JPH09190988A - シートの引き伸し装置 - Google Patents
シートの引き伸し装置Info
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- JPH09190988A JPH09190988A JP1926496A JP1926496A JPH09190988A JP H09190988 A JPH09190988 A JP H09190988A JP 1926496 A JP1926496 A JP 1926496A JP 1926496 A JP1926496 A JP 1926496A JP H09190988 A JPH09190988 A JP H09190988A
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- sheet
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置の小型化を図りつつ、適切なエキスパン
ド力を発生できるようにすること。 【解決手段】 エキスパンドリング１３とプレスリング
１４との相対移動にて、ウエハリング２に保持されたシ
ート３を引き伸し、上記シート上に格子状に配置され貼
付された各半導体ペレット５間に隙間を形成するシート
の引き伸し装置１７であって、上記エキスパンドリング
とプレスリングとの相対移動をねじ１５（１５Ａ〜１５
Ｄ）により行なうものである。
ド力を発生できるようにすること。 【解決手段】 エキスパンドリング１３とプレスリング
１４との相対移動にて、ウエハリング２に保持されたシ
ート３を引き伸し、上記シート上に格子状に配置され貼
付された各半導体ペレット５間に隙間を形成するシート
の引き伸し装置１７であって、上記エキスパンドリング
とプレスリングとの相対移動をねじ１５（１５Ａ〜１５
Ｄ）により行なうものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おいて、ウエハリングに支持されてウエハを貼着したシ
ートを引き伸すシートの引き伸し装置に関する。
おいて、ウエハリングに支持されてウエハを貼着したシ
ートを引き伸すシートの引き伸し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程の１つにペレットボン
ディング工程がある。この工程では、ウエハから１個ず
つ半導体ペレットをピックアップし、その後直接、ある
いは必要に応じて位置決めポジションを経由して、上記
半導体ペレットをリードフレームへ移送し、このリード
フレームの所定位置にボンディングする作業が行なわれ
る。
ディング工程がある。この工程では、ウエハから１個ず
つ半導体ペレットをピックアップし、その後直接、ある
いは必要に応じて位置決めポジションを経由して、上記
半導体ペレットをリードフレームへ移送し、このリード
フレームの所定位置にボンディングする作業が行なわれ
る。
【０００３】この作業に用いられるペレットボンディン
グ装置では、例えば、特公平1-44018 号公報記載の発明
（従来技術）のように、ウエハリングにシートを介して
ウエハを保持したウエハリングユニットをウエハステー
ジに設置し、このウエハステージのシート引き伸し装置
にてウエハリングユニットのシートを引き伸ばし、上記
ウエハが予めダイシングされて格子状に配置された各半
導体ペレット間に間隙を形成する作業が実施される。
グ装置では、例えば、特公平1-44018 号公報記載の発明
（従来技術）のように、ウエハリングにシートを介して
ウエハを保持したウエハリングユニットをウエハステー
ジに設置し、このウエハステージのシート引き伸し装置
にてウエハリングユニットのシートを引き伸ばし、上記
ウエハが予めダイシングされて格子状に配置された各半
導体ペレット間に間隙を形成する作業が実施される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、ウエハリングユニットのシートを引き伸すため
に必要とされるエキスパンド力は、エアシリンダ等にて
発生したものを用いる。このため、ウエハリングユニッ
トのウエハの大径化に伴い大きなエキスパンド力が必要
となると、上記エアシリンダ等のエキスパンド力発生装
置が大型化し、その結果として装置全体が大型化してし
まう。
術では、ウエハリングユニットのシートを引き伸すため
に必要とされるエキスパンド力は、エアシリンダ等にて
発生したものを用いる。このため、ウエハリングユニッ
トのウエハの大径化に伴い大きなエキスパンド力が必要
