CN1987646A

CN1987646A - 凹凸图案形成方法及信息记录介质制造方法

Info

Publication number: CN1987646A
Application number: CNA2006101686644A
Authority: CN
Inventors: 日比干晴; 藤田实
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2005-12-22
Filing date: 2006-12-22
Publication date: 2007-06-27
Also published as: US20070145613A1; JP2007168270A

Abstract

提供一种不引起凹凸图案变形及转印缺陷、可在基材上以高精度形成凹凸图案的凹凸图案形成方法。该凹凸图案形成方法通过将形成有凹凸图案(25)的压模(2)压在中间体(10)(基材)上的树脂层(3)上，从而将凹凸图案(25)转印到树脂层(3)上，在中间体(10)上形成凹凸图案，通过在中间体(10)上涂布混合了玻璃转变点比按压压模(2)时树脂层(3)的温度低的第1树脂材料、和玻璃转变点比按压时树脂层(3)的温度高的第2树脂材料的混合树脂材料来形成树脂层(3)。

Description

凹凸图案形成方法及信息记录介质制造方法

技术领域

本发明涉及一种将压模压在形成于基材上的树脂层上，在基材上形成凹凸图案的凹凸图案形成方法，及使用依据该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案制造信息记录介质的信息记录介质制造方法。

背景技术

作为这种凹凸图案形成方法，在美国专利6814898号说明书中公开了压印法(imprint)，通过将形成有凹凸图案的压模(金属压模)压在基材(玻璃基板)上的树脂层(抗蚀剂层)上，将压模的凹凸图案转印到树脂层上，在基材上形成凹凸图案。在该凹凸图案形成方法中，首先，如该说明书的图1A所示，在应形成凹凸图案的基材上形成树脂层。接着，如该说明书的图1B所示，通过将压模压在基材上的树脂层上，将压模的凹凸图案转印到树脂层上。这时，在该凹凸图案形成方法中，不加热处理基材及树脂层的层叠体和压模两者，在室温状态下将压模压在树脂层上。接着，如该说明书的图1C所示，在从树脂层剥离压模后，如该说明书的图1D所示，通过对转印到树脂层上的凹凸图案中的凹部底面进行蚀刻处理，在凹部的底面使基材从树脂层中露出。由此，在压入了压模中各凸部的部位上形成各凹部的同时，由压模中各凹部的部位形成各凸部，在基材上(树脂层)形成凹凸图案。

专利文献1：美国专利6814898号说明书(第4-10栏、图1)

可是，在现有的凹凸图案形成方法中存在以下问题。即，在现有的凹凸图案形成方法中，不执行对层叠体及压模的加热处理及冷却处理，将压模压在树脂层上。但是，依据该凹凸图案形成方法，例如产生如下问题：即，在采用玻璃转变点比按压压模时树脂层的温度(室温)低的树脂材料构成树脂层来形成凹凸图案时，尽管在按压压模时可将压模的各凸部顺利地压入树脂层，但在凹凸图案转印结束、从树脂层剥离压模之后，转印到树脂层上的凹凸图案随着时间慢慢变形。另外，依据该凹凸图案形成方法，例如产生如下问题(产生转印缺陷)：即，在采用玻璃转变点比按压压模时树脂层的温度(室温)高的树脂材料构成树脂层来形成凹凸图案时，尽管可避免在压模剥离后凹凸图案产生较大变形，但难以将压模的各凸部压入树脂层，结果，不能对树脂层形成足够深度的凹部(足够高度的凸部)。这样，在现有的凹凸图案形成方法中，存在引起形成于基材上的凹凸图案变形或凹凸图案转印缺陷的问题。

发明内容

本发明鉴于上述问题作出，其主要目的在于提供一种不引起凹凸图案变形及转印缺陷、可在基材上以高精度形成凹凸图案的凹凸图案形成方法和可在全部区域以高精度形成凹凸图案的信息记录介质制造方法。

