DE69313246T2

DE69313246T2 - Herstellungsverfahren magnetischer Aufzeichnungsträger

Info

Publication number: DE69313246T2
Application number: DE69313246T
Authority: DE
Inventors: Yasuaki Ban; Tatsuaki Ishida; Ryuji Sugita; Kiyokazu Tohma
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1992-11-12
Filing date: 1993-11-11
Publication date: 1998-01-29
Anticipated expiration: 2013-11-12
Also published as: KR940012262A; KR0185237B1; DE69313246D1; US5534324A; EP0597480A1; EP0597480B1; JPH06150289A

Description

TECHNISCHES GEBIET DER ERFINDUNG UND VERWANDTER STAND DER TECHNIK

1. TECHNISCHES GEBIET DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums, welches ein hohes "Signal-zu-Rauschen-Vehältnis" (engl.: "Signal-to- Noise-ratio = S/N-ratio"; im nachfolgenden Text konsequent als "S/N-Verhältnis" bezeichnet) und eine ausgezeichnete Wiedergabeleistung aufweist.

2. BESCHREIBUNG DES VERWANDTEN STANDES DER TECHNIK

In den letzten Jahren ist eine Apparatur für die magnetische Speicherung und Wiedergabe von geringer Größe entwickelt worden, in welche die Einzelteile mit hoher Dichte integriert sind, so daß entsprechend ein magnetisches Speichermedium mit einer ausgezeichneten Speicherungs- und Wiedergabecharakteristik im kurzwelligen Bereich für die magnetische Speicherungs- und Wiedergabeapparatur von geringer Größe notwendig geworden ist. Gegenwärtig verwenden die meisten magnetischen Speicherungs- und Wiedergabeapparaturen ein magnetisches Speichermedium des beschichteten Typs, welches durch die Beschichtung eines Substrats mit magnetischen Teilchen hergestellt wird. Es hat eine Reihe von Verbesserungen dieses magnetischen Speichermediums des beschichteten Typs gegeben, die das Ziel hatten, die Anforderungen der magnetischen Speicherungs- und Wiedergabapparatur von geringer Größe zu erfüllen. Es ist gleichwohl immer noch Raum für eine Verbesserung des magnetischen Speichermediums des beschichteten Typs.
Als eines der günstigsten magnetischen Speichermedien ist ein magnetisches Speichermedium in der Art eines dünnen Films entwickelt worden, welches die den üblichen magnetischen Speichermedien entsprechende Grenze für die Kapazität der Speicherungsdichte überschreitet. Das magnetische Speichermedium in der Art eines dünnen Films kann mit Hilfe einer Vakuumbedampfungsmethode, einer Aufspritzungsmethode, einer Plattierungsmethode oder auf ähnliche Art und Weise hergestellt werden. Das nach einer derartigen Methode hergestellte magnetische Speichermedium in der Art eines dünnen Filmes weist in einem kurzwelligen Bereich eine ausgezeichnete Speicherungs- und Wiedergabecharakteristik auf. Eine magnetische Schicht innerhalb des magnetischen Speichermediums in der Art eines dünnen Films wird mit Hilfe von magnetischen Materialien auf der Basis von Kobalt hergestellt, so wie zum Beispiel Co, Co-Ni, Co-Ni-P, Co-O, Co-Ni-O, Co-Cr, Co-Ni-Cr, usw.. Für die praktische Herstellung der magnetischen Schicht ist die Vakuumbedampfungsmethode die am meisten bevorzugte Methode. Ein bedampftes magnetisches Speicherband, welches eine aus Co-Nihergestellte, magnetische Schicht aufweist, ist als ein für Video-Kassettenrecorder des Typs "Hi-8" (= engl.: high band 8 mm) geeignetes Band im Handel erhältlich.
Für die Zukunft zeichnet sich die Tendenz ab, daß die magnetischen Speicher- und Wiedergabeapparaturen noch weiter verkleinert werden und dabei noch größere Speicherkapazitäten aufweisen werden. Um diese Ziele zu verwirklichen, muß die lineare Speicherungsdichte und ebenso die Speicherungsdichte einer Spur innerhalb des magnetischen Speichermediums verbessert werden, um von einer derartigen magnetischen Speicher- und Wiedergabeapparatur verwendet werden zu können. Demgemäß ist es notwendig, eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums bereitzustellen, welches Speichermedium ein verbessertes S/N-Verhältnis aufweist, insbesondere ein verbessertes S/N-Verhältnis in einem kurzwelligen Bereich.
In den Dokumenten EP-A-0 488 377 und US-A-4 770 924 werden ebenfalls magnetische Speichermedien entsprechend dem Stand der Technik beschrieben, welche beide jeweils ein Substrat und zwei (oder mehrere), magnetische Schichten umfassen.