となると、上記エアシリンダ等のエキスパンド力発生装
置が大型化し、その結果として装置全体が大型化してし
まう。
【０００５】本発明の課題は、上述の事情を考慮してな
されたものであり、装置の小型化を図りつつ、適切なエ
キスパンド力を発生できるシートの引き伸し装置を提供
することにある。
されたものであり、装置の小型化を図りつつ、適切なエ
キスパンド力を発生できるシートの引き伸し装置を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、エキスパンドリングとプレスリングとの相対移動に
て、ウエハリングに保持されたシートを引き伸し、上記
シート上に格子状に配置され貼付けられた各半導体ペレ
ット間に間隙を形成するシートの引き伸し装置であっ
て、上記エキスパンドリングとプレスリングとの相対移
動をねじによって行なうようにしたものである。
は、エキスパンドリングとプレスリングとの相対移動に
て、ウエハリングに保持されたシートを引き伸し、上記
シート上に格子状に配置され貼付けられた各半導体ペレ
ット間に間隙を形成するシートの引き伸し装置であっ
て、上記エキスパンドリングとプレスリングとの相対移
動をねじによって行なうようにしたものである。
【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、上記ねじがエキスパンドリング及びプ
レスリングの周方向に複数本設けられたものである。
の発明において、上記ねじがエキスパンドリング及びプ
レスリングの周方向に複数本設けられたものである。
【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、複数本の上記ねじのうち、少なくとも
一本が他のねじに対して逆ねじ構造であるようにしたも
のである。
の発明において、複数本の上記ねじのうち、少なくとも
一本が他のねじに対して逆ねじ構造であるようにしたも
のである。
【０００９】請求項１に記載の発明には、次の作用があ
る。シートを引き伸すエキスパンド力を発生するエキス
パンドリングとプレスリングの相対移動がねじにて実施
されたことから、上記エキスパンド力をエアシリンダや
油圧シリンダ等を用いて発生する場合に比べ、装置構造
を小型化でき、然も適切なエキスパンド力を発生させる
ことができる。
る。シートを引き伸すエキスパンド力を発生するエキス
パンドリングとプレスリングの相対移動がねじにて実施
されたことから、上記エキスパンド力をエアシリンダや
油圧シリンダ等を用いて発生する場合に比べ、装置構造
を小型化でき、然も適切なエキスパンド力を発生させる
ことができる。
【００１０】請求項２に記載の発明には、次の作用があ
る。ねじがエキスパンドリング及びプレスリングの周方
向に複数本設置されたことから、エキスパンドリングと
プレスリングとの平行度を良好に確保でき、更にエキス
パンドリングとプレスリングにより発生するエキスパン
ド力を、両リングの周方向で均等に分散させることがで
きる。
る。ねじがエキスパンドリング及びプレスリングの周方
向に複数本設置されたことから、エキスパンドリングと
プレスリングとの平行度を良好に確保でき、更にエキス
パンドリングとプレスリングにより発生するエキスパン
ド力を、両リングの周方向で均等に分散させることがで
きる。
【００１１】請求項３に記載の発明には、次の作用があ
る。複数本のねじの少なくとも一本が他のねじに対し逆
ねじ構造に構成されたので、他のねじによりエキスパン
ドリングとプレスリング間に生ずる回転モーメントを、
上記逆ねじ構造のねじにより生ずる回転モーメントによ
って相殺でき、ねじの回転による両リングの相対回転が
抑制される。そのため、両リングの相対回転によるねじ
の傾きや、これに伴うねじの回転抵抗の増大が防止で
き、シートの引き伸しを良好に行うことができる。
る。複数本のねじの少なくとも一本が他のねじに対し逆
ねじ構造に構成されたので、他のねじによりエキスパン
ドリングとプレスリング間に生ずる回転モーメントを、
上記逆ねじ構造のねじにより生ずる回転モーメントによ
って相殺でき、ねじの回転による両リングの相対回転が
抑制される。そのため、両リングの相対回転によるねじ
の傾きや、これに伴うねじの回転抵抗の増大が防止で
き、シートの引き伸しを良好に行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。図１は、本発明に係るシートの
引き伸し装置の一つの実施の形態が適用されたウエハス
テージを示す縦断面図である。図２は、図１のエキスパ
ンドリング及びプレスリングを備えて構成されたシート
引き伸し装置を示す斜視図である。図３は、図１のIII-
III 線に沿う断面図である。
面に基づいて説明する。図１は、本発明に係るシートの
引き伸し装置の一つの実施の形態が適用されたウエハス
テージを示す縦断面図である。図２は、図１のエキスパ
ンドリング及びプレスリングを備えて構成されたシート
引き伸し装置を示す斜視図である。図３は、図１のIII-
III 線に沿う断面図である。
【００１３】図１に示すように、ペレットボンディング
装置のウエハステージ１０は、図示しないウエハマガジ
ンから供給されたウエハリングユニット１を固定保持す
るものである。このウエハリングユニット１は、ウエハ
リング２にシート３を介してウエハ４が貼着されたもの
であり、ウエハステージ１０に供給される前段階でウエ
ハ４が格子状にダイシングされて、多数の半導体ペレッ
ト５に分割されている。
装置のウエハステージ１０は、図示しないウエハマガジ
ンから供給されたウエハリングユニット１を固定保持す
るものである。このウエハリングユニット１は、ウエハ
リング２にシート３を介してウエハ４が貼着されたもの
であり、ウエハステージ１０に供給される前段階でウエ
ハ４が格子状にダイシングされて、多数の半導体ペレッ
ト５に分割されている。
【００１４】上記ウエハステージ１０は、ウエハリング
ユニット１の固定保持に際し、シート３を引き伸ばし
て、格子状に配置された多数の半導体ペレット５間に適
切な間隙を形成し、半導体ペレット５を取り出し易くす
るものである。ウエハステージ１０は、基台１１、回転
台１２、エキスパンドリング１３、プレスリング１４、
ねじ１５及び回転駆動部１６を有して構成され、上記エ
キスパンドリング１３、プレスリング１４及びねじ１５
からシート引き伸し装置１７が構成される。
ユニット１の固定保持に際し、シート３を引き伸ばし
て、格子状に配置された多数の半導体ペレット５間に適
切な間隙を形成し、半導体ペレット５を取り出し易くす
るものである。ウエハステージ１０は、基台１１、回転
台１２、エキスパンドリング１３、プレスリング１４、
ねじ１５及び回転駆動部１６を有して構成され、上記エ
キスパンドリング１３、プレスリング１４及びねじ１５
からシート引き伸し装置１７が構成される。
【００１５】上記回転台１２は、フランジ１２Ａを備え
た円筒形状であり、基台１１に対しベアリング１８を介
して回転自在に配設される。この基台１１には支持プレ
ート１９が一体に成形され、この支持プレート１９に、
上記回転駆動部１６が設置される。
た円筒形状であり、基台１１に対しベアリング１８を介
して回転自在に配設される。この基台１１には支持プレ
ート１９が一体に成形され、この支持プレート１９に、
上記回転駆動部１６が設置される。
【００１６】つまり、基台１１にステッピングモータ２
０が設置され、このステッピングモータ２０のモータシ
ャフトにプーリ２１が取り付けられ、このプーリ２１と
回転台１２との間に、図３にも示すベルト２２が巻き掛
けられる。これらのステッピングモータ２０、プーリ２
１及びベルト２２により回転駆動部１６が構成され、ス
テッピングモータ２０の駆動により回転台１２が回転さ
れる。
０が設置され、このステッピングモータ２０のモータシ
ャフトにプーリ２１が取り付けられ、このプーリ２１と
回転台１２との間に、図３にも示すベルト２２が巻き掛
けられる。これらのステッピングモータ２０、プーリ２
１及びベルト２２により回転駆動部１６が構成され、ス
テッピングモータ２０の駆動により回転台１２が回転さ
れる。
【００１７】シート引き伸し装置１７のエキスパンドリ
ング１３は、フランジ１３Ａを有する円筒形状であり、
先端部が支持部２３として機能する。また、このエキス
パンドリング１３の基端部２４は、回転台１２に着脱自
在に載置され、この回転台１２と回転一体に結合され
る。また、上記プレスリング１４はリング形状であり、
図２にも示すように、エキスパンドリング１３のフラン
ジ部１３Ａに、上記複数本（好ましくは３本以上）、例
えば４本のねじ１５にて結合される。これらのねじ１５
は、エキスパンドリング１３のフランジ部１３Ａ及びプ
レスリング１４の周方向に所定間隔で配置される。
ング１３は、フランジ１３Ａを有する円筒形状であり、
先端部が支持部２３として機能する。また、このエキス
パンドリング１３の基端部２４は、回転台１２に着脱自
在に載置され、この回転台１２と回転一体に結合され
る。また、上記プレスリング１４はリング形状であり、
図２にも示すように、エキスパンドリング１３のフラン
ジ部１３Ａに、上記複数本（好ましくは３本以上）、例
えば４本のねじ１５にて結合される。これらのねじ１５
