JPS60215533A - 管の製造方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は管の製造方法に関し、この種の方法では粉末状
態（固体用）の管材料おＪ、び液体相状態の結合剤の混
合物を形成すべき管の形状寸法（ｇｅｏ＋ｎｅｔｒｙ）
に相当Ｊる形状寸法を有する管状型に、管状型をその長
軸のまわりに回転し、粉末−結合剤混合物を管状型の内
壁にＪｅｔ　ｆ＾するように導入し、過剰の結合剤を除
去し、更に形成した未加工管体（ｔｕｂｕｌａｒ　ｇｒ
ｃｒｎ　Ｉ＋ｏｄｙ）を加］覆る。

更に、本発明は上記方法は実施するのに用いる装置に関
する。

この種の装置はイギリス特許第６８２，５８０号明細吉
に記載されている。この既知方法の目的は、例えば研究
室に用いるフィルターの如き多孔性ガラス管の製造に向
けられており、焼結ガラス粒子において出来るだけ均一
な孔分布および孔大ぎざが重要であり、孔を互いに連通
させる必要がある。

この目的のために、出来るだけ均一な粒子のガラス粉末
を、固体粒子の堆積を防止する結合剤、例えば湿潤剤お
よび所望の多孔性に相当する所望分布条件で発泡を抑制
する抑制剤を含有する水性グリはリン溶液に懸濁し、こ
の懸濁物を遠心処理により内壁上に堆積固体粒子のルー
ズ構造（ｌｏｏｓｅ　５ｔｒｕｃｔｕｒｅ　）を形成し
ている。

この方法では、固体粒子を遠心力で管状型の内壁にＭ（
積する場合に適当でなく、出来るだけ大きい充填密度を
得る必要がある。

光学繊組の製造における、いわゆる、予備成形どして用
いられるガラス体の製造方法、または遠心機の内壁上に
ガラス粒子を懸濁状態でイＴく、しかも乾燥状態で遠心
Ｊ、１１偵する方法は西ドイツ特許第３２４０３５５　
ｊｆ明細内（イギリス特許類第２１２９４１８Ａ号に相
当）にｉ＋シ戟されている。この方法においては、乾燥
固体粒子を成形中速心力により支持部材の内壁にルーズ
４Ｍ造状態で保持している。次いで、ルーズ構造の周囲
を加熱にＪ：りおよび／または接着剤硬化により形状安
定化する必要がある。次いで、形状安定化１ノだルーズ
構造を圧縮して微孔固体物体を形成Ｊる必要がある。

なぜならば、成形により達成される固体粒子の密度が光
学繊維用の予備成形に与える要イ′１を満さないためで
ある。この既知方法では、ルーズ構造の形状安定化を行
なう必要があること、および光学ｍｉ用の予備成形に必
要とされる固体物体の密度を次の圧縮プロセスで１ｑる
必要があることなどの欠点を有する。微孔固体物体を形
成覆る付加ブ［ｌセス工程として必要とＪる後圧綿ブ［
ルスでは、異なる材料の粒子（ｇｒａｉｎｓ）の成形に
より最初に生ずる一定の不均質屈折率分布が悪影響を及
ぼす＝７− 欠点を右Ｊる。

粉末は乾燥条件で遠心処理するから、堆積材料の均質（
４＋に関する問題が生じ、静電荷により形成体の均一沈
降および凝集を妨害する。更に、ルーズ構造は不均一収
縮挙動を示し、このために個々の層を離層する欠点があ
る。

本発明の目的は堆積層における固体粒子の極めて高い充
填密度を有する管を製造する方法を提供することであり
、この本発明の方法で異なる化学組成の固体粒子の層を
、化学的に異なる固体粒子層の規定配置を後加工段階で
不利益に変えることなく規定する手段で、かつ高い充填
密度で堆積することができ、特にガスによる後洗浄に十
分な低い多孔性を示す高密度、均質性で、かつ清浄な５
ｉＯｚ−管を製造することができ、また特に焼結により
光学導波管を製造するのに要求される品質の石英ガラス
管を製造することができる。

