JP2003195330A - 液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
ち一方の基板の液晶側の面に、並設される複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設される複数
のドレイン信号線とで囲まれた領域を画素領域とし、こ
れら各画素領域に、ゲート信号線からの走査信号によっ
て作動されるスイッチング素子と、このスイッチング素
子を介してドレイン信号線からの映像信号が供給される
画素電極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に対
して基準となる信号が供給される対向電極とが形成さ
れ、前記対向電極は、複数の絶縁層の積層体の下層に形
成され、前記対向電圧信号線は、非透光性の導電体から
なるとともに、前記複数の絶縁層の積層体の上層に形成
され、前記ゲート信号線およびドレイン信号線をも被っ
て格子状パターンをなし、その一部にて前記複数の絶縁
層の積層体に形成されたスルーホールを通して前記対向
電極に電気的に接続されている。
Description
り、特に横電界方式と称される液晶表示装置に関する。
液晶を介して対向配置される各基板の一方の基板の液晶
側の面の画素領域に画素電極とこの画素電極との間に電
界を発生せしめる対向電極とを備え、該電界のうち基板
とほぼ平行な成分によって液晶を挙動させる構成となっ
ている。
リクス型のものに適用させたものは、まず、前記一方の
基板の液晶側の面に、並設された複数のゲート信号線と
これら各ゲート信号線と交差するようにして並設された
複数のドレイン信号線とで囲まれた各領域を前記画素領
域としている。
線からの走査信号によって作動する薄膜トランジスタ
と、この薄膜トランジスタを介してドレイン信号線から
の映像信号が供給される前記画素電極と、該映像信号に
対して基準となる信号が供給される前記対向電極とが備
えられている。
方向に延在する帯状のパターンとして形成され、それら
各電極は2個あるいはそれ以上の個数で形成して交互に
配置させるのが通常である。
をドレイン信号線をも被って形成される絶縁膜の上面に
形成させるとともに、該ドレイン信号線とその中心軸を
ほぼ一致させ該ドレイン信号線の幅よりも大きな幅を有
して該ドレイン信号線に沿って形成された構成のものも
知られている。
の対向電極に終端させやすくし、画素電極に終端させる
のを防止するためである。画素電極に該電気力線が終端
するとそれがノイズとなってしまうからである。
うな構成からなる液晶表示装置は、対向電極に信号を供
給する対向電圧信号線を必要とし、それが画素領域内を
走行して配置させるために画素領域のいわゆる開口率を
向上させる妨げとなっていたという不都合があった。
を介して配置されることが多く、それらの電気的接続は
該絶縁層に形成した小さなスルーホールを通して行なう
ため、該接続のさらなる信頼性が望まれていた。近年に
おける高精細化の傾向に伴うものである。
れたもので、その目的は画素領域の開口率を向上させた
液晶表示装置を提供することにある。
向電圧信号線の信頼性ある接続を図った液晶表示装置を
提供することにある。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。 手段1.本発明による液晶表示装置は、たとえば、液晶
を介して対向配置される各基板のうち一方の基板の液晶
側の面に、並設される複数のゲート信号線とこれらゲー
ト信号線に交差して並設される複数のドレイン信号線と
で囲まれた領域を画素領域とし、これら各画素領域に、
ゲート信号線からの走査信号によって作動されるスイッ
チング素子と、このスイッチング素子を介してドレイン
信号線からの映像信号が供給される画素電極と、対向電
圧信号線を介して前記映像信号に対して基準となる信号
が供給される対向電極とが形成され、前記対向電極は、
複数の絶縁層の積層体の下層に形成され、前記対向電圧
信号線は、非透光性の導電体からなるとともに、前記複
数の絶縁層の積層体の上層に形成され、前記ゲート信号
線およびドレイン信号線をも被って格子状パターンをな
し、その一部にて前記複数の絶縁層の積層体に形成され
たスルーホールを通して前記対向電極に電気的に接続さ
れていることを特徴とするものである。
とえば、手段1の構成を前提として、前記対向電圧信号
線と対向電極との電気的接続は、前記複数の絶縁層の間
に形成された画素電極を構成する導電層と同時に形成さ
れる他の導電層を介してなされていることを特徴とする
ものである。
とえば、手段1の構成を前提として、前記対向電圧信号
線と対向電極との電気的接続は、前記複数の絶縁層の間
に形成されたドレイン信号線を構成する導電層と同時に
形成される他の導電層を介してなされていることを特徴
とするものである。
とえば、手段1ないし3のうちいずれかの構成を前提と
して、前記対向電圧信号線と対向電極との電気的接続は
2箇所あるいはそれ以上の個所でなされていることを特
徴とするものである。
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設される複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設される複数のドレ
