JP3459246B2 - 被覆研磨用品を作製する方法 - Google Patents
被覆研磨用品を作製する方法Info
- Publication number
- JP3459246B2 JP3459246B2 JP50455692A JP50455692A JP3459246B2 JP 3459246 B2 JP3459246 B2 JP 3459246B2 JP 50455692 A JP50455692 A JP 50455692A JP 50455692 A JP50455692 A JP 50455692A JP 3459246 B2 JP3459246 B2 JP 3459246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive
- article
- abrasive article
- binder
- coated abrasive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 101
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 65
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 47
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 19
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 6
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 claims description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 77
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 26
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 24
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 19
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 19
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 16
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 238000005065 mining Methods 0.000 description 8
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 8
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 6
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 6
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- -1 polyethylene acrylic acid Polymers 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 4
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 229920003180 amino resin Polymers 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical class 0.000 description 3
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 3
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 3
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 230000002688 persistence Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 150000003673 urethanes Chemical class 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 2
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
- DMYOHQBLOZMDLP-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-hydroxy-3-piperidin-1-ylpropoxy)phenyl]-3-phenylpropan-1-one Chemical compound C1CCCCN1CC(O)COC1=CC=CC=C1C(=O)CCC1=CC=CC=C1 DMYOHQBLOZMDLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000788 1018 steel Inorganic materials 0.000 description 1
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical group C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QLRRUWXMMVXORS-UHFFFAOYSA-N Augustine Natural products C12=CC=3OCOC=3C=C2CN2C3CC(OC)C4OC4C31CC2 QLRRUWXMMVXORS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000003332 Ilex aquifolium Nutrition 0.000 description 1
- 241000209027 Ilex aquifolium Species 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- 229920001079 Thiokol (polymer) Polymers 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 150000008062 acetophenones Chemical class 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 150000008366 benzophenones Chemical class 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N desyl alcohol Natural products C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000007516 diamond turning Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical class OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000009969 flowable effect Effects 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004356 hydroxy functional group Chemical group O* 0.000 description 1
- MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N iodonium Chemical compound [IH2+] MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 150000002832 nitroso derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001282 organosilanes Chemical class 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- WVIICGIFSIBFOG-UHFFFAOYSA-N pyrylium Chemical class C1=CC=[O+]C=C1 WVIICGIFSIBFOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004053 quinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N urea group Chemical group NC(=O)N XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/001—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as supporting member
- B24D3/002—Flexible supporting members, e.g. paper, woven, plastic materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
- B24D3/20—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially organic
- B24D3/28—Resins or natural or synthetic macromolecular compounds
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
料を有する研磨用品を作製する方法に関する。
要な問題は、ローディングおよび製品の持続性である。
ローディングは、研磨グレイン間の空間が削りくず(す
なわち、研磨されているワークピースから除去された材
料)で満たされ、それが盛り上がることにより引き起こ
される問題である。たとえば、木材にヤスリがけする場
合は、オガクズの粒子が研磨グレインの間に止どまり、
そのことにより研磨グレインのカット能力が低下し、木
材ワークピースの表面の焼けの可能性が生じる。
材料および樹脂状接着剤により裏材料に接合された複数
の研磨グレインを有する研磨材が開示されている。製造
中において、樹脂状接着剤が硬化される前には、研磨用
品はパターンを有する加熱されたモールド中に位置させ
られる。逆のパターンが裏材料に転写される。
の上に研磨被覆を有する繊維状裏材料を有する研磨用品
が開示されている。研磨被覆はバインダー中に埋め込ま
れた研磨粒子を有する。バインダーが硬化されない場合
は、研磨被覆は複数のリッジ(ridges)を有する圧力ダ
イで処理される。このことにより、垂直および水平方向
に矩形溝がエンボスされた研磨被覆となる。
接着剤で含浸された繊維状裏材料を有する研磨用品が開
示されている。この裏材料が連続リッジパターンで処理
された後に、接合系および研磨グレインが設けられる。
このことにより、研磨グレインの高および低リッジを有
する研磨用品が得られる。
料、裏材料上のエラストマー性材料の支持層、および支
持層に接着された研磨被覆を有する研磨用品が開示され
ている。研磨被覆はバインダーにわたって分散された研
磨グレインからなる。さらに、研磨被覆はパターンの形
状となりうる。
ーラジカル硬化性バインダーにわたって分散された研磨
グレインから形成された研磨コンポジットを有する研磨
ラッピング(lapping)用品が記載されている。また、
この特許はこの研磨コンポジットはロトグラビアロール
によりパターンに形成しうることを開示している。
ローディング性および製造に安価であるけれども、これ
らは高レベルの持続性に欠ける。研磨用品が従来の方法
で作製される場合は、接着剤またはバインダー系は硬化
前または硬化中に流動し得、そのことにより、製品の持
続性に悪影響を与える。
かつ安価な研磨用品が望まれている。
する。
たバインダー中に分散された複数の研磨グレインを有す
る研磨コンポジットを少なくとも一主要表面上に支持す
る裏材料を有する被覆研磨用品であって、該コンポジッ
トが少なくとも1種の予め定められた正確な形状を有
し、該コンポジットが非ランダムな配列で配置されてい
る被覆研磨用品を作製する方法を包含する。バインダー
は研磨グレインを分散するための媒体として機能し、こ
れは裏材料に研磨コンポジットを接合するためにも機能
する。研磨コンポジットは、たとえば、ピラミッド状の
ような正確な形状を有する。使用前には、コンポジット
中の個々の研磨グレインがかかるコンポジットの形状を
定める境界を越えて突出しないことが好ましい。与えら
れた形状の寸法は実質的に正確である。さらに、コンポ
ジットは非ランダムな配列で裏材料上に配置される。こ
の非ランダムな配列は一定の繰り返しを示しうる。配列
の繰り返しパターンはリニア形状またはマトリックスの
形状でありうる。
照射硬化性バインダー中に分散された複数の研磨グレイ
ンを有する複数の研磨コンポジットを少なくとも一主要
表面上に支持する裏材料を有する被覆研磨用品を作製す
る方法を包含する。それぞれの研磨コンポジットは正確
な形状を有し、複数のかかるコンポジットは非ランダム
な配列で配置されている。
を有する研磨用品を提供する。さらに、この持続性は優
れた性能を提供する。
被覆研磨用品の作製方法を提供する。 (1)照射硬化性バインダーと複数の研磨グレインとの
混合物を含むスラリーを製造用具上に導入する工程; (2)裏材料の片側をスラリーが濡らすように製造用具
の外側表面に裏材料を導入することにより、中間用品を
形成する工程; (3)該中間用品が製造用具の外側表面から分離する前
に照射硬化性バインダーを少なくとも一部硬化させるこ
とにより、被覆研磨用品を形成する工程;および (4)該被覆研磨用品を製造用具から除去する工程。
が被覆研磨用品の効率的な作製方法を提供する。いずれ
かの製造法の実施態様において、スラリーが製造用具に
導入された後に、スラリーは硬化またはゲル化の前に認
められる流動を示さない。
る被覆研磨用品を作製する方法を提供する。 (1)照射硬化性バインダーと複数の研磨グレインとの
混合物を含むスラリーを、このスラリーが裏材料の前側
を濡らすように裏材料上に導入することにより、中間用
品を形成する工程; (2)外側表面を有する製造用具であって該製造用具の
外側表面が特定のパターンを有するものに該中間用品を
導入する工程; (3)中間用品が製造用具の外側表面から分離する前に
少なくとも一部照射硬化性バインダーを硬化させること
により、被覆研磨用品を形成する工程;および (4)該製造用具から被覆研磨用品を除去する工程。
が被覆研磨用品を作製するための効率的な方法を提供す
る。いずれかの製造法の実施態様において、スラリーが
製造用具に導入された後に、このスラリーは硬化または
ゲル化前に認められる流動を示さない。
である。 図2は本発明の研磨用品を作製するための装置の模式
図である。 図3は本発明により得られる研磨用品の外観図であ
る。 図4はリニアな溝の配列を有する研磨用品の上面の30
倍の倍率で撮った走査電子顕微鏡写真である。 図5はリニアな溝の配列を有する被覆研磨用品の横面
の100倍の倍率で撮った走査電子顕微鏡写真である。 図6はピラミッド形状の配列を有する研磨用品の上面
を20倍の倍率で撮った走査電子顕微鏡写真である。 図7はピラミッド形状の配列を有する研磨用品の側面
を100倍の倍率で撮った走査電子顕微鏡写真である。 図8は鋸刃形状の配列を有する研磨用品を30倍の倍率
で撮った走査電子顕微鏡写真(上面)である。 図9は鋸刃形状の配列を有する研磨用品を30倍の倍率
で撮った走査電子顕微鏡写真(側面)である。 図10は本発明により得られる研磨用品の表面プロファ
イル試験由来のグラフである。 図11は従来技術により作製した研磨用品の表面プロフ
ァイル試験由来のグラフである。 図12はリニアな溝の配列のための前面模式図である。 図13はリニアな溝の配列のための前面模式図である。 図14はリニアな溝の配列のための前面模式図である。 図15は従来技術の研磨用品を20倍の倍率で撮った走査
電子顕微鏡写真の上面図である。 図16は従来技術の研磨用品を100倍の倍率で撮った電
子顕微鏡写真の上面図である。 図17は特定パターンの配列のための前面模式図であ
る。 図18は特定パターンの配列のための前面模式図であ
る。 図19は特定パターンの配列のための前面模式図であ
る。
する。ここで用いる「構造を有する研磨用品」と言う用
語は、複数の正確に成形された研磨コンポジットであっ
て、それぞれが、バインダー中に分散された研磨グレイ
ンを有するコンポジットが予め定められた正確な形状を
有し、これらが非ランダムな配列で裏材料上に配置され
ている研磨用品を意味する。
コンポジット14を支持する裏材料12を有する。研磨コン
ポジットはバインダー18中に分散された複数の研磨グレ
イン16を有する。この特定の実施態様において、バイン
ダーは研磨コンポジット14を裏材料12に接合する。研磨
コンポジットは視認できる正確な形状を有する。被覆研
磨用品が使用される前にその形状の平面15を越えて突出
していない研磨グレインを用いることが好ましい。表面
を研磨するために被覆研磨用品が用いられるにつれて、
このコンポジットは分解し、未使用の研磨グレインが現
れる。
ム、紙、布、金属フィルム、バルカンファイバー、不織
基材、これらの組み合わせおよびこれらの処理品が含ま
れる。裏材料は、ポリエステルフィルムのようなポリマ
ーフィルムであることが好ましい。いくつかの場合に、
裏材料は紫外線照射に対して透明であることが望まし
い。また、フィルムは、研磨コンポジットの裏材料に対
する接着を促進するためにポリエチレンアクリル酸のよ
うな材料で下塗りすることが好ましい。
ミネートされうる。たとえば、裏材料は、金属板のよう
なより堅いより剛性の基材にラミネートされることによ
り、剛性支持体上に支持された正確に成形された研磨コ
ンポジットを有する被覆研磨用品が提供される。
現は、研磨グレインと硬化性バインダーとの流動性混合
物の硬化性バインダーを、その混合物が裏材料上に支え
られ製造用具の表面上のキャビティーを満たしている間
に、硬化させることにより形成された研磨コンポジット
の形状をいう。予め定められた正確な形状に成形された
研磨コンポジットは、従って、キャビティーの形状と正
確に同一の形状を有する。かかる複数のコンポジットは
非ランダムパターンにおいて裏材料の表面から外側に突
出する三次元形状、すなわち、製造用具のパターンの裏
返し、を提供する。それぞれのコンポジットは、境界に
より定められ、その境界の底部は正確に成形されたコン
ポジットが接着されている裏材料との界面である。境界
の残りの部分は、コンポジットがその中で硬化される製
造用具の表面上のキャビティーにより定められる。コン
ポジットの外側表面の全体は、その形成中に、裏材料に
より又はキャビティーにより定められる。
剤またはフックおよびループ型取り付け装置を有し得、
そのことにより、この研磨用品はバックアップパッドに
固定されうる。この目的に適する感圧接着剤の例には、
ゴムベースの接着剤、アクリレートベースの接着剤およ
びシリコーンベースの接着剤が含まれる。
ー中に分散された複数の研磨グレインを含有するスラリ
ーから形成される。硬化またはゲル化において、研磨コ
ンポジットは固形化、すなわち予め定められた形状およ
び予め定められた配列に固定される。
くは約1〜約100μmの範囲でありうる。しばしば、狭
い粒子サイズの分散は、研磨されるワークピースにより
細かい仕上げを提供しうる研磨用品を提供する。本発明
に適する研磨グレインの例には、溶融酸化アルミニウ
ム、熱処理酸化アルミニウム、セラミック酸化アルミニ
ウム、シリコンカーバイド、アルミナジルコニア、ガー
ネット、ダイヤモンド、立方体窒化ボロン、およびこれ
らの混合物が含まれる。
体を提供する必要がある。好ましくは、このバインダー
は比較的迅速に硬化またはゲル化することにより研磨用
品を素早く製造可能とする。比較的速くゲル化するけれ
ども、完全硬化するのにより長時間を要するバインダー
もある。ゲル化は、硬化が始まるまでコンポジットの形
状を維持する。速く硬化するか、または速くゲル化する
バインダーにより高い持続性の研磨コンポジットを有す
る被覆研磨用品が得られる。本発明に好ましいバインダ
ーの例には、フェノール樹脂、アミノプラスト樹脂、ウ
レタン樹脂、エポキシ樹脂、アクリレート樹脂、アクリ
レート化イソシアヌレート樹脂、尿素−ホルムアルデヒ
ド樹脂、イソシアヌレート樹脂、アクリレート化ウレタ
ン樹脂、アクリレート化エポキシ樹脂、グルーおよびこ
れらの混合物が含まれる。バインダーは熱可塑性樹脂で
もよい。
線、紫外線照射または可視光照射のようなエネルギー源
により硬化またはゲル化を行いうる。
照射硬化性バインダーは照射エネルギーにより少なくと
も部分的に硬化されるか、または少なくとも部分的に重
合されうるいずれかのバインダーである。典型的には、
これらのバインダーはフリーラジカル機構により重合さ
れる。好ましくは、これらは、アクリレート化ウレタ
ン、アクリレート化エポキシ、垂れ下がったα,β−不
飽和カルボニル基を有するアミノプラスト誘導体、エチ
レン性不飽和化合物、少なくとも1個の垂れ下がったア
クリレート基を有するイソシアヌレート誘導体、少なく
とも1個の垂れ下がったアクリレート基を有するイソシ
アネート、およびこれらの混合物からなる群から選択さ
れる。
ート(NCO)伸張ポリエステルまたはポリエーテルのジ
アクリレートエステルである。市販されているアクリレ
ートウレタンの代表例には、モートン・チオコール社か
ら得られるユビタン782、およびラドキュア・スペシャ
ルティーズ社より得られるCMD6600、CMD8400およびCMD8
805が含まれる。アクリレート化エポキシは、ビスフェ
ノールAエポキシ樹脂のジアクリレートエステルのよう
なジアクリレートエステルである。市販されているアク
リレート化エポキシの例には、ラドキュア・スペシャル
ティーズ社より得られるCMD3500、CMD3600およびCMD370
0が挙げられる。アミノプラスト誘導体は少なくとも1.1
個の垂れ下がったα,β−不飽和カルボニル基を有し、
これらはここに参照として挙げる米国特許第4,903,440
号にさらに記載されている。
素、および必要に応じて、窒素およびハロゲンの原子を
含むモノマーまたはポリマー化合物が含まれる。一般
に、酸素および窒素原子はエーテル、エステル、ウレタ
ン、アミドおよび尿素基中に存在する。このような材料
の例は、すでにここに参照として挙げた米国特許第4,90
3,440号にさらに記載されている。少なくとも1個の垂
れ下がったアクリレート基を有するイソシアネート誘導
体およびイソシアヌレート誘導体は、ここに参照として
挙げる米国特許第4,652,274号に記載されている。上述
の接着剤はフリーラジカル重合機構により硬化する。
は、ここで参照として挙げる米国特許第4,318,766号に
記載の照射硬化性エポキシ樹脂が含まれる。この型の樹
脂は、好ましくは、紫外線照射により硬化される。この
エポキシ樹脂はヨードニウム光開始剤により開始される
カチオン重合機構により硬化される。
る。このような樹脂混合物の例は、ここに参照として挙
げる米国特許第4,751,138号に記載されている。
リーラジカル重合を開始させるために光開始剤を必要と
する。この目的に好ましい光開始剤の例には、有機パー
オキシド、アゾ化合物、キノン、ベンゾフェノン、ニト
ロソ化合物、アクリルハライド、ヒドラゾン、メルカプ
ト化合物、ピリリウム化合物、トリアクリルイミダゾー
ル、ビスイミダゾール、クロロアルキルトリアジン、ベ
ンゾインエーテル、ベンジルケタール、チオキサントン
およびアセトフェノン誘導体が含まれる。好ましい光開
始剤は2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニル−1−エタノ
ンである。
はフリーラジカル重合を開始させることが必要とされ
る。この目的のために好ましい光開始剤の例は、ここに
参照として挙げる米国特許第4,735,632号、第3欄、第2
5行から第4欄第10行、第5欄第1〜7行、第6欄第1
〜35行に記載されている。
に、1部のバインダーに対して約4〜1部の研磨グレイ
ン、好ましくは1部のバインダーに対して約3〜2部の
研磨グレインの範囲である。この割合は研磨グレインの
サイズおよび用いるバインダーの型に依存して変化す
る。
設けられる任意に被覆を有しうる。この被覆は研磨コン
ポジットを裏材料に接合する機能を果たす。この被覆は
コンポジットを調製するのに好ましいバインダー材料の
群から調製されうる。
ットは他の材料を含みうる。この材料は添加剤と呼ば
れ、カップリング剤、湿潤剤、染料、顔料、可塑剤、フ
ィラー、剥離剤、研磨補助剤およびこれらの混合物が含
まれる。コンポジットはカップリング剤を含むことが好
ましい。カップリング剤を添加することにより、研磨コ
ンポジットを形成するために用いるスラリーの被覆粘度
を著しく低下させうる。本発明に好ましいこのようなカ
ップリング剤の例には、有機シラン、ジルコアルミネー
トおよびチタネートが含まれる。カップリング剤の量
は、一般に、バインダーの5重量%未満、好ましくは1
重量%未満である。
形状を有し、これらは予め定められた配列で配置され
る。一般に、予め定められた形状は一定の周期で繰り返
される。この繰り返し形状は1方向的であるか、好まし
くは2方向的である。表面プロファイルは繰り返し形状
の再現性および持続性の指標である。表面プロファイル
は以下の試験により決定されうる。
ロメーター(東京精密社、日本、より市販のサーフコム
・プロファイロメーター)由来のプローブ(半径5μ
m)で研磨コンポジットをトラバースした。このプロー
ブは形状の配列に対して垂直に、かつ研磨用品の裏材料
の平面に対して平行にトラバースした。当然であるが、
プローブは研磨材の形状に接触する。プローブのトラバ
ース速度は0.3mm/秒である。データ分析機は、東京精密
社、日本、から得られるサーフライザー表面テクスチャ
分析計で行った。このデータ分析機は、プローブが研磨
用品のコンポジットをトラバースおよび接触するにつれ
て研磨コンポジットの形状のプロファイルをグラフ化す
る。本発明の場合は、グラフは繰り返し形状の一定の周
期的な特徴を示す。用品の一領域のグラフを用品の他の
領域のグラフと比較した場合に、出力の倍率および周波
数は本質的に同一である。このことは、ランダムなパタ
ーンではなく、すなわち、非常に明確で正確な繰り返し
パターンが存在することを意味する。
される。典型的には、研磨コンポジットは高い頂点(す
なわち、領域)と低い頂点(すなわち、領域)とを有す
る。データ分析機から得られる高い頂点値はそれぞれ10
%内であり、データ分析機から得られる低い頂点値はそ
れぞれ10%内である。
周期性は「a′」で示す距離である。高い頂点値距離は
「b′」のマークであり、低い頂点値距離は「c′」の
マークである。
る。たとえば、図1に示すように、研磨用品の断面試料
を撮る。ついで、この試料をホルダーに置き、試料を顕
微鏡で観察する。試料を見るために走査電子顕微鏡およ
び光学顕微鏡のいずれをも用いうる。ついで、ホルダー
中の試料の表面を従来のいずれかの方法により磨き、試
料を顕微鏡で見る場合に表面がきれいになるようにす
る。試料を顕微鏡で見、この試料のマイクロ写真を撮
る。ついで、このマイクロ写真をデジタル化する。この
工程中に、xおよびy座標に割り当てることにより、研
磨コンポジットの予め定められた形状および予め定めら
れた配列を地図化する。
る。第2試料は第1試料と同一平面を有しなければなら
ず、そのことにより、第2試料の配列および形状が第1
試料のそれらと同一のタイプであることを確実とする。
第2試料をデジタル化した場合に、2個の試料のxおよ
びy座標が10%を越えて異ならなければ、形状および配
列が予め定められたと結論しうる。座標が15%を越えて
異なる場合は、形状および配列はランダムであり、予め
定められていないと結論される。
り特徴づけられる研磨コンポジットにおいて、デジタル
化されたプロファイルは配列にわたって異なる。言い替
えると、頂点は外観において谷と異なる。したがって、
第2の試料が調製される場合に、第2試料の断面が第1
試料の断面と正確に対応するように、すなわち、頂点は
頂点に、谷は谷に対応するように注意する必要がある。
しかしながら、頂点または形状のそれぞれの領域は、頂
点または形状の他の領域と実質的に同一の幾何配置を有
する。したがって、頂点または形状の一領域におけるあ
るデジタル化されたプロファイルについて、頂点または
形状の他の領域における他のデジタル化したプロファイ
ルが第1領域と本質的に同一であることを見出しうる。
ど、ワークピースに研磨用品により付与される仕上げが
持続性となる。得られたプロファイルを有する研磨用品
は高レベルの持続性を有する。というのも、研磨コンポ
ジットの頂点の高さは通常10%を越えて変化しないから
である。
用品と比べていくつかの利点を示す。ある場合には、研
磨用品は、予め定められた配列により位置させた研磨コ
ンポジットを有さない研磨用品よりも長い寿命を有す
る。コンポジットの間の空間は削りくずを研磨用品から
逃がすための手段を提供し、そのことにより、ローディ
ングおよび使用中に生じる熱を減少させる。さらに、本
発明により得られる被覆研磨用品は表面において均一な
摩耗および均一なグラインド力を示しうる。研磨用品を
用いるにしたがって、研磨グレインは抜け落ち、新しい
研磨グレインが露出し、そのことにより、研磨用品は長
寿命、高く維持された研磨速度および製品の寿命にわた
る表面仕上げの持続を有する。
