TW200536695A - Scribe head and scriber - Google Patents

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200536695 九、發明說明： 【：明所屬之技術領域】 t 仏關於用以在基板形成劃線之劃線S| & j 劃線頭之劃線裝置。 R邱及具傷 【先前技術】 例如’要將包 丄，士 3脆性材料在内之玻璃基板分室丨丨炎 之大小時，首先，如丄 汉刀d為所欲 彳如，將刀輪之刃尖以既定 接於脆性材料之表 負載邊壓 丄f ， 邊移動玻璃基板之表面，來形4、 線（以下稱劃線步驟 乂成劃 ,)。然後，藉由沿劃線施加既定之Λ Μ (下㈣裂步驟），使玻璃基板沿劃線分割。 0 ’係表不習知之劃線裝置10之構成之-例。則 裝置10係供執行劃線步驟。 ^線 劃線裝置10’包含工作 IF 口 1 1弟1導軌12Α、篦9 i首

軌12B、及滾珠螺桿13。 V 工作台1 1 ’係能沿水平面旋轉。在工作台11， 工及引機構（未圖示）。直* 〆、 ’具工及引機構，將載置於工作台；[! G(例如，玻璃板等之脆性基板）固定於工作台U。 第1導軌12A及第2塞糾A + 導執Ϊ2Β係支撐工作台11，使其能 〆口 γ方向移動。第1導軌i2 守m 1 2 A及弟2導執丨2B係彼此平 行。滾珠螺桿13，使工作A n、VL笙】… 作口 11 h弟1導軌12A及第2導 軌1 2B移動。 d線裝置1 〇，進一步包含第1 ^ 乂已3弟1柱19A、第2柱19B、 導桿Η、滑動單元15、及第！馬達16。 200536695 第1柱19A及第2柱19B，彼此隔著第丨導軌12A及 第2導執12B垂直設置於劃線裝置丨〇之底座。導桿丨4， 沿X方向在工作台11之上方架設於第丨柱19A及第2柱 19B之間。滑動單元15以能滑動的方式設置於導桿μ， 第1馬達16係用以使滑動單元15滑動。 劃線裝i H)，進一步包含：劃線頭9、使劃線頭9升 降之第2馬達17、帛1CCD攝影機“A、及第K⑶攝影 機⑽：第2馬$ 17,在劃線步驟使劃線頭9保持既定： 尚度。第1CCD攝影機18A與第2CCD攝影機_，係配 置於導桿14之上方，供檢測記載於基板G之基準標記。 劃線頭9設置於滑動單元15。劃線頭9包含刀輪29。 劃線頭9使刀輪29壓接於基板G之表面。然後，藉 由馬達16使滑動單元15滑動，劃線頭9則沿導桿心 動。其結果，刀輪29以壓接於基板G之表面之狀態心 基板G之表面，在基板G之表面形成劃線。 *在國際公開第〇3/〇1 1777號公報（專利文獻D，揭示一 ，線頭。此劃線頭，包含伺服馬達與刀輪29。此劃緯頭， =將飼服馬達之旋轉軸之轉矩直接或透過齒輪傳達至刀輪 使刀輪29麼接於基板G之表面。因藉由此伺服馬達 片輪29以既定之力壓接於基板G，故例如，相較於择由 氣缸使刀私？G '错由 基板 輪29以既定之力壓接於基板G之情形，對來自 之反作用力之變化的時間追隨性及對反作用力大小 勺亡制性與響應性優異。 圖8’係表示習知之劃線頭9之構成之一例。劃線頭9， 200536695 文獻1所揭不之劃線頭。劃線頭9，係使飼服馬達 之鉍轉軸之轉矩直接傳達至刀輪29。 刃29广含:伺服馬達402;保持具保持構件404; 大保持具28，保持於保持具保持構件404 ;刀輪29，， 繞插通在刃尖保持具28下端之銷。 他 劃線頭9之伺服馬達4〇2 照圖小藉由飼服馬達彻之動單元15(參 持具保持構件4。…尖保持且=4〇2A旋動’透過保 如此構成，飼服馬達402，使旋_使刀輪29升降。藉由 夕古厶" 疋轉轴4〇2A沿旋動於順時斜 之方向（参照圖8)產生轉矩 、h針 板。 ％ 29壓接於脆性材料基 圖9’係表示習知之劃線頭之 構成。圖9⑷，係表示劃線頭 你U線頭彻之 表示劃線頭400之要部的前 ^側視圖’圖9(b)，係 涔】讲姐 視圖。劃線頭400，俜專利 獻1所揭示之劃線9>_ 料利文 相同之構成要件使用相：斤不之構成要件 劃線頭彻，包含.第^们虎’省略其說明。 L各·弟1側壁40ia · 祠服馬達402’以倒立狀 ’弟2側壁伽； 壁侧之間；4形之伴2於弟1側壁彻A與第2側 在第^ W〇1A與第^ 保持構件氣支軸403，

