KR20140100893A - 기판 가공 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 기판 반전 후에 다음 공정의 테이블에 올려놓을 때까지의 작업 시간을 단축할 수 있는 흡착 반전 장치를 구비한 기판 가공 장치를 제공한다.
(해결 수단) 기판(W)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치(B)와, 스크라이브된 기판(W)을 흡착하여 반전시키고, 다음 공정의 수취부에 인수인도하는 흡착부(14)를 갖는 흡착 반전 장치(C)를 구비한 기판 가공 장치(A)이며, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)는, 회전축(13)을 기단(基端)으로 하여 축심으로부터 직교하는 방향으로 연달아 형성된 복수의 빗살부(14a)를 갖는 빗살 형상으로 형성되어 있으며, 수취부는 간격을 두고 평행하게 배치된 복수의 수용 부재(24)로 형성되고, 빗살부(14a)가, 기판(W)을 스크라이브 장치(B)의 테이블(2)로부터 흡착하여 반전 회전 운동했을 때에, 수용 부재(24)의 사이에 끼워 넣어져 빗살부(14a) 상의 기판(W)을 수용 부재(24)에 올려놓을 수 있도록, 회전축(13)을 스크라이브 장치(B)의 테이블(2)과 수취부(14)의 근방으로 배치한다.

Description

기판 가공 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 유리, 실리콘, 세라믹, 화합물 반도체 등의 취성 재료(brittle material)로 이루어지는 기판에 분단용의 스크라이브 라인을 가공하거나, 이 스크라이브 라인을 따라 기판을 분단하거나 하는 기판 가공 장치에 관한 것이다.

종래부터, 테이블 상에 올려놓은 대면적의 마더 기판(mother substrate)에 대하여, 스크라이브 장치에서 커터 휠(스크라이빙 휠(scribing wheel)이라고도 함)을 소정의 스크라이브압을 더한 상태로 전동(rolling)시키거나, 레이저 빔의 조사에 의한 열 변형을 이용하거나 하여, 서로 직교하는 복수조의 평행한 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후에, 마더 기판을 흡착 반전 장치에 의해 반전시켜 브레이크 장치의 테이블에 올려놓고, 당해 스크라이브 라인을 형성한 면과는 반대측의 면으로부터 브레이크 바를 눌러 대어 기판을 휘게 함으로써 기판을 분단하여, 단위 제품을 취출하는 방법이, 예를 들면 특허문헌 1 등에서 개시되어 있다.

또한, 2매의 유리 기판을 접합한 마더 기판을 분단하는 경우, 스크라이브 장치의 테이블 상에 올려놓여진 마더 기판에 대하여, 커터 휠을 전동시킴으로써 기판의 한쪽 면인 A면에 스크라이브 라인을 형성한다. 이어서, 흡착 반전 장치로 기판을 흡착하여 반전시킨 후, 브레이크 장치의 테이블 상에 올려놓고, 기판 A면의 이면이 되는 기판 B면을 브레이크 바 등으로 압압(pushing)하여 기판 A면을 분단한다. 이어서, 상기와 동일하게, 기판 B면에 스크라이브 라인을 형성하고, 기판을 반전시킨 후, 기판 A면을 브레이크 바 등으로 압압하여 기판 B면을 분단한다. 이 후, 분단된 기판을 브레이크 장치로부터 제거하고 다음 공정으로 이행하는 방법이, 예를 들면 특허문헌 2(도 45) 등에서 개시되어 있다.

