JP3180208B2 - ペレットピックアップ装置 - Google Patents
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- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/19—Delaminating means
- Y10T156/1978—Delaminating bending means
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペレットが貼り付
けられたウェーハシートを引き伸ばすウェーハシート延
伸機構を備えたペレットピックアップ装置に関する。
けられたウェーハシートを引き伸ばすウェーハシート延
伸機構を備えたペレットピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェーハシート延伸機構を備えた
ペレットピックアップ装置として、例えば特公平１−４
４０１８号公報、特公平６−９２１９号公報及び特開昭
６２−１０６６４２号公報があげられる。この装置は、
ペレットが貼り付けられたウェーハシートを支持するウ
ェーハシート固定リングと、このウェーハシート固定リ
ングの上方に配設され、該ウェーハシート固定リングと
協同してウェーハシートを引き伸ばすように前記ウェー
ハシート固定リングに遊嵌するウェーハシート引伸しリ
ングと、このウェーハシート引伸しリングを上下動させ
る２個のエアシリンダとを備えている。
ペレットピックアップ装置として、例えば特公平１−４
４０１８号公報、特公平６−９２１９号公報及び特開昭
６２−１０６６４２号公報があげられる。この装置は、
ペレットが貼り付けられたウェーハシートを支持するウ
ェーハシート固定リングと、このウェーハシート固定リ
ングの上方に配設され、該ウェーハシート固定リングと
協同してウェーハシートを引き伸ばすように前記ウェー
ハシート固定リングに遊嵌するウェーハシート引伸しリ
ングと、このウェーハシート引伸しリングを上下動させ
る２個のエアシリンダとを備えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、エア
シリンダでウェーハシート引伸しリングを上下動させる
ので、ウェーハシート引伸しリングの下降量は、ウェー
ハシート引伸しリングがウェーハシート固定リングに当
接するストロークで決まる。このため、ペレットを貼り
付けたウェーハシートの品種に応じた最適な引伸し量に
任意に制御できない。また２個のエアシリンダの作動量
が変動した場合、ウェーハシートの引伸しにバラツキが
生じるが、このバラツキを検出することはできない。
シリンダでウェーハシート引伸しリングを上下動させる
ので、ウェーハシート引伸しリングの下降量は、ウェー
ハシート引伸しリングがウェーハシート固定リングに当
接するストロークで決まる。このため、ペレットを貼り
付けたウェーハシートの品種に応じた最適な引伸し量に
任意に制御できない。また２個のエアシリンダの作動量
が変動した場合、ウェーハシートの引伸しにバラツキが
生じるが、このバラツキを検出することはできない。
【０００４】本発明の第１の課題は、ウェーハシートの
引伸し量を任意に制御できるウェーハシート延伸機構を
備えたペレットピックアップ装置を提供することにあ
る。
引伸し量を任意に制御できるウェーハシート延伸機構を
備えたペレットピックアップ装置を提供することにあ
る。
【０００５】本発明の第２の課題は、ウェーハシートの
引伸し量に変動が生じた場合を検出できるウェーハシー
ト延伸機構を備えたペレットピックアップ装置を提供す
ることにある。
引伸し量に変動が生じた場合を検出できるウェーハシー
ト延伸機構を備えたペレットピックアップ装置を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記第１の課題を解決す
るための本発明の手段は、ペレットを貼り付けたウェー
ハシートが載置されるウェーハシート固定リングと、こ
のウェーハシート固定リングの上方に配設されたウェー
ハシート引伸しリングと、このウェーハシート引伸しリ
ングを上下駆動させる上下駆動手段とを有し、前記上下
駆動手段で前記ウェーハシート引伸しリングを下降させ
て前記ウェーハシートを引き伸ばすウェーハシート延伸
機構を備えたペレットピックアップ装置において、前記
上下駆動手段は、前記ウェーハシート引伸しリングが固
定されたウェーハシート引伸しリングホルダと、このウ
ェーハシート引伸しリングホルダの前記ウェーハシート
固定リングの中心に対して対称部分を挟持する２個のリ
ングホルダ上下動部材と、このリングホルダ上下動部材
をそれぞれ上下動させる２個の同期駆動される第１及び
第２のモータと、前記第１及び第２のモータが同期回転
したか否かを検出し、同期回転していない時は、同期ず
れのエラー信号を出力する演算制御部を備えたことを特
徴とする。
るための本発明の手段は、ペレットを貼り付けたウェー
ハシートが載置されるウェーハシート固定リングと、こ
のウェーハシート固定リングの上方に配設されたウェー
ハシート引伸しリングと、このウェーハシート引伸しリ
ングを上下駆動させる上下駆動手段とを有し、前記上下
駆動手段で前記ウェーハシート引伸しリングを下降させ
て前記ウェーハシートを引き伸ばすウェーハシート延伸
機構を備えたペレットピックアップ装置において、前記
上下駆動手段は、前記ウェーハシート引伸しリングが固