〆 側土 4 0 1 B之下部u厶匕士A 支撐保持具保持構件4〇4 · 。卩此灰轉的方式 機構幻，包含旋動轴27、’相形成機構21。劃線形成 綱具於旋動轴2二:=:、及刀輪29。刀 方式保持於保持具保持構件°疋由27以能旋動的 200536695 在词服馬達4〇2之輸出軸固裝第！斜齒輪4〇5A，在支 軸403固裝第2斜齒輪 β弟1斜齒輪405A與第2斜 齒輪405Β，以彼此嚙合之 式°又置。因此，藉由伺服馬達 402正碇轉或逆旋轉 保持具保持構# 404以支軸為中心 旋動，使劃線形成機構2 1 成，飼服馬達402,S + °11由如上述之構 听 轉軸403旋動於順時針之方向（參 …）生轉矩，使刀輪29Μ接於脆性材料基板。 揭示=則:ΓΓ:12:2°6727號公報(專利文獻2)，係 ,^ ^ Μ輪（具體而g，係齒條與齒輪）將伺服 馬違之動力傳達至刀輪。 2利文獻υ國際公開第議1777號公報 (專利文獻9日本特開2001_206727號公報 【發明内容】 一般而言，臬祐r G，除了基板G太身严声右面並不是完美之平坦面。基板 .身厚度有微細之偏差外，另加上具有基 …I:::。再者，以刀輪29侵入基板〇數〆 為高精度且平ΓΓΓ線。藉此，基板G乍看似乎形成 凸。豆姓果—基板G，以數# m程度具有激烈之凹 飼服馬二;2要維持既定之刃尖負載將基…線， 使其上下。 "、使刀輪追隨基板G主面之凹凸之變化來 包含於劃線通〇 > ,

之保持具保持構件404以旋轉軸402A 200536695 為中心旋動。阳μ , G之主面之保持且二*於基* 〇之主面之凹凸，對基极 基板G之主面之方向=牛4〇4之角度產生變化，垂直於 與飼服馬達4〇2之轉拓：的刀輪Μ之刃尖負載，則不會 達-之在線性對應。其結果， 垂直於基Γ:: 改變。 之主面之方向成分的刀輪29之刃尖負載則 為了要解決此問題， 侔拄且仅杜 J考慮猎由檢測對基板G主面之 =::1T4°4之角度來修正伺服馬達4。2之轉矩， 轴理變成複雜’並且從檢測 相2 5之角度而實際欠 達402為止，會產生日:門:之轉矩之變化作用至祠服馬 凸借刃小名、、才θ遲延。藉此，要對應基板G之凹 大負載維持為一定則困難。 包含於齒輪型劃線頭（查丨々 创#Λ + m 線碩400及劃線頭Α)之齒輪 力傳達機構（例如，第丨斜齿

兩去石/h 計W褊405A及弟2斜齒輪405B 乂一方），具有為了要確你正 ]a,h , ^ 萑保千）月動作之背隙（back ^彼此接觸之齒間之間隙）。1处里丄 不处、,❻ 糸/ ”、、、σ果，當伺服馬達402 不此追隨刀輪29之上下動作砗仏士 變動夕“ 卜勳作日守，會有刃尖負載瞬間地大 又動之彳月形。即使將伺服馬達 對應基板G之主面之凹凸之方:/補電氣調整’要以 又 ’ 凸之方式使追隨性提高則有限度， 彻★士 书^制特性之方式來調整祠服馬達 402，在時間及成本之觀點並不理想。 再者，齒輪型動力傳達機播 、+ 3 成構轉矩從伺服馬達402傳 刀輪29而轉換為負載之效率(正效率)，與將從刀輪Μ 200536695 傳^之負載之變化傳至伺服馬達術之傳達效率（逆效率） 不月“吊相同。因此，對刃尖負載之增大的飼服馬達402 之響應性則變成不佳。具體而言，起因於基板G之主面之 凹凸寻刃尖負載增加之情形，為了要保持既定之轉矩，而 Π馬達402之輪出軸以與負載方向相反方向推回之方 保精度及響應性邊動作利難。結果，超過既定 = 過大負載則附加於基板G之主面，會有在所 :成之丄線附近在基板G產生裂痕或缺口等之缺陷之危險 再者’劃線頭9，在刀於？Q # & 之設置空間。參此4並 之側方需要供飼服馬達402 ^ *(]. ^ 曰 右要在多劃線裝置（將複數個劃線頭沿 興劃線步驟之銘翻士 A卞上 複數庐平彳H °父之方向排列來裝設，同時形成 劃線頭9之情形，刀…之間距 之、、伯短則困難。其結果， 著地受限定。 /成4線之間隔之下限則顯 本發明，有鑒於上述問題，豆 及具備劃線頭之劃線裝置，將用以、’於提供-劃線頭 刀輪）塵接於基板之負載能精密地保^=成1構（例如’ 步驟之劃線頭之移動方向觀之⑸、Λ 從劃線 本务明之劃線頭，且備· 形成劃線；及 ϋ線形成機構，用以在基板 移動機構’以該劃線形成機構將 壓之方式，移動該劃線形成機構；〜Μ—定大小緊 該移動機構具備·· 10 200536695 旋轉機構，係繞旋轉軸旋轉，使該旋轉軸軸心沿移動 該劃線形成機構之既定方向而設置；及 動力傳達機構，以該劃線形成機構能對應該旋轉機構 之旋轉而在沿該旋轉軸軸心之直線上移動之方式，在與該 劃線形成機構之間傳達動力，且沿該既定方向設置。藉此， 來達成上述目的。 依本發明之劃線頭，沿劃線形成機構移動之方向，將 旋轉機構與動力傳達機構與劃線形成機構排列設置。藉 此，不會將旋轉機構或動力傳達機構設置於劃線形成機構 之側方。其結果，能實現劃線形成機構之側方之省空間化。 亦可邊使該動力傳達機構持續其與該劃線形成機構之 間之動力傳達，邊以該劃線形成機構在該基板形成該劃 線。 如上述，動力傳達機構與劃線形成機構之間之動力傳 達則不會中斷，劃線形成機構能在基板形成劃線。其結果， 劃線形成機構能緊壓基板。 亦可構成為，使從該動力傳達機構傳達至該劃線形成 機構之力的傳達效率，與從該劃線形成機構傳達至該動力 傳達機構之力的傳達效率大致相同。 動力傳達機構能將從劃線形成機構接受之力之變化效 率良好地轉換為旋轉方向，而傳達至旋轉機構，再者，動 力傳達機構能將從旋轉機構接受之力之變化效率良好地轉 換為直線方向，而傳達至劃線形成機構。其結果，劃線形 成機構則能將基板以一定大小有效率地緊壓。 200536695

