JP3212003B2 - ペレットボンディング装置のウエハステージ - Google Patents
ペレットボンディング装置のウエハステージInfo
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- JP3212003B2 JP3212003B2 JP31925993A JP31925993A JP3212003B2 JP 3212003 B2 JP3212003 B2 JP 3212003B2 JP 31925993 A JP31925993 A JP 31925993A JP 31925993 A JP31925993 A JP 31925993A JP 3212003 B2 JP3212003 B2 JP 3212003B2
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- Japan
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- wafer stage
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- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ウエハリングに粘着
シートを介してウエハを保持したウエハリングユニット
を設置するペレットボンディング装置のウエハステージ
に関する。
シートを介してウエハを保持したウエハリングユニット
を設置するペレットボンディング装置のウエハステージ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程の１つにペレットボン
ディング工程がある。この工程では、ウエハから１個ず
つペレットをピックアップし、その後直接、あるいは必
要に応じて位置決めポジションを経由して、上記ペレッ
トをリードフレームへ移送し、このリードフレームの所
定位置にボンディングする作業が行なわれる。
ディング工程がある。この工程では、ウエハから１個ず
つペレットをピックアップし、その後直接、あるいは必
要に応じて位置決めポジションを経由して、上記ペレッ
トをリードフレームへ移送し、このリードフレームの所
定位置にボンディングする作業が行なわれる。
【０００３】この作業に用いられるペレットボンディン
グ装置では、例えば、特開昭60-173848 号公報記載の発
明（従来例）のように、ウエハリングに粘着シートを介
してウエハを保持したウエハリングユニットをウエハス
テージに設置し、このウエハステージにてウエハリング
ユニットの粘着シートを引き延ばす作業が実施される。
グ装置では、例えば、特開昭60-173848 号公報記載の発
明（従来例）のように、ウエハリングに粘着シートを介
してウエハを保持したウエハリングユニットをウエハス
テージに設置し、このウエハステージにてウエハリング
ユニットの粘着シートを引き延ばす作業が実施される。
【０００４】つまり、この従来例のウエハステージは、
支持枠台に配設されて、ステッピングモータにより回転
可能に設けられた支持リングと、この支持リングの外周
面に支持リングの軸方向に移動可能に配設され、クラン
パとの間にウエハリングユニットを収容可能とするイン
ナリング及びアウタリングと、上記支持枠台に設置され
たシリンダにより揺動されるとともに、先端部に凸部が
形成されたクランプアームと、を有し、上記クランプア
ームの凸部が、アウタリングの凹部に係合するよう構成
されている。
支持枠台に配設されて、ステッピングモータにより回転
可能に設けられた支持リングと、この支持リングの外周
面に支持リングの軸方向に移動可能に配設され、クラン
パとの間にウエハリングユニットを収容可能とするイン
ナリング及びアウタリングと、上記支持枠台に設置され
たシリンダにより揺動されるとともに、先端部に凸部が
形成されたクランプアームと、を有し、上記クランプア
ームの凸部が、アウタリングの凹部に係合するよう構成
されている。
【０００５】この従来のウエハステージでは、ウエハマ
ガジンから搬送されたウエハリングユニットをインナリ
ング及びクランパ間に収容し、シリンダを作動させてク
ランプアームを下方へ揺動させ、このクランプアームの
凸部及びアウタリングの凹部を介してアウタリング、ク
ランプ及びインナリングを下方へ押し下げる。この押し
下げ操作により、ウエハリングユニットの粘着シートが
