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KR0175048B1 - 포토레지스트 분사장치 - Google Patents

포토레지스트 분사장치 Download PDF

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KR0175048B1
KR0175048B1 KR1019960007379A KR19960007379A KR0175048B1 KR 0175048 B1 KR0175048 B1 KR 0175048B1 KR 1019960007379 A KR1019960007379 A KR 1019960007379A KR 19960007379 A KR19960007379 A KR 19960007379A KR 0175048 B1 KR0175048 B1 KR 0175048B1
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Abstract

본 발명은 질소가스의 압력을 이용하여 포토레지스트를 도포시키는 포토레지스트 분사장치에 관한 것이다.
본 발명은, 포토레지스트를 저장하기 위한 탱크(tank)와, 상기 탱크의 측면 소정위치에 연결된 포토레지스트 주입관과, 상기 탱크의 하면 소정위치에 연결된 포토레지스트 배출관과, 중앙 소정위치가 상기 탱크의 상단에 연결되어 탱크 내부의 압력을 조정하는 가스관과, 상기 가스관의 가스배출구에 장착되어 가스의 배출을 결정하는 밸브를 포함하여 구성된다.
상기 탱크의 상단 소정위치에는 상기 탱크 내부의 대기 압력을 감지하는 제1압력감지수단이 장착되고, 상기 포토레지스트 배출관의 소정위치에는 배출되는 포토레지스트의 압력을 감지하는 제2압력감지수단이 장착되어 구성되며, 상기 가스관에서는 질소가스(N2)를 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명은 상기 밸브의 동작에 따라 가스관에서 가스의 이동이 발생되고, 그에 의해 탱크 내의 포토레지스트에 포함된 기포를 용이하게 제거함으로서 코팅되는 포토레지스트의 품질을 향상시킬 수 있다.