定されたウェーハシート引伸しリングホルダと、このウ
ェーハシート引伸しリングホルダの前記ウェーハシート
固定リングの中心に対して対称部分を挟持する２個のリ
ングホルダ上下動部材と、このリングホルダ上下動部材
をそれぞれ上下動させる２個の同期駆動される第１及び
第２のモータと、前記第１及び第２のモータが同期回転
したか否かを検出し、同期回転していない時は、同期ず
れのエラー信号を出力する演算制御部を備えたことを特
徴とする。
【０００７】
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態は、図１及び
図２に示すように、ペレット３を貼り付けたウェーハシ
ート２が載置されるウェーハシート固定リング５と、こ
のウェーハシート固定リング５の上方に配設されたウェ
ーハシート引伸しリング１８と、このウェーハシート引
伸しリング１８を上下駆動させる第１及び第２のモータ
２２Ａ、２２Ｂとを有する。ここで、第１及び第２のモ
ータ２２Ａ、２２Ｂは、前記ウェーハシート引伸しリン
グ１８の前記ウェーハシート固定リング５の中心に対し
て対称部分を上下動させるようになっている。そこで、
第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂでウェーハシート
引伸しリング１８を下降させてウェーハシート２を引き
伸ばす。
図２に示すように、ペレット３を貼り付けたウェーハシ
ート２が載置されるウェーハシート固定リング５と、こ
のウェーハシート固定リング５の上方に配設されたウェ
ーハシート引伸しリング１８と、このウェーハシート引
伸しリング１８を上下駆動させる第１及び第２のモータ
２２Ａ、２２Ｂとを有する。ここで、第１及び第２のモ
ータ２２Ａ、２２Ｂは、前記ウェーハシート引伸しリン
グ１８の前記ウェーハシート固定リング５の中心に対し
て対称部分を上下動させるようになっている。そこで、
第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂでウェーハシート
引伸しリング１８を下降させてウェーハシート２を引き
伸ばす。
【０００９】また、図３及び図４に示すように、第１及
び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂが１回転する毎に第１及
び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂで同期回転したか否かを
検出し、同期回転していない時は、演算制御部３７より
同期ずれのエラー信号をエラー表示器３９に出力する。
なお、第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの同期回転
の検出は、１回転以下でもよく、１回転以上の数回転で
もよいので、１回転毎に限定されるものではない。
び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂが１回転する毎に第１及
び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂで同期回転したか否かを
検出し、同期回転していない時は、演算制御部３７より
同期ずれのエラー信号をエラー表示器３９に出力する。
なお、第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの同期回転
の検出は、１回転以下でもよく、１回転以上の数回転で
もよいので、１回転毎に限定されるものではない。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図４によ
り説明する。図１に示すように、ウェーハリング１に外
周部が粘着固定されたウェーハシート２には、切断済の
ペレット３、３・・・が貼り付けられている。支持板４
は、ＸＹ方向に駆動される図示しないＸＹテーブルに固
定されている。ウェーハシート固定リング５は軸受６を
介して回転自在に支持板４に支承されている。ここで、
ウェーハシート固定リング５にはウェーハリング１より
小さな円環部５ａが形成されており、ウェーハシート固
定リング５は、ペレット３、３・・・の角度方向を修正
するために図示しない駆動手段で回転させられるように
なっている。
り説明する。図１に示すように、ウェーハリング１に外
周部が粘着固定されたウェーハシート２には、切断済の
ペレット３、３・・・が貼り付けられている。支持板４
は、ＸＹ方向に駆動される図示しないＸＹテーブルに固
定されている。ウェーハシート固定リング５は軸受６を
介して回転自在に支持板４に支承されている。ここで、
ウェーハシート固定リング５にはウェーハリング１より
小さな円環部５ａが形成されており、ウェーハシート固
定リング５は、ペレット３、３・・・の角度方向を修正
するために図示しない駆動手段で回転させられるように
なっている。
【００１１】前記支持板４には、ウェーハシート固定リ
ング５の中心に対して対称位置に軸受１０Ａ、１０Ｂが
固定されており、軸受１０Ａ、１０Ｂには雄ねじ軸１１
Ａ、１１Ｂが回転自在に支承されている。雄ねじ軸１１
Ａ、１１Ｂには、雌ねじ１２Ａ、１２Ｂが螺合してお
り、雌ねじ１２Ａ、１２Ｂにはリングホルダ上下動部材
１３Ａ、１３Ｂが固定されている。リングホルダ上下動
部材１３Ａ、１３Ｂには、ウェーハシート引伸しリング
ホルダ１４の周部の上下より挟持するようにローラ１
５、１６が回転自在に支承されている。ウェーハシート