국제공개공보 WO2005/053925호 국제공개공보 WO2002/057192호

상기와 같은 기판의 가공 방법에 있어서, 기판을 반전시키는 데에 이용되는 흡착 반전 장치는, 기판을 흡착하여 반전시키는 흡착판을 구비하고 있다. 그리고, 예를 들면, 스크라이브 장치에서 스크라이브되어 테이블 상에 올려놓여져 있는 마더 기판을 흡착 반전 장치의 흡착판으로 흡착하여 반전시킨 후, 상향이 된 흡착 반전 장치의 흡착판 상에 흡착 지지(holding)되어 있는 기판을, 별도로 설치한 흡착 반송 장치의 흡착판으로 흡착하여 다음 공정, 예를 들면 브레이크 장치의 테이블로 반송하는 등의 수단이 취해지고 있다. 또한 반대로, 스크라이브 장치의 테이블 상에 있는 마더 기판을 흡착 반송 장치의 흡착판으로 흡착하고, 상향에서 대기하고 있는 흡착 반전 장치의 흡착판 상까지 이동하여 인수인도하고, 당해 흡착판을 반전시켜 앞뒤 반전된 기판을 다음 공정인 브레이크 장치의 테이블 상에 올려놓도록 하고 있다.

따라서, 종래의 방법에서는, 스크라이브 장치로부터 마더 기판을 수취하여 반전시키고, 반전시킨 기판을 다음 공정의 테이블 상에 올려놓기 위해, 흡착 반전 장치와는 별도로 흡착 반송 장치를 필요로 하고 있었기 때문에, 장치 구성이 대규모로 되어, 비용이 높아진다는 문제점이 있었다.

덧붙여, 흡착 반전 장치의 흡착판으로부터 반전된 기판을 다음 공정의 테이블로 인수인도하거나, 혹은, 스크라이브 장치의 테이블로부터 흡착 반전 장치의 흡착판에 기판을 인수인도할 때에 시간이 걸려, 기판의 분단에 필요로 하는 작업 시간이 길어진다는 문제점도 있었다.

그래서 본 발명은, 상기한 종래 과제를 감안하여, 기판을 반전시켜 다음 공정의 테이블 등의 수취부에 올려놓는 동작을 행할 때에, 종래보다도 간단한 장치 구성이며, 게다가 작업 시간을 단축할 수 있는 흡착 반전 장치를 구비한 기판 가공 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명의 기판 가공 장치에서는, 취성 재료 기판을 순차 반송하는 주(主)경로를 제1 방향으로 하고, 상기 주경로의 도중에, 취성 재료 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치와, 스크라이브 장치에 의해 스크라이브된 상기 취성 재료 기판을 흡착하여 반전시키고, 다음 공정의 수취부에 인수인도하는 흡착부를 갖는 흡착 반전 장치를 구비한 기판 가공 장치로서, 상기 흡착 반전 장치의 흡착부는, 회전축을 기단(基端)으로 하여 회전축의 축심으로부터 직교하는 방향으로 연달아 설치된 복수의 빗살부를 갖는 빗살 형상으로, 상기 회전축에 의해 반전 회전 운동 가능하게 형성되어 있으며, 상기 수취부는 간격을 두고 평행으로 배치된 복수의 수용 부재로 형성되고, 상기 흡착부의 회전축은, 상기 제1 방향과 직교하는 방향을 따라 연달아 설치되어 있으며, 상기 흡착부의 빗살부가, 취성 재료 기판을 스크라이브 장치의 테이블로부터 흡착하여 회전축에 의해 반전 회전 운동했을 때에, 상기 수용 부재의 사이에 끼워 넣어져 빗살부 상의 취성 재료 기판을 상기 수용 부재에 올려놓을 수 있도록, 상기 회전축이 스크라이브 장치의 테이블 그리고 상기 수취부의 근방 위치에 배치되어 있는 구성으로 했다.

본 발명에서는, 흡착 반전 장치의 흡착부가, 기판을 스크라이브 장치의 테이블로부터 흡착하여 회전축에 의해 반전 회전 운동했을 때에, 반전된 기판을, 수용 부재의 상면에 인수인도할 수 있기 때문에, 종래와 같은 기판을 인수인도하기 위한 흡착 반송 장치를 생략할 수 있어 장치 구성이 간략화되고, 설비 비용의 저감화를 도모할 수 있다.