支持リングの支持部に強く押し付けられて、この粘着シ
ートが引き延ばされ、ウエハがダイシングされて多数形
成されたペレット間に所定寸法の隙間が形成される。
ガジンから搬送されたウエハリングユニットをインナリ
ング及びクランパ間に収容し、シリンダを作動させてク
ランプアームを下方へ揺動させ、このクランプアームの
凸部及びアウタリングの凹部を介してアウタリング、ク
ランプ及びインナリングを下方へ押し下げる。この押し
下げ操作により、ウエハリングユニットの粘着シートが
支持リングの支持部に強く押し付けられて、この粘着シ
ートが引き延ばされ、ウエハがダイシングされて多数形
成されたペレット間に所定寸法の隙間が形成される。
【０００６】この状態で、ペレットトランスファやペレ
ットボンディングヘッドのコレットによりペレットがピ
ックアップされるが、ペレットの回転ずれ修正のため
に、あるいはコレットによるペレットのピックアップ領
域を狭めるために、ステッピングモータによって支持リ
ングが所定角度回転される。
ットボンディングヘッドのコレットによりペレットがピ
ックアップされるが、ペレットの回転ずれ修正のため
に、あるいはコレットによるペレットのピックアップ領
域を狭めるために、ステッピングモータによって支持リ
ングが所定角度回転される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
な従来のウエハステージでは、アウタリング、クランパ
及びインナリングを押し下げるクランプアームは、支持
枠台に支持されるものであり、アウタリング、クランパ
及びインナリング並びに支持リングとともには回転しな
いものである。このため、上記クランプアームの押し下
げ力は支持リングと支持枠台間にも作用し、この支持リ
ングの回転に対し抵抗力（負荷）となってしまう。この
結果、万一の場合には、ステッピングモータによる支持
リングの回転動作に不都合が生ずる虞れがある。
な従来のウエハステージでは、アウタリング、クランパ
及びインナリングを押し下げるクランプアームは、支持
枠台に支持されるものであり、アウタリング、クランパ
及びインナリング並びに支持リングとともには回転しな
いものである。このため、上記クランプアームの押し下
げ力は支持リングと支持枠台間にも作用し、この支持リ
ングの回転に対し抵抗力（負荷）となってしまう。この
結果、万一の場合には、ステッピングモータによる支持
リングの回転動作に不都合が生ずる虞れがある。
【０００８】この発明は、上述の事情を考慮してなされ
たものであり、ウエハリングユニットをクランプするた
めのクランプ力が回転部材に対する回転方向の負荷とな
ることなく、押え部材と支持部材との間でウエハリング
ユニットをクランプできるペレットボンディング装置の
ウエハステージを提供することを目的とする。
たものであり、ウエハリングユニットをクランプするた
めのクランプ力が回転部材に対する回転方向の負荷とな
ることなく、押え部材と支持部材との間でウエハリング
ユニットをクランプできるペレットボンディング装置の
ウエハステージを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、支持台に対し
回転可能に配設され、ウエハリングユニットを支持する
環状の支持部を備えた回転部材と、この回転部材の前記
支持部の外周に配設されるリング形状の押え部材とを有
し、前記支持部と前記押え部材との協働により前記ウエ
ハリングユニットをクランプするペレットボンディング
装置のウエハステージにおいて、前記回転部材と前記押
え部材との間に配設され、前記押え部材にクランプ方向
への付勢力を付与する弾性部材と、上記支持台に配設さ
れ、上記押え部材を前記弾性部材の付勢力に抗して反ク
ランプ方向に押圧するクランプ解除手段と、を有するこ
とを特徴とする。
回転可能に配設され、ウエハリングユニットを支持する
環状の支持部を備えた回転部材と、この回転部材の前記
支持部の外周に配設されるリング形状の押え部材とを有
し、前記支持部と前記押え部材との協働により前記ウエ
ハリングユニットをクランプするペレットボンディング
装置のウエハステージにおいて、前記回転部材と前記押
え部材との間に配設され、前記押え部材にクランプ方向
への付勢力を付与する弾性部材と、上記支持台に配設さ
れ、上記押え部材を前記弾性部材の付勢力に抗して反ク
ランプ方向に押圧するクランプ解除手段と、を有するこ
