TW317510B - - Google Patents

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317510 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7__ 五、發明説明（1 ) 太發明：> 背鲁 、 本發明是两於一棰光阻劑噴灑的裝置，詳言之，是蘭 於用於塗佈光阻劑連同應用來自気氣的壓力的一棰光阻劑 之噴灌装置。 在一般的半導體元件製造中，一値光阻劑圜案形成的 遇程乃是光阻劑被塗佈在一値材料薄膜上，暴露在光線下 ，且顯影是必須的以達到將材料薄膜圖案複印在一値半導 體晶圄上。在下文中，一種用於形成光阻劑圖案的蕓式光 阻劑嗅灌裝置將被描述。 第1圏是一値舊式的光阻劑噴灑裝置之概略圏。此處 ，這棰舊式光阻劑噴灌裝置包括一値氣缸10作為藉箸由外 界提供的空氣壓力而向前向後移動，一鶴風箱15作為依據 氣缸10的向前與向後移動而在一個預設的方向壓縮與膨脹 ，一痼流入導管30,面對氣缸10連接到風箱15,用於讓光 狙劑流入，及一艢流出導管35用於排出流入風箱15的光阻 劑。 具有上述結構之舊式光阻剤噴灑裝置中*當氣缸10被 外加驅動力向後移動，風箱15膨脹。當風箱15膨脹，光阻 劑經由流入導管30流進風箱15内且被注入在其内。這期間 ，裝置在滾出導管35的一值預定位置的一齒閥門（未示出 )被關閉Μ阻止空氣從潦出導管35進入風箱15的滾動。 然後，當氣缸10被外加驅動力向前移動*風箱15被壓 缩Μ經由綸出導管35排出在風箱15内的光阻劑。造期間， 裝置在滾入導管30的一®預定位置的閬門（未示出）被闋 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本莧) -裝· 訂 --線 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -5 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明（2 ) 晓K阻止在風箱15内的光阻劑回流到流入導管30。如此， 葙由風箱15連續地重覆膨脹與收縮光阻劑被噴灑。 然而，由於用在舊式光阻劑噴酾裝置的風箱15被以摺 痕做成皺紋式使它易於膨脹舆壓縮，當風箱15膨脹且被壓 縮時泡沫25被產生在摺痕的外凸侧。這些泡沫25,當一鏑 半導體晶圖塗佈時含在光咀劑内，產生一匍塗佈缺點。同 時，因為風箱15的蓮作速率可能由於泡沫25而改變，噴到 半導體晶圓的光咀劑流可能發生中斷。 太發明 > 描里 综上所述，本發明的一悃目的是提供一僮光阻劑噴灑 裝置可Η避免泡沫含在塗佈的光阻剤内藉以解決上述的問 題。 為了達成上述目的，有一値光阻爾噴灑裝置被提供包 括：一値大槽它装著光阻劑以及一値空氣部份；一傾光阻 劑滾入導管連接到大槽的側壁；一個光阻劑流出導管連接 到大槽的底部；一摘Τ型氣醱導管具有一艟氣體入口，一 掴氣體出口Μ及介於其間的連接部份作為連接到大槽，其 中建接到大槽内空氣部份的連接部份位在高於光阻劑滾入 導管之上，而且經由氣髏入口引進的氣髏至氣體出口的排 出，降低大槽内的空氣壓力使得餘留在大槽内的空氣和泡 沫經由連接部份被排出到氣龌出口因而光阻劑被注入在光 阻剤滾入導管内；和一個閥門，提供在氣髏導管的氣篇出 口的那一侧上，依照大槽內的壓力用開啟與鼸閉來使光阻 劑注入與滾出大槽。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ?<?7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本Κ) -裝- 訂 317510 A7 B7 五、發明説明（3 ) 依照本發明，此光阻劑噴爾裝置進一步包括一値第一 壓力偵檢感測器作為偵拥在大槽內的空氣壓力它被提供在 大槽的上方部位；Μ及一値第二壓力偵檢感測器作為偵測 被排出之光阻劑的壓力它被提供在光阻劑流出導管上。 另外，在氣體導管内«氣（Na)是比較被喜歡使用。 依照本發明，在氣體導管内之氣睡流動與閥門的動作 一致，如此容易地從在大槽中的光阻劑移去泡沫，因而改 善光阻劑塗佈的品質。 附圓：> 筋沭 本發明的上述目的與利益藉由一値比較具體的詳細描 述並連同參閲的附圈將變得更加明確，其中； 第1圖是一掴I舊式的光阻劑噴灑装置的概略圖；Μ及 第2圖是依照本發明的一偁光阻劑噴灞裝置的概輅圖 〇 太發明的铥细描沐 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 參閲第2匾，依照本發明的光阻劑啧灌裝置包括一偏 大槽110用含有泡沫125的光阻剤115部份地注入，一锢氣 體導管140作為注入氣髅到大槽110內，一個光阻劑流入導 管150作為從外部來源的光阻劑注入，一掴光阻劑流出導 管155作為排出在大槽110内的光阻劑，一镳第一壓力偵檢 感澜器130,被設在大槽110的頂供部位，作為偵澜在大槽 内的空氣部位120的空氣壓力及一個第二壓力偵檢感 測器135,被提供在大橹110的底镅部位，作爲偵測從大槽 110被拂出的光阻劑115在此處的壓力。 