또한, 흡착 반전 장치의 회전축이 스크라이브 장치의 테이블 그리고 수취부의 사이에서, 게다가 이들 부재의 근방에 배치되어 있기 때문에, 흡착부를 반전시키는 것만으로, 기판을 반전시키는 동작과, 반전 후의 기판을 수용부 상에 올려놓는 동작을 동시에 행하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 작업 시간을 대폭으로 단축할 수 있다는 효과가 있다.

본 발명에 있어서, 상기 수취부의 수용 부재는, 흡착부로부터 기판을 수취할 때에, 기판을 수평 자세로 수취할 수 있는 위치에 배치되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.

이에 따라, 기판을 수평인 자세로 수용 부재로 인수인도할 수 있어, 인수인도시에 기판에 흠집이 생기는 것을 미연에 방지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 수취부는, 브레이크 장치의 테이블 상면으로 출몰이 자유롭게 설치된 복수의 수용 부재로 이루어지고, 당해 수용 부재는, 기판의 인수인도시에 돌출 자세로 상기 흡착부의 빗살부의 사이에 위치하도록 형성되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.

이에 따라, 기판 인수인도시에, 브레이크 장치의 테이블로부터 돌출된 수용 부재에 효과적으로 인수인도할 수 있음과 함께, 인수인도된 기판은 수용 부재를 강하함으로써 테이블 표면에 올려놓을 수 있고, 다음 브레이크 공정을 계속해서 행할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 수취부는, 브레이크 장치의 테이블의 일단부(一端部)에서 서로 간격을 두고 평행하게 형성된 복수의 수용 부재로 이루어지고, 기판의 인수인도시에 상기 흡착부의 빗살부가 수용 부재의 사이에 끼워 넣어지도록 형성되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.

이에 따라, 수용 부재를 승강시키는 기구를 생략할 수 있어, 수취부의 구성을 간단하게 형성할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 수취부는, 복수의 컨베이어 벨트로 이루어지는 수용 부재에 의해 형성되고, 상기 각 컨베이어는, 상기 흡착부의 빗살부의 사이의 간격보다 작은 폭으로 형성되고, 기판 인수인도시에, 상기 흡착부의 빗살부가 각 컨베이어의 사이에 끼워 넣어지도록 형성되어 있는 구성으로 해도 좋다.

이에 따라, 기판 인수인도 후, 컨베이어에 의해 다음 공정까지 기판을 연속하여 반송시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 가공 장치의 개략적인 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 가공 장치에 있어서의 스크라이브 장치의 사시도이다.
도 3은 도 1의 기판 가공 장치에 있어서의 흡착 반전 장치의 사시도이다.
도 4는 도 1의 기판 가공 장치에 있어서의 브레이크 장치의 사시도이다.
도 5는 브레이크 장치의 테이블에 형성된 수취부의 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 기판 가공 장치에 의한 작업 공정을 나타내는 설명도이다.
도 7은 수취부의 다른 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7의 수취부를 구비한 기판 가공 장치에 의한 작업 공정을 나타내는 설명도이다.
도 9는 수취부의 또 다른 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 10은 도 9의 수취부를 구비한 기판 가공 장치에 의한 작업 공정을 나타내는 설명도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 본 발명에 따른 기판 가공 장치의 상세를, 도 1∼6에서 나타낸 실시예에 기초하여 설명한다.

본 실시예에서 나타내는 기판 가공 장치(A)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 장치(B)와, 흡착 반전 장치(C)와, 브레이크 장치(D)로 구성된다.

피가공 기판(W)(도 6 참조)은, 스크라이브 장치(B)로부터 흡착 반전 장치(C)를 거쳐 브레이크 장치(D)까지, 제1 방향을 따라 순차 이행되도록 되어 있다. 「제1 방향」이란, 도면에 있어서의 X방향이다. 이 제1 방향을 따른 기판의 이송 경로를, 본 발명에서는 「기판의 주경로」라고 한다.