とを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明によれば、押え部材と支持部との間でウ
エハリングユニットをクランプするための付勢力を付与
する弾性部材は、回転部材と押圧部材との間に配設され
たことから、ウエハリングユニットをクランプするため
のクランプ力が、回転部材の回転時における抵抗力(負
荷)とならない。
エハリングユニットをクランプするための付勢力を付与
する弾性部材は、回転部材と押圧部材との間に配設され
たことから、ウエハリングユニットをクランプするため
のクランプ力が、回転部材の回転時における抵抗力(負
荷)とならない。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、この発明に係るペレットボンディング
装置のウエハステージの一実施例を示す平面図である。
図２は、図１のII-II 線に沿う断面図である。図３は、
図２のIII-III 線に沿う断面図である。図４は、図２の
ウエハステージにウエハリングユニットが収容される前
の状態を示すウエハステージの断面図である。
明する。図１は、この発明に係るペレットボンディング
装置のウエハステージの一実施例を示す平面図である。
図２は、図１のII-II 線に沿う断面図である。図３は、
図２のIII-III 線に沿う断面図である。図４は、図２の
ウエハステージにウエハリングユニットが収容される前
の状態を示すウエハステージの断面図である。
【００１２】図１、図２及び図４に示すように、ペレッ
トボンディング装置のウエハステージ１０は、図示しな
いウエハマガジンから供給されたウエハリングユニット
１を固定（保持）するものである。このウエハリングユ
ニット１は、ウエハリング２に粘着シート３を介してウ
エハ４が粘着されたものであり、ウエハステージ１０に
供給される前段階でウエハ４がダイシングされて、多数
のペレット５に分割されている。
トボンディング装置のウエハステージ１０は、図示しな
いウエハマガジンから供給されたウエハリングユニット
１を固定（保持）するものである。このウエハリングユ
ニット１は、ウエハリング２に粘着シート３を介してウ
エハ４が粘着されたものであり、ウエハステージ１０に
供給される前段階でウエハ４がダイシングされて、多数
のペレット５に分割されている。
【００１３】上記ウエハステージ１０は、ウエハリング
ユニット１の固定保持に際し、粘着シート３を引き延ば
して、多数のペレット５間に適切な隙間を形成し、ペレ
ット５を取り出し易くするものである。このウエハステ
ージ１０は、回転部材としての回転台１１、押え部材と
しての上押えプレート１２及び下押えプレート１３、弾
性部材としてのコイルスプリング１４、並びにクランプ
解除手段としての押圧ロッド１５及びエアシリンダ１６
を有して構成される。
ユニット１の固定保持に際し、粘着シート３を引き延ば
して、多数のペレット５間に適切な隙間を形成し、ペレ
ット５を取り出し易くするものである。このウエハステ
ージ１０は、回転部材としての回転台１１、押え部材と
しての上押えプレート１２及び下押えプレート１３、弾
性部材としてのコイルスプリング１４、並びにクランプ
解除手段としての押圧ロッド１５及びエアシリンダ１６
を有して構成される。
【００１４】回転台１１は、フランジ１１Ａを備えた円
筒形状であり、固定台１７に対しベアリング１８を介し
て回転自在に配設される。固定台１７は、支持台１９に
支持プレート２０を介して固着されている。支持プレー
ト２０には、ステッピングモータ２１が配置され、この
ステッピングモータ２１のモータシャフトにプーリ２２
が取り付けられている。このプーリ２２と、上記回転台
１１との間に、図３にも示すようにベルト２３が巻き掛
けられて、回転台１１がステッピングモータ２１により
回転可能に構成される。更に、図２に示すように、回転
台１１における環状の上端部は、支持部２４として機能
する。
筒形状であり、固定台１７に対しベアリング１８を介し
て回転自在に配設される。固定台１７は、支持台１９に
支持プレート２０を介して固着されている。支持プレー
ト２０には、ステッピングモータ２１が配置され、この
ステッピングモータ２１のモータシャフトにプーリ２２
が取り付けられている。このプーリ２２と、上記回転台
１１との間に、図３にも示すようにベルト２３が巻き掛
けられて、回転台１１がステッピングモータ２１により
