JP2548041Y2 - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
- Publication number
- JP2548041Y2 JP2548041Y2 JP1268491U JP1268491U JP2548041Y2 JP 2548041 Y2 JP2548041 Y2 JP 2548041Y2 JP 1268491 U JP1268491 U JP 1268491U JP 1268491 U JP1268491 U JP 1268491U JP 2548041 Y2 JP2548041 Y2 JP 2548041Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- clamper
- arm
- holding device
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、例えばイオン注入装
置、薄膜形成装置等に用いられるものであって、基板を
保持する基板保持装置に関する。
置、薄膜形成装置等に用いられるものであって、基板を
保持する基板保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の基板保持装置の従来例を図４に
示す。
示す。
【０００３】この基板保持装置は、基板（例えばウェー
ハ）２を載せるベース４と、基板２の周縁部をベース４
に対して押さえ付ける環状のクランパー６とを備えてお
り、このクランパー６を上下させてそれとベース４との
間に基板２を挟んで保持する構造をしている。
ハ）２を載せるベース４と、基板２の周縁部をベース４
に対して押さえ付ける環状のクランパー６とを備えてお
り、このクランパー６を上下させてそれとベース４との
間に基板２を挟んで保持する構造をしている。
【０００４】ベース４には、複数本のクランパー軸１０
が上下動自在に貫通しており、それらの上端部にクラン
パー６が取り付けられており、下端部に連結板１４が取
り付けられている。各クランパー軸の周りには、各クラ
ンパー軸１０およびクランパー６をベース４に向けて弾
性的に押し下げるばね（例えば圧縮コイルばね）１２が
設けられている。また、ベース４の表面には、基板２と
の間の熱伝導を良くするためにラバー８が設けられてい
る。
が上下動自在に貫通しており、それらの上端部にクラン
パー６が取り付けられており、下端部に連結板１４が取
り付けられている。各クランパー軸の周りには、各クラ
ンパー軸１０およびクランパー６をベース４に向けて弾
性的に押し下げるばね（例えば圧縮コイルばね）１２が
設けられている。また、ベース４の表面には、基板２と
の間の熱伝導を良くするためにラバー８が設けられてい
る。
【０００５】上記のように保持された基板２に、クラン
パー６の開口部を通してイオンビームを照射する等し
て、基板２にイオン注入等の処理を施すことができる。
処理後は、クランパー６を上昇させて保持を解除するこ
とで、基板搬送手段（図示省略）によって基板２を取り
出すことができる。
パー６の開口部を通してイオンビームを照射する等し
て、基板２にイオン注入等の処理を施すことができる。
処理後は、クランパー６を上昇させて保持を解除するこ
とで、基板搬送手段（図示省略）によって基板２を取り
出すことができる。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】ところが、上記基板保
持装置においては、基板２の処理後等においてクランパ
ー６を上昇させたときに、基板２がクランパー６に付着
したまま持ち上がり、基板２の取り出しに支障を来すこ
とがあるという問題がある。この基板２の付着の原因と
しては、イオン注入に伴う基板２のチャージアップ（帯
電）によるクランパー６への静電吸着や、基板２とクラ
ンパー６との接触面の汚れによる付着等が挙げられる。
持装置においては、基板２の処理後等においてクランパ
ー６を上昇させたときに、基板２がクランパー６に付着
したまま持ち上がり、基板２の取り出しに支障を来すこ
とがあるという問題がある。この基板２の付着の原因と
しては、イオン注入に伴う基板２のチャージアップ（帯
電）によるクランパー６への静電吸着や、基板２とクラ
ンパー６との接触面の汚れによる付着等が挙げられる。
【０００７】ちなみにこのような問題は、基板２のサイ
ズが小さくなるほど、その重さが軽くなるので起こりや
すくなる。
ズが小さくなるほど、その重さが軽くなるので起こりや
すくなる。
【０００８】そこでこの考案は、基板がクランパーに付
着するのを防止することができるようにした基板保持装
置を提供することを主たる目的とする。
着するのを防止することができるようにした基板保持装
置を提供することを主たる目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この考案の基板保持装置は、前述したようなクラン
パーに、基板の半径方向に対してほぼ直交しかつ基板表
面にほぼ平行な軸と、この軸を支点に回動可能なアーム
であってその先端部が基板の端部に当接可能なものと、
このアームの先端部を弾性的に押し下げるばねとを設け
たことを特徴とする。
め、この考案の基板保持装置は、前述したようなクラン
パーに、基板の半径方向に対してほぼ直交しかつ基板表