为了实现上述目的，本发明的凹凸图案形成方法通过将形成了压模侧凹凸图案的压模压在基材上的树脂层上，从而将该压模侧凹凸图案转印到该树脂层上，在该基材上形成凹凸图案，通过在所述基材上涂布混合了玻璃转变点比按压所述压模时所述树脂层的温度低的第1树脂材料、和玻璃转变点比所述按压时所述树脂层的温度高的第2树脂材料的混合树脂材料来形成所述树脂层。另外，在本发明的混合树脂材料中，不只是仅混合了第1树脂材料及第2树脂材料的混合树脂材料，除此之外，还包含含有添加剂或其他树脂材料等的各种混合树脂材料。

另外，本发明的信息记录介质制造方法使用依据上述的凹凸图案形成方法在所述基材上形成的凹凸图案来制造信息记录介质。

根据本发明的凹凸图案形成方法，通过在基材上涂布混合了玻璃转变点比按压压模时树脂层的温度低的第1树脂材料、和玻璃转变点比按压压模时树脂层的温度高的第2树脂材料的混合树脂材料来形成树脂层，在向树脂层按压压模时，可将压模侧凹凸图案中各凸部顺利地压入树脂层至足够深。因此，可避免各凸部压入不足所引起的凹凸图案的转印缺陷，从而在基材上以高精度形成凹凸图案。另外，可避免在从树脂层剥离压模之后凹凸图案发生较大变形的情况，从而在高精度的状态下维持该凹凸形状。

另外，根据本发明的信息记录介质制造方法，使用依据上述凹凸图案形成方法在基材上形成的凹凸图案来制造信息记录介质，从而例如可以通过将形成的凹凸图案作为掩模图案，或者将凹凸位置关系与形成的凹凸图案一致的凹凸图案用作掩模图案来蚀刻处理基材，在其全部区域以高精度形成凹凸图案。

附图说明

图1是磁盘1的截面图。

图2是压模2的截面图。

图3是在记录层14上形成了树脂层3的状态下的中间体10的截面图。

图4是将压模2压在中间体10上的树脂层3上的状态下的截面图。

图5是从图4所示状态的树脂层3剥离了压模2的状态下的中间体10的截面图。

图6是说明向实施例1～4的树脂层及比较例1、2的树脂层压入压模的压入容易性和转印后凹凸图案的形状稳定性的说明图。

图7是说明向实施例1、5～12的树脂层及比较例3、4的树脂层压入压模的压入容易性和转印后凹凸图案的形状稳定性的说明图。

图8是说明向实施例2、13～20的树脂层及比较例4、5的树脂层压入压模的压入容易性和转印后凹凸图案的形状稳定性的说明图。

图9是拍摄了压模2中各凸部25a的压入量不足、在形成的凹凸图案(数据磁道图案)中产生转印缺陷的树脂层表面的附图代用照片。

图10是拍摄了形成有未产生转印缺陷的凹凸图案(数据磁道图案)的树脂层表面的附图代用照片。

图11是拍摄了在形成的凹凸图案中产生了较大变形的状态的树脂层表面的附图代用照片。

图12是拍摄了在形成的凹凸图案中产生了可用作掩模图案程度的较小变形的状态的树脂层表面的附图代用照片。

图13是拍摄了在形成的凹凸图案中产生极小变形的状态的树脂层表面的附图代用照片。

图14是拍摄了在形成的凹凸图案中几乎未产生变形的树脂层表面的附图代用照片。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的凹凸图案形成方法及信息记录介质制造方法的最佳实施方式。

图1示出的磁盘1例如是可以根据垂直记录方式记录记录数据的离散磁道型磁记录介质(布图介质)，将软磁性层12、中间层13及记录层(磁性记录层)14依次形成于基材11上。该磁盘1相当于本发明的信息记录介质，在其一面(图1中的上面)上，形成了至少其突出端部侧是由磁性材料(记录层14)形成的多个凸部15a和多个凹部15b，以形成用作数据磁道图案或伺服图案的凹凸图案15。另外，图2示出的压模2是在制造上述磁盘1时，用于在中间体10(本发明的基材：参照图3)上形成作为掩模图案的凹凸图案35(参照图5)的母盘，整体构成为圆板状。该压模2通过将镍层21用作电极的电铸处理，在镍层21上形成镍层22，构成为薄板状。另外，在压模2上形成有凹凸图案25(本发明的「压模侧凹凸图案」的一例)，该凹凸图案25具有对应于磁盘1中凹凸图案15的各凹部15b形成的多个凸部25a、和对应于凹凸图案15的各凸部15a形成的多个凹部25b。另外，图3示出的中间体10将软磁性层12、中间层13及记录层14依次形成于基材11上。

