' cabs
- B62D33/0604—Cabs insulated against vibrations or noise, e.g. with elastic suspension
- B62D33/0608—Cabs insulated against vibrations or noise, e.g. with elastic suspension pneumatic or hydraulic suspension
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transportation (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム内におけ
るシリコンウェーハの搬送などに用いられる自動搬送車
両にかかり、特に、自動搬送車両の防振に関するもので
ある。
るシリコンウェーハの搬送などに用いられる自動搬送車
両にかかり、特に、自動搬送車両の防振に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】前記自動搬送車両を始めとする産業用の
無人車両は、一般にサスペンション機構を備えていない
ため、路面や軌道の凹凸による振動や衝撃を受けること
が避けられない。このため、上記クリーンルーム内の搬
送に用いられる自動搬送車両においては、被搬送物たる
半導体ウェーハなどが振動によってチッピングを生じぬ
よう、振動防止に対する配慮が必要になる。このような
用途に用いられる防振技術の従来例として、特開平４―
５９４６５号公報に記載されたものがある。この公報に
記載された従来の防振技術について説明する。
無人車両は、一般にサスペンション機構を備えていない
ため、路面や軌道の凹凸による振動や衝撃を受けること
が避けられない。このため、上記クリーンルーム内の搬
送に用いられる自動搬送車両においては、被搬送物たる
半導体ウェーハなどが振動によってチッピングを生じぬ
よう、振動防止に対する配慮が必要になる。このような
用途に用いられる防振技術の従来例として、特開平４―
５９４６５号公報に記載されたものがある。この公報に
記載された従来の防振技術について説明する。
【０００３】
図１５は第１従来例を示すものである。符号１は搬送
台車であって、この搬送台車１は台車本体１ａと荷台１
ｂとの間にばね要素としての防振ゴム２を設けた構造と
なっている。前記荷台１ｂ上に積載物３を積載してグレ
ーチング４の上を走行する場合に台車本体１ａに生じる
振動の振動周波数と振動伝達率（台車本体１ａの変位ｚ
0と積載物３の変位ｚとの比とは、図１６に示すような
関係となる。
図１５は第１従来例を示すものである。符号１は搬送
台車であって、この搬送台車１は台車本体１ａと荷台１
ｂとの間にばね要素としての防振ゴム２を設けた構造と
なっている。前記荷台１ｂ上に積載物３を積載してグレ
ーチング４の上を走行する場合に台車本体１ａに生じる
振動の振動周波数と振動伝達率（台車本体１ａの変位ｚ
0と積載物３の変位ｚとの比とは、図１６に示すような
関係となる。
【０００４】上記第１従来例のようなパッシブな制振方
式にあっては、図１６に示すように、図１５の振動系の
固有振動数より高い領域において、前記防振ゴム２の防
振作用により、台車１ａからの振動が遮断されている。
式にあっては、図１６に示すように、図１５の振動系の
固有振動数より高い領域において、前記防振ゴム２の防
振作用により、台車１ａからの振動が遮断されている。
【０００５】図１７は前記第１従来例を改良してなる第
２従来例を示すものである。この第２従来例は、アクチ
ュエータによって振動を抑制しようとするアクティブ方
式のものである。この従来例の搬送台車７の荷台１ｂに
は加速度センサ８が設けられ、台車１ａには荷台１ｂを
上昇、下降駆動するための電磁石９，１０が設けられて
いる。加速度センサ８に検出された加速度によって電磁
石９および１０を制御して台車１ａと荷台１ｂとの間に
吸引力あるいは反発力を作用させることにより、荷台１
ｂの振動を減衰させている。このフィードバック制御に
あっては、電磁石９および１０は、加速度センサ８によ
り検出された加速度信号を制御部１１において積分して
荷台１ｂの移動速度を算出し、この結果に基づいてそれ
ぞれの増幅部１２，１３の増幅率を制御することによ
り、その台車１ａと荷台１ｂとの相対的な動きが制御さ
れている。
２従来例を示すものである。この第２従来例は、アクチ
ュエータによって振動を抑制しようとするアクティブ方
式のものである。この従来例の搬送台車７の荷台１ｂに
は加速度センサ８が設けられ、台車１ａには荷台１ｂを
上昇、下降駆動するための電磁石９，１０が設けられて
いる。加速度センサ８に検出された加速度によって電磁
石９および１０を制御して台車１ａと荷台１ｂとの間に
吸引力あるいは反発力を作用させることにより、荷台１
ｂの振動を減衰させている。このフィードバック制御に
あっては、電磁石９および１０は、加速度センサ８によ
り検出された加速度信号を制御部１１において積分して
荷台１ｂの移動速度を算出し、この結果に基づいてそれ
ぞれの増幅部１２，１３の増幅率を制御することによ
り、その台車１ａと荷台１ｂとの相対的な動きが制御さ
れている。
【０００６】また、第３従来例として、前記第２従来例
の電磁石に代えてＤＣソレノイドを用いたものがある。
の電磁石に代えてＤＣソレノイドを用いたものがある。
【０００７】図１８は第４従来例を示すものである。こ
の第４従来例は、前記第２従来例の電磁石に代えてリニ
ア直流モータ１５を用いて積極的に振動を抑制するよう
にしたものである。前記リニア直流モータ１５は、可動
コイル１６と永久磁石１７とから構成されている。前記
リニア直流モータ１５は、搬送台車１４の荷台１ｂに設
けられた加速度センサ８に検出された加速度によって制
御されている。
の第４従来例は、前記第２従来例の電磁石に代えてリニ
ア直流モータ１５を用いて積極的に振動を抑制するよう
にしたものである。前記リニア直流モータ１５は、可動
コイル１６と永久磁石１７とから構成されている。前記
リニア直流モータ１５は、搬送台車１４の荷台１ｂに設
けられた加速度センサ８に検出された加速度によって制
御されている。
【０００８】図１９は第５実施例を示すものである。こ
の第５実施例は、台車１ａ側に一端が支持されら板ばね
１８を使用し、この板ばね１８の先端が、静止状態の荷
台１ｂの下面に当接するようになっている。前記板ばね
１８の表および裏面には圧電素子２３が貼付されてい
る。この圧電素子２３は、加速度センサ８に検出された
信号により制御される増幅部１３により駆動されるよう
になている。
の第５実施例は、台車１ａ側に一端が支持されら板ばね
１８を使用し、この板ばね１８の先端が、静止状態の荷
台１ｂの下面に当接するようになっている。前記板ばね
１８の表および裏面には圧電素子２３が貼付されてい
る。この圧電素子２３は、加速度センサ８に検出された
信号により制御される増幅部１３により駆動されるよう
になている。
【０００９】上記第２〜第５従来例に示されるようなア
クティブな制振技術の内、例えば第２従来例の電磁石を
用いることにより、図２１に示すような制振効果が得ら
れる。すなわち、防振ゴムを用いた第１従来例の場合、
図２０に示すように最大０．９ｍｍもの振幅となってい
るのに対して、第２従来例の場合、最大３０μｍの振幅