イン信号線とで囲まれた領域を画素領域とし、これら各
画素領域に、ゲート信号線からの走査信号によって作動
されるスイッチング素子と、このスイッチング素子を介
してドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電
極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に対して基
準となる信号が供給される対向電極とが形成され、前記
対向電極は複数の絶縁層の積層体の下層に形成され、前
記画素電極は前記積層体の複数の絶縁層のうちの2つの
絶縁層の間に形成され前記ドレイン信号線の延在方向に
沿って延在され該方向に交差する方向に並設された複数
の電極群からなるとともに、前記対向電圧信号線は、非
透光性の導電体からなるとともに、前記複数の絶縁層の
積層体の上層に形成され、前記ゲート信号線およびドレ
イン信号線をも被って格子状パターンをなし、その一部
にて前記複数の絶縁層の積層体に形成されたスルーホー
ルを通して前記対向電極に電気的に接続されていること
を特徴とするものである。
とえば、手段5の構成を前提として、画素領域を平面的
に観た場合に、ドレイン信号線を被って形成された前記
対向電圧信号線とそれに隣接して配置される画素電極と
の間の距離は、互いに隣接して配置される画素電極との
間の距離よりも大きく設定されていることを特徴とする
ものである。
とえば、手段5、6のうちいずれかの構成を前提とし
て、画素領域を平面的に観た場合に、ドレイン信号線を
被って形成された前記対向電圧信号線とそれに隣接して
配置される画素電極との間の距離は、該対向電圧信号線
とそれに近接して配置される対向電極との間の距離より
も大きく設定されていることを特徴とするものである。
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設される複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設される複数のドレ
イン信号線とで囲まれた領域を画素領域とし、これら各
画素領域に、ゲート信号線からの走査信号によって作動
されるスイッチング素子と、このスイッチング素子を介
してドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電
極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に対して基
準となる信号が供給される対向電極とが形成され、前記
対向電圧信号線は、その表面が陽極化成されたAlある
いはその合金から構成されるとともに複数の絶縁層の積
層体の下層に形成され、前記対向電極は、透光性の導電
体からなるとともに、前記複数の絶縁層の積層体の上層
に形成され、前記ゲート信号線およびドレイン信号線を
も被って格子状パターンをなし、その一部にて前記複数
の絶縁層の積層体に形成されたスルーホールを通して前
記対向電圧信号線に容量結合されていることを特徴とす
るものである。
とえば、液晶を介して対向配置される各基板のうち一方
の基板の液晶側の面に、並設される複数のゲート信号線
とこれらゲート信号線に交差して並設される複数のドレ
イン信号線とで囲まれた領域を画素領域とし、これら各
画素領域に、ゲート信号線からの走査信号によって作動
されるスイッチング素子と、このスイッチング素子を介
してドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電
極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に対して基
準となる信号が供給される対向電極とが形成され、前記
対向電圧信号線は、その表面が陽極化成されたAlある
いはその合金から構成されるとともに複数の絶縁層の積
層体の下層に形成され、かつこの対向電圧信号線の少な
くとも一部の下層に該対向電圧信号線から露出された導
電材料層を備え、前記対向電極は、前記複数の絶縁層の
積層体の上層に形成され、前記ゲート信号線およびドレ
イン信号線をも被って格子状パターンをなし、その一部
にて前記複数の絶縁層の積層体に形成されたスルーホー
ルを通して前記導電材料層に電気的に接続されているこ
とを特徴とするものである。
たとえば、手段9の構成を前提として、対向電極は透光
性の導電層で構成されていることを特徴とするものであ
る。
たとえば、手段9、10のうちいずれかの構成を前提と
して、複数の絶縁層の前記積層体の2つの絶縁層の間に
ドレイン信号線が形成され、前記対向電極と導電材料層
との間に前記ドレイン信号線の材料と同一の材料層が介
在されていることを特徴とするものである。
本発明の技術思想を逸脱しない範囲で種々の変更が可能
である。
の実施例を図面を用いて説明をする。 実施例1. 《全体構成》図2は、本発明による液晶表示装置の一実
施例を示す全体構成図である。同図は等価回路図である
が、実際の幾何学的配置に対応させて描いている。
置される一対の透明基板SUB1、SUB2があり、該
液晶は一方の透明基板SUB1に対する他方の透明基板
SUB2の固定を兼ねるシール材SLによって封入され
ている。
透明基板SUB1の液晶側の面には、そのx方向に延在
しy方向に並設されたゲート信号線GLとy方向に延在
しx方向に並設されたドレイン信号線DLとが形成され
ている。
Lとで囲まれた領域は画素領域を構成するとともに、こ
れら各画素領域のマトリクス状の集合体は液晶表示部A
Rを構成するようになっている。
れぞれにはそれら各画素領域内に走行された共通の対向
電圧信号線CLが形成されている。この対向電圧信号線
CLは各画素領域の後述する対向電極CTに映像信号に
対して基準となる電圧を供給するための信号線となるも
のである。
GLからの走査信号によって作動される薄膜トランジス
タTFTと、この薄膜トランジスタTFTを介して片側
のドレイン信号線DLからの映像信号が供給される画素
電極PXが形成されている。
CLと接続された対向電極CTとの間に電界を発生さ
せ、この電界によって液晶の光透過率を制御させるよう
になっている。
前記シール材SLを超えて延在され、その延在端は垂直
走査駆動回路Vの出力端子が接続される端子を構成する
ようになっている。また、前記垂直走査駆動回路Vの入
力端子は液晶表示パネルの外部に配置されたプリント基
板からの信号が入力されるようになっている。
からなり、互いに隣接する複数のゲート信号線GLどお
しがグループ化され、これら各グループ毎に一個の半導
体装置があてがわれるようになっている。
れの一端は前記シール材SLを超えて延在され、その延
在端は映像信号駆動回路Heの出力端子が接続される端
子を構成するようになっている。また、前記映像信号駆
動回路Heの入力端子は液晶表示パネルの外部に配置さ
れたプリント基板からの信号が入力されるようになって
いる。
体装置からなり、互いに隣接する複数のドレイン信号線
DLどおしがグループ化され、これら各グループ毎に一
個の半導体装置があてがわれるようになっている。
側の端部で共通に接続され、その接続線はシール材SL
を超えて延在され、その延在端において端子CLTを構
成している。この端子CLTからは映像信号に対して基
準となる電圧が供給されるようになっている。
Vからの走査信号によって、その一つが順次選択される
ようになっている。
れには、映像信号駆動回路Heによって、前記ゲート信
号線GLの選択のタイミングに合わせて映像信号が供給
されるようになっている。
回路Vおよび映像信号駆動回路Heは透明基板SUB1
に搭載された半導体装置を示したものであるが、たとえ
ば透明基板SUB1とプリント基板との間を跨って接続
されるいわゆるテープキャリア方式の半導体装置であっ
てもよく、さらに、前記薄膜トランジスタTFTの半導
体層が多結晶シリコン(p−Si)から構成される場
合、透明基板SUB1面に前記多結晶シリコンからなる
半導体素子を配線層とともに形成されたものであっても
よい。
一実施例の構成を示す平面図である。また、図1(b)
は図1(a)のb−b線における断面図、図1(c)は
図1(a)のc−c線における断面図、図1(d)は図
1(a)のd−d線における断面図である。
の面に、まず、x方向に延在しy方向に並設される一対
のゲート信号線GLが形成されている。これらゲート信
号線GLは後述の一対のドレイン信号線DLとともに矩
形状の領域を囲むようになっており、この領域を画素領
域として構成するようになっている。
SUB1の表面には透光性の導電材からなる対向電極C
Tが該画素領域の周辺の僅かな領域を除く中央部に形成
されている。透光性の導電材としては、たとえば、ITO
(Indium Tin Oxide)、ITZO(Indium Tin Zinc Oxide)、I
ZO (Indium Zinc Oxide)、SnO2、In2O3等が用
いられる。
極CTが形成された透明基板SUB1の表面には該ゲー
ト信号線GL等をも被ってたとえばSiNからなる絶縁
膜GIが形成されている。
DLの形成領域においては前記ゲート信号線GLに対す
る層間絶縁膜としての機能を、後述の薄膜トランジスタ
TFTの形成領域においてはそのゲート絶縁膜としての
機能を有するようになっている。
前記ゲート信号線GLの一部に重畳するようにしてたと
えばアモルファスSiからなる半導体層ASが形成され
ている。
FTのそれであって、その上面にドレイン電極SD1お
よびソース電極SD2を形成することにより、ゲート信
号線の一部をゲート電極とする逆スタガ構造のMIS型ト
ランジスタを構成することができる。
ース電極SD2はドレイン信号線DLの形成の際に同時
に形成されるようになっている。
されるドレイン信号線DLが形成され、その一部が前記
半導体層ASの上面にまで延在されてドレイン電極SD
1が形成され、また、このドレイン電極SD1と薄膜ト
ランジスタTFTのチャネル長分だけ離間されてソース
電極SD2が形成されている。
に若干延在されて後述する画素電極PXとの電気的接続
を図るためのコンタクト部COTが形成されている。
ドレイン信号線DL、ドレイン電極SD1、およびソー
ス電極SD2をも被って保護膜PSV1が形成されてい
る。この保護膜PSV1はたとえばSiN膜等の無機材
料層からなり、後述の保護膜PSV2とともに、前記薄
膜トランジスタTFTの液晶との直接の接触を回避させ
るようになっている。該薄膜トランジスタTFTの液晶
との接触により特性が変化してしまうのを防止するため
である。
透光性の導電材で形成される画素電極PXが形成されて
いる。該透光性の導電材として、たとえば、ITO(Indium
TinOxide)、ITZO(Indium Tin Zinc Oxide)、IZO(Indiu
m Zinc Oxide)、SnO2、In2O3等が用いられ
る。
方向に延在しy方向に並設される多数の帯状の電極群か
ら構成されているが、各電極はその延在方向のほぼ中央
部に屈曲部を有する山型形状のパターンで形成されてい
る。
部(エッヂ)において前記対向電極CTとの間に電界を
生じせしめるようになっているが、上述のパターンとす
ることにより、いわゆるマルチドメイン方式を採用した
構成となっている。
でも、液晶表示パネルに入射する光の入射方向によって
透過光の偏光状態が変化するので、入射方向に対応して
光の透過率が異なってしまう。
視角方向に対し視点を斜めに傾けると、輝度の逆転現象
を引き起こすことになり、カラー表示の場合に画像が色
づくという表示特性を有する。
向に少なくとも一つの屈曲部を形成したパターンとし、
さらにこのパターンを平行にシフトした形状で対向電極
CTを形成し、これら各電極の屈曲点を結んだ仮想の線
を境にし一方の領域と他方の領域とで各電極間に作用す
る電界の方向を異ならしめ、これにより、視野角に依存す
る画像の色づきを補償するようにしている。
素領域のほぼ全域にわたって形成されたものであるが、
そのうち実際に対向電極として機能するのは上述したよ
うに画素電極PXを平行にシフトした部分となる。
互いに電気的に接続されるために周辺において同一の材
料で一体に形成されるようになっている。このことか
ら、画素電極PXは全体として画素領域の周辺の僅かな
領域を除く中央部に形成された導電層にそのx方向に延
在されy方向に並設された多数スリット(山形状スリッ
ト)を形成したパターンとして形成される。
の一部は前記保護膜PSV1に予め形成されたスルーホ
ールを通して前記薄膜トランジスタTFTのソース電極
SD2のコンタクト部COTに電気的接続がなされるよ
うになっている。
素電極PXをも被って保護膜PSV2が形成されてい
る。この保護膜PSV2はたとえば樹脂からなる有機材
料からなっている。
1とともに薄膜トランジスタTFTの液晶の直接の接触
を回避する保護膜PSVとして機能することは上述した
通りであるが、その材料として有機材料を用いることで
表面を平坦化でき、その上方面に形成する配向膜のラビ
ング性を良好にできる。
記対向電極CTに信号を供給するための対向電圧信号線
CLが形成されている。この対向電圧信号線CLは電気
抵抗の小さい材料が選定され、このことから金属等が用
いられている。
号線DLおよびゲート信号線GLを被うようにした格子
状パターンをなし、その開口部は画素領域の周辺の僅か
な部分を除いた中央部、すなわち実質的な画素領域を露
呈させるように形成されている。
信号線CLは、前記液晶表示部ARの周辺のうちいかな
る個所、および複数からでも対向電圧信号を供給するこ
とができる。このため、対向電圧信号線CLにおける対
向電圧信号の波形歪みを無くすことことができ、スメ
ア、輝度傾斜の発生を低減させることができる。
気抵抗、給電抵抗を小さくできることから、いわゆるコ
モン反転駆動において、横スメアを1/3以下に低減さ
せることができるようなる。
向に沿って被う対向電圧信号線CLはその中心軸をほぼ
一致させて該ドレイン信号線DLよりも幅が大きく形成
されている。これにより、ドレイン信号線DLからのノ
イズの原因となる電界を該対向電圧信号線CL側に終端
させ、画素電極PXに終端させにくくしている。
信号線CLとの間の寄生容量は、それらの間に介在され
る有機材料からなる保護膜PSV2によって大幅に低減
されるようになっている。このような保護膜PSV2は
誘電率が小さいからである。
向に沿って被う対向電圧信号線CLもその中心軸をほぼ
一致させて該ドレイン信号線DLよりも幅が大きく形成
されている。
ランジスタTFTも被うように形成されている。該対向
電圧信号線CLは非透光性の金属で形成され、該薄膜ト
ランジスタTFTに照射される外来光を遮光し、該薄膜
トランジスタTFTの特性劣化を防止できるからであ
る。
において画素電極PXの一部と重畳する領域を有するよ
うになっており、この領域において、保護膜PSV2を
誘電体膜とする容量素子Cstgが形成されている。
極PXに供給された映像信号を比較的長く蓄積させる等
の機能をもたせるようになっている。
れた透明基板SUB1の上面には該対向電極CTをも被
って配向膜(図示せず)が形成されている。この配向膜
は液晶と直接に当接する膜で、その表面に形成されたラ
ビングによって該液晶の分子の初期配向方向を決定づけ
るようになっている。
置される透明基板SUB2の液晶側の面には、カラーフ
ィルタが形成されている。このカラーフィルタはたとえ
ば赤(R)、緑(G)、青(B)の各色のフィルタからな
り、y方向に並設される各画素領域群にたとえば赤色の
フィルタが共通に形成され、該画素領域群にx方向に順
次隣接する画素領域群に共通に赤(R)色、緑(G)色、
青(B)色、赤(R)色、……、というような配列で形成さ
れている。
基板の表面にはこれらカラーフィルタをも被って平坦化
膜が形成されている。この平坦化膜は塗布によって形成
できる樹脂膜からなり、該カラーフィルタの形成によっ
て顕在化する段差をなくすために設けられる。
形成され、この配向膜は液晶と直接に当接する膜で、そ
の表面に形成されたラビングによって該液晶の分子の初
期配向方向を決定づけるようになっている。
2の液晶側の面にはブラックマトリクスが形成されてい
ない構成となっている。透明基板SUB1の液晶側の面
に形成された対向電圧信号線CLが該ブラックマトリク
スと同様の機能をもつようになるからである。これによ
り、透明基板SUB1に対する透明基板SUB2の合わ
せの精度を向上させることができるようになる。
装置の他の実施例を示す構成図で、図1(b)に対応し
た図となっている。
は、対向電極CTと対向電圧信号線CLとのスルーホー
ルTHを通しての接続において、画素電極PXを構成す
る材料層と同一の導電層CNLを介在させていることに
ある。
極PXを形成する際に、該保護膜PSV1に形成したス
ルーホールTH1を通して前記対向電極CTと接続され
る導電層を同時に形成し、その後、保護膜PSV2の上
面に形成された対向電圧信号線CLを該保護膜PSV2
に形成したスルーホールTH2を通して前記導電層に接
続させることによって構成できる。
電圧信号線CLとの接続部の接触面積の増大を図ること
ができ、接続を信頼性あるものとすることができる。
装置の他の実施例を示す構成図で、図3に対応した図と
なっている。
電極CTと対向電圧信号線CLとのスルーホールTHを
通しての接続において、ドレイン信号線DLを構成する
材料層と同一の導電層CNLを介在させていることにあ
る。
い、また、対向電圧信号線CLとしてたとえばAlある
いはその合金を用いた場合、それらの接続抵抗は大きく
なることから、前記ドレイン信号線DLとしてたとえば
Cr、Mo、W、他の高融点金属あるいはこれらを含む
合金等を用い、上述した構成とすることによって、対向
電極CTと対向電圧信号線CLとの接続抵抗の低減を図
った構成とすることができる。
装置の他の実施例を示す構成図で、図3に対応した図と
なっている。
膜PSV1および絶縁膜GIに形成するスルーホールT
H1と絶縁膜PSV2に形成するスルーホールTH2は
それらの中心軸を一致させることなく、それぞれ別な個
所に形成することにある。
護膜PSV2の表面は、保護膜PSV1および絶縁膜G
IのスルーホールTH1の形成個所においても平坦化さ
れるようになる。
凹陥部はスルーホールTH2のみとなるが、その深さは
比較的浅いことから、該保護膜PSV2の表面に形成さ
れる配向膜のラビング性を向上させることができる。
置の他の実施例を示す構成図で、図1(a)に対応する
図となっている。
は、対向電極CTと対向電圧信号線CLとの接続を図る
部分が1個のみならず2個設けられていることにある。
極CTと対向電圧信号線CLとの接続は保護膜PSV
2、PSV1、および絶縁膜GIの比較的多層である積
層体に形成されたスルーホールTHを通して行なわなけ
ればならないことから、接続不良の発生を回避するため
の冗長構成となっている。
のゲート信号線GLに近接させて形成し、他方のスルー
ホールは他方のゲート信号線GLに近接させて形成して
いる。
表示装置の他の実施例を示す平面図で、図1(a)と対
応した図となっている。また、図7(b)は図7(a)
のb−b線における断面図を示している。
画素電極PXにあり、この画素電極PXはy方向にほぼ
直線状に延在しx方向に並設された電極群から構成され
ていることにある。
素電極PXはその上下端で互いに接続された構成となっ
ている。
膜PSV2が形成され、この保護膜PSV2の上面にド
レイン信号線DLおよびゲート信号線GLを被って形成
される対向電圧信号線CLが形成されている。
号線CLの開口部の領域内に形成された各画素電極PX
のうちドレイン信号線DLに隣接する画素領域は該対向
電圧信号線CLにより近接させて配置でき、該対向電圧
信号線CLに対向電極CTの機能をもたせてそれらの間
に電界を発生せしめるようにできる。
開口部の領域において無駄な領域を形成することなく、
画素領域とすることができ、その開口率を向上させるこ
とができる。
はその上部に形成された対向電圧信号線DL側にほぼ集
中的に終端され、該対向電圧信号線CLの両側に放射状
に拡がってしまう分が減少することになる。このため、
該対向電圧信号線CLの近傍においても表示に寄与でき
る画素領域として構成できるからである。
り、図7(b)に対応する図である図8に示すように、
対向電圧信号線CLとそれに隣接する画素電極PXの距
離W1を各画素電極PXの間の距離W2に対して異なっ
た値に設定するようにできるようになる。このことは、
たとえば画素電極PXの本数が既に定められており、画
素領域間の距離を可変するような設定をするような場合
において、対向電圧信号線CLとそれに隣接する画素電
極PXの前記距離W1を調整することにより、最適な画
素構成を容易に実現することができる。
さな保護膜PSV2の上面に形成されているため、該対
向電圧信号線CLとそれに隣接する画素電極PXとの間
の電界強度は、対向電極CTと画素電極PXとの間の電
界の強度よりも大きくなる。このため、画素内の輝度均
一化を図るためには、W1>W2が望ましく、さらに前
記保護膜PSV2の膜厚をdとした場合、W1>W2+
dとすることが好ましい。
をより低減させるには、図8に示すようにW1>W3と
なるように設定することが望ましい。ここで、W3は対
向電圧信号線CLに近接して配置される対向電極CTと
の離間距離である。このように構成することによって、
ドレイン信号線DLからのノイズ電界は、同じ電位であ
る対向電圧信号線CLおよび対向電極CTのなす等電位
面に閉じ込められ、外部へのノイズ電界の漏出が抑制さ
れるからである。
号線DLに対してその走行方向に平行な辺がそれぞれ1
/3×W1以上にはみ出して形成することが好ましい。
極PXをその長手方向に一つあるいは複数の屈曲部を設
けることによってマルチドメイン方式を採用するように
してもよいことはもちろんである。この場合、これにと
もない、ドレイン信号線DLおよび対向電圧信号線CL
をも画素電極PXをx方向にシフトさせたように屈曲部
を有するパターンとすれば、上述した効果を奏すること
ができる。
表示装置の他の実施例を示す平面図で、図7(a)と対
応した図となっている。また、図9(b)は図9(a)
のb−b線における断面図を示している。
は、まず、画素電極PXが絶縁膜GI上にてドレイン信
号線DLと同層に形成されている。
号線DLをも被って保護膜PSV1、保護膜PSV2が
順次形成され、該保護膜PSV2の上面にドレイン信号
線DLおよびゲート信号線GLをも被って格子状パター
ンの対向電極CTが形成されている。
2、保護膜PSV1および絶縁膜GIに貫通して形成さ
れたスルーホールTHを通して該絶縁膜GIの下層とし
て形成された対向電圧信号線CLに電気的に接続されて
いる。
イン信号線DL)はその走行方向に沿って複数の屈曲部
が形成されてマルチドメイン方式が採用されている。
号線GLの形成の際に同時に形成され、それらはたとえ
ばAlあるいはその合金層からなるとともに、その表面
に陽極化成された酸化膜AOが形成されたものが考えら
れる。
線CLの一部を露呈させるようにして保護膜PSV2、
保護膜PSV1および絶縁膜GIにスルーホールTHを
形成し、このスルーホールTHを被うようにして対向電
極CTを形成していることにある。
CLとの電気的接続は前記酸化膜AOを介した容量結合
によってなされており、これにより、該接続部における
酸化膜AOの除去を特に行なわない構成としている。
ことから、この対向電極CTから給電を行なうことがで
き、対向電圧信号線CLには直接の給電を行なわなくて
もいわゆるコモン電位を安定化させる役割りを有する。
示すように、陽極化成された対向電圧信号線CLと対向
電極CTとの電気的接続部の間にさらにドレイン信号線
DLと同一の導電層CNLを介在させるようにしてもよ
いことはもちろんである。
た場合、対向電圧信号線CLと対向電極CTとをそれぞ
れ材料を異にするようにしてもよい。それらの間に応力
が発生し結合部でクラックが発生しても直接的な電気的
接続が図れるからである。
晶表示装置の他の実施例を示す平面図で、図9(a)と
対応した図となっている。また、図11(b)は図11
(a)のb−b線における断面図を示している。
号線CLはAl(あるいはMo、Ti、Ta、W、Z
r、Siまたはこれらの一もしくは複数との合金)で構
成され、その表面には陽極化成による酸化膜AOが形成
されているのは同様であるが、その一部の下層にAlあ
るいはその合金以外にの他の導電層(たとえばCr、M
o、W、Ti、Zrあるいはこれらの一もしくは複数の
合金)CNLが形成され、かつ対向電圧信号線CLの形
成領域以外の領域にまで延在されて形成されていること
にある。
Tとのコンタクト部として機能するようになっている。
前記対向電圧信号線CLを陽極化成しても、前記金属層
は陽極化成されることはなく、該対向電圧信号線CLと
充分に電気的接続が図れる端子部を形成できるからであ
る。
く部分において対向電圧信号線CLの形成領域の全域に
形成されていてもよいことはもちろんである。換言すれ
ば、前記導電層CNLは対向電圧信号線CLと同パター
ンでしかもその一部において延在部が形成されたパター
ンとして形成されるようにしてもよい。
の実施例を示す断面図で、図11(b)に対応した図と
なっている。
ドレイン信号線DLの材料層と同一の導電層CNL2を
介して接続を図った構成としたものである。
極CTとの接触面積を増大でき、接続の信頼性を向上さ
せることができる。
の実施例として、前記金属層をITO、IZO等の透光
性の導電層に代えて構成してもよい。
性の導電層であることから、それらの接続部においてた
とえ面積を増大させても、画素領域の開口率を低減させ
るようなことにはならないという効果を奏する。
る液晶表示装置の他の実施例を示す断面図で、図11
(a)に対応した図となっている。図13(b)は図1
3(a)のb−b線における断面図である。
は、対向電極CTと対向電圧信号線CLとの電気接続部
において、該対向電圧信号線CLの表面に形成されてい
る酸化膜AOを、その陽極化成時に、部分的に形成され
ないようにして構成したものである。
た透明基板SUB1ごと電界溶液中に浸漬させ、該対向
電圧信号線CLを一方の電極、該電界溶液中に浸漬され