스크라이브 장치(B)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, X방향으로 연달아 설치된 레일(1)을 따라 이동하는 테이블(2)을 구비하고 있으며, 모터에 의해 회전하는 나사축(3)에 의해 구동된다. 또한, 테이블(2)은 상면에 다수의 에어 흡착구멍(도시외)을 구비하고, 이동 스테이지(4) 상에서 모터를 내장하는 회전 구동부(5)에 의해 수평면 내에서 회전 운동할 수 있도록 되어 있다. 또한, 좌우 한쌍의 지주(6, 6)와, 이들 지주(6, 6)에 가교된 Y방향으로 연장되는 가이드(7)를 구비한 빔(8)에 의해 문형(門型)의 지지체가 형성되어 있다. 가이드(7)에는 커터 휠(9)을 갖는 스크라이브 헤드(10)가 가이드(7)를 따라 Y방향으로 이동할 수 있도록 부착되어 있다.

흡착 반전 장치(C)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 틀(11) 상에서 좌우의 측판(12, 12)에 지지된 Y방향으로 연장되는 회전축(13)과, 회전축(13)과 함께 회전하는 빗살 형상의 흡착부(14)를 구비하고 있다.

빗살 형상의 흡착부(14)는, 회전축(13)을 기단으로 하여 회전축(13)으로부터 직교하는 방향으로 연달아 형성된 복수의 빗살부(14a)에 의해 형성되어 있다. 흡착부(14)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 장치(B)의 테이블(2) 상에 면접하는 위치에서, 후술하는 브레이크 장치(D)의 수취부를 형성하는 수용 부재(24)까지, 회전축(13)과 함께 반전 회전 운동하도록 형성되어 있다. 또한, 흡착부(14)의 빗살부(14a)가 테이블(2) 상에 면접한 자세에 있어서, 빗살부(14a)의 하면에는 다수의 에어 흡착구멍(도시 외)이 형성되어 있다.

또한, 회전축(13)은, 스크라이브 장치(B)의 테이블(2)과, 브레이크 장치(D)의 수취부와의 사이에서, 테이블(2) 그리고 수취부에 근접한 위치에 배치되어 있다. 또한, 회전축(13)은 모터를 내장하는 반전 구동부(15)에 의해 구동된다.

브레이크 장치(D)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, X방향으로 연장되는 레일(16)을 따라 나사축(17)의 회전 운동에 의해 이동하는 이동 스테이지(18)를 구비하고, 이 이동 스테이지(18)에 다수의 에어 흡착구멍(도시 외)을 갖는 테이블(19)이 부착되어 있다.

또한, 좌우 한쌍의 지주(20, 20)와, 이들 지주(20, 20)에 가교되어 Y방향으로 연장되는 빔(21)에 의해 문형의 지지체가 형성되고, 당해 빔(21)에는, Y방향으로 연장되는 판 형상의 브레이크 바(22)가 유체 실린더(23)에 의해 승강 가능하게 부착되어 있다.

브레이크 장치(D)의 테이블(19)에는, 그의 상면으로부터 돌출된 돌출 자세에서 테이블면과 면일하게 되는 몰입 자세까지 출몰하는 복수의 수용 부재(24)가 형성되어 있으며, 이 수용 부재(24)가, 흡착 반전 장치(C)에 의해 반전된 기판(W)을 흡착부(14)로부터 수취하는 실질적인 수취부를 형성하고 있다.

수취부로서의 수용 부재(24)는, 기판(W)의 인수인도시에는 돌출 자세로 상기 흡착부(14)의 빗살부(14a)의 사이에 끼워 넣어지도록 병렬로 배치되어 있으며, 하방에 배치된 유체 실린더(25) 등의 승강 기구(도 5 참조)에 의해 승강하도록 형성되어 있다.