本発明においては、上記目的を固体相および液体相を管
状型に別々に導入することによって達成することができ
る。

８一 本発明の１例にｊ１３いては、結合剤および固体相を供
給装置（ｄｏｓａｇｅ　（ＩＯＶＩＩｃｅ）を介１ノで
別々に管状型に導入し、この場合、Ｒρ１に液体相を賀
状型の内壁に堆積する。

この例では、最初に液体フィルム状態の結合剤を管状型
の内壁に＋ｒｔ　＋＾できるＩこめに右利である。

結合剤は異なるタイプの液体から作ることが（゛きる。

この目的のために、この技術において知られている任意
の異なる８し体、例えば水、右１ｉｆｔ液体、必要に応
じて分散剤、安定剤などを用いることができる。

次いで、粉末固体相を結合剤ｆ１１．ｌにＪ（を積Ｊる
ことができる。遠心力にＪ：す、固体粒子は液体フィル
ム上に押圧され、粒子は１ｌｖＩ滑し、微細粒子１１分
散剤で被覆され、甲ｌＩ凝集から保護される。液体フィ
ルムにおいて、固体粒子は７７いに別々にｊｔｈｊ状型
の内壁に押し流され、高い充填密度（理論的に可能な充
填密度の５０〜９０％）で３１１積する。中間空間は分
散剤および結合剤からなる液体相で充ｌｌｌ１゜て保持
する。固体粒子を管状型の軸方向に向って均−に１ｆｔ
積しやすくするために、粉末を軸方向に向って連続的に
供給することができる。できるだＶノ速＜　Ｊｆｔ積で
きるようにするために、液体相を個々の入口を介して連
続的に、かつ比例的に供給することができ、このために
堆積固体粒子層は常に帥い液体フィルムで被覆される。

１「積時間は液体相の粘度およびフィルム厚さに比例す
るから、プロレスの持続時間を液体相の必要量のワン−
タイム供給（ｏｎｅ−目ｍｅ　３１＋）ＤＩＶ）　）と
比較して著しく短くすることができる。また、この手段
によって光なる密疫および寸法の固体粒子の分離を最小
にすることができる。内壁に被覆すべき管状型は水平お
よび／または垂直状態でその長袖のまわりを回転できる
ようにすることができる。

本発明の他の例では、結合剤おＪ：び固体相を供給装置
を介して管状型に同時に導入し、過剰の液体相をプロセ
ス中吸引除去することができる。

この場合、その都度、極めて薄い液体フィルム（１ｍｍ
、好ましくは１０〜１００μ）がすでに堆積固体粒子」
−に存在するので、沈降時間を短くできる利点がある。

この方法ににって、イ「意の手段（例えば単一形式およ
び傾斜繊ＩＩＩ（ｑｒａ＋ｌ１ｃｎｔ　ｆｉｂｒｅｓ）
についての予備形成）で構成した管を得ることができる
。

この場合、透明ガラスに後焼結ηる末加二１−管体（Ｂ
ｅｅｎｓ）は軸おにび半径方向に極めて均一な粒子分布
を有するＪ：うにＪ′るのが大切である。この手段では
、超顕微鏡的粒子からイｒる未加工管体の乾燥中にお番
ノる収縮割れを減少りることができる。

通常、光学導波管の製造に用いる市販されている既知の
固体粒子出発４４　Ｆ＋は広範囲にわたる粒子分布く例
えば、５〜５００ｎｍの粒子１Ｙ）を有しているから、
先づ出発粉末の分粒を行う必要がある。この分粒は、例
えば１２００９の光学導波管製造用の市販の出発材料（
高分散Ｓｉ　０２−粉末）を２０００　ｃｈｉ’の淵ア
ンモニア水溶液中で攪拌し、超音波作用下で３０分間に
わたり分散覆る。１こうにＴｉうことができる。このよ
うにして１！ｌた懸濁物を２，２Ｘ　１０’りで３０分
間にわたり、例えば大型研究室用遠心機で遠心分離し、
澄んだ溶液を傾瀉１ノ、沈降物体を１２０１１− °Ｃで１時間にわたり乾燥した。次いで、細い粉末、中
間大きさの粉末および粗い粉末に分粒し、沈降物体を１
ｆｔ積粒子フラクションに従って３部に分ける。最初の
沈降物体の各３部は本発明の方法により未加工管体を作
る出発材料として有利に用いることができる。