引伸しリングホルダ１４には、ウェーハリング１を一時
保持するウェーハリング保持板１７と、このウェーハリ
ング保持板１７より一定間隔を有して上方に配置された
ウェーハシート引伸しリング１８の２個の固定部１８ａ
とが固定されている。ここで、ウェーハシート引伸しリ
ング１８は、内径部１８ｂが前記ウェーハシート固定リ
ング５の円環部５ａに遊嵌する大きさとなっている。
ング５の中心に対して対称位置に軸受１０Ａ、１０Ｂが
固定されており、軸受１０Ａ、１０Ｂには雄ねじ軸１１
Ａ、１１Ｂが回転自在に支承されている。雄ねじ軸１１
Ａ、１１Ｂには、雌ねじ１２Ａ、１２Ｂが螺合してお
り、雌ねじ１２Ａ、１２Ｂにはリングホルダ上下動部材
１３Ａ、１３Ｂが固定されている。リングホルダ上下動
部材１３Ａ、１３Ｂには、ウェーハシート引伸しリング
ホルダ１４の周部の上下より挟持するようにローラ１
５、１６が回転自在に支承されている。ウェーハシート
引伸しリングホルダ１４には、ウェーハリング１を一時
保持するウェーハリング保持板１７と、このウェーハリ
ング保持板１７より一定間隔を有して上方に配置された
ウェーハシート引伸しリング１８の２個の固定部１８ａ
とが固定されている。ここで、ウェーハシート引伸しリ
ング１８は、内径部１８ｂが前記ウェーハシート固定リ
ング５の円環部５ａに遊嵌する大きさとなっている。
【００１２】前記雄ねじ軸１１Ａ、１１Ｂの支持板４よ
り下方に突出した部分には、歯車２０Ａ、２０Ｂが固定
されている。また支持板４にはモータ支持板２１Ａ、２
１Ｂを介して第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂが固
定されており、第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの
出力軸に固定された歯車２３Ａ、２３Ｂが前記歯車２０
Ａ、２０Ｂに噛合している。また第１及び第２のモータ
２２Ａ、２２Ｂの出力軸にはスリット部２４ａ、２４ｂ
を有する第１及び第２の１回転検出板２４Ａ、２４Ｂが
固定されており、この第１及び第２の１回転検出板２４
Ａ、２４Ｂのスリット部２４ａ、２４ｂを検出する第１
及び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂが装置の固定部に固定
されている。
り下方に突出した部分には、歯車２０Ａ、２０Ｂが固定
されている。また支持板４にはモータ支持板２１Ａ、２
１Ｂを介して第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂが固
定されており、第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの
出力軸に固定された歯車２３Ａ、２３Ｂが前記歯車２０
Ａ、２０Ｂに噛合している。また第１及び第２のモータ
２２Ａ、２２Ｂの出力軸にはスリット部２４ａ、２４ｂ
を有する第１及び第２の１回転検出板２４Ａ、２４Ｂが
固定されており、この第１及び第２の１回転検出板２４
Ａ、２４Ｂのスリット部２４ａ、２４ｂを検出する第１
及び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂが装置の固定部に固定
されている。
【００１３】なお、図中、３０はペレット３を下方より
突き上げる突き上げ針で、図示しない上下駆動手段で上
下動させられる。３１はペレット３の上方に配設され、
ペレット３を真空吸着により保持するコレットで、図示
しない上下駆動手段及びＸＹ方向駆動手段で上下動及び
ＸＹ方向に移動させられ、ダイボンダのボンディング位
置又はペレット位置決め部に移送する。
突き上げる突き上げ針で、図示しない上下駆動手段で上
下動させられる。３１はペレット３の上方に配設され、
ペレット３を真空吸着により保持するコレットで、図示
しない上下駆動手段及びＸＹ方向駆動手段で上下動及び
ＸＹ方向に移動させられ、ダイボンダのボンディング位
置又はペレット位置決め部に移送する。
【００１４】図３は第１及び第２のモータ２２Ａ、２２
Ｂの制御回路を示す。第１及び第２のモータ２２Ａ、２
２Ｂの回転回数は、回転回数設定部３５より回転回数記
憶部３６に記憶される。この回転回数記憶部３６に記憶
された回転回数に従って第１及び第２のモータ２２Ａ、
２２Ｂは、演算制御部３７によってドライブ部３８Ａ、
３８Ｂを介して同期をとって駆動される。また第１及び
第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの同期ずれの場合には、演
算制御部３７よりエラー信号が出力し、エラー表示器３
９によってブザー、警報ランプ等で表示され、ボンディ
ング動作は停止する。
Ｂの制御回路を示す。第１及び第２のモータ２２Ａ、２
２Ｂの回転回数は、回転回数設定部３５より回転回数記
憶部３６に記憶される。この回転回数記憶部３６に記憶
された回転回数に従って第１及び第２のモータ２２Ａ、
２２Ｂは、演算制御部３７によってドライブ部３８Ａ、
３８Ｂを介して同期をとって駆動される。また第１及び
第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの同期ずれの場合には、演
算制御部３７よりエラー信号が出力し、エラー表示器３
９によってブザー、警報ランプ等で表示され、ボンディ
ング動作は停止する。
【００１５】次に作用を図４を参照しながら説明する。
図３に示す回転回数記憶部３６には、予め回転回数設定
部３５より回転回数を設定、例えば８を設定しておく。