在制造上述磁盘1时，首先，依据本发明的凹凸图案形成方法在中间体10上形成作为掩模图案的凹凸图案35。这时，首先混合玻璃转变点比后述的压印处理时树脂层3(参照图3)的温度(作为一例，22℃)低的树脂材料(即，低弹性模量、高流动性的树脂材料：本发明的「第1树脂材料」)、和玻璃转变点比压印处理时树脂层3的温度高的树脂材料(即，高弹性模量、低流动性的树脂材料：本发明的「第2树脂材料」)，制作混合树脂材料。具体地说，作为一例，以体积比(混合比)1∶1混合玻璃转变点为13℃、重量平均分子量为5782、弹性模量为1.59GPa的丙烯酸树脂(本发明的第1树脂材料的一例)和玻璃转变点为34℃、重量平均分子量为5074、弹性模量为2.98GPa的丙烯酸树脂(本发明的第2树脂材料的一例)，制作混合树脂材料。

这时，作为一例，在两种丙烯酸树脂中将PGMEA(单甲基醚丙二醇酯)用作溶剂。另外，上述的两种丙烯酸树脂是丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的共聚物，通过使构成的各分子(单体单位)的构成比变化来调整玻璃转变点，同时，通过在上述溶剂之外添加各种添加剂，使其特性不同。另外，上述的两种丙烯酸树脂及在后述的各实施例或比较例中使用的各树脂A～D(参照图6～图8)的玻璃转变点是基于示差热分析的测定值，重量平均分子量是基于凝胶渗透色谱分析法(GPC)的测定值。另外，就两种丙烯酸树脂及各树脂A～D的弹性模量而言，是在测定用的支撑体(未图示)上涂布各树脂使膜厚成为1μm后，作为一例，对通过在90℃下执行90秒钟的烘焙处理而形成的树脂层、利用纳米压痕法测定出的测定值。

接着，例如利用旋涂法将制作出的混合树脂材料涂布在中间体10上，作为一例，在中间体10的记录层14上形成厚度为100nm的涂膜。接着，在90℃下执行90分钟的烘焙处理。由此，如图3所示，在中间体10的记录层14上形成树脂层3。接着，使树脂层3的形成面朝上，将中间体10安装到压印装置上，同时，使凹凸图案25的形成面朝下，将压模2安装到压印装置上。接着，通过使压模2向中间体10下降，将凹凸图案25压在树脂层3的表面上。这时，不对中间体10(树脂层3)及压模2两者执行加热处理，在维持室温(作为一例为22℃)的状态下，作为一例，对压模2的全部区域施加16.3Mpa的按压力(压印处理开始)。

这时，在该凹凸图案形成方法中，涂布含有玻璃转变点比按压压模2时树脂层3的温度低的丙烯酸树脂(低弹性模量、高流动性的树脂材料)的混合树脂材料来形成树脂层3。因此，在向树脂层3按压压模2时，虽然未加热处理树脂层3及压模2两者(虽然树脂层3是室温22℃)，但是可将压模2中的凹凸图案25的各凸部25a顺利地(容易地)压入树脂层3。结果，如图4所示，压模2的各凸部25a压入树脂层3至足够深。另外，在图4及后面参照的图5中，为了容易理解本发明，省略按压压模2时在各凸部25a的突出端面和中间体10(记录层14)之间产生的树脂材料(残渣)的图示。接着，将压模2压在树脂层3上的状态维持了例如5分钟之后，通过使压模2相对中间体10向上移动，从树脂层3剥离压模2。由此，如图5所示，将压模2中的凹凸图案25的凹凸形状转印到树脂层3上，在中间体10上形成凹凸图案35。这时，中间体10上形成的凹凸图案35对应压模2的凹凸图案25中的各凸部25a形成各凹部35b，对应凹凸图案25中的各凹部25b形成各凸部35a。由此，基于本发明的凹凸图案形成方法的凹凸图案35(掩模图案)的形成处理结束。