月方j力傳達機構，亦可包含沿旋轉方向對旋轉轴之Ώ 周方向傾斜大約45度之面。翻士#、土 寻釉之SJ m μ - 力力傳達機構能將從書彳 二：構接…力之變化最效率良好地轉換為旋轉方Γ :至旋轉機構，再者’動力傳達機 ：接 叉之動力之變化最效率良好地轉疋轉枝構接 劃線形成機構。且处果H、為直線方向’而傳達至 大小最有效率地緊塵成機構則能將基板以-定 該動力傳達機構亦可包含圓筒凸輪。 忒動力傳達機構亦可包含滾珠螺桿。 基极該=石：可選:破璃板、破璃基板、石英板、石英 -貝石板、監寳石基板、半 瓷基板、太陽電池基板 日日*瓷板、陶 無機EL面你, 液日日顯不面板、有機α面板、 L面板、透過型投影機基板 之1種類之基板。 町生扠衫機基板中 本發明之劃線裝置，| 1移動機構，以^繞/、 . 〉、1個該劃線頭；及第 式，在盥兮美板構在該基板形成該劃線之方 達成上述::板大致平行之面上移動該劃線頭。藉此，來 沿二本劃線裝置，設置本發明之劃線頭。因此， -J银也成機構移動之方向 ^ ^ ^ ^ ^ ^ 1 ^ ^ t ^ ^ ^ # ' 線形成機構之側方。盆,士果I 一傳達機構設置於劃 之省空間化。 八、、、°果，此貫現劃線形成機構之側方 該劃線頭中$ 5 q & 少個劃線頭，亦可與劃線方向大致 12 200536695 垂直設置。 之本發明 間，能裝 在本發明之劃線裝置，設置裝設空間可減少 之劃線頭。藉此，能以比裝設習知之劃線頭小空 設複數個本發明之劃線頭。 1 再者’因至少2個本發明之劃線頭，沿劃線方 垂直設置，故能將對應複數個劃線頭之數量之割線、致 窄之間隔同時形成。其結果，能從1片基板將；數個= 基板一次分割，能提高生產效率。 依本發明之劃線頭及劃 之方向，將旋轉機構與動力 設置。藉此’不會使旋轉機 形成機構之側方。其結果， 省空間化。 線裝置，沿劃線形成機構移動 傳達機構與劃線形成機構排列 構或動力傳達機構設置於劃線 能實現劃線形成機構之側方之