広範囲の形状および間隔にわたって変化しうる。図4お
よび5に、リニアな曲線溝を示す。図6および7に、ピ
ラミッド形状を示す。図8および9に、リニアな溝を示
す。図1に、同一寸法および形状の突出14、および3面
体プリズムエレメントから作製される構造表面を示す。
図3に、ステップ31およびランド32の連続を示す。
められる境界を有する。たとえば、図1では、平坦境界
は15の番号で示される。図3では、平坦境界は33の番号
で示される。好ましくは、研磨グレインは平坦境界の上
に突出しない。このような構成により、グラインドの削
りくずに起因するローディングの量が研磨用品において
低減されると考えられる。平坦境界を調節することによ
り、研磨コンポジットはより持続的に再生される。
る。コンポジットの領域密度、すなわち、単位面積当た
りのコンポジットの数、が変化すれば異なる特性が得ら
れる。たとえば、より高い領域密度はグラインディング
中においてより低いコンポジット当たりの単位圧を提供
し、そのことにより、より細かい表面仕上げを提供す
る。連続頂点の配列は、可撓性製品が得られるように配
置されうる。オフハンドグラインディング用途のような
中位の単位圧のためには、約0.3〜約1の範囲のアスペ
クト比の研磨コンポジットが好ましい。本発明の利点
は、隣接形状上の対応点間の最大距離が1mmを下回り、
特に0.5mmを下回りうることである。
調製されうる。まず、研磨グレインおよびバインダーを
含有するスラリーを製造用具に導入する。第2に、前側
および裏側を有する裏材料を製造用具の外側表面に導入
する。スラリーは裏材料の前側を濡らすことにより中間
用品を形成する。第3に、バインダーが少なくとも部分
的に硬化またはゲル化され、その後製造用具の外側表面
から中間用品が除去される。第4に、製造用具から被覆
研磨用品が除去される。好ましくは、4工程は連続的に
行なわれる。
ー100は圧力または重力により充填口102から製造用具10
4上に流れ、その中のキャビティ(非表示)中に満たさ
れる。スラリー100がキャビティを完全に満たさない場
合は、得られる被覆研磨用品は研磨コンポジットの表面
上および/または研磨コンポジットの内部にボイドまた
は微小な不完全部分を有する。製造用具にスラリーを導
入する他の方法にはダイ被覆および真空ドロップダイ被
覆が含まれる。
ることが好ましい。典型的には、40〜90℃の範囲の温度
に加熱される。スラリー100が加熱される場合は、それ
は製造用具104のキャビティ中により容易に流れ、その
ことにより、不完全部分が最低限となる。研磨スラリー
の粘度はいくつかの理由で精密に制御することが好まし
い。たとえば、粘度が高過ぎると研磨スラリーを製造用
具に導入することが困難となる。
ール上に装着されたスリーブまたはダイでありうる。製
造用具104は被覆ロールであることが好ましい。典型的
には、被覆ロールは24および45cmの間の直径を有し、金
属のような剛性材料で構成される。製造用具104が一旦
被覆装置上に装着されると、これは出力駆動モータによ
り駆動される。
形状の予め定められた配列を有する。これは本発明によ
り得られる用品の研磨コンポジットの予め定められた配
列および特定形状の逆(inverse)である。この方法の
ための製造用具は金属、たとえば、ニッケルから調製さ
れうるけれども、プラスチックの用具も用いうる。金属
製の製造用具は、彫り込み、ホビング(hobbing)、所
望の形状に機械加工された複数の金属部分を束として組
み立てること、または他の機械的手段、または電気的形
成により作製される。好ましい方法はダイヤモンド加工
(diamondo turning)である。このような技術は、ポリ
マー科学および技術百科、第8巻、ジョン・ワイレイ&
サンズ社、1968年、第651〜655頁、および米国特許第3,
689,346号、第7欄、第30〜55行にさらに記載されてお
り、これらすべてをここに参照として挙げる。
製造用具を複製しうる。金属用具と比較した場合のプラ
スチック用具の利点はコストである。ポリプロピレンの
ような熱可塑性樹脂は金属用具上でその溶融温度におい
てエンボス可能であり、金属用具の熱可塑性レプリカを
提供する。このプラスチックのレプリカも製造用具とし
て用いうる。
的には30〜140℃の範囲に加熱され、そのことにより、
より容易な処理および研磨用品の剥離を提供する。
いで、アイドラーロール110およびニップロール112を通
過することにより適当な張力を得る。ニップロール112
は、裏材料106をスラリー100に押しつけ、そのことによ
りスラリーを裏材料106に濡らしつけ、中間用品を形成
する。
化またはゲル化される。ここで用いられる「硬化」と言
う用語は固体状態に重合させることを意味する。「ゲル
化」はほぼ固体状に非常に粘性となることを意味する。
硬化またはゲル化の後に研磨コンポジットの被覆研磨用
品が製造用具104から分離した後は、研磨コンポジット
の特定形状は変化しない。ある場合には、まずバインダ
ーがゲル化され、ついで、中間用品が製造用具104から
除去されうる。ついで、バインダーがその後硬化され
る。寸法的な特徴が変化しないために、得られる被覆研
磨用品は非常に正確なパターンを有する。したがって、
被覆研磨用品は製造用具104の逆のレプリカ(inverse r
eplica)である。
紫外線照射または可視光照射のような他の照射エネルギ
ーのようなエネルギーを提供するエネルギー源114によ
り硬化またはゲル化される。用いるエネルギー源は、用
いられる特定の接着剤および裏材料に依存する。縮合硬
化性樹脂は熱、ラジオ周波数、マイクロ波または赤外線
照射により硬化されうる。
子線照射、紫外線照射または可視光照射により硬化され
うる。好ましくは、電子線照射は0.1〜10Mrad、より好
ましくは1〜6Mradの線量レベルを有する。紫外線照射
は200〜700nm、より好ましくは250〜400nmの範囲の波長
を有する非粒子照射である。可視照射は400〜800nm、よ
り好ましくは400〜550nmの間の範囲の波長を有する非粒
子照射である。紫外線照射が好ましい。一定のレベル照
射における硬化速度はバインダーの厚さ、ならびに密
度、温度および組成物の特性に依存して変化する。
ロール118を横切って巻き取りスタンド120に達する。研
磨コンポジットは裏材料に良好に接着する必要がある。
そうでなければ、コンポジットが製造用具104に残るこ
ととなる。被覆研磨用品116の剥離を増大させるため
に、製造用具104は、シリコーン材料のような剥離剤で
被覆されるか、それらを含有することが好ましい。
る用途に依存して、研磨用品は使用前に可撓化されるこ
とが好ましい場合もある。
第1に、バインダーと複数の研磨グレインとの混合物を
有するスラリーが前側および裏側を有する裏材料に導入
される。このスラリーは裏材料の前側を濡らし、中間用
品を形成する。第2に、中間用品が製造用具に導入され
る。第3に、中間用品が製造用具の外側面から分離する
前にバインダーが少なくとも部分的に硬化またはゲル化
され、研磨用品が形成される。第4に、研磨用品が製造
用具から除去される。好ましくは、この工程は連続的に
行なわれる。そのことにより、被覆研磨用品を調製する
ための効率的な方法が提供される。
にスラリーが製造用具にではなく裏材料に設けられる点
で異なる。たとえば、スラリーは巻き戻しステーション
108とアイドラロール110との間において裏材料に設けう
る。第2の方法の他の工程および条件は第1の方法と同
様である。製造用具の表面の特定の構成に依存して、第
1の方法の代わりに第2の方法を用いことが好ましい。
または真空ダイ被覆のような方法により裏材料の前側に
設けられうる。スラリーの重量は裏材料の張力およびニ
ップ圧およびスラリーの流速により調製されうる。
る。実施例におけるすべての重量はg/m2で与えられる。
以下の実施例のすべての割合は重量基準である。実施例
で用いる溶融アルミナは白色溶融アルミナである。
写テープを裏材料の裏側にラミネートした。ついで、被
覆研磨用品を直径2.54cmのファインセ−イットの商標の
バックアップパッド、ミネソタ・マイニング・アンド・
マニファクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタ
より市販されている、に押し付けた。ワークピースはウ
レタン下塗りを有する45cm×77cm金属板とした。このタ
イプのプライマーは自動車ペイント業界で通常用いられ
る。被覆研磨用品を用いて、手で、シート上を約三十
(30)2.54cm×22cmの位置を研磨した。作業者の手は前
後に移動しストロークを形成した。カット、すなわち、
除去されたプライマーのマイクロメーターにおける量を
100ストロークの後に測定した。エルコメーター・イン
スツルメント社、マンチェスタ、イングランド、より得
られるエルコメーター測定機で塗料の厚さを測定した。
仕上げ、すなわち、金属下塗り板の表面仕上げを10〜10
0ストロークの後に測定した。ローク・テイラー・ホブ
ソン社、ライチェスター、イングランド、より得られる
サートロニック3プロファイロメーター用いて仕上がり
(Ra)を測定した。Raはマイクロインチにおけるスクラ
ッチサイズの算術平均とした。
引き試験と同様にして湿潤押し引き試験を行った。
れる研磨用品の種々の形状および配列を説明する。これ
らの用品はバッチ法の手法により作製した。実施例1は
LP1配列を、実施例2はLP2配列を、実施例3はLP3配列
を、実施例4はLP4配列を、そして実施例5はCC配列を
説明する。
ッケル板とした。製造用具は従来の電子形成法により作
製した。裏材料は、フィルムを下塗りするためにCF4コ
ロナで処理したポリエステルフィルム(厚さ0.5mm)と
した。バインダーは、90%TMDIMA2/10%IBA/10%PH1接
着剤からなる。研磨グレインは溶融アルミナ(平均粒子
寸法40μm)とし、そしてスラリー中の研磨グレインと
バインダーとの重量比を1:1とした。このスラリーを製
造用具に塗布した。ついで、ポリエステルフィルムをス
ラリー上に設け、ゴムロールをポリエステルフィルム上
に通過させることにより、フィルムの表面をスラリーで
濡らした。ついで、スラリーを有する製造用具および裏
材料を紫外線に露出することにより接着剤を硬化させ
た。それぞれの試料の用品を、400ワット/インチにお
いて40フィート/分の速度で運転されるAETEK紫外線ラ
ンプに3回通過させた。ついで、それぞれの試料の用品
を製造用具から除去した。実施例1〜5の研磨用品を乾
燥押し引き試験および湿潤押し引き試験で試験した。乾
燥押し引き試験の結果を表1に、湿潤押し引き試験の結
果を表2に示す。図10に、実施例1の被覆研磨用品のた
めの表面プロファイル試験のアウトプットを示す。
製するのに用いたのと同様にして、実施例6の被覆研磨
用品を作製した。湿潤押し引き試験の結果を以下の表3
に示す。
ァクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタより市
販されているグレード600ウェットオアドライ・TRI−M
−ITE紙被覆研磨材料とした。
ァクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタより市
販されているグレード320ウェットオアドライ・TRI−M
−ITE紙被覆研磨材料とした。
atures)、すなわち、ポイントまたはリッジのいずれか
を有することがもっとも効果的であり、フラットな特徴
を有するこれらの形状はプライマーの除去において効果
的でないことがわかる。さらに、CC配列は静的に可撓性
(quiet flexible)であるがLP3配列は限られた可撓性
を示した。
性を有する。実施例6の用品を、改変乾燥押し引き試験
で試験した。その際に、1ストロークを前進または後退
の一方向における移動とした。結果を以下の表4に示
す。
を用いること以外は実施例1〜5の操作と同様にして、
実施例7〜11の被覆研磨用品を作製した。実施例7では
LP2配列を説明し、実施例8ではLP1配列を説明し、実施
例9ではCC配列を説明し、実施例10ではLP5配列を説明
し、そして実施例11ではLP3配列を説明する。これらの
実施例の研磨用品は湿潤押し引き試験で試験し、試験結
果を以下の表5に示す。
ニファクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタよ
り市販されているグレード600ウェットオアドライ・TRI
−M−ITEのウエイト紙とした。
ンを用いること以外は実施例1〜5に記載の方法と同様
にして、実施例12〜14の研磨用品を作製した。実施例12
ではLP3配列を、実施例13ではLP5配列を、実施例14では
CC配列を説明する。これらの実施例の研磨用品を乾燥押
し引き試験で試験した。結果を表6に示す。
ァクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタより市
販されているグレード320・ウェットオアドライ・TRI−
M−ITEのAウエイト紙とした。
粒子寸法を有する研磨用品(実施例3)と12μmの平均
粒子寸法を有する研磨用品(実施例11)との性能の比較
を示す。
イズよりもコンポジットの配列および形状により依存す
る。従来は、用いる研磨グレインのサイズはカットに著
しく影響すると考えられてきた。この現象は驚くべきこ
とであり、当業界で一般に考えられてきたのとは逆であ
る。
より得られる被覆研磨用品との性能を比較する。これら
の実施例の被覆研磨用品は連続法により作製され、カッ
トを除去されたプライマーのグラムにおける量とするこ
と以外は乾燥押し引き試験と同様にして試験した。さら
に、試験の終わりに表面仕上げをとり、RaおよびRTMの
両方をマイクロインチにおいて測定した。RTMは最も深
いスクラッチの秤量された平均測定とした。結果を表8
に示す。
のための被覆研磨用品を調製した。研磨グレインを含有
するスラリー100を製造用具104に充填口102から導入し
た。ついで、スラリー100が裏材料の表面を濡らし、中
間用品を形成するように、裏材料を製造用具104に導入
した。裏材料は圧力ロール112を用いてスラリー100に押
し付けた。スラリー100中のバインダーを硬化させるこ
とにより被覆研磨用品を形成した。ついで、製造用具10
4から被覆研磨用品を除去した。スラリーおよび裏材料
は実施例1で用いたのと同一の材料を用いた。バインダ
ーの温度を30℃、そして製造用具の温度を70℃とした。
硬化させるように紫外線ランプを位置させた。実施例15
では、製造用具はLP6配列を有するグラビアロールとし
た。実施例16では、製造用具はCC配列を有するグラビア
ロールとした。
た後にスラリーが硬化されるように紫外線ランプを位置
させた。したがって、中間用品の製造用具に残される時
と、接着剤が硬化またはゲル化される時との間に時間の
ズレが生じる。この遅れにより接着剤が流動し、コンポ
ジットの配列および形状が変化する。比較例Cにおい
て、製造用具はCC配列を有し、比較例Dにおいて製造用
具はLP6配列を有していた。
得られる被覆研磨用品における改良点は製造用具におけ
る硬化またはゲル化から得られる。この改良点は図6、
7、15および16の写真より容易に認められる。図15およ
び16は比較例Cのものであるが、図6および7は実施例
16のものである。図11に、比較例Dの被覆研磨用品の表
面プロファイル試験のアウトプットを示す。
もに高いカットを有するものである。本発明により得ら
れる研磨用品はこの基準を満足する。
明する。異なる接着剤を用いること以外は実施例1と同
様の方法により研磨用品を作製し試験した。スラリー中
の材料の重量比は実施例1と同一とした。実施例17のた
めの接着剤をTMDIMA2とし、実施例18のための接着剤をB
AMとし、実施例19のための接着剤をAMPとし、そして実
施例20のための接着剤をTATHEICとした。試験結果を以
下の表9に示す。比較例Aは、ミネソタ・マイニング・
アンド・マニファクチュアリング社、セント・ポール、
ミネソタより市販されているグレード600ウェットオア
ドライ・TRI−M−ITEのAウエイト紙とした。
方法で実施例21〜24の被覆研磨用品を作製した。実施例
21においては40μmの平均粒子サイズの溶融アルミナグ
レイン(100部)/TMDIMA2(90部)/IBA(10部)/PH1
(2部)からなる研磨スラリーを用い、実施例22では40
μmの平均粒子サイズの溶融アルミナグレイン(200
部)/TMDIMA2(90部)/IBA(10部)/PH1(2部)からな
る研磨スラリーを用い、実施例23では40μmの平均粒子
寸法の溶融アルミナグレイン(200部)/AMP(90部)/IB
A(10部)/PH1(2部)からなる研磨スラリーを用い、
そして実施例24では、40μmの平均粒子寸法の溶融アル
ミナグレイン(200部)/TATHEIC(90部)/IBA(10部)/
PH1(2部)からなる研磨スラリーを用いた。比較例E
は、ミネソタ・マイニング・アンド・マニファクチュア
リング社、セント・ポール、ミネソタより市販されてい
るグレード400ウェットオアドライ・TRI−M−ITEのA
ウエイト紙とした。
ーグ6AXラッピング装置で試験した。ワークピースは直
径7.5cmの円形に揃え、ホルダーにセットした直径1.2cm
の3個の1018スチールロッドとした。ラッピングは水を
用いないで行い、ワークピースへの通常の(鉛直の)負
荷は1kgとした。ワークピース駆動スピンドルを7.6cmに
オフセットした。ラップの中心からワークピース駆動ス
ピンドル回転を63.5rpmとした。ラップは65rpmで回転さ
せた。被覆研磨ディスクは二重被覆テープで研磨ホルダ
ーに装着した。累積カット量を測定するために、5、1
5、30および60分間隔で試験を中断した。試験結果を以
下の表10に示す。
カット速度が最大化され得、スクラッチ深さが最小化さ
れ得、そしてスクラッチパターンの均一性が最大化され
うる。
研磨用品のように負荷が大きくない。本発明により得ら
れる被覆研磨用品のコンポジットの均一な配列および形
状はその性能の増大に寄与する。
造の領域におけるガイダンスを提供するために、被覆研
磨用品のための以下の寸法を提供するものを包括的に図
12〜14、および包括的に17〜19に示す。寸法、すなわ
ち、インチまたはアーク(arc)の度、は以下の表11に
示す。
種々の変形および改変が当業者にとって明白であり、そ
して本発明はここに例示の限定的な説明のための実施態
様に限ると解されるべきではない。
Claims (12)
- 【請求項1】(1)照射硬化性バインダーと複数の研磨
グレインとの混合物を含むスラリーを製造用具上に導入
する工程; (2)裏材料の片側をスラリーが濡らすように製造用具
の外側表面に裏材料を導入することにより、中間用品を
形成する工程; (3)該中間用品が製造用具の外側表面から分離する前
に照射硬化性バインダーを少なくとも一部硬化させるこ
とにより、被覆研磨用品を形成する工程;および (4)該被覆研磨用品を製造用具から除去する工程; を包含する被覆研磨用品を作製する方法。 - 【請求項2】前記照射硬化性バインダーが可視光照射エ
ネルギーにより少なくとも一部硬化される請求項1記載
の方法。 - 【請求項3】前記製造用具がシリンダー形状である請求
項1記載の方法。 - 【請求項4】前記製造用具がベルトである請求項1記載
の方法。 - 【請求項5】前記バインダーが熱エネルギーにより一部
硬化される請求項1記載の方法。 - 【請求項6】製造用具から除去した後に被覆研磨用品を
完全に硬化させる工程をさらに包含する請求項1記載の
方法。 - 【請求項7】(1)照射硬化性バインダーと複数の研磨
グレインとの混合物を含むスラリーを、このスラリーが
裏材料の前側を濡らすように裏材料上に導入することに
より、中間用品を形成する工程; (2)外側表面を有する製造用具であって該製造用具の
外側表面が特定のパターンを有するものに該中間用品を
導入する工程; (3)中間用品が製造用具の外側表面から分離する前に
少なくとも一部照射硬化性バインダーを硬化させること
により、被覆研磨用品を形成する工程;および (4)該製造用具から被覆研磨用品を除去する工程; を包含する被覆研磨用品を作製する方法。 - 【請求項8】前記照射硬化性バインダーが可視光照射エ
ネルギーにより少なくとも一部硬化される請求項7記載
の方法。 - 【請求項9】前記製造用具がシリンダー形状である請求
項7記載の方法。 - 【請求項10】前記製造用具がベルトである請求項7記
載の方法。 - 【請求項11】前記バインダーが熱エネルギーにより硬
化される請求項7記載の方法。 - 【請求項12】製造用具から除去した後に被覆研磨用品
を完全に硬化させる工程をさらに包含する請求項7記載
の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US651,660 | 1991-02-06 | ||
US07651660 US5152917B1 (en) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | Structured abrasive article |
PCT/US1992/000305 WO1992013680A1 (en) | 1991-02-06 | 1992-01-07 | A structured abrasive article |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003173709A Division JP2004001221A (ja) | 1991-02-06 | 2003-06-18 | 構造を有する研摩用品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06505200A JPH06505200A (ja) | 1994-06-16 |
JP3459246B2 true JP3459246B2 (ja) | 2003-10-20 |
Family
ID=24613696
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50455692A Expired - Fee Related JP3459246B2 (ja) | 1991-02-06 | 1992-01-07 | 被覆研磨用品を作製する方法 |
JP2003173709A Pending JP2004001221A (ja) | 1991-02-06 | 2003-06-18 | 構造を有する研摩用品 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003173709A Pending JP2004001221A (ja) | 1991-02-06 | 2003-06-18 | 構造を有する研摩用品 |
Country Status (17)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5152917B1 (ja) |
EP (1) | EP0570457B1 (ja) |
JP (2) | JP3459246B2 (ja) |
CN (3) | CN1066087C (ja) |
AT (1) | ATE137154T1 (ja) |
AU (1) | AU661473B2 (ja) |
BR (1) | BR9205596A (ja) |
CA (1) | CA2100059C (ja) |
CZ (1) | CZ158193A3 (ja) |
DE (1) | DE69210221T2 (ja) |
ES (1) | ES2086731T3 (ja) |
HK (2) | HK1006688A1 (ja) |
HU (1) | HUT68648A (ja) |
MX (1) | MX9200306A (ja) |
RU (1) | RU2106238C1 (ja) |
SG (1) | SG73390A1 (ja) |
WO (1) | WO1992013680A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101101454B1 (ko) | 2003-09-23 | 2012-01-03 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 연마 물품용 조성물 |
Families Citing this family (543)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5213590A (en) * | 1989-12-20 | 1993-05-25 | Neff Charles E | Article and a method for producing an article having a high friction surface |
US5378251A (en) * | 1991-02-06 | 1995-01-03 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive articles and methods of making and using same |
US5380390B1 (en) * | 1991-06-10 | 1996-10-01 | Ultimate Abras Systems Inc | Patterned abrasive material and method |
US5437754A (en) | 1992-01-13 | 1995-08-01 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having precise lateral spacing between abrasive composite members |
US6022264A (en) * | 1997-02-10 | 2000-02-08 | Rodel Inc. | Polishing pad and methods relating thereto |
US6099394A (en) * | 1998-02-10 | 2000-08-08 | Rodel Holdings, Inc. | Polishing system having a multi-phase polishing substrate and methods relating thereto |
DE69315088T2 (de) * | 1992-12-17 | 1998-03-26 | Minnesota Mining & Mfg | Aufschlaemmungen mit reduzierter viskositaet, daraus hergestellte schleifgegenstaende und verfahren zur herstellung der gegenstaende |
US5342419A (en) * | 1992-12-31 | 1994-08-30 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive composites having a controlled rate of erosion, articles incorporating same, and methods of making and using same |
US5435816A (en) * | 1993-01-14 | 1995-07-25 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of making an abrasive article |
JPH08507257A (ja) * | 1993-03-12 | 1996-08-06 | ミネソタ・マイニング・アンド・マニュファクチュアリング・カンパニー | 石材を研磨する方法および物品 |
US6083445A (en) * | 1993-07-13 | 2000-07-04 | Jason, Inc. | Method of making a plateau honing tool |
CA2163761A1 (en) * | 1993-05-26 | 1994-12-08 | Michael V. Mucci | Method of providing a smooth surface on a substrate |
EP0938951B1 (en) * | 1993-06-02 | 2002-09-04 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method of producing an abrasive tape |
WO1994027787A1 (fr) * | 1993-06-02 | 1994-12-08 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Bande abrasive et son procede de fabrication |
US5549962A (en) * | 1993-06-30 | 1996-08-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Precisely shaped particles and method of making the same |
US5378252A (en) * | 1993-09-03 | 1995-01-03 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive articles |
US5658184A (en) * | 1993-09-13 | 1997-08-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Nail tool and method of using same to file, polish and/or buff a fingernail or a toenail |
