CN113534610B - 一种光刻胶空气隔绝系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光刻胶空气隔绝系统，包括：供气装置；多个调压装置，所述多个调压装置包括：排胶调压装置和保压装置；每个所述调压装置包括：减压阀和节流阀，所述供气装置依次连通所述减压阀和所述节流阀，且所述多个调压装置的所述减压阀的工作使用压力不同；阀岛，设有多个第一进气口，所述第一进气口连通所述调压装置；光刻胶储存装置，设有第二进气口和出胶口，所述第二进气口连通所述阀岛。本发明有效解决更换胶瓶或重装胶液时，胶液接触空气的问题。

Description

一种光刻胶空气隔绝系统

技术领域

本发明涉及半导体晶圆领域，尤其涉及一种光刻胶空气隔绝系统。

背景技术

目前，对光刻胶进行封装或使用胶瓶内的光刻胶时，常采用氮气压力供给，或者采用高粘度胶泵输送光刻胶。例如，将压力合适的氮气冲入胶瓶，对光刻胶进行加压，从而将光刻胶挤出胶瓶。然而现有技术中，存在单独对胶瓶进行充氮气的装置，其存在的问题是，其内的光刻胶不能充分使用完，有残余，且在更换胶瓶或者重装胶液的过程中容易产生接触空气的风险，导致光刻胶性质改变。

发明内容

因此，本发明实施例提供一种光刻胶空气隔绝系统，有效解决更换胶瓶或重装胶液时，胶液接触空气的问题。

本发明实施例提供的一种光刻胶空气隔绝系统，包括：供气装置；多个调压装置，所述多个调压装置包括：排胶调压装置和保压装置；每个所述调压装置包括：减压阀和节流阀，所述供气装置依次连通所述减压阀和所述节流阀，且所述多个调压装置的所述减压阀的工作使用压力不同；阀岛，设有多个第一进气口，所述第一进气口连通所述调压装置；光刻胶储存装置，设有第二进气口和出胶口，所述第二进气口连通所述阀岛。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述供气装置用于进气，对光刻胶进行加压，从而排出光刻胶；所述减压阀用于调节压力，所述节流阀用于调节流量，使光刻胶流出的过程更加稳定；所述多个调压装置的所述减压阀的工作使用压力不同，从而通过切换管路能够实现不同的加压效果：例如排出光刻胶时，所述阀岛能够将管路切换至所述排胶调压装置，从而通过气压将光刻胶挤出；重装光刻胶时，所述阀岛能够将管路切换至所述保压装置，从而维持所述光刻胶储存装置内的压力，避免外接空气从所述出胶口进入所述光刻胶储存装置，导致光刻胶性质变化。

在本发明的一个实施例中，所述阀岛设有出气口，连通所述第二进气口；其中，所述出气口连通任意一个所述第一进气口，并能够在多个所述第一进气口中切换。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述阀岛的出气口用于排气，所述阀岛能够将所述出气口切换连接至不同的所述第一进气口，从而连通工作使用压力不同的所述减压阀，已达到不同的加压效果。

在本发明的一个实施例中，所述阀岛包括：多个二位三通阀，每个所述二位三通阀设有所述出气口和多个所述第一进气口；其中，多个所述第一进气口包括所述排胶进气口、所述保压进气口。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述二位三通阀能够使所述排胶进气口和所述出气口导通，或所述保压进气口和所述出气口导通；多个所述二位三通阀能够提高工作效率，并且多个所述二位三通阀各自动作，能够实现同一时刻不同的所述二位三通阀采用不同的导通方式，即同时进行保压功能和排胶功能。

在本发明的一个实施例中，所述排胶调压装置，包括：第一减压阀；所述保压装置，包括：第二减压阀；所述第一减压阀的工作使用压力大于所述第二减压阀的工作使用压力。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一减压阀能够在开启所述排胶调压装置时，将气压控制为较高状态，从而具有足够的压力能够推动光刻胶排出所述光刻胶储存装置；所述第二减压阀能够能够在开启所述保压装置时，将气压维持在较低状态，从而避免外界空气进入所述光刻胶储存装置，造成光刻胶性质变化。