であり、したがって、振動が１／３０に抑制されている
ことが分かる。
クティブな制振技術の内、例えば第２従来例の電磁石を
用いることにより、図２１に示すような制振効果が得ら
れる。すなわち、防振ゴムを用いた第１従来例の場合、
図２０に示すように最大０．９ｍｍもの振幅となってい
るのに対して、第２従来例の場合、最大３０μｍの振幅
であり、したがって、振動が１／３０に抑制されている
ことが分かる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記第
２従来例〜第５従来例の技術は、垂直面内における振
動、具体的には上下移動、ピッチング、ローリングの３
つの自由度に関しては制振作用を発揮することができる
が、水平面内における振動、具体的には前後移動、左右
移動、およびヨーイングの３つの自由度に関しては制振
作用を行うことができない。
２従来例〜第５従来例の技術は、垂直面内における振
動、具体的には上下移動、ピッチング、ローリングの３
つの自由度に関しては制振作用を発揮することができる
が、水平面内における振動、具体的には前後移動、左右
移動、およびヨーイングの３つの自由度に関しては制振
作用を行うことができない。
【００１１】また、全ての方向へアクティブな制振を行
おうとすると、アクチュエータの数が多くなって全体の
機構が複雑になることが避けられない。
おうとすると、アクチュエータの数が多くなって全体の
機構が複雑になることが避けられない。
【００１２】さらに、ＤＣソレノイド、リニア直流モー
タ、圧電アクチュエータなどのアクチュエータを用いる
と、制動力の方向以外の方向への振動をリニアガイドな
どを介して台車から荷台へ伝達してしまい、新たな振動
を誘発するという問題がある。
タ、圧電アクチュエータなどのアクチュエータを用いる
と、制動力の方向以外の方向への振動をリニアガイドな
どを介して台車から荷台へ伝達してしまい、新たな振動
を誘発するという問題がある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項１の発明は、路面もしくは軌道に対して移動
自在な台車と、この台車上に弾性的に支持された荷台
と、前記荷台に生じる振動を検出するセンサと、該セン
サによって制御されて前記台車と荷台とを相対的に変位
させる少なくとも３個のアクチュエータと、該アクチュ
エータを前記センサに検出信号により制御する制御部と
からなる自動搬送車両において、前記アクチュエータの
作動方向は、前記台車を含む平面に対する鉛直線に対し
て傾斜した互いに異なる方向へ向けられ、前記センサ
は、前記複数のアクチュエータのそれぞれの変位方向へ
の振動を検出することを特徴とする。請求項２の発明
は、請求項１において、前記アクチュエータは、その作
用線を台車の重心を通る鉛直線と交差する方向へ向けて
互いに対称に二対設けられたことを特徴とする。請求項
３の発明は、請求項１において、前記アクチュエータ
は、その作用線を台車の重心を通る鉛直線と交差しない
方向へ向けて互いに対称に二対設けられたことを特徴と
する。請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかにお
いて、前記台車と荷台との間に設けられた第１の防振ゴ
ムによって前記荷台が弾性的に支持されたことを特徴と
する。請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかにお
いて、前記アクチュエータと前記荷台との間に第２の防
振ゴムが設けられたことを特徴とする。請求項６の発明
は、請求項１〜４のいずれかにおいて、アクチュエータ
として電磁石を用い、この電磁石の駆動電流を電磁石と
ターゲットとの間のギャップによって制御するようにし
たものである。
め、請求項１の発明は、路面もしくは軌道に対して移動
自在な台車と、この台車上に弾性的に支持された荷台
と、前記荷台に生じる振動を検出するセンサと、該セン
サによって制御されて前記台車と荷台とを相対的に変位
させる少なくとも３個のアクチュエータと、該アクチュ
エータを前記センサに検出信号により制御する制御部と
からなる自動搬送車両において、前記アクチュエータの
作動方向は、前記台車を含む平面に対する鉛直線に対し
て傾斜した互いに異なる方向へ向けられ、前記センサ
は、前記複数のアクチュエータのそれぞれの変位方向へ
の振動を検出することを特徴とする。請求項２の発明
は、請求項１において、前記アクチュエータは、その作
用線を台車の重心を通る鉛直線と交差する方向へ向けて
互いに対称に二対設けられたことを特徴とする。請求項
３の発明は、請求項１において、前記アクチュエータ
は、その作用線を台車の重心を通る鉛直線と交差しない
方向へ向けて互いに対称に二対設けられたことを特徴と
する。請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかにお
いて、前記台車と荷台との間に設けられた第１の防振ゴ
ムによって前記荷台が弾性的に支持されたことを特徴と
する。請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかにお
いて、前記アクチュエータと前記荷台との間に第２の防
振ゴムが設けられたことを特徴とする。請求項６の発明
は、請求項１〜４のいずれかにおいて、アクチュエータ
として電磁石を用い、この電磁石の駆動電流を電磁石と
ターゲットとの間のギャップによって制御するようにし
たものである。
【００１４】
【作用】上記構成によれば、センサに検出された振動に
基づいて各アクチュエータを制御して荷台を台車に対し
て相対的に移動させることにより、振動を打ち消すこと
ができる。また前記アクチュエータの作動方向が鉛直線
に対して傾斜して設けられているから、アクチュエータ
の変位の鉛直方向成分および水平方向成分により、鉛
直、水平の両方向へ荷台を変位させることができる。前
記アクチュエータによる変位が重心と交差する方向へ作
用するので、荷台が有する３軸方向および各軸回りの合
計６自由度の内、ヨーイング以外の振動を打ち消すこと
ができる。前記アクチュエータによる変位が重心からず
れた方向へ作用するので、荷台についての６つの自由度
の全てについて振動を打ち消すことができる。前記台車
と荷台との間に防振ゴムを設けることにより、パッシブ
な制振作用を行うことができる。前記アクチュエータと
荷台との間に防振ゴムを設けることにより、アクチュエ
ータの作動方向以外の方向への変位を可及的に減少させ
ることができる。また前記アクチュエータとして用いら
れる電磁石において、ギャップの変化に対応して励磁電
流を調整するようにしたから、荷台の移動に伴う制動力
の変化を補正して適正な制御能力を発揮することができ
る。
基づいて各アクチュエータを制御して荷台を台車に対し
て相対的に移動させることにより、振動を打ち消すこと
ができる。また前記アクチュエータの作動方向が鉛直線
に対して傾斜して設けられているから、アクチュエータ
の変位の鉛直方向成分および水平方向成分により、鉛
直、水平の両方向へ荷台を変位させることができる。前
記アクチュエータによる変位が重心と交差する方向へ作
用するので、荷台が有する３軸方向および各軸回りの合
計６自由度の内、ヨーイング以外の振動を打ち消すこと
ができる。前記アクチュエータによる変位が重心からず
れた方向へ作用するので、荷台についての６つの自由度
の全てについて振動を打ち消すことができる。前記台車
