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TWD228269S - 基板處理裝置用基板保持具 - Google Patents

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TWD228269S
TWD228269S TW111303487F TW111303487F TWD228269S TW D228269 S TWD228269 S TW D228269S TW 111303487 F TW111303487 F TW 111303487F TW 111303487 F TW111303487 F TW 111303487F TW D228269 S TWD228269 S TW D228269S
Authority
TW
Taiwan
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substrate
processing equipment
substrate processing
holder
substrate holder
Prior art date
Application number
TW111303487F
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English (en)
Chinese (zh)
Inventor
谷口大騎
Original Assignee
日商國際電氣股份有限公司
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Publication date
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