接着，通过例如氧等离子体处理除去残留在中间体10上的树脂层3中凹凸图案35的各凹部35b底面的残渣(未图示)。接着，通过将凹凸图案35(各凸部35a)用作掩模图案、对中间体10(记录层14)进行蚀刻处理，在中间层13上形成凹凸图案15。这时，在上述凹凸图案形成方法中，涂布含有玻璃转变点比按压压模2时树脂层3的温度高的丙烯酸树脂(高弹性模量、低流动性的树脂材料)的混合树脂材料来形成树脂层3。因此，避免了从凹凸图案35形成后的树脂层3剥离压模2之后到中间体10的蚀刻处理开始之前，凹凸图案35的凹凸形状发生较大变形的情况。结果，如图5中虚线所示，对应维持该凹凸形状的状态的凹凸图案35中的各凸部35a形成各凸部15a，同时，对应各凹部35b形成各凹部15b，如图1所示，在中间层13上形成凹凸图案15。由此，本发明的信息记录介质制造方法结束，完成磁盘1。

下面，参照附图说明压模的各凸部对基材上树脂层的压入容易性及剥离压模后的凹凸形状稳定性(凹凸图案变形的难度)和用于树脂层形成时的树脂材料的关系。

组合玻璃转变点不同的4种树脂材料(作为一例，丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的共聚物：丙烯酸树脂)，制作各种混合树脂材料，在支撑基材(未图示)上形成图6示出的实施例1～4及比较例1、2的树脂层。另外，通过将上述压模2中的凹凸图案25压在所形成的各实施例及各比较例的树脂层上，在支撑基材上(树脂层)形成凹凸图案。另外，就各树脂层而言，除混合树脂材料的制作方法外，按与所述树脂层3的形成方法相同的步骤形成。另外，就压模2对各树脂层的按压处理(凹凸图案的形成处理：压印处理)而言，按与所述压模2对树脂层3的按压处理(凹凸图案35的形成处理)相同的步骤执行。这样，就形成了凹凸图案的各实施例及各比较例的树脂层而言，通过利用原子间力显微镜(AFM)观察其表面的凹凸形状，确认压模2的各凸部25a对各树脂层的压入容易性和剥离压模2后的凹凸形状稳定性。图6中示出该结果。

另外，在图6及后面参照的图7、图8中，对于如图9所示、各凸部25a对树脂层的压入量不足、产生凹凸图案的转印缺陷的情况，在「压入容易性」的部位写上「×」，对于各凸部25a难以压入树脂层、但可以以充分高的精度转印凹凸图案的情况，在「压入容易性」的部位写上「△」，对于各凸部25a压入树脂层稍困难、但未产生转印缺陷的情况，在「压入容易性」的部位写上「 ○ 」，对于如图10所示，各凸部25a容易压入树脂层、且可压入各凸部25a至足够深的树脂层的情况，在「压入容易性」的部位上写上「◎」。这时，图9、10及后面参照的图11～14是利用AFM拍摄形成了凹凸图案的状态的各实施例及各比较例的树脂层表面的附图代用照片，越接近树脂层表面的部位为白色，沿厚度方向越离开树脂层表面的部位(深的部位)为黑色。因此，黑色部位与白色部位的交界部分越清晰的部位意味着是在树脂层上形成的凹凸图案中未产生转印缺陷或变形的部位。