GEGENSTAND UND ZUSAMMENFASSENDE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Ein Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist es, eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums bereitzustellen, welches Speichermedium ein verbessertes S/N- Verhältnis und eine hohe Wiedegabeleistung aufweist.
Um den vorstehend erwähnten Geegenstand zu realisieren, umfasst das entsptechend der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellte magnetische Speichermedium die folgenden Bestandteile:
ein Substrat,
eine auf Kobalt basierende, erste magnetische Schicht, deren leicht zu magnetisierende Achse in einem Winkel zu der Normalenachse auf eine Ebene des besagten, entprechend der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellten, magnetischen Speichermediums geneigt ist, und innerhalb welcher Schicht der Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der dem Substrat entgegengesetzten Fläche angeordnet ist, und
eine auf Kobalt basierende, zweite magnetische Schicht, deren leicht zu magnetisierende Achse in einem Winkel zu der Normalenachse auf eine Ebene des besagten, entprechend der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellten, magnetischen Speichermediums geneigt ist, und innerhalb welcher Schicht der Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der auf Kobalt basierenden, ersten magnetischen Schicht angeordnet ist.
In der Tat bezieht sich die vorliegende Erfindung im Einzelnen auf eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums, welche Methode die nachfolgend aufgeführten Schritte umfasst:
Herstellung einer Kobalt und Sauerstoff enthaltenden, ersten magnetischen Schicht (2) mit Hilfe der Vakuumbedampfung auf einem Substrat (1), welches Substrat entlang einer äußeren Oberfläche einer zylinderförmigen Walze bewegt wird und wobei ausgehend von einer in der Nähe des Endpunktes des Abscheidungsschrittes gelegenen Stelle der besagten, zylinderförmigen Walze Sauerstoff in das verdampfte Metall eingeführt wird, und
Herstellung einer Kobalt und Sauerstoff enthaltenden, zweiten magnetischen Schicht (3) mit Hilfe der Vakuumbedampfung auf der besagten, ersten magnetischen Schicht (2), welche Schicht entlang einer äußeren Oberfläche der besagten, zylinderförmigen Walze bewegt wird und wobei ausgehend von einer in der Nähe des Endpunktes des Abscheidungsschrittes gelegenen Stelle der besagten, zylinderförmigen Walze Sauerstoff in das aufgedampfte Metall eingeführt wird, und
Behandlung der Oberfläche der besagten, zweiten magnetischen Schicht (3) mit einem reduzierenden Plasma, wodurch erreicht wird, daß die besagte, zweite magnetische Schicht (3) eine Sauerstoffkonzentration aufweist, die sich nahe bei der ersten magnetischen Schicht (2) auf ihrem Maximalwert befindet.
Während die neuen, technischen Merkmale der Methode entsprechend der vorliegenden Erfindung insbesondere im Rahmen der nachfolgenden Patentansprüche definiert werden, wird die Methode gemäß der Erfindung ebenso wie deren weitere Gegenstände und Merkmale auf der Basis der nachfolgenden, in Verbindung mit den Zeichnungen erfolgenden Beschreibung besser verstanden und anerkannt werden, und zwar sowohl, was die organisatorische Durchführung, als auch, was den eigentlichen Gehalt der Erfindung anbelangt.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist eine Ansicht des Querschnitts durch ein magnetisches Speichermedium, welches gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist.
Fig. 2 stellt in schematischer Weise eine Ausführungsform einer Vakuumbedampfungsapparatur zur Herstellung des magnetischen Speichermediums gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung dar.
Fig. 3 ist ein Auger-Tiefenprofil, welches die Ergebnisse einer Untersuchung des in Übereinstimmung mit der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellten magnetischen Speichermediums unter Verwendung der Methode der Auger- Elektronenspektroskopie zeigt.
Es wird anerkannt werden, daß die einzelnen, bzw. alle Figuren lediglich schematische Darstellungen zu Illustrationszwecken sind und daß diese somit nicht zwangsläufig die tatsächlichen, relativen Größenverhältnisse oder die Anordnungen der jeweils gezeigten Bestandteile wiedergeben.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Im nachfolgenden Abschnitt wird ein magnetisches Speichermedium, welches gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist, unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen ausführlich erläutert werden.
Fig. 1 ist eine Ansicht des Querschnitts durch ein magnetisches Speichermedium, welches mit Hilfe der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist.
Wie in Fig. 1 dargestellt, umfasst das in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellte magnetische Speichermedium ein aus hochpolymerem Material bestehendes Substrat (1), eine erste magnetische Schicht (2), eine zweite magnetische Schicht (3) und eine Schutzschicht (4). Die erste magnetische Schicht (2) wird auf dem Substrat (1) hergestellt, und anschließend wird die zweite magnetische Schicht (3) auf der ersten magnetischen Schicht (2) hergestellt.
Ferner wird die Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf die Fig. 2 erläutert werden. Fig. 2 stellt in schematischer Weise eine Vakuumbedampfungsapparatur zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung dar.
Die erste magnetische Schicht (2) des gemäß der Methode der Erfindung hergestellten magnetischen Speichermediums wird mit Hilfe einer Vakuumbedampfungsapparatur auf dem Substrat (1) abgeschieden. Während der Abscheidung der ersten magnetischen Schicht (2) gemäß der Methode der Erfindung bewegt sich das Substrat (1) in der durch den Pfeil (6A) bezeichneten Richtung um die äußere Oberfläche der zylinderförmigen Walze (20) herum. Das Substrat (1) wird von der Stützrolle (11) abgewickelt und auf die Aufnahmerolle (12) aufgewickelt. Zwischen der Bedampfungsquelle (8) mit dem magnetischen Material (7) und der zylinderförmigen Walze (20) sind Abschirmplatten (13A), (13B) vorgesehen, um die Abscheidung von unerwünschtem, verdampftem magnetischem Material auf dem Substrat (1) zu verhindern. Das ausgehend von der Bedampfungsquelle (8) verdampfte, magnetische Metall (9) wird durch ein zwischen den Abschirmplatten (13A), (13B) angeordnetes Fenster (13C) auf dem Substrat (1) abgeschieden. Das für die Bedampfungsquelle (8) verwendete, magnetische Material (7) wird ausgewählt aus magnetischen Materialien auf der Basis von Kobalt, bzw. Kobaltlegierungen, so wie zum Beispiel Co, Co-Ni, usw.. Im Rahmen der Vakuumbedampfungsapparatur wird eine Bedampfungsquelle in Form eines Elektronenstrahles zum Aufdampfen der magnetischen Metalle mit einer ausgesprochen hohen Bedampfungsgeschwindigkeit verwendet, wobei es sich bei den genannten, magnetischen Metallen zum Beispiel um hochschmelzende Kobaltlegierungen handelt. Das verdampfte, magnetische Metall (9) wird durch das Fenster (13C) hindurch auf dem Substrat (1) abgeschieden, um den Bereich des Einfallswinkels θ mit der Normalenachse der Ebene des Substrats (1) ausgehend von einem anfänglichen Einfallswinkel θi bis hin zu einem abschließenden Einfallswinkel θf vorzugeben. Mit