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 7510 A7 B7 五、發明説明（4) 氣豔導管140被連接到空氣部位120,且包含一値氣體 入口 141及一值氣體出口 142。一值閥門145被提供在氣體 出口 142的一傾預設位置上用於依照在空氣部位120内的空 氣壓力來開啟與鼴閉。另外*光阻劑流入導管150具有一 値光阻剤入口 151，而光阻劑滾出導管155具有一館光阻劑 出口 156 〇 在下文中，依照本發明之光咀莆噴篇裝置的動作將連 同參閲第2圏被詳細描述。 首先，當閥門145被開啟時，気（~»>氣經由氣髏導管 140的氣鱧入口 141滾入。接著，當《氣經由氣鱧出口 142 流出時*在大槽110內的空氣也經由氣體出口 142滾出，如 此降低大槽110内的内部壓力，因而，光蝕劑流入大榷110 內。 在這期間，由於在氣體導管140内的氣體流動造成的 壓力差使得藉由光阻劑滾入而產生在光阻稱115表面上的 泡沫125連同在空氣部份120的空氣經由氣«導管140的氣 體出口 142—起滾出大槽，對照舊式的技術。如此，泡沫 不被含在經由光阻劑溁出導管155被排出的光阻劑115內。 另外，經由氣鼸入口 141被提供的隽氣的量是依賴在大槽 110内的空氣壓力被調整的而它是被第一壓力偵檢感澜器 130偵拥的。 其次，當閥門145被關閉》気氣經由氣®導管140的氣 腥入口 141被引入大槽110。在逭期間，在大槽110内的光 阻劑115由於大槽内的壓力經由光阻劑流出導管155的光阻 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） m· mj tn^ Λ In flm —mmn —flu An_r m am— flm n^i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁· ) » -8 - A7 B7 經濟部中央標丰局貝工消費合作社印製 10 .. 15 . 25 . 30. 35 . 110 115 120 125 130 五、發明説明（5) 劑出口 156被噴灞到半導體晶画上。 此處，被噴獮的光阻劑115的壓力被第二壓力偵檢感 測器135所偵測。依照偵測結果，經由氣體入口 141提供的 氮氣的量被調整。此即，當在大槽110内沒有流入或流出 運作時空氣部份120具有正常的空氣壓力。如果在大棺110 内有滾入或滾出運作，其空氣壓力依閥門145是開啟或關 閉而改變。 如上文所逑，因爲本發明使用一雇大槽當作光阻劑被 滾入或被排出的一餾部份，泡沫被阻止去含在被嗔爾的光 阻劑内。因而，光阻薄塗佈的品質可Μ被加強。 本發明並非僅限於上述之實施例，邇包含在本發明的 技術精神内可被熟知此技術者所進行的各種變化者。 元件棲號對照 氣缸 135 . 風箱 140 . 泡沫 141 . 滾入導管 142 . 溁出導管 145 . 大榷 150 . 光阻劑 151 . 空氣部份 155 . 泡沫 156 . 第一壓力偵檢感測器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐） .第二壓力偵檢感測器 .氣體導管 .氣體入口 .空氣出口 .閥門 .光阻蒴滾入導管 .光阻劑入口 .光阻劑流出導管 .光阻劑出口 ----Κ---„--^--裝---U---訂---.--{--線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁·) · 9

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 SI 7510 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍’ 1.一棰光阻劑噴灑裝置包括： 一個儲存光阻劑Μ及一値空氣部份的大槽； 一値光阻劑流入導管連接到該大槽的钿壁； 一値光阻劑流出導管連接到該大槽的底部； 一鶴Τ型氣羅導管具有一痼氣體入口，一値氣體 出口Μ及一偏介於兩者之間的連接部份作為連接到大 槽用，其中該連接部份連接到在該大槽內的該空氣部 份，且位在高於該光阻劑流入導管之上，而由該氣體 入口引進的氣體至該氣體出口的排出，降低了在該大 槽內的空氣壓力，使得餘留在該大槽内的空氣和泡沫 經由該連接部份被排出到該氣體出口，而光阻劑被注 入到該光阻劑流入導管内；Μ及 ;一値閥門，提供在該氣匾導管的該氣罈出口之一 側，俥依照在該大槽内的壓力而開啟與鼷閉來使光阻 剤注入與流出該大槽。 ~ 2.依照申請專利範圍第1項的一棰光阻劑喷漏装置，進 一步包括一設在該大榷的頂上部位之第一壓力偵檢感 測器作為偵测在該大槽内的壓力用； 以及一設在該光阻劑流出導管上之第二麽力偵檢 感测器作為偵測正被排出之光阻黼的壓力用。 3^照申請專利範圍第1項的一棰光阻劑噴獮装置，其 被用在該氣體導管内。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁-; 裝. 訂 線 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210 X 297公釐） -10 -