と荷台との間に防振ゴムを設けることにより、パッシブ
な制振作用を行うことができる。前記アクチュエータと
荷台との間に防振ゴムを設けることにより、アクチュエ
ータの作動方向以外の方向への変位を可及的に減少させ
ることができる。また前記アクチュエータとして用いら
れる電磁石において、ギャップの変化に対応して励磁電
流を調整するようにしたから、荷台の移動に伴う制動力
の変化を補正して適正な制御能力を発揮することができ
る。
【００１５】
【実施例】図１〜図４は本発明の第１実施例を示すもの
である。この実施例の自動搬送車両において、従来例と
共通部分には同一符号を付し、説明を簡略化する。
である。この実施例の自動搬送車両において、従来例と
共通部分には同一符号を付し、説明を簡略化する。
【００１６】自動搬送車両３０の台車１ａには、その四
隅の位置にそれぞれ支柱３２が設けられており、これら
の支柱３２によって荷台１ｂが支持されている。前記支
柱３２と荷台１ｂとの間には第１の防振ゴム３４がそれ
ぞれ設けられており、これらの防振ゴム３４によって荷
台１ｂが弾性的に支持されるようになっている。
隅の位置にそれぞれ支柱３２が設けられており、これら
の支柱３２によって荷台１ｂが支持されている。前記支
柱３２と荷台１ｂとの間には第１の防振ゴム３４がそれ
ぞれ設けられており、これらの防振ゴム３４によって荷
台１ｂが弾性的に支持されるようになっている。
【００１７】前記荷台１ｂの前後、および左右の位置に
は、それぞれアクチュエータ３６ａ〜３６ｄが設けられ
ている。図示の場合、前記アクチュエータとして、ヨー
クに１０００ターンの巻線が巻かれた馬蹄形の電磁石が
採用されている。一方、台車１ａの側には、前記各電磁
石３６ａ〜３６ｄの磁力の作用を受けるための強磁性体
からなる４個のターゲット３８がそれぞれ設けられてい
る。
は、それぞれアクチュエータ３６ａ〜３６ｄが設けられ
ている。図示の場合、前記アクチュエータとして、ヨー
クに１０００ターンの巻線が巻かれた馬蹄形の電磁石が
採用されている。一方、台車１ａの側には、前記各電磁
石３６ａ〜３６ｄの磁力の作用を受けるための強磁性体
からなる４個のターゲット３８がそれぞれ設けられてい
る。
【００１８】前記電磁石３６ａ〜３６ｄは、図３に示す
ように３６ａと３６ｂ、および、３６ｃと３６ｄがそれ
ぞれ線対称をなして配置されている。また各電磁石３６
ａ〜３６ｄは、図２に示すように、磁極面が斜め外方へ
広がるように傾けられ、しかも、その作用線が自動搬送
車両３０の重心を通る鉛直線と交差する方向へ向けられ
ている。すなわちアクチュエータとしての電磁石３６ａ
〜３６ｄの作動方向の傾斜は、図２に示すように前記台
車１ａを含む平面に対して垂直な方向に対してθ＝３０
°に設定されている。なお、電磁石３６ａ〜３６ｄをこ
のように傾けたことに対応し、前記ターゲット３８の端
面にも図示のように傾斜を設けることによって、電磁石
との間に一定の大きさのギャップδを有する平行な磁場
が形成されるようになっている。
ように３６ａと３６ｂ、および、３６ｃと３６ｄがそれ
ぞれ線対称をなして配置されている。また各電磁石３６
ａ〜３６ｄは、図２に示すように、磁極面が斜め外方へ
広がるように傾けられ、しかも、その作用線が自動搬送
車両３０の重心を通る鉛直線と交差する方向へ向けられ
ている。すなわちアクチュエータとしての電磁石３６ａ
〜３６ｄの作動方向の傾斜は、図２に示すように前記台
車１ａを含む平面に対して垂直な方向に対してθ＝３０
°に設定されている。なお、電磁石３６ａ〜３６ｄをこ
のように傾けたことに対応し、前記ターゲット３８の端
面にも図示のように傾斜を設けることによって、電磁石
との間に一定の大きさのギャップδを有する平行な磁場
が形成されるようになっている。
【００１９】前記電磁石３６ａ〜３６ｄにはそれぞれ加
速度センサ４０が設けられていて、各電磁石３６ａ〜３
６ｄの作動方向への加速度をそれぞれ検出するようにな
っている。またギャップδの変化は、渦電流式の変位検
出センサ４２によって検出されるようになっている。
速度センサ４０が設けられていて、各電磁石３６ａ〜３
６ｄの作動方向への加速度をそれぞれ検出するようにな
っている。またギャップδの変化は、渦電流式の変位検
出センサ４２によって検出されるようになっている。
【００２０】上記搬送車両にあっては、車両のヨーイン
グを除く５自由度の振動に基づく各アクチュエータの方
向への振動が加速度センサ４０に検出される。そして、
それぞれで検出された加速度を後述する制御装置（図４
の符号１００）において積分することによってそれぞれ
のアクチュエータの方向への振動速度を得、これによっ
てアクチュエータ３６ａ〜３６ｄを構成する電磁石の駆
動電流を個々に制御することにより、前記５自由度につ
いて振動を減少させることができる。
グを除く５自由度の振動に基づく各アクチュエータの方
向への振動が加速度センサ４０に検出される。そして、
それぞれで検出された加速度を後述する制御装置（図４
の符号１００）において積分することによってそれぞれ
のアクチュエータの方向への振動速度を得、これによっ
てアクチュエータ３６ａ〜３６ｄを構成する電磁石の駆
動電流を個々に制御することにより、前記５自由度につ
いて振動を減少させることができる。
【００２１】また、前記変位検出センサ４２に検出され
た変位に基づき、ギャップδの変化による電磁石の駆動
力の変化が補償されるようになっている。すなわち、ギ
ャップδが大きい場合には、前記加速度によるフィード
バック制御における駆動電流の値を増加させるべく補償
し、ギャップδが小さい場合には、前記駆動電流を減少
させるべく補償している。
た変位に基づき、ギャップδの変化による電磁石の駆動
力の変化が補償されるようになっている。すなわち、ギ
ャップδが大きい場合には、前記加速度によるフィード
バック制御における駆動電流の値を増加させるべく補償
し、ギャップδが小さい場合には、前記駆動電流を減少
させるべく補償している。
【００２２】上記制御系の制御ブロック図は図４に示す
通りである。なお同図には制御装置１００のうち１個の
アクチュエータ３６ｉの制御にかかる部分のみが図示さ
れている。各電磁石３６ｉに取り付けられた加速度セン
サ４０ｉから供給される電磁石３６ｉの作用方向への加
速度信号αは、加速度センサゲインＫaが乗じられた
後、Ｔs／（１＋Ｔs）なる演算によってＤＣ成分がカッ
トされるとともに、ＫI／ｓなる演算によって積分され
て速度信号ｖiとされる。
通りである。なお同図には制御装置１００のうち１個の
アクチュエータ３６ｉの制御にかかる部分のみが図示さ
れている。各電磁石３６ｉに取り付けられた加速度セン
サ４０ｉから供給される電磁石３６ｉの作用方向への加
速度信号αは、加速度センサゲインＫaが乗じられた
後、Ｔs／（１＋Ｔs）なる演算によってＤＣ成分がカッ
トされるとともに、ＫI／ｓなる演算によって積分され
て速度信号ｖiとされる。
【００２３】一方、変位検出センサ４２ｉから供給され
る電磁石３６ｉとターゲット３８との間のギャップδi
は、ギャップセンサゲインＫδが乗じられるとともに、
制御系に対応する出力とするためのゲインＫpが乗じら
れてギャップ測定値ｓiとして出力される。
る電磁石３６ｉとターゲット３８との間のギャップδi
は、ギャップセンサゲインＫδが乗じられるとともに、
制御系に対応する出力とするためのゲインＫpが乗じら