図１の状態において、ウェーハリング１が図示しない供
給手段で紙面に垂直な方向よりウェーハリング保持板１
７とウェーハシート引伸しリング１８間に供給され、ウ
ェーハリング保持板１７上に位置決め載置されると、演
算制御部３７よりドライブ部３８Ａ、３８Ｂを通して第
１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂを１回転させる信号
が出力する。これにより、第１及び第２のモータ２２
Ａ、２２Ｂは同期して１回転する。
図３に示す回転回数記憶部３６には、予め回転回数設定
部３５より回転回数を設定、例えば８を設定しておく。
図１の状態において、ウェーハリング１が図示しない供
給手段で紙面に垂直な方向よりウェーハリング保持板１
７とウェーハシート引伸しリング１８間に供給され、ウ
ェーハリング保持板１７上に位置決め載置されると、演
算制御部３７よりドライブ部３８Ａ、３８Ｂを通して第
１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂを１回転させる信号
が出力する。これにより、第１及び第２のモータ２２
Ａ、２２Ｂは同期して１回転する。
【００１６】第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂが１
回転すると、第１及び第２の１回転検出板２４Ａ、２４
Ｂのスリット部２４ａ、２４ｂが第１及び第２のセンサ
２５Ａ、２５Ｂによってオンとなる。両方の第１及び第
２のセンサ２５Ａ、２５Ｂがオンとなると、第１及び第
２のモータ２２Ａ、２２Ｂは同期回転していることにな
る。この第１及び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂのオン信
号の回数が設定回転回数でない場合には、再び第１及び
第２のモータ２２Ａ、２２Ｂが１回転する。この動作を
繰り返し、第１及び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂの信号
のカウント数が設定回転回数、即ち８になると、引伸し
は終了する。この動作において、第１及び第２のセンサ
２５Ａ、２５Ｂのいずれか一方がオンにならない場合に
は、第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂは同期回転し
なかったことになり、演算制御部３７よりエラー信号が
エラー表示器３９に出力し、エラー表示器３９はブザ
ー、警報ランプ等によって同期ずれを表示すると共に、
演算制御部３７からは装置を停止させる信号が出力す
る。
回転すると、第１及び第２の１回転検出板２４Ａ、２４
Ｂのスリット部２４ａ、２４ｂが第１及び第２のセンサ
２５Ａ、２５Ｂによってオンとなる。両方の第１及び第
２のセンサ２５Ａ、２５Ｂがオンとなると、第１及び第
２のモータ２２Ａ、２２Ｂは同期回転していることにな
る。この第１及び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂのオン信
号の回数が設定回転回数でない場合には、再び第１及び
第２のモータ２２Ａ、２２Ｂが１回転する。この動作を
繰り返し、第１及び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂの信号
のカウント数が設定回転回数、即ち８になると、引伸し
は終了する。この動作において、第１及び第２のセンサ
２５Ａ、２５Ｂのいずれか一方がオンにならない場合に
は、第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂは同期回転し
なかったことになり、演算制御部３７よりエラー信号が
エラー表示器３９に出力し、エラー表示器３９はブザ
ー、警報ランプ等によって同期ずれを表示すると共に、
演算制御部３７からは装置を停止させる信号が出力す
る。
【００１７】前記したように第１及び第２のモータ２２
Ａ、２２Ｂが回転すると、歯車２３Ａ、２３Ｂ、歯車２
０Ａ、２０Ｂを介して雄ねじ軸１１Ａ、１１Ｂが回転
し、雌ねじ１２Ａ、１２Ｂ、リングホルダ上下動部材１
３Ａ、１３Ｂ、ローラ１５、１６及びウェーハシート引
伸しリングホルダ１４が第１及び第２のモータ２２Ａ、
２２Ｂの回転毎に一定量づつ下降する。本実施の形態に
おいては、第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの１回
転でウェーハシート引伸しリングホルダ１４は１ｍｍ下
降するようになっている。また第１及び第２のモータ２
２Ａ、２２Ｂが４回転、即ちウェーハシート引伸しリン
グホルダ１４は４ｍｍ下降すると、ウェーハシート２が
ウェーハシート固定リング５の円環部５ａ上に載置され
るようになっている。
Ａ、２２Ｂが回転すると、歯車２３Ａ、２３Ｂ、歯車２
０Ａ、２０Ｂを介して雄ねじ軸１１Ａ、１１Ｂが回転
し、雌ねじ１２Ａ、１２Ｂ、リングホルダ上下動部材１
３Ａ、１３Ｂ、ローラ１５、１６及びウェーハシート引
伸しリングホルダ１４が第１及び第２のモータ２２Ａ、
２２Ｂの回転毎に一定量づつ下降する。本実施の形態に
おいては、第１及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの１回
転でウェーハシート引伸しリングホルダ１４は１ｍｍ下
降するようになっている。また第１及び第２のモータ２
２Ａ、２２Ｂが４回転、即ちウェーハシート引伸しリン
グホルダ１４は４ｍｍ下降すると、ウェーハシート２が
