JP1700782S - 基板処理装置用ボート - Google Patents
基板処理装置用ボートInfo
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- JP1700782S JP1700782S JP2021007894F JP2021007894F JP1700782S JP 1700782 S JP1700782 S JP 1700782S JP 2021007894 F JP2021007894 F JP 2021007894F JP 2021007894 F JP2021007894 F JP 2021007894F JP 1700782 S JP1700782 S JP 1700782S
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- JP
- Japan
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- boat
- substrate processing
- processing equipment
- screws
- ring
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Abstract
本願物品は、基板処理装置の縦型反応室内に複数の基板を水平に保持するためのボートで、上端のリングは複数の支柱とネジにより固定されている。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021007894F JP1700782S (ja) | 2021-04-14 | 2021-04-14 | 基板処理装置用ボート |
| TW110305463F TWD225037S (zh) | 2021-04-14 | 2021-10-08 | 基板處理裝置用晶舟之部分 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021007894F JP1700782S (ja) | 2021-04-14 | 2021-04-14 | 基板処理装置用ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1700782S true JP1700782S (ja) | 2021-11-29 |
Family
ID=78766350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021007894F Active JP1700782S (ja) | 2021-04-14 | 2021-04-14 | 基板処理装置用ボート |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1700782S (ja) |
| TW (1) | TWD225037S (ja) |
-
2021
- 2021-04-14 JP JP2021007894F patent/JP1700782S/ja active Active
- 2021-10-08 TW TW110305463F patent/TWD225037S/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWD225037S (zh) | 2023-05-01 |
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