상기한 스크라이브 장치(B) 그리고 브레이크 장치(D)의 테이블(2, 19) 그리고 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)의 에어 흡착구멍은, 도시는 생략하지만, 배관을 통하여 진공 펌프 등의 에어 흡인 장치에 접속되고, 에어 흡착구멍을 통하여 흡인 에어에 의해 기판(W)을 흡착할 수 있도록 형성되어 있다.

다음으로, 상기의 기판 가공 장치에 의한 기판(W)의 가공 공정을, 도 6을 이용하여 순서대로 설명한다.

도 6(a)에 있어서, 스크라이브 장치(B)의 테이블(2) 상에 올려놓여져 있는 기판(W)은, 스크라이브 장치(B)에 의해 그의 상면에 Y방향(도면에 있어서의 전후 방향)을 따른 복수의 스크라이브 라인이 이미 가공된 상태에 있다. 이 스크라이브 라인의 가공은, 테이블(2) 상에 기판(W)을 올려놓은 후, 테이블(2)을 스크라이브 헤드(10)(도 1, 2 참조)의 위치까지 이동시켜 커터 휠(9)을 기판(W)의 표면에 압접시키고, 커터 휠(9)을 Y방향으로 이동시킴으로써 행해진다.

이 테이블(2) 상에 올려놓여진 스크라이브 라인 형성 후의 기판(W)을, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)의 빗살부(14a)에서 흡착하여 반전 회전 운동시킨다. 반전 회전 운동된 빗살부(14a)는, 복수 형성된 수용 부재(24)에 끼워 넣어져, 반전하여 상측에 지지한 기판(W)을 수용 부재(24)의 상면으로 인수인도한다. 빗살부(14a)는 기판(W)을 수용 부재(24)로 인수인도한 후에도, 도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)으로부터 유리(遊離)하는 각도 α까지 회전 운동한다. 이에 따라, 기판(W)을 완전하게 수용 부재(24)의 상면에 남길 수 있다.

이어서, 도 6(d), 도 6(e)에 나타내는 바와 같이, 브레이크 장치(D)의 테이블(19)을 이동시켜 빗살부(14a)로부터 떼어 놓은 후, 빗살부(14a)를 다음 기판(W')을 위해 스크라이브 장치(B)측으로 반전 회전 운동시킨다.

브레이크 장치(D)에서는, 기판(W)을 올려놓은 테이블(19)을 브레이크 바(22)(도 1, 4 참조)의 하방까지 이동시켜 브레이크 바(22)를 하동(下動)시켜, Y방향의 스크라이브 라인을 따라 기판(W)을 단책(短冊) 형상으로 브레이크한다. 이 후, 브레이크된 기판(W)은 테이블(19)로부터 제거되게 된다.

또한, 빗살부(14a)를 반전시켜 수용 부재(24)의 표면에 기판(W)을 인수인도할 때, 기판(W)이 수용 부재(24)의 표면에 대하여 경사 자세로 접촉하면 기판(W)의 표면을 손상시킬 우려가 있다. 따라서, 기판 인수인도시, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 빗살부(14a)의 흡착면이 수평한 자세가 되었을 때, 기판(W)이 수용 부재(24)의 상면으로 인수인도되도록, 수용 부재(24)의 돌출 위치를 미리 설정해 두는 것이 좋다. 이에 따라, 기판(W)을 손상시키는 일 없이 인수인도할 수 있다.

도 7은 본 발명에 있어서의 수취부의 다른 실시예를 나타낸다. 이 실시예에서 수취부는, 브레이크 장치(D)의 테이블(19)의 일단에 빗살 형상으로 가공된 복수의 수용 부재(26)에 의해 형성되어 있다. 수용 부재(26)는 서로 간격을 두고 평행하게 배치되고, 기판(W)의 인수인도시에 상기 흡착부(14)의 빗살부(14a)가 수용 부재(26)의 사이에 끼워 넣어져, 수용 부재(26)의 상면에서 기판(W)을 수평 자세로 수취하도록 형성되어 있다.