【實施方式】

以下，依圖式說明本發明之實施形態 1.劃線裝置 成。劃線裝置100，包含：工作台！ i i 第2導執1 12B、及滾珠螺桿n 3。 圖1，係表不本發明之實施形態之劃線裝置ι〇〇之構 第1導軌112A、 工作台111，係能沿水平面旋轉。在工作台丨丨丨，設置 真空吸引機構（未圖示）。真空吸引機構將載置於工作台工i工 之基板G(例如，玻璃板等之脆性基板）固定於工作台ιη。 第1導軌H2A及第2導執112B，以能將將工作台σηι沿 13 200536695 Y方向移動的方式支撐。第1導軌112A及第2導軌112B 係彼此平行。滾珠螺桿113，沿第1導軌112A及第2導執 1 12B使工作台11 1移動。 劃線裝置100,進一步包含··第}柱U9A、第2柱n9B、 導桿114、滑動單元U5、及第1馬達U6。 劃線裝置100，進一步包含：劃線頭7〇〇、用以使劃線 頭700升降之第2馬達117、帛1CCD攝影機n8A、及第 2CCD攝影機118B。劃線頭7〇〇，設置於滑動單元。 弟2馬達π 7 ’係在劃線步驟前後使劃線頭7 〇 〇升降，在 劃線步驟將劃線頭700固定於既定之高度且保持。第工⑽ 攝影機118A及第2CCD攝影機n8B，配置於導桿ιΐ4之 上方，供檢測記載於基板G之基準標記。 斤第1柱119A及第2柱119B，彼此隔著第1導軌112A 及第2導軌112B垂直設置於劃線裝置ι〇〇之底座。導桿 ^14，沿X方向在卫作台111之上方跨設於第1柱119A及 第柱1 1 9B之間。滑動單元J J 5，以能滑動的方式設置於 $才干…第1馬達116，用以使滑動單元丨丨5沿導桿丨j 4 滑動。 —劃線頭700使刀輪29麼接於基之表面。然後， 藉由馬達116使滑動單元115滑動，劃線頭700則沿導桿 "4移動。其結果’刀輪29以壓接於基板〇之表面之狀態， 刀輪29移動基板G之表面，在基板g之表面形成劃線。 又，藉由後述之劃線頭7〇〇之動作，亦在割線步驟前 後使劃線形成機構29升降，而可省略第2馬達117。 14 200536695

2 . f'J 圖2 ’係表示本發明眚 H 3,将… 形恶之劃線頭700之構成。 圖3 ’係表不包含於劃線頭 “ d線形成機構5 1 〇之構 成。乂下，苓照圖2與 劃線頭之構成。 末成明本發明之實施形態之 圓筒凸輪型劃線頭7〇〇,包含：㈣501;伺服馬達5〇2 以倒立狀態固定於側壁 … ， Μ ,因肉凸輪I連結於伺服 ❻這之輸出軸；Λ # 私曰士 ⑽從動輪506，抵接於圓筒凸輪503 所具有之凸輪面532 π凸輪如 方彳鮭±诗π ± 一俅符構件504，以能旋轉的 方式軸支撐凸輪從動輪5〇6 ; 輪506接近圓筒凸輪 +⑽’沿凸輪從動 以彈塵；線性轴承保持具保持構件5〇4施 式歲插保持具保持構件5()^於側壁5G1且以能升降的方 劃線形成機構51。與凸〜動:劃：形成機構51。。又， 件504 -體升降，^ 輪，透過保持具保持構 方^之外Γ 從凸輪5G3及基板g所施加之升降 方向之外力分別傳達至基板G及凸輪503。 =線形成機構51G，包含：軸承仏 持構件504 ;旋動鈾？7 #、保符具保 保持具28,能繞旋動轉的方式㈣於轴承％; 能繞插通在保持具 疋動，及劃線形成機構29,係 成機構29,例如包含刀輪下。端之銷旋轉（參照目3)。劃線形 以下，再參昭圖 數個構成要件。