回転可能に構成される。更に、図２に示すように、回転
台１１における環状の上端部は、支持部２４として機能
する。
【００１５】下押えプレート１３はリング形状であり、
回転台１１のフランジ１１Ａに載置される。この下押え
プレート１３には、後に詳説する押圧ロッド１５が垂下
され、この押圧ロッド１５を介して、下押えプレート１
３は、回転台１１の軸方向に沿って移動自在にフランジ
１１Ａに配設される。この下押えプレート１３の上面に
は、図１に示すように切欠２５が形成され、この切欠２
５が、ウエハリングユニット１を保持してウエハステー
ジ１０へ供給する搬送アームの保持部（共に図示せず）
を通過可能とする。
回転台１１のフランジ１１Ａに載置される。この下押え
プレート１３には、後に詳説する押圧ロッド１５が垂下
され、この押圧ロッド１５を介して、下押えプレート１
３は、回転台１１の軸方向に沿って移動自在にフランジ
１１Ａに配設される。この下押えプレート１３の上面に
は、図１に示すように切欠２５が形成され、この切欠２
５が、ウエハリングユニット１を保持してウエハステー
ジ１０へ供給する搬送アームの保持部（共に図示せず）
を通過可能とする。
【００１６】また、上押えプレート１２は、略半リング
形状であり、上記切欠２５の両側に固定ボルト２６を用
いて下押えプレート１３に固定される。この上押えプレ
ート１２には、円弧形状の壁面２７が形成される。上記
搬送アームにて供給されたウエハリングユニット１は、
図４に示すように、下押えプレート１３の上面、上押え
プレート１２の下面及び上押えプレート１２の壁面２７
に囲まれた領域に収容可能とされる。
形状であり、上記切欠２５の両側に固定ボルト２６を用
いて下押えプレート１３に固定される。この上押えプレ
ート１２には、円弧形状の壁面２７が形成される。上記
搬送アームにて供給されたウエハリングユニット１は、
図４に示すように、下押えプレート１３の上面、上押え
プレート１２の下面及び上押えプレート１２の壁面２７
に囲まれた領域に収容可能とされる。
【００１７】上記押圧ロッド１５は、図１に示すよう
に、下押えプレート１３においてその周方向に沿い略等
間隔位置に垂設される。これらの押圧ロッド１５は、回
転台１１のフランジ１１Ａに穿設された挿通孔２８（図
２）に挿通され、この押圧ロッド１５の下端部と、フラ
ンジ１１Ａの下面との間に上記コイルスプリング１４が
介装される。
に、下押えプレート１３においてその周方向に沿い略等
間隔位置に垂設される。これらの押圧ロッド１５は、回
転台１１のフランジ１１Ａに穿設された挿通孔２８（図
２）に挿通され、この押圧ロッド１５の下端部と、フラ
ンジ１１Ａの下面との間に上記コイルスプリング１４が
介装される。
【００１８】このコイルスプリング１４は、図２に示す
ように、上押えプレート１２及び下押えプレート１３を
回転台１１の軸方向に沿って内側（図２では下向き）に
付勢して、上押えプレート１２及び下押えプレート１３
間に収容されたウエハリングユニット１を、これらの上
押えプレート１２及び下押えプレート１３と回転台１１
の支持部２４との間で、図２に示すようにクランプす
る。このウエハリングユニット１のクランプ状態では、
ウエハリングユニット１のウエハリング２が上押えプレ
ート１２及び下押えプレート１３間に挟持されて押し下
げられ、ウエハリングユニット１の粘着シート３が回転
台１１の支持部２４に押し付けられる。これにより、粘
着シート３が引き延ばされて、ウエハリングユニット１
の各ペレット５間の隙間が、ペレット５をピックアップ
し易い所定寸法に拡大される。
ように、上押えプレート１２及び下押えプレート１３を
回転台１１の軸方向に沿って内側（図２では下向き）に
付勢して、上押えプレート１２及び下押えプレート１３
間に収容されたウエハリングユニット１を、これらの上
押えプレート１２及び下押えプレート１３と回転台１１
の支持部２４との間で、図２に示すようにクランプす
る。このウエハリングユニット１のクランプ状態では、
ウエハリングユニット１のウエハリング２が上押えプレ
ート１２及び下押えプレート１３間に挟持されて押し下
げられ、ウエハリングユニット１の粘着シート３が回転
台１１の支持部２４に押し付けられる。これにより、粘
着シート３が引き延ばされて、ウエハリングユニット１
の各ペレット５間の隙間が、ペレット５をピックアップ
し易い所定寸法に拡大される。
【００１９】前記支持プレート２０において、回転台１