れてギャップ測定値ｓiとして出力される。
【００２４】前記速度信号ｖiおよびギャップ測定値δi
は、それぞれ演算器５０ｉへ入力される。そして、演算
器５０iによりギャップ測定値δiから速度信号ｖiが減
算され、この減算結果がパワーアンプ５２ｉにより増幅
された後、電磁石３６ｉを駆動する。このように本実施
例における制御装置１００は、電磁石３６iの加速度を
電磁石３６iへフィードバックするフィードバックルー
プと、電磁石３６iおよびターゲット３８間のギャップ
を電磁石３６iへフィードバックするフィードバックル
ープとを保有している。加速度のフィードバックについ
ては、ギャップが小さくなる方向への運動に対しては、
その速度に応じて駆動電圧を減少させるべく制御が行わ
れる。また、ギャップのフィードバックについては、ギ
ャップが小さくなる方向への移動により、これに伴う吸
引力の増大を補償すべく、ギャップの大きさに応じて駆
動電圧を減少させる方向へ制御が行われるため、ギャッ
プの変化による電磁石の駆動力の変化が補正される。
は、それぞれ演算器５０ｉへ入力される。そして、演算
器５０iによりギャップ測定値δiから速度信号ｖiが減
算され、この減算結果がパワーアンプ５２ｉにより増幅
された後、電磁石３６ｉを駆動する。このように本実施
例における制御装置１００は、電磁石３６iの加速度を
電磁石３６iへフィードバックするフィードバックルー
プと、電磁石３６iおよびターゲット３８間のギャップ
を電磁石３６iへフィードバックするフィードバックル
ープとを保有している。加速度のフィードバックについ
ては、ギャップが小さくなる方向への運動に対しては、
その速度に応じて駆動電圧を減少させるべく制御が行わ
れる。また、ギャップのフィードバックについては、ギ
ャップが小さくなる方向への移動により、これに伴う吸
引力の増大を補償すべく、ギャップの大きさに応じて駆
動電圧を減少させる方向へ制御が行われるため、ギャッ
プの変化による電磁石の駆動力の変化が補正される。
【００２５】上記のような制御により、荷台１ｂについ
て、ＸＹ方向（前後左右）への振動（スウェイ）、Ｚ方
向（上下方向）への振動（バウンシング）、Ｘ軸周りの
回転（ローリング）、Ｙ軸まわりの回転（ピッチン
グ）、Ｚ軸まわりの回転（ヨーイング）のうち、ヨーイ
ングを除く他の５自由度について振動を抑制することが
できる。
て、ＸＹ方向（前後左右）への振動（スウェイ）、Ｚ方
向（上下方向）への振動（バウンシング）、Ｘ軸周りの
回転（ローリング）、Ｙ軸まわりの回転（ピッチン
グ）、Ｚ軸まわりの回転（ヨーイング）のうち、ヨーイ
ングを除く他の５自由度について振動を抑制することが
できる。
【００２６】各制御要素の具体例は図１〜図４に図示さ
れるものに限定されず、例えば加速度センサに代えて、
台車１ａと荷台１ｂとの相対変位を検出する変位センサ
を設けるとともに、得られるデータの特性に応じた演算
を制御装置に行わせればよい。
れるものに限定されず、例えば加速度センサに代えて、
台車１ａと荷台１ｂとの相対変位を検出する変位センサ
を設けるとともに、得られるデータの特性に応じた演算
を制御装置に行わせればよい。
【００２７】またアクチュエータとして、前記電磁石に
代えて、リニアガイド機能を有するＤＣソレノイド、リ
ニア直流モータ、圧電アクチュエータなどを用いるよう
にしてもよい。
代えて、リニアガイド機能を有するＤＣソレノイド、リ
ニア直流モータ、圧電アクチュエータなどを用いるよう
にしてもよい。
【００２８】上記のようなアクティブな振動制御を行な
った場合と、振動制御を行わない防振ゴムのみによるパ
ッシブな制振の場合とにおける振動の制御実験の結果
は、図５〜図９、および図１０に示す通りである。これ
らの図において破線は非制御時の、実線は制御時の振動
伝達率をそれぞれ示している。図５は上下方向移動（バ
ウンシング）、図６は前後方向回転（ピッチング）、図
７は左右方向回転（ローリング）、図８は前後方向移動
（スウェイ）をそれぞれ示している。なお図６では、前
後回転の振動のほか、上下方向への振動の影響を受ける
ため、非制御時にそれぞれの固有振動に基づき二つのピ
ークが検出されている。また図７においても、左右回転
の振動のほか、上下方向への振動の影響を受けるため、
非制御時にそれぞれの固有振動に基づき二つのピークが
検出されている。また、実験においては、電磁石のコイ
ルに０．５Ａの電流を流した場合にギャップδが３ｍｍ
となるように初期ギャップを調整した。また、この場合
の定常吸引力は２５Ｎであった。このような条件におい
て荷台の質量４７．５ｋｇに対する制振効果を実験し
た。
った場合と、振動制御を行わない防振ゴムのみによるパ
ッシブな制振の場合とにおける振動の制御実験の結果
は、図５〜図９、および図１０に示す通りである。これ
らの図において破線は非制御時の、実線は制御時の振動
伝達率をそれぞれ示している。図５は上下方向移動（バ
ウンシング）、図６は前後方向回転（ピッチング）、図
７は左右方向回転（ローリング）、図８は前後方向移動
（スウェイ）をそれぞれ示している。なお図６では、前
後回転の振動のほか、上下方向への振動の影響を受ける
ため、非制御時にそれぞれの固有振動に基づき二つのピ
ークが検出されている。また図７においても、左右回転
の振動のほか、上下方向への振動の影響を受けるため、
非制御時にそれぞれの固有振動に基づき二つのピークが
検出されている。また、実験においては、電磁石のコイ
ルに０．５Ａの電流を流した場合にギャップδが３ｍｍ
となるように初期ギャップを調整した。また、この場合
の定常吸引力は２５Ｎであった。このような条件におい
て荷台の質量４７．５ｋｇに対する制振効果を実験し
た。
【００２９】この実験は、自由落下を利用して台車に衝
撃を与えることにより生じる振動により行われた。定盤
上に防振マットを敷き、その上に実験装置を設置し、台
車に相当するばね下のベース部分の一方を持ち上げ、自
由落下させることによってインパルス状の振動を加え
た。また、ばね下とばね上の同じ位置に測定用の加速度
センサを取り付けて振動を測定した。
撃を与えることにより生じる振動により行われた。定盤
上に防振マットを敷き、その上に実験装置を設置し、台
車に相当するばね下のベース部分の一方を持ち上げ、自
由落下させることによってインパルス状の振動を加え
た。また、ばね下とばね上の同じ位置に測定用の加速度
センサを取り付けて振動を測定した。
【００３０】図１０（ａ）（ｂ）から明かなように、非
制御状態では、台車部分に発生したインパルス状の加速
度により、荷台に振動が生じている。このようにして生
じる無制御状態における振動を測定すると、図５〜図８
に破線で示すような結果が得られた。これらの結果よ
り、図中の最大振幅の部分に相当する固有振動数より十
分に大きな周波数の領域では防振ゴムのみによっても良
好な防止効果が得られることが分かる。
制御状態では、台車部分に発生したインパルス状の加速
度により、荷台に振動が生じている。このようにして生
じる無制御状態における振動を測定すると、図５〜図８
に破線で示すような結果が得られた。これらの結果よ
り、図中の最大振幅の部分に相当する固有振動数より十
分に大きな周波数の領域では防振ゴムのみによっても良
好な防止効果が得られることが分かる。
【００３１】また振動制御を行った場合には、図１０
（ｃ）（ｄ）に示すように、台車部分に発生したインパ
ルス状の加速度（図１０（ａ）と同様）による振動が荷