AU679968B2 (en) * | 1993-09-13 | 1997-07-17 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article, method of manufacture of same, method of using same for finishing, and a production tool |
US5489235A (en) * | 1993-09-13 | 1996-02-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article and method of making same |
US5453106A (en) * | 1993-10-27 | 1995-09-26 | Roberts; Ellis E. | Oriented particles in hard surfaces |
US5453312A (en) * | 1993-10-29 | 1995-09-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article, a process for its manufacture, and a method of using it to reduce a workpiece surface |
US5632668A (en) * | 1993-10-29 | 1997-05-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for the polishing and finishing of optical lenses |
CA2134156A1 (en) * | 1993-11-22 | 1995-05-23 | Thomas P. Klun | Coatable compositions, abrasive articles made therefrom, and methods of making and using same |
US5391210A (en) * | 1993-12-16 | 1995-02-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article |
JPH07179622A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-18 | Tipton Mfg Corp | コンパウンド入りバレル研磨石及びその製造方法 |
US5785784A (en) | 1994-01-13 | 1998-07-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive articles method of making same and abrading apparatus |
TW317223U (en) * | 1994-01-13 | 1997-10-01 | Minnesota Mining & Mfg | Abrasive article |
BR9506932A (pt) * | 1994-02-22 | 1997-09-09 | Minnesota Mining & Mfg | Artigo abrasivo e processo para produzir o mesmo |
PT779859E (pt) * | 1994-08-31 | 2003-11-28 | Ellis E Roberts | Conjuntos de cristais orientados |
US6158952A (en) * | 1994-08-31 | 2000-12-12 | Roberts; Ellis Earl | Oriented synthetic crystal assemblies |
AU687598B2 (en) * | 1994-09-30 | 1998-02-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive article, method for preparing the same, and method of using |
US5578095A (en) * | 1994-11-21 | 1996-11-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive article |
US5637386A (en) * | 1995-01-10 | 1997-06-10 | Norton Company | Fining abrasive materials |
JP3783876B2 (ja) * | 1995-01-12 | 2006-06-07 | 株式会社シー・エス・シー | 負圧吸引ブラスト装置並びにその方法 |
WO1996027189A1 (en) * | 1995-03-02 | 1996-09-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of texturing a substrate using a structured abrasive article |
US5702800A (en) * | 1995-03-30 | 1997-12-30 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Abrasive tape for magnetic information reading apparatus for photographic use, abrasive tape package, and a method for cleaning the apparatus |
USD381139S (en) * | 1995-04-28 | 1997-07-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Molded abrasive brush |
US5679067A (en) * | 1995-04-28 | 1997-10-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Molded abrasive brush |
JP3976336B2 (ja) | 1995-04-28 | 2007-09-19 | スリーエム カンパニー | 一体成形研磨ブラシおよびこれを用いる研磨方法 |
US5571297A (en) * | 1995-06-06 | 1996-11-05 | Norton Company | Dual-cure binder system |
EP0846041B1 (en) | 1995-08-11 | 2003-04-23 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of making a coated abrasive article having multiple abrasive natures |
EP1489652A3 (en) * | 1995-09-22 | 2009-02-18 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of modifying a surface of a semiconductor wafer |
US5958794A (en) * | 1995-09-22 | 1999-09-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of modifying an exposed surface of a semiconductor wafer |
ATE197925T1 (de) | 1995-10-05 | 2000-12-15 | Minnesota Mining & Mfg | Vorrichtung zum randeln eines werstückes, verfahren zum giessen eines artikels mit solch einem werkstück und solch ein gegossener artikel |
US5975987A (en) * | 1995-10-05 | 1999-11-02 | 3M Innovative Properties Company | Method and apparatus for knurling a workpiece, method of molding an article with such workpiece, and such molded article |
USD378003S (en) * | 1995-11-16 | 1997-02-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Molded radial brush |
USD378004S (en) * | 1995-11-16 | 1997-02-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Radial brush segment |
US5903951A (en) * | 1995-11-16 | 1999-05-18 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Molded brush segment |
US5725421A (en) * | 1996-02-27 | 1998-03-10 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Apparatus for rotative abrading applications |
GB2310864B (en) * | 1996-03-07 | 1999-05-19 | Minnesota Mining & Mfg | Coated abrasives and backing therefor |
US5700302A (en) * | 1996-03-15 | 1997-12-23 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Radiation curable abrasive article with tie coat and method |
KR20000005268A (ko) * | 1996-04-08 | 2000-01-25 | 스프레이그 로버트 월터 | 패턴화된 표면 마찰재, 클러치 판 부재, 및 이의 제조 방법 및용도 |
US5619877A (en) * | 1996-04-26 | 1997-04-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Peening article with peening particles arranged to minimize tracking |
US5763049A (en) * | 1996-04-30 | 1998-06-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Formed ultra-flexible retroreflective cube-corner composite sheeting with target optical properties and method for making same |
US5814355A (en) * | 1996-04-30 | 1998-09-29 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Mold for producing glittering cube-corner retroreflective sheeting |
US5770124A (en) * | 1996-04-30 | 1998-06-23 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of making glittering cube-corner retroreflective sheeting |
US5840405A (en) * | 1996-04-30 | 1998-11-24 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Glittering cube-corner retroreflective sheeting |
US5948488A (en) * | 1996-04-30 | 1999-09-07 | 3M Innovative Properties Company | Glittering cube-corner article |
US6413156B1 (en) * | 1996-05-16 | 2002-07-02 | Ebara Corporation | Method and apparatus for polishing workpiece |
US5692950A (en) * | 1996-08-08 | 1997-12-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive construction for semiconductor wafer modification |
US6080215A (en) * | 1996-08-12 | 2000-06-27 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of making such article |
US6475253B2 (en) * | 1996-09-11 | 2002-11-05 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of making |
US5779743A (en) * | 1996-09-18 | 1998-07-14 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for making abrasive grain and abrasive articles |
US5776214A (en) * | 1996-09-18 | 1998-07-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for making abrasive grain and abrasive articles |
US5893935A (en) * | 1997-01-09 | 1999-04-13 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for making abrasive grain using impregnation, and abrasive articles |
US6206942B1 (en) | 1997-01-09 | 2001-03-27 | Minnesota Mining & Manufacturing Company | Method for making abrasive grain using impregnation, and abrasive articles |
US6379221B1 (en) | 1996-12-31 | 2002-04-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for automatically changing a polishing pad in a chemical mechanical polishing system |
US5876268A (en) * | 1997-01-03 | 1999-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method and article for the production of optical quality surfaces on glass |
US5863306A (en) * | 1997-01-07 | 1999-01-26 | Norton Company | Production of patterned abrasive surfaces |
US5833724A (en) * | 1997-01-07 | 1998-11-10 | Norton Company | Structured abrasives with adhered functional powders |
US5840088A (en) * | 1997-01-08 | 1998-11-24 | Norton Company | Rotogravure process for production of patterned abrasive surfaces |
US5851247A (en) * | 1997-02-24 | 1998-12-22 | Minnesota Mining & Manufacturing Company | Structured abrasive article adapted to abrade a mild steel workpiece |
US5910471A (en) * | 1997-03-07 | 1999-06-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article for providing a clear surface finish on glass |
US6231629B1 (en) | 1997-03-07 | 2001-05-15 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article for providing a clear surface finish on glass |
US5888119A (en) * | 1997-03-07 | 1999-03-30 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for providing a clear surface finish on glass |
US6524681B1 (en) | 1997-04-08 | 2003-02-25 | 3M Innovative Properties Company | Patterned surface friction materials, clutch plate members and methods of making and using same |
US6194317B1 (en) | 1998-04-30 | 2001-02-27 | 3M Innovative Properties Company | Method of planarizing the upper surface of a semiconductor wafer |
US8092707B2 (en) | 1997-04-30 | 2012-01-10 | 3M Innovative Properties Company | Compositions and methods for modifying a surface suited for semiconductor fabrication |
US5908477A (en) * | 1997-06-24 | 1999-06-01 | Minnesota Mining & Manufacturing Company | Abrasive articles including an antiloading composition |
US6224465B1 (en) * | 1997-06-26 | 2001-05-01 | Stuart L. Meyer | Methods and apparatus for chemical mechanical planarization using a microreplicated surface |
US5876470A (en) * | 1997-08-01 | 1999-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive articles comprising a blend of abrasive particles |
US5946991A (en) * | 1997-09-03 | 1999-09-07 | 3M Innovative Properties Company | Method for knurling a workpiece |
US5942015A (en) * | 1997-09-16 | 1999-08-24 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive slurries and abrasive articles comprising multiple abrasive particle grades |
US6121143A (en) * | 1997-09-19 | 2000-09-19 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles comprising a fluorochemical agent for wafer surface modification |
US5928394A (en) * | 1997-10-30 | 1999-07-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Durable abrasive articles with thick abrasive coatings |
WO1999042250A1 (en) | 1998-02-19 | 1999-08-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article and method for grinding glass |
US6139594A (en) * | 1998-04-13 | 2000-10-31 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article with tie coat and method |
US6228134B1 (en) | 1998-04-22 | 2001-05-08 | 3M Innovative Properties Company | Extruded alumina-based abrasive grit, abrasive products, and methods |
US6080216A (en) | 1998-04-22 | 2000-06-27 | 3M Innovative Properties Company | Layered alumina-based abrasive grit, abrasive products, and methods |
US5897426A (en) | 1998-04-24 | 1999-04-27 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing with multiple polishing pads |
US6053956A (en) * | 1998-05-19 | 2000-04-25 | 3M Innovative Properties Company | Method for making abrasive grain using impregnation and abrasive articles |
US6217432B1 (en) | 1998-05-19 | 2001-04-17 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article comprising a barrier coating |
US6126443A (en) | 1998-08-13 | 2000-10-03 | 3M Innovative Properties Company | Medication delivery tray |
US6322652B1 (en) * | 1998-09-04 | 2001-11-27 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a patterned surface articles |
US6050691A (en) * | 1998-10-19 | 2000-04-18 | 3M Innovative Properties Company | Method of making randomly oriented cube-corner articles |
US6048375A (en) * | 1998-12-16 | 2000-04-11 | Norton Company | Coated abrasive |
US6312484B1 (en) | 1998-12-22 | 2001-11-06 | 3M Innovative Properties Company | Nonwoven abrasive articles and method of preparing same |
US6239049B1 (en) | 1998-12-22 | 2001-05-29 | 3M Innovative Properties Company | Aminoplast resin/thermoplastic polyamide presize coatings for abrasive article backings |
US6238449B1 (en) | 1998-12-22 | 2001-05-29 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article having an abrasive coating containing a siloxane polymer |
US6142780A (en) * | 1999-02-01 | 2000-11-07 | 3M Innovative Properties Company | Custom tray for delivering medication to oral structures |
US6179887B1 (en) | 1999-02-17 | 2001-01-30 | 3M Innovative Properties Company | Method for making an abrasive article and abrasive articles thereof |
US6458018B1 (en) | 1999-04-23 | 2002-10-01 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article suitable for abrading glass and glass ceramic workpieces |
US6634929B1 (en) | 1999-04-23 | 2003-10-21 | 3M Innovative Properties Company | Method for grinding glass |
US20020077037A1 (en) * | 1999-05-03 | 2002-06-20 | Tietz James V. | Fixed abrasive articles |
KR20010020807A (ko) | 1999-05-03 | 2001-03-15 | 조셉 제이. 스위니 | 고정 연마재 제품을 사전-조절하는 방법 |
US6264533B1 (en) | 1999-05-28 | 2001-07-24 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive processing apparatus and method employing encoded abrasive product |
US6521325B1 (en) * | 1999-06-01 | 2003-02-18 | 3M Innovative Properties Company | Optically transmissive microembossed receptor media |
ATE246096T1 (de) | 1999-06-01 | 2003-08-15 | 3M Innovative Properties Co | Zufällig mikrogeprägte aufnahmemedien |
US6234875B1 (en) | 1999-06-09 | 2001-05-22 | 3M Innovative Properties Company | Method of modifying a surface |
US6319108B1 (en) | 1999-07-09 | 2001-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Metal bond abrasive article comprising porous ceramic abrasive composites and method of using same to abrade a workpiece |
US6183249B1 (en) | 1999-07-29 | 2001-02-06 | 3M Innovative Properties Company | Release substrate for adhesive precoated orthodontic appliances |
US6375692B1 (en) | 1999-07-29 | 2002-04-23 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Method for making microabrasive tools |