ウェーハシート固定リング５の円環部５ａ上に載置され
るようになっている。
【００１８】従って、ウェーハシート引伸しリングホル
ダ１４が下降すると、まずウェーハリング保持板１７が
ウェーハシート固定リング５の円環部５ａの上面５ｂよ
り下方に位置してウェーハリング保持板１７上のウェー
ハリング１はウェーハシート固定リング５の円環部５ａ
の上面５ｂに載置される。その後、ウェーハシート引伸
しリング１８はウェーハリング１を押し下げながらウェ
ーハシート固定リング５の円環部５ａに遊嵌する。これ
により、図２に示すように、ウェーハシート２は引き伸
ばされ、ペレット３間の間隙は広げられる。
ダ１４が下降すると、まずウェーハリング保持板１７が
ウェーハシート固定リング５の円環部５ａの上面５ｂよ
り下方に位置してウェーハリング保持板１７上のウェー
ハリング１はウェーハシート固定リング５の円環部５ａ
の上面５ｂに載置される。その後、ウェーハシート引伸
しリング１８はウェーハリング１を押し下げながらウェ
ーハシート固定リング５の円環部５ａに遊嵌する。これ
により、図２に示すように、ウェーハシート２は引き伸
ばされ、ペレット３間の間隙は広げられる。
【００１９】その後は従来と同様に、コレット３１が下
降してペレット３の僅かに上面で停止し、突き上げ針３
０が上昇してペレット３を突き上げ、突き上げられたペ
レット３を吸着して上昇する。そして、ダイボンダのボ
ンディング位置又はペレット位置決め位置にペレット３
を移送する。
降してペレット３の僅かに上面で停止し、突き上げ針３
０が上昇してペレット３を突き上げ、突き上げられたペ
レット３を吸着して上昇する。そして、ダイボンダのボ
ンディング位置又はペレット位置決め位置にペレット３
を移送する。
【００２０】このように、ウェーハシート引伸しリング
ホルダ１４、即ちウェーハシート引伸しリング１８は同
期駆動される２個の第１及び第２のモータ２２Ａ、２２
Ｂによって上下動させられるので、第１及び第２のモー
タ２２Ａ、２２Ｂの回転回数を変えることにより、ウェ
ーハシート引伸しリング１８の下降量、即ちウェーハシ
ート２の引伸し量を自由に制御できる。このため、ペレ
ット３が貼り付けられたウェーハシート２の品種に最適
な引伸し量に制御できる。また第１及び第２のモータ２
２Ａ、２２Ｂは、１回転毎に同期回転しているか否かが
第１及び第２の１回転検出板２４Ａ、２４Ｂ及び第１及
び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂの検出手段で検出される
ので、ウェーハシート２の引伸し量のバラツキを防止で
きる。
ホルダ１４、即ちウェーハシート引伸しリング１８は同
期駆動される２個の第１及び第２のモータ２２Ａ、２２
Ｂによって上下動させられるので、第１及び第２のモー
タ２２Ａ、２２Ｂの回転回数を変えることにより、ウェ
ーハシート引伸しリング１８の下降量、即ちウェーハシ
ート２の引伸し量を自由に制御できる。このため、ペレ
ット３が貼り付けられたウェーハシート２の品種に最適
な引伸し量に制御できる。また第１及び第２のモータ２
２Ａ、２２Ｂは、１回転毎に同期回転しているか否かが
第１及び第２の１回転検出板２４Ａ、２４Ｂ及び第１及
び第２のセンサ２５Ａ、２５Ｂの検出手段で検出される
ので、ウェーハシート２の引伸し量のバラツキを防止で
きる。
【００２１】なお、上記実施例においては、ウェーハシ
ート固定リング５を支持板４に軸受６を介して回転自在
に支承して設けたが、従来と同様に、ウェーハシート固
定リング５は支持板４に固定又は支持板４と一体に形成
してもよい。また上記実施の形態においては、ウェーハ
シート引伸しリングホルダ１４にウェーハリング保持板
１７及びウェーハシート引伸しリング１８を固定した
が、これらは一体に形成してもよい。またウェーハリン
グ保持板１７にウェーハリング１を一時保持させるよう
にしたが、ウェーハリング保持板１７をなくし、ウェー
ハリング１を直接ウェーハシート固定リング５上に位置
決め載置するようにしてもよい。
ート固定リング５を支持板４に軸受６を介して回転自在
に支承して設けたが、従来と同様に、ウェーハシート固
定リング５は支持板４に固定又は支持板４と一体に形成
してもよい。また上記実施の形態においては、ウェーハ
シート引伸しリングホルダ１４にウェーハリング保持板
１７及びウェーハシート引伸しリング１８を固定した
が、これらは一体に形成してもよい。またウェーハリン
グ保持板１７にウェーハリング１を一時保持させるよう
にしたが、ウェーハリング保持板１７をなくし、ウェー
ハリング１を直接ウェーハシート固定リング５上に位置
決め載置するようにしてもよい。
【００２２】また上記実施例においては、第１及び第２
のモータ２２Ａ、２２Ｂが１回転毎に同期回転を検出し
たが、特に１回転毎に限定されるものではない。例え
ば、検出板２４Ａ、２４Ｂに対してセンサ２５Ａ、２５
Ｂをそれぞれ２個設けるか、またはスリット部２４ａ、
２４ｂをそれぞれ２個設けてもよい。この場合は、第１
及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの半回転毎に同期回転
を検出できる。また数回転毎に検出するようにしてもよ
い。
のモータ２２Ａ、２２Ｂが１回転毎に同期回転を検出し
たが、特に１回転毎に限定されるものではない。例え
ば、検出板２４Ａ、２４Ｂに対してセンサ２５Ａ、２５
Ｂをそれぞれ２個設けるか、またはスリット部２４ａ、
２４ｂをそれぞれ２個設けてもよい。この場合は、第１
及び第２のモータ２２Ａ、２２Ｂの半回転毎に同期回転
を検出できる。また数回転毎に検出するようにしてもよ
い。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、ウェーハシート引伸し
リングを下降させる上下駆動手段は、前記ウェーハシー
ト引伸しリングが固定されたウェーハシート引伸しリン
グホルダと、このウェーハシート引伸しリングホルダの
前記ウェーハシート固定リングの中心に対して対称部分
を挟持する２個のリングホルダ上下動部材と、このリン
グホルダ上下動部材をそれぞれ上下動させる２個の同期
駆動される第１及び第２のモータよりなるので、ウェー
ハシートの引伸し量を任意に制御できる。また第１及び
第２のモータが同期回転したか否かを検出し、同期回転
していない時は、同期ずれのエラー信号を出力する演算
制御部を有するので、ウェーハシートの引伸し量に変動
が生じた場合の検出ができる。
リングを下降させる上下駆動手段は、前記ウェーハシー
ト引伸しリングが固定されたウェーハシート引伸しリン
グホルダと、このウェーハシート引伸しリングホルダの
前記ウェーハシート固定リングの中心に対して対称部分
を挟持する２個のリングホルダ上下動部材と、このリン
グホルダ上下動部材をそれぞれ上下動させる２個の同期
駆動される第１及び第２のモータよりなるので、ウェー
ハシートの引伸し量を任意に制御できる。また第１及び
第２のモータが同期回転したか否かを検出し、同期回転
していない時は、同期ずれのエラー信号を出力する演算
制御部を有するので、ウェーハシートの引伸し量に変動
が生じた場合の検出ができる。
【図１】本発明のペレットピックアップ装置を備えたペ
レットピックアップ装置の一実施を示す一部断面図であ
る。
レットピックアップ装置の一実施を示す一部断面図であ
る。
【図２】ウェーハシート引伸しリングホルダが下降した
状態を示す一部断面図である。
状態を示す一部断面図である。
【図３】第１及び第２のモータの制御回路の一例を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図４】第１及び第２のモータの制御フローを示すチャ
ート図である。
ート図である。
１ ウェーハリング ２ ウェーハシート ３ ペレット ５ ウェーハシート固定リング １４ ウェーハシート引伸しリングホルダ １８ ウェーハシート引伸しリング ２２Ａ、２２Ｂ 第１及び第２のモータ ２４Ａ、２４Ｂ 第１及び第２の１回転検出板 ２５Ａ、２５Ｂ 第１及び第２のセンサ ３０ 突き上げ針 ３１ コレット ３５ 回転回数設定部 ３６ 回転回数記憶部 ３７ 演算制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−106642（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−58445（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/301
Claims (1)
- 【請求項１】 ペレットを貼り付けたウェーハシートが
載置されるウェーハシート固定リングと、このウェーハ
シート固定リングの上方に配設されたウェーハシート引
伸しリングと、このウェーハシート引伸しリングを上下
駆動させる上下駆動手段とを有し、前記上下駆動手段で
前記ウェーハシート引伸しリングを下降させて前記ウェ
ーハシートを引き伸ばすウェーハシート延伸機構を備え
たペレットピックアップ装置において、前記上下駆動手
段は、前記ウェーハシート引伸しリングが固定されたウ
ェーハシート引伸しリングホルダと、このウェーハシー
ト引伸しリングホルダの前記ウェーハシート固定リング
の中心に対して対称部分を挟持する２個のリングホルダ
上下動部材と、このリングホルダ上下動部材をそれぞれ
上下動させる２個の同期駆動される第１及び第２のモー
タとよりなり、前記第１及び第２のモータが同期回転し
たか否かを検出し、同期回転していない時は、同期ずれ
のエラー信号を出力する演算制御部を備えたことを特徴
とするペレットピックアップ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26349095A JP3180208B2 (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | ペレットピックアップ装置 |
| TW085103474A TW300313B (ja) | 1995-09-18 | 1996-03-22 | |
| KR1019960038177A KR100252414B1 (ko) | 1995-09-18 | 1996-09-04 | 펠릿픽업 장치 |
| US08/715,189 US5725728A (en) | 1995-09-18 | 1996-09-17 | Pellet pick-up device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26349095A JP3180208B2 (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | ペレットピックアップ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982783A JPH0982783A (ja) | 1997-03-28 |
| JP3180208B2 true JP3180208B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=17390248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26349095A Expired - Fee Related JP3180208B2 (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | ペレットピックアップ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5725728A (ja) |
| JP (1) | JP3180208B2 (ja) |
| KR (1) | KR100252414B1 (ja) |
| TW (1) | TW300313B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5951856A (en) * | 1995-10-17 | 1999-09-14 | Electronic Descaling 2000, Inc. | Water hardness reduction through interactive molecular agitation and filtration |
| US6139676A (en) * | 1997-08-14 | 2000-10-31 | Microchip Technology Incorporated | Apparatus and method for removing semiconductor chips from a diced semiconductor wafer |
| JP3662404B2 (ja) | 1997-11-19 | 2005-06-22 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ウエハシート引伸ばし装置およびそれを用いたペレットボンディング装置 |
| JP2000068296A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-03-03 | Nichiden Mach Ltd | ダイボンダ |
| US6248201B1 (en) * | 1999-05-14 | 2001-06-19 | Lucent Technologies, Inc. | Apparatus and method for chip processing |
| US6277711B1 (en) * | 2001-01-08 | 2001-08-21 | Jiahn-Chang Wu | Semiconductor matrix formation |
| US7023347B2 (en) * | 2002-08-02 | 2006-04-04 | Symbol Technologies, Inc. | Method and system for forming a die frame and for transferring dies therewith |
| US7102524B2 (en) * | 2002-08-02 | 2006-09-05 | Symbol Technologies, Inc. | Die frame apparatus and method of transferring dies therewith |
| US20050015970A1 (en) * | 2003-06-12 | 2005-01-27 | Matrics, Inc. | Method, system, and apparatus for transfer of dies using a pin plate |
| US20060012387A1 (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-19 | Symbol Technologies, Inc. | Systems and methods for testing radio frequency identification tags |
| JP4564832B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2010-10-20 | 株式会社ディスコ | 矩形基板の分割装置 |
| US20060225273A1 (en) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Symbol Technologies, Inc. | Transferring die(s) from an intermediate surface to a substrate |
| US20070107186A1 (en) * | 2005-11-04 | 2007-05-17 | Symbol Technologies, Inc. | Method and system for high volume transfer of dies to substrates |
| US20070131016A1 (en) * | 2005-12-13 | 2007-06-14 | Symbol Technologies, Inc. | Transferring die(s) from an intermediate surface to a substrate |