anderen Worten stellen die Winkel θi und θf Einfallswinkel dar, unter denen das verdampfte, magnetische Metall (9) bei einem Anfangspunkt der Abscheidung und einem Endpunkt der Abscheidung auf die zylinderförmige Walze (20) auftrifft, um auf dem Substrat (1) eine erste magnetische Schicht herzustellen. Um eine hohe Wiedergabequalität zu erzielen, wird der Einfallswinkel für die erste magnetische Schicht (2) vorzugsweise auf solche Bedingungen eingestellt, im Rahmen derer der abschließende Einfallswinkel θf kleiner als der anfängliche Einfallswinkel θi vorgegeben ist, und wobei außerdem der abschließende Einfallswinkel θf auf einen Wert oberhalb von 40º eingestellt wird. Wie in der Fig. 2 gezeigt wird, ist die für die Einführung des Sauerstoffs vorhandene Düse (10) in der Nähe des Endpunktes der Abscheidung der zylinderförmigen Walze (20) angeordnet. Die eine schlitzförmige Öffnung oder eine Vielzahl von in einer Reihe angeordneten Öffnungen aufweisende Düse (10) erzeugt einen Sauerstoffstrom, der entlang der Oberfläche des im Rahmen des Abscheidungsprozesses der ersten, magnetischen Schicht (2) abgeschiedenen, magnetischen Metalls ausgerichtet ist.
Ferner wird der Schritt zur Herstellung der zweiten magnetischen Schicht (3) des gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellten, magnetischen Speichermediums erläutert werden.
Nachdem mit Hilfe der Vakuumbedampfungsmethode die erste magnetische Schicht (2) hergestellt worden ist, ist das die erste magnetische Schicht (2) aufweisende Substrat (1) mit Hilfe der Aufnahmerolle (12) aufgewickelt worden. Daraufhin wird das auf die Aufnahmerolle (12) aufgewickelte Substrat (1) auf den Umfang der zylinderförmigen Walze (20) übertragen, welche Walze (20) sich in der mit Hilfe des Pfeils (6B) bezeichneten Richtung um die eigene Achse dreht. Dann wird das Substrat (1) mit Hilfe der Stützrolle (11) auf dieselbe aufgewickelt. Während dieses Vorgangs des Zurückwickelns kann die elektrische Stromversorgung der Bedampfungsquelle (8) abgeschaltet werden, um kein magnetisches Material (7) aufzudampfen. Zusätzlich oder auch alternativ kann das Fenster (13C) zwischen den Abschirmplatten (13A), (13B) mit Hilfe einer (nicht dargestellten) Schließvorrichtung geschlossen werden, um der Bildung von weiterem, aufgedampftem magnetischem Metall auf dem Substrat (1) vorzubeugen.
Im nächsten Schritt wird die zweite magnetische Schicht (3) auf der ersten magnetischen Schicht (2) mit Hilfe eines Herstellungsschrittes abgeschieden, welcher Ähnlichkeit mit der Abscheidung der ersten magnetischen Schicht (2) aufweist. Im Rahmen dieses Abscheidungsschrittes bewegt sich das Substrat (1) in der im Rahmen der Fig. 2 mit Hilfe des Pfeiles (6A) bezeichneten Richtung. Im Rahmen dieses Schrittes der Herstellung der zweiten magnetischen Schicht (3) soll der Einfallswinkel der zweiten magnetischen Schicht (3) vorzugsweise entsprechend den gleichen Bedingungen vorgegeben werden, gemäß denen der Einfallswinkel im Rahmen des Schrittes zur Herstellung der ersten magnetischen Schicht (2) vorgegeben worden ist, das heißt, der abschließende Einfallswinkel θf ist kleiner als der anfängliche Einfallswinkel θi, und der besagte abschließende Einfallswinkel θf wird entspechend einem Zahlenwert oberhalb von 40º vorgegeben.
Während der Schritte der Herstellung der ersten und der zweiten magnetischen Schichten (2) und (3) schmilzt eine Kobaltlegierung als das magnetische Material (7) im Verdampfungstiegel und dient somit als eine Verdampfungsquelle. Die Düse (10), welche neben dem Endpunkt der Abscheidung der zylinderförmigen Walze (20) angeordnet ist, bläst Sauerstoff in das aufzudampfende magnetische Metall (9) hinein.
Nachdem die ersten und zweiten magnetischen Schichten (2) und (3) auf dem Substrat (1) hergestellt worden sind, wird das magnetische Speichermedium aus der Vakuumbedampfungsapparatur herausgenommen und zum Zweck der Plasmabehandlung in einer Vakuumkammer plaziert. In der für die Plasmabehandlung vorgesehenen Vakuumkammer wird das magnetische Speichermedium im laufenden Zustand einem Plasma in Form eines aus Argon und Methan bestehenden Gasgemisches ausgesetzt. Diese Behandlung führt zu dem Ergebnis, daß die Sauerstoffdichte in der Nähe der zweiten magnetischen Schicht (3) erniedrigt wird, und außerdem wird eine aus Kohlenstoff bestehende Schutzschicht (4) auf der zweiten magnetischen Schicht (3) hergestellt.
Fig. 3 zeigt die Ergebnisse einer mit Hilfe der Methode der Auger-Elektronenspektroskopie durchgeführten Untersuchung anhand eines Beispiels des magnetischen Speichermediums, welches unter Verwendung der vorstehend beschriebenen Vakuumbedampfungsmethode in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist. Fig. 3 stellt den Zusammenhang zwischen der Tiefe der Schichtdicken in der Oberfläche des gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellten magnetischen Speichermediums einerseits (vgl. die Abszisse der Graphik) und der Intensität der Augerelektronen andererseits (vgl. die Ordinate der Graphik) anhand eines gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellten magnetischen Speichermediums dar. In der besagten Fig. 3 ist die Position der Oberfläche des magnetischen Speichermediums mit dem Zahlenwert 0 Å [Angstrom] gekennzeichnet, wobei die abwechselnd lang und kurz gestrichelte Linie 14 Kohlenstoff, die gekrümmte, unterbrochene Linie 15 Kobalt und die gekrümmte, durchgezogene Linie 16 Sauerstoff darstellt. Ferner ist der Bereich A die Region der Kohlenstoffschutzschicht (4), der Bereich B die Region der zweiten magnetischen Schicht (3), der Bereich C die Region der ersten magnetischen Schicht (2) und der Bereich D die Region des aus einem hochpolymeren Material bestehenden Substrats (1).
Eines der Kennzeichen eines gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellten magnetischen Speichermediums ist eine gekrümmte Verteilung der Sauerstoffdichte innerhalb der ersten und zweiten magnetischen Schichten (2) und (3), das heißt, der Bereich hoher Sauerstoffdichte innerhalb der ersten magnetischen Schicht (2) ist in der Nähe der zweiten magnetischen Schicht (3) angeordnet, und der Bereich hoher Sauerstoffdichte innerhalb der zweiten magnetischen Schicht (3) ist in der Nähe der ersten magnetischen Schicht (2) angeordnet. Die vorstehend erwähnten Bedingungen im Rahmen des Abscheidungsschrittes können mit Hilfe der nachfolgend beschriebenen Voreinstellungen erreicht werden: die Anordnung der Düse (10) zur Einführung des Sauerstoffs, die Menge des eingeführten Sauerstoffs, die Anordnung (das heißt, die Entfernung, der Winkel, usw.) der Bedampfungsquelle (8), die Anordnungen des Fensters (13C) zwischen den Abschirmplatten (13A), (13B), die Bedingungen für die Plasmabehandlung (so wie zum Beispiel die Zeitdauer der Plasmabehandlung und die Substrattemperatur, etc.), und so weiter.