US6878333B1 (en) | 1999-09-13 | 2005-04-12 | 3M Innovative Properties Company | Barrier rib formation on substrate for plasma display panels and mold therefor |
US6299516B1 (en) | 1999-09-28 | 2001-10-09 | Applied Materials, Inc. | Substrate polishing article |
US6287184B1 (en) | 1999-10-01 | 2001-09-11 | 3M Innovative Properties Company | Marked abrasive article |
US6439986B1 (en) | 1999-10-12 | 2002-08-27 | Hunatech Co., Ltd. | Conditioner for polishing pad and method for manufacturing the same |
US6322360B1 (en) | 1999-10-22 | 2001-11-27 | 3M Innovative Properties Company | Medication retention assembly for oral delivery tray |
US6422921B1 (en) | 1999-10-22 | 2002-07-23 | Applied Materials, Inc. | Heat activated detachable polishing pad |
US20020110585A1 (en) | 1999-11-30 | 2002-08-15 | Godbey Kristin J. | Patch therapeutic agent delivery device having texturized backing |
JP4519970B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2010-08-04 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 研磨層が立体構造を有する研磨材料 |
US6773475B2 (en) | 1999-12-21 | 2004-08-10 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive material having abrasive layer of three-dimensional structure |
US6096107A (en) * | 2000-01-03 | 2000-08-01 | Norton Company | Superabrasive products |
US6623341B2 (en) | 2000-01-18 | 2003-09-23 | Applied Materials, Inc. | Substrate polishing apparatus |
US6533645B2 (en) | 2000-01-18 | 2003-03-18 | Applied Materials, Inc. | Substrate polishing article |
US6451077B1 (en) | 2000-02-02 | 2002-09-17 | 3M Innovative Properties Company | Fused abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
US6669749B1 (en) | 2000-02-02 | 2003-12-30 | 3M Innovative Properties Company | Fused abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
US6596041B2 (en) | 2000-02-02 | 2003-07-22 | 3M Innovative Properties Company | Fused AL2O3-MgO-rare earth oxide eutectic abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
US6592640B1 (en) | 2000-02-02 | 2003-07-15 | 3M Innovative Properties Company | Fused Al2O3-Y2O3 eutectic abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
US6607570B1 (en) | 2000-02-02 | 2003-08-19 | 3M Innovative Properties Company | Fused Al2O3-rare earth oxide eutectic abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
US6616513B1 (en) | 2000-04-07 | 2003-09-09 | Applied Materials, Inc. | Grid relief in CMP polishing pad to accurately measure pad wear, pad profile and pad wear profile |
US6638144B2 (en) | 2000-04-28 | 2003-10-28 | 3M Innovative Properties Company | Method of cleaning glass |
KR100733948B1 (ko) * | 2000-04-28 | 2007-07-02 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 | 유리 연삭을 위한 연마 제품 및 방법 |
US6413286B1 (en) | 2000-05-03 | 2002-07-02 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Production tool process |
BR0110423A (pt) | 2000-05-09 | 2003-02-04 | 3M Innovative Properties Co | Artigo abrasivo tridimensional conformado, método para produzir o mesmo, e, método para refinar uma superfìcie de peça de trabalho |
JP2003532486A (ja) | 2000-05-09 | 2003-11-05 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 歯科模型およびそれを固定する方法 |
EP1303465A1 (en) | 2000-07-19 | 2003-04-23 | 3M Innovative Properties Company | Fused alumina-rare earth oxide-zirconia eutectic materials, abrasive particles, abrasive articles and methods of making and using the same |
US6582488B1 (en) | 2000-07-19 | 2003-06-24 | 3M Innovative Properties Company | Fused Al2O3-rare earth oxide-ZrO2 eutectic materials |
US6583080B1 (en) | 2000-07-19 | 2003-06-24 | 3M Innovative Properties Company | Fused aluminum oxycarbide/nitride-Al2O3·rare earth oxide eutectic materials |
US6454822B1 (en) | 2000-07-19 | 2002-09-24 | 3M Innovative Properties Company | Fused aluminum oxycarbide/nitride-Al2O3·Y2O3 eutectic abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
US7384438B1 (en) | 2000-07-19 | 2008-06-10 | 3M Innovative Properties Company | Fused Al2O3-Y2O3-ZrO2 eutectic abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
US6589305B1 (en) | 2000-07-19 | 2003-07-08 | 3M Innovative Properties Company | Fused aluminum oxycarbide/nitride-Al2O3 • rare earth oxide eutectic abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
US6666750B1 (en) | 2000-07-19 | 2003-12-23 | 3M Innovative Properties Company | Fused AL2O3-rare earth oxide-ZrO2 eutectic abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
EP1303464B1 (en) | 2000-07-19 | 2006-06-28 | 3M Innovative Properties Company | Fused aluminum oxycarbide/nitride-aluminum rare earth oxide eutectic materials, abrasive particles, abrasive articles and methods of making and using the same |
US6458731B1 (en) | 2000-07-19 | 2002-10-01 | 3M Innovative Properties Company | Fused aluminum oxycarbide/nitride-AL2O3.Y2O3 eutectic materials |
US6776699B2 (en) * | 2000-08-14 | 2004-08-17 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive pad for CMP |
IL144688A0 (en) * | 2000-09-01 | 2002-06-30 | Premark Rwp Holdings Inc | Polishing of press plates coated with titanium diboride |
EP1770144A3 (en) | 2000-10-06 | 2008-05-07 | 3M Innovative Properties Company | Agglomerate abrasive grain and a method of making the same |
US6435873B1 (en) | 2000-10-10 | 2002-08-20 | 3M Innovative Properties Company | Medication delivery devices |
US6821189B1 (en) | 2000-10-13 | 2004-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article comprising a structured diamond-like carbon coating and method of using same to mechanically treat a substrate |
CA2425190C (en) | 2000-10-16 | 2010-03-02 | 3M Innovative Properties Company | Method of making an agglomerate particle |
ATE462774T1 (de) | 2000-10-16 | 2010-04-15 | 3M Innovative Properties Co | Verfahren zur herstellung von keramischen agglomeratteilchen |
US6521004B1 (en) | 2000-10-16 | 2003-02-18 | 3M Innovative Properties Company | Method of making an abrasive agglomerate particle |
US20050020189A1 (en) * | 2000-11-03 | 2005-01-27 | 3M Innovative Properties Company | Flexible abrasive product and method of making and using the same |
US20020090901A1 (en) * | 2000-11-03 | 2002-07-11 | 3M Innovative Properties Company | Flexible abrasive product and method of making and using the same |
US6551366B1 (en) | 2000-11-10 | 2003-04-22 | 3M Innovative Properties Company | Spray drying methods of making agglomerate abrasive grains and abrasive articles |
US7632434B2 (en) | 2000-11-17 | 2009-12-15 | Wayne O. Duescher | Abrasive agglomerate coated raised island articles |
EP1207015A3 (en) | 2000-11-17 | 2003-07-30 | Keltech Engineering, Inc. | Raised island abrasive, method of use and lapping apparatus |
US8545583B2 (en) | 2000-11-17 | 2013-10-01 | Wayne O. Duescher | Method of forming a flexible abrasive sheet article |
US7520800B2 (en) | 2003-04-16 | 2009-04-21 | Duescher Wayne O | Raised island abrasive, lapping apparatus and method of use |
US8256091B2 (en) | 2000-11-17 | 2012-09-04 | Duescher Wayne O | Equal sized spherical beads |
US8062098B2 (en) | 2000-11-17 | 2011-11-22 | Duescher Wayne O | High speed flat lapping platen |
US6612916B2 (en) * | 2001-01-08 | 2003-09-02 | 3M Innovative Properties Company | Article suitable for chemical mechanical planarization processes |
US6620027B2 (en) | 2001-01-09 | 2003-09-16 | Applied Materials Inc. | Method and apparatus for hard pad polishing |
US6582487B2 (en) | 2001-03-20 | 2003-06-24 | 3M Innovative Properties Company | Discrete particles that include a polymeric material and articles formed therefrom |
US6605128B2 (en) | 2001-03-20 | 2003-08-12 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article having projections attached to a major surface thereof |
US20030017797A1 (en) * | 2001-03-28 | 2003-01-23 | Kendall Philip E. | Dual cured abrasive articles |
US6599177B2 (en) * | 2001-06-25 | 2003-07-29 | Saint-Gobain Abrasives Technology Company | Coated abrasives with indicia |
US6811470B2 (en) | 2001-07-16 | 2004-11-02 | Applied Materials Inc. | Methods and compositions for chemical mechanical polishing shallow trench isolation substrates |
BR0211578A (pt) * | 2001-08-02 | 2006-04-04 | 3M Innovative Properties Co | vidro, cerámica, métodos para a fabricação de um vidro, de uma cerámica, e de um artigo compreendendo vidro, vidro-cerámica, métodos para a fabricação de um vidro-cerámica, e de um artigo de vidro-cerámica, partìcula abrasiva, método para a fabricação de partìculas abrasivas, pluralidade de partìculas abrasivas, artigo abrasivo, e, método para desbastar uma superfìcie |
US7625509B2 (en) | 2001-08-02 | 2009-12-01 | 3M Innovative Properties Company | Method of making ceramic articles |
US7563294B2 (en) | 2001-08-02 | 2009-07-21 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive particles and methods of making and using the same |
CN1714052A (zh) | 2001-08-02 | 2005-12-28 | 3M创新有限公司 | 从玻璃制备制品的方法以及所制备的玻璃陶瓷制品 |
US7147544B2 (en) | 2001-08-02 | 2006-12-12 | 3M Innovative Properties Company | Glass-ceramics |
CA2454068A1 (en) | 2001-08-02 | 2003-02-13 | 3M Innovative Properties Company | Al2o3-rare earth oxide-zro2/hfo2 materials, and methods of making and using the same |
US6677239B2 (en) | 2001-08-24 | 2004-01-13 | Applied Materials Inc. | Methods and compositions for chemical mechanical polishing |
US6572666B1 (en) | 2001-09-28 | 2003-06-03 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles and methods of making the same |
US6843944B2 (en) * | 2001-11-01 | 2005-01-18 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus and method for capping wide web reclosable fasteners |
US20030108700A1 (en) * | 2001-11-21 | 2003-06-12 | 3M Innovative Properties Company | Plastic shipping and storage containers and composition and method therefore |
US6838149B2 (en) * | 2001-12-13 | 2005-01-04 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article for the deposition and polishing of a conductive material |
US6846232B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-01-25 | 3M Innovative Properties Company | Backing and abrasive product made with the backing and method of making and using the backing and abrasive product |
US6949128B2 (en) * | 2001-12-28 | 2005-09-27 | 3M Innovative Properties Company | Method of making an abrasive product |
US20030123931A1 (en) | 2001-12-31 | 2003-07-03 | Khieu Sithya S. | Matrix element pavement marker and method of making same |
US20030123930A1 (en) | 2001-12-31 | 2003-07-03 | Jacobs Gregory F. | Matrix element magnetic pavement marker and method of making same |
US6841480B2 (en) * | 2002-02-04 | 2005-01-11 | Infineon Technologies Ag | Polyelectrolyte dispensing polishing pad, production thereof and method of polishing a substrate |
US7198550B2 (en) * | 2002-02-08 | 2007-04-03 | 3M Innovative Properties Company | Process for finish-abrading optical-fiber-connector end-surface |
US7199056B2 (en) * | 2002-02-08 | 2007-04-03 | Applied Materials, Inc. | Low cost and low dishing slurry for polysilicon CMP |
US6749653B2 (en) | 2002-02-21 | 2004-06-15 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive particles containing sintered, polycrystalline zirconia |
US6852020B2 (en) * | 2003-01-22 | 2005-02-08 | Raytech Innovative Solutions, Inc. | Polishing pad for use in chemical—mechanical planarization of semiconductor wafers and method of making same |
US7235296B2 (en) * | 2002-03-05 | 2007-06-26 | 3M Innovative Properties Co. | Formulations for coated diamond abrasive slurries |
US6875077B2 (en) * | 2002-03-18 | 2005-04-05 | Raytech Innovative Solutions, Inc. | Polishing pad for use in chemical/mechanical planarization of semiconductor wafers having a transparent window for end-point determination and method of making |
US7160173B2 (en) | 2002-04-03 | 2007-01-09 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles and methods for the manufacture and use of same |
US6960275B2 (en) * | 2002-04-12 | 2005-11-01 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a viscoelastic article by coating and curing on a reusable surface |
US20030196914A1 (en) * | 2002-04-18 | 2003-10-23 | 3M Innovative Properties Company | Containers for photocurable materials |
CN100357342C (zh) * | 2002-06-14 | 2007-12-26 | 北京国瑞升科技有限公司 | 一种超精密抛光膜及其制造方法 |
US7025668B2 (en) * | 2002-06-18 | 2006-04-11 | Raytech Innovative Solutions, Llc | Gradient polishing pad made from paper-making fibers for use in chemical/mechanical planarization of wafers |
US8056370B2 (en) | 2002-08-02 | 2011-11-15 | 3M Innovative Properties Company | Method of making amorphous and ceramics via melt spinning |
US6755878B2 (en) | 2002-08-02 | 2004-06-29 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles and methods of making and using the same |
US7179526B2 (en) | 2002-08-02 | 2007-02-20 | 3M Innovative Properties Company | Plasma spraying |
FR2845241B1 (fr) * | 2002-09-26 | 2005-04-22 | Ge Med Sys Global Tech Co Llc | Dispositif d'emission de rayons x et appareil a rayons x. |
US7063597B2 (en) | 2002-10-25 | 2006-06-20 | Applied Materials | Polishing processes for shallow trench isolation substrates |
GB0225913D0 (en) * | 2002-11-06 | 2002-12-11 | 3M Innovative Properties Co | Abrasive articles |
US7169199B2 (en) * | 2002-11-25 | 2007-01-30 | 3M Innovative Properties Company | Curable emulsions and abrasive articles therefrom |
US6979713B2 (en) * | 2002-11-25 | 2005-12-27 | 3M Innovative Properties Company | Curable compositions and abrasive articles therefrom |