台において減衰する。防振ゴムのみの場合に生じていた
二つの固有モードの振動が減衰するとともに、加振直後
のピークが減少している。
（ｃ）（ｄ）に示すように、台車部分に発生したインパ
ルス状の加速度（図１０（ａ）と同様）による振動が荷
台において減衰する。防振ゴムのみの場合に生じていた
二つの固有モードの振動が減衰するとともに、加振直後
のピークが減少している。
【００３２】このようにして生じる振動を分析すると、
図５〜図８に実線で示すような結果が得られた。これら
の結果より、固有振動数付近でピークを呈していた伝達
関数のゲイン特性が、２０〜３０ｄＢ低下していること
が分かる。すなわち、共振による過大な振動の発生が抑
制されている。
図５〜図８に実線で示すような結果が得られた。これら
の結果より、固有振動数付近でピークを呈していた伝達
関数のゲイン特性が、２０〜３０ｄＢ低下していること
が分かる。すなわち、共振による過大な振動の発生が抑
制されている。
【００３３】さらに、積載量の変化に対する制振性能の
変化を調べるために、荷台上に１３．５ｋｇの荷重を追
加して同様の実験を行った。積載荷重の増加によってギ
ャップδが３ｍｍから２．７ｍｍに減少すると、ギャッ
プ変化に対するフィードバック制御により、定常電流が
０．５Ａから０．３７Ａに減少した。
変化を調べるために、荷台上に１３．５ｋｇの荷重を追
加して同様の実験を行った。積載荷重の増加によってギ
ャップδが３ｍｍから２．７ｍｍに減少すると、ギャッ
プ変化に対するフィードバック制御により、定常電流が
０．５Ａから０．３７Ａに減少した。
【００３４】この場合の伝達関数は図９に示す通りであ
る。この図から明かなように、荷重を追加した場合にも
固有振動数付近のピークがなくなり、共振現象が抑制さ
れている。なお、ばね上の質量が小さい場合に比べる
と、定常電流が小さいため、制御効果が小さくなってい
る。
る。この図から明かなように、荷重を追加した場合にも
固有振動数付近のピークがなくなり、共振現象が抑制さ
れている。なお、ばね上の質量が小さい場合に比べる
と、定常電流が小さいため、制御効果が小さくなってい
る。
【００３５】なお前記第１実施例における電磁石に代え
て前述のリニアガイド機能を有するアクチュエータを用
いる場合、制御力方向以外への振動伝達を遮断するた
め、例えば、図１１の第２実施例に示すような構造を採
用することが望ましい。
て前述のリニアガイド機能を有するアクチュエータを用
いる場合、制御力方向以外への振動伝達を遮断するた
め、例えば、図１１の第２実施例に示すような構造を採
用することが望ましい。
【００３６】図１１は前述のアクチュエータを採用して
なる第２実施例の要部を示すものである。この実施例で
は、アクチュエータ３６の作動部と荷台１ｂとの間に防
振ゴム５４を設けることにより、アクチュエータの作動
方向以外への振動の伝達が遮断されるようになってい
る。このような構成とすることにより、アクチュエータ
の制振動作に伴う二次的な振動の発生を防止することが
できる。
なる第２実施例の要部を示すものである。この実施例で
は、アクチュエータ３６の作動部と荷台１ｂとの間に防
振ゴム５４を設けることにより、アクチュエータの作動
方向以外への振動の伝達が遮断されるようになってい
る。このような構成とすることにより、アクチュエータ
の制振動作に伴う二次的な振動の発生を防止することが
できる。
【００３７】図１２〜図１４はは第３実施例を示すもの
である。この第３実施例は、前記第１実施例におけるア
クチュエータの配置を変更したものである。前記荷台１
ｂの前後、および左右の位置には、それぞれアクチュエ
ータ３６ｅ〜３６ｈが設けられている。なお、第３実施
例においても、第１実施例と同様の構成の電磁石がアク
チュエータとして採用されている。一方、台車１ａの側
には、前記各電磁石の磁力の作用を受けるための強磁性
体からなるターゲット３８がそれぞれ設けられている。
である。この第３実施例は、前記第１実施例におけるア
クチュエータの配置を変更したものである。前記荷台１
ｂの前後、および左右の位置には、それぞれアクチュエ
ータ３６ｅ〜３６ｈが設けられている。なお、第３実施
例においても、第１実施例と同様の構成の電磁石がアク
チュエータとして採用されている。一方、台車１ａの側
には、前記各電磁石の磁力の作用を受けるための強磁性
体からなるターゲット３８がそれぞれ設けられている。
【００３８】前記電磁石３６ａ〜３６ｄは、図１４に示
すように３６ｅと３６ｆ、および、３６ｇと３６ｈがそ
れぞれ荷台１ｂの重心を中心として点対称をなす位置に
配置されている。また各電磁石３６ｅ〜３６ｈは、図１
４に示すように、磁極面が斜め外方へ向けて傾けられ、
しかも、その作用線が自動搬送車両３０の重心を通る鉛
直線と交差しない方向へ向けられている。なおアクチュ
エータの傾斜角度は、図１４に示すように前記台車１ａ
を含む平面に対して垂直な方向に対してθ＝３０°に設
定されている。なお、電磁石３６ｅ〜３６ｈをこのよう
に傾けたことに対応し、前記ターゲット３８の端面にも
図示のように傾斜を設けることによって、電磁石との間
にギャップδを有する平行な磁場が形成されるようにな
っている。
すように３６ｅと３６ｆ、および、３６ｇと３６ｈがそ
れぞれ荷台１ｂの重心を中心として点対称をなす位置に
配置されている。また各電磁石３６ｅ〜３６ｈは、図１
４に示すように、磁極面が斜め外方へ向けて傾けられ、
しかも、その作用線が自動搬送車両３０の重心を通る鉛
直線と交差しない方向へ向けられている。なおアクチュ
エータの傾斜角度は、図１４に示すように前記台車１ａ
を含む平面に対して垂直な方向に対してθ＝３０°に設
定されている。なお、電磁石３６ｅ〜３６ｈをこのよう
に傾けたことに対応し、前記ターゲット３８の端面にも
図示のように傾斜を設けることによって、電磁石との間
にギャップδを有する平行な磁場が形成されるようにな
っている。
【００３９】各アクチュエータ３６ｅ〜３６ｈを前述の
ように配置することにより、各アクチュエータ３６ｅ〜
３６ｈの作用線が一点に交わることがなく、したがっ
て、４つのアクチュエータ３６ｅ〜３６ｈによって６自
由度のすべてについて制御することができる。
ように配置することにより、各アクチュエータ３６ｅ〜
３６ｈの作用線が一点に交わることがなく、したがっ
て、４つのアクチュエータ３６ｅ〜３６ｈによって６自
由度のすべてについて制御することができる。
【００４０】
【発明の効果】以上の説明で明かなように、本発明によ
れば、荷台に生じる振動の検出データにより、前記台車
と荷台とを相対的に変位させるための少なくとも３個の
アクチュエータを制御するとともに、前記アクチュエー
タの作動方向は、前記台車を含む平面に対する鉛直線に
対して傾斜した互いに異なる方向へ向けたものであるか
ら、最小限の数のアクチュエータを用いて、多くの自由
度に関する振動制御をアクティブに行うことができる。
前記アクチュエータの作用線を台車の重心を通る鉛直線
と交差する方向へ向けて互いに対称に二対設けることに
より、各対のアクチュエータのプッシュプル動作によっ
て、ヨーイングを除く他の方向への振動制御を行うこと
ができる。前記アクチュエータの作用線を台車の重心を
通る鉛直線と交差しない方向へ向けて互いに対称に二対
設けてこれらのアクチュエータを個々に制御することに
より６自由度のすべてについて振動を制御することがで
