JPH08504303A - 磁気抵抗デバイス及び斯種のデバイスを用いる磁気ヘッド - Google Patents
磁気抵抗デバイス及び斯種のデバイスを用いる磁気ヘッドInfo
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Abstract
(57)【要約】
磁気抵抗デバイスは、少なくとも1つの非強磁性材料製の介挿層によって相互離間される2つの強磁性材料層を具えており、これら強磁性材料層の少なくとも一方は半金属材料で構成し、好ましくは双方の強磁性層を主として半金属材料で構成する。
Description
【発明の詳細な説明】
磁気抵抗デバイス及び斯種のデバイスを用いる磁気ヘッド
本発明は、少なくとも1つの非磁性材料製の介挿層によって相互離間される2
つの強磁性材料層を具えている磁気抵抗デバイスに関するものである。
本発明は斯種のデバイスを用いる磁気ヘッドにも関するものである。
磁気抵抗は、適当な材料中の所定通路に沿って測定される電気抵抗値が、その
材料を横切る磁界の存在により影響される現象が認められるものである。従って
、斯様な現象は検証磁界の変化を材料内の対応する抵抗変化に変換するのに活用
して、その現象そのものを磁界センサ及び磁気ヘッドに応用することができる。
斯様な磁気ヘッドは磁気テープまたはディスクの如き磁気記録媒体へのデータ転
送及びそれからのデータ転送用に用いられる。
或る特定材料における所定通路に沿う磁気抵抗効果の大きさは次のような公式
によって表わされる。
ここにRL及びRSは、それぞれ所定温度にて可変磁界中で前記通路に沿って測
定され得る最大と最小の電気抵抗値である。MRの値は通常百分率で表わされ、
この値は上述したようなセンサ用途にとっては最大感度を達成し得るようにでき
るだけ大きくするのが好適である。
層構体における磁気抵抗効果は少なくとも2つの測定法を用いて調べることが
できる。その第1測定法は、磁気抵抗デバイスの各構成層の平面に対してほぼ平
行な方向に電圧勾配を印加する方法を用いてデバイスの電気抵抗値を測定する、
所謂電流を同一方法の平面に流す(Current In Plane(CIP))測定法である
。第2の測定法は、デバイスの構成層に対してほぼ垂直の方向に電圧勾配を印加
する方法を用いてデバイスの電気抵抗値を測定する、所謂電流を平面に対して垂
直に流す(Current Perpendicular to Plane(CPP))測定法である。所定の
デバイスの場合、一般にCPP測定法を用いて測定される磁気抵抗効果は、CI
P測定法を用いて測定されるものよりも3倍ほど大きい。これについては、例え
はPhys.Rev.Lett.70(1993)の第3343〜3346頁におけるGijS外1名による論
文に詳述されている。
冒頭にて述べた種類の3層構体は、この層構体の固有抵抗値が2つの強磁性材
料層の相対的な(正味の)磁化方位によって影響されることが認められる所謂ス
ピン−バルブ磁気抵抗効果を活用するのに好適である。この場合の層構体は、外
部磁界を用いて斯かる相対的な方位を簡単に変えられるように具体化するのが好
適である。このような例は次のような少なくとも3つの異なる方法にて達成する
ことができる。
(a)2つの強磁性層が非強磁性の介挿層を横切って反強磁性的に結合されて
、強磁性層の(正味の)磁化方向が外部磁界なしで互いに逆平行となるようにす
ることができる。この場合、一方の強磁性層の磁化方向に対して平行に印加する
磁界は、他方の強磁性層の磁化方向を反転させて、双方の磁化方向を互いに平行
にするのに用いることができる;
(b)一方の強磁性層が、付加的に存在する反強磁性バイアス層に対して交換
−バイアスされ(exchange-biased)、他方の強磁性層の磁化が外部磁界によっ
て前記交換バイアス層の磁化方向と逆平行か、平行のいずれかの方位態様に、独
立して向けられるようにすることができる;
(c)2つの強磁性層は著しく異なる磁気飽和保持力を有するように実現する
ことができる。これは、例えば各強磁性層の材料に濃度の異なる適当な異物を添
加することにより達成することができる。この場合、適当に選定した強度の磁界
を用いることにより、磁気飽和保持力の高い強磁性層における磁化方向を変えな
くても磁気飽和保持力の低い強磁性層の磁化を別方向に向けることができる。
冒頭にて述べた種類の磁気抵抗デバイスはMat.Sci.Lett.10(1991)の第82
7〜828頁におけるNakatani及びKitadaによる論文に説明されている。この従来の
デバイスでは、同一方向の平面にて磁化した2つの強磁性Fe層間に電気的に絶
縁性のAl2O3層を介挿しており、この組合わせ体の電気抵抗効果はCPP測定
法を用いて測定される。一方のFe層にはRuを1.7原子%ドープして、その
磁気飽和保持力を増大させるのに対し、他方のFe層の磁気飽和保持力は、
そのFeにCを2.0原子%ドープすることにより低減させる。従って、この場
合に得られる3層構体は上述したタイプ(c)のものである。ドープしたFe層
の各厚さは100nmであるが、介挿するAl2O3層の厚さは僅か10nmであ
る。このような薄い絶縁層は、これに境する導電性のFe層間におけるトンネル
障壁として作用する。換言するに、大量の層材料は絶縁体であっても、この層そ
のものの厚さは、統計的にかなりの数の電子がその層を横切って通過するのに十
分な薄さである。
斯かる従来の3層デバイスのCPPによる電気固有抵抗値は、2つのドープす
るFe層の正味の磁化方向が互いに平行である場合には最小となり、又これら2
つの磁化方向が逆平行である場合には最大となる。このようなスピン依存性のト
ンネル作用についてはPhy.Rev.B39(1989)の第6995〜7002頁にSlonczewskiが
詳細に説明しており、ここでは3層のCPP測定法によるコンダクタンス(G)
がほぼ次式の関係を満足すると結論付けている(第7000頁の式(6.1))。
G=Go (1+εcosθ)
ここに、Go及びεは定数(ε<1)であり、θは2つの強磁性層の(正味の
)磁化ベクトル間の同一方向平面角度である。従って、互いに平行な磁化態様の
3層のコンダクタンスと、互いに逆平行の磁化態様の3層のコンダクタンスとの
僅かな差は2εとなる。
従来のデバイスの基礎を成しているスピン依存性のトンネル効果の欠点は、ε
の値が一般に極めて小さいということにある。従って、この従来デバイスにおけ
る常温でのCPP測定法による磁気抵抗効果は約1.0%にすぎない。このよう
な低い値は従来のデバイスを用いる電位磁界センサの感度を大いに制限している
。
他の従来のスピン−バルブ(spin valve)磁気抵抗デバイスは米国特許US5,13
4,533に記載されており、この場合には同一方向の平面内にあるFe,Co又は
Niの如き強磁性材料層をCr,V又はTiの如き導電性の非強磁性材料製の介
挿層を横切って反強磁性的に結合させて、前述したタイプ(a)の基本3層構体
を複数具える交互多層配置を形成している。この場合にも電気固有抵抗は、2つ
の強磁性層の正味の磁化方向が互いに平行な場合に最小値となり、又これら2つ
の磁化方向が逆平行の場合に最大値を呈する。
この第2の従来デバイスにおける磁気抵抗効果はスピン依存性の散乱現象によ
って生じ、この現象による伝導電子がデバイス内で散乱する度合は、強磁性層の
磁化方向に関連する伝導電子の真性スピンの方向によって決定される。このよう
な効果については、Phy.Rev.Lett.61(1988)の第2472〜2475頁にBailich外
1名が詳しく説明している。この場合の磁気抵抗効果の大きさも全く小さく、従
って、この第2の従来デバイスの常温でのCIPによる磁気抵抗効果は僅か約1
0%にずぎない。
本発明の目的は従来のデバイスで得られるよりも遥かに大きな磁気抵抗効果を
呈する磁気抵抗デバイスを提供することにある。
本発明の他の目的は、形状及び寸法が似ている従来のデバイスよりも遥かに大
きな電気抵抗を呈することができ、これにより従来のデバイスに比べて電力消費
量を低減する磁気抵抗デバイスを提供することにある。
本発明によれば、これらの目的及び他の目的を冒頭にて述べた種類の磁気抵抗
デバイスにて達成するに当り、前記強磁性材料層のうちの少なくとも一方を半金
属材料製としたことを特徴とする。
半金属材料の例としては、XをCu,Ni,Pt,Pd,Co又はFeの如き
元素とし、且つZをSb,Sn,In又はGaの如き元素とする組成物XMnZ
又はX2MnZを有する所謂ヒュースラー(Heusler)合金がある。半金属材料の
他の例としては、Fe3O4,CrO2及びKCrSe2がある。これらの例の材料
はいずれも強磁性である。斯種の材料は他に多数知られており、こうしたものも
本発明に適用する半金属材料と見なすことは云うまでもないことである。
強磁性金属内の伝導電子は2つの独立したスピン状態に類別することができ、
局部的な正味の磁化方向に対して平行な真性スピンを有するこれらの電子は“ス
ピン−アップ”電子と称され、又局部的な正味の磁化方向に対して逆平行の真性
スピンを有する電子は所謂“スピン−ダウン”原子と称される。半金属強磁性材
料の特殊なケースの場合に、バンド構体の計算値が、こうしたスピン−アップ状
態とスピン−ダウン状態との間で著しい不一致を呈する。一方のスピン状態の電
子に対するバンドはフェルミ準位を横切り、このフェルミ準位では非零状態が存
在し、従って斯様な電子は伝導電子として機能しうる。しかし、他のスピン状態
の電子に対するバンドはフェルミレベルに禁止エネルギー帯を有し、その付近の
状態の密度は零であり、従って、これらの電子は(低エネルギー)伝導電子とし
て機能することはできない。この結果、半金属材料は一方のスピン状態の電子に
対しては金属として作用するも、他方のスピン状態の電子に対しては半導体(絶
縁体)として作用する。即ち、半金属材料中の伝導電子は100%スピン分極さ
れる。
前節にて述べた現象に基いて、本発明による磁気抵抗デバイスに半金属を用い
ることにより実際上、前述した従来のデバイスに活用されているごく僅かなスピ
ン依存性の抵抗効果は莫大な大きさになる。
純粋な半金属強磁性材料製の2つの層を非強磁性材料製の介挿層によって分離
させる前記タイプ(a),(b)又は(c)の3層構体は、莫大なスピン−バル
ブ磁気抵抗効果を得るのに用いることができる。例えば、CPP測定法の場合に
:
(1)強磁性層の磁化ベクトルが互いに平行であれば、これら双方の層は所定
のスピン状態の電子に対して金属として作用する(Fe3O4の場合、例えばこれ
はスピン−ダウン状態である)。従って、この特別のスピン状態の電子は3つの
層全体をほぼ垂直方向に横切って進むが、これとは逆のスピン状態の電子はそう
はならない。前者の場合の電気抵抗は非強磁性の介挿層の厚さ及び材質によって
本来決定される。
(2)強磁性層の磁化ベクトルが互いに逆平行であれば、各スピン状態の電子
に対して、これら強磁性層の一方は金属として作用するが、他方は絶縁体として
作用することになる。従って、この場合にはどちらのスピン状態の電子も3層全
体をほぼ垂直方向に横切ることはできない。従って、測定される電気抵抗は本来
無限大の大きさとなる。
(3)統計的に、僅かな電子流は常に3層構体の磁化態様に無関係に3層構体
全体を突き抜けることかできる。さらに、介挿した非強磁性層にはスピン−フリ
ップ散乱事象も生じ、これにより少量の散乱原子のスピン状態が反転したりする
。3層構体における逆平行磁化態様の場合(上述した(2)の場合)に、一方の
強磁性層を既に横切った電子は、それがスピン−フリップを受ける場合には、第
2強磁性層も通過することができ、これにより少量の漏れ電流が生ずることにな
る。しかし、介挿する非強磁性層を相対的に薄くすることによって、斯様なスピ
ン−フリップの発生を最小限に抑えることができる。さらに、強磁性層を相対的
に厚くずることにより3層全体を突き抜けるトンネル事象を抑えることができる
。この場合の3層の磁気抵抗効果は本来100%である。
強磁性層全体を半金属材料で構成せずに、強磁性層を部分的にのみ半金属材料
で構成した場合には、観測される磁気抵抗効果の大きさはそれなりに低減した。
本発明による磁気抵抗デバイスの好適例では、双方の強磁性層を主として半金属
材料で構成する。ここに云う「主として」とは、強磁性層の全体を半金属材料で
構成するか、又は半金属材料に故意に加えられるか、元来存在する他の物質が比
較的少量存在してもかまわないと云うことを示す意味合いで用いているものと理
解されたい。例えば、強磁性層には、それらの磁化特性に故意に影響を及ぼすよ
うに、異物を種々様々少量添加することができる。特に、例えばNi,Co,M
n,Zn,Cu及びMgの如き異物を強磁性層に添加して、それらの磁気飽和保
磁力を変えるようにすることができる。この場合、2つの強磁性層の組成は勿論
同じとする必要はなく、異なる半金属材料で構成することができる。
本発明による3層構体を数個組合わせて、多層配置することができることは勿
論である。本発明による3層構体と従来の3層構体とを一緒に組み合わせること
もできる。さらに、基本の3層以外に、本発明による磁気抵抗デバイスには酸化
障壁、電気接点層、絶縁層、交換バイアス層等の如き追加層を設けることもでき
る。本発明による磁気抵抗デバイスは、連続する強磁性層間に1つ以上の非強磁
性の介挿層を設けるようにして実現することもできる。
本発明による磁気抵抗デバイスの好適例では、半金属材料を金属酸化物とする
。このような材料は、例えば酸化真空蒸着、酸化スパッタ堆積又は酸化レーザア
ブレーション(融蝕)堆積により堆積して、純粋な金属又は金属合金を酸化雰囲
気中にて蒸発、スパッタ又は融蝕させるのに好適である。このカテゴリにおける
特に有利な金属酸化物はFe3O4,CrO2及びその混合物である。これらの材
料は通常存在する元素の酸化物であり、且つFe,Cr又はFeCr合金を蒸
発、スパタリング又は融蝕することにより堆積することができる。
本発明による磁気抵抗デバイスの特に好適例では、非強磁性材料を電気絶縁体
とする。なお、ここで用いている“絶縁体”とは大量の非磁性材料が非導体の電
気抵抗特性を呈するも、十分に薄い層で実現した場合には、それにも拘らずトン
ネリング電子が(層に対してほぼ垂直の方向に)比較的簡単に通り抜けることが
できるようなものを意味するものとする。このような絶縁体は常温で0.01Ω
m以上の電気抵抗を呈するようにするのが好適であり、又これは厚さが0.5〜
10nmの層に形成するのが好適である。この目的に好適な電気絶縁体の例には
、数ある多数の中でGdO,MgO,MgAl2O4及びSrTiO3がある。
斯種のデバイスは非強磁性のトンネル障壁の片側を占めている電子状態から障
壁の反対側における利用可能な(空の)電子状態に至るトンネルプロセスを活用
する。障壁が十分薄い場合には、一方の強磁性層から隣の強磁性層への電子の転
送が、これら2つの層内の電子状態によるだけで決定され、これは介挿する障壁
そのものには本来無関係である。このような独立性は、介挿する非強磁性材料が
(例えば、Cu,Au,Cr,LiTi2O4の如き)導体である場合には必ずし
もそのようにはならない。しかし、強磁性層と非強磁性の介挿導体層の材料を適
当に整合させれば、このような導体層を具えている本発明によるデバイスでも磁
気抵抗効果を極めて大きくすることができる。図面の簡単な説明
図1及び図2は本発明による磁気抵抗デバイスの一部を示す断面図;
図3及び図4は本発明による磁気抵抗デバイスの他の例の一部を示す断面図;
図5は本発明による磁気抵抗デバイスを用いる磁気ヘッドの一部を示す斜視図
である。第1実施例
図1及び図2は本発明による磁気抵抗デバイス1の一例を、このデバイスの構
成層に対して垂直に切った断面の一部を示す。これら両図面にて、同一部分を示
すものには同じ参照符号を付して示してある。
先ず、MgOの基板3の上に電気的に絶縁性のNiO反強磁性バイアス層5を
設ける。次いでこのバイアス層5の上に3層構体7を位置させる。この3層構体
7は薄い電気的に絶縁性の非強磁性GaO層13により離間される2つの電気的
に導電性の半金属強磁性Fe3O3層9,11で構成する。Fe3O4層9はNiO
層5に対して交換−バイアスされるため、3層構体7は前記タイプ(b)のもの
である。層9及び11の各磁化方向M9及びM11は同一方向の平面内にある。C
PP測定法を用いて3層構体7の電気抵抗値を測定するように、図示の3層構体
7を横切ってほぼ垂直方向に電圧勾配Vをかける。両図には(それぞれ)逆向き
のスピン19,21を有している2つの電子15,17も示してある。
図1は外部磁界をなくした場合に観察される平行な磁化態様を示し、この場合
には磁化方向M9及びM11が同一方向を向いている。この磁化態様では層構体7
が次の理由から導体として作用する。
電子15のスピン19はM9及びM11の双方に対して平行である(スピン−ア
ップ状態)から、層9及び11は双方共にこの電子に対しては電気絶縁体として
作用する。しかし、電子17のスピン21はM9及びM11の双方に対して逆平行
である(スピン−ダウン状態)から、この電子に対しては層9及び11の双方が
導体として作用するため、電子17は障壁13を突き抜けて層9及び11に対し
てほぼ垂直の方向に層構体7全体を通過することができる。この場合における層
構体7のCPP電気抵抗値は低く、例えば10〜100Ωである。
図2では、適当な外部磁界HをM9に対して逆平行に印加した。この外部磁界
HはM9の方向を変えないで、M11の方向を反転させるのに十分な強度とする。
こうすることにより、層9及び11を逆平行磁化態様にする。この状態では、層
構体7が次の理由からして電気絶縁体として作用する。
電子17は、この電子のスピン21がM9に対して逆平行(スピン−ダンウ状
態)であるから、層9内では伝導電子として存在することができる。従って、電
子17は層9に対してほぼ垂直の方向にこの層9を通過することができる。しか
し、電子17は、そのスピン21がM11に対して平行(スピン−アップ状態)で
あるから、層11内では伝導電子として作用することはできない。従って、層1
1は電子17に対しては電気絶縁体として作用する。この結果、電子17は層構
体7全体をほぼ垂直方向に通過することはできない。
上述したことと同様なことが電子15についても云え、この場合には層9が絶
縁体として作用し、層11が導体として作用するようになる。従って、この場合
には層構体7のCPP電気抵抗値が本来無限大となる。
本例におけるCPP磁気抵抗効果の大きさは実際上100%であった。第2実施例
図3及び図4は本発明による磁気抵抗デバイス2を、このデバイスの構成層に
対して垂直に切った断面の一部を示す。これら両図における同一一部分を示すも
のには同じ参照符号を付して示してある。
MgOの基板4には非強磁性MgOの薄い絶縁層12を介挿して交互に積み重
ねた半金属強磁性層8,10から成る多層構体6を設ける。層12は連続層8と
10との間のトンネル障壁として作用する。層8は本来純粋なFe3O4で構成す
るが、層10はCo0.012Fe2.988O4即ちCoで軽くドープしたFe3O4で構
成する。Fe3O4に斯様な量でCoを添加することによりFe3O4の磁化が著し
く軟化するため、層10は層8よりも磁気的に軟化する。従って、多層構体6は
前述したタイプ(c)の基本3層構体14を複数個積み重ねて構成される。層8
,10の磁化方向は同一方向の平面内にあり、これらの磁化方向をそれぞれ矢印
M8及びM10にて示してある。多層構体6の電気抵抗値はCPP測定法を用いて
測定される。
図3は外部磁界がなくて、磁化方向M8及びM10が互いに平行に整列する場合
の磁化態様を示す。この磁化態様の場合構体6は導体として作用する。
図4では、外部磁界H′を磁化方向M8に対して逆平行にかけてある。磁界H
′の大きさは、磁化方向M10が磁化M8と平行な方向に整列させられるも、磁化
M8の方向は元の方位を保持するような大きさとする。このような逆平行磁化態
様では、層構体6が絶縁体として作用する。
デバイス2のCPP磁気抵抗効果は実際上100%であった。第3実施例
図5は本発明による磁気抵抗デバイス33を電気接続部35と共に具えている
磁気ヘッド31の一部を示す概略斜視図である。この磁気ヘッド31は磁性材料
(フェライトの如き)又は上に磁性材料層(NiFeの如き)を堆積した非磁性
材料製の基板37も具えている。磁気ヘッド31はさらに、磁路を形成するよう
に磁気抵抗デバイス33及び基板37に対して位置付けられる磁束ガイド39,
41も具えている。基板37及び磁束ガイド41の端面43,45は磁気ヘッド
31のポール面の一部を成し、磁気ギャップ47はこれらの端面43と45との
間に位置する。
磁気テープ又はディスクの如き磁気媒体が端面43,45の前をこれらに接近
して通過する場合に、前記媒体に磁気的に記憶してある情報が上述した磁路に可
変磁束を発生し、この磁束は磁気抵抗デバイス33にも流れるようになる。磁気
抵抗デバイス33は斯かる可変磁束を電気的な抵抗変化に変換し、このような抵
抗変化は電気接続部35を介して測定することができる。
磁気ヘッドには電気コイルも設け、このコイルを磁気媒体に磁気情報を記録す
るのに用いることができる。第4実施例
本発明による磁気抵抗デバイスは磁界センサ(磁気ヘッドの如き)に利用でき
る以外に、電気スイッチとして及び特に電気的なリレーとして適用することもで
きる。このような用途では、磁気抵抗デバイスの電気的な作用を変えるために、
外部磁界をこの磁気抵抗デバイスに故意にかけるようにする。例えば、磁気抵抗
デバイスに(例えば電気コイルを経て)磁界を可制御に発生する手段を設け、次
いで斯様な磁界を所定の時間に呼出して、デバイスに流れる電流を制御するよう
にすることができる。特に、デバイスに接近して位置付けた(コイル、ループワ
イヤ、真直ぐなワイヤの如き)導体に適当な電流を流し、この通電により発生さ
れる磁界を用いて、デバイスの磁化態様を可制御的に変えることができ、従って
デバイスを高抵抗状態と低抵抗状態との間で切り換えることができる。このよう
な例におけるデバイスは電気的なリレーとして用いることができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.少なくとも1つの非磁性材料製の介挿層によって相互離間される2つの強磁 性材料層を具えている磁気抵抗デバイスにおいて、前記強磁性材料層のうちの少 なくとも一方を半金属材料製としたことを特徴とする磁気抵抗デバイス。 2.前記2つの強磁性材料層を主として半金属材料で構成したことを特徴とする 請求の範囲1に記載の磁気抵抗デバイス。 3.前記半金属材料を金属酸化物としたことを特徴とする請求の範囲1又は2に 記載の磁気抵抗デバイス。 4.前記半金属材料をFe3O4,CrO2によって形成される群及びその混合物 から選択したことを特徴とする請求の範囲3に記載の磁気抵抗デバイス。 5.前記非強磁性材料を電気絶縁体としたことを特徴とする請求の範囲1〜4の いずれか一項に記載の磁気抵抗デバイス。 6 請求の範囲1〜5のいずれか一項に記載の磁気抵抗デバイスを具えている磁 気ヘッド。 7.少なくとも1つの非磁性材料製の介挿層によって相互に離間される少なくと も2つの強磁性材料層を具えている物体の構成物において、前記強磁性材料層の 少なくとも1つを半金属材料製としたことを特徴とする物体構成物。
Applications Claiming Priority (3)
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---|---|---|---|
EP93202835.0 | 1993-10-06 | ||
EP93202835 | 1993-10-06 | ||
PCT/IB1994/000275 WO1995010123A1 (en) | 1993-10-06 | 1994-09-13 | Magneto-resistance device, and magnetic head employing such a device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7510707A Ceased JPH08504303A (ja) | 1993-10-06 | 1994-09-13 | 磁気抵抗デバイス及び斯種のデバイスを用いる磁気ヘッド |
Country Status (7)
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---|---|
US (1) | US6205008B1 (ja) |
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SG (1) | SG55066A1 (ja) |
WO (1) | WO1995010123A1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000340859A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果型ヘッド、及びメモリ−素子 |
US6806804B2 (en) | 2002-08-29 | 2004-10-19 | Alps Electronics Co., Ltd. | Magnetic detecting element having β-values selected for free magnetic layer and pinned magnetic layer |
US7158354B2 (en) | 2002-08-29 | 2007-01-02 | Alps Electric Co., Ltd. | Dual-type magnetic detecting element in which free magnetic layer and pinned magnetic layer have suitably selected β values |
US7336451B2 (en) | 2002-01-24 | 2008-02-26 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic sensing element containing half-metallic alloy |
US7466525B2 (en) | 2004-09-03 | 2008-12-16 | Tdk Corporation | Magnetic sensing element including laminated film composed of half-metal and NiFe alloy as free layer |
JP2012195560A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドスライダ、ヘッドジンバルアセンブリ及びハードディスクドライブ装置 |
Families Citing this family (64)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0675554A1 (en) * | 1994-03-24 | 1995-10-04 | Nec Corporation | Magnetoresistive effect element |
EP0725936A1 (en) * | 1994-08-28 | 1996-08-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic field detector device |
US7050329B2 (en) * | 1995-04-21 | 2006-05-23 | Johnson Mark B | Magnetic spin based memory with inductive write lines |
US6741494B2 (en) * | 1995-04-21 | 2004-05-25 | Mark B. Johnson | Magnetoelectronic memory element with inductively coupled write wires |
US5767673A (en) * | 1995-09-14 | 1998-06-16 | Lucent Technologies Inc. | Article comprising a manganite magnetoresistive element and magnetically soft material |
FR2743930B1 (fr) * | 1996-01-19 | 2000-04-07 | Fujitsu Ltd | Capteur magnetique pour lecture de supports d'enregistrement |
US5764567A (en) * | 1996-11-27 | 1998-06-09 | International Business Machines Corporation | Magnetic tunnel junction device with nonferromagnetic interface layer for improved magnetic field response |
US5650958A (en) * | 1996-03-18 | 1997-07-22 | International Business Machines Corporation | Magnetic tunnel junctions with controlled magnetic response |
US5640343A (en) * | 1996-03-18 | 1997-06-17 | International Business Machines Corporation | Magnetic memory array using magnetic tunnel junction devices in the memory cells |
US5835314A (en) * | 1996-04-17 | 1998-11-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Tunnel junction device for storage and switching of signals |
EP0843827A2 (en) * | 1996-06-12 | 1998-05-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A magneto-resistive magnetic field sensor |
US5729410A (en) * | 1996-11-27 | 1998-03-17 | International Business Machines Corporation | Magnetic tunnel junction device with longitudinal biasing |
US5801984A (en) * | 1996-11-27 | 1998-09-01 | International Business Machines Corporation | Magnetic tunnel junction device with ferromagnetic multilayer having fixed magnetic moment |
US5930087A (en) * | 1997-11-20 | 1999-07-27 | Hewlett-Packard Company | Robust recording head for near-contact operation |
US5936293A (en) * | 1998-01-23 | 1999-08-10 | International Business Machines Corporation | Hard/soft magnetic tunnel junction device with stable hard ferromagnetic layer |
FR2774774B1 (fr) * | 1998-02-11 | 2000-03-03 | Commissariat Energie Atomique | Magnetoresistance a effet tunnel et capteur magnetique utilisant une telle magnetoresistance |
US6005753A (en) * | 1998-05-29 | 1999-12-21 | International Business Machines Corporation | Magnetic tunnel junction magnetoresistive read head with longitudinal and transverse bias |
US6023395A (en) * | 1998-05-29 | 2000-02-08 | International Business Machines Corporation | Magnetic tunnel junction magnetoresistive sensor with in-stack biasing |
US6411478B1 (en) | 1999-02-11 | 2002-06-25 | Seagate Technology Llc | Spin tunnel junction recording heads using an edge junction structure with CIP |
US6833980B1 (en) * | 1999-05-10 | 2004-12-21 | Hitachi, Ltd. | Magnetoelectric device |
DE60019542T2 (de) * | 1999-07-22 | 2006-02-23 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Verfahren zur herstellung einer vorrichtung mit magnetischem tunnelkontakt |
US6643103B1 (en) * | 2000-01-05 | 2003-11-04 | Seagate Technology Llc | Very high linear resolution CPP differential dual spin valve magnetoresistive head |
US6721149B1 (en) * | 2000-02-11 | 2004-04-13 | Western Digital (Fremont), Inc. | Tunneling magnetoresistance spin-valve read sensor with LaNiO3 spacer |
JP3618654B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2005-02-09 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2002217030A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果磁気センサー及び磁気記録再生装置 |
US6693776B2 (en) * | 2001-03-08 | 2004-02-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Spin valve sensor with a spin filter and specular reflector layer |
US6661626B2 (en) | 2001-03-20 | 2003-12-09 | International Business Machines Corporation | Tunnel valve sensor having a pinned layer structure with an iron oxide (Fe3O4) layer |
JP2003031867A (ja) | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Hitachi Ltd | 酸化物磁性層と金属磁性膜を積層した磁気抵抗効果素子 |
US6731477B2 (en) | 2001-09-20 | 2004-05-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Current-perpendicular-to-plane spin-valve sensor with metallic oxide barrier layer and method of fabrication |
US6552554B1 (en) * | 2001-12-06 | 2003-04-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Testing current perpendicular to plane giant magnetoresistance multilayer devices |
US6747301B1 (en) | 2002-02-06 | 2004-06-08 | Western Digital (Fremont), Inc. | Spin dependent tunneling barriers formed with a magnetic alloy |
JP2003248909A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-05 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッド及びそれを備える磁気記録再生装置、並びに磁気メモリ |
AU2002367881A1 (en) | 2002-04-18 | 2003-11-03 | Seagate Technology Llc | Gmr spin valve structure using heusler alloy |
US7170721B2 (en) * | 2002-06-25 | 2007-01-30 | Quantum Corporation | Method of producing flux guides in magnetic recording heads |
US7428127B2 (en) * | 2002-12-24 | 2008-09-23 | Fujitsu Limited | CPP magnetoresistive effect element and magnetic storage device having a CPP magnetoresistive effect element |
JP4244312B2 (ja) * | 2003-10-02 | 2009-03-25 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
JP2005116701A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子 |
JP2005116703A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出素子 |
US7016168B2 (en) * | 2003-11-20 | 2006-03-21 | Headway Technologies, Inc. | Method of increasing CPP GMR in a spin valve structure |
US7352541B2 (en) * | 2004-04-30 | 2008-04-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | CPP GMR using Fe based synthetic free layer |
US7477490B2 (en) * | 2004-06-30 | 2009-01-13 | Seagate Technology Llc | Single sensor element that is naturally differentiated |
US7290325B2 (en) * | 2004-08-13 | 2007-11-06 | Quantum Corporation | Methods of manufacturing magnetic heads with reference and monitoring devices |
US7751154B2 (en) * | 2005-05-19 | 2010-07-06 | Quantum Corporation | Magnetic recording heads with bearing surface protections and methods of manufacture |
US7558028B2 (en) * | 2005-11-16 | 2009-07-07 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head with improved CPP sensor using Heusler alloys |
JP2007150183A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、および前記磁気抵抗効果素子の製造方法 |
JP4786331B2 (ja) | 2005-12-21 | 2011-10-05 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法 |
JP4514721B2 (ja) * | 2006-02-09 | 2010-07-28 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気記憶装置 |
JP2007299880A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子,および磁気抵抗効果素子の製造方法 |
US7672088B2 (en) * | 2006-06-21 | 2010-03-02 | Headway Technologies, Inc. | Heusler alloy with insertion layer to reduce the ordering temperature for CPP, TMR, MRAM, and other spintronics applications |
JP4490950B2 (ja) * | 2006-07-07 | 2010-06-30 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、及び磁気抵抗効果素子 |
JP4550777B2 (ja) | 2006-07-07 | 2010-09-22 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気記録再生装置及び磁気メモリ |
JP5044157B2 (ja) * | 2006-07-11 | 2012-10-10 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子,磁気ヘッド,および磁気再生装置 |
JP4388093B2 (ja) | 2007-03-27 | 2009-12-24 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気記録再生装置 |
JP2008252008A (ja) | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、およびその製造方法 |
JP2008311373A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Toshiba Corp | 磁性多層膜通電素子 |
US7881023B2 (en) * | 2008-01-24 | 2011-02-01 | Tdk Corporation | Magnetoresistive device of the CPP type, and magnetic disk system |
JP5361201B2 (ja) | 2008-01-30 | 2013-12-04 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法 |
JP5150284B2 (ja) | 2008-01-30 | 2013-02-20 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法 |
JP5039006B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2012-10-03 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 |
JP5032429B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2012-09-26 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 |
JP5032430B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2012-09-26 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 |
JP5039007B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2012-10-03 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録再生装置 |
JP2010080839A (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子の製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアセンブリおよび磁気記録再生装置 |
WO2010119928A1 (ja) * | 2009-04-16 | 2010-10-21 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 強磁性トンネル接合体とそれを用いた磁気抵抗効果素子並びにスピントロニクスデバイス |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60251682A (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-12 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果型素子 |
US4754354A (en) * | 1986-05-05 | 1988-06-28 | Eastman Kodak Company | Ferrite film insulating layer in a yoke-type magneto-resistive head |
DE3820475C1 (ja) * | 1988-06-16 | 1989-12-21 | Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich, De | |
FR2648942B1 (fr) * | 1989-06-27 | 1995-08-11 | Thomson Csf | Capteur a effet magnetoresistif |
US5206590A (en) * | 1990-12-11 | 1993-04-27 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor based on the spin valve effect |
JP2690623B2 (ja) * | 1991-02-04 | 1997-12-10 | 松下電器産業株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
US5159513A (en) * | 1991-02-08 | 1992-10-27 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor based on the spin valve effect |
US5304975A (en) * | 1991-10-23 | 1994-04-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetoresistance effect element and magnetoresistance effect sensor |
JP3253696B2 (ja) * | 1992-09-11 | 2002-02-04 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子 |
US5287238A (en) * | 1992-11-06 | 1994-02-15 | International Business Machines Corporation | Dual spin valve magnetoresistive sensor |
-
1994
- 1994-09-13 DE DE69407158T patent/DE69407158T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-09-13 WO PCT/IB1994/000275 patent/WO1995010123A1/en active IP Right Grant
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- 1994-09-13 KR KR1019950702273A patent/KR950704820A/ko active IP Right Grant
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-
1996
- 1996-05-16 US US08/649,909 patent/US6205008B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000340859A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果型ヘッド、及びメモリ−素子 |
US7336451B2 (en) | 2002-01-24 | 2008-02-26 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic sensing element containing half-metallic alloy |
US6806804B2 (en) | 2002-08-29 | 2004-10-19 | Alps Electronics Co., Ltd. | Magnetic detecting element having β-values selected for free magnetic layer and pinned magnetic layer |
US7158354B2 (en) | 2002-08-29 | 2007-01-02 | Alps Electric Co., Ltd. | Dual-type magnetic detecting element in which free magnetic layer and pinned magnetic layer have suitably selected β values |
US7466525B2 (en) | 2004-09-03 | 2008-12-16 | Tdk Corporation | Magnetic sensing element including laminated film composed of half-metal and NiFe alloy as free layer |
JP2012195560A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドスライダ、ヘッドジンバルアセンブリ及びハードディスクドライブ装置 |
US8498083B2 (en) | 2011-03-16 | 2013-07-30 | Tdk Corporation | Magneto-resistive effect element having spacer layer containing gallium oxide, partially oxidized copper |
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