DE10259540B3 (de) * | 2002-12-19 | 2004-04-08 | Carl Freudenberg Kg | Verfahren zur Herstellung eines Scheuerkörpers |
US6908366B2 (en) * | 2003-01-10 | 2005-06-21 | 3M Innovative Properties Company | Method of using a soft subpad for chemical mechanical polishing |
EP1590127A1 (en) | 2003-01-10 | 2005-11-02 | 3M Innovative Properties Company | Pad constructions for chemical mechanical planarization applications |
AU2003236288A1 (en) * | 2003-01-15 | 2004-08-10 | Mitsubishi Materials Corporation | Cutting tool for soft material |
US7089081B2 (en) * | 2003-01-31 | 2006-08-08 | 3M Innovative Properties Company | Modeling an abrasive process to achieve controlled material removal |
US7811496B2 (en) | 2003-02-05 | 2010-10-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making ceramic particles |
US7258707B2 (en) | 2003-02-05 | 2007-08-21 | 3M Innovative Properties Company | AI2O3-La2O3-Y2O3-MgO ceramics, and methods of making the same |
US7175786B2 (en) | 2003-02-05 | 2007-02-13 | 3M Innovative Properties Co. | Methods of making Al2O3-SiO2 ceramics |
US7160178B2 (en) * | 2003-08-07 | 2007-01-09 | 3M Innovative Properties Company | In situ activation of a three-dimensional fixed abrasive article |
US6843815B1 (en) | 2003-09-04 | 2005-01-18 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive articles and method of abrading |
US7197896B2 (en) | 2003-09-05 | 2007-04-03 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making Al2O3-SiO2 ceramics |
US7141523B2 (en) | 2003-09-18 | 2006-11-28 | 3M Innovative Properties Company | Ceramics comprising Al2O3, REO, ZrO2 and/or HfO2, and Nb2O5 and/or Ta2O5 and methods of making the same |
US7141522B2 (en) | 2003-09-18 | 2006-11-28 | 3M Innovative Properties Company | Ceramics comprising Al2O3, Y2O3, ZrO2 and/or HfO2, and Nb2O5 and/or Ta2O5 and methods of making the same |
US7297171B2 (en) | 2003-09-18 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making ceramics comprising Al2O3, REO, ZrO2 and/or HfO2 and Nb205 and/or Ta2O5 |
US20050060942A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article |
US20050060945A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a coated abrasive |
US20050060941A1 (en) * | 2003-09-23 | 2005-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and methods of making the same |
US7267700B2 (en) * | 2003-09-23 | 2007-09-11 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive with parabolic sides |
US20050076577A1 (en) * | 2003-10-10 | 2005-04-14 | Hall Richard W.J. | Abrasive tools made with a self-avoiding abrasive grain array |
CN1886232A (zh) * | 2003-11-26 | 2006-12-27 | 3M创新有限公司 | 研磨工件的方法 |
WO2005082596A1 (en) * | 2004-02-23 | 2005-09-09 | 3M Innovative Properties Company | Method of molding for microneedle arrays |
US6951509B1 (en) * | 2004-03-09 | 2005-10-04 | 3M Innovative Properties Company | Undulated pad conditioner and method of using same |
US7121924B2 (en) * | 2004-04-20 | 2006-10-17 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles, and methods of making and using the same |
US7108587B2 (en) * | 2004-05-03 | 2006-09-19 | 3M Innovative Properties Company | Backup shoe for microfinishing and methods |
US7150771B2 (en) * | 2004-06-18 | 2006-12-19 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article with composite tie layer, and method of making and using the same |
US20050282029A1 (en) * | 2004-06-18 | 2005-12-22 | 3M Innovative Properties Company | Polymerizable composition and articles therefrom |
US7150770B2 (en) * | 2004-06-18 | 2006-12-19 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article with tie layer, and method of making and using the same |
US7090560B2 (en) * | 2004-07-28 | 2006-08-15 | 3M Innovative Properties Company | System and method for detecting abrasive article orientation |
US20060025047A1 (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-02 | 3M Innovative Properties Company | Grading system and method for abrasive article |
US20060025046A1 (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-02 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article splicing system and methods |
US20060026904A1 (en) * | 2004-08-06 | 2006-02-09 | 3M Innovative Properties Company | Composition, coated abrasive article, and methods of making the same |
US7168950B2 (en) | 2004-10-18 | 2007-01-30 | 3M Innovative Properties Company | Orthodontic methods and apparatus for applying a composition to a patient's teeth |
US20060088976A1 (en) * | 2004-10-22 | 2006-04-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and compositions for chemical mechanical polishing substrates |
ATE468961T1 (de) * | 2004-12-07 | 2010-06-15 | 3M Innovative Properties Co | Verfahren zum formen einer mikronadel |
US7449124B2 (en) * | 2005-02-25 | 2008-11-11 | 3M Innovative Properties Company | Method of polishing a wafer |
US7179159B2 (en) * | 2005-05-02 | 2007-02-20 | Applied Materials, Inc. | Materials for chemical mechanical polishing |
US20060265966A1 (en) * | 2005-05-24 | 2006-11-30 | Rostal William J | Abrasive articles and methods of making and using the same |
US20060265967A1 (en) * | 2005-05-24 | 2006-11-30 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles and methods of making and using the same |
US7344574B2 (en) * | 2005-06-27 | 2008-03-18 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article, and method of making and using the same |
US7344575B2 (en) * | 2005-06-27 | 2008-03-18 | 3M Innovative Properties Company | Composition, treated backing, and abrasive articles containing the same |
US20100256568A1 (en) * | 2005-06-27 | 2010-10-07 | Frederickson Franklyn L | Microneedle cartridge assembly and method of applying |
US7169031B1 (en) | 2005-07-28 | 2007-01-30 | 3M Innovative Properties Company | Self-contained conditioning abrasive article |
US7494519B2 (en) * | 2005-07-28 | 2009-02-24 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive agglomerate polishing method |
US7503949B2 (en) * | 2005-09-01 | 2009-03-17 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method |
US20070066186A1 (en) * | 2005-09-22 | 2007-03-22 | 3M Innovative Properties Company | Flexible abrasive article and methods of making and using the same |
US7618306B2 (en) | 2005-09-22 | 2009-11-17 | 3M Innovative Properties Company | Conformable abrasive articles and methods of making and using the same |
TW200726582A (en) * | 2005-10-04 | 2007-07-16 | Mitsubishi Materials Corp | Rotary tool for processing flexible materials |
US7399330B2 (en) * | 2005-10-18 | 2008-07-15 | 3M Innovative Properties Company | Agglomerate abrasive grains and methods of making the same |
US7594845B2 (en) * | 2005-10-20 | 2009-09-29 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of modifying the surface of a workpiece |
US20080262416A1 (en) * | 2005-11-18 | 2008-10-23 | Duan Daniel C | Microneedle Arrays and Methods of Preparing Same |
US7226345B1 (en) | 2005-12-09 | 2007-06-05 | The Regents Of The University Of California | CMP pad with designed surface features |
US7598188B2 (en) | 2005-12-30 | 2009-10-06 | 3M Innovative Properties Company | Ceramic materials and methods of making and using the same |
US7281970B2 (en) | 2005-12-30 | 2007-10-16 | 3M Innovative Properties Company | Composite articles and methods of making the same |
WO2007117129A1 (en) * | 2006-03-03 | 2007-10-18 | Ferronato Sandro Giovanni Gius | System for indicating the grade of an abrasive |
TWI333441B (en) * | 2006-04-04 | 2010-11-21 | Saint Gobain Abrasives Inc | Infrared cured abrasive articles and method of manufacture |
US20070243798A1 (en) * | 2006-04-18 | 2007-10-18 | 3M Innovative Properties Company | Embossed structured abrasive article and method of making and using the same |
US7410413B2 (en) * | 2006-04-27 | 2008-08-12 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article and method of making and using the same |
US7473096B2 (en) | 2006-06-21 | 2009-01-06 | 3M Innovative Properties Company | Orthodontic adhesive dispensing assembly |
US7841464B2 (en) | 2006-06-21 | 2010-11-30 | 3M Innovative Properties Company | Packaged orthodontic appliance with user-applied adhesive |
FI121654B (sv) | 2006-07-10 | 2011-02-28 | Kwh Mirka Ab Oy | Förfarande för tillverkning av en flexibel sliprondell och en flexibel sliprondell |
JP5401311B2 (ja) * | 2006-07-14 | 2014-01-29 | サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド | 裏当てなしの研磨物品 |
WO2008033816A1 (en) * | 2006-09-11 | 2008-03-20 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles having mechanical fasteners |
US20080271384A1 (en) * | 2006-09-22 | 2008-11-06 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Conditioning tools and techniques for chemical mechanical planarization |
US7303464B1 (en) | 2006-10-13 | 2007-12-04 | 3M Innovative Properties Company | Contact wheel |
US8591764B2 (en) * | 2006-12-20 | 2013-11-26 | 3M Innovative Properties Company | Chemical mechanical planarization composition, system, and method of use |
US8083820B2 (en) | 2006-12-22 | 2011-12-27 | 3M Innovative Properties Company | Structured fixed abrasive articles including surface treated nano-ceria filler, and method for making and using the same |
US7497885B2 (en) * | 2006-12-22 | 2009-03-03 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles with nanoparticulate fillers and method for making and using them |
US8080072B2 (en) * | 2007-03-05 | 2011-12-20 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article with supersize coating, and methods |
US7959694B2 (en) * | 2007-03-05 | 2011-06-14 | 3M Innovative Properties Company | Laser cut abrasive article, and methods |
US20080233845A1 (en) | 2007-03-21 | 2008-09-25 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles, rotationally reciprocating tools, and methods |
US8323072B1 (en) | 2007-03-21 | 2012-12-04 | 3M Innovative Properties Company | Method of polishing transparent armor |
BRPI0809139A2 (pt) * | 2007-03-21 | 2019-07-30 | 3M Innovative Properties Co | métodos para remover defeitos em superfícies |
US7726470B2 (en) * | 2007-05-18 | 2010-06-01 | 3M Innovative Properties Company | Packaged orthodontic appliance and adhesive material |
FI20075533L (fi) * | 2007-07-10 | 2009-01-11 | Kwh Mirka Ab Oy | Hiomatuote ja menetelmä tämän valmistamiseksi |
US8038750B2 (en) | 2007-07-13 | 2011-10-18 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive with overlayer, and method of making and using the same |
DE102007035266B4 (de) | 2007-07-27 | 2010-03-25 | Siltronic Ag | Verfahren zum Polieren eines Substrates aus Silicium oder einer Legierung aus Silicium und Germanium |
EP2178697B1 (en) * | 2007-08-13 | 2014-03-26 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive laminate disc and methods of making the same |
WO2009026419A1 (en) | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Optimized cmp conditioner design for next generation oxide/metal cmp |
WO2009058463A1 (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | 3M Innovative Properties Company | Composition, method and process for polishing a wafer |
JP5209284B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2013-06-12 | 日本ミクロコーティング株式会社 | 研磨シートおよび研磨シートの製造方法 |
US8080073B2 (en) * | 2007-12-20 | 2011-12-20 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article having a plurality of precisely-shaped abrasive composites |
WO2009085841A2 (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-09 | 3M Innovative Properties Company | Shaped, fractured abrasive particle, abrasive article using same and method of making |
US8123828B2 (en) * | 2007-12-27 | 2012-02-28 | 3M Innovative Properties Company | Method of making abrasive shards, shaped abrasive particles with an opening, or dish-shaped abrasive particles |
JP5597140B2 (ja) * | 2007-12-31 | 2014-10-01 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | プラズマ処理された研磨物品及び同物品の作製方法 |
CN101214636B (zh) * | 2008-01-19 | 2010-09-08 | 广东奔朗新材料股份有限公司 | 金刚石磨具制作方法及金刚石磨具 |
JP2009302136A (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-24 | Panasonic Corp | 半導体集積回路 |
US8333360B2 (en) * | 2008-06-20 | 2012-12-18 | 3M Innovative Properties Company | Polymeric molds and articles made therefrom |
JP5563567B2 (ja) | 2008-06-20 | 2014-07-30 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 成型された微細構造物品及びその製造方法 |
CN101318839B (zh) * | 2008-07-03 | 2011-06-29 | 上海交通大学 | 碳化硅陶瓷和金刚石复合拉拔模具制备方法 |
US20100011672A1 (en) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Kincaid Don H | Coated abrasive article and method of making and using the same |
JP5555453B2 (ja) * | 2008-07-24 | 2014-07-23 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 研磨材製品、その製造方法及び使用方法 |
EP2327088B1 (en) | 2008-08-28 | 2019-01-09 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article, method of making the same, and use in wafer planarization |
KR101120034B1 (ko) * | 2008-10-08 | 2012-03-23 | 태양연마 주식회사 | 요철을 갖는 이형성 기재를 이용한 연마포지의 제조방법 |
DE102008053610B4 (de) | 2008-10-29 | 2011-03-31 | Siltronic Ag | Verfahren zum beidseitigen Polieren einer Halbleiterscheibe |
DE102008059044B4 (de) | 2008-11-26 | 2013-08-22 | Siltronic Ag | Verfahren zum Polieren einer Halbleiterscheibe mit einer verspannt-relaxierten Si1-xGex-Schicht |
CN102317038B (zh) | 2008-12-17 | 2014-02-05 | 3M创新有限公司 | 带凹槽的成形磨粒 |
US8142891B2 (en) | 2008-12-17 | 2012-03-27 | 3M Innovative Properties Company | Dish-shaped abrasive particles with a recessed surface |