た別個の他の電極板を他方の電極として電圧を印加する
ことにより(陽極化成)、該対向電圧信号線CLの表面
に陽極酸化膜を形成させている。
極CTとの接続個所において、レジスト膜を選択的に形
成した状態で陽極化成を行なう。この陽極化成が終了し
た段階で該レジスト膜を除去することで、その部分にA
lあるいはその合金の表面が露出した対向電圧信号線C
Lを得ることができる。
トを全面に形成した後、マスク露光により露光し、不要
部のレジストを除去する通常の露光処理で行なう。
線CL上の酸化膜AOの除去部のみでなくその周辺の酸
化膜AO形成領域上にも形成された構成とすることが望
ましい。
はその合金が直接絶縁膜GIと相対することになり、い
わゆるヒロック発生の懸念があるからである。
表示装置の他の実施例を示す断面図で、図13(b)に
対応した図となっている。
は、対向電極CTと対向電圧信号線CLとの接続におい
て、絶縁膜GI上に形成されているドレイン信号線DL
の材料と同一の導電層CNLを介在させるようにしたこ
とにある。
のAlあるいはその合金とITO等の透光性の導電層と
の直接の接続を回避でき、接続抵抗の増大を抑制するこ
とができるようになる。透光性の前記導電層は酸化物で
あるため、Alあるいはその合金と直接に接触させた場
合、該Alあるいはその合金が酸化されてしまうため、
接続抵抗が増大してしまうからである。
本発明による液晶表示装置の他の実施例を示す説明図で
ある。
との接続を、たとえば図15(a)では各画素ごとに、
図15(b)では隣接する複数の画素においてその一つ
の画素ごとに、図15(c)ではカラー表示用の3画素
においてその一つの画素ごとに設けていることにある。
いは対向電極CTは各画素領域を画するようにした格子
状のパターンとなっていることから、それらの接続にお
いては場所的にも数的にも任意なものとして設定するこ
とができる。
Tとの接続を輝度の比較的高い画素内に位置づけること
により、該輝度への影響を防止することができる。
2との間にいずれかの基板に形成したいわゆる支柱状の
スペーサを設ける場合において、該スペーサを形成する
画素領域と、対向電圧信号線CLと対向電極CTとの接
続を図る画素領域とを別個にするようにしてもよい。
画素に比べ相対的に複雑になることを抑制でき、立体構
造の差による予期せぬ不良が特定画素にのみ発生するよ
うな憂いを予め回避できる。
本発明による液晶表示装置によれば、画素領域の開口率
を向上させることができる。また、対向電極と対向電圧
信号線の信頼性ある接続を図ることができる。
示す構成図である。
成図である。
を示す断面図である。
を示す断面図である。
を示す断面図である。
を示す平面図である。
を示す構成図である。
を示す断面図である。
を示す構成図である。
例を示す断面図である。
例を示す構成図である。
例を示す断面図である。
例を示す構成図である。
例を示す断面図である。
例を示す説明図である。
イン信号線、CL…対向電圧信号線、TFT…薄膜トラ
ンジスタ、Cstg…容量素子、PX…画素電極、CT
…対向電極、CNL…導電層、GI…絶縁膜(ゲート絶
縁膜)、PSV1…保護膜(無機材料)、PSV2…保
護膜(有機材料)。
Claims (11)
- 【請求項1】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設される複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設される複数
のドレイン信号線とで囲まれた領域を画素領域とし、 これら各画素領域に、ゲート信号線からの走査信号によ
って作動されるスイッチング素子と、このスイッチング
素子を介してドレイン信号線からの映像信号が供給され
る画素電極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に
対して基準となる信号が供給される対向電極とが形成さ
れ、 前記対向電極は、複数の絶縁層の積層体の下層に形成さ
れ、 前記対向電圧信号線は、非透光性の導電体からなるとと
もに、前記複数の絶縁層の積層体の上層に形成され、前
記ゲート信号線およびドレイン信号線をも被って格子状
パターンをなし、その一部にて前記複数の絶縁層の積層
体に形成されたスルーホールを通して前記対向電極に電
気的に接続されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】 前記対向電圧信号線と対向電極との電気
的接続は、前記複数の絶縁層の間に形成された画素電極
を構成する導電層と同時に形成される他の導電層を介し
てなされていることを特徴とする請求項1に記載の液晶
表示装置。 - 【請求項3】 前記対向電圧信号線と対向電極との電気
的接続は、前記複数の絶縁層の間に形成されたドレイン
信号線を構成する導電層と同時に形成される他の導電層
を介してなされていることを特徴とする請求項1に記載
の液晶表示装置。 - 【請求項4】 前記対向電圧信号線と対向電極との電気
的接続は2箇所あるいはそれ以上の個所でなされている
ことを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれかに記