| US20070139057A1 (en) * | 2005-12-15 | 2007-06-21 | Symbol Technologies, Inc. | System and method for radio frequency identification tag direct connection test |
| US20070244657A1 (en) * | 2006-04-11 | 2007-10-18 | Drago Randall A | Methods and systems for testing radio frequency identification (RFID) tags having multiple antennas |
| JP4715814B2 (ja) * | 2007-07-03 | 2011-07-06 | パナソニック株式会社 | シート拡張装置およびシート拡張方法 |
| US7955041B2 (en) * | 2007-08-29 | 2011-06-07 | Texas Instruments Incorporated | Quick changeover apparatus and methods for wafer handling |
| JP2009124120A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-06-04 | Hitachi Chem Co Ltd | ピックアップ成功性の評価方法及びこれに用いられる評価装置 |
| JP2010165706A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Yaskawa Electric Corp | ウェハのアライメント装置 |
| US10361097B2 (en) | 2012-12-31 | 2019-07-23 | Globalwafers Co., Ltd. | Apparatus for stressing semiconductor substrates |
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|---|---|---|---|---|
| JPS59232435A (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-27 | Sony Corp | 半導体装置パツケ−ジの組立方法 |
| JPS61146712A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-04 | Asahi Chem Ind Co Ltd | チタン酸バリウムの製造法 |
| JPS61187247A (ja) * | 1985-02-14 | 1986-08-20 | Nec Kansai Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPS62106642A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-18 | Toshiba Seiki Kk | ウェハリングの供給・返送方法 |
| JPS6444018A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Sony Corp | Device for developing photoresist |
| JPH0353546A (ja) * | 1989-07-21 | 1991-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法およびその製造装置 |
| JPH04282853A (ja) * | 1991-03-11 | 1992-10-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の分割方法 |
| JPH0541451A (ja) * | 1991-08-06 | 1993-02-19 | Sony Corp | 半導体ウエハのペレタイズ方法と装置 |
-
1995
- 1995-09-18 JP JP26349095A patent/JP3180208B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-03-22 TW TW085103474A patent/TW300313B/zh active
- 1996-09-04 KR KR1019960038177A patent/KR100252414B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-09-17 US US08/715,189 patent/US5725728A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
| TW300313B (ja) | 1997-03-11 |
| US5725728A (en) | 1998-03-10 |
| KR100252414B1 (ko) | 2000-04-15 |
| JPH0982783A (ja) | 1997-03-28 |
| KR970018345A (ko) | 1997-04-30 |
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