Im Rahmen der Schritte zur Herstellung der ersten und zweiten magnetischen Schicht (2) und (3) ist es wichtig, daß die Düse (10) in der Nähe des Endpunktes der Abscheidung Pe (welcher dem abschließenden Einfallswinkel θf entspricht) der zylinderförmigen Walze (20) angeordnet wird, um den Sauerstoff wirkungsvoll in den Strahl der aufzudampfenden Atome des magnetischen Metalls hineinzublasen. Im Hinblick auf den Schritt zur Herstellung der zweiten magnetischen Schicht (3) ist es insbesondere wichtig, daß der Abscheidungsschritt und der Plasmabehandlungsschritt unter geeigneten Bedingungen durchgeführt werden, um den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der ersten magnetischen Schicht (2) zu erzeugen. Falls die Düse (10) in der Nähe des Anfangspunktes der Abscheidung der zylinderförmigen Walze (20) angeordnet wäre, und dort im Rahmen des Schrittes zur Herstellung der zweiten magnetischen Schicht (3) in die aufzudampfenden Atome hineinblasen würde, so würde ein derartiges magnetisches Speichermedium nicht durch eine hohe Wiedergabeleistung gekennzeichnet sein.
Was ferner die Schritte sowohl zur Herstellung der ersten magnetischen Schicht (2), als auch der zweiten magnetischen Schicht (3) betrifft, so wird der Einfallswinkel vorzugsweise gemäß den vorher erwähnten Bedingungen vorgegeben, das heißt, der anfängliche Einfallswinkel θi ist größer als der abschließende Einfallswinkel θf (θi > θf). Falls ein magnetisches Speichermedium in Form eines Films unter Bedingungen hergestellt werden würde, die entgegengesetzt zu den vorstehend erwähnten wären, das heißt, falls der Einfallswinkel so vorgegeben werden würde, daß θi < θf gelten würde, so könnte keine hohe Wiedergabeleistung erhalten werden und die Lebensdauer des magnetischen Speichermediums würde sich in bemerkenswerter Weise verschlechtern.
Wie vorstehend erwähnt, ist das gemäß der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellte magnetische Speichermedium dadurch gekennzeichnet, daß es eine erste magnetische Schicht (2) und eine zweite magnetische Schicht (3) aufweist, deren leicht magnetisierbare Achsen jeweils gegen die Normalenachse der Ebene des magnetischen Speichermediums geneigt sind. Die erste magnetische Schicht (2) wird mit Hilfe eines auf Kobalt basierenden Materials hergestellt, welches einen Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der zweiten magnetischen Schicht (3) aufweist. Die zweite magnetische Schicht (3) wird mit Hilfe eines auf Kobalt basierenden Materials hergestellt, welches einen Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der ersten magnetischen Schicht (2) aufweist.
Was außerdem die erste magnetische Schicht (2) und die zweite magnetische Schicht (3) betrifft, so wird die Beziehung zwischen den Speicherungs- und Wiedergabecharakteristika einerseits sowie der Verteilung der Sauerstoffdichte andererseits unter Bezug auf die nachfolgende Tabelle erläutert: [Tabelle]
Das in der Tabelle aufgeführte magnetische Speichermedium in Form eines Films gemäß dem Beispiel (1) weist die folgende Verteilung der Sauerstoffdichte auf: die erste magnetische Schicht (2) weist den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der zweiten magnetischen Schicht (3) auf, und die zweite magnetische Schicht (3) weist den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der ersten magnetischen Schicht (2) auf. Das bedeutet, daß dieses Beispiel (1) ein magnetisches Speichermedium in Form eines Films darstellt, welches in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist.
Das magnetische Speichermedium in Form eines Films gemäß dem Beispiel (2) weist die folgende Verteilung der Sauerstoffdichte auf: die erste magnetische Schicht (2) weist den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der zweiten magnetischen Schicht (3) auf, und die zweite magnetische Schicht (3) weist den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der auf der rechten Seite des magnetischen Speicherfilms angeordneten Oberfläche auf.
Das magnetische Speichermedium in Form eines Films gemäß dem Beispiel (3) weist die folgende Verteilung der Sauerstoffdichte auf: die erste magnetische Schicht (2) weist den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe des Substrats (1) auf, und die zweite magnetische Schicht (3) weist den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der ersten magnetischen Schicht (2) auf.
Das magnetische Speichermedium in Form eines Films gemäß dem Beispiel (4) weist die folgende Verteilung der Sauerstoffdichte auf: die erste magnetische Schicht (2) weist den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe des Substrats (1) auf, und die zweite magnetische Schicht (3) weist den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der auf der rechten Seite des magnetischen Speicherfilms angeordneten Oberfläche auf.
Die Tabelle zeigt die unter Bezugnahme auf die vorstehend erwähnten, magnetischen Speichermedien in Form von Filmen gemessenen Daten im Hinblick auf die jeweilige Wiedergabequalität und das dazugehörige Rauschen. Die magnetischen Speicherfilme, welche im Rahmen der vorstehend beschriebenen Messungen verwendet wurden, wiesen jeweils eine Dicke von insgesamt 1400 Å [Angstrom] auf, wobei ferner die auf der jeweils rechten Seite der Oberfläche eines jeden magnetischen Speicherfilms angeordnete Kohlenstoffschutzschicht (4) allein eine Dicke von 100 Å aufwies. Die in der Tabelle zusammengestellten Werte für die Wiedergabeleistung wurden gemessen, indem Signale mit einer Wellenlänge von 0,5 µm wiedergegeben wurden. Die Daten, die in der Tabelle den Zahlenwert für das Rauschen wiedegeben, bezeichnen Zahlenwerte für die "Rauschleistung" bei einer Frequenz, welche einer Wellenlänge von 0,6 µm entspricht, während die Signale, die eine Wellenlänge von 0,5 µm aufwiesen, gespeichert und wiedergegeben wurden. Die in der Tabelle enthaltenen Zahlenwerte für die Wiedergabeleistung und das Rauschen werden in einer auf die Werte für das Beispiel (1) normierten Art und Weise dargestellt, welche Werte als gleich 0 dB definiert worden sind.
Auf der Grundlage der Ergebnisse in der Tabelle ist es offensichtlich, daß das dem Beispiel (1) entsprechende, in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellte magnetische Speichermedium in Form eines Films eine wesentlich höhere Wiedergabeleistung und ebenso eine wesentlich niedrigere "Rauschleistung" aufweist als die anderen Speichermedien entsprechend den Beipielen (2, (3) oder (4).
Es ist davon auszugehen, daß die Ursache dafür, daß die Wiedergabeleistung im Rahmen des Beispiels (1) höher ist als jene im Rahmen des Beispiels (2) erzielte, die Sauerstoffdichte des Beispiels (1) darstellt, welch letztere in der Nähe der auf der rechten Seite der zweiten magnetischen Schicht (3) angeordneten Oberfläche niedriger ist als jene des Beispiels (2). Ferner wird die Tatsache, daß im Rahmen des Beispiels (1) die ferromagnetische Kupplung zwischen der ersten magnetischen Schicht (2) und der zweiten magnetischen Schicht (3) im Vergleich zu derjenigen des Beispiels (2) nur schwach ausgeprägt ist, als Ursache dafür betrachtet, daß der Zahlenwert für das Rauschen im Rahmen von Beispiel (1) niedriger ist als der entsprechende Wert bei Beispiel (2). Außerdem wird die Tatsache, daß im Rahmen des Beispiels (1) die ferromagnetische Kupplung zwischen der ersten magnetischen Schicht (2) und der zweiten magnetischen Schicht (3) im Vergleich zu den entsprechenden Werten im Rahmen der Beispiele (3) und (4) nur schwach ausgeprägt ist, als Ursache dafür betrachtet, daß der Zahlenwert für das Rauschen bei Beispiel (1) niedriger ist als die entsprechenden Werte der Beispiele (3) und (4). Diese Aussage wird unterstrichen vor dem Hintergrund des Beispiels (4), dessen ferromagnetische Kupplung zwischen der ersten magnetische Schicht (2) und der zweiten magnetischen Schicht (3) erheblich stärker ist, als dies bei den entsprechenden Werten im Rahm der anderen Beispiele der Fall ist, was sich in bemerkenswerter Weise in den korrespondierenden, vorstehend erwähnten, in der Tabelle angeführten Ergebnissen niederschlägt.