きる。さらに、前記台車と荷台との間に防振ゴムを設け
ることにより、固有振動数から離れた領域においてパッ
シブな制振作用を発揮することができる。また前記アク
チュエータと前記荷台との間に防振ゴムを設けることに
より、アクチュエータの動作に伴って発生する振動の荷
台への伝達を防止することができる。なお、アクチュエ
ータとして電磁石を用い、この電磁石の駆動電流を電磁
石とターゲットとの間のギャップによって制御すること
により、ギャップ変化に伴う電流と磁力との関係の変化
に対する補償を行なうことができる。
れば、荷台に生じる振動の検出データにより、前記台車
と荷台とを相対的に変位させるための少なくとも３個の
アクチュエータを制御するとともに、前記アクチュエー
タの作動方向は、前記台車を含む平面に対する鉛直線に
対して傾斜した互いに異なる方向へ向けたものであるか
ら、最小限の数のアクチュエータを用いて、多くの自由
度に関する振動制御をアクティブに行うことができる。
前記アクチュエータの作用線を台車の重心を通る鉛直線
と交差する方向へ向けて互いに対称に二対設けることに
より、各対のアクチュエータのプッシュプル動作によっ
て、ヨーイングを除く他の方向への振動制御を行うこと
ができる。前記アクチュエータの作用線を台車の重心を
通る鉛直線と交差しない方向へ向けて互いに対称に二対
設けてこれらのアクチュエータを個々に制御することに
より６自由度のすべてについて振動を制御することがで
きる。さらに、前記台車と荷台との間に防振ゴムを設け
ることにより、固有振動数から離れた領域においてパッ
シブな制振作用を発揮することができる。また前記アク
チュエータと前記荷台との間に防振ゴムを設けることに
より、アクチュエータの動作に伴って発生する振動の荷
台への伝達を防止することができる。なお、アクチュエ
ータとして電磁石を用い、この電磁石の駆動電流を電磁
石とターゲットとの間のギャップによって制御すること
により、ギャップ変化に伴う電流と磁力との関係の変化
に対する補償を行なうことができる。
【図１】本発明の搬送車両の第１実施例の正面図であ
る。
る。
【図２】図１の搬送車両の側面図である。
【図３】図１の搬送車両の平面図である。
【図４】図１の搬送車両の制御ブロック図である。
【図５】第１実施例における振動減衰実験の結果を示す
図表である。
図表である。
【図６】第１実施例における振動減衰実験の結果を示す
図表である。
図表である。
【図７】第１実施例における振動減衰実験の結果を示す
図表である。
図表である。
【図８】第１実施例における振動減衰実験の結果を示す
図表である。
図表である。
【図９】第１実施例における振動減衰実験の結果を示す
図表である。
図表である。
【図１０】第１実施例における振動減衰実験結果を示す
図表である。
図表である。
【図１１】第２実施例の要部の正面図である。
【図１２】本発明の搬送車両の第３実施例の正面図であ
る。
る。
【図１３】図１２の搬送車両の側面図である。
【図１４】図１２の搬送車両の平面図である。
【図１５】第１従来例の搬送車両の正面図である。
【図１６】図１５の装置の振動特性を示す図表である。
【図１７】第２従来例の搬送車両の正面図である。
【図１８】第３従来例の搬送車両の正面図である。
【図１９】第４従来例の搬送車両の正面図である。
【図２０】従来例の搬送車両における非制御時の振動特
性を示す図表である。
性を示す図表である。
【図２１】従来例の搬送車両における制御時の振動特性
を示す図表である。
を示す図表である。
１ａ 台車 １ｂ 荷台 ３０ 自動搬
送車両 ３４ 防振ゴム ３６ａ〜３６ｈ アクチュエータ ３８ ターゲット ４０ 加速度センサ ４２ 変位センサ ５４ 防振ゴム
送車両 ３４ 防振ゴム ３６ａ〜３６ｈ アクチュエータ ３８ ターゲット ４０ 加速度センサ ４２ 変位センサ ５４ 防振ゴム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｂ６１Ｄ 45/00 Ｂ６１Ｄ 45/00 Ｄ (56)参考文献 特開 平４−59465（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−370950（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−111334（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−171841（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−334655（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B61D 27/00 B61B 13/00
Claims (6)
- 【請求項１】 路面もしくは軌道に対して移動自在な台
車と、この台車上に弾性的に支持された荷台と、前記荷
台に生じる振動を検出するセンサと、該センサによって
制御されて前記台車と荷台とを相対的に変位させる少な
くとも３個のアクチュエータと、該アクチュエータを前
記センサの検出信号により制御する制御部とからなる自
動搬送車両において、前記アクチュエータの作動方向
は、前記台車が移動する平面に対する鉛直線に対して傾
斜しかつ互いに異なる方向へ向けられ、前記センサは、
前記複数のアクチュエータのそれぞれの作動方向への振
動を検出することを特徴とする自動搬送車両。 - 【請求項２】 前記アクチュエータは、その作用線が前
記台車の重心を通る鉛直線と交差する方向へ向けられた
互いに対称な二対からなることを特徴とする請求項１の
自動搬送車両。 - 【請求項３】 前記アクチュエータは、その作用線が前
記台車の重心を通る鉛直線と交差しない方向へ向けられ
た互いに対称な二対からなることを特徴とする請求項１
の自動搬送車両。 - 【請求項４】 前記台車と荷台との間に設けられた第１
の防振ゴムによって前記荷台が弾性的に支持されたこと
を特徴とする請求項１〜３のいずれか一に記載の自動搬
送車両。 - 【請求項５】 前記アクチュエータと前記荷台との間に
第２の防振ゴムが設けられたことを特徴とする請求項１
〜４のいずれか一に記載の自動搬送車両。 - 【請求項６】 前記アクチュエータは台車と荷台とのい
ずれか一方に設けられて他方へ磁力を作用させる電磁石
からなり、前記制御部は、電磁石とその磁力が作用する
対象であるターゲットとの間の距離の測定値によって電
磁石の駆動電流を補正することを特徴とする請求項１〜
５のいずれか一に記載の自動搬送車両。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5134965A JP3036297B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 自動搬送車両 |
| TW086203852U TW365936U (en) | 1993-06-04 | 1994-03-31 | Automatic cargo transport car |
| MYPI94001393A MY111895A (en) | 1993-06-04 | 1994-06-02 | Automatic transport vehicle |
| US08/252,912 US5487533A (en) | 1993-06-04 | 1994-06-02 | Automatic transport vehicle with three-axis motion sensing and vibration damping |
| EP94401230A EP0627573B1 (en) | 1993-06-04 | 1994-06-03 | Automatic transport vehicle |
| DE69408597T DE69408597T2 (de) | 1993-06-04 | 1994-06-03 | Automatisches Transportfahrzeug |
| KR1019940012488A KR100347193B1 (ko) | 1993-06-04 | 1994-06-03 | 자동반송차량 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5134965A JP3036297B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 自動搬送車両 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06344906A JPH06344906A (ja) | 1994-12-20 |
| JP3036297B2 true JP3036297B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=15140733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5134965A Expired - Fee Related JP3036297B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | 自動搬送車両 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5487533A (ja) |
| EP (1) | EP0627573B1 (ja) |
| JP (1) | JP3036297B2 (ja) |
| KR (1) | KR100347193B1 (ja) |
| DE (1) | DE69408597T2 (ja) |
| MY (1) | MY111895A (ja) |
| TW (1) | TW365936U (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6276219B1 (en) * | 1996-03-01 | 2001-08-21 | Jung Heinrich Ag | Motion controller for a motor-driven, pole-conducted transportation truck or trolley |
| WO1997038242A1 (fr) * | 1996-04-08 | 1997-10-16 | Delta Tooling Co., Ltd. | Ressort magnetique dote de caracteristiques d'amortissement et mecanisme vibratoire equipe de ce type de ressort |
| US5811821A (en) * | 1996-08-09 | 1998-09-22 | Park Scientific Instruments | Single axis vibration reducing system |
| JP3725272B2 (ja) * | 1996-12-27 | 2005-12-07 | 株式会社デルタツーリング | 振動発生機構 |
| JPH1130274A (ja) * | 1997-05-15 | 1999-02-02 | Delta Tsuuring:Kk | 磁気バネを有する振動機構 |
| KR100281474B1 (ko) | 1997-05-16 | 2001-02-01 | 후지타 히토시 | 자기스프링을구비한에너지출력기구 |
| JP2002122179A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-04-26 | Ebara Corp | 除振装置及びその制御方法 |
| JP3388238B2 (ja) * | 2001-04-19 | 2003-03-17 | 日本トレクス株式会社 | 鉄道貨物輸送用収容体 |
| JP4143438B2 (ja) * | 2003-02-24 | 2008-09-03 | キヤノン株式会社 | 支持装置、露光装置、デバイス製造方法 |
| KR100494805B1 (ko) * | 2003-07-30 | 2005-06-13 | 현대자동차주식회사 | 비대칭 가변강성을 갖는 차량용 마운트 장치 |
| AT502141A1 (de) * | 2004-10-21 | 2007-01-15 | Siemens Transportation Systems | Aktive schwingungsreduktion an schienenfahrzeugen |
| DK1748216T3 (en) * | 2005-07-25 | 2015-07-27 | Gen Electric | Suspension System |
| US20120192524A1 (en) * | 2009-10-05 | 2012-08-02 | Rick Streett | Water bagging system |
| US20110094546A1 (en) * | 2009-10-23 | 2011-04-28 | John Valcore | System and method for wafer carrier vibration reduction |
| JP6274139B2 (ja) * | 2015-03-21 | 2018-02-07 | トヨタ自動車株式会社 | 車両の制振制御装置 |
| JP6706974B2 (ja) * | 2016-06-14 | 2020-06-10 | 株式会社堀内機械 | アクティブ制振装置およびアクティブ制振装置の制御方法 |
| US11518288B2 (en) * | 2019-10-25 | 2022-12-06 | Caterpillar Inc. | Rocker support insert |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB665079A (en) * | 1949-02-21 | 1952-01-16 | Lord Mfg Co | Improvements in resilient mounting systems |
| US2685425A (en) * | 1949-02-21 | 1954-08-03 | Lord Mfg Co | Mounting system |
| US4265328A (en) * | 1979-04-18 | 1981-05-05 | Rowa Jan Erik | Device for resiliently supporting a driver's compartment, particularly in heavy-duty trucks |