US8142532B2 (en) * | 2008-12-17 | 2012-03-27 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles with an opening |
US8142531B2 (en) * | 2008-12-17 | 2012-03-27 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles with a sloping sidewall |
US10137556B2 (en) | 2009-06-22 | 2018-11-27 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles with low roundness factor |
US8342910B2 (en) * | 2009-03-24 | 2013-01-01 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive tool for use as a chemical mechanical planarization pad conditioner |
PT2650210T (pt) * | 2009-04-17 | 2018-05-10 | 3M Innovative Properties Co | Lâmina de proteção contra raios com discriminador modelado |
BRPI1006600B1 (pt) | 2009-04-17 | 2019-10-08 | 3M Innovative Properties Company | Revestimento de proteção contra descarga atmosférica |
US20110104989A1 (en) * | 2009-04-30 | 2011-05-05 | First Principles LLC | Dressing bar for embedding abrasive particles into substrates |
US8801497B2 (en) | 2009-04-30 | 2014-08-12 | Rdc Holdings, Llc | Array of abrasive members with resilient support |
US9221148B2 (en) | 2009-04-30 | 2015-12-29 | Rdc Holdings, Llc | Method and apparatus for processing sliders for disk drives, and to various processing media for the same |
CA2764358A1 (en) * | 2009-06-02 | 2010-12-09 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Corrosion-resistant cmp conditioning tools and methods for making and using same |
DE102009025242B4 (de) | 2009-06-17 | 2013-05-23 | Siltronic Ag | Verfahren zum beidseitigen chemischen Schleifen einer Halbleiterscheibe |
DE102009025243B4 (de) | 2009-06-17 | 2011-11-17 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung und Verfahren zur Bearbeitung einer Halbleiterscheibe aus Silicium |
USD610430S1 (en) | 2009-06-18 | 2010-02-23 | 3M Innovative Properties Company | Stem for a power tool attachment |
USD606827S1 (en) | 2009-06-18 | 2009-12-29 | 3M Innovative Properties Company | Small, portable power tool |
DE102009030294B4 (de) | 2009-06-24 | 2013-04-25 | Siltronic Ag | Verfahren zur Politur der Kante einer Halbleiterscheibe |
DE102009030298B4 (de) | 2009-06-24 | 2012-07-12 | Siltronic Ag | Verfahren zur lokalen Politur einer Halbleiterscheibe |
DE102009030292B4 (de) | 2009-06-24 | 2011-12-01 | Siltronic Ag | Verfahren zum beidseitigen Polieren einer Halbleiterscheibe |
DE102009030297B3 (de) | 2009-06-24 | 2011-01-20 | Siltronic Ag | Verfahren zum Polieren einer Halbleiterscheibe |
DE102009030296B4 (de) | 2009-06-24 | 2013-05-08 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer epitaxierten Siliciumscheibe |
DE102009030295B4 (de) | 2009-06-24 | 2014-05-08 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe |
US8628597B2 (en) | 2009-06-25 | 2014-01-14 | 3M Innovative Properties Company | Method of sorting abrasive particles, abrasive particle distributions, and abrasive articles including the same |
US20100330890A1 (en) * | 2009-06-30 | 2010-12-30 | Zine-Eddine Boutaghou | Polishing pad with array of fluidized gimballed abrasive members |
CN102470511B (zh) | 2009-07-28 | 2014-12-24 | 3M创新有限公司 | 涂覆磨料制品以及烧蚀涂覆磨料制品的方法 |
US20110097977A1 (en) * | 2009-08-07 | 2011-04-28 | Abrasive Technology, Inc. | Multiple-sided cmp pad conditioning disk |
US8701211B2 (en) * | 2009-08-26 | 2014-04-15 | Advanced Diamond Technologies, Inc. | Method to reduce wedge effects in molded trigonal tips |
DE102009038941B4 (de) | 2009-08-26 | 2013-03-21 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe |
US8425278B2 (en) * | 2009-08-26 | 2013-04-23 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article and method of using the same |
KR20120082875A (ko) * | 2009-08-28 | 2012-07-24 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 절취선을 갖는 연마 용품 |
SG178605A1 (en) | 2009-09-01 | 2012-04-27 | Saint Gobain Abrasives Inc | Chemical mechanical polishing conditioner |
US8348723B2 (en) * | 2009-09-16 | 2013-01-08 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article and method of using the same |
DE102009047926A1 (de) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Siltronic Ag | Verfahren zum Polieren von Halbleiterscheiben |
DE102009047927A1 (de) | 2009-10-01 | 2011-01-27 | Siltronic Ag | Läuferscheibe und Verfahren zur Politur einer Halbleiterscheibe |
DE102009051008B4 (de) | 2009-10-28 | 2013-05-23 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe |
DE102009051007B4 (de) * | 2009-10-28 | 2011-12-22 | Siltronic Ag | Verfahren zum Polieren einer Halbleiterscheibe |
DE102009052744B4 (de) | 2009-11-11 | 2013-08-29 | Siltronic Ag | Verfahren zur Politur einer Halbleiterscheibe |
DE102009057593A1 (de) | 2009-12-09 | 2011-06-16 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe |
US8480772B2 (en) | 2009-12-22 | 2013-07-09 | 3M Innovative Properties Company | Transfer assisted screen printing method of making shaped abrasive particles and the resulting shaped abrasive particles |
BR112012014913A2 (pt) * | 2009-12-29 | 2017-03-01 | Saint Gobain Abrasifs Sa | método para limpeza de uma superfície sólida de conzinha ou banheiro doméstico e artigo comercializado |
FR2954723B1 (fr) * | 2009-12-29 | 2012-04-20 | Saint Gobain Abrasives Inc | Article abrasif comprenant un espace creux entre ses faces avant et arriere, et procede de fabrication |
CN102666021B (zh) * | 2009-12-29 | 2015-04-22 | 圣戈班磨料磨具有限公司 | 抗填塞磨料物品 |
DE102010005904B4 (de) | 2010-01-27 | 2012-11-22 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe |
WO2011109188A2 (en) | 2010-03-03 | 2011-09-09 | 3M Innovative Properties Company | Bonded abrasive wheel |
DE102010013519B4 (de) | 2010-03-31 | 2012-12-27 | Siltronic Ag | Verfahren zum Polieren einer Halbleiterscheibe |
DE102010014874A1 (de) | 2010-04-14 | 2011-10-20 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe |
JP5791702B2 (ja) | 2010-04-27 | 2015-10-07 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | セラミック成形研磨粒子、セラミック成形研磨粒子の製造方法、及びセラミック成形研磨粒子を含有する研磨物品 |
DE102010026352A1 (de) | 2010-05-05 | 2011-11-10 | Siltronic Ag | Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung einer Halbleiterscheibe |
KR20130081229A (ko) | 2010-05-11 | 2013-07-16 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 화학 기계적 평탄화를 위한 계면활성제를 포함하는 고정 연마 패드 |
FI20105606A7 (fi) | 2010-05-28 | 2010-11-25 | Oy Kwh Mirka Ab | Hiomatuote ja menetelmä tällaisen valmistamiseksi |
US8360823B2 (en) | 2010-06-15 | 2013-01-29 | 3M Innovative Properties Company | Splicing technique for fixed abrasives used in chemical mechanical planarization |
US9205530B2 (en) | 2010-07-07 | 2015-12-08 | Seagate Technology Llc | Lapping a workpiece |
JP5774105B2 (ja) | 2010-08-04 | 2015-09-02 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 交差プレート成形研磨粒子 |
CN105713568B (zh) | 2010-11-01 | 2018-07-03 | 3M创新有限公司 | 用于制备成形陶瓷磨粒的激光法、成形陶瓷磨粒以及磨料制品 |
BR112013009469B1 (pt) | 2010-11-01 | 2020-08-25 | 3M Innovative Properties Company | partículas abrasivas com formato e método de produção |
EP2658680B1 (en) | 2010-12-31 | 2020-12-09 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles comprising abrasive particles having particular shapes and methods of forming such articles |
US20130295821A1 (en) * | 2011-01-26 | 2013-11-07 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article with replicated microstructured backing and method of using same |
EP2678152B1 (en) * | 2011-02-24 | 2021-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article with foam backing and method of making the same |
JP5901155B2 (ja) | 2011-06-27 | 2016-04-06 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 研磨用構造体及びその製造方法 |
US8840694B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-09-23 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Liquid phase sintered silicon carbide abrasive particles |
CN108262695A (zh) | 2011-06-30 | 2018-07-10 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 包括氮化硅磨粒的磨料制品 |
CN103649010B (zh) | 2011-07-12 | 2016-09-21 | 3M创新有限公司 | 制备陶瓷成形磨粒的方法、溶胶-凝胶组合物和陶瓷成形磨粒 |
KR102002194B1 (ko) | 2011-09-07 | 2019-07-19 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 접합된 연마 용품 |
EP2567784B1 (en) | 2011-09-08 | 2019-07-31 | 3M Innovative Properties Co. | Bonded abrasive article |
WO2013036402A1 (en) | 2011-09-07 | 2013-03-14 | 3M Innovative Properties Company | Method of abrading a workpiece |
US20130065490A1 (en) | 2011-09-12 | 2013-03-14 | 3M Innovative Properties Company | Method of refurbishing vinyl composition tile |
JP5802336B2 (ja) | 2011-09-26 | 2015-10-28 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド | 研磨粒子材料を含む研磨製品、研磨粒子材料を使用する研磨布紙および形成方法 |
CN104023916B (zh) | 2011-11-09 | 2017-07-14 | 3M创新有限公司 | 复合研磨轮 |
CN104114327B (zh) | 2011-12-30 | 2018-06-05 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 复合成型研磨颗粒及其形成方法 |
KR102187425B1 (ko) | 2011-12-30 | 2020-12-09 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 형상화 연마입자 및 이의 형성방법 |
BR112014016159A8 (pt) | 2011-12-30 | 2017-07-04 | Saint Gobain Ceramics | formação de partículas abrasivas moldadas |
CH709387B8 (de) | 2011-12-31 | 2015-11-30 | Saint Gobain Abrasives Inc | Schleifteller |
CN104136172B (zh) | 2012-01-10 | 2017-06-09 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 具有复杂形状的磨粒及其形成方法 |
WO2013106602A1 (en) | 2012-01-10 | 2013-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles |
DE102012201516A1 (de) | 2012-02-02 | 2013-08-08 | Siltronic Ag | Verfahren zum Polieren einer Halbleiterscheibe |
EP2830829B1 (en) | 2012-03-30 | 2018-01-10 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products having fibrillated fibers |
RU2621085C2 (ru) | 2012-04-04 | 2017-05-31 | Зм Инновейтив Пропертиз Компани | Абразивные частицы, способ получения абразивных частиц и абразивные изделия |
EP2662185A1 (en) * | 2012-05-11 | 2013-11-13 | Cerium Group Limited | A lens surfacing pad |
CN110013795A (zh) | 2012-05-23 | 2019-07-16 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 成形磨粒及其形成方法 |
US20130337725A1 (en) | 2012-06-13 | 2013-12-19 | 3M Innovative Property Company | Abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
CN104822493B (zh) | 2012-06-27 | 2018-07-03 | 3M创新有限公司 | 磨料制品 |
IN2015DN00343A (ja) | 2012-06-29 | 2015-06-12 | Saint Gobain Ceramics | |
CN104918751B (zh) | 2012-08-02 | 2020-03-10 | 3M创新有限公司 | 具有精确成形特征部的研磨元件前体及其制造方法 |
US10710211B2 (en) | 2012-08-02 | 2020-07-14 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles with precisely shaped features and method of making thereof |
JP5982580B2 (ja) | 2012-10-15 | 2016-08-31 | サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド | 特定の形状を有する研磨粒子およびこのような粒子の形成方法 |
JP6550335B2 (ja) | 2012-10-31 | 2019-07-24 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 成形研磨材粒子、その製造方法、及びそれを含む研磨材物品 |
JP2016503731A (ja) | 2012-12-31 | 2016-02-08 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド | 粒子材料およびその形成方法 |
JP6016301B2 (ja) | 2013-02-13 | 2016-10-26 | 昭和電工株式会社 | 単結晶SiC基板の表面加工方法、その製造方法及び単結晶SiC基板の表面加工用研削プレート |
WO2014124554A1 (en) * | 2013-02-13 | 2014-08-21 | Shengguo Wang | Abrasive grain with controlled aspect ratio |
CA2905551C (en) | 2013-03-12 | 2021-02-16 | 3M Innovative Properties Company | Bonded abrasive article |
MX378491B (es) | 2013-03-29 | 2025-03-11 | Saint Gobain Abrasives Inc | Particulas abrasivas con formas particulares y metodos para elaborar las particulas. |
JP6550374B2 (ja) | 2013-04-05 | 2019-07-24 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 焼結された研磨粒子、それを作製する方法、及びそれを含む研磨物品 |
ES2690362T3 (es) | 2013-05-17 | 2018-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Método para elaborar una superficie fácil de limpiar |
KR102217580B1 (ko) | 2013-06-24 | 2021-02-22 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 연마 입자, 연마 입자의 제조 방법, 및 연마 용품 |
TW201502263A (zh) | 2013-06-28 | 2015-01-16 | Saint Gobain Ceramics | 包含成形研磨粒子之研磨物品 |
US9878954B2 (en) | 2013-09-13 | 2018-01-30 | 3M Innovative Properties Company | Vacuum glazing pillars for insulated glass units |
KR102289629B1 (ko) * | 2013-09-25 | 2021-08-17 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 세라믹 연마 복합재 폴리싱 용액 |
CN105579194B (zh) | 2013-09-25 | 2019-04-26 | 3M创新有限公司 | 多层抛光垫 |
WO2015048768A1 (en) | 2013-09-30 | 2015-04-02 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and methods of forming same |
JP6623153B2 (ja) * | 2013-11-12 | 2019-12-18 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 構造化研磨物品並びにその使用方法 |
WO2015088953A1 (en) | 2013-12-09 | 2015-06-18 | 3M Innovative Properties Company | Conglomerate abrasive particles, abrasive articles including the same, and methods of making the same |
US10518388B2 (en) | 2013-12-23 | 2019-12-31 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article maker apparatus |
BR112016014934B1 (pt) | 2013-12-23 | 2021-12-28 | 3M Innovative Properties Company | Método para fabricação de uma camada abrasiva dotada de um padrão em uma camada de suporte revestida com resina |
KR101870617B1 (ko) | 2013-12-31 | 2018-06-26 | 생-고뱅 어브레이시브즈, 인코포레이티드 | 형상화 연마 입자들을 포함하는 연마 물품 |
US9771507B2 (en) | 2014-01-31 | 2017-09-26 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same |
EP3110900B1 (en) | 2014-02-27 | 2019-09-11 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive particles, abrasive articles, and methods of making and using the same |
JP6656162B2 (ja) | 2014-04-03 | 2020-03-04 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 研磨パッド及びシステム、並びにその作製方法及び使用方法 |
EP3131705A4 (en) | 2014-04-14 | 2017-12-06 | Saint-Gobain Ceramics and Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