１の回転中心を中心とする各押圧ロッド１５の回転軌跡
上には、各押圧ロッド１５と対応する前記エアシリンダ
１６が設置される。このエアシリンダ１６は、ピストン
ロッド２９を伸長させたときに、対応する押圧ロッド１
５を押し上げるよう設置される。これにより、上押えプ
レート１２及び下押えプレート１３が、コイルスプリン
グ１４の付勢力に抗し、回転台１１の軸方向に沿って外
側（図２では上向き）に押し上げられ、図４に示すよう
に、ウエハリングユニット１の上押えプレート１２、下
押えプレート１３及び回転台１１による上記クランプが
解除される。
１の回転中心を中心とする各押圧ロッド１５の回転軌跡
上には、各押圧ロッド１５と対応する前記エアシリンダ
１６が設置される。このエアシリンダ１６は、ピストン
ロッド２９を伸長させたときに、対応する押圧ロッド１
５を押し上げるよう設置される。これにより、上押えプ
レート１２及び下押えプレート１３が、コイルスプリン
グ１４の付勢力に抗し、回転台１１の軸方向に沿って外
側（図２では上向き）に押し上げられ、図４に示すよう
に、ウエハリングユニット１の上押えプレート１２、下
押えプレート１３及び回転台１１による上記クランプが
解除される。
【００２０】次に、作用を説明する。図４に示すよう
に、エアシリンダ１６のピストンロッド２９を伸長させ
た状態で待機し、搬送アームによってウエハマガジンか
らウエハリングユニット１をウエハステージ１０へ搬送
する。ウエハリングユニット１が、下押えプレート１３
の上面、上押えプレート１２の下面及び壁面２７内に収
容された段階で、シリンダ１６のピストンロッド２９を
収縮させると、コイルスプリング１４の付勢力によっ
て、図２に示すように、ウエハリングユニット１が上押
えプレート１２、下押えプレート１３及び回転台１１に
よってクランプされ、ウエハリングユニット１の粘着シ
ート３が引き延ばされる。
に、エアシリンダ１６のピストンロッド２９を伸長させ
た状態で待機し、搬送アームによってウエハマガジンか
らウエハリングユニット１をウエハステージ１０へ搬送
する。ウエハリングユニット１が、下押えプレート１３
の上面、上押えプレート１２の下面及び壁面２７内に収
容された段階で、シリンダ１６のピストンロッド２９を
収縮させると、コイルスプリング１４の付勢力によっ
て、図２に示すように、ウエハリングユニット１が上押
えプレート１２、下押えプレート１３及び回転台１１に
よってクランプされ、ウエハリングユニット１の粘着シ
ート３が引き延ばされる。
【００２１】ウエハリングユニット１の粘着シート３が
引き延ばされた状態で、図示しないコレットによりペレ
ット５がピックアップされるが、不図示のカメラを用い
たペレットの回転ずれ修正のために、あるいはコレット
によるペレット５のピックアップ領域を狭めるために、
ステッピングモータ２１を作動させて、回転台１１を所
定角度回転させる。
引き延ばされた状態で、図示しないコレットによりペレ
ット５がピックアップされるが、不図示のカメラを用い
たペレットの回転ずれ修正のために、あるいはコレット
によるペレット５のピックアップ領域を狭めるために、
ステッピングモータ２１を作動させて、回転台１１を所
定角度回転させる。
【００２２】こうして、ウエハリングユニット１のペレ
ット５がすべてピックアップされた段階で、ステッピン
グモータ２１の作動により回転台１１を回転させて各押
圧ロッド１５を対応するエアシリンダ１６の直上に位置
付け、その後、エアシリンダ１６のピストンロッド２９
を図４に示すように再び伸長させ、上押えプレート１
２、下押えプレート１３及び回転台１１によるウエハリ
ングユニット１のクランプを解除して、搬送アームによ
り、この使用済のウエハリングユニット１を搬出させ、
新たなウエハリングユニット１を搬入する。
ット５がすべてピックアップされた段階で、ステッピン
グモータ２１の作動により回転台１１を回転させて各押
圧ロッド１５を対応するエアシリンダ１６の直上に位置
付け、その後、エアシリンダ１６のピストンロッド２９
を図４に示すように再び伸長させ、上押えプレート１
２、下押えプレート１３及び回転台１１によるウエハリ
ングユニット１のクランプを解除して、搬送アームによ
り、この使用済のウエハリングユニット１を搬出させ、
新たなウエハリングユニット１を搬入する。
【００２３】上記実施例によれば、ウエハリングユニッ
ト１をクランプするための付勢力（クランプ力）を付与