、、、，詳細說明包含於劃線頭700之複 伺服馬達5〇2，以*,丨& 劍線形成機構29以一定之負載緊壓 15 200536695 暴板G之方式，透 吧圓同凸 σσ ν 丁⑺〜ϋ柄k買力輪3 ϋ b施以 每塵。又’在本發明之形態，為了方便說明飼服馬達5〇2 之動作，對伺服馬彡5〇2之旋轉軸之旋轉方向設定如下： 使凸輪從動輪506下降之方向為正方向；使凸輪從動輪5〇6 上升之方向為逆方向’·將旋轉軸之正方向及逆方向之旋轉 動作分別稱為正旋轉及逆旋轉。 姓饲服馬達5〇2 ’係以飼服馬彡5〇2之旋轉軸軸心沿保 持具保持構件504之升降方向之方式設置。 圓筒凸輪503,連結於伺服馬達5〇2之輸出轴，設置 =飼服馬達502與保持具保持構件5〇4之間。圓筒凸輪 ’以劃線形成機構29對胸服馬達5()2之旋轉而沿旋 ::心之直線上移動之方式，在與劃線形成機構Μ之 圓^力。具體而言，圓筒凸輪5〇3之凸輪面532,沿 斜门跟二T之旋轉方向以既定之角度（以下稱導角）傾 降之方同凸輪5〇3之旋轉，使與凸輪從動輪506在升 肖的凸輪從動輪鳩抵接處之凸輪自奶之位置變 輪：此’：由：馬達5〇2之旋轉轴旋轉，與凸輪從動 之機1:’/成機構29則升降。又若將凸輪- 至^其傳達之力之觀點來看，透過圓筒凸輪503傳達 凸輪從動輪506之伺服5逵509々认h 輪面53…… 輸出中，藉由對應凸 凸二：^ 凸W動輪506則對其升降之方向施以彈屙。 方/Γ，依劃線頭期，沿著劃線形成機構Μ升降之 。’使飼服馬達5〇2與圓筒凸輪5〇3與劃線形成機構” 16 200536695 排列設置。藉此，伺服馬、 成機構29之間之動力傳 4飼服馬達502與劃線形 構29之側方。h果，=:則不會設置樣 間化。 —月匕使劃線形成機構29之側方省空 ^又’在劃線步驟’凸輪如與凸輪從動輪506,传_ 由伺服馬達502所產生之强茂士 λ 知措 力與對該彈麼力來自 G之反作用力，彼此緊麼 之不自基板 拉认π ±人 者因此，凸輪從動輪506則抿 =凸輪面532。圓筒凸輪5〇3持續飼 線 形成機構29之間之動力傳達 …]線 線。如上述，祠服馬達502 _ =成機構29則形成劃 =則不會中斷’劃線形成機構巧能在基板 = 線。其結果，能使财形錢構29㈣純g。 Sj 又’圓筒凸輪503之凸輪面ty 辱遠502禮、^查丨合 糸使加壓力（從伺服 馬達502傳達至劃線形成機構29)之傳達效率與反作 (從劃線形成機構29傳達至伺服 相同。 ，運5〇2)之傳達效率大致 猎由起因於基板〇之表面之凹凸’從基板〇加在劃線 化成機構29之反作用力增加，致使凸輪從動輪咖緊厚 凸輪面532之力增加，使凸輪5〇3及飼服馬達5〇2逆旋= 之情形，以及相反地’藉由對基才反G之劃線形成機構Μ 之負載減少，致使凸輪從動輪5〇6緊壓凸輪& M2之力減 ^，使凸輪503及飼服馬彡502旋轉之情形，在以上兩種 情形，能使伺服馬it 502《響應性成為大致相同。因此 藉由將伺服馬達502之旋轉軸之轉矩保持為一定，气線 17 200536695 =29則能沿基板G之表面之凹凸升降，將從劃線形 她毒Μ加在基板G之負載能保持於一定之既定值。其 、。果„ f線形成機構29能以—定之負载緊塵基板G。 圓筒凸輪503之導角，齡扑妻泛丄从Λ 处 内1^土者為大約45度。在此情形， ==輪503從凸輪從動輪5。6接受且轉換為旋轉方 ㈣服ΪΓ服馬達5G2之力的傳達效率，及圓筒凸輪5〇3 U服馬達502接受且轉換為升降