本発明の方法の伯の例においては、未加工管体のＩｔ　
ｆｉ’ｌをにりする潤滑剤フィルムを粉末および結合剤
の導入前に管状型の内壁に設【ノることができる。潤滑
剤フィルムは高分子炭化水素、例えばパラフィンからな
るのが好ましい。例えば、４６〜５０℃の融点を有する
パラフィンを用いることができる。次に、管状型の内壁
に堆積した未加工管体は、例えば温風ファンで、または
例えば渇水に浸漬して管状型を僅かに加熱することによ
って型から除去しやすくすることができる。

本発明の伯の例では、単−相または多層液体結合剤混合
物を用いることができ、この場合結合剤どして無ＩＩＩ
／有機溶液、有機物質、または疎水性液体を用いること
ができる。

１２− 疎水性液体としては、例えば常温で流体Ｃあるパラフィ
ンを挙げることができる。この場合、期待に反して結合
剤中に固体粒子の移送が生ずる。

例えば、Ｓｉ　０２固体粒子の表面に吸着された０　１
−１−基が作用し、例えば固体粒子相互の十分な安定性
をブリッジ形成によって）７成するものと思われる。

固体粒子の沈降後、この固体粒子を型から除去しやすく
するために、管状型を約１００〜１５０℃の温度で加熱
することができる。

本発明の方法の他の例では、常温で流体であるＵＶ硬化
重合体を工業的製造プロレスのための結合剤として使用
することができる。

本発明の他の好適な例では、固体相を光学導波管に、特
に所望の屈折率の調節に適当なドーピングを施したまた
は施さない５〜！ｉ１００ｎ　、好ましくは１０〜２０
０μｍの範囲の粒度の高分散５１０２粉末に適当な材料
とすることができる。ドーピングは、例えばＧｅｏ２粉
末の添加にＪ：って行うことができる。

本発明の伯の例では、例えば光学導波管の製造用の粉末
セラミック材料を異なる化学組成物の順次バッチ形式で
管状型に、特に異なる組成物の層を所望の屈折率プロフ
ィルに従って管状型の内壁にｉｆｆ積するように導入す
る。異なる組成の固体相の添加おＪ：びこの添加割合を
時間にわたって互いに変えることによって、殆んど任意
の組成物が壁厚さに形成することができる。光学導波管
を製造する場合には、半径方向にわたって屈折率の変化
を規定することが極めて重要である。

二三の供給装置を用いて、異なる固体粒子流、例えＧ；
Ｋ　Ｍ粋Ｓｉ　０２粉末およびＧｅＯ２でドープしたＳ
ｉ　０２粉末を管状型の内部空間に導入して任意屈折率
プロフィルの堆積未加工管体を作ることができる。

本発明の方法においては、また固体相を管状型の内壁に
ｊｌｔ　Ｉ　ｍ−る直前に、ガス相に化学プロセスを介
して形成することができ、この場合ガス状出発物質を遠
心機のように操作する型に導入する際に、または導入す
る直前に加熱し、生成固体相に対する分散剤として作用
りるガス相に反応的に添加する。３ｆｔ−１４および０
２はガス状出発物′ｉ′、ｆどして有利に用いることが
できる。しかしながら、例えばシリコンのハ［１ゲン化
物は当業者において知られている。プロ１！スの進（１
中形成する固１本粒子は遠心機の加速フィールドでたた
らに生じ、管状型の内壁上に沈降１Ｊる。この１−現場
（Ｉｎ　５ｉｔｕ）ｊプロセスはガス相にＪ５　ＬＪる
固体粒子の正確な供給性（ｄｏｓａｌ＋ｉ１口ｙ）おＪ
：び殆／ｖど即想的ｒｒ分散１７１を達成できるので有
利である。これにより、酋通のガス流の欠点を補償覆る
ことができる。

