JP4518911B2 - 非接触式回転角度検出センサ - Google Patents
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Description
このような非接触式回転角度検出センサの従来例として、例えば特表平5−505883号公報に開示されたものがある。
この従来例では、図7の(a)に示すように、半円に分割したリング状永久磁石100を直径方向にN、Sの2極となるように不図示のロータに固定する一方、永久磁石の外周に対して所定の間隙を設けた外側ヨーク110で囲み、外側ヨークに設けたギャップにホール素子105を配置している。外側ヨーク110の断面は矩形で、その幅、軸方向高さはそれぞれ周方向に一定である。
これにより、理論的にはホール素子105の出力の変化からロータ(リング状永久磁石100)の回転角度を求めることができる。
図7の(a)におけるA、B、・・、Eは、リング状永久磁石100の回転に伴う磁束のホール素子105通過量の変化を示す。(b)は回転角度に対するホール素子105の出力を示し、線上のA、B、・・、Eは(a)におけるリング状永久磁石100の各回転角度位置に対応する。
これは、所定範囲を外れるほどホール素子105を通過する磁束の量が多くなり、その中での磁束の変化割合が相対的に小さくなることに起因していると思われる。
この対策としては、外側ヨークのリング形状を楕円形にするとか、外側ヨークと永久磁石との間隔を変化させることが考えられるが、これは理論上であって、現実には、製造上のバラツキや製品における機械的なガタツキを考慮すると、車両用などに大量生産する場合に適用することは技術的に困難である。
また、リング状永久磁石として異方性磁石を使用する例も多いが、価格が高いうえに加工性にも乏しいという問題がある。
図1は実施の形態の外観を示し、(a)は軸方向から見た上面図、(b)は(a)におけるA−A矢視図、(c)は(a)におけるB−B矢視図である。図2は図1の(a)におけるC−C部断面図である。図3は全体を一部分解して示す斜視図である。
検出対象の回転体としての図示しないシャフトに取り付けられるロータ10は、外観が円柱状の本体部11と、本体部11の軸方向中間から径方向に延びるフランジ状の磁石保持部12とからなっている。本体部11はシャフトを通す貫通穴13を有しており、貫通穴13の断面はシャフトの取付け部断面に整合させた2面幅部を有して、シャフトの取付け部を挿通させた状態でロータ10がシャフトと一体に回転可能となっている。
この2つの磁石半円部16a、16bからなるリング状永久磁石15は支持ヨーク14の外周面に固定され、支持ヨーク14はロータの磁石保持部12の外周面に固定されている。本実施の形態では、リング状永久磁石15と支持ヨーク14の軸方向高さは、磁石保持部12の軸方向高さに合わせてある。
第1外側ヨーク30と第2外側ヨーク40は軸方向から見た平面形状が互いに同一で、それぞれ一定幅Wで各直径線上(周方向180°位置)で半円に分割され、分割された各ヨーク半円部30a(40a)、30b(40b)間の周方向対向面を切り落としてそれぞれ所定幅Gのギャップ32、42が2箇所ずつ設けられている。
第1外側ヨーク30と第2外側ヨーク40は軸方向から見たときそれぞれのギャップ42、32を一致させて、軸方向に互いに重ねられており、それぞれの内周面はリング状永久磁石15の外周面との間に一定の間隙Lsをおいて対向している。
第2外側ヨーク40の高さh4は第1外側ヨーク30の高さh3と補完関係にあり、第1外側ヨーク30の高さh3が大きい周方向位置では第2外側ヨーク40の高さh4は小さく、第1外側ヨークの高さh3が小さい位置では第2外側ヨークの高さh4は大きい。
第1外側ヨーク30の下面はリング状永久磁石15の下面と一致させてある。上記一定の間隙Lhを含めて、第1外側ヨーク30と第2外側ヨーク40を重ねた固定側ヨーク20の高さHyとリング状永久磁石15の高さHmは、
Hy>Hm
の関係に設定され、例えばリング状永久磁石15の高さHmは第1外側ヨーク30の最大高さと同じにしてあって、第1外側ヨーク30の内周面は周方向のすべての位置においてリング状永久磁石15の外周面の真正面に対向している。
第1外側ヨーク30のギャップ32の1つには、磁気感応素子としてホール素子25が設置されている。
実施の形態ではさらに第1外側ヨーク30の高さh3が周方向に変化していることにより、リング状永久磁石15の回転につれて第1外側ヨーク30を流れる磁束の量自体も変化する。そして、ギャップ32のホール素子25は第1外側ヨークのヨーク半円部30a、30bの対向面間に配置されているので、ホール素子25はこの磁束量自体の変化と先の磁束量の割合の変化とを受ける。
したがって、第1外側ヨーク30の周方向に変化する高さh3の値を実験測定により選択することにより、直線性の向上した出力が得られる。
高さh3の選択の具体的要領は、例えば図7の(b)における測定範囲両端の点Aと点Eを結ぶ直線(破線)を理想直線として、それより磁束密度がずれている分を減ずる方向に高さh3を減ずる形でその値を求める。
第1外側ヨーク30は2つのヨーク半円部30a、30bをそれぞれ幅(W)4mm、高さh3の最大部が円弧の両端で6mm、最小部が円弧の中央で1mmの凹形状とし、その両端を0.8mmずつ切り落としてギャップの幅(G)1.6mm、第2外側ヨーク40は2つのヨーク半円部40a、40bをそれぞれ幅4mm、高さの最大部が円弧の中央で6mm、最小部が円弧の両端で1mmの凸形状とし、その両端を0.8mmずつ切り落としてギャップの幅1.6mmとする。
また第1外側ヨーク30と第2外側ヨーク40間の間隙(Lh)を0.5mm、リング状永久磁石15の外周面(外径23mm)と固定側ヨーク20の内周面間の一定間隙(Ls)を全周1mmとした。
ここでは、全体として2極構造であるリング状永久磁石15のN極とS極を結ぶ線(各磁石半円部16a、16bの端同士の対向面を結ぶ線に対して直角の直径線)が第1外側ヨーク30のホール素子25を配置したギャップ32を通るときのリング状永久磁石15の位置を回転角度0°とし、図5の(a)に示すように、回転角度−42.5°〜42.5°を検出範囲とするとき、ホール素子25の出力電圧が0.5V(−42.5°)と4.5V(42.5°)を結ぶ線を理想直線としている。
図5の(b)は実施例による非直線性(理想直線に対する実際の出力値のズレ%FS)を示し、(c)は比較例における非直線性を示している。
また、リング状永久磁石15として安価で加工性のよい等方性磁石を用いることができるので、製品としてのコストを低くできるという利点を有する。
さらに、動く部分はロータ10を介してシャフトに取り付けられるリング状永久磁石15だけであるから、製品における機械的なガタツキの発生もない。
また、第1外側ヨーク30は、同一形状の2つのヨーク半円部30a、30bを円上に並べて構成され、ギャップ32は各ヨーク半円部の周方向対向面を切り落とすことにより、周方向180°の位置に2つが形成されるから、2つのホール素子等を配置することにより、同相あるいは逆相の信号出力を必要に応じて取り出せる。
また、第1外側ヨーク30と第2外側ヨーク40の軸方向において対向していない上下面はそれぞれ平坦面で、固定側ヨーク20の高さHyは周方向にわたり一定であるから、固定側への取り付けも容易で構造簡単である。
また、磁気感応素子としてホール素子をギャップに設置したが、磁気感応素子としてはそのほかリニア出力タイプのホールICや磁気抵抗素子など、適宜のものを選択できる。
11 本体部
12 磁石保持部
13 貫通穴
14 支持ヨーク
15 リング状永久磁石
16a、16b 磁石半円部
20 固定側ヨーク
25 ホール素子(磁気感応素子)
27 センサチップ
30 第1外側ヨーク(第1ヨーク)
30a、30b、40a、40b ヨーク半円部
31 カット部
32、42 ギャップ
40 第2外側ヨーク(第2ヨーク)
Claims (7)
- ロータと一体に回転可能で、直径線上で2つの半円部に分割され、一方の半円部は内周側をS極、外周側をN極とし、他方の半円部は内周側をN極、外周側をS極としたリング状永久磁石と、
軸方向に重ねられた第1ヨークと第2ヨークからなり、前記リング状永久磁石の外周面を一定間隙をおいて囲むリング状の固定側ヨークと、
前記第1ヨークのリング上に形成されたギャップに配置された磁気感応素子とを有し、
前記第1ヨークの軸方向高さを周方向にそって変化させてあることを特徴とする非接触式回転角度検出センサ。 - 前記リング状永久磁石は、前記一方の半円部と他方の半円部とを支持ヨークに支持されて前記ロータに固定されていることを特徴とする請求項1記載の非接触式回転角度検出センサ。
- 前記第1ヨークは、同一形状の2つのヨーク半円部を円上に並べて構成され、
前記ギャップは各ヨーク半円部の周方向対向面を切り落として形成され、周方向180°の位置に対向して設けてあることを特徴とする請求項1または2記載の非接触式回転角度検出センサ。 - 前記第2ヨークは、その平面形状が前記第1ヨークのヨーク半円部と同一の2つのヨーク半円部からなり、該2つのヨーク半円部間のギャップを第1ヨークの前記ギャップと合致させて前記第1ヨークに重ねてあることを特徴とする請求項3記載の非接触式回転角度検出センサ。
- 前記第1ヨークと第2ヨークの軸方向において対向していない面はそれぞれ平坦面で、固定側ヨークの高さは周方向一定であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1に記載の非接触式回転角度検出センサ。
- 前記第2ヨークの周方向にそった高さは、前記第1ヨークの高さが大きい周方向位置では小さく、前記第1ヨークの高さが小さい周方向位置では大きい関係にあり、第1ヨークと第2ヨークは一定間隙で重ねられていることを特徴とする請求項5記載の非接触式回転角度検出センサ。
- 前記リング状永久磁石の軸方向の高さは前記固定側ヨークの高さよりも小さく、
リング状永久磁石は軸方向において前記第2ヨーク側よりも第1ヨーク側に偏らせて配置していることを特徴とする請求項1から6のいずれか1に記載の非接触式回転角度検出センサ。
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Families Citing this family (23)
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---|---|---|---|---|
FR2893410B1 (fr) * | 2005-11-15 | 2008-12-05 | Moving Magnet Tech Mmt | Capteur de position angulaire magnetique pour une course allant jusqu'a 360 |
JP4696209B2 (ja) * | 2006-07-05 | 2011-06-08 | 多摩川精機株式会社 | 角度検出器 |
JP2009025182A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Niles Co Ltd | 非接触回転センサ |
JP4960209B2 (ja) * | 2007-12-11 | 2012-06-27 | ナイルス株式会社 | 非接触式回転角度検出センサ |
JP4385071B2 (ja) * | 2007-12-18 | 2009-12-16 | 三菱電機株式会社 | 非接触式回転角度検出装置及びその製造方法 |
TWI420071B (zh) * | 2008-06-27 | 2013-12-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 測量系統 |
JP5064315B2 (ja) * | 2008-07-01 | 2012-10-31 | ナイルス株式会社 | 回転角度センサ |
JP5105201B2 (ja) * | 2008-07-30 | 2012-12-26 | Tdk株式会社 | 角度検出装置、及び角度検出方法 |
JP5069210B2 (ja) * | 2008-12-15 | 2012-11-07 | 東京コスモス電機株式会社 | 回転角度センサ |
JP4941847B2 (ja) * | 2009-10-05 | 2012-05-30 | 株式会社デンソー | 回転角検出装置 |
JP5481236B2 (ja) | 2010-03-10 | 2014-04-23 | Ntn株式会社 | 電気自動車のモータ駆動システム |
JP2014035245A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Aisan Ind Co Ltd | 回転角センサの回転体 |
JP6297795B2 (ja) | 2013-06-24 | 2018-03-20 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 潤滑被膜用塗料組成物 |
CN103698720B (zh) * | 2013-12-24 | 2016-12-07 | 江西飞尚科技有限公司 | 一种开环磁通量传感器的磁通量检测方法 |
JP2015145816A (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-13 | アイシン精機株式会社 | 変位センサ |
CN104296820B (zh) * | 2014-09-16 | 2017-12-05 | 金卡智能集团股份有限公司 | 膜式燃气表采样计数机构 |
JP6494097B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-04-03 | 株式会社ケーヒン | 回転角度検出装置 |
US9759580B2 (en) * | 2015-08-27 | 2017-09-12 | Texas Instruments Incorporated | Position sensor |
DE102016212925A1 (de) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Permanentmagnet für eine Sensoranordnung zur Bestimmung einer Winkelposition des Permanentmagneten |
JP2018072022A (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-10 | クノールブレムゼ商用車システムジャパン株式会社 | 回転検出装置、ギアシフトユニット及びトランスミッションシステム |
KR102511691B1 (ko) | 2016-11-02 | 2023-03-17 | 클라크 이큅먼트 컴파니 | 리프트 암의 작동 영역을 정의하는 시스템 및 방법 |
CN113258741B (zh) * | 2021-04-22 | 2022-06-07 | 东南大学 | 基于线性霍尔的磁通切换电机转子角度检测方法和系统 |
CN116259212B (zh) * | 2023-05-12 | 2023-08-08 | 合肥威艾尔智能技术有限公司 | 一种非接触式磁感应模拟操纵台装置及线性校正方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05340711A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-21 | Canon Inc | 位置情報発生装置及び電磁駆動装置及びシャッタ駆動装置 |
JP2842482B2 (ja) * | 1990-12-05 | 1999-01-06 | ムーヴィング マグネット テクノロジィーズ エス.エイ. | ホール素子を有する磁気的位置および速度センサ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1297363A (ja) * | 1970-04-06 | 1972-11-22 | ||
FR2790549B1 (fr) * | 1999-03-03 | 2001-04-13 | Moving Magnet Tech | Capteur de position a sonde magneto-sensible et aimant encastre dans le fer |
US6323641B1 (en) * | 1999-05-13 | 2001-11-27 | Cts Corporation | Non-contacting position sensor with helical flux linkage |
DE10039216C2 (de) | 2000-08-11 | 2003-01-16 | Bosch Gmbh Robert | Messvorrichtung zur berührungslosen Erfassung eines Drehwinkels oder eines Weges |
US20040217757A1 (en) * | 2000-09-29 | 2004-11-04 | Tromblee Gerald A. | Linear position sensor |
JP4118755B2 (ja) | 2003-01-14 | 2008-07-16 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 回転角センサ及びこの回転角センサを具備した回転角検出装置 |
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2004
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2005
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