輪鳩之力的傳達效率，為大致相同。#達至凸輪仗動 _達再=之^將/彳線形成機構29之升降方向之負载與飼服 形成機構29之 之η 升降方向之位置與飼服馬達5〇2之馬達轴 疋立置維持線性關係。因此劃線頭·， =9及劃線頭4。。比較，能使劃線形成機構、2二= 工1及位置控制容易且不損失響應性來實行。 、 逆旋線頭7〇0,藉由飼_ 5°2正旋轉或

能使:== 走轉。藉此’透過凸輪從動輪⑽ ^ ，、保持構件5G4沿線性軸* 5()7升降。立 迠使劃線形成機構510上升或下降。 ……， 依本發明之劃、線 ^ 使圓筒凸輪503旋轉 猎°Ί服馬達502旋轉驅動 構件5。4移動。藉此:=:=6使保持具保持 位置則圓滑地變位…士杲、504之升降方向之 之習知β 。果，與使用齒輪對刀輪施以彈壓

“ 頭_(參職9)及劃線頭A 比較’對基“之表面之起伏能獲得劃線形成機=) 18 200536695 良好追隨性。 再者，依本發明之劃線 直線升降，故盘如習知之南' ，因能將劃線形成機構5】〇 保持具保持構件4〇4 線頭9及劃線頭400在旋動之 傳達於劃線形成機構21 構21之情形比較， 形一之升降動作之 再者，依圓筒凸輪型匈 造為小型化，故具有能收二V:0,因能使劃線頭之構 以上，參照圖！〜圖3 p空間之優點。 線頭及劃線襄置。已說明本發明之實施形態之劃 在美二圖二圖3所示之例，劃線形成機構29係對應於「以 在基板形成劃線之方， 人 如與圓筒凸輪5〇 、顧形成機構」’飼服馬達 小緊塵基板之方々，以劃線形成機構以-定大 伺服 ’’使劃線形成機構移動的移動機構」， ^ ^ 係對應於「繞旋轉㈣轉之旋轉機構 圓筒凸輪5。…：、=構广既定方向而設置」， ΚΙ動力傳達機構，以劃線 :應旋轉機構之旋轉而在沿旋轉轴轴心之直線上：冓： ^在與劃線形成機構之間傳達動力，且沿該既定之方向 =」。再者，第1馬達116係對應於「第1移動機構， U線形成機構在基板形成劃線之方式，對基板在大致平 行之面上使劃線頭移動」。 然而’本發明之實施形態之劃線頭及劃線裝置並不限 定於圖丨〜圖3所示者。只要能達成上述之各機構之功能： 19 200536695 具有任意構成之劃線頭及劃線裝置均包含於本發明之μ 圍。 ^作控制 圖4仏表示將本發明之實施形態之劃線頭700控制 的控制處理步驟。以T，炎日g闰」 4ία ^ 以下，簽一圖4，對為了以劃線頭700 將基板G劃線而要控制劃線頭700之控制處理步驟，加以 說明。 具體而言，在圖4,表示用以形成丨條劃線之劃線形 成機構29之動作的時序圖。項目係包含：X軸動作（劃線參 頭700在基板上移動之動作），z軸位置設定（劃線形成機 構9之垂直方向之設定位置），z軸動作（沿劃線形成機構 29之垂直方向移動之動作）及轉矩限定值之變化（伺服馬達 5 02之轉矩限定值之變化）。 因要沿X軸之位置資料增加之方向劃線，表示劃線形 成钱構29彳之左（位置a)至右（位置e)移動基板G上之例。 在〆…、圖7所5兒明之例，依據χ軸之位置資料來限定伺服 馬達5 0 2之轉矩。 首先’ X軸之位置資料，係設定於圓筒凸輪型劃線頭 700所包含之控制部。X軸之位置資料，係表示X軸切入 位置（位置a)之資料，表示χ軸擠入位置（位置幻之資料， 表7Γ X軸擠入結束位置（位置d)之資料，表示X軸切入結 束4置（位置e)之資料、及表示χ軸劃線結束位置（位置〇 之貝料。X軸切入位置（位置a)、χ軸擠入位置（位置〇)、χ 車t入…束位置（位置d)、χ軸切入結束位置（位置及 20 200536695 X軸劃線結束位罟“ y 置x軸動 ’係位於X軸動作開始位置(位 釉動作結束位置（位置E1)之間。 驟卜將X轴之位置資料設定於控制部之後，處理則進至步 、’决用以形成1條劃線之劃線形成機構29之動作， 育先知出定位轉矩之值 至步驟2。 ^輪出疋位轉矩之值後，處理則進 置Z1 2 ·將劃線形成機構29移動i z轴待命位置（位 。相形成機構29移動後’處理則進至步驟3。 步驟3 ·’在劃線形成機構29移動至 置…多動至z轴切入位置(位置Z2)，而二入^ 機構29。2軸切入位詈w罢”、^ 而保持d線形成 …… (位置Z2)，係劃線形成機構29從〇 持後，處理則谁/: 直方向僅下降E之位置。保 了饮 蜒理則進至步驟4 〇 上#二::.设定跨上轉矩限定值，伺服馬達502輸出跨 值。即劃線形成機構29沿水平方向移 一於基板G時（位置b)，因z勒 29之位置會離開，伺 2 ：； 韻形成機構 ΤΜ 服馬達502在從伺服放大器所輸出$ ；Γ^ 軸切入位置’而增加轉矩，故會產生限定跨上 專之而要。因此設定跨上轉矩限定值。&上Μ =線形成機構29跨上於基板"不會在基板… 口 Ρ產生缺口之程度之小值。 而 步驟5··在劃線形成機構29跨上於基板〇時（位置匕）， 21 200536695 z軸切入位置之劃線形成機構29之位置會離開。當從伺服 放大器所輸出之IN-P〇S信號變成〇FF，劃線形成機構29 私動預先所设定之既定距離後，在位置C藉由控制器（Nc 或次序裝置等向伺服放大器發出指令）設定擠入轉矩限定 值。伺服馬達502輸出擠入轉矩限定值。若z軸之設定位 置係僅保持Z軸切入位置則因變位少，不能對劃線獲得適 當之擠入轉矩，故z軸之設定位置則從基板G之上面設 疋於比Z軸切入位置更下方之z軸擠入位置。 v驟6 ·將;g人移動至z軸擠入位置之驅動轉矩（限定為 擠入轉矩限定值之轉矩）當作劃線壓，以預先所設定之劃線 速度將圓筒凸輪型劃線頭7〇〇沿χ軸方向（位置d)移動。 圓筒凸輪型劃線頭700到達位置d，處理，則進至步驟7。 步驟7 ··減速為能脫離基板G之速度。此速度係預先 二。設錢離轉矩限定值，祠服馬彡5G2輸出脫離轉矩 限疋值’ i Z軸之位置為z軸切人位置。脫離轉矩限定值 係當劃線形成機構29從基板G脫離時㈣切人結束位置， 位置e)為了避免在基板^之端部產生缺口，肖跨上時同樣 设疋於低值。 步驟8:劃線形成機構29從基板G脫離（位置^後， hJ線形成機構29之垂直方 主且万向之位置則再回至z軸切入位 置。 -位Γ9:當圓筒凸輪型劃線頭700到達位置【，則設定 二馬達502輸出其轉矩值，劃線形成機構29 夕Ζ轴待命位置，結束—連串之劃線動作。 22 '200536695 精田w词凸輪型劃線頭 〜、 ，、 ·，八 —，·/ "人巧咏吋，如 已祝明’因劃線形成機構29之刃尖棱線保持與圓筒 =線頭之移動的第2旋動轴2之轴心9之移動心 且之位置，故劃線則成為直線精度良好。 又藉由使伺服馬4 502旋轉驅動，透過 能使劃線形成機構29升降。藉此，能透過 =/02以轉矩為劃線壓使其直接作用，能任意選擇適人 方；基板G之劃線壓。 σ