在本发明的一个实施例中，所述第一减压阀的工作使用压力为0.1Mpa至0.2Mpa；和/或所述第二减压阀的工作使用压力为0.005Mpa至0.01Mpa。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一减压阀将气压控制在0.1Mpa至0.2Mpa，即大于等于大气压强，能够有效排出所述光刻胶储存装置内的光刻胶；所述第二减压阀将气压控制在0.005Mpa至0.01Mpa，能够对所述光刻胶储存装置有效保压。

在本发明的一个实施例中，所述排胶调压装置还包括：第一节流阀；其中，所述第一节流阀连通于所述第一减压阀和所述排胶进气口之间。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述阀岛将管路切换至所述排胶进气口，开启排胶功能；气体经过所述第一减压阀和所述第一节流阀，以合适的压力和流量推动光刻胶排出。

在本发明的一个实施例中，所述保压装置还包括：第二节流阀和排气阀；其中，所述第二减压阀依次连通所述第二节流阀、所述排气阀和所述保压进气口。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述阀岛将管路切换至所述保压进气口，开启保压功能；气体经过所述第二减压阀和所述第二节流阀，能够具有较低的压力和流量，维持所述光刻胶储存装置的气压，避免空气进入所述光刻胶储存装置；所述排气阀能够在所述管路由排胶功能切换至保压功能时，排出管内气体，是当前气压更加稳定。

在本发明的一个实施例中，所述光刻胶储存装置包括多个胶瓶，所述第二进气口和所述出胶口设于所述胶瓶。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述光刻胶空气隔绝系统能够同时对多个胶瓶进行保压或排胶；在每个所述胶瓶对应一个二位三通阀的基础上，不同的所述胶瓶能够进行不同的功能。

在本发明的一个实施例中，所述胶瓶还包括单向阀和/或泄压阀，设于所述第二进气口。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述单向阀能够防止所述胶瓶内的气体从所述第二进气口逸出；所述泄压阀能够在所述二位三通阀由所述排胶进气口切换至所述保压进气口时，排出所述胶瓶内的部分气体，降低所述胶瓶内的气压。

在本发明的一个实施例中，所述光刻胶空气隔绝系统还包括：控制系统，连接所述阀岛。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述控制系统能够控制所述阀岛中，各个所述二位三通阀的通断。

综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)所述光刻胶空气隔绝系统具有减压阀和节流阀，通过所述减压阀调节所述气压，通过所述节流阀调节流量，从而使气体更加稳定地对所述胶瓶内的光刻胶进行加压；ii)所述光刻胶空气隔绝系统设置两个工作使用压力不同的所述减压阀，较低的工作使用压力能够实现保压功能，从而避免重装光刻胶时空气进入胶瓶内，导致光刻胶性质变化，较高的工作压力能够实现排胶功能，将光刻胶压出所述胶瓶，便于更换所述胶瓶；i ii)多个所述二位三通阀实现所述保压功能和所述排胶功能的切换，每个所述二位三通阀对应一个所述胶瓶，从而提高所述光刻胶空气隔绝系统的工作效率，并且多个所述胶瓶单独工作，能够实现不同的功能，即部分胶瓶进行保压功能，部分胶瓶进行排胶功能；iv)所述排气阀和所述泄压阀能够在所述二维三通阀由所述排胶进气口切换至所述保压进气口时，进行排气，降低气压，时整个气路更加。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种光刻胶空气隔绝系统的结构示意图。

图2为图1中的光刻胶空气隔绝系统的管路图。

图3为图2中光刻胶储存装置的结构示意图。

图4为图3中胶瓶的结构示意图。

主要元件符号说明：

100为光刻胶空气隔绝系统；110为供气装置；111为气源；112为第二手动阀；120为调压装置；120a为减压阀；120b为节流阀；121为排胶调压装置；121a为第一减压阀；121b为第一节流阀；122为保压装置；122a为第二减压阀；122b为第二节流阀；122c为排气阀；130为阀岛；131为排胶进气口；132为保压进气口；133为出气口；134为二位三通阀；140为光刻胶储存装置；141为胶瓶；142为单向阀；143为第二进气口；144为出胶口；145为泄压阀；150为控制系统。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参见图1-2，其为本发明实施例提供一种光刻胶空气隔绝系统100，包括：供气装置110、多个调压装置120、阀岛130和光刻胶储存装置140。其中，供气装置110、调压装置120、阀岛130和光刻胶储存装置140依次连通。供气装置110，用于提供气体，对光刻胶储存装置140内的光刻胶施加气压；调压装置120用于调节气体压力值和/或流量；阀岛130用于控制气路的导通；光刻胶储存装置140用于储存光刻胶，设有出胶口144。