は、エキスパンドリング１３のフランジ部１３Ａ及びプ
レスリング１４の周方向に所定間隔で配置される。
【００１８】ウエハリングユニット１のシート３をエキ
スパンドリング１３の支持部２３に載せ、かつ、ウエハ
リングユニットのウエハリング２をエキスパンドリング
１３のフランジ部１３Ａとプレスリング１４との間に配
設させて、上記複数本のねじ１５を不図示の回転装置に
て同時に回転させ締め付けることにより、プレスリング
１４が矢印Ａに示すようにエキスパンドリング１３のフ
ランジ部１３Ａ側へ相対移動する。この結果、ウエハリ
ングユニット１のウエハリング２がプレスリング１４に
より押し下げられ、ウエハリングユニット１のシート３
がエキスパンドリング１３の支持部２３に押し付けられ
てエキスパンド力が発生し、このエキスパンド力により
ウエハリングユニット１のシート３が引き伸されて、ウ
エハリングユニット１の各半導体ペレット５間の隙間
が、この半導体ペレット５をピックアップし易い所定寸
法に拡大される。
スパンドリング１３の支持部２３に載せ、かつ、ウエハ
リングユニットのウエハリング２をエキスパンドリング
１３のフランジ部１３Ａとプレスリング１４との間に配
設させて、上記複数本のねじ１５を不図示の回転装置に
て同時に回転させ締め付けることにより、プレスリング
１４が矢印Ａに示すようにエキスパンドリング１３のフ
ランジ部１３Ａ側へ相対移動する。この結果、ウエハリ
ングユニット１のウエハリング２がプレスリング１４に
より押し下げられ、ウエハリングユニット１のシート３
がエキスパンドリング１３の支持部２３に押し付けられ
てエキスパンド力が発生し、このエキスパンド力により
ウエハリングユニット１のシート３が引き伸されて、ウ
エハリングユニット１の各半導体ペレット５間の隙間
が、この半導体ペレット５をピックアップし易い所定寸
法に拡大される。
【００１９】上記エキスパンドリング１３及びプレスリ
ング１４の相対移動によるウエハリングユニット１のシ
ート３の引き伸しは、シート引き伸し装置１７を回転台
１２に載置した後に実施しても良く、或いはシート引き
伸し装置１７を回転台１２に載置する前段階で予め実施
しても良い。
ング１４の相対移動によるウエハリングユニット１のシ
ート３の引き伸しは、シート引き伸し装置１７を回転台
１２に載置した後に実施しても良く、或いはシート引き
伸し装置１７を回転台１２に載置する前段階で予め実施
しても良い。
【００２０】ここで、例えば４本のねじ１５のうち、ね
じ１５Ｃ及び１５Ｄが他のねじ１５Ａ及び１５Ｂに対し
逆ねじ構造に構成される。これにより、ねじ１５Ａ及び
１５Ｂの締め付けによりエキスパンドリング１３及びプ
レスリング１４間に生ずる回転モーメントが、ねじ１５
Ｃ及び１５Ｄの締め付けにより生ずる回転モーメントに
よって相殺される。
じ１５Ｃ及び１５Ｄが他のねじ１５Ａ及び１５Ｂに対し
逆ねじ構造に構成される。これにより、ねじ１５Ａ及び
１５Ｂの締め付けによりエキスパンドリング１３及びプ
レスリング１４間に生ずる回転モーメントが、ねじ１５
Ｃ及び１５Ｄの締め付けにより生ずる回転モーメントに
よって相殺される。
【００２１】上述のようにウエハリングユニット１のシ
ート３が引き伸された状態で、図示しないコレットによ
り半導体ペレット５がピックアップされる。このとき、
不図示のカメラを用いた半導体ペレット５の回転ずれ修
正のために、ステッピングモータ２０を駆動させて、回
転台２０を所定角度回転させる。
ート３が引き伸された状態で、図示しないコレットによ
り半導体ペレット５がピックアップされる。このとき、
不図示のカメラを用いた半導体ペレット５の回転ずれ修
正のために、ステッピングモータ２０を駆動させて、回
転台２０を所定角度回転させる。
【００２２】こうしてウエハリングユニット１の半導体
ペレット５が全てピックアップされた段階で、シート引
き伸し装置１７のねじ１５をゆるめて、使用済のウエハ
リングユニット１をエキスパンドリング１３及びプレス
リング１４間から取り出し、未使用のウエハリングユニ
ット１をエキスパンドリング１３とプレスリング１４と
の間に搬入してねじ１５を締め付け、この未使用のウエ
ハリングユニット１のシート３をエキスパンドリング１
３及びプレスリング１４の相対移動により引き伸す。
ペレット５が全てピックアップされた段階で、シート引
き伸し装置１７のねじ１５をゆるめて、使用済のウエハ
リングユニット１をエキスパンドリング１３及びプレス
リング１４間から取り出し、未使用のウエハリングユニ
ット１をエキスパンドリング１３とプレスリング１４と
の間に搬入してねじ１５を締め付け、この未使用のウエ