—~劃媿頭_ 機構又雖：Γί實施形態之劃線頭7。〇’作為動力傳達 用圓同凸輪503及凸輪從動輪5〇6 亦有使用滾珠螺桿之情形。 日代之， 圖5，係表示滾珠螺桿513之構成。滾珠 含滚珠螺桿螺帽515與螺旋轴516 用匕 :分，來說明替代圓筒凸…凸輪從二::; 珠螺桿川之劃線頭之構n = 506具備浪

滾珠螺桿513之書队 為力力傳違機構使用 從動輪⑽變更為^二將圓筒凸輪5〇3及凸輪 文又馮澴珠螺桿513以外，盥 頭700之構成相同。 2所示之劃線 滾珠螺捍螺帽5〗5 ’固定 轴川，連結於飼服馬達5〇2之旋轉呆持構件綱。螺旋 馬達502之旋^ y # 轉幸 精此，若使伺服 轉，並且，4::=;螺旋則與該旋轉軸-起旋 使固定滾珠螺桿螺严5 5:螺凝軸516之軸方向升降， 罕才干螺巾目川之保持具保持構件_升降。 23 200536695 —又如上述所構成之動力傳達機構，若從所作用之力之 硯點說明，飼服馬達502之旋轉轴之轉矩，係透過螺旋軸 5】6當作使滾珠螺桿螺帽515及劃線形成機構巧下降之力 傳達、。又將劃線形成機構29 „於基板〇時之反作用力， 係透過滾珠螺桿螺帽5 1 5當 作使螺凝軸5 1 6及伺服馬達502 之旋轉軸逆旋轉之力傳達。 五-具備免劃線紧f 圖6,係表示劃線裝置之另—例之劃線震置800之構 在圖6,對與目1所示之構成要件相同之構成要 件使用相同之參考符號，省略其說明。 劃線裝置8 0 〇，係替代包含於炎 S於翏恥圖1所說明之劃線 00…固劃線頭700’具傷複數個劃線頭，除此之

外，則與劃線裝置100之構成相同。複數個劃線頭，沿X 方向(圖6之橫方向)排列配置，藉由使载置基板G之工作 台1 1 1移動於γ方向，在基板 $ & G形成沿γ方向之複數條 劃線。 上述複數個劃線頭，包含來昭圄 . >圖2所說明之劃線頭700 及蒼照圖5所說明之使用滾珠螺 頭中之至卜種。 #线力傳達機構之劃線 本實施形態之劃線頭，因均將祠服馬達5〇2裝配於縱 方向。故特別從劃線頭之移動方向所觀察之裝配空間少。 因此’與將伺服馬達當作緊堡機構使用之習知之劃線頭比 較’…吏含於各劃線頭之劃線形成_ 29之間隔縮短。 又，右要在劃線裝置裝設複數個劃線頭之情形，比習知之 24 200536695 馬達搭載之劃線頭，能以小空間裝設多數個畫un ^本發明之劃線裝置800，使複數個劃線頭同時"去。 糟此’此將對應複數個劃線頭之數量的劃線以狹窄Γ 同時形成。1处杲，芒I… u ^ 乍之間隔 之情形，”二, 板分割多數個單位基板 <丨月小，此扣鬲生產效率。 又，在劃線裝置800，將複數個劃 配置’藉由將載置基板G之工作台⑴丄=向排:彳 線装置_則在基板G形成平行於γ方向之* ^ 此，亦可在劃線…。，將複數個劃線頭方= 配置’藉“複數個劃線頭沿導桿移動 向非列 在基板G形成平行於又方向之劃線。」以置_則 又’本實施形態之劃線裝置_ =具備，在基板之1面同時形成複數條劃線。除二::排 ’亦可例如以將劃線形成機構29抵接於貼 卜加 材料基板之貝占合基板之各基板，在各基板同時:片脆性 上之^線之方式，在劃線裝4 _配置劃線頭。條以 .^ ^ ΰ 6呪明本發明之實施形態。 一"〜圖6所示之實施形態說明之各雜播 — 體實現，可藉由軟體實 、冓，可藉由硬 使藉由硬體實現之情形，^、^藉^硬體與軟體實現。即 與軟體實現之情形，均能= :::現之情形，藉由硬體 本發明之劃線裝置之機男仃本發明之劃線頭或 形成處理，只要能實= 置之機能，得具有任意之步驟。S、·'頭或本發明之割線裝 25 200536695 例如，在本發明之查彳 用以實行本發明之割線本發明之劃線裝置，儲存 線形成處理程式。 /發明之劃線裝置之機能的劃 處理程式，在劃線頭或劃線裝置之日士 儲存於包含在劃線頭或劃/…預先 或劃線裝置之出貨後，：存機構。或在劃線頭 例如，使用去介、’、可將處理程式儲存於儲存機構。 付費或免費下恭收*…，上之特疋網址將處理程式以 劃線褒置。 〃下載之處理程式裝設於劃線頭或 若將處理程式儲存於齡 等，“… #存於1人磁片、CD-R0M、dvd_r〇m 寻包心此碩取之儲存婵俨主 理f # 螺體之^形’亦可使用輸入裝置將處 二η:線頭或劃㈣置，一㈣ 又，本發明之劃線頭及劃線裝置，例如，能適用 面顯不面板之一種之液晶面 面板、無機EL面板、透過型投影::：：，EL 基板之分割。 截基板、反射型投影機 於—=板：發明之劃線頭及劃線裝置，例如，亦能適用 駐心板(:1一如’玻璃板、玻璃基板、石英板、石英基板、 二、監賃石基板、半導體晶圓、陶究板、陶曼基板） 貼二。再者’亦能有效率地適用於將複數個基板貝占合之 貼合基板之分割。 線J上：雖參照圖丨〜圖6，已說明本發明之劃線頭及劃 、’本發明’並不應限定於此實施形態來解釋。本發 26 200536695 月應理角午為僅依申請專利範圍來解 — 從本發明之且雕^ A 甚视圍。同業者， 不u之具“父佳貫施形態之說明 技術常識應理解能實施答 毛月之說明及 專利、專利申在本申請書所引用之 寻幻甲口月及文獻，與將其内 申請書同樣，廡理舷处膝甘土 艿一妝地圮載於本 援用。 μ κ、内容當作對本中請書之參考來 依本發明之劃線頭及騎I置， 之方向’將旋轉機構與動力傳達機構與構移動 設置。藉此，旋轉機構或動力傳達機構不冓排列 成機構之側方。其結果，能實現劃線劃線形 空間化。 取哉構之側方之省 明 說 單 簡 式 圖 Γ- 图 1 係表不本發明之者# 4 十知A <只轭形態之書丨J飨 成之一例。 環凌置100之構 圖2，係表示本發 700之構成圖。 明之實施开h態之目筒凸輪型 劃線頭 圖 ，係表示包含於劃 之構成圖。 '線頭之劃線形成機構510 :4’係表示控制本發明之實施形 控制處理步驟。 〈s彳線碩700之 圖5’係表示滾珠螺桿513之構成圖。 圖6，係表示劃線裝 成圖 置之另一例之劃線裝置 800之構 27 200536695 圖7，係表示習知之劃線裝置1 0之構成之一例。 圖8，係表示習知之劃線頭9之構成之一例。 圖9，係表示習知之劃線頭之另一例之劃線頭400之 構成圖。 【主要元件符號說明】 26 軸承

