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KR900016743A - 정전용량식 압력차 검출기 - Google Patents

정전용량식 압력차 검출기 Download PDF

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떼이조 다까하마
미끼히꼬 마쯔다
신이찌 소오마
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Abstract

내용 없음.

Description

정전용량식 압력차 검출기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예의 단면도.
제2도는 제1실시예에 의해 형성된 콘덴서의 모식도.
제3도(a) 내지 (f)도는 본 발명의 제1실시예를 제작하는 일련의 제작공정도.

Claims (17)

  1. 방사상으로 연장시킨 양면을 구비하는 격막과 한쌍의 고정전극으로 구성되는 정전용량식 압력차 검출기에 있어서, 상기 각 고정전극은 상기 격막의 방사상으로 연장된 표면에 대향하여 상기 테두리부에서 통하는 중앙부분의 압력인도구를 구비하는 방사상으로 연장된 하나 이상의 판과, 상기판의 방사상으로 연장시킨 대향면으로 부터 간격을 두고 상기판의 외주부에 인접한 격막에 접합시킨 고리형 지지체 및 한쪽면에 소정의 폭과 형상으로 형성시킨 오목부를 구비하는 방사상으로 연장시킨 양면을 구비하는 것을 특징으로하는 정전용량식 압력차검출기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 고정전극은 방사상으로 연장시킨 면과 외주면을 갖는 다른판, 상기 하나이상의 판과 상기 다른판의 방사상으로 연장시킨 표면에 간격을 두고 배치하여 접합시킨 방사상으로 연장시킨 표면을 가지는 질연판을 추가로 구비하는 것을 특징으로하는 정전용랑식 압력차검출기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1판, 제2판 및 전기 도전재료로 구성되는 것을 특징으로하는 정전용량식 압력차 검출기.
  4. 제2항에 있어서, 제1판, 제2판 및 절연판은 사실상 열전도계수가 같은것을 특징으로 하는 정전용량식 압력차 검출기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 오목부는 하나 이상의 판의 방사상으로 연장시킨 대향면위에 형성시키며, 압력연도구의 내부 테두리부와 교차하는 방사상으로 연장시킨 하나 이상의 홈을 구비하는 것을 특징으로하는 정전용량식 압력차 검출기.
  6. 제5항에 있어서, 상기 하나 이상의 홈은 압력인도구의 내부 테두리부에서 서로 교차하는 다수의 홈인 것을 특징으로하는 정전용량식 압력차 검출기.
  7. 제1항에 있어서, 상기 하나이상의 판과 상기 고리평 지지체는 격막과 판을 전기적으로 절연시키는 절연재료로 만들어지며 상기 오목부는 압력인도구의 내부 테두리를 둘러싸는 상기 하나의 판의 대향면에 있는 고리형 오목면과 상기 고리형 오목면으로 부터 방사상으로 간격진 상기 하나 이상의 판의 대향면에 형성시킨 고리형홈을 구비하며 (여기서 고리형 홈과 오목면은 하나이상의 판의 고리형 중앙부를 한정함), 상기 고정전극은 상기 하나이상의 판의 상기 고리형 중앙부에 형성시킨 도체막을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용양식압력차 검출기.
  8. 제1항에 있어서, 상기 오목부는 격막의 방사상으로 연장시킨 대향면에 고리형홈을 구비하며, 상기 홈은 중앙가요부를 한정하는 것을 특징으로하는 정전용량식 압력차 검출기.
  9. 양면을 구비하는 격막(10)과, 상기 격막(10)와 양측에 각각 인접하게 배치시킨 고정전극(151), (200)으로 구성되는 정전용량식 압력차 검출기에 있어서, 상기 각 고정전극(151), (200)은 상기 격막(10)의 각 면의 중앙부에 인접한 제1판(121), (171)과, 상기 제1관(121), (171)의 외주면으로 부터 간격져 상기 격막(17)의 주변 가장자리부에 접합시킨 고리형 지지체(211), (221)와, 상기 격막(10)의 반대쪽면에서 상기 지지체(211), (221)와 상기 제1판(121), (171)의 각 표면에 공통으로 접합시킨 절연판(13), (18)과 상기 제1판(121), (171) 대향면에 접합하여 전기적으로 접속시킨 제2판(14), (19)을 구비하고, 상기 제1판(121), (171), 제2판(14), (19) 및 절연판(13), (18)의 중앙부를 관통하는 압력인도구(25), (26)를 형성시키며, 상기 격막(10)측의 상기 압력 인도구(25), (26)의 테두리부와 상기 격막(10)측의 상기 제1판(121), (171)의 외주능선부(121a), (171a) 및 상기 격막측의 상기 지지체(211), (221) 의 내주능선부(211a), (221a)에 각각 단층부를 형성시 킨것을 특징으로하는 정전용량식 압력차 검출기.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1판(121), (171) 및 제2판(14), (19)은 도전성인것을 특징으로하는 정전용량식 압력차 검출기.