面にほぼ平行な軸と、この軸を支点に回動可能なアーム
であってその先端部が基板の端部に当接可能なものと、
このアームの先端部を弾性的に押し下げるばねとを設け
たことを特徴とする。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、クランパーを上昇させる際
に、ばねの力によってアームの先端部が押し下げられ、
これによって基板がクランパーから強制的に引き離され
る。その結果、基板がクランパーに付着するのが防止さ
れる。
に、ばねの力によってアームの先端部が押し下げられ、
これによって基板がクランパーから強制的に引き離され
る。その結果、基板がクランパーに付着するのが防止さ
れる。
【００１１】
【実施例】図１は、この考案の一実施例に係る基板保持
装置を示す平面図である。図２は、図１の線Ａ−Ａに沿
う拡大断面図である。図３は、図２中のアーム周りを示
す平面図である。図４の従来例と同一または相当する部
分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との
相違点を主に説明する。
装置を示す平面図である。図２は、図１の線Ａ−Ａに沿
う拡大断面図である。図３は、図２中のアーム周りを示
す平面図である。図４の従来例と同一または相当する部
分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との
相違点を主に説明する。
【００１２】この実施例においては、前述したようなク
ランパー６の下面側の４個所に凹部６ａを設け、その中
に、ブラケット１６に保持されたアーム２０をそれぞれ
収納している。
ランパー６の下面側の４個所に凹部６ａを設け、その中
に、ブラケット１６に保持されたアーム２０をそれぞれ
収納している。
【００１３】各ブラケット１６は、図３に示すように平
面形状がコ字状をしており、そこに、基板２の半径方向
に対してほぼ直交しかつ基板２の表面にほぼ平行になる
ように軸１８が通されている。そしてこの軸１８に、細
長いアーム２０が、矢印Ｂ（図２参照）のように回動可
能に支持されており、このようなものが、クランパー６
の各凹部６ａ内に収納されてねじ２４によって固定され
ている。
面形状がコ字状をしており、そこに、基板２の半径方向
に対してほぼ直交しかつ基板２の表面にほぼ平行になる
ように軸１８が通されている。そしてこの軸１８に、細
長いアーム２０が、矢印Ｂ（図２参照）のように回動可
能に支持されており、このようなものが、クランパー６
の各凹部６ａ内に収納されてねじ２４によって固定され
ている。
【００１４】各アーム２０の先端部は、図２に示すよう
に、基板２の端部に当接可能である。また、クランパー
６と各アーム２０との間には、各アーム２０の先端部を
弾性的に押し下げるばね（例えば圧縮コイルばね）２２
が設けられている。各ばね２２は、この実施例では、ア
ーム２０の上面部に設けた凹部２０ａ内に収納されてい
る。
に、基板２の端部に当接可能である。また、クランパー
６と各アーム２０との間には、各アーム２０の先端部を
弾性的に押し下げるばね（例えば圧縮コイルばね）２２
が設けられている。各ばね２２は、この実施例では、ア
ーム２０の上面部に設けた凹部２０ａ内に収納されてい
る。
【００１５】図２に示すようにクランパー６を下げてそ
れとベース４との間に基板２を保持した状態では、各ア
ーム２０の先端部は基板２によって押され、ばね２２を
圧縮している。
れとベース４との間に基板２を保持した状態では、各ア
ーム２０の先端部は基板２によって押され、ばね２２を
圧縮している。
【００１６】基板２に対する処理が終了する等してクラ
ンパー６を上昇させる際は、ばね２２の力によって各ア
ーム２０の先端部が押し下げられ、これによって基板２
がクランパー６から強制的に引き離される。従って、静
電気や汚れ等によって基板２がクランパー６に付着する
ことを防止することができる。
ンパー６を上昇させる際は、ばね２２の力によって各ア
ーム２０の先端部が押し下げられ、これによって基板２
がクランパー６から強制的に引き離される。従って、静
電気や汚れ等によって基板２がクランパー６に付着する
ことを防止することができる。
【００１７】基板２をクランパー６から引き離す力は、
ばね２２の強さ等によって調整することができる。ま
た、上記のようなアーム２０等は、基板２の周囲の複数
個所に設ける方が基板２の引き離しは容易になるが、１
個所でもクランパー６から引き離すと基板２は自重で比
較的簡単に離脱するので、少なくとも１個所に設ければ
良い。
ばね２２の強さ等によって調整することができる。ま
た、上記のようなアーム２０等は、基板２の周囲の複数
個所に設ける方が基板２の引き離しは容易になるが、１
個所でもクランパー６から引き離すと基板２は自重で比
較的簡単に離脱するので、少なくとも１個所に設ければ
良い。
【００１８】
【考案の効果】以上のようにこの考案によれば、アーム
によって基板を強制的にクランパーから引き離すことが
できるので、基板がクランパーに付着するのを防止する
ことができる。
によって基板を強制的にクランパーから引き離すことが
できるので、基板がクランパーに付着するのを防止する
ことができる。
【図１】 この考案の一実施例に係る基板保持装置を示
す平面図である。
す平面図である。
【図２】 図１の線Ａ−Ａに沿う拡大断面図である。
【図３】 図２中のアーム周りを示す平面図である。