27 旋動軸 28 保持具 29 劃線形成機構 501 側壁 502 伺服馬達 503 圓筒凸輪 504 保持具保持構件 505 彈性構件

506 凸輪從動輪 507 線性轴承 510 劃線形成機構 700 圓筒凸輪型劃線頭 28

Claims (1)

1. 200536695 十、申請專利範圍： 種劃線頭，具備： 劃線形成機構， 用M在基板形成劃線；及 矛夕動機構，以兮查 / 、 厣之方4 μ 線形成機構將該基板以一定大小緊 f式’移動該劃線形成機構； 该移動機構具備： 旋轉機構，係繞 該劃線形成機構之既=疋轉，使該旋轉軸軸心沿移動 疋疋方向而設置；及 動力傳達機構， 之旋轉而在沿該旋轉車^ 形成機構能對應該旋轉機構 劃線形成機構之間傳直線上移動之方式’在與該 2.如申請專利r上::該既定方向設置。 力傳達機構持續盆盘兮 、之"彳線頭’其中，邊使該動 以該劃線形成機構在成機構之間之動力傳達，邊 ,^ ^ 成基板形成該劃線。 • ϋ申請專利範圍箓 傳達機構傳達至今叫 項之劃線頭，其中，從該動力 劃線形成機構傳達至 力的傳達效率，與從該 相同。 ^力傳達機構之力的傳達效率大致 4 ·如申請專利範圍 達機構，包含沿旋轉方向項之劃線頭，其中，該動力傳 度之面。 封％轉軸之圓周方向傾斜大約45 5 ·如申凊專利範圍第1 達機構包含圓筒凸輪。 員之韻頭，其中，該動力傳 .如申ϋ青專利範圍第 弟1項之劃線頭，其中，該動力傳 29 200536695 達機構包含滾珠螺桿。 7’如申蛸專利範圍帛1工員之劃線頭，其中，該基板， =自玻璃板、玻璃基板、石英板、石英基板、藍寶石板、 •-貝石基板半導體晶圓、陶瓷板、陶瓷基板、太陽電池 土板/夜Ba、員不面板、有機EL面板、無機虹面板、透過 型投影機基板、反射型投旦彡她I 尘杈衫機基板中之1種類之基板。 8 · —種劃線裝置，具備·· 至少1個申請專利範圍第丨項之 第"多動機構，以刳線編： 及 式 在與該基板大料行==構在基㈣成劃線之方 9·如申請專利範圍第二:：該劃線頭。 專利範圍帛1項之劃線頭中之至個二’其中，該申請 線方向大致垂直。 W線頭係設成與劃 十一、圖式： 如次頁

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