本発明の方法を達成ηるのに用いる１層％　ＩＩ　ｌ；
１．遠心機として駆動できる管状型；この管状型の長軸
に対して直角に配置し、かつ管状ハ“！を閉鎖覆る２藺
の孔−隔膜：この孔−隔膜の孔を貫通１．て管状型の長
軸に沿って移動できる供給装置どしての管、この管はそ
の１部分を型の外８１１に残留し、これから型の内部空
間に与える材ｙｉｌを供給し；前記管内に存在する材料
を型の内部空間に供給し、かつ型の内壁に遠心力ににす
Ｊｌ（積する内部空間に突出す１５− る管の仙の部分を構成する少なくとも１個の排出口（ノ
ズル）から構成する。また、本発明の装置の他の構造は
、型を一端面で隔膜により閉鎖する管から構成し、型を
モータの軸に連結してモータにより遠心駆動するが、ま
たは型を電気モータのモードルとするようにして型を遠
心駆動するように構成することができる。

次に、本発明を添付図面について説明する。

型１として水平（または垂直）に配置した管から構成し
、この管の端面を孔５の大きさを調節できる着脱自在の
隔膜３で部分的に閉鎖し、液体相１７を導入し、この流
体相を型１として用いる管の内１１１−）に液体フィル
ム１３の状態で遠心作用によって均一に分布する。次い
で、粉末出発材料１５を、軸方向にまたは半径方向に移
動できる排出孔９を有する少なくとも１個の管７の形態
の供給装置（ｄｏｓｉｎｇ　ｄｅｖ＋ｃｅ＞を介して型
１として作用する管の内部空間に供給する。固体粒子は
遠心力により液体フィルム１３上に押圧され、これによ
り粒子は湿潤し、微細粒子は分散剤で被覆され、早期凝
＝１６− 集から保護される。固体粒子は型１の内壁１１の方向に
向って液体フィルム１３内に７１いに別々にドリフトし
、粒子を高い充填密度でＩｆｆ梢−する（理論的に可能
な充頃密ｍの５０〜００％）。

中間空間は、例えば分散剤１ｔ３Ｊ：び結合剤からなる
液体相で充填される。Ｔｈ’！１１に固体粒子の均一で
長い堆積を容易にするために、固体粒子を軸方向に向っ
て連続的に１１１移さｔ！ながら供給する。ＩｆＩ積を
出来るだ【づ速く達成Ｊるために、液体相１７を第２の
管７′の形態の別の供給装置を介してノズル１９を通し
連続的に供給し、比例的に調節し、これにより固体粒子
の１１ｆ（６層を＾９い液体フィルｌ＼で常に被覆する
。

次に、本発明の利点について説明りろ。本発明において
は堆積時間が液体の粒１ｑおＪ：びフィルム厚さに比例
するから、プロセスの持続時間を所望の液体相のワン・
タイム供給と比較して著しく短縮することができる。ま
た、異４Ｔる密度おにび寸法の固体粒子の分離を最小に
することができる。

