JPS6328599Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、複数のウエーハを保持用治具にて保
持した状態で熱処理室に搬入し、かつ搬出するウ
エーハ搬送装置に関する。

この種の装置においては、ウエーハの搬送中に
保持用治具と熱処理室の内面とが接触した際、接
触部からじんあいが発生してチツプの歩留が低下
する場合がある。このため保持用治具と熱処理室
の内面とが接触しないように第１図および第２図
に示されるような構成が一般に採用されている。

すなわち、複数のウエーハＷを保持する保持用
治具は、ほぼ半円筒状に形成されて、下方には所
要数の脚部２が一体に設けられている。そして、
搬送アーム３は筒状に形成され、その下方先端に
は保持用治具１を載置状態にて支持する断面円弧
状の支持部４が一体に設けられている。

上記搬送アーム３はアーム駆動部５によつて上
下方向および前後方向に適宜駆動されることによ
り、支持部４上に載せられた保持用治具１を熱処
理室６内に搬入、かつ搬出するように構成されて
いる。

具体的動作としては、支持部４上に手動または
自動的に保持用治具１を載せた後、搬送アーム３
を上昇させて保持用治具１を持上げる。次に、搬
送アーム３を前方に移動させ、熱処理室６内に位
置させた時点で下降させる。その結果、保持用治
具１は熱処理室６内に載置される。そして搬送ア
ーム３を後方に復帰させてウエーハＷの熱処理が
行なわれる。

熱処理室６からの保持用治具１の搬出は、搬送
アーム３に対して上記搬入動作と逆の動作をさせ
ることにより達成される。

しかしながら、直径125mmあるいは直径150mm等
のような高重量のウエーハの製作が現実化してい
る現在においては、上記構造の搬送アーム３では
保持用治具１の支持が不可能であるという問題が
生じている。すなわち、重量のある複数のウエー
ハＷが保持された保持用治具１を上記構造の支持
部４で支持した場合、多大な荷重が支持部４の面
方向に加わるため、この支持部４は下方に変形す
るかあるいは欠損してしまうという問題がある。

本考案は上記従来の問題点にかんがみてなされ
たもので、重量のある複数のウエーハＷを保持し
た保持用治具を支持する場合でもわん曲および欠
損することのない搬送アームを備えたウエーハ搬
送装置を提供することを目的とする。

以下第３図〜第８図を参照して本考案の実施例
について詳述する。

第３図および第４図に示される如く、複数のウ
エーハＷを載置状態にて保持する保持用治具１１
は半円筒状に形成されている。そして、この保持
用治具１１の下方には所要数の脚部１２が突設さ
れていると共に、上端両側にはそれぞれ外方に向
つて一体形成されたつば状の被係合部１３が長手
方向に沿つて複数個突設されている。

搬送アーム１４は全体的には円筒状の材料にて
形成されているが、保持用治具１１を支持する前
方部分の下部に長手方向に沿う切欠１５が設けら
れることにより、保持用治具１１に上方から（場
合によつてよこ方向から）被嵌し得る如く断面ド
ーム状に形成されている。このようにドーム状に
形成されていることにより、上下方向に加わる力
に対して変形および欠損することなく充分に耐え
ることが可能となる。そしてこのドーム状の両側
下端近傍には、それぞれ内方に向つて一体形成さ
れた係合部１６が長手方向に沿つて複数個設けら
れている。これらの各係合部１６は、保持用治具
１１に形成されている各被係合部１３の間を通過
できる寸法に設定されていると共に、第３図に示
される如く被係合部１３の各各と係合し得る間隔
に設定されている。

上記搬送アーム１４は保持用治具１１を支持し
て熱処理室１７に搬入し、かつ搬出するものであ
るが、この搬入、搬出動作を行なうために、搬送
アーム１４を上下方向および前後方向に駆動する
ためのアーム駆動部１８が設けられている。アー
ム駆動部１８は、円筒カム機構あるいは油圧機構
等を採用することにより搬送アーム１４を上下方
向および前後方向に駆動するように構成すること
ができるが、その具体的な構造については本考案
の要旨でないため説明を省略する。

次に上記構成よりなる搬送装置の動作について
係合部１６の動きを鎖線で示した第３図を参照し
て詳述する。

まず、基台１９上に載置された保持用治具１１
の上方に搬送アーム１４の係合部１６の部分を位
置させておき、この搬送アーム１４を矢印Ａで示
す如く所定量だけ下降させる。その結果、搬送ア
ーム１４が漸次保持用治具１１に接近し、各係合
部１６は各被係合部１３の間を通過してこれらの
被係合部１３の下方に位置する。そして搬送アー
ム１４を矢印Ｂで示す如く各係合部１６の幅分だ
け後方（第３図右方）または前方にずらして各係
合部１６を各被係合部１３の位置に一致させる。
次に矢印Ｃで示す如く搬送アーム１４を上昇させ
ることにより各係合部１６が各被係合部１３に係
合して保持用治具１１が持上げられる。この状態
で搬送アーム１４を矢印Ｄで示す如くさらに前進
させて保持用治具１１を熱処理室１７の内部に搬
入し、かつ矢印Ｅで示す如く下降させることによ
り保持用治具１１は熱処理室１７内に載置され
る。そして搬送アーム１４を矢印Ｆで示す如く後
退させた後ウエーハＷの熱処理が行なわれる。