載の液晶表示装置。 - 【請求項5】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設される複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設される複数
のドレイン信号線とで囲まれた領域を画素領域とし、 これら各画素領域に、ゲート信号線からの走査信号によ
って作動されるスイッチング素子と、このスイッチング
素子を介してドレイン信号線からの映像信号が供給され
る画素電極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に
対して基準となる信号が供給される対向電極とが形成さ
れ、 前記対向電極は複数の絶縁層の積層体の下層に形成さ
れ、前記画素電極は前記積層体の複数の絶縁層のうちの
2つの絶縁層の間に形成され前記ドレイン信号線の延在
方向に沿って延在され該方向に交差する方向に並設され
た複数の電極群からなるとともに、 前記対向電圧信号線は、非透光性の導電体からなるとと
もに、前記複数の絶縁層の積層体の上層に形成され、前
記ゲート信号線およびドレイン信号線をも被って格子状
パターンをなし、その一部にて前記複数の絶縁層の積層
体に形成されたスルーホールを通して前記対向電極に電
気的に接続されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項6】 画素領域を平面的に観た場合に、ドレイ
ン信号線を被って形成された前記対向電圧信号線とそれ
に隣接して配置される画素電極との間の距離は、互いに
隣接して配置される画素電極との間の距離よりも大きく
設定されていることを特徴とする請求項5に記載の液晶
表示装置。 - 【請求項7】 画素領域を平面的に観た場合に、ドレイ
ン信号線を被って形成された前記対向電圧信号線とそれ
に隣接して配置される画素電極との間の距離は、該対向
電圧信号線とそれに近接して配置される対向電極との間
の距離よりも大きく設定されていることを特徴とする請
求項5、6のうちいずれかに記載の液晶表示装置。 - 【請求項8】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設される複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設される複数
のドレイン信号線とで囲まれた領域を画素領域とし、 これら各画素領域に、ゲート信号線からの走査信号によ
って作動されるスイッチング素子と、このスイッチング
素子を介してドレイン信号線からの映像信号が供給され
る画素電極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に
対して基準となる信号が供給される対向電極とが形成さ
れ、 前記対向電圧信号線は、その表面が陽極化成されたAl
あるいはその合金から構成されるとともに複数の絶縁層
の積層体の下層に形成され、 前記対向電極は、透光性の導電体からなるとともに、前
記複数の絶縁層の積層体の上層に形成され、前記ゲート
信号線およびドレイン信号線をも被って格子状パターン
をなし、その一部にて前記複数の絶縁層の積層体に形成
されたスルーホールを通して前記対向電圧信号線に容量
結合されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項9】 液晶を介して対向配置される各基板のう
ち一方の基板の液晶側の面に、並設される複数のゲート
信号線とこれらゲート信号線に交差して並設される複数
のドレイン信号線とで囲まれた領域を画素領域とし、 これら各画素領域に、ゲート信号線からの走査信号によ
って作動されるスイッチング素子と、このスイッチング
素子を介してドレイン信号線からの映像信号が供給され
る画素電極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に
対して基準となる信号が供給される対向電極とが形成さ
れ、 前記対向電圧信号線は、その表面が陽極化成されたAl
あるいはその合金から構成されるとともに複数の絶縁層
の積層体の下層に形成され、かつこの対向電圧信号線の
少なくとも一部の下層に該対向電圧信号線から露出され
た導電材料層を備え、 前記対向電極は、前記複数の絶縁層の積層体の上層に形
成され、前記ゲート信号線およびドレイン信号線をも被
って格子状パターンをなし、その一部にて前記複数の絶
縁層の積層体に形成されたスルーホールを通して前記導
電材料層に電気的に接続されていることを特徴とする液
晶表示装置。 - 【請求項10】 対向電極は透光性の導電層で構成され
ていることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装
置。 - 【請求項11】 複数の絶縁層の前記積層体の2つの絶
縁層の間にドレイン信号線が形成され、前記対向電極と
導電材料層との間に前記ドレイン信号線の材料と同一の
材料層が介在されていることを特徴とする請求項9,1
0のうちいずれかに記載の液晶表示装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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