도 8은, 상기 도 7에 나타낸 실시예에서의 작업 순서를 나타내는 도 6과 동일한 설명도이다.

앞의 실시예와 동일하게, 테이블(2) 상에 올려놓여진 기판(W)은, 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 바와 같이, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)의 빗살부(14a)에서 흡착되어 반전 회전 운동된다. 반전 회전 운동된 빗살부(14a)는, 복수 형성된 수용 부재(26)의 사이에 끼워 넣어져, 기판(W)을 수용 부재(26)의 상면으로 인수인도한다. 빗살부(14a)는 기판(W)을 수용 부재(26)로 인수인도한 후에도, 도 8(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)으로부터 유리하는 각도 α까지 회전 운동한다.

이어서, 도 8(d)에 나타내는 바와 같이, 브레이크 장치(D)의 테이블(19)을 이동시켜 빗살부(14a)로부터 떼어낸 후, 빗살부(14a)를 도 8(e)에 나타내는 바와 같이 스크라이브 장치(B)측으로 반전 회전 운동시킨다.

이 실시예에서는, 기판의 수취부가 되는 수용 부재(26)가, 앞의 실시예에서 나타낸 수용 부재(24)와 같이 상하로 승강하는 기구를 필요로 하지 않기 때문에, 수취부의 구성을 간략화할 수 있다.

도 9는, 본 발명의 수취부로서의 수용 부재(27)를 복수의 컨베이어 벨트(28)로 구성한 실시예를 나타낸다. 각 컨베이어(27)는, 상기 흡착 반전 장치(C)의 빗살부(14a)의 사이의 간격보다 작은 폭으로 형성되고, 기판 인수인도시에 빗살부(14a)가 각 컨베이어(27)의 사이에 끼워 넣어져, 컨베이어(27)의 상면에서 기판(W)을 수평 자세로 수취하도록 형성되어 있다.

도 10은, 상기 도 9에서 나타낸 실시예의 작업 순서를 나타내는 것이다.

앞의 실시예와 동일하게, 테이블(2) 상에 올려놓여진 기판(W)은, 도 10(a), 도 10(b)에 나타내는 바와 같이, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)의 빗살부(14a)에 흡착되어 반전 회전 운동된다. 반전 회전 운동한 빗살부(14a)는, 복수 형성된 컨베이어(28)의 사이에 끼워 넣어져, 기판(W)을 컨베이어(28)의 상면으로 인수인도한다. 빗살부(14a)는 기판(W)을 컨베이어(28)로 인수인도한 후에도, 도 10(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)으로부터 유리하는 각도 α까지 회전 운동한다.

이어서, 도 10(d)에 나타내는 바와 같이, 컨베이어(28)에 인수인도된 기판(W)은, 컨베이어(28)에 의해 다음 공정까지 반송되고, 빗살부(14a)는 도 10(e)에 나타내는 바와 같이 스크라이브 장치(B)측으로 반전 회전 운동시킨다.

이상과 같이, 본 발명에서는, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)가, 기판(W)을 스크라이브 장치(B)의 테이블(2)로부터 흡착하여 회전축(13)에 의해 반전 회전 운동했을 때에, 반전된 기판(W)을 수용 부재(24, 26, 27)의 상면으로 인수인도할 수 있기 때문에, 종래와 같이 기판을 인수인도하기 위한 흡착 반송 장치를 생략할 수 있어, 기판 가공 장치(A)를 간략화하는 것이 가능해진다. 또한, 흡착 반전 장치(C)의 회전축(13)이 스크라이브 장치(B)의 테이블(2) 그리고 수용부의 사이에서, 게다가 이들 부재의 근접 위치에 배치되어 있기 때문에, 흡착부(14)를 반전시키는 것만으로, 기판(W)을 반전시키는 동작과, 반전 후의 기판(W)을 수취부 상에 올려놓는 동작을 동시에 행하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 작업 시간을 대폭으로 단축할 수 있다.