ウエーハＷが熱処理された後に保持用治具１１
を熱処理室１７から搬出する場合は、上記搬入動
作と全く逆の動作がなされる。すなわち、搬送ア
ーム１４を前進させて各係合部１６を各被係合部
１３の位置に一致させた後、搬送アーム１４を上
昇させることにより各係合部１６を各被係合部１
３に係合させて保持用治具１１を持上げる。次
に、搬送アーム１４を後退させた後下降させるこ
とにより、保持用治具１１を熱処理室１７から搬
出して基台１９上に載置させる。そして搬送アー
ム１４を、係合部１６の幅分だけ前方または後方
にずらした後上昇させることにより、各係合部１
６が各被係合部１３の間を通過して元の位置に復
帰し、一行程の動作が完了する。

なお、上記実施例では搬送アーム１４の係合部
１６と保持用治具１１の被係合部１３との係脱を
搬送アーム１４によるＡ，Ｂ，Ｃ方向の動作およ
びその逆方向の動作によつて成し得る例を示して
いる。しかしながら、搬送アーム１４は停止させ
ておき、保持用治具１１を図示しない駆動機構ま
たは人手によつて動かすことにより係脱させるこ
ともできる。この場合における係合動作は、各被
係合部１３が各係合部１６間を通過する如く保持
用治具１１を上昇させた後係合部１６の幅分だけ
前後方向にずらし、さらに下降させることにより
達成され、離脱動作は上記係合動作と逆の動作を
させることにより達成される。

また、本考案における搬送アーム１４は断面が
ドーム状に形成されることにより、強固にしたこ
とも特徴の一つであるが、厳密な意味でのドーム
状である必要はない。たとえば、第６図に示され
る搬送アーム２１のように上部が円弧状でかつ両
側が平板状になつていて、下端部内方に複数の係
合部２２を有するもの、あるいは第７図に示され
る搬送アーム２３のように上部および両側が共に
平板状になつていて、下端部内方に複数の係合部
２４を有するものであつてもよい。さらに第８図
に示される搬送アーム２５のように両側が円弧状
になつていると共にその下端部内方に複数の係合
部２６を有し、前方上部の一部分のみで両側が連
結されることにより、前方の一部分のみがドーム
状に形成された構成であつてもよい。

また、上記実施例では搬送アーム１４の係合部
１６としてドーム状部分から内方に突設したもの
を例示しているが、ドーム状部分の両下端をクシ
歯状に切欠して係合部としてもよい。さらに搬送
アーム１４にて搬入された保持用治具１１を熱処
理室１７内に載置した状態でウエーハＷの熱処理
をする例を説明したが、搬送アーム１４にて保持
用治具１１を支持したままウエーハＷの熱処理を
行なうようにすることも可能である。

上述の如く本考案によるウエーハ搬送装置は、
搬送アームが断面ドーム状に形成されている。し
たがつて、搬送アームは上下方向に加わる力に対
して強固な構造であるため、大径で高重量のウエ
ーハを複数個保持した保持用治具を支持する場合
においても変形および欠損することは全くない。
また、搬送アームは加工が困難な肉厚形状とする
ことなく強固に構成することができるため、製造
が極めて容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す全体の側面図、第２図は
第１図に示される保持用治具と搬送アームとの係
合状態を示す横断面図、第３図〜第８図は本考案
の実施例を示すもので、第３図は全体の側面図、
第４図は要部の斜視図、第５図は保持用治具と搬
送アームとの係合状態を示す横断面図、第６図〜
第８図は搬送アームの他の実施例を示す斜視図で
ある。 図面中、１１……保持用治具、１３……被係合
部、１４，２１，２３，２５……搬送アーム、１
５……切欠、１６，２２，２４，２６……係合
部、１７……熱処理室、１８……アーム駆動部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数のウエーハを保持する保持用治具と、この
   保持用治具を支持する搬送アームと、この搬送ア
   ームを適宜駆動することにより前記保持用治具を
   熱処理室に搬入し、かつ搬出するアーム駆動部と
   を備えたウエーハ搬送装置において、前記保持用
   治具の両側にはそれぞれ外方に向つて凸状に形成
   された被係合部が長手方向に沿つて一定間隔で設
   けられ、かつ前記搬送アームは前記保持用治具に
   被嵌し得る断面ドーム形状とされていると共にそ
   の両下端近傍にはそれぞれ内方に向つて凸状に形
   成された係合部が長手方向に沿つて一定間隔で設
   けられていることを特徴とするウエーハ搬送装
   置。