Dementsprechend ist das magnetische Speichermedium, welches in Übereinstimmung mit der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist, und somit zwei aufgedampfte, aus einer Legierung auf der Basis von Kobalt bestehende und Sauerstoff enthaltende, magnetische Schichten aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß es ein hohes S/N-Verhältns im Vergleich zu den anderen magnetischen Speichermedien mit von den erfindungsgemäßen Merkmalen abweichenden Verteilungen der Sauerstoffdichte aufweist.
Vorzugsweise wird im Rahmen des magnetischen Speichermediums, welches in Übereinstimmung mit der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist, die erste magnetische Schicht (2) so hergestellt, daß sie in ihrer Längsrichtung die größere Koerzitivkraft im Vergleich zu der Koerzitivkraft in der Längsrichtung der zweiten magnetischen Schicht (3) aufweist, um somit ein magnetisches Speichermedium bereitzustellen, welches eine zusätzlich verbesserte Wiedergabeleistung aufweist. Das Zusammenwirken der nachfolgend beschriebenen Maßnahmen stellt die erste magnetische Schicht (2) und die zweite magnetische Schicht (3) bereit. Der Einfallswinkel zur Herstellung der ersten magnetischen Schicht (2) wird so vorgegeben, daß er größer ist als der Einfallswinkel im Rahmen des Schritts zur Herstellung der zweiten magnetischen Schicht (3). Die Substrattemperatur zur Herstellung der ersten magnetischen Schicht (2) wird so vorgegeben, daß sie höher ist als die Substrattemperatur im Rahmen des Schritts zur Herstellung der zweiten magnetischen Schicht (3). Alternativ oder zusätzlich wird die Einführung des Sauerstoffs in kontrollierter Weise durchgeführt, so daß stets eine gerade passende Menge an Sauerstoff zur Verfügung gestellt wird.
Was die vorstehend erwähnte Koerzitivkraft angeht, so lassen sich hierzu die nachfolgenden, konkreten Beispiele anführen: Es wurde ein magnetisches Speichermedium in Form eines Films entsprechend dem Beispiel (5) hergestellt, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß es eine erste magnetische Schicht (2) mit einer Koerzitivkraft von 1800 Oe [Oersted] in der Längsrichtung der besagten Schicht und eine zweite magnetische Schicht (3) mit einer Koerzitivkraft von 1600 Oe in der Längsrichtung der besagten Schicht aufweist. Es wurde ein magnetisches Speichermedium in Form eines Films entsprechend dem Beispiel (6) hergestellt, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß es eine erste magnetische Schicht (2) und eine zweite magnetische Schicht (3) mit einer Koerzitivkraft von jeweils 1800 Oe in den beiden besagten Schichten aufweist. Es wurde ein magnetisches Speichermedium in Form eines Films entsprechend dem Beispiel (7) hergestellt, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß es eine erste magnetische Schicht (2) und eine zweite magnetische Schicht (3) mit einer Koerzitivkraft von jeweils 1600 Oe in den beiden besagten Schichten aufweist. Betrachtet man die vorstehend erwähnten Beispiele (5), (6) und (7), so fällt auf, daß das Beispiel (5) im Vergleich zu den magnetischen Speichermedien in Form von Filmen entsprechend den Beispielen (6) und (7) eine Wiedergabeleistung entsprechend einem höheren Zahlenwert im Bereich von 1 bis 2 dB aufweist. Die Tatsache, daß die im Zuge des Abspeicherns auftretende Entmagnetisierung durch die Koerzitivkraft beeinflußt wird, wird als Ursache dafür in Betracht gezogen, daß derartige Ergebnisse erhalten werden. Es kann somit eine verbesserte, das heißt, eine geringere Entmagnetisierung im Zuge des Abspeicherns erhalten werden, wenn ein magnetisches Speichermedium verwendet wird, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß die Koerzitivkraft in der Längsrichtung der ersten magnetischen Schicht (2) größer ist als die Koerzitivkraft in der Längsrichtung der zweiten magnetischen Schicht (3). Somit ist mit Hilfe des in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellten magnetischen Speichermediums eine starke Magnetisierung im Zuge des Abspeicherns und demzufolge eine hohe Wiedergabeleistung erhältlich.
Somit ist anhand der vorstehend erwähnten Doppelschichtstruktur eine hohe Wiedergabeleistung auf der Grundlage einer solchen Struktur erhältlich, welche dadurch gekennzeichnet ist, daß sie eine auf der Seite der Oberfläche angeordnete magnetische Schicht aufweist, die in einer solchen Art und Weise hergestellt worden ist, daß sie im Vergleich zu der auf der Seite des Substrats angeordneten magnetischen Schicht die niedrigere Koerzitivkraft aufweist. Diese Ergebnisse stellen einen vollständigen Gegensatz zu den technischen Merkmalen eines longitudinalen magnetischen Speichermediums gemäß dem Stand der Technik dar. Die vorstehend erwähnten Ergebnisse wurden auf der Grundlage erzielt, daß das in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellte, magnetische Speichermedium zwei magnetische Schichten aufweist, innerhalb welcher Schichten die leicht magnetisierbaren Achsen jeweils gegen die Normalenachse auf die Ebene des magnetischen Speichermediums geneigt sind.
Obgleich das vorstehend erwähnte, in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellte magnetische Speichermedium eine erste magnetische Schicht (2) und eine zweite magnetische Schicht (3) aufweist, kann zusätzlich auf dem Substrat aus einem hochpolymeren Material auch eine oxidierte Schicht auf der Basis von Kobalt hergestellt werden. Im Rahmen dieser Ausführungsform sind die erste magnetische Schicht (2) und die zweite magnetische Schicht (3) auf der besagten, oxidierten Schicht auf der Basis von Kobalt herzustellen. Das magnetische Speichermedium, welches zusätzlich noch eine derartige oxidierte Schicht aufweist, weist im Vergleich zu dem in Übereinstimmung mit der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellten magnetischen Speichermedium, welches lediglich die erste und die zweite magnetische Schicht (2) und (3) aufweist, einen verbesserten Zahlenwert der Wiedergabeleistung entsprechend einem Bereich von 1 bis 2 dB auf. Die besagte, oxidierte Schicht auf der Basis von Kobalt wird im wesentlichen mit Hilfe der besagten Schritte des gleichen Herstellungsverfahrens hergestellt, welches bereits vorstehend im Rahmen der Herstellung der ersten und der zweiten magnetischen Schicht (2), (3) beschrieben worden ist, aber mit der Maßgabe, daß die dabei notwendige Menge an Sauerstoff mit Hilfe der Düse (10) eingeführt wird, um das gesamte, aufzudampfende Metall in die oxidierte Form entsprechend der besagten Schicht überzuführen.