Description

포토레지스트 분사장치
제1도는 종래 기술에 의한 포토레지스트 분사장치의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
제2도는 본 발명에 의한 포토레지스트 분사장치의 구성을 나타내는 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
110 : 탱크(tank) 115 : 포토레지스트
120 : 대기부 125 : 기포
130 : 제1압력감지용 센서 135 : 제2압력감지용 센서
140 : 가스관 141 : 가스주입구
142 : 가스배출구 145 : 밸브
150 : 포토레지스트 주입관 151 : 포토레지스트 주입구
155 : 포토레지스트 배출관 156 : 포토레지스트 배출구
본 발명은 포토레지스트 분사장치에 관한 것으로서 특히, 질소가스의 압력을 이용하여 포토레지스트를 도포시키는 포토레지스트 분사장치에 관한 것이다.
일반적인 반도체 제조공정에서는 반도체 웨이퍼 상에 일정한 형태의 패턴을 형성시키기 위한 방법으로서 기판상에 포토레지스트(photoresist)를 코팅한 후 일정 형태로 패터닝하여 이온주입 및 식각을 수행하는 방법을 사용한다.
종래 기술에 의한 포토레지스트 분사장치는 제1도에 도시된 바와 같이 외부에서 공급되는 동력에 의한 공기압에 의해 전후진 동작을 수행하는 실린더(cylinder)(10)와, 상기 실린더(10)의 전후진 동작에 따라 일정방향으로 압축 및 팽창동작을 하는 벨로우즈(bellows)(15)와, 상기 벨로우즈(15)에 상기 실린더(10)와 대향되도록 반대방향으로 연결되어 포토레지스트의 이동로 역할을 하는 흡입관(30) 및 배출관(35)을 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성되는 종래의 포토레지스트 분사장치는 먼저, 상기 실린더(10)의 외부동력에 의해 후진동작을 하면 그에 따라 상기 벨로우즈(15)가 팽창동작(참조번호 20 참조)이 이루어진다. 상기 벨로우즈(15)의 팽창동작이 수행되면 상기 흡입관(30)을 통해 포토레지스트가 상기 벨로우즈(15) 내부에 들어와 충진된다. 이때, 상기 배출관(35)의 소정위치에 장착되는 밸브(미도시)가 닫힘으로써 상기 배출관(35)으로부터 상기 벨로우즈(15) 내로의 공기유입 등을 방지하게 된다.
그후, 상기 실린더(10)가 외부동력에 의해 전진동작을 수행하게 되면 상기 벨로우즈(15)가 압축되고, 그에 따라 상기 배출관(35)를 통해 상기 벨로우즈(15) 내부의 포토레지스트가 배출된다. 이때, 상기 흡입관(30)의 소정위치에 장착되는 밸브(미도시)가 닫힘으로써 상기 벨로우즈(15) 내부의 포토레지스트가 상기 흡입관(30) 쪽으로 역류되는 것을 방지한다.
상기와 같은 벨로우즈(15)의 팽창 및 압축이 연속적으로 반복되어 포토레지스트의 분사가 이루어진다.
그러나, 상기와 같은 포토레지스트 분사장치에 사용되는 벨로우즈(15)는 압축 및 팽창이 용이하게 수행되도록 산과 골로 이루어지는 주름이 형성되어 있기 때문에 압축 및 팽창 동작시 상기 주름의 산 부분에서 포토레지스트 내에 기포(25)가 발생하게 된다.
상기와 같은 기포(25)는 반도체 웨이퍼에 도포되어 코팅되는 포토레지스트에 포함되어 코팅불량을 발생시키게 되고, 상기 벨로우즈(15)의 동작속도를 변경시키게 되어 웨이퍼의 포토레지스트 찢김현상 등을 발생시키는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 포토레지스트의 충진과 배출을 탱크(tank)식으로 수행하여 코팅되는 포토레지스트에 기포가 포함되지 않도록 할 수 있는 포토레지스트 분사장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 포토레지스트를 저장하기 위한 탱크(tank)와, 상기 탱크의 측면 소정위치에 연결된 포토레지스트 주입관과, 상기 탱크의 하면 소정위치에 연결된 포토레지스트 배출관과, 중앙 소정위치가 상기 탱크의 상단에 연결되어 탱크 내부의 압력을 조정하는 가스관과, 상기 가스관의 가스배출구에 장착되어 가스의 배출을 결정하는 밸브를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 분사장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 의하면, 상기 탱크의 상단 소정위치에는 상기 탱크 내부의 대기 압력을 감지하는 제1압력감지수단이 장착되고, 상기 포토레지스트 배출관의 소정위치에는 배출되는 포토레지스트의 압력을 감지하는 제2압력감지수단이 장착되어 구성되며, 상기 가스관에서는 질소가스(N2)를 사용하는 것이 바람직하다.
상기의 본 발명은 상기 밸브의 동작에 따라 가스관에서 가스의 이동이 발생되고, 그에 의해 탱크 내의 포토레지스트에 포함된 기포를 용이하게 제거함으로서 코팅되는 포토레지스트의 품질을 향상시킬 수 있다.