また、型の内側に被覆りる型は水平および重１白状態で
、型の長軸のまわりを回転することができる。

次に、本発明を高密疾、均質性で高純度のＳｉ　０２管
を製造する二三の例について説明する。

火蕪」２！工 約１２０ｍβの１５％ポリビニルアルコール溶液（重合
度３５０）を全長１６０ｍｍおよび外径６０ＩＩＩＩ１
１を有し、端面に厚さ５ｗ＋ｎ＋の着脱自在の隔膜を設
けた、例えば鋼またはアルミニウムからなる回転しろる
高張ｔσ金属管に導入し、先づ１１０００ｒｐで回転し
た。管の内壁に液体が完全均一に分布した後、２１０（
ｌの微粉砕の高分散Ｓｉ　０２粉末を、５ｍ／分の割合
で供給装置を往復動させると同時に管の回転数を３０．
００Ｏｒｐｍに上げて、１０／分の供給量で軸方向に可
動する供給装置を介して分布した。この場合、重力にに
り加速より約２０，０００倍大きい遠心加速下で固体粒
子が完全に沈降した後、堆積物上に存在する過剰の液体
フィルムを吸引除去し、堆積末加−Ｌ管体を型から管状
型の僅かな加熱（例えば５０〜１００°Ｃ）ににり除去
した。この場合、型から除去しヤ）１くＪるために、プ
ロセスの開始時に管の内壁に例えばパラフィンの潤滑剤
フィルムのｉ９いｉ（Ｉ積層を設けることができる。か
ようにして高い精度の形状寸法おＪ：び均一な密１ｕを
右Ｊ−る未加工管体を得た。未加工および焼結管体を石
英ガラス管に後塩素化洗＃（Ｓ旧＋５ｃｑｕｅｎ＋　Ｃ
ｌ１ｌＯｒｉｎａｌ　ｉｒ＋ｇＣＩｅａｎｉｎｏ）でき
る細孔構造を利用した。汚染物は、例えばＨ２Ｏまたは
有害金属化合物であった。この汚染物を５ＯＣＪ２２″
にＪ、り常温で飽和１ノだ１〜２β／分の流速の０２流
中８００℃で除去した。汚染物を塩素化し、揮発相どし
で除去した。１ψか＜’に細孔の未加工管体を緻密で、
透明で気泡の存在しないガラスに１５００℃、１０５ｐ
ａ圧のヘリウム／１エム素雰囲気下、１β／分の流速で
３ｍｍ／分の定）ｌｉ度で焼結した。かようにして高い
表面晶４（ｔの透明な石英ガラス管を高純度ｒ　＋！ｌ
た。

実施例２ 液体相（実施例１に記載したｔ）の）を固体粒子供給中
、連続的に供給してＳｉ（’）２／結合剤からなる未加
工管体を加速的に形成した。この−合、薄い液体フィル
ム（１１ＩＩＩｌ１１好ましくは１０〜１００１９− ７１１）はすでに１在積した固体粒子上に存在していＩ
、：。上述するように処理することによって、何んら問
題なく固体粒子の供給速度を５ｇ／分に高めることがで
き、更に短い沈降時間中、異なる大きさの固体粒子が分
離するのを減少することができＩこ　。

実施例３ 種々の組成を右する固体粒子／結合剤からなる未加工管
体を壁土に次のようにして形成した：先づ、実施例１に
記載した液体相を管状型に付着した。異なる組成の出発
粉末（固体粒子）を、！＞いにその割合を変えて供給し
て殆んど任意に変化した組成を壁上に形成した。光学導
波管の製造においては、半径上に屈折率を規定して変化
することが重要である。この場合、第２の管の形態の第
２供給装置を軸方向に移動し、１５重量％のＧ（！０２
含有５ｉＯｚ粉末を純粋５１０２粉末と同時に回転管状
型の内側に導入した。この場合に（よプロセスの開始時
に、先づ純粋Ｓｉ　０２粉末のみを１０／分の供給量で
供給した。プロセス中、２０− １ｇ／分の供給量を一定に維持し４Ｔがら、純粋Ｓｉ　
０２粉末の供給量をＯに直線状に減少Ｊると共に、Ｓｉ
　０２−Ｇ（！　０２粉末流の供給量を同時におよび純
粋Ｓｉ　０２粉末供給（至）の減少に伴って増加させた
。加熱、洗浄、焼結、＝１ラプシング（ｃｏｌｌａｐｓ
ｉｎｇ）おＪ：び紡糸の必要な中間段階接、１３００ｎ
ｎ＋で１ｄＢ／Ｋｍ以下の１１１１１．４１化により勾
配指数（ｇｒａｄｉｅｎｔ　１ｎｄｅｘ　）の繊紺を１
！’ｊＩコ。

実施例４ 微粉砕出発材ｌＦ＋１を疎水（４＋液体中で遠心処理し
て固体粒子からなる管を次のＪ：うにして作った：ポリ
ビニルアルコール水溶液の代りに常温Ｃ液体であるパラ
フィンを用いる以外は実施例１〜３に記載するように行
った。未加工管体の沈降後、型を約１００〜１５０℃に
加熱してかかる管体をα１！から除去した。

また、結合剤と（〕て疎水ｔ！Ｉ′ａ体の代りに前用塑
性またはアユ０プラスブツク（（ｌＩＩｒＯｐｌａｓｊ
ｌｃ　）　合成樹脂を分散７１〜リツクスおＪ：び結合
剤として右利に用いることかできる。また、常温で液体
ぐ、紫外線（Ｕ、Ｖ、）で硬化するＵ、Ｖ、硬化性ラッ
カーを用いることができる。