するコイルスプリング１４は、回転台１１とこの回転台
１１に対し一体回転される上押えプレート１２及び下押
えプレート１３との間に押圧ロッド１５を介して介在さ
れたことから、ウエハリングユニット１をクランプする
ためのクランプ力が回転台１１の回転時における抵抗力
（負荷）とならない。このため、ウエハリングユニット
１をクランプするためのクランプ力により、回転台１１
に対して回転方向の負荷が与えられることなく、この回
転台１１の支持部２４と上押えプレート１２及び下押え
プレート１３との間でウエハリングユニット１をクラン
プすることができる。
ト１をクランプするための付勢力（クランプ力）を付与
するコイルスプリング１４は、回転台１１とこの回転台
１１に対し一体回転される上押えプレート１２及び下押
えプレート１３との間に押圧ロッド１５を介して介在さ
れたことから、ウエハリングユニット１をクランプする
ためのクランプ力が回転台１１の回転時における抵抗力
（負荷）とならない。このため、ウエハリングユニット
１をクランプするためのクランプ力により、回転台１１
に対して回転方向の負荷が与えられることなく、この回
転台１１の支持部２４と上押えプレート１２及び下押え
プレート１３との間でウエハリングユニット１をクラン
プすることができる。
【００２４】また、上押えプレート１２及び下押えプレ
ート１３並びに回転台１１間に配設されて、ウエハリン
グユニット１を、上押えプレート１２及び下押えプレー
ト１３と回転台１１の支持部２４との間でクランプする
コイルスプリング１４は、例えば電動モータやエアシリ
ンダ等の比較的大型の駆動エネルギー源に比べ軽量であ
る。このため、回転体として一体回転する回転台１１、
上押えプレート１２、下押えプレート１３、コイルスプ
リング１４の重量が小さいので、回転台１１を支持台１
９に対し回転させるステッピングモータ２１を小型化さ
せることができ、コストを低減できる。
ート１３並びに回転台１１間に配設されて、ウエハリン
グユニット１を、上押えプレート１２及び下押えプレー
ト１３と回転台１１の支持部２４との間でクランプする
コイルスプリング１４は、例えば電動モータやエアシリ
ンダ等の比較的大型の駆動エネルギー源に比べ軽量であ
る。このため、回転体として一体回転する回転台１１、
上押えプレート１２、下押えプレート１３、コイルスプ
リング１４の重量が小さいので、回転台１１を支持台１
９に対し回転させるステッピングモータ２１を小型化さ
せることができ、コストを低減できる。
【００２５】尚、上記実施例では、弾性部材がコイルス
プリングの場合を述べたが、板ばねやゴム等の他の弾性
体で構成されても良い。また、クランプ解除手段として
のエアシリンダ１６も、油圧シリンダ、あるいは電動モ
ータにより作動するスクリュー軸であっても良い。
プリングの場合を述べたが、板ばねやゴム等の他の弾性
体で構成されても良い。また、クランプ解除手段として
のエアシリンダ１６も、油圧シリンダ、あるいは電動モ
ータにより作動するスクリュー軸であっても良い。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、ウエハリングユニット
をクランプするためのクランプ力が回転部材に対する回
転方向の負荷となることなく、押え部材と支持部材との
間でウエハリングユニットをクランプすることができ
る。
をクランプするためのクランプ力が回転部材に対する回
転方向の負荷となることなく、押え部材と支持部材との
間でウエハリングユニットをクランプすることができ
る。
【図１】図１は、この発明に係るペレットボンディング
装置のウエハステージの一実施例を示す平面図である。
装置のウエハステージの一実施例を示す平面図である。
【図２】図２は、図１のII-II 線に沿う断面図である。
【図３】図３は、図２のIII-III 線に沿う断面図であ
る。
る。
【図４】図４は、図２のウエハステージにウエハリング
ユニットが収容される前の状態を示すウエハステージの
断面図である。
ユニットが収容される前の状態を示すウエハステージの
断面図である。
１ ウエハリングユニット ３ 粘着シート ４ ウエハ ５ ペレット １０ ウエハステージ １１ 回転台 １２ 上押えプレート １３ 下押えプレート １４ コイルスプリング １５ 押圧ロッド １６ エアシリンダ １８ ベアリング １９ 支持台 ２１ ステッピングモータ ２４ 支持部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/52 H01L 21/301 H01L 21/68