이상 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기 실시 형태에 특정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도시는 생략하지만, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)를 측판(12)에 대하여 상하 위치 조정 가능하게 형성해도 좋다. 이에 따라, 흡착부(14)를 반전시켜 수취부의 표면으로 기판(W)을 인수인도할 때에, 기판(W)이 수취부의 표면에 대하여 바르게 수평 자세가 되는 위치에 흡착부(14)의 위치를 미세조정할 수 있다.

그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.

본 발명은, 기판 상에 스크라이브 라인을 형성하고, 그 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 기판 가공 장치에 이용된다.

A : 기판 가공 장치
B : 스크라이브 장치
C : 흡착 반전 장치
D : 브레이크 장치
W : 기판
2 : 스크라이브 장치의 테이블
9 : 커터 휠
14 : 흡착 반전 장치의 흡착부
14a : 빗살부
19 : 브레이크 장치의 테이블
24, 26, 27 : 수취부로서의 수용 부재
28 : 컨베이어

Claims (5)

1. 취성 재료 기판을 순차 반송하는 주(主)경로를 제1 방향으로 하고, 상기 주경로의 도중에, 취성 재료 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치와,
   스크라이브 장치에 의해 스크라이브된 상기 취성 재료 기판을 흡착하여 반전시키고, 다음 공정의 수취부에 인수인도하는 흡착부를 갖는 흡착 반전 장치를 구비한 기판 가공 장치로서,
   상기 흡착 반전 장치의 흡착부는, 회전축을 기단(基端)으로 하여 회전축의 축심으로부터 직교하는 방향으로 연달아 형성된 복수의 빗살부를 갖는 빗살 형상으로, 상기 회전축에 의해 반전 회전 운동 가능하게 형성되어 있으며,
   상기 수취부는 간격을 두고 평행하게 배치된 복수의 수용 부재로 형성되고,
   상기 흡착부의 회전축은, 상기 제1 방향과 직교하는 방향을 따라 연달아 설치되어 있으며,
   상기 흡착부의 빗살부가, 취성 재료 기판을 스크라이브 장치의 테이블로부터 흡착하여 회전축에 의해 반전 회전 운동했을 때에, 상기 수용 부재의 사이에 끼워 넣어져 빗살부 상의 취성 재료 기판을 상기 수용 부재에 올려놓을 수 있도록, 상기 회전축이 스크라이브 장치의 테이블 그리고 상기 수취부의 근방 위치에 배치되어 있는 기판 가공 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 수취부의 수용 부재는, 흡착부로부터 기판을 수취할 때에, 기판을 수평 자세로 수취할 수 있는 위치에 배치되어 있는 기판 가공 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 수취부는, 브레이크 장치의 테이블 상면으로 출몰이 자유롭게 형성된 복수의 수용 부재로 이루어지고, 당해 수용 부재는, 기판의 인수인도시에 돌출 자세로 상기 흡착부의 빗살부의 사이에 위치하도록 형성되어 있는 기판 가공 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 수취부는, 브레이크 장치의 테이블의 일단부에서 서로 간격을 두고 평행하게 형성된 복수의 수용 부재로 이루어지고, 기판의 인수인도시에 상기 흡착부의 빗살부가 수용 부재의 사이에 끼워 넣어지도록 형성되어 있는 기판 가공 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 수취부는, 복수의 컨베이어 벨트로 이루어지는 수용 부재에 의해 형성되고, 상기 각 컨베이어는, 상기 흡착부의 빗살부의 사이의 간격보다 작은 폭으로 형성되고, 기판 인수인도시에, 상기 흡착부의 빗살부가 각 컨베이어의 사이에 끼워 넣어지도록 형성되어 있는 기판 가공 장치.
   

Images