在本实施例中，每个调压装置120例如包括：减压阀120a和节流阀120b，供气装置110依次连通减压阀120a和节流阀120b。减压阀120a用于调节气体压力，节流阀120b用于调节气体流量，节流阀120b置于减压阀120a之后能够使气压更加稳定。

在此基础上，多个调压装置120的减压阀120a的工作使用压力不同，使得气体经过减压阀120a后的气压值不同。举例来说，较高的气压能够将光刻胶储存装置140内的残余光刻胶从出胶口144挤出，便于更换光刻胶储存装置140；较低的气压能够使光刻胶储存装置140内的气压保持在一个稳定值，避免重装光刻胶时，外界气体进入光刻胶储存装置140，例如氧气，造成光刻胶的性质改变。

在一个具体的实施例中，多个调压装置120例如包括：排胶调压装置121和保压装置122。排胶调压装置121用于排出光刻胶；保压装置122用于维持光刻胶储存装置140内的气压。相应的，排胶调压装置121设有第一减压阀121a，保压装置122设有第二减压阀122a，第一减压阀121a的工作使用压力大于第二减压阀122a的工作使用压力。

优选的，第一减压阀121a和第二减压阀122a的压力范围例如为0.005Mpa至0.2Mpa。其中，第一减压阀121a的工作使用压力为0.1Mpa至0.2Mpa，即大于等于大气压，使得光刻胶储存装置140内的光刻胶在该压力的作用下能够全部从出胶口144挤出。进一步的，第二减压阀122a的工作使用压力为0.005Mpa至0.01Mpa，例如0.005Mpa，使气体经过第一减压阀121a后，其压力远小于大气压，阀岛130将管路从排胶调压装置121切换至保压装置122后，光刻胶储存装置140内的气压逐渐降低并稳定，与外界大气平衡，使得重装光刻胶时外界空气不会进入光刻胶储存装置140。

在一个具体的实施例中，阀岛130例如包括多个第一进气口，所述第一进气口连通调压装置120，阀岛130通过控制多个所述第一进气口的开闭来实现管路的切换。举例来说，在调压装置120包括排胶调压装置121和保压装置122的基础上，所述第一进气口例如为两个，包括与排胶调压装置121对应的排胶进气口131，以及与保压装置122对应的保压进气口132。

一方面，排胶调压装置121例如包括第一节流阀121b，设于第一减压阀121a之后。其中，第一节流阀121b可以直接连通排胶进气口131。

另一方面，保压装置122例如包括第二节流阀122b，设于第二减压阀122a之后。其中，保压装置122还可以设置排气阀122c，用于阀岛130将管路从排胶调压装置121切换至保压装置122后，进行排气，快速降低管路内气压，避免光刻胶继续排出光刻胶储存装置140。当然，保压装置122还可以设置气压传感器和流量传感器，测量当前气压与流量，从而控制排气阀122c的开闭，使管路内气压更加稳定。

优选的，第一节流阀121b和第二节流阀122b例如为单向节流阀120b，使得阀岛130将管路从排胶调压装置121切换至保压装置122后，气体不会因节流阀120b出口出气压大于入口处气压而导致气体逆流。

优选的，阀岛130例如设有出气口133，光刻胶储存装置140例如设有第二进气口143，所述第二进气口143连通阀岛130的出气口133。其中，所述出气口133在阀岛130内连通排胶进气口131或保压进气口132，并且能够相互切换。

进一步的，光刻胶空气隔绝系统100例如还包括控制系统150，控制系统150连接阀岛130，用于切换出气口133与排胶进气口131的连通，以及出气口133与保压进气口132的连通。

