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JPH06212427A - ディスク状のサブストレートを気密に挿入しかつ取り出すための装置 - Google Patents

ディスク状のサブストレートを気密に挿入しかつ取り出すための装置

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JPH06212427A
JPH06212427A JP5246825A JP24682593A JPH06212427A JP H06212427 A JPH06212427 A JP H06212427A JP 5246825 A JP5246825 A JP 5246825A JP 24682593 A JP24682593 A JP 24682593A JP H06212427 A JPH06212427 A JP H06212427A
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rotary
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 個々の駆動部材の運動を申し分なく互いに調
整でき、これによりサイクル時間が著しく減少されかつ
単位時間当たりのサブストレートにおける装置の生産性
が高められるように、装置を改良することにある。 【構成】 ディスク状のサブストレートを気密に真空
・コーティング室内に挿入しかつ真空・コーティング室
から取り出すための、及び、サブストレートを真空・コ
ーティング室内で搬送するための装置が、少なくとも１
つのローディング・アンローディングステーションと、
少なくとも１つのコーティングステーションと、少なく
とも１つの持上げ部材と、回転可能に支承された少なく
とも１つのサブストレート支持体とを有しており、この
場合、持上げ部材と、一方はサブストレート支持体及び
他方は駆動モータとの間に、周期的に持上げ運動並びに
回転運動を生ぜしめる伝動装置が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ディスク状のサブスト
レートを気密に真空・コーティング室内に挿入しかつ真
空・コーティング室から取り出すための、及び、サブス
トレートを真空・コーティング室内で搬送するための装
置であって、少なくとも１つのローディング・アンロー
ディングステーションと、少なくとも１つのコーティン
グステーションと、少なくとも１つの持上げ部材と、回
転可能に支承された少なくとも１つのサブストレート支
持体と、持上げ部材及びサブストレート支持体を操作す
るための駆動モータとを有している形式のものに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】真空・処理技術においては、特に薄膜技
術においてはサブストレート、例えばコンパクトディス
ク（ＣＤ）をコーティングすることは公知である。ディ
スク状のサブストレートはしばしばデジタル情報用の記
憶媒体として使用される。
【０００３】スパッタプロセスにおいては例えば圧刻さ
れたプラスチックディスクがアルミニウム層によって被
覆される。このために使用されるスパッタ・コーティン
グ装置はサブストレートを搬送するための回転ディスク
を有している。
【０００４】処理システムの緩衝装置からは旋回アーム
によってサブストレートが真空室内に搬送される。この
真空室内ではサブストレートは回転ディスクに載置され
かつこの回転ディスクによって真空室内の個々のステー
ションを介して搬送される。通常真空室内には少なくと
も２つのステーションが配置されている。このステーシ
ョンはローディング・アンローディングステーション、
並びに、コーティングステーションである。
【０００５】ドイツ連邦共和国特許出願公開第３７１６
４９８号明細書から既に、工作物表面を処理するため
に、ほぼ扁平な工作物を排気されたコーティング室内に
気密に挿入しかつこのコーティング室から取り出すため
の、及び、工作物をコーティング源の範囲に供給しかつ
この範囲から回収するための装置が公知である。
【０００６】更に、コーティング室内で二腕状のつかみ
工具が垂直な軸線を中心として回転可能に支承されてい
る、冒頭に述べた形式の装置が公知である（アメリカ合
衆国特許第３８７４５２５号明細書）。
【０００７】この二腕状のつかみ工具は直径方向で互い
に対置する端部にフォークを有していて、このフォーク
は駆動モータを有するラック駆動装置を介して垂直平面
内で互いに逆向きに運動可能である。
【０００８】更に、ドイツ連邦共和国特許第３９１２２
９５号明細書から、少なくとも１つのカソードステーシ
ョンとローディング・アンローディングステーションと
を有する、回転するサブストレート支持体を収容する真
空室内でサブストレートをコーティングするためのカソ
ード噴霧装置が公知であり、この場合、サブストレート
支持体は少なくとも１つの搬送パンから形成されてい
る。
【０００９】この搬送パンを回転運動させるために、単
数又は複数の搬送パンのためにカソード噴霧装置に対し
て中央に配置された駆動装置が設けられていて、この駆
動装置によって搬送パンは歩進的に所定の角度だけ真空
室内で引き続き搬送される。
【００１０】全ての上記公知の装置の欠点は、個々の運
動が個々の駆動部材によって実施されるということにあ
る。従って例えば真空室の手前に配置された旋回アーム
を昇降させるために並びに真空室内部でサブストレート
ディスクを昇降させるために、個々の空気力式シリンダ
が使用される。旋回アーム及び回転ディスクを回転運動
させるために例えば電動式の駆動装置が設けられてい
る。
【００１１】個々の運動を調整するために、多数の個々
の信号が必要であり、この信号は例えばシステムプログ
ラム化可能な制御装置を介して呼び出されかつ制御され
る。個々の信号を処理するために、駆動部材の運動が実
施されない適当なむだ時間が必要である。このことも矢
張りコーティングサイクルの全時間に不都合な作用を及
ぼす。
【００１２】記述の装置は大個数のサブストレートをコ
ーティングするためにのみ使用されかつ通常三層運転で
運転されるので、サイクル時間への影響は経済的に極め
て重要である。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、個々
の駆動部材の運動を申し分なく互いに調整でき、これに
よりサイクル時間が著しく減少されかつ単位時間当たり
のサブストレートにおける装置の生産性が高められるよ
うに、冒頭に述べた形式の装置を改良することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】前記課題は本発明によれ
ば、持上げ部材と、一方はサブストレート支持体及び他
方は駆動モータとの間に、周期的に持上げ運動並びに回
転運動を生ぜしめる伝動装置が設けられていることによ
って、解決された。
【００１５】
【発明の効果】このように個々の持上げロッド及びサブ
ストレート支持体を強制案内することによって有利に
は、例えばＳＰＳ（システムプログラム化可能な制御装
置）を介した個々の信号の検出及び処理は最早不要であ
る。
【００１６】冒頭に述べた装置の公知の構成のためにこ
れまで、全サイクル時間のために例えば３．３秒必要で
あった。本発明の構成によれば有利にはサイクル時間は
２．５秒に減少された。これによって、時間当たりサブ
ストレートにおいて測定して、サイクル時間がほぼ２５
％だけ改善されひいては生産性がほぼ３２％だけ高めら
れた。
【００１７】本発明の別の有利な構成はその他の請求項
に記載されている。
【００１８】
【実施例】対称的な旋回アーム１（第１図参照）は垂直
に配置された回転軸２によって伝動装置３に結合されて
いる。旋回アーム１の直径方向で対置する両端部にはデ
ィスク状のサブストレートホルダ４，５が設けられてい
る。旋回アーム１には、中央の回転軸７を中心として支
承された円形の回転ディスク６が接続されていて、この
回転ディスク６には３つのステーション８，９，１０が
対称的に配置されている。
【００１９】回転ディスク６に対するサブストレート５
の引渡し個所には気密な挿入・取出しステーション８が
設けられている。これに次いで回転ディスク６の回転方
向でコーティングステーション９及び放出ステーション
１０が接続されている。
【００２０】旋回アーム１（第２図参照）は、矢張り伝
動装置３内に係合する回転軸２の上端に固定されてい
る。円形ディスク状のサブストレートホルダ４，５は下
面に段状の旋削部を備えている。伝動装置３は底板１２
の一方の外側の端部に懸架されていて、この底板１２は
支柱１３，１４に載設されている。
【００２１】底板１２自体は種々の切欠きを備えてい
て、この切欠き内には例えば回転ディスク６が組み込ま
れている。コーティングステーション９においては遮蔽
体１５によって真空・コーティング室１６が制限されて
いて、この真空・コーティング室１６の中央には、コー
ティング過程の際にサブストレートの中央範囲をカバー
するマスク１７が設けられている。
【００２２】挿入・取出しステーション８においては、
サブストレートホルダの一方の半部は上側のストッパ位
置１８で図示されているのに対して、同じサブストレー
トホルダの第２の半部は下側の待機位置１９で図示され
ている。この場合位置変化は、垂直に配置された押し棒
２４に結合されているサブストレートディスク２２を昇
降させることによって行なわれる。
【００２３】挿入・取出しステーション８に類似してコ
ーティングステーション９内に比較可能な構成部材が設
けられている。この場合、サブストレートホルダの一方
の半部は下側の待機位置２０で図示されているのに対し
て、同じサブストレートホルダの第２の半部は上側のス
トッパ位置２１で図示されている。この場合にも矢張り
サブストレートディスク２３は可動な押し棒２５に結合
されている。
【００２４】両押し棒２４，２５は、保持体２９を介し
て電動機３０に結合されている伝動装置２８のケーシン
グ内に突入している。伝動装置２８内にはほぼ水平に支
承された軸３１が設けられていて、この軸の端部にはロ
ーラ３２が接続されている。
【００２５】ローラ３２は両端面に自体閉じられたそれ
ぞれ１つの溝３３，３４を備えていて、カム状のしかも
非円形の経過を有している。ローラ３２の円筒状の周面
には環状の螺旋状の溝３５が設けられている。
【００２６】両押し棒２４，２５の下端には半径方向
で、溝３３，３４内で案内されるピン２６，２７が設け
られている。ローラ３２の回転軸線に対する両溝３３，
３４の半径方向間隔が変化することによって、押し棒２
４，２５は軸方向で昇降させられる。
【００２７】回転ディスク６の回転軸７の下側の端面側
の端部には偏心的にピン３６が設けられていて、このピ
ン３６はローラ３２の周面の溝３５内に係合しひいては
ピッチ角だけ回転ディスク６及び回転軸７を周期的に回
転させる。
【図面の簡単な説明】
【図１】２つのサブストレートホルダを備えた旋回アー
ム及び３つのサブストレートステーションを備えた回転
ディスクの平面図。
【図２】ほぼ旋回アームを制御するための伝動装置並び
にサブストレートディスク及び所属の駆動装置を備えた
回転ディスクを示した、第１図Ｘ−Ｘ線に沿った断面
図。
【符号の説明】
１ 旋回アーム ２，７ 回転軸 ３，２８ 伝動装置 ４，５ サブストレートホルダ ６ 回転ディスク ８ 挿入・取出しステーション ９ コーティングステーション １０ 放出ステーション １２ 底板 １３，１４ 支柱 １５ 遮蔽体 １６ 真空・コーティング室 １７ マスク １８，２１ ストッパ位置 １９，２０ 待機位置 ２２，２３ サブストレートディスク ２４，２５ 押し棒 ２６，２７，３６ ピン ２９ 保持体 ３０ 電動機 ３１ 軸 ３２ ローラ ３３，３４，３５ 溝

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ディスク状のサブストレートを気密に真
    空・コーティング室内に挿入しかつ真空・コーティング
    室から取り出すための、及び、サブストレートを真空・
    コーティング室内で搬送するための装置であって、少な
    くとも１つのローディング・アンローディングステーシ
    ョンと、少なくとも１つのコーティングステーション
    （９）と、少なくとも１つの持上げ部材と、回転可能に
    支承された少なくとも１つのサブストレート支持体と、
    持上げ部材及びサブストレート支持体を操作するための
    駆動モータとを有している形式のものにおいて、持上げ
    部材と、一方はサブストレート支持体及び他方は駆動モ
    ータとの間に、周期的に持上げ運動並びに回転運動を生
    ぜしめる伝動装置（３，２８）が設けられていることを
    特徴とする、ディスク状のサブストレートを気密に挿入
    しかつ取り出すための装置。
  2. 【請求項２】 駆動モータが電動機（３０）として構成
    されている、請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】 伝動装置（３，２８）が機械的な伝動装
    置として構成されている、請求項１記載の装置。
  4. 【請求項４】 持上げ部材が押し棒（２４，２５）とし
    て構成されている、請求項１記載の装置。
  5. 【請求項５】 サブストレート支持体が旋回アーム
    （１）又は回転ディスクとして構成されている、請求項
    １記載の装置。
  6. 【請求項６】 伝動装置（３，２８）が円筒状のローラ
    （３２）を有するカム伝動装置として構成されている、
    請求項１記載の装置。
  7. 【請求項７】 ローラ（３２）の端面に自体閉じられた
    溝（３３，３４）が設けられていて、かつ、押し棒（２
    ４，２５）の一端に、前記溝（３３，３４）内で案内さ
    れる案内部材、有利にはピン（２６，２７）が設けられ
    ている、請求項６記載の装置。
  8. 【請求項８】 ローラ（３２）の円筒状の周面に環状
    の、有利には螺旋状の溝（３５）が設けられていて、か
    つ、回転ディスク（６）の回転軸（７）に、前記溝（３
    ５）内で案内される案内部材、有利にはピン（３６）が
    設けられている、請求項６記載の装置。
  9. 【請求項９】 定置の回転軸（７）を中心として回転可
    能な回転ディスク（６）がコーティング室内に配置され
    ている、請求項１記載の装置。
  10. 【請求項１０】 回転ディスク（６）が少なくとも２つ
    の切欠きを備えていて、この切欠き内にサブストレート
    を昇降させるためにサブストレートディスク（２２，２
    ３）が保持されかつ案内されている、請求項９記載の装
    置。
  11. 【請求項１１】 サブストレートディスク（２２，２
    ３）がそれぞれ１つの押し棒（２４，２５）に結合され
    ている、請求項１０記載の装置。
  12. 【請求項１２】 押し棒（２４，２５）及び回転軸
    （７）が、コーティング室（１６）の下側に配置された
    伝動装置（２８）に結合されている、請求項１１記載の
    装置。
  13. 【請求項１３】 旋回アーム（１）がコーティング室
    （１６）の外側に配置されていてかつ伝動装置（３）に
    結合されている、請求項５記載の装置。
  14. 【請求項１４】 旋回アーム（３）が持上げ運動及び回
    転運動を実施できるように、旋回アーム（３）が伝動装
    置（３）と協働している、請求項１３記載の装置。
JP5246825A 1992-10-01 1993-10-01 ディスク状のサブストレ―トを気密に挿入しかつ取り出すための装置 Expired - Fee Related JP2531925B2 (ja)

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DE4232959.0 1992-10-01
DE4232959A DE4232959C2 (de) 1992-10-01 1992-10-01 Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen scheibenförmiger Substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06212427A true JPH06212427A (ja) 1994-08-02
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US (1) US5407314A (ja)
EP (1) EP0590243B1 (ja)
JP (1) JP2531925B2 (ja)
DE (2) DE4232959C2 (ja)

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