Die als Ergebnis des vorstehend erwähnten Herstellungsverfahrensschrittes abgeschiedene, oxidierte Schicht weist eine sogenannte Kolumnarstruktur auf. Im Rahmen dieser Kolumnarstruktur ist die Neigungsrichtung des einzelnen, kolumnaren Korns gegen die Normalenachse auf die Ebene des magnetischen Speichermediums so angeordnet, daß sie zu der Neigungsrichtung der kolumnaren Körner der ersten und auch der zweiten magnetischen Schicht (2), (3) entgegengesetzt ausgerichtet ist. Demzufolge sind auf der Grundlage des in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellten magnetischen Speichermediums sowohl verbesserte magnetische Eigenschaften, als auch eine verbesserte Speicherungs- und Wiedergabecharakteristik erhältlich.
Eine ausführliche Darstellung im Hinblick auf ein konkretes Beispiel entsprechend einem in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellten magnetischen Speichermedium in Form eines Films wird nachstehend vorgenommen.
Unter Verwendung der im Rahmen der Fig. 2 dargestellten Vakuumbedampfungsapparatur wurde auf dem aus einem hochpolymeren Material bestehenden Substrat (1) eine CoO- Schicht als die auf Kobalt basierende, oxidierte Schicht abgeschieden. Das als das magnetische Material (7) dienende Kobalt schmilzt in dem Schmelztiegel und dient somit als die Bedampfungsquelle (8). Die über der Bedampfungsquelle (8) angebrachte zylinderförmige Walze (20) weist einen Durchmesser von 1 m [Meter] auf, und die Oberfläche der zylinderförmigen Walze wird auf Raumtemperatur gehalten (etwa 20 ºC). Ein aus Polyethylenterephthalat bestehender Film mit einer Dicke von 7 µm wurde als das aus einem hochpolymeren Material bestehende Substrat (1) verwendet.
Die Abscheidung der oxidierten Schicht wurde unter den nachfolgend wiedergegebenen Bedingungen durchgeführt: Der anfängliche Einfallswinkel θi betrug 35 º, und der abschließende Einfallswinkel θf betrug 20 º. Es wurde durch die Düse (10) hindurch Sauerstoff mit einer Geschwindigkeit von 3 liter/min. in die Vakuumkammer eingeblasen.
Unter den vorstehend erwähnten Bedingungen wurde das Substrat (1), welches eine Breite von 500 mm aufwies, auf die äußere Oberfläche der zylinderförmigen Walze (20) übertragen, welch letztere sich in der durch den Pfeil (6A) in der Fig. 2 bezeichneten Richtung um die eigene Achse herumdrehte. Die zylinderförmige Walze (20) wurde mit einer Umfangsgeschwindigkeit von 150 m/min. um die eigene Achse herumgedreht. Die oxidierte Schicht, welche eine Dicke von 0,02 um aufwies, wurde unter Verwendung einer mittleren Abscheidungsgeschwindigkeit von 0,5 µm/s auf dem Substrat (1) hergestellt. Die abgeschiedene, oxidierte Schicht wies eine Kolumnarstruktur auf, welche dadurch gekennzeichnet war, daß das einzelne, kolumnare Korn einen Neigungswinkel von etwa 20 º gegen die Normalenachse auf die Ebene der Schicht aufwies.
Nachdem die Abscheidung der oxidierten Schicht auf dem Substrat (1) beendet worden war, wurde die Rolle, auf welche das mit der oxidierten Schicht bedeckte Substrat (1) aufgewickelt worden war, aus der Position der Aufnahmerolle (12) entfernt und in der Position der in Fig. 2 gezeigten Stützrolle (11) plaziert.
Im Rahmen des nächsten Schrittes des Verfahrens wurde die erste magnetische Schicht (2) auf der oxidierten Schicht abgeschieden, welche das Substrat (1) bedeckt, welch letzteres in die durch den Pfeil (6A) in der Fig. 2 angezeigte Richtung übertragen wurde. Es wurde im Rahmen des Abscheidungsschrittes zur Herstellung der ersten magnetischen Schicht (2) ebenfalls Kobalt als das magnetische Material (7) verwendet, welches Kobalt bereits im Rahmen des Abscheidungsschrittes zur Herstellung der CoO-Schicht, welche die oxidierte Schicht darstellt, verwendet worden war. Die zylinderförmige Walze (20) wurde bei Raumtemperatur (entsprechend etwa 20 ºC) gehalten.
Die Abscheidung der ersten magnetischen Schicht (2) wurde unter den nachfolgend wiedergegebenen Bedingungen durchgeführt: Der anfängliche Einfallswinkel θi betrug 75 º, und der abschließende Einfallswinkel θf betrug 55 º. Es wurde durch die Düse (10) hindurch Sauerstoff mit einer Geschwindigkeit von 1,2 liter/min. in die Vakuumkammer eingeblasen.
Unter den vorstehend erwähnten Bedingungen wurde das Substrat (1) auf die äußere Oberfläche der zylinderförmigen Walze (20) übertragen, welch letztere sich in der mit Hilfe des Pfeils (6A) bezeichneten Richtung um die eigene Achse herumdrehte. Die zylinderförmige Walze (20) wurde mit einer Umfangsgeschwindigkeit von 80 m/min. um die eigene Achse herumgedreht. Die erste magnetische Schicht (2), welche eine Dicke von 0,06 um aufwies, wurde unter Verwendung einer mittleren Abscheidungsgeschwindigkeit von 0,3 µm/s auf der oxidierten Schicht abgeschieden.
Anschließend wird das auf die Aufnahmerolle (12) aufgewickelte Substrat (1) mit Hilfe der Stützrolle (11) in die im Rahmen der Fig. 2 mit Hilfe des Pfeils (68) bezeichnete Richtung zurückgewickelt. Während dieses Vorgangs des Zurückwickelns wurde die elektrische Stromversorgung der Bedampfungsquelle (8) abgeschaltet, und das Fenster (13C) wurde mit Hilfe einer (in der Fig. 2 nicht dargestellten) Schließvorrichtung geschlossen.
Im Rahmen des nächsten Schrittes des Verfahrens wurde die zweite magnetische Schicht (3) auf der ersten magnetischen Schicht (2) abgeschieden, während das Substrat (1) in die durch den Pfeil (6A) angezeigte Richtung übertragen wurde. Es wurde ebenfalls Kobalt als das magnetische Material (7) verwendet, welches Kobalt bereits im Rahmen des Abscheidungsschrittes zur Herstellung der ersten magnetischen Schicht (2) verwendet worden war. Die zylinderförmige Walze (20) wurde bei Raumtemperatur (entsprechend etwa 20 ºC) gehalten.
Die Abscheidung der zweiten magnetischen Schicht (3) wurde unter den nachfolgend wiedergegebenen Bedingungen durchgeführt: Der anfängliche Einfallswinkel θi betrug 75 º, und der abschließende Einfallswinkel θf betrug 55 º. Es wurde durch die Düse (10) hindurch Sauerstoff mit einer Geschwindigkeit von 1,0 liter/min. eingeblasen.
Unter den vorstehend erwähnten Bedingungen wurde das Substrat (1) auf die äußere Oberfläche der zylinderförmigen Walze (20) übertragen, welch letztere sich in der mit Hilfe des Pfeils (6A) bezeichneten Richtung um die eigene Achse herumdrehte. Die zylinderförmige Walze (20) wurde mit einer Umfangsgeschwindigkeit von 80 m/min. um die eigene Achse herumgedreht. Die zweite magnetische Schicht (3), welche eine Dicke von 0,06 µm aufwies, wurde unter Verwendung einer mittleren Abscheidungsgeschwindigkeit von 0,3 µm/s auf der ersten magnetischen Schicht (2) abgeschieden.
Die erste magnetische Schicht (2) und die zweite magnetische Schicht (3) wiesen beide gleichermaßen einen Neigungswinkel von jeweils etwa 50 º auf, was die Neigung eines einzelnen, kolumnaren Korns gegen die Normalenachse auf die Ebene des magnetischen Speichermediums in Form eines Films betrifft. Somit lagen, wie in der Fig. 1 gezeigt wird, die Neigungen der einzelnen, kolumnaren Körner sowohl innerhalb der ersten magnetischen Schicht (2), als auch innerhalb der zweiten magnetischen Schicht (3) im Hinblick auf die Normalenachse auf die Ebene des magnetischen Speichermediums in Form eines Films jeweils auf der selben Seite. Ferner war die Richtung der besagten Neigung sowohl in der ersten magnetischen Schicht (2), als auch in der zweiten magnetischen Schicht (3) im Hinblick auf die Normalenachse auf die Ebene des magnetischen Speichermediums in Form eines Films zu jener entsprechenden Neigung innerhalb der CoO-Schicht entgegengesetzt ausgerichtet.
Nachdem der Abscheidungsschritt zur Herstellung der zweiten magnetischen Schicht (3) des magnetischen Speichermediums in Form eines Films beendet worden ist, wurde das die zweite magnetische Schicht (3) aufweisende Substrat (1) aus der Vakuumbedampfungsapparatur herausgenommen. Ferner wurde das Substrat (1), welches die erste magnetische Schicht (2) und die zweite magnetische Schicht (3) aufwies, in einer Vakuumkammer plaziert, um die Plasmabehandlung und den Abscheidungsschritt zur Herstellung der Schutzschicht durchzuführen. In der besagten Vakuumkammer wurde ein aus Argon und Methan bestehendes Gasgemisch in den plasmatischen Zustand übergeführt. Die Plasmabehandlung wurde auf der Oberfläche der zweiten magnetischen Schicht (3) durchgeführt, indem das Plasma auf die Oberfläche der zweiten magnetischen Schicht (3) geblasen wurde. Die Oberfläche der zweiten magnetischen Schicht (3) wurde während eines vorgegebenen Zeitintervalls im Bereich zwischen 0,2 und 2,0 s behandelt. Während des Verfahrensschritts der Plasmabehandlung wurde das magnetische Speichermedium in Form eines Films auf Raumtemperatur (entsprechend etwa 20 ºC) gehalten. Diese Behandlung führte zu dem Ergebnis, daß die Sauerstoffdichte der Oberfläche der zweiten magnetischen Schicht (3) erniedrigt wurde, so daß der Bereich hoher Sauerstoffdichte innerhalb der zweiten magnetischen Schicht (3) in der Nähe der ersten magnetischen Schicht (2) angeordnet wurde. Die entsprechend dem vorstehend erwähnten Verfahren hergestellte erste magnetische Schicht (2) und die zweite magnetische Schicht (3) wiesen schließlich im Ergebnis eine Verteilung der Sauerstoffdichte auf, entsprechend jener, die im Rahmen der Fig. 3 dargestellt ist.
Um Bänder aus dem magnetischen Speichermedium in Form eines Films herzustellen, wurde das magnetische Speichermedium in Form eines Films, welches die erste magnetische Schicht (2) und die zweite magnetische Schicht (3) aufwies, in eine Vielzahl von Streifen zerschnitten. Unter Verwendung eines von der Firma Sendust hergestellten magnetischen Aufnahmekopfes vom Ringtyp, welcher dadurch gekennzeichnet war, daß er eine Spaltenlänge von 0,17 µm aufwies, wurden die Charakteristika der Proben betreffend die Speicherung und die Wiedergabe ermittelt. Mit einem üblichen, zur Verwendung in Videokassettenrekordern des Typs "Hi8" VCR geeigneten, mit Metall bedampften Band wurde die gleiche Prüfung wie vorstehend beschrieben wiederholt, um die Möglichkeit eines Vergleichs zu gewährleisten. Als Ergebnis dieser Untersuchung konnte folgendes festgehalten werden: Das magnetische Speichermedium in Form eines dünnen Films, welches in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt wurde, wies im Vergleich zu dem üblichen, zur Verwendung in Videokassettenrekordern des Typs "Hi8" VCR geeigneten, mit Metall bedampften Band auf der Basis der Verwendung von abzuspeichernden Signalen mit einer Wellenlänge von 3,8 µm eine Wiedergabeleistung von 3 dB auf, bzw. auf der Basis der Verwendung von abzuspeichernden Signalen mit einer Wellenlänge von 0,54 µm eine Wiedergabeleistung von 6 dB, bzw. auf der Basis der Verwendung von abzuspeichernden Signalen mit einer Wellenlänge von 0,38 µm eine Wiedergabeleistung von 8 dB. Die vorstehend erwähnten Ergebnisse sind demnach so zu interpretieren, daß das in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellte, magnetische Speichermedium in Form eines dünnen Films eine wesentlich höhere Wiedergabeleistung aufweist, als dies bei dem üblichen, mit Metall bedampften Band des Standes der Technik der Fall ist.
Ferner weist das in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellte, magnetische Speichermedium in Form eines dünnen Films in allen Wellenlängenbereichen wesentlich niedrigere Zahlenwerte für das Rauschen im Bereich von etwa 1 dB auf, als dies bei dem üblichen, mit Metall bedampften Band des Standes der Technik der Fall ist. Demzufolge weist das in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellte, magnetische Speichermedium in Form eines Bandes im Vergleich zu dem üblichen, mit Metall bedampften Band des Standes der Technik ein wesentlich höheres S/N-Verhältnis auf.
Das vorstehend erwähnte Beispiel, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß es ein wesentlich höheres S/N- Verhältnis aufweist, beruht somit auf die Tatsache der Verwendung der besagten ersten und der besagten zweiten magnetischen Schicht, welche Schichten beide jeweils Co-O- Schichten darstellen, die unter Bedingungen abgeschieden wurden, welche einem Abscheidungsschritt unter Verwendung eines anfänglichen Einfallswinkel θi von 75 º und einem abschließenden Einfallswinkel θf von 55 º entsprechen. Gleichwohl wurde auf der Grundlage der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung auch ein anderes magnetisches Speichermedium hergestellt, und zwar mit Hilfe der Verwendung von vom bisher Beschriebenen abweichenden Herstellungsbedingungen, Methoden und Materialien, wobei allerdings ebenfalls die erste magnetische Schicht (2) den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der zweiten magnetischen Schicht (3) und die zweite magnetische Schicht (3) wiederum den Bereich hoher Sauerstoffdichte in der Nähe der ersten magnetischen Schicht (2) aufwies. Auch dies führte zu dem Ergebnis, daß das in Übereinstimmung mit der Methode der vorliegenden Erfindung hergestellte magnetische Speichermedium eine Wiedergabeleistung entsprechend einem hohen Zahlenwert und desgleichen auch ein hohes S/N-Verhältnis aufwies.
Abgesehen von den vorstehend erwähnten Beispielen, im Rahmen derer die erste und die zweite magnetische Schicht jweils aus Co-O hergestellt worden sind, können in geeigneter Weise passende Materialien, welche verwendet werden können, um die auf Kobalt basierende, erste und zweite magnetische Schicht jeweils herzustellen, auch aus den nachfolgend genannten Legierungen ausgewählt werden: Co-O, Co-Ni-O, Co- Fe-O, Co-Ni-Fe-O.
Außerdem können, abgesehen von den vorstehend erwähnten Beispielen, im Rahmen derer das Substrat (1) aus einem Polyethylenterephthalatfilm hergestellt worden ist, in geeigneter Weise als Substrat passende Materialien, welche verwendet werden können, um ein magnetisches Speichermedium in Übereinstimmung mit der Methode gemäß der vorliegenden Erfindung herzustellen, auch aus den nachfolgend genannten, hochpolymeren Filmen ausgewählt werden, so wie zum Beispiel aus Polyethylenterephthalatfilm, Polyethylennaphthalatfilm, Polyimidfilm, Polyamidfilm, und Polyetherimidfilm.
Abgesehen von der vorstehend erwähnten Ausführungsform, im Rahmen derer Methan als das im Rahmen der Plasmabehandlung eingesetzte Gas verwendet worden ist, kann ebensogut auch eine abgewandelte Ausführungsform dadurch gekennzeichnet sein, daß ein Kohlenwasserstoffgas, so wie zum Beispiel Ethan, Butan oder ähnliches im Rahmen der Plasmabehandlung verwendet wird.