  11. 양면를 구비하는 격막(41)과, 상기 격막(41)의 각면에 인접하게 배치 시킨 고정 전극들로 구성되는 정전용량식 압력차 검출기에 있어서, 상기 각 고정전극은 그 중앙부를 관통하는 압력인도구(46), (47)와, 상기 격막(41)측의 상기 압력 인도구의 테두리부에 형성시킨 단층부(42b), (43b)와, 상기 단층부(42b), (43b)에 인접하게 방사상 외방으로 상기 격막(41)의 표면과 평행하게 근접하여 배치시킨 절연재료로 된 고리형 중앙평면부(42c), (43c)와, 상기 중앙평면부(42c), (43c)에 인접하게 형성시킨 고리형홈(42a), (43a)과, 적어도 상기 중앙평면부42c), (43c)에 형성시켜 콘덴서 리드단자로서 사장하는 도전성막(421), (431) 및 상기 고리형홈(42a), (43a)의 방사상 외방의 주변부에서 상기 격막과 전기적으로 절연하여 접합시킨 절연재료로 되는 고리형 지지체 (44), (45)를 구비하는 것을 특징으로 하는 정전용량식 압력차 검출기.
  12. 양면을 구비하는 격막(10)과, 상기 격막(10)의 각면에 인접하게 배치시킨 고정전극들(15), (20)로 구성되는 정전용량식 압력차 검출기에 있어서, 상기 각 고정전극(15), (20)은 그 중앙부를 관통하는 압력인 도구(25), (26)와, 상기 격막(10)측의 표면에 형성시킨 하나 이상의 홈을 구비하고, 상기 하나 이상의 홈은 상기 압력인도구(25), (26)와 교차하는것을 특징으로하는 정전용량식 압력차검출기.
  13. 제12항에 있어서, 상기 격막(10)측의 각 고정전극(15), (20)에 다수의 홈을 형성시키고 상기 각홈은 상기 압력열도구(25), (26)와 교차하게 하는것을 특징으로 하는 정전용량식 압력차 검출기.
  14. 압력에 따라 변위하는 격막(10)과 상기 격막(10)의 양측에 배치한 압력 연도구(25), (26)를 구비한 제1,제2고정전극(15), (20) 사이에서 형성되는 콘덴서의 정전용량을 기초로하여 상기 압력을 측정하는 정전용량식 압력차 검출기에 있어서, 상기 검출기는 상기 제1고정전극(15)의 외측표면과 소정거리를 두고 그 주변 가장자리부에 접합한, 압력 가지는 기관(30)을 구비하며, 상기 제2고정전극(20)측으로 부터 도입된 압력을 동시에 상기 제1고정전극(15)에 대향하는 상기 기판(80)의 표면에 작용하도록 하는것을 특징으로 하는 정전용량식 압력차 검출기.
  15. 정전용량에 기초하여 압력을 측정하는 정전용량식 압력차 검출기에 있어서, 상기 검출기는 양면을 구비하는 격막(10)과, 상기 격막(10)의 각면에 인접하게 배치시킨 각 고정전극들(85), (86)로 구성되며, 상기 각 고정 전극(85), (86)단 상기 격막(10)의 한쪽면의 중앙부에 인접하게 배치시켜 상기 격막(10)과 그 열팽창계수은 사실상 같은 재료로 만든 제1판(12), (17)과 상기 제1관(12), (17)의 외주면으로 부터 간격을 두고 상기 격막(10)의 주변 가장자리부에 접합한 고리형 지지체(21), (22)와, 상기 격막(10)과 대향하는 반대측의 제1판(12), (17) 및 상기 고리형 지지체(21), (22)의 각 표면에 접합하여 상기 제1판(12), (17)과 그 열팽창계수를 사실상 같은 재료로 만든 절연판(83), (88)과, 상기 절연판(83), (88)의 다른쪽면에 접합하여 상기 제1판(12), (17)에 전기적으로 접속시킨 제2판(14), (19)을 구비하는 것을 특징으로하는 정전용량식 압력차 검출기.
  16. 압력에 따라 변위하는 격막(10)과 상기 격막(10)의 양측에 배치한 압력 연도구(25), (26)를 구비한 제1, 제2고정전극(85), (86) 사이에서 형성되는 콘덴서의 정전장량을 기초로하여 상기 압력을 측정하는 정전용량식 압력차 검출기에 있어서, 상기 격막(10)은 그 중앙부에 위치하여 압력에 따라 주로 변위하는 변위부(93)와, 상기 격막(10)의 주변 가장자리부에 위치하여 상기 각 고정전극(85), (86)으로 부터 전기적으로 절연하여 접합시킨 접합부(94) 및 상기 접합부(94)와 상기 변위부(93)를 연결하는 폭이 상기 변위부(93) 직경의 1/2 내지 1/5이며, 두께는 상기 변위부(93) 두께의 1/2 이하인 고리형가요부를 구비하는것을 특징으로하는 정전용량식 압력차 검출기.
  17. 제16항에 있어서, 상기 각 고정전극(85), (86)에 형성시킨 고리형 홈들을 포함하며, 상기 홈들은 상기 가요부와 일치하여 형성되는 것을 특징으로 하는 정전용량식 압력차 검출기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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