Claims (2)
- 【請求項１】 支持台に対し回転可能に配設され、ウエ
ハリングユニットを支持する環状の支持部を備えた回転
部材と、この回転部材の前記支持部の外周に配設される
リング形状の押え部材とを有し、前記支持部と前記押え
部材との協働により前記ウエハリングユニットをクラン
プするペレットボンディング装置のウエハステージにお
いて、 前記回転部材と前記押え部材との間に配設され、前記押
え部材にクランプ方向への付勢力を付与する弾性部材
と、 上記支持台に配設され、上記押え部材を前記弾性部材の
付勢力に抗して反クランプ方向に押圧するクランプ解除
手段と、 を有することを特徴とするペレットボンディング装置の
ウエハステージ。 - 【請求項２】 上記クランプ解除手段は、押え部材に固
定された押圧ロッドと、固定台に設置されて上記押圧ロ
ッドを押圧可能とするエアシリンダと、を備えてなる請
求項１に記載のペレットボンディング装置のウエハステ
ージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31925993A JP3212003B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | ペレットボンディング装置のウエハステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31925993A JP3212003B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | ペレットボンディング装置のウエハステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07153785A JPH07153785A (ja) | 1995-06-16 |
| JP3212003B2 true JP3212003B2 (ja) | 2001-09-25 |
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ID=18108204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31925993A Expired - Fee Related JP3212003B2 (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | ペレットボンディング装置のウエハステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3212003B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8174340B2 (en) | 2006-05-31 | 2012-05-08 | Cts Corporation | Ceramic monoblock filter with inductive direct-coupling and quadruplet cross-coupling |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5090217B2 (ja) * | 2008-03-12 | 2012-12-05 | キヤノンマシナリー株式会社 | エキスパンド装置 |
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-
1993
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8174340B2 (en) | 2006-05-31 | 2012-05-08 | Cts Corporation | Ceramic monoblock filter with inductive direct-coupling and quadruplet cross-coupling |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07153785A (ja) | 1995-06-16 |
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