ハリングユニット１のシート３をエキスパンドリング１
３及びプレスリング１４の相対移動により引き伸す。
【００２３】或いは、ウエハリングユニット１の半導体
ペレット５が全てピックアップされた段階で、使用済の
ウエハリングユニット１を備えたシート引き伸し装置１
７を回転台１２から取り外し、エキスパンドリング１３
及びプレスリング１４にてシート３が予め引き伸された
状態の未使用のウエハリングユニット１を備えたシート
引き伸し装置１７を回転台１２に載置する。
ペレット５が全てピックアップされた段階で、使用済の
ウエハリングユニット１を備えたシート引き伸し装置１
７を回転台１２から取り外し、エキスパンドリング１３
及びプレスリング１４にてシート３が予め引き伸された
状態の未使用のウエハリングユニット１を備えたシート
引き伸し装置１７を回転台１２に載置する。
【００２４】上記実施の形態によれば、ウエハリングユ
ニット１のシート３を引き伸すエキスパンド力を発生す
るエキスパンドリング１３とプレスリング１４の相対移
動がねじ１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）にて
実施されたことから、上記エキスパンド力をエアシリン
ダや油圧シリンダ等を用いて発生する従来技術の場合に
比べ、シート引き伸し装置１７の構造を小型化でき、然
も適切なエキスパンド力を発生させることができる。
ニット１のシート３を引き伸すエキスパンド力を発生す
るエキスパンドリング１３とプレスリング１４の相対移
動がねじ１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）にて
実施されたことから、上記エキスパンド力をエアシリン
ダや油圧シリンダ等を用いて発生する従来技術の場合に
比べ、シート引き伸し装置１７の構造を小型化でき、然
も適切なエキスパンド力を発生させることができる。
【００２５】また、ねじ１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５
Ｃ、１５Ｄ）がエキスパンドリング１３のフランジ部１
３Ａ及びプレスリング１４の周方向に複数本設置された
ことから、プレスリング１４のエキスパンドリング１３
のフランジ部１３Ａに対する平行度を良好に確保でき、
更に、エキスパンドリング１３とプレスリング１４によ
り発生するエキスパンド力を、両リング１３及び１４の
周方向で均等に分散させることができる。これらの結
果、シート３が引き伸されて形成される各半導体ペレッ
ト５の間隔を均一化できる。
Ｃ、１５Ｄ）がエキスパンドリング１３のフランジ部１
３Ａ及びプレスリング１４の周方向に複数本設置された
ことから、プレスリング１４のエキスパンドリング１３
のフランジ部１３Ａに対する平行度を良好に確保でき、
更に、エキスパンドリング１３とプレスリング１４によ
り発生するエキスパンド力を、両リング１３及び１４の
周方向で均等に分散させることができる。これらの結
果、シート３が引き伸されて形成される各半導体ペレッ
ト５の間隔を均一化できる。
【００２６】更に、複数本のねじ１５Ａ、１５Ｂ、１５
Ｃ、１５Ｄのうち、ねじ１５Ｃ及び１５Ｄが他のねじ１
５Ａ及び１５Ｂに対し逆ねじ構造に構成されたので、他
のねじ１５Ａ及び１５Ｂによりエキスパンドリング１３
とプレスリング１４間に生ずる回転モーメントを、上記
逆ねじ構造のねじ１５Ｃ及び１５Ｄにより生ずる回転モ
ーメントによって相殺でき、ねじ１５の回転による両リ
ング１３、１４の相対回転が抑制される。そのため、両
リング１３、１４の相対回転によるねじ１５の傾きや、
これに伴うねじ１５の回転抵抗の増大が防止でき、シー
ト３の引き伸しを良好に行うことができる。
Ｃ、１５Ｄのうち、ねじ１５Ｃ及び１５Ｄが他のねじ１
５Ａ及び１５Ｂに対し逆ねじ構造に構成されたので、他
のねじ１５Ａ及び１５Ｂによりエキスパンドリング１３
とプレスリング１４間に生ずる回転モーメントを、上記
逆ねじ構造のねじ１５Ｃ及び１５Ｄにより生ずる回転モ
ーメントによって相殺でき、ねじ１５の回転による両リ
ング１３、１４の相対回転が抑制される。そのため、両
リング１３、１４の相対回転によるねじ１５の傾きや、
これに伴うねじ１５の回転抵抗の増大が防止でき、シー
ト３の引き伸しを良好に行うことができる。
【００２７】尚、上記実施の形態において、ねじ１５
Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄのうち２本のねじ１５Ｃ及
び１５Ｄが逆ねじ構造の場合を述べたが、１本或いは３
本のねじが他のねじに対し逆ねじ構造であっても良い。
Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄのうち２本のねじ１５Ｃ及
び１５Ｄが逆ねじ構造の場合を述べたが、１本或いは３
本のねじが他のねじに対し逆ねじ構造であっても良い。
【００２８】また、これらのねじ１５は、エキスパンド
リング１３とプレスリング１４とを相対移動させるよう
に１本配設しただけでも良い。
リング１３とプレスリング１４とを相対移動させるよう
に１本配設しただけでも良い。
【００２９】更に、シート引き伸し装置１７のエキスパ
ンドリング１３が回転台１２に着脱自在に載置されるも
のを述べたが、シート引き伸し装置１７のエキスパンド
リング１３が回転台１２と一体化され、ウエハステージ
１０の全体がシート引き伸し装置１７を構成するように
しても良い。
ンドリング１３が回転台１２に着脱自在に載置されるも
のを述べたが、シート引き伸し装置１７のエキスパンド
リング１３が回転台１２と一体化され、ウエハステージ
１０の全体がシート引き伸し装置１７を構成するように
しても良い。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るシートの引
き伸し装置によれば、装置の小型化を図りつつ、適切な
エキスパンド力を発生することができる。
き伸し装置によれば、装置の小型化を図りつつ、適切な
エキスパンド力を発生することができる。
【図１】図１は、本発明に係るシートの引き伸し装置の
一つの実施の形態が適用されたウエハステージを示す縦
断面図である。
一つの実施の形態が適用されたウエハステージを示す縦
断面図である。
【図２】図２は、図１のエキスパンドリング及びプレス
リングを備えて構成されたシート引き伸し装置を示す斜
視図である。
リングを備えて構成されたシート引き伸し装置を示す斜
視図である。
【図３】図３は、図１のIII-III 線に沿う断面図であ
る。
る。
１ ウエハリングユニット ２ ウエハリング ３ シート ４ ウエハ ５ 半導体ペレット １０ ウエハステージ １３ エキスパンドリング １４ プレスリング １５、１５Ａ〜１５Ｄ ねじ １７ シート引き伸し装置 ２３ エキスパンドリングの支持部
Claims (3)
- 【請求項１】 エキスパンドリングとプレスリングとの
相対移動にて、ウエハリングに保持されたシートを引き
伸し、上記シート上に格子状に配置され貼付けられた各
半導体ペレット間に間隙を形成するシートの引き伸し装
置であって、 上記エキスパンドリングとプレスリングとの相対移動を
ねじによって行なうことを特徴とするシートの引き伸し
装置。 - 【請求項２】 上記ねじがエキスパンドリング及びプレ
スリングの周方向に複数本設けられた請求項１に記載の
シートの引き伸し装置。 - 【請求項３】 複数本の上記ねじのうち、少なくとも一
本が他のねじに対して逆ねじ構造である請求項２に記載
のシートの引き伸し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1926496A JPH09190988A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | シートの引き伸し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1926496A JPH09190988A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | シートの引き伸し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09190988A true JPH09190988A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11994590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1926496A Pending JPH09190988A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | シートの引き伸し装置 |
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-
1996
- 1996-01-11 JP JP1926496A patent/JPH09190988A/ja active Pending
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