이하, 본 발명에 의한 포토레지스트 분사장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제2도는 본 발명에 의한 포토레지스트 분사장치의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
제2도를 참조하면, 참조번호 110은 내부 일부가 포토레지스트에 의해 채워진 것을 나타내고, 115는 상기 탱크(110) 내부에 채워진 포토레지스트를 나타내고, 120은 대기부 예컨대 상기 탱크(110) 내부에서 상기 포토레지스트(115)가 채워진 부분의 상부공간을 나타낸다. 참조번호 125는 상기 탱크(110) 내의 포토레지스트(115) 상측에 발생되는 기포를 나타낸다.
또한, 참조번호 130은 상기 탱크(110)의 상단에 장착되어 상기 대기부(120)의 공기압력을 감지하는 제1압력감지용 센서를 나타내고, 참조번호 135는 상기 탱크(110)의 하단에 장착되어 상기 탱크(110)에서 배출되는 포토레지스트의 압력을 감지하는 제2압력감지용 센서를 나타낸다.
참조번호 140은 상기 대기부(120)와 연결되는 가스관을 나타내고, 141은 상기 가스관(140)의 가스주입구를 나타내고, 142는 상기 가스관(140)의 가스배출구를 나타낸다. 또한, 참조번호 145는 상기 가스배출구(142)의 소정위치에 장착되어 상기 대기부(120)의 공기압력에 따라 개폐되는 밸브를 나타낸다.
참조번호 150은 상기 탱크(110) 내부로 포토레지스트를 공급하는 포토레지스트 주입관을 나타내고, 151은 상기 포토레지스트 주입관(150)의 포토레지스트 주입구를 나타낸다. 참조번호 155는 상기 탱크(110) 내부의 포토레지스트를 분사하는 포토레지스트 배출관을 나타내고, 156은 상기 포토레지스트 배출관(155)의 포토레지스트 배출구를 나타낸다.
상기 대기부(120)는 상기 탱크(110)에서 흡입 및 배출 동작이 없는 경우 평상의 기압상태를 가지고, 흡입 및 배출 동작이 있는 경우에는 그 기압상태가 상기 밸브(145)의 상태에 따라 변하게 된다.
본 발명의 동작은 먼저, 상기 밸브(145)가 열려 상기 가스관(140)의 가스주입구(141)를 통해 질소(N2)가스가 들어와 가스배출구(142)를 통해 나가게 되면 상기 탱크(110) 내부의 공기도 상기 가스배출구(142)를 통해 빠져나감으로서 상기 탱크(110) 내부가 진공이 된다.
이때, 상기 포토레지스트 주입관(150)을 통해 상기 탱크(110) 내부로 공급되는 포토레지스트(115)의 상측에 발생되는 기포(125)는 상기 가스관(140)에서의 가스이동에 의한 압력차에 의해 터져서 상기 대기부(120)의 공기와 함께 상기 가스관(140)의 가스배출구(142)을 통해 밖으로 빠져나간다. 상기 가스주입구(141)를 통해 공급되는 질소가스의 양은 상기 제1압력감지용 센서(130)에서 감지되는 상기 탱크(110) 내부의 압력에 따라 조절된다.
한편, 상기의 동작에 의해 상기 탱크(110)에 충진된 포토레지스트(115)를 분사시키기 위한 동작은, 상기 밸브(140)가 닫히고 그에 따라 상기 가스관(140)의 가스주입구(141)을 통해 주입되는 질소가스가 상기 탱크(110) 내부로 유입되면, 상기 탱크(110) 내부의 포토레지스트(115)는 상기 질소가스의 압력에 의해 상기 포토레지스트 배출관(155)의 포토레지스트 배출구(156)을 통해 분사된다.
이때, 상기 분사되는 포토레지스트(115)의 압력은 상기 제2압력감지용 센서(135)에 의해 감지되고 그 결과에 따라 상기 가스주입구(141)를 통해 공급되는 질소가스의 양이 조절된다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 분사되는 포토레지스트에 기포가 포함되지 않기 때문에 코팅되는 포토레지스트의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 포토레지스트를 저장하기 위한 탱크(tank)와, 상기 탱크의 측면 소정위치에 연결된 포토레지스트 주입관과, 상기 탱크의 하면 소정위치에 연결된 포토레지스트 배출관과, 중앙 소정위치가 상기 탱크의 상단에 연결되어 탱크 내부의 압력을 조정하는 가스관과, 상기 가스관의 가스배출구에 장착되어 가스의 배출을 결정하는 밸브를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 분사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 탱크의 상단 소정위치에는 상기 탱크 내부의 대기 압력을 감지하는 제1압력감지수단이 장착되고, 상기 포토레지스트 배출관의 소정위치에는 배출되는 포토레지스트의 압력을 감지하는 제2압력감지수단이 장착된 것을 특징으로 하는 포토레지스트 분사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가스관에서는 질소가스(N2)를 사용하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 분사장치.
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