え」１足 甲−プロセス段階での遠心作用による固体粒子の生成お
よび堆積を次のように行った：先づ、実施例１に記載し
た液体相を管状型に導入した。固体相を作る出発材料が
ガス物質、例えばＳ　Ｈ４および０２を供給する場合、
かかる物質を軸方向に移動する環状バーナを介して回転
しうる管状型の内部空間に同時に反応転化を伴って導入
した。排出されるガスが形成する際、反応はバーナノズ
ルで生じた。このノズルは半径 ｒ、＜１・〈ｒ　（ここにｒｏ＝Ｖ回転円筒体管状型］ の輪生ｔｙ　：　ｒ−円筒シール型の内径〉を有するり
レグ上に円筒状に対称的に位置させた。この結果、固体
粒子は遠心機の加速フィールドに直接に導かれてバーナ
ノズルの背後にただちに形成し、管状型の内壁に向けて
沈降した。この現場プロセスでは１４　Ｉｔの供給量を
正確にできること、およびガス相において殆んど理想的
な分散を達成できるので有利である。

次のプロセス　パラメータを使用した：ガス流：　Ｓ！
　Ｈ４＝　１Ｇ５ｒ；ｊ／分：　０２　＝　（ｉ５０ｃ
ｍ？／分；これらの数値は圧力１０．１１　ＸＩＯ’　
Ｐａ　、管状型の回転速度１５０ｒｐｍに関係する；Ｉ
［１積時間６時間；および堆積Ｓｉ　０２固体粒子全ｆ
ｆｉ　ＨｌＯ［。

特定例として、高純爪またはドープド石英ガラス管を製
造した。しかし、上述Ｊる本発明の方法および装置によ
り他の任意の材料、例えば酸化アルミニウムまたは鉄の
管を製ＪＪ　”Ｊることができる。

本発明の方法により製造した高純度および用法精密の石
英管は光学導波管の製造に、またはハロゲン−およびガ
ス−放電灯の製造に用いることができる。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本発明の管の製造方法を実施りるのに用いる
装置の説明用線図である。 １・・・管状型　３・・・隔膜 ５・・・隔膜の孔　７．７′　・・・管（供給装謬）９
．１９・・・排出孔（ノズル） ２３− １１・・・管状型の内’ｉ！　１３・・・液体フィルム
１５・・・粉末出発材料　１７・・・液体相特許出願人
　エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブ
リケン ２４−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、粉末状ｆｌ（固体用）の管（１判おにび液体相状態
   の結合剤の１１へ合物を形成リーベぎ管の形状寸法に相
   当する形状−Ｎ１法を有りる管状型に、管状型をその長
   軸のまわりに回転し、粉末・結合剤混合物を管状−）“
   ！の内壁にＩｎ積するにうに導入し、過剰の結合剤を除
   去し、１ノかる侵形成した未加工管体を加工する管の製
   造方法において、前記固体用および液体相を管状！１！
   に別々に導入づることを特徴とする管の製造方法。 ２、結合剤および固体用を管状型に供給装置前を介して
   交互に導入し、この場合、最初に液体相を管状型の内壁
   にＪ（（積１−る特許請求の範囲第１項記載の管の製造
   方法。 ３、結合剤および固体用を管状型に供給装置を介して交
   互に数回連続的に導入する特許請求の範囲第２項記載の
   管の製造方法。 ４、結合剤おにび固体用を管状型に分離供給装置を介し
   て同時に導入し、過剰の液体相をプロセス中吸引除去Ｊ
   −る特許請求の範囲第１項記載の管の製造方法。 ５、供給装置および管状型を固体用および液体相の導入
   中ｎいに相対的に移動さＩる特許請求の範囲第１〜４項
   のいずれか一つのＩｉ’ｉ記載の管の製造方法 ６、管状型の内壁に、未加工管体を型から除去しやす（
   するために、潤滑ｆ’ｌフィルムを液体相および固体用
   の導入前に設置Ｊる特許請求の範囲第１項記載の管の製
   造方法。 ７、潤滑性フィルムどして高分子炭化水系化合物を用い
   る特許請求の範囲第６　Ｉｎ記載の管の製造方法。 ８、結合剤を多相とＪる特許請求の範囲４１１１項記載
   の管の製造方法。 ９、疎水性液体を結合剤とじて用いる特許請求の範囲第
   １項記載の管の製造方法。 １０、常温で液体のパラフィンを結合剤どじ（用いる特
   許請求の範囲第９項記載の管の製造方法。 １１、固体用を粉末セラミック材料とする特許請求の範
   囲第１項記載の管の製造方法。 １２、粉末セラミック材料を光学導波管の製造に適当な
   材料とする特許請求の範囲第１１項記載の管の製造方法
   。 １３、粉末セラミック材料をＡｌ１２０３とする特許請
   求の範囲第１１項記載の管の製造方法。 １４、材料を所望の屈折率を調節するのに適当なドーピ
   ングを施した、またはドーピングを施さない４〜５ｏｏ
   ｎｍ　、好ましくは１０〜２００ｎｍの範囲の粒度の高
   分散３ｉ　０２粉末とする特許請求の範囲第１２項記載
   の管の製造方法。 １５、固体用をガス相中化学プロセスを介して生成する
   特許請求の範囲第１〜１４項のいずれか一つの項記載の
   管の製造方法。 １６、固体用を管状型の内壁に堆積する直前に、ガス相
   中、プロセスを介して生成する特許請求の範囲第１５項
   記載の管の製造方法。 １７、Ｓｉｌ」２おＪ：び０２をガス状出発物質どして
   用いる特許請求の範囲第１６項記載の管の製造方法。 １８、ガス状出発物質を、管状型子を軸方向に移動する
   少なくとも１つの加熱装置によって加熱覆る特許請求の
   範囲第１６項記載の管の製造方法。 １９、固体用を粉末金属祠ｒ１とり−る特許請求の範囲
   第１項記載の管の製造方法。 ２０、固体用を管状型に異なる化学組成物の連続バッチ
   状態で導入する特許請求の範囲第１項記載の管の製造方
   法。 ２１、固体用を管状型に、所望の屈折率ブ［］フィルに
   相当する異なる組成物の層を管状型の内壁に堆積するよ
   うに導入づる特許請求の範囲第２０項記載の管の製造方
   法。 ２２、Ｇｏ　０２をドープ剤として用いる特許請求の範
   囲第１４項記載の管の製造方法。 ２３、遠心機としＣ駆動する管状７１’＋　（１）　：
   この型の長軸に対して直角に配置し、かつ型な閉３− 鎖する２ｆｖ１の孔・隔膜（３）：この隔膜の孔（５）
   を貫通し型の長軸に沿って移動する供給装置としての管
   （７，７’　）、この管はその１部分を型の外部に残留
   し、これから型の内部空間に与える材料を供給し；前記
   管内に存在する材料を型の内部空間に供給し、かつ型の
   内壁（１１）に遠心力により堆積する内部空間に突出す
   る前記管の他の部分を構成する少なくとも１個の排出口
   （ノズル’）　（９，１９）から構成したことを特徴と
   する管の製造装置。 ２４、管（７，７’　）をその長軸のまわりに回転づ−
   るにうにした特許請求の範囲第２３項記載の管の製造装
   置。 ２５、管状型（１）をその端面を隔壁（３）で閉鎖でき
   る管とする特許請求の範囲第２３項記載の管の製造装置
   。 ２６、管状型（１）を、モータ軸をそれに連結するモー
   タで遠心駆動するようにした特許請求の範囲第２３項記
   載の管の製造装置。 ２１、管状型（１）を電気モータのモードルとす４− るように、管状型を遠心駆動りるように（）た特許請求
   の範囲第２３項記載の管の製造装置。 ２８、前記未加工管体を光学導波管用の高密度で均質性
   の予備成形体として用いる特許請求の範囲第１〜２２項
   のいずれか一つの項記載の管の製造方法。 ２９、前記未加工管体をハ［１ゲンまたはガス放電灯用
   のエンベロツブの予備成形体として用いる特許請求の範
   囲第１〜２２項のいずれが一つの項記載の管の製造方法
   。