| EP0114757B1 (en) * | 1983-01-21 | 1990-08-08 | Group Lotus Plc | Vehicle suspension system |
| JPH01131354A (ja) * | 1987-08-27 | 1989-05-24 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 精密除振装置 |
| JPS6469839A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Showa Electric Wire & Cable Co | Precision vibration absorbing bed |
| US4848525A (en) * | 1987-11-02 | 1989-07-18 | The Boeing Company | Dual mode vibration isolator |
| JPH02190640A (ja) * | 1989-01-18 | 1990-07-26 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 精密除振装置 |
| US4969662A (en) * | 1989-06-08 | 1990-11-13 | Aura Systems, Inc. | Active damping system for an automobile suspension |
| JPH044338A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-08 | Sharp Corp | 振動防止装置 |
| JP2663683B2 (ja) * | 1990-06-29 | 1997-10-15 | 神鋼電機株式会社 | 搬送台車の除振装置 |
| FR2680848B1 (fr) * | 1991-08-29 | 1995-03-17 | Aerospatiale Ste Nat Indle | Procede et dispositif pour filtrer les excitations vibratoires transmises entre deux pieces, notamment entre le rotor et le fuselage d'un helicoptere. |
-
1993
- 1993-06-04 JP JP5134965A patent/JP3036297B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-03-31 TW TW086203852U patent/TW365936U/zh unknown
- 1994-06-02 MY MYPI94001393A patent/MY111895A/en unknown
- 1994-06-02 US US08/252,912 patent/US5487533A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-06-03 KR KR1019940012488A patent/KR100347193B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-06-03 DE DE69408597T patent/DE69408597T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-06-03 EP EP94401230A patent/EP0627573B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69408597D1 (de) | 1998-04-02 |
| JPH06344906A (ja) | 1994-12-20 |
| KR950000492A (ko) | 1995-01-03 |
| MY111895A (en) | 2001-02-28 |
| KR100347193B1 (ko) | 2002-11-23 |
| EP0627573B1 (en) | 1998-02-25 |
| TW365936U (en) | 1999-08-01 |
| US5487533A (en) | 1996-01-30 |
| DE69408597T2 (de) | 1998-11-05 |
| EP0627573A1 (en) | 1994-12-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3036297B2 (ja) | 自動搬送車両 | |
| EP0767320B1 (en) | Vibration damping apparatus | |
| EP1304499A1 (en) | Vibration isolating device using magnetic levitating device | |
| CN112696454A (zh) | 一种具有主动负刚度的磁悬浮式准零刚度电磁隔振器 | |
| JP3350310B2 (ja) | ロボットアームのリニアアクチュエータ | |
| JP4157393B2 (ja) | 除振装置 | |
| US5601027A (en) | Positioning system with damped magnetic attraction stopping assembly | |
| JP4421130B2 (ja) | 除振方法およびその装置 | |
| JP2007188251A (ja) | ステージ装置 | |
| JP2000234646A (ja) | 除振装置 | |
| JP2522736B2 (ja) | 除振装置 | |
| JP2663683B2 (ja) | 搬送台車の除振装置 | |
| JP3042763B2 (ja) | 除振装置 | |
| JPH0469713A (ja) | 自走台車及び半導体製造ライン | |
| JP2668476B2 (ja) | 除振装置 | |
| JPH085194Y2 (ja) | 吊下式無振動搬送装置 | |
| JP2951488B2 (ja) | 除振装置 | |
| JP2010260677A (ja) | 磁気ガイド装置 | |
| JP4328859B2 (ja) | アクティブ除振装置 | |
| JPWO2007007580A1 (ja) | 除振装置及び除振方法 | |
| JPH01131354A (ja) | 精密除振装置 | |
| JPH0474053B2 (ja) | ||
| JP2000240720A (ja) | 可動質量体を備えた嫌振設備の除振装置 | |
| JPH06294444A (ja) | 除振装置 | |
| JPS62132047A (ja) | 移動体の衝撃緩衝装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000125 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 8 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090225 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |