JP3367226B2 - 変位量検出装置 - Google Patents
変位量検出装置Info
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、変位量検出装置に関
し、特にインクレメンタル信号の再生波長λを内挿する
時に生じる誤差を補正するようにしたものに関する。
し、特にインクレメンタル信号の再生波長λを内挿する
時に生じる誤差を補正するようにしたものに関する。
【０００２】
【従来の技術】変位量検出装置が、インクレメンタル信
号の再生波長λよりも細かい分解能を得ることができる
ようにする場合には、内挿という手段によって波長λを
分割する。この時、内挿は図１３〜１５に示すようにイ
ンクレメンタル信号ａおよびｂの振幅比の逆正接をとる
ことによって行われる。
号の再生波長λよりも細かい分解能を得ることができる
ようにする場合には、内挿という手段によって波長λを
分割する。この時、内挿は図１３〜１５に示すようにイ
ンクレメンタル信号ａおよびｂの振幅比の逆正接をとる
ことによって行われる。
【０００３】図１３に示すとおり、スケール１に波長λ
で磁気的に目盛りが形成されているとき、検出ヘッドａ
と検出ヘッドｂが検出する信号は、各信号の強度（振
幅）をＡ，Ｂとし、ヘッドの位置をＸとすれば、 Ｅａ＝Ａｓｉｎ（２πＸ／λ） Ｅｂ＝Ｂｃｏｓ（２πＸ／λ） で表すことができ、Ｂ＝Ａとすれば、Ｅａ／Ｅｂ＝Ａｓ
ｉｎ（２πＸ／λ）／Ｂｃｏｓ（２πＸ／λ）＝ｔａｎ
（２πＸ／λ）となるので、Ｘ＝（λ／２π）ａｒｃｔ
ａｎ（Ｅａ／Ｅｂ）が得られる。この様子を図１３の右
側のリサージュ波形で示してある。同図に示すとおり、
Ｂ＝Ａであるから、リサージュ波形は円形であり、ヘッ
ドの位置をＸ＝（λ／２π）θと置くと位相はθ＝ａｒ
ｃｔａｎ（Ｅａ／Ｅｂ）で表せる。
で磁気的に目盛りが形成されているとき、検出ヘッドａ
と検出ヘッドｂが検出する信号は、各信号の強度（振
幅）をＡ，Ｂとし、ヘッドの位置をＸとすれば、 Ｅａ＝Ａｓｉｎ（２πＸ／λ） Ｅｂ＝Ｂｃｏｓ（２πＸ／λ） で表すことができ、Ｂ＝Ａとすれば、Ｅａ／Ｅｂ＝Ａｓ
ｉｎ（２πＸ／λ）／Ｂｃｏｓ（２πＸ／λ）＝ｔａｎ
（２πＸ／λ）となるので、Ｘ＝（λ／２π）ａｒｃｔ
ａｎ（Ｅａ／Ｅｂ）が得られる。この様子を図１３の右
側のリサージュ波形で示してある。同図に示すとおり、
Ｂ＝Ａであるから、リサージュ波形は円形であり、ヘッ
ドの位置をＸ＝（λ／２π）θと置くと位相はθ＝ａｒ
ｃｔａｎ（Ｅａ／Ｅｂ）で表せる。
【０００４】このとき、図１４に示すようにインクレメ
ンタル信号に直流分が重畳したり、信号ａ，ｂの振幅に
差があったり、信号ａ，ｂの位相差が正確に±９０度の
位相差に調整されていない場合に誤差が生じる。
ンタル信号に直流分が重畳したり、信号ａ，ｂの振幅に
差があったり、信号ａ，ｂの位相差が正確に±９０度の
位相差に調整されていない場合に誤差が生じる。
【０００５】これらの信号ａ，ｂの信号値Ｅａ，Ｅｂを
式で表すと Ｅａ＝Ａｓｉｎ（２πＸ／λ）＋Ｄ1 ‥‥（１） Ｅｂ＝Ｂｃｏｓ｛（２πＸ／λ）＋δ｝＋Ｄ2 ‥‥（２） となり、この場合一波長λ内のヘッドの位置Ｘは、上述
の場合と同様に Ｘ＝（λ／２π）ａｒｃｔａｎ（Ｅａ／Ｅｂ）‥‥（３） で表すことができる。この場合には、図１４の下側のリ
サージュ波形で示すとおり楕円形になる。直流分誤差Ｄ
1 ，Ｄ2 を補正する方法として、特開平２−２５１７２
０号公報に開示された方法がある。これは図１５に示す
ようにスケールを読みとった信号ａ，ｂをＡ／Ｄコンバ
ータに取り込みディジタル信号に変換した後、ＣＰＵに
送り、そこで演算により補正する。
式で表すと Ｅａ＝Ａｓｉｎ（２πＸ／λ）＋Ｄ1 ‥‥（１） Ｅｂ＝Ｂｃｏｓ｛（２πＸ／λ）＋δ｝＋Ｄ2 ‥‥（２） となり、この場合一波長λ内のヘッドの位置Ｘは、上述
の場合と同様に Ｘ＝（λ／２π）ａｒｃｔａｎ（Ｅａ／Ｅｂ）‥‥（３） で表すことができる。この場合には、図１４の下側のリ
サージュ波形で示すとおり楕円形になる。直流分誤差Ｄ
1 ，Ｄ2 を補正する方法として、特開平２−２５１７２
０号公報に開示された方法がある。これは図１５に示す
ようにスケールを読みとった信号ａ，ｂをＡ／Ｄコンバ
ータに取り込みディジタル信号に変換した後、ＣＰＵに
送り、そこで演算により補正する。
【０００６】図１５に示すとおり、スケール１から検出
した信号ａ，ｂはそれぞれ増幅器４，５、Ａ／Ｄ変換器
６，７を通ってディジタル信号処理回路８に供給され、
そこで、各信号について、図１６に示すとおりサンプリ
ングして、そのサンプリング値をメモリに記憶し、今回
値と前回値を比較することによって、各信号の最大値と
最小値を求め、それらを使って、即ち最大値と最小値の
中点を計算することによって、直流分変動Ｄ1 ，Ｄ2 を
求め、これらの値を信号ａ，ｂから減算して直流分変動
のない信号を作り、これらをデータ変換回路１１に供給
してＡ／Ｂ相信号を得ている。
した信号ａ，ｂはそれぞれ増幅器４，５、Ａ／Ｄ変換器
６，７を通ってディジタル信号処理回路８に供給され、
そこで、各信号について、図１６に示すとおりサンプリ
ングして、そのサンプリング値をメモリに記憶し、今回
値と前回値を比較することによって、各信号の最大値と
最小値を求め、それらを使って、即ち最大値と最小値の
中点を計算することによって、直流分変動Ｄ1 ，Ｄ2 を
求め、これらの値を信号ａ，ｂから減算して直流分変動
のない信号を作り、これらをデータ変換回路１１に供給
してＡ／Ｂ相信号を得ている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】検出ヘッドに重畳する
これらの誤差成分は上述の回路により調整されるが、こ
の他にも図１７−ａに示すように外部磁場による直流誤
差成分の変動、図１７−ｂに示す記録媒体と検出ヘッド
のクリアランス変動による出力変動、図１７−ｃに示す
ヘッド走行基準面のうねりによる位相変動等による変動
があり、スケール全域にわたって最良の精度を得ること
はできない。
これらの誤差成分は上述の回路により調整されるが、こ
の他にも図１７−ａに示すように外部磁場による直流誤
差成分の変動、図１７−ｂに示す記録媒体と検出ヘッド
のクリアランス変動による出力変動、図１７−ｃに示す
ヘッド走行基準面のうねりによる位相変動等による変動
があり、スケール全域にわたって最良の精度を得ること
はできない。
【０００８】これを解決する方法として、先に述べた特
開平２−２５１７２０号公報に開示された方法がある。
この方法は直流成分検出回路、出力振幅検出回路、位相
検出回路により得られた補正値をＡ／Ｄコンバータでデ
ィジタル信号に変換して演算装置に送り、そこで演算に
より誤差分を算出し補正するものである。
開平２−２５１７２０号公報に開示された方法がある。
この方法は直流成分検出回路、出力振幅検出回路、位相
検出回路により得られた補正値をＡ／Ｄコンバータでデ
ィジタル信号に変換して演算装置に送り、そこで演算に
より誤差分を算出し補正するものである。
【０００９】図１５は、この種の補正回路の一例を示し
たものである。同図の回路において、ディジタル信号処
理回路８は、信号ａ，ｂの直流成分、出力振幅差、位相
ずれの検出結果に基づいて、それらを補正するための回
路であって、取り込んだデータより信号ａ，ｂのそれぞ
れの最大値、最小値を求め、演算により補正を行う。補
正後の信号ａ，ｂは内挿回路に送られ、そこでこれらの
信号の逆正接を演算することにより内挿を行っている。
たものである。同図の回路において、ディジタル信号処
理回路８は、信号ａ，ｂの直流成分、出力振幅差、位相
ずれの検出結果に基づいて、それらを補正するための回
路であって、取り込んだデータより信号ａ，ｂのそれぞ
れの最大値、最小値を求め、演算により補正を行う。補
正後の信号ａ，ｂは内挿回路に送られ、そこでこれらの
信号の逆正接を演算することにより内挿を行っている。
【００１０】しかしながらこの方法では、図１６に示す
ように信号ａ，ｂのピーク値を検出するために高速サン
プリングを行う必要がある。また複雑な三角関数の演算
を頻繁に行う必要があることから、高速な２個のＡ／Ｄ
コンバータと共に高速で演算を行えるＣＰＵまたはディ
ジタルシグナルプロセッサが必要である。更に、スケー
ルからの信号ａ，ｂは、温度変動で出力が変動するの
で、これを吸収するには高ビットで精度の高いＡ／Ｄコ
ンバータが必要である。
ように信号ａ，ｂのピーク値を検出するために高速サン
プリングを行う必要がある。また複雑な三角関数の演算
を頻繁に行う必要があることから、高速な２個のＡ／Ｄ
コンバータと共に高速で演算を行えるＣＰＵまたはディ
ジタルシグナルプロセッサが必要である。更に、スケー
ルからの信号ａ，ｂは、温度変動で出力が変動するの
で、これを吸収するには高ビットで精度の高いＡ／Ｄコ
ンバータが必要である。
【００１１】従って、従来の技術では補正回路が高価な
ものとなってしまい、それを用いるスケール装置のコス
トも高いものになってしまう。本発明は、従来装置の上
述の欠点を克服し、安価な変位量検出装置を提供するこ
とを目的とする。
ものとなってしまい、それを用いるスケール装置のコス
トも高いものになってしまう。本発明は、従来装置の上
述の欠点を克服し、安価な変位量検出装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明変位量検出装置
は、検出ヘッド１０２，１０３から供給されるほぼ９０
度の位相差を有する２つの正弦波状信号ａ，ｂから位相
情報又は速度情報を取り出す変位量検出装置において、
この正弦波状信号ａ，ｂの各々について、一方の信号が
所定の基準電位をクロスした時に、他方の正弦波状信号
の振幅をサンプリング保持回路１１０でサンプリング保
持して、１周期当り４ポイントｃ，ｄ，ｅ，ｆの信号量
を検出する信号量検出回路１０７，１０９，１１０と、
このサンプリング保持された信号量をディジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換器１１３と、このディジタル信号に
変換された信号量を用いて各正弦波状信号に対する誤差
補正量を計算するＣＰＵ（集中処理ユニット）１１４
と、この誤差補正量をＤ／Ａ変換して、対応するこの正
弦波状信号ａ，ｂに加算または減算することにより、こ
の正弦波状信号ａ，ｂの振幅及び直流分を補正する補正
回路１１８とを備え、この信号検出回路１０７，１０
９，１１０に得られる１周期当り４ポイントｃ，ｄ，
ｅ，ｆのデータにて直流分の誤差補正量を算出し、誤差
が許容値以内の場合、続けて振幅誤差を算出し補正す
る、また直流分の誤差が許容値を越える場合、直流分を
補正し、その後更に信号量検出回路１０７，１０９，１
１０にて新規データを取得し、このデータにて振幅の誤
差補正量を算出し補正するものである。
は、検出ヘッド１０２，１０３から供給されるほぼ９０
度の位相差を有する２つの正弦波状信号ａ，ｂから位相
情報又は速度情報を取り出す変位量検出装置において、
この正弦波状信号ａ，ｂの各々について、一方の信号が
所定の基準電位をクロスした時に、他方の正弦波状信号
の振幅をサンプリング保持回路１１０でサンプリング保
持して、１周期当り４ポイントｃ，ｄ，ｅ，ｆの信号量
を検出する信号量検出回路１０７，１０９，１１０と、
このサンプリング保持された信号量をディジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換器１１３と、このディジタル信号に
変換された信号量を用いて各正弦波状信号に対する誤差
補正量を計算するＣＰＵ（集中処理ユニット）１１４
と、この誤差補正量をＤ／Ａ変換して、対応するこの正
弦波状信号ａ，ｂに加算または減算することにより、こ
の正弦波状信号ａ，ｂの振幅及び直流分を補正する補正
回路１１８とを備え、この信号検出回路１０７，１０
９，１１０に得られる１周期当り４ポイントｃ，ｄ，
ｅ，ｆのデータにて直流分の誤差補正量を算出し、誤差
が許容値以内の場合、続けて振幅誤差を算出し補正す
る、また直流分の誤差が許容値を越える場合、直流分を
補正し、その後更に信号量検出回路１０７，１０９，１
１０にて新規データを取得し、このデータにて振幅の誤
差補正量を算出し補正するものである。
【００１３】また、本発明変位量検出装置は請求項１記
載の変位量検出装置において、ほぼ９０度の位相差を有
する２つの正弦波状信号ａ，ｂの直流分及び振幅が補正
された後に、この信号量検出回路１０７，１０９，１１
０はこの２つの正弦波状信号ａ，ｂを比較し、それが一
致したこの正弦波状信号ａ，ｂの振幅をこのサンプリン
グ保持回路１１０でサンプリング保持して、１周期２ポ
イントｇ，ｈの一致信号量を検出し、この一致信号量を
このＡ／Ｄ変換器１１３でディジタル信号に変換し、こ
のディジタル信号に変換された一致信号量を用いて、こ
のＣＰＵ１１４で、位相ずれ量を計算し、この位相ずれ
量を用いてこの補正回路１１８によりこの正弦波状信号
ａ，ｂの位相を補正するものである。
載の変位量検出装置において、ほぼ９０度の位相差を有
する２つの正弦波状信号ａ，ｂの直流分及び振幅が補正
された後に、この信号量検出回路１０７，１０９，１１
０はこの２つの正弦波状信号ａ，ｂを比較し、それが一
致したこの正弦波状信号ａ，ｂの振幅をこのサンプリン
グ保持回路１１０でサンプリング保持して、１周期２ポ
イントｇ，ｈの一致信号量を検出し、この一致信号量を
このＡ／Ｄ変換器１１３でディジタル信号に変換し、こ
のディジタル信号に変換された一致信号量を用いて、こ
のＣＰＵ１１４で、位相ずれ量を計算し、この位相ずれ
量を用いてこの補正回路１１８によりこの正弦波状信号
ａ，ｂの位相を補正するものである。
【００１４】これらの変位量検出装置において、複数の
正弦波状信号をマルチプレクサを経由して、一つのＡ／
Ｄ変換器で取り込むようにするのが好ましい。また、複
数の正弦波状信号の所定の区間を指定して、該複数の正
弦波状信号に検出された信号量に対し、前記振幅期間が
Ａ／Ｄ変換器のダイナミックレンジに等しくなるように
拡大し、Ａ／Ｄ変換器に取り込むようにするのが好まし
い。更に、サンプルする信号の拡大率及び振幅区間の設
定を自動的に調整するコンピュータないしロジック回路
を有することが好ましい。
正弦波状信号をマルチプレクサを経由して、一つのＡ／
Ｄ変換器で取り込むようにするのが好ましい。また、複
数の正弦波状信号の所定の区間を指定して、該複数の正
弦波状信号に検出された信号量に対し、前記振幅期間が
Ａ／Ｄ変換器のダイナミックレンジに等しくなるように
拡大し、Ａ／Ｄ変換器に取り込むようにするのが好まし
い。更に、サンプルする信号の拡大率及び振幅区間の設
定を自動的に調整するコンピュータないしロジック回路
を有することが好ましい。
【００１５】
【作用】本発明の変位量検出装置の誤差補正回路によれ
ば、二つの正弦波状信号の各々のゼロクロス点における
他方の信号値（振幅電圧）を検出することによって、１
周期内に４点のサンプル信号を取り込み、これら二つの
正弦波状信号の直流変動分を計算により求め、それを使
って補正を行い、補正後の正弦波状信号にたいして、二
つの正弦波状信号の電圧比を求め、これらの正弦波状信
号の振幅が等しくなるように補正を行い、更に、直流分
変動が除かれ、振幅が同じにされた二つの正弦波信号
（但し、ほぼ９０度の位相差があるので、一つは余弦波
と考えてよい）の絶対値が一致する点の信号値を２点取
り込んで、計算により位相差を求め、これによって位相
の補正を行っている。
ば、二つの正弦波状信号の各々のゼロクロス点における
他方の信号値（振幅電圧）を検出することによって、１
周期内に４点のサンプル信号を取り込み、これら二つの
正弦波状信号の直流変動分を計算により求め、それを使
って補正を行い、補正後の正弦波状信号にたいして、二
つの正弦波状信号の電圧比を求め、これらの正弦波状信
号の振幅が等しくなるように補正を行い、更に、直流分
変動が除かれ、振幅が同じにされた二つの正弦波信号
（但し、ほぼ９０度の位相差があるので、一つは余弦波
と考えてよい）の絶対値が一致する点の信号値を２点取
り込んで、計算により位相差を求め、これによって位相
の補正を行っている。
【００１６】この誤差補正回路は、高価な回路を必要と
せず、また、マルチプレクサを使って共通動作は一つの
回路系で行うことにより回路が簡単化されている。更
に、シフト回路及び拡大回路を使って必要な部分のみを
詳しく検出しているので高精度な補正ができる。
せず、また、マルチプレクサを使って共通動作は一つの
回路系で行うことにより回路が簡単化されている。更
に、シフト回路及び拡大回路を使って必要な部分のみを
詳しく検出しているので高精度な補正ができる。
【００１７】
【実施例】次に、図面を参照して本発明の変位量検出装
置の一実施例の説明をする。まず、信号ａ，ｂの位相差
の変動が許容値以下で、信号の直流成分と振幅比のみを
補正する場合の例について図１８，図１９を参照して説
明する。
置の一実施例の説明をする。まず、信号ａ，ｂの位相差
の変動が許容値以下で、信号の直流成分と振幅比のみを
補正する場合の例について図１８，図１９を参照して説
明する。
【００１８】信号ａ，ｂの出力電圧をＥａ，Ｅｂとし、
θ＝２πＸ／λとすると Ｅａ＝Ａｓｉｎθ＋Ｄ1 ‥‥（４） Ｅｂ＝Ｂｃｏｓθ＋Ｄ2 ‥‥（５） となり、図１８に示すような検出点ｃ，ｄ，ｅ，ｆの値
Ｅｃ，Ｅｄ，Ｅｅ，Ｅｆが求まる。ここで各々の位相を
θｃ，θｄ，θｅ，θｆとすると、次の４つの連立方程
式が成立する。
θ＝２πＸ／λとすると Ｅａ＝Ａｓｉｎθ＋Ｄ1 ‥‥（４） Ｅｂ＝Ｂｃｏｓθ＋Ｄ2 ‥‥（５） となり、図１８に示すような検出点ｃ，ｄ，ｅ，ｆの値
Ｅｃ，Ｅｄ，Ｅｅ，Ｅｆが求まる。ここで各々の位相を
θｃ，θｄ，θｅ，θｆとすると、次の４つの連立方程
式が成立する。
【００１９】
Ｅａｃ＝Ａｓｉｎθｃ＋Ｄ1 ＝０‥‥（６）
Ｅｂｃ＝Ｂｃｏｓθｃ＋Ｄ2 ＝Ｅｃ‥‥（７）
ただし、Ｅａｃ，Ｅｂｃはｃ点における信号ａ，ｂの値
である。 式（６）より、ｓｉｎθｃ＝−Ｄ1 ／Ａ‥‥（８） が得られるので、三角関数の計算により、 これを式（７）に代入して となる。
である。 式（６）より、ｓｉｎθｃ＝−Ｄ1 ／Ａ‥‥（８） が得られるので、三角関数の計算により、 これを式（７）に代入して となる。
【００２０】同様にして、ｅ点については、
Ｅａｅ＝Ａｓｉｎθｅ＋Ｄ1 ＝０ ‥‥（１１）
Ｅｂｅ＝Ｂｃｏｓθｅ＋Ｄ2 ＝Ｅｅ ‥‥（１２）
従って、
が得られ、式（１０）と式（１３）より
Ｄ2 ＝（Ｅｃ＋Ｅｅ）／２ ‥‥（１４）
が求まる。
【００２１】同様にして、ｄ点については、
Ｅａｄ＝Ａｓｉｎθｄ＋Ｄ1 ＝Ｅｄ ‥‥（１５）
Ｅｂｄ＝Ｂｃｏｓθｄ＋Ｄ2 ＝０ ‥‥（１６）
ｆ点については、
Ｅａｆ＝Ａｓｉｎθｆ＋Ｄ1 ＝Ｅｆ ‥‥（１７）
Ｅｂｆ＝Ｂｃｏｓθｆ＋Ｄ2 ＝０ ‥‥（１８）
であるから、これらの方程式を解けば、
Ｄ1 ＝（Ｅｄ＋Ｅｆ）／２ ‥‥（１９）
となり、直流分が算出される。
【００２２】次に、出力振幅Ａ，Ｂについて考えると、
となり、この二つの方程式を解けばよいが、この演算に
は時間がかかるので、ここでは、信号ａ，ｂに対して振
幅比の補正