另外，在图6～图8中，对于在从树脂层剥离了压模2之后，如图11所示，形成的凹凸图案变形较大的情况，在「凹凸形状稳定性」的部位写上「 × 」，对于如图12所示，稍微产生变形、但可用作掩模图案的程度的情况，在「凹凸形状稳定性」的部位写上「△」，对于如图13所示，产生极小变形、但足可用作掩模图案的程度的情况，在「凹凸形状稳定性」的部位写上「 ○ 」，对于如图14所示，在形成的凹凸图案上几乎不产生变形的树脂层，在「凹凸形状稳定性」的部位写上「◎」。

[实施例1]

使用混合树脂材料形成树脂层(通过压印处理形成凹凸图案的树脂层)，该混合树脂材料以混合比(体积比)1∶1(50％∶50％)混合了玻璃转变点为13℃、重量平均分子量为5782、弹性模量为1.59GPa的丙烯酸树脂(图6中的「树脂A」：下面称该丙烯酸树脂为「树脂A」)和玻璃转变点为34℃、重量平均分子量为5074、弹性模量为2.98GPa的丙烯酸树脂(图6中的「树脂C」：下面称该丙烯酸树脂为「树脂C」)。

[实施例2]

使用混合树脂材料形成树脂层，该混合树脂材料以混合比(体积比)1∶1(50％∶50％)混合了树脂A和玻璃转变点为27℃、重量平均分子量为7420、弹性模量为1.88GPa的丙烯酸树脂(图6中的「树脂D」：下面称该丙烯酸树脂为「树脂D 」)。

[实施例3]

使用混合树脂材料形成树脂层，该混合树脂材料以混合比(体积比)1∶1(50％∶50％)混合了玻璃转变点为10℃、重量平均分子量为5120、弹性模量为1.46GPa的丙烯酸树脂(图6中的「树脂B」：下面称该丙烯酸树脂为「树脂B」)和树脂C。

[实施例4]

使用以混合比(体积比)1∶1(50％∶50％)混合了树脂B和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

[比较例1]

使用以混合比(体积比)1∶1(50％∶50％)混合了树脂A和树脂B的混合树脂材料形成树脂层。

[比较例2]

使用以混合比(体积比)1∶1(50％∶50％)混合了树脂C和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

如图6所示，在使用混合了玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度(在本例中，22℃)低的树脂A或树脂B、和玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度高的树脂C或树脂D的混合树脂材料形成的实施例1～4的树脂层中，在向树脂层按压压模2时，可使各凸部25a顺利地(容易地)压入树脂层至足够深。因此，避免了产生凹凸图案转印缺陷的情况，在树脂层上以高精度形成了凹凸图案。另外，实施例1～4的树脂层在剥离了压模2之后，形成的凹凸图案也未产生较大变形，即便在从压模2的剥离时刻经过了120分钟的时刻，也可将该凹凸形状维持在足够高精度的状态下。相反，在使用混合了玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度低的两种树脂材料(树脂A、B)的混合树脂材料形成的比较例1的树脂层中，尽管在向树脂层按压压模2时，与实施例1～4的树脂层相同，可将各凸部25a顺利地(容易地)压入树脂层，但在剥离压模2之后，形成的凹凸图案发生较大变形，不能维持该凹凸形状。

另外，在使用混合了玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度高的两种树脂材料(树脂C、D)的混合树脂材料形成的比较例2的树脂层中，尽管在剥离压模2之后，形成的凹凸图案未产生较大变形，维持了该凹凸形状，但在向树脂层按压压模2时，不能将各凸部25a压入树脂层至足够深，不能形成足够深度的凹部(产生转印缺陷)。这样，在制作利用压印处理形成凹凸图案的树脂层时，由于使用混合了玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度低的树脂材料(在本例中，树脂A或树脂B)、和玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度高的树脂材料(在本例中，树脂C或树脂D)的混合树脂材料来形成，所以在向树脂层按压压模2时，可将各凸部25a顺利地压入树脂层至足够深，且可以高精度形成期望的凹凸图案(可避免产生转印缺陷)，同时，在压模2剥离之后，可长时间维持该凹凸形状(避免凹凸图案变形)。

下面，改变各树脂材料的混合比(体积比)来制作各种混合树脂材料，在支撑基材上形成实施例5～20及比较例3～5的树脂层，在形成的各树脂层上形成凹凸图案，确认压模2的各凸部25a对各树脂层的压入容易性和剥离压模2后的凹凸形状稳定性。在图7、8中示出其结果。另外，就各实施例及各比较例的树脂层而言，除混合树脂材料的制作方法外，按与所述树脂层3的形成方法相同的步骤形成。另外，就压模2对各树脂层的按压处理(凹凸图案的形成处理：压印处理)而言，按与所述的向树脂层3按压压模2的按压处理(凹凸图案35的形成处理)相同的步骤执行。

[实施例5]

使用以混合比(体积比)1∶9(10％∶90％)混合了树脂A和树脂C的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例6]

使用以混合比(体积比)2∶8(20％∶80％)混合了树脂A和树脂C的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例7]

使用以混合比(体积比)3∶7(30％∶70％)混合了树脂A和树脂C的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例8]

使用以混合比(体积比)4∶6(40％∶60％)混合了树脂A和树脂C的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例9]

使用以混合比(体积比)6∶4(60％∶40％)混合了树脂A和树脂C的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例10]

使用以混合比(体积比)7∶3(70％∶30％)混合了树脂A和树脂C的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例11]

使用以混合比(体积比)8∶2(80％∶20％)混合了树脂A和树脂C的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例12]

使用以混合比(体积比)9∶1(90％∶10％)混合了树脂A和树脂C的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例13]

使用以混合比(体积比)1∶9(10％∶90％)混合了树脂A和树脂在D的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例14]

使用以混合比(体积比)2∶8(20％∶80％)混合了树脂A和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例15]

使用以混合比(体积比)3∶7(30％∶70％)混合了树脂A和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例16]

使用以混合比(体积比)4∶6(40％∶60％)混合了树脂A和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例17]

使用以混合比(体积比)6∶4(60％∶40％)混合了树脂A和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例18]

使用以混合比(体积比)7∶3(70％∶30％)混合了树脂A和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例19]

使用以混合比(体积比)8∶2(80％∶20％)混合了树脂A和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

[实施例20]

使用以混合比(体积比)9∶1(90％∶10％)混合了树脂A和树脂D的混合树脂材料形成树脂层。

[比较例3]

仅使用树脂C形成树脂层。

[比较例4]

仅使用树脂A形成树脂层。

[比较例5]

仅使用树脂D形成树脂层。

如图7、8所示，在使用含有10％以上玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度(在本例中为22℃)低的树脂A的混合树脂材料形成的实施例1、2、5～20的树脂层、或仅使用树脂A形成的比较例4的树脂层中，在向树脂层按压压模2时，可将各凸部25a顺利地(容易地)压入树脂层至足够深。相反，不含有玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度低的树脂A、仅使用树脂C形成的比较例3及仅使用树脂D形成的比较例5的树脂层在向树脂层按压压模2时，不能将各凸部25a压入树脂层至足够深，不能形成足够深度的凹部(产生转印缺陷)。这样，可理解在形成用于形成凹凸图案的树脂层时，由于使用至少含有10％玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度低的树脂材料(在本例中为树脂A)的混合树脂材料，所以在向树脂层按压压模2时，可将各凸部25a顺利地压入树脂层至足够深，且可以高精度形成期望的凹凸图案(可避免产生转印缺陷)。

另外，使用含有10％以上玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度高的树脂材料(树脂C、D)的混合树脂材料形成的实施例1、2、5～20的树脂层、或仅使用树脂C形成的比较例3的树脂层及仅使用树脂D形成的比较例5的树脂层在剥离压模2之后，所形成的凹凸图案没有产生较大变形，将该凹凸形状维持在高精度的状态下。相反，不含有玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度高的树脂材料(树脂C、D)、仅使用树脂A形成的比较例4的树脂层在剥离了压模2之后，所形成的凹凸图案变形大，不能维持该凹凸形状。这样，可理解在形成用于形成凹凸图案的树脂层时，由于使用至少含有10％玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度高的树脂材料(在本例中，树脂C、D)的混合树脂材料，所以在剥离了压模2之后，所形成的凹凸图案没有产生较大变形，将该凹凸形状维持在了高精度的状态下。

这时，如图7、8所示，为了避免产生转印缺陷、以充分高的精度形成凹凸图案，最好使用含有30％以上玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度低的树脂材料(树脂A)的混合树脂材料形成树脂层。另外，为了避免在压模2剥离后凹凸图案的变形、维持该凹凸形状足够的时间，最好是使用含有30％以上玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度高的树脂材料(树脂C、D)的混合树脂材料形成树脂层。因此，为了在避免产生转印缺陷、以充分高的精度形成凹凸图案的同时，避免在压模2剥离之后凹凸图案的变形、维持凹凸形状足够的时间，最好是含有30％以上玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度低的树脂材料、且含有30％以上玻璃转变点比压印处理时树脂层的温度高的树脂材料来制作混合树脂材料。

这样，根据上述的凹凸图案形成方法，通过在中间体10(基材)上涂布混合了玻璃转变点比按压压模2时树脂层3的温度低的第1树脂材料、和玻璃转变点比按压压模2时树脂层3的温度高的第2树脂材料的混合树脂材料来形成树脂层3，由此在向树脂层3按压压模2时，可将凹凸图案25中的各凸部25a顺利地压入树脂层3至足够深。因此，可避免各凸部25a压入不足所引起的凹凸图案25的转印缺陷，在中间体10上以高精度形成凹凸图案35。另外，可避免在从树脂层3剥离压模2之后凹凸图案35发生较大变形的情况，在高精度的状态下维持了该凹凸形状。

另外，根据上述的信息记录介质制造方法，由于使用依据上述的凹凸图案形成方法在中间体10(基材)上形成的凹凸图案35来制造磁盘1(信息记录介质)，所以，例如通过将形成的凹凸图案35用作掩模图案或将凹凸位置关系与凹凸图案35一致的凹凸图案用作掩模图案来蚀刻处理中间体10，可在其全部区域以高精度形成凹凸图案15。

另外，本发明不限于上述的构成及方法。例如，在上述的凹凸图案形成方法中，未执行对中间体10、树脂层3及压模2的加热处理或冷却处理等而进行压印处理，但本发明的凹凸图案形成方法不限于此，为了使各凸部25a更容易压入树脂层3，可采用在压印处理开始之前加热处理中间体10、树脂层3及压模2至某种程度的温度的方法。在该方法中，通过在用于形成树脂层3的树脂材料中含有玻璃转变点比压印处理时树脂层3的温度高的树脂材料，即便在压模2剥离之前未冷却处理中间体10、树脂层3及压模2，也可充分避免形成于树脂层3上的凹凸图案35产生较大变形的情况。

另外，例如在进行压印处理的作业场所的温度高时，为了避免在压模2剥离后凹凸图案35变形，可采用在压印处理开始之前冷却处理中间体10、树脂层3及压模2至某种程度的温度的方法。在该方法中，通过在用于形成树脂层3的树脂材料中含有玻璃转变点比压印处理时树脂层3的温度低的树脂材料，即便通过冷却处理降低树脂层3的温度，也可将压模2的各凸部25a容易地压入树脂层3。由此，可充分避免产生凹凸图案转印缺陷的情况。

Claims

1、一种凹凸图案形成方法，通过将形成了压模侧凹凸图案的压模压在基材上的树脂层上，从而将该压模侧凹凸图案转印到该树脂层上，在该基材上形成凹凸图案，其中，通过在所述基材上涂布混合了玻璃转变点比按压所述压模时所述树脂层的温度低的第1树脂材料、和玻璃转变点比所述按压时所述树脂层的温度高的第2树脂材料的混合树脂材料来形成所述树脂层。

2、一种信息记录介质制造方法，其中，使用依据权利要求1所述的凹凸图案形成方法在所述基材上形成的凹凸图案来制造信息记录介质。