【図４】 従来の基板保持装置の一例を示す断面図であ
る。
る。
２ 基板 ４ ベース ６ クランパー １６ ブラケット １８ 軸 ２０ アーム ２２ ばね
Claims (1)
- 【請求項１】 基板を載せるベースと、基板の周縁部を
ベースに対して押さえ付ける環状のクランパーとを備え
る基板保持装置において、前記クランパーに、基板の半
径方向に対してほぼ直交しかつ基板表面にほぼ平行な軸
と、この軸を支点に回動可能なアームであってその先端
部が基板の端部に当接可能なものと、このアームの先端
部を弾性的に押し下げるばねとを設けたことを特徴とす
る基板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1268491U JP2548041Y2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1268491U JP2548041Y2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 基板保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04103643U JPH04103643U (ja) | 1992-09-07 |
| JP2548041Y2 true JP2548041Y2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=31746796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1268491U Expired - Lifetime JP2548041Y2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2548041Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5606726B2 (ja) * | 2009-12-02 | 2014-10-15 | 日本電子株式会社 | 試料ホルダ及び試料取り付け取り外し治具 |
-
1991
- 1991-02-13 JP JP1268491U patent/JP2548041Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04103643U (ja) | 1992-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0383391A1 (en) | Method of connecting two objects together, for example a slice of an insulating material to a slice of a semiconductor material | |
| US20020071756A1 (en) | Dual wafer edge gripping end effector and method therefor | |
| JPH06291030A (ja) | 回転式基板処理装置用の基板回転保持装置 | |
| JPH06268051A (ja) | ウエハ剥し装置 | |
| TW200305967A (en) | Method and apparatus for transferring a thin plate, and manufacturing method of substrate using the same | |
| JPS61145839A (ja) | 半導体ウエ−ハの接着方法および接着治具 | |
| JP2548041Y2 (ja) | 基板保持装置 | |
| JP2826175B2 (ja) | 半導体ウェーハのハンドリング方法及び装置 | |
| JPH0235231A (ja) | トーションバネの組立装置 | |
| JPH04110466A (ja) | ウエハホルダー | |
| JP2000269310A (ja) | 半導体ウェハ支持装置 | |
| KR101980004B1 (ko) | 마스크 시이트와 기판 갭을 최소화하는 기판 고정 유닛 | |
| JPH0215934A (ja) | 保持装置 | |
| JPH0726360Y2 (ja) | 基板保持装置 | |
| JP3212003B2 (ja) | ペレットボンディング装置のウエハステージ | |
| JPH10183345A (ja) | 基板保持装置 | |
| CN219163378U (zh) | 晶圆夹持固定装置 | |
| JPH062684U (ja) | イオン注入装置用ウエファサイズ変換アダプタ | |
| JPS6329412B2 (ja) | ||
| KR100207748B1 (ko) | 디스크 플레이어의 디스크 척킹장치 | |
| JP2832751B2 (ja) | ディスクチャック機構の駆動機構 | |
| JPH056753A (ja) | イオン注入装置 | |
| JPS6247940A (ja) | イオン注入装置 | |
| JP2846423B2 (ja) | 円板のセンタリング装置 | |
| KR100292613B1 (ko) | 반도체 설비의 웨이퍼 클램핑/언클램핑 장치 |