在一个具体的实施例中，阀岛130例如包括：多个二位三通阀134，每个二位三通阀134均设有排胶进气口131、保压进气口132和出气口133。优选的，二位三通阀134例如为二位三通电磁阀，从而通过控制系统150控制二位三通阀134的导通方式。

相应的，结合图3-4，光刻胶储存装置140例如包括多个胶瓶141，每个胶瓶141均设有第二进气口143和出胶口144，且胶瓶141的数量与二位三通阀134对应。多个胶瓶141能够同时进行排胶或保压，因此能够提高光刻胶空气隔绝系统100的工作效率。

优选的，排胶调压装置121的第一节流阀121b的出口例如分为多个第一管路，每个所述第一管路连通至任意一个二位三通阀134的排胶进气口131，即所述第一管路的数量与二位三通阀134的数量对应。同样的，保压装置122的排气阀122c的出口例如分为多个第二管路，每个所述第二管路连通至任意一个二位三通阀134的保压进气口132，即所述第二管路的数量与二位三通阀134的数量对应。

此时，多个二位三通阀134可以由控制系统150分开控制，实现任意数量的胶瓶141进行保压，而其余胶瓶141进行排胶。举例来说，二位三通阀134和胶瓶141均可以设置4-10个，例如6个，此处不做限定，其中部分二位三通阀134的排胶进气口131与出气口133导通，其余二位三通阀134的保压进气口132与出气口133导通。

进一步的，所述第一管路和所述第二管路上也可以设置电磁阀或第一手动阀，从而控制所述第一管路和所述第二管路的通断，实现部分胶瓶141停止工作。

优选的，胶瓶141例如还包括单向阀142，设于所述第二进气口143，使气流只能从第二进气口143进入胶瓶141，而不能从第二进气口143流出，避免胶瓶141内气压不稳定。

优选的，胶瓶141例如还包括泄压阀145，设于所述第二进气口143，使二位三通阀134由排胶进气口131与出气口133的导通，切换至保压进气口132与出气口133导通后，泄压阀145能够快速排出胶瓶141内多余气压，使胶瓶141快速进入保压的状态。

继续参见图1-2，供气装置110例如包括气源111和第二手动阀112，其中，气源111输送性质稳定的气体，例如氮气，第二手动阀112可以控制供气装置110的通断。当然第二手动阀112也可以替换为电磁阀，由控制系统150控制通断。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，包括：

供气装置；

多个调压装置，所述多个调压装置包括：排胶调压装置和保压装置；每个所述调压装置包括：减压阀和节流阀，所述供气装置依次连通所述减压阀和所述节流阀，且所述多个调压装置的所述减压阀的工作使用压力不同；

阀岛，设有多个第一进气口，所述第一进气口连通所述调压装置；

光刻胶储存装置，设有第二进气口和出胶口，所述第二进气口连通所述阀岛；

所述阀岛设有出气口，连通所述第二进气口；其中，所述出气口连通任意一个所述第一进气口，并能够在多个所述第一进气口中切换；

所述阀岛包括：多个二位三通阀，每个所述二位三通阀设有所述出气口和多个所述第一进气口；其中，多个所述第一进气口包括排胶进气口、保压进气口；

所述排胶调压装置，包括：第一减压阀；所述保压装置，包括：第二减压阀；所述第一减压阀的工作使用压力大于所述第二减压阀的工作使用压力。

2.根据权利要求1所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，

所述第一减压阀的工作使用压力为0.1Mpa至0.2Mpa；

和/或所述第二减压阀的工作使用压力为0.005Mpa至0.01Mpa。

3.根据权利要求1所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述排胶调压装置还包括：第一节流阀；

其中，所述第一节流阀连通于所述第一减压阀和所述排胶进气口之间。

4.根据权利要求1所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述保压装置还包括：第二节流阀和排气阀；

其中，所述第二减压阀依次连通所述第二节流阀、所述排气阀和所述保压进气口。

5.根据权利要求1所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述光刻胶储存装置包括多个胶瓶，所述第二进气口和所述出胶口设于所述胶瓶。

6.根据权利要求5所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述胶瓶还包括单向阀和/或泄压阀，设于所述第二进气口。

7.根据权利要求1-6任一项所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，还包括：

控制系统，连接所述阀岛。