Claims

1. Eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums, welche Methode die nachfolgend aufgeführten Schritte umfasst:

Herstellung einer Kobalt und Sauerstoff enthaltenden, ersten magnetischen Schicht (2) mit Hilfe der Vakuumbedampfung auf einem Substrat (1), welches Substrat entlang einer äußeren Oberfläche einer zylinderförmigen Walze bewegt wird, und wobei ausgehend von einer in der Nähe des Endpunktes des Abscheidungsschrittes gelegenen Stelle der besagten, zylinderförmigen Walze Sauerstoff in das verdampfte Metall eingeführt wird, und

Herstellung einer Kobalt und Sauerstoff enthaltenden, zweiten magnetischen Schicht (3) mit Hilfe der Vakuumbedampfung auf der besagten, ersten magnetischen Schicht (2), welche Schicht entlang einer äußeren Oberfläche der besagten, zylinderförmigen Walze bewegt wird und wobei ausgehend von einer in der Nähe des Endpunktes des Abscheidungsschrittes gelegenen Stelle der besagten, zylinderförmigen Walze Sauerstoff in das verdampfte Metall eingeführt wird, und

Behandlung der Oberfläche der besagten, zweiten magnetischen Schicht (3) mit einem reduzierenden Plasma, wodurch erreicht wird, daß die besagte, zweite magnetische Schicht (3) eine Sauerstoffkonzentration aufweist, die sich nahe bei der ersten magnetischen Schicht (2) auf ihrem Maximalwert befindet.

2. Eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums in Übereinstimmmung mit Anspruch 1, wobei sich die besagte, zylinderförmige Walze im Rahmen der besagten Schritte zur Herstellung der besagten, ersten magnetischen Schicht (2) und der besagten, zweiten magnetischen Schicht (3) jeweils in der gleichen Richtung bewegt.

3. Eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums in Übereinstimmmung mit Anspruch 1, welche Methode außerdem vor dem besagten Schritt zur Herstellung der ersten, magnetischen Schicht (2) einen Schritt zur Herstellung einer CoO enthaltenden Schicht (5) auf dem Substrat (1) umfaßt.

4. Eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums in Übereinstimmmung mit Anspruch 3, wobei mit Hilfe der Vakuumbedampfung auf einem Substrat (1) die besagte, CoO enthaltende Schicht in einer solchen Art und Weise hergestellt wird, daß ihre Kolumnen der kolumnaren Körner im Hinblick auf die Normalenachse der Ebene des besagten, magnetischen Speichermediums eine Neigung aufweisen, welche zu der entsprechenden, jeweiligen Neigung der kolumnaren Körner der besagten, ersten magnetischen Schicht (2) und der besagten, zweiten magnetischen Schicht (3) entgegengesetzt ausgerichtet ist.

5. Eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums in Übereinstimmmung mit Anspruch 3, wobei die besagte, erste magnetische Schicht (2) und die besagte, zweite magnetische Schicht (3) jeweils eine aus kolumnaren Körnern bestehende Struktur aufweisen, und wobei die jeweilige Neigung der aus den besagten, kolumnaren Körner bestehenden Kolumnen der besagten, ersten magnetischen Schicht (2) und der besagten, zweiten magnetischen Schicht (3) im Hinblick auf die Normalenachse der Ebene des besagten, magnetischen Speichermediums auf die gleiche Seite ausgerichtet ist, und

die besagte, CoO enthaltende Schicht (5) eine aus kolumnaren Körnern bestehende Struktur aufweist, und wobei die jeweilige Neigung der aus den besagten, kolumnaren Körner bestehenden Kolumnen der besagten, CoO enthaltenden Schicht (5) einerseits und der besagten magnetischen Schichten (2), (3) andererseits im Hinblick auf die Normalenachse der Ebene des besagten, magnetischen Speichermediums auf jeweils entgegengesetzte Seiten ausgerichtet ist.

6. Eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums in Übereinstimmmung mit Anspruch 1, welche Methode außerdem den Schritt zur Herstellung einer auf der besagten, zweiten magnetischen Schicht (3) hergestellten Schutzschicht (4) umfaßt.

7. Eine Methode zur Herstellung eines magnetischen Speichermediums in Übereinstimmmung mit Anspruch 6, wobei die besagte Schutzschicht (4) eine Kohlenstoffschutzschicht darstellt.