ES2972193T3 (es) | 2014-04-14 | 2024-06-11 | Saint Gobain Ceramics | Artículo abrasivo que incluye partículas abrasivas conformadas |
MX2016013186A (es) * | 2014-04-21 | 2017-01-16 | 3M Innovative Properties Co | Particulas abrasivas y articulos abrasivos que las incluyen. |
EP3137259A4 (en) | 2014-05-02 | 2018-01-03 | 3M Innovative Properties Company | Interrupted structured abrasive article and methods of polishing a workpiece |
RU2558734C1 (ru) * | 2014-05-13 | 2015-08-10 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт природных, синтетических алмазов и инструмента" - ОАО "ВНИИАЛМАЗ" | Масса для изготовления алмазного инструмента |
WO2015179335A1 (en) | 2014-05-20 | 2015-11-26 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive material with different sets of plurality of abrasive elements |
WO2015184355A1 (en) | 2014-05-30 | 2015-12-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles |
CN106794570B (zh) | 2014-08-21 | 2020-07-10 | 3M创新有限公司 | 具有多重化磨料颗粒结构的带涂层磨料制品及制备方法 |
WO2016044158A1 (en) | 2014-09-15 | 2016-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making abrasive articles and bonded abrasive wheel preparable thereby |
JP6280292B2 (ja) | 2014-10-07 | 2018-02-14 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | テクスチャー化研磨物品及び関連方法 |
CN106794569B (zh) | 2014-10-07 | 2019-12-10 | 3M创新有限公司 | 磨料制品和相关方法 |
KR102420782B1 (ko) * | 2014-10-21 | 2022-07-14 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 연마 예비성형품, 연마 용품, 및 접합된 연마 용품을 제조하는 방법 |
BR112017009672A2 (pt) | 2014-11-07 | 2017-12-26 | 3M Innovative Properties Co | artigo abrasivo impresso |
US9914864B2 (en) | 2014-12-23 | 2018-03-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particles and method of forming same |
US9707529B2 (en) | 2014-12-23 | 2017-07-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Composite shaped abrasive particles and method of forming same |
US9676981B2 (en) | 2014-12-24 | 2017-06-13 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Shaped abrasive particle fractions and method of forming same |
EP3277463B1 (en) | 2015-03-30 | 2019-12-04 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article and method of making the same |
TWI634200B (zh) | 2015-03-31 | 2018-09-01 | 聖高拜磨料有限公司 | 固定磨料物品及其形成方法 |
WO2016161157A1 (en) | 2015-03-31 | 2016-10-06 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
JP6454796B2 (ja) | 2015-04-14 | 2019-01-16 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 不織布研磨物品及びその製造方法 |
WO2016196795A1 (en) | 2015-06-02 | 2016-12-08 | 3M Innovative Properties Company | Method of transferring particles to a substrate |
JP2018516767A (ja) | 2015-06-11 | 2018-06-28 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド | 成形研磨粒子を含む研磨物品 |
JP6865180B2 (ja) | 2015-06-19 | 2021-04-28 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ある範囲内のランダムな回転配向を有する研磨粒子付き研磨物品 |
CN105081993B (zh) * | 2015-07-16 | 2018-02-13 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种树脂结合剂的cbn切入磨砂轮及其制作工艺 |
TWI769988B (zh) | 2015-10-07 | 2022-07-11 | 美商3M新設資產公司 | 拋光墊與系統及其製造與使用方法 |
EP3359588B1 (en) | 2015-10-07 | 2022-07-20 | 3M Innovative Properties Company | Bonded abrasive articles having surface-modified abrasive particles with epoxy-functional silane coupling agents |
US9849563B2 (en) | 2015-11-05 | 2017-12-26 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of making the same |
WO2017083249A1 (en) | 2015-11-13 | 2017-05-18 | 3M Innovative Properties Company | Method of shape sorting crushed abrasive particles |
WO2017098764A1 (ja) * | 2015-12-10 | 2017-06-15 | 株式会社アライドマテリアル | 超砥粒ホイール |
KR101698989B1 (ko) * | 2016-01-22 | 2017-01-24 | 주식회사 썬텍인더스트리 | 요철을 갖는 연마물품 및 이의 제조방법 |
WO2017151498A1 (en) | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 3M Innovative Properties Company | Depressed center grinding wheel |
CN108883520B (zh) | 2016-04-01 | 2020-11-03 | 3M创新有限公司 | 细长成形磨粒、其制备方法以及包括其的磨料制品 |
JP6983179B2 (ja) | 2016-05-06 | 2021-12-17 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 硬化性組成物、研磨物品及びその製造方法 |
PL3455321T3 (pl) | 2016-05-10 | 2022-12-12 | Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. | Sposób formowania cząstek ściernych |
WO2017197002A1 (en) | 2016-05-10 | 2017-11-16 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive particles and methods of forming same |
WO2017200964A1 (en) | 2016-05-19 | 2017-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Compressible multilayer articles and method of making thereof |
US10195713B2 (en) | 2016-08-11 | 2019-02-05 | 3M Innovative Properties Company | Lapping pads and systems and methods of making and using the same |
EP3507316A1 (en) | 2016-08-31 | 2019-07-10 | 3M Innovative Properties Company | Halogen and polyhalide mediated phenolic polymerization |
US10988648B2 (en) | 2016-09-21 | 2021-04-27 | 3M Innovative Properties Company | Elongated abrasive particle with enhanced retention features |
WO2018057465A1 (en) | 2016-09-26 | 2018-03-29 | 3M Innovative Properties Company | Nonwoven abrasive articles having electrostatically-oriented abrasive particles and methods of making same |
CN109789534B (zh) | 2016-09-27 | 2022-11-29 | 3M创新有限公司 | 疏涂层磨料制品和研磨方法 |
EP3519134B1 (en) | 2016-09-29 | 2024-01-17 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Fixed abrasive articles and methods of forming same |
US11097398B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-08-24 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of making the same |
WO2018063962A1 (en) | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 3M Innovative Properties Company | Multipurpose tooling for shaped particles |
EP3532562B1 (en) | 2016-10-25 | 2021-05-19 | 3M Innovative Properties Company | Magnetizable abrasive particle and method of making the same |
US11072732B2 (en) | 2016-10-25 | 2021-07-27 | 3M Innovative Properties Company | Magnetizable abrasive particles and abrasive articles including them |
US11253972B2 (en) | 2016-10-25 | 2022-02-22 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive articles and methods of making the same |
US11484990B2 (en) | 2016-10-25 | 2022-11-01 | 3M Innovative Properties Company | Bonded abrasive wheel and method of making the same |
EP3532247B1 (en) | 2016-10-25 | 2021-06-09 | 3M Innovative Properties Company | Magnetizable abrasive particle and method of making the same |
CN109863568B (zh) | 2016-10-25 | 2020-05-15 | 3M创新有限公司 | 制备可磁化磨料颗粒的方法 |
CN109863220B (zh) | 2016-10-25 | 2021-04-13 | 3M创新有限公司 | 功能性磨料颗粒、磨料制品及其制备方法 |
JP7056877B2 (ja) | 2016-12-07 | 2022-04-19 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性研磨物品 |
WO2018106587A1 (en) | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 3M Innovative Properties Company | Flexible abrasive article |
KR20190085557A (ko) | 2016-12-09 | 2019-07-18 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 연마 용품 및 연삭 방법 |
WO2018136268A1 (en) | 2017-01-19 | 2018-07-26 | 3M Innovative Properties Company | Manipulation of magnetizable abrasive particles with modulation of magnetic field angle or strength |
EP3571258A4 (en) | 2017-01-23 | 2020-12-02 | 3M Innovative Properties Company | MAGNETICALLY ASSISTED DISPOSITION OF MAGNETISABLE ABRASIVE PARTICLES |
US10759024B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-09-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
US10563105B2 (en) | 2017-01-31 | 2020-02-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive article including shaped abrasive particles |
CN110300662A (zh) | 2017-02-20 | 2019-10-01 | 3M创新有限公司 | 微结构化弹性体膜及其制备方法 |
EP3642293A4 (en) | 2017-06-21 | 2021-03-17 | Saint-Gobain Ceramics&Plastics, Inc. | PARTICULATE MATERIALS AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF |
WO2019012389A1 (en) | 2017-07-11 | 2019-01-17 | 3M Innovative Properties Company | ABRASIVE ARTICLES COMPRISING ADAPTABLE COATINGS AND POLISHING SYSTEM MANUFACTURED THEREFROM |
WO2019069157A1 (en) | 2017-10-02 | 2019-04-11 | 3M Innovative Properties Company | ELONGATED ABRASIVE PARTICLES, PROCESS FOR PRODUCTION THEREOF, AND ABRASIVE ARTICLES CONTAINING THE SAME |
WO2019102331A1 (en) | 2017-11-21 | 2019-05-31 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive disc and methods of making and using the same |
US11597059B2 (en) | 2017-11-21 | 2023-03-07 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive disc and methods of making and using the same |
WO2019111215A1 (en) | 2017-12-08 | 2019-06-13 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article |
CN111448032B (zh) | 2017-12-08 | 2022-11-11 | 3M创新有限公司 | 多孔磨料制品 |
US12104094B2 (en) | 2017-12-18 | 2024-10-01 | 3M Innovative Properties Company | Phenolic resin composition comprising polymerized ionic groups, abrasive articles and methods |
KR20200131856A (ko) | 2018-03-21 | 2020-11-24 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 가정에서 사용하기 위한 폴리싱 재료를 함유하는 구조화된 연마재 |
CN108481217A (zh) * | 2018-03-26 | 2018-09-04 | 河北思瑞恩新材料科技有限公司 | 一种用于打磨金属手机中框的棱锥型立体磨具及制备方法 |
US20210155836A1 (en) | 2018-04-12 | 2021-05-27 | 3M Innovative Properties Company | Magnetizable abrasive particle and method of making the same |
CN112004642A (zh) | 2018-04-24 | 2020-11-27 | 3M创新有限公司 | 制备带涂层磨料制品的方法 |
US11724363B2 (en) | 2018-04-24 | 2023-08-15 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a coated abrasive article |
CN112020407A (zh) | 2018-04-24 | 2020-12-01 | 3M创新有限公司 | 带涂层磨料制品及其制造方法 |
WO2019211719A1 (en) | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 3M Innovative Properties Company | Conformable abrasive article |
EP3807371B1 (en) | 2018-06-14 | 2022-07-27 | 3M Innovative Properties Company | Adhesion promoters for curable compositions |
CN112243454B (zh) | 2018-06-14 | 2022-03-22 | 3M创新有限公司 | 处理表面的方法、表面改性的磨料颗粒和树脂粘结磨具制品 |
EP3837086B1 (en) | 2018-08-13 | 2024-09-25 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article and method of making the same |
CN108645869B (zh) * | 2018-08-20 | 2021-03-12 | 中国印刷科学技术研究院有限公司 | 凹印版辊表面缺陷智能检测的非缺陷排除方法及其装置 |
WO2020044158A1 (en) | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 3M Innovative Properties Company | Embedded electronic circuit in grinding wheels and methods of embedding |
EP3863799A1 (en) | 2018-10-09 | 2021-08-18 | 3M Innovative Properties Company | Treated backing and coated abrasive article including the same |
CN112969768B (zh) | 2018-10-11 | 2022-06-28 | 3M创新有限公司 | 受支撑磨料颗粒、磨料制品及其制备方法 |
WO2020099969A1 (en) | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive belt and methods of making and using the same |
EP3880405B1 (en) | 2018-11-15 | 2024-07-10 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive belt and methods of making and using the same |
EP3666461A1 (en) * | 2018-12-12 | 2020-06-17 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article |
US11992918B2 (en) | 2018-12-18 | 2024-05-28 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article maker with differential tooling speed |
WO2020128720A2 (en) | 2018-12-18 | 2020-06-25 | 3M Innovative Properties Company | Improved particle reception in abrasive article creation |
CN113260486A (zh) | 2018-12-18 | 2021-08-13 | 3M创新有限公司 | 具有间隔颗粒的涂层磨料制品及其制备方法和设备 |
WO2020128842A1 (en) | 2018-12-18 | 2020-06-25 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particle transfer assembly |
CN113226644A (zh) * | 2018-12-18 | 2021-08-06 | 3M创新有限公司 | 用于磨料的工具中的多个取向腔 |
EP3898092A1 (en) | 2018-12-18 | 2021-10-27 | 3M Innovative Properties Company | Camouflage for abrasive articles |
EP3898089A1 (en) | 2018-12-18 | 2021-10-27 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive articles and methods of making coated abrasive articles |
WO2020128853A1 (en) | 2018-12-18 | 2020-06-25 | 3M Innovative Properties Company | Tooling splice accommodation for abrasive article production |
EP3924149A1 (en) | 2019-02-11 | 2021-12-22 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles and methods of making and using the same |
BR112021015764A2 (pt) | 2019-02-11 | 2021-10-05 | 3M Innovative Properties Company | Artigo abrasivo |
WO2020212779A1 (en) | 2019-04-16 | 2020-10-22 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of making the same |
KR20220024864A (ko) | 2019-06-28 | 2022-03-03 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 자화가능한 연마 입자 및 이의 제조 방법 |
CN114126805A (zh) | 2019-07-18 | 2022-03-01 | 3M创新有限公司 | 静电颗粒对准设备和方法 |
EP4227379A1 (en) | 2019-10-14 | 2023-08-16 | 3M Innovative Properties Company | Magnetizable abrasive particle and method of making the same |
EP4045230B1 (en) | 2019-10-17 | 2023-12-27 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive articles and method of making the same |
CN114630725B (zh) | 2019-10-23 | 2024-11-05 | 3M创新有限公司 | 在多条边中的一条边内具有凹形空隙的成形磨料颗粒 |
US20230347474A1 (en) | 2019-12-06 | 2023-11-02 | 3M Innovative Properties Company | Mesh abrasive and method of making the same |
WO2021116883A1 (en) | 2019-12-09 | 2021-06-17 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive articles and methods of making coated abrasive articles |
CN114829069A (zh) | 2019-12-09 | 2022-07-29 | 3M创新有限公司 | 磨料制品 |
EP4076841B1 (en) | 2019-12-16 | 2024-01-31 | 3M Innovative Properties Company | Bonded abrasive article and method of making the same |
WO2021133901A1 (en) | 2019-12-27 | 2021-07-01 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles and methods of forming same |
US12129422B2 (en) | 2019-12-27 | 2024-10-29 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Abrasive articles and methods of forming same |
EP4096867A1 (en) | 2020-01-31 | 2022-12-07 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive articles |
US20230085096A1 (en) | 2020-02-06 | 2023-03-16 | 3M Innovative Properties Company | Loose abrasive bodies and method of abrading a workpiece using the same |
EP4103356A1 (en) | 2020-02-10 | 2022-12-21 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article and method of making the same |
WO2021186326A1 (en) | 2020-03-18 | 2021-09-23 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article |
US20230211470A1 (en) | 2020-04-23 | 2023-07-06 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles |
EP4149720A1 (en) | 2020-05-11 | 2023-03-22 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive body and method of making the same |
EP4153381A1 (en) | 2020-05-19 | 2023-03-29 | 3M Innovative Properties Company | Porous coated abrasive article and method of making the same |
EP4153380A1 (en) | 2020-05-20 | 2023-03-29 | 3M Innovative Properties Company | Composite abrasive article, and method of making and using the same |
EP4161733A1 (en) | 2020-06-04 | 2023-04-12 | 3M Innovative Properties Company | Incomplete polygonal shaped abrasive particles, methods of manufacture and articles containing the same |
EP4161732A1 (en) | 2020-06-04 | 2023-04-12 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles and methods of manufacture the same |
EP4171877A1 (en) | 2020-06-30 | 2023-05-03 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive articles and methods of making and using the same |
US20230364743A1 (en) | 2020-07-07 | 2023-11-16 | 3M Innovative Properties Company | Non-Scratch Abrasive Composite |
US20230286112A1 (en) | 2020-07-28 | 2023-09-14 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article and method of making the same |
EP4188645A1 (en) | 2020-07-30 | 2023-06-07 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of making the same |
WO2022023848A1 (en) | 2020-07-30 | 2022-02-03 | 3M Innovative Properties Company | Method of abrading a workpiece |
EP4192649B1 (en) | 2020-08-10 | 2025-01-01 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles and method of making the same |
WO2022034397A1 (en) | 2020-08-10 | 2022-02-17 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive system and method of using the same |
EP4225532B1 (en) | 2020-10-08 | 2025-02-26 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article and method of making the same |
WO2022074601A1 (en) | 2020-10-09 | 2022-04-14 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article and method of making the same |
WO2022090821A1 (en) | 2020-10-28 | 2022-05-05 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a coated abrasive article and coated abrasive article |
US20230416445A1 (en) | 2020-11-12 | 2023-12-28 | 3M Innovative Properties Company | Curable composition and abrasive articles made using the same |
EP4284592A1 (en) | 2021-02-01 | 2023-12-06 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a coated abrasive article and coated abrasive article |
EP4329983A1 (en) | 2021-04-30 | 2024-03-06 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive cut-off wheels and methods of making the same |
US20240253184A1 (en) | 2021-06-15 | 2024-08-01 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive article including biodegradable thermoset resin and method of making and using the same |
WO2023084362A1 (en) | 2021-11-15 | 2023-05-19 | 3M Innovative Properties Company | Nonwoven abrasive articles and methods of making the same |
EP4440774A1 (en) | 2021-11-30 | 2024-10-09 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles and systems |
EP4482649A1 (en) | 2022-02-21 | 2025-01-01 | 3M Innovative Properties Company | Nonwoven abrasive article and methods of making the same |
CN118900747A (zh) | 2022-03-21 | 2024-11-05 | 3M创新有限公司 | 可固化组合物、经处理的背衬、包含其的带涂层磨料制品,及其制造和使用方法 |
EP4496679A1 (en) | 2022-03-21 | 2025-01-29 | 3M Innovative Properties Company | Curable composition, coated abrasive article containing the same, and methods of making and using the same |
EP4514916A1 (en) | 2022-04-26 | 2025-03-05 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles, methods of manufacture and use thereof |
WO2023225356A1 (en) | 2022-05-20 | 2023-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive assembly with abrasive segments |
WO2024127255A1 (en) | 2022-12-15 | 2024-06-20 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive articles and methods of manufacture thereof |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1657784A (en) * | 1925-11-23 | 1928-01-31 | Gustave A Bergstrom | Abrasive-covered material and the like |
US2001911A (en) * | 1932-04-21 | 1935-05-21 | Carborundum Co | Abrasive articles |
US2108645A (en) * | 1933-03-18 | 1938-02-15 | Carborundum Co | Manufacture of flexible abrasive articles |
US2252683A (en) * | 1939-04-29 | 1941-08-19 | Albertson & Co Inc | Method of form setting abrasive disks |
US2292261A (en) * | 1940-02-19 | 1942-08-04 | Albertson & Co Inc | Abrasive disk and method of making the same |
FR881239A (fr) * | 1941-12-17 | 1943-04-19 | Nouveau procédé de fabrication et d'utilisation des compositions abrasives | |
US2682733A (en) * | 1950-08-16 | 1954-07-06 | Bay State Abrasive Products Co | Flexible abrasive band |
US2755607A (en) * | 1953-06-01 | 1956-07-24 | Norton Co | Coated abrasives |
BE530127A (ja) * | 1953-11-25 | |||
US2907146A (en) * | 1957-05-21 | 1959-10-06 | Milwaukee Motive Mfg Co | Grinding discs |
US3048482A (en) * | 1958-10-22 | 1962-08-07 | Rexall Drug Co | Abrasive articles and methods of making the same |
GB1005448A (en) * | 1962-04-19 | 1965-09-22 | Rexall Drug Chemical | Abrasive articles and methods of making the same |
US3246430A (en) * | 1963-04-25 | 1966-04-19 | Rexall Drug Chemical | Abrasive articles and methods of making the same |
US3684348A (en) * | 1970-09-29 | 1972-08-15 | Rowland Dev Corp | Retroreflective material |
US3689346A (en) * | 1970-09-29 | 1972-09-05 | Rowland Dev Corp | Method for producing retroreflective material |
US4318766A (en) * | 1975-09-02 | 1982-03-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Process of using photocopolymerizable compositions based on epoxy and hydroxyl-containing organic materials |
US4037367A (en) * | 1975-12-22 | 1977-07-26 | Kruse James A | Grinding tool |
US4576850A (en) * | 1978-07-20 | 1986-03-18 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Shaped plastic articles having replicated microstructure surfaces |
US4314827A (en) * | 1979-06-29 | 1982-02-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Non-fused aluminum oxide-based abrasive mineral |
US4518397A (en) * | 1979-06-29 | 1985-05-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Articles containing non-fused aluminum oxide-based abrasive mineral |
US4420527A (en) * | 1980-09-05 | 1983-12-13 | Rexham Corporation | Thermoset relief patterned sheet |
DE3219567A1 (de) * | 1982-05-25 | 1983-12-01 | SEA Schleifmittel Entwicklung Anwendung GmbH, 7530 Pforzheim | Elastischer schleifkoerper und verfahren zu seiner herstellung |
US4574003A (en) * | 1984-05-03 | 1986-03-04 | Minnesota Mining And Manufacturing Co. | Process for improved densification of sol-gel produced alumina-based ceramics |
CA1254238A (en) * | 1985-04-30 | 1989-05-16 | Alvin P. Gerk | Process for durable sol-gel produced alumina-based ceramics, abrasive grain and abrasive products |
US4652274A (en) * | 1985-08-07 | 1987-03-24 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive product having radiation curable binder |
US4773920B1 (en) * | 1985-12-16 | 1995-05-02 | Minnesota Mining & Mfg | Coated abrasive suitable for use as a lapping material. |
US4751138A (en) * | 1986-08-11 | 1988-06-14 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive having radiation curable binder |
US4735632A (en) * | 1987-04-02 | 1988-04-05 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive binder containing ternary photoinitiator system |
US4881951A (en) * | 1987-05-27 | 1989-11-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Co. | Abrasive grits formed of ceramic containing oxides of aluminum and rare earth metal, method of making and products made therewith |
US4930266A (en) * | 1988-02-26 | 1990-06-05 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive sheeting having individually positioned abrasive granules |
JP2868772B2 (ja) * | 1988-09-20 | 1999-03-10 | 大日本印刷株式会社 | 研磨テープの製造方法 |
US5011508A (en) * | 1988-10-14 | 1991-04-30 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Shelling-resistant abrasive grain, a method of making the same, and abrasive products |
US4903440A (en) * | 1988-11-23 | 1990-02-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive product having binder comprising an aminoplast resin |
US5014468A (en) * | 1989-05-05 | 1991-05-14 | Norton Company | Patterned coated abrasive for fine surface finishing |
US5011513A (en) * | 1989-05-31 | 1991-04-30 | Norton Company | Single step, radiation curable ophthalmic fining pad |
JP2977884B2 (ja) * | 1990-10-19 | 1999-11-15 | 大日本印刷株式会社 | 研磨テープの製造方法 |
-
1991
- 1991-02-06 US US07651660 patent/US5152917B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-01-07 ES ES92904602T patent/ES2086731T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-07 RU RU93054180A patent/RU2106238C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1992-01-07 CZ CS931581A patent/CZ158193A3/cs unknown
- 1992-01-07 AU AU12403/92A patent/AU661473B2/en not_active Ceased
- 1992-01-07 CA CA002100059A patent/CA2100059C/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-07 EP EP92904602A patent/EP0570457B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-07 HU HU9302029A patent/HUT68648A/hu unknown
- 1992-01-07 JP JP50455692A patent/JP3459246B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-07 SG SG1996005019A patent/SG73390A1/en unknown
- 1992-01-07 BR BR9205596A patent/BR9205596A/pt not_active IP Right Cessation
- 1992-01-07 DE DE69210221T patent/DE69210221T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-07 WO PCT/US1992/000305 patent/WO1992013680A1/en not_active Application Discontinuation
- 1992-01-07 AT AT92904602T patent/ATE137154T1/de not_active IP Right Cessation
- 1992-01-24 MX MX9200306A patent/MX9200306A/es unknown
- 1992-02-02 CN CN92100694A patent/CN1066087C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1992-02-02 CN CNB001009923A patent/CN1230281C/zh not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-03-08 US US08/029,302 patent/US5304223A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-06-22 HK HK98105964A patent/HK1006688A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-01-17 CN CN00100992A patent/CN1269277A/zh active Granted
-
2001
- 2001-04-10 HK HK01102518A patent/HK1032021A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-06-18 JP JP2003173709A patent/JP2004001221A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101101454B1 (ko) | 2003-09-23 | 2012-01-03 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 연마 물품용 조성물 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU661473B2 (en) | 1995-07-27 |
ATE137154T1 (de) | 1996-05-15 |
CN1064830A (zh) | 1992-09-30 |
JP2004001221A (ja) | 2004-01-08 |
BR9205596A (pt) | 1994-04-26 |
AU1240392A (en) | 1992-09-07 |
HK1006688A1 (en) | 1999-03-12 |
HUT68648A (en) | 1995-07-28 |
CZ158193A3 (en) | 1994-02-16 |
CN1066087C (zh) | 2001-05-23 |
EP0570457A1 (en) | 1993-11-24 |
CN1269277A (zh) | 2000-10-11 |
DE69210221D1 (de) | 1996-05-30 |
US5152917B1 (en) | 1998-01-13 |
CN1230281C (zh) | 2005-12-07 |
MX9200306A (es) | 1992-09-01 |
EP0570457B1 (en) | 1996-04-24 |
CA2100059C (en) | 2002-06-25 |
ES2086731T3 (es) | 1996-07-01 |
CA2100059A1 (en) | 1992-08-07 |
US5304223A (en) | 1994-04-19 |
RU2106238C1 (ru) | 1998-03-10 |
SG73390A1 (en) | 2000-06-20 |
WO1992013680A1 (en) | 1992-08-20 |
US5152917A (en) | 1992-10-06 |
JPH06505200A (ja) | 1994-06-16 |
DE69210221T2 (de) | 1997-01-09 |
HK1032021A1 (en) | 2001-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3459246B2 (ja) | 被覆研磨用品を作製する方法 | |
JP3584062B2 (ja) | 研磨材物品の製造方法 | |
KR100358480B1 (ko) | 연마용품, 그의제조방법 및 사용방법 | |
KR101085771B1 (ko) | 포물선 측부를 갖는 구조화된 연마제 | |
JP3874790B2 (ja) | 研磨物品、その製造方法および仕上げ用のその使用方法 | |
KR100384828B1 (ko) | 연마 제품, 이것의 제조 방법 및 이를 이용하여 공작물표면을 마무리 가공하는 방법 | |
EP0605008B1 (en) | Abrasive composites having a controlled rate of erosion, articles incorporating same, and methods of making and using same | |
US5851247A (en) | Structured abrasive article adapted to abrade a mild steel workpiece | |
US6773475B2 (en) | Abrasive material having abrasive layer of three-dimensional structure | |
JP2020075357A (ja) | 複数の研磨要素の異なるセットを有する研磨材 | |
JPH07188429A (ja) | 研磨用品、その製造方法およびワークピースの表面を減らすためにそれを使用する方法 | |
JPH05253852A (ja) | 研磨コンポジット部材間において精確な横方向間隔を有する研磨用品 | |
JPH08510693A (ja) | 下地に平滑表面を与える方法 | |
JP2002057130A (ja) | Cmp用研磨パッド | |
WO2001045903A1 (en) | Abrasive material having abrasive layer of three-dimensional structure | |
JP2007505757A (ja) | 構造化された研磨物品 | |
JP2007505756A (ja) | 被覆研磨材の製造方法 | |
KR100216381B1 (ko) | 연마 제품 구조물 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080808 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090808 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090808 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100808 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |