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CN113345991A - 化合物半导体外延片及其制造方法 - Google Patents

化合物半导体外延片及其制造方法 Download PDF

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CN113345991A
CN113345991A CN202110227150.6A CN202110227150A CN113345991A CN 113345991 A CN113345991 A CN 113345991A CN 202110227150 A CN202110227150 A CN 202110227150A CN 113345991 A CN113345991 A CN 113345991A
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CN
China
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layer
type
epitaxial wafer
compound semiconductor
semiconductor epitaxial
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Pending
Application number
CN202110227150.6A
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English (en)
Chinese (zh)
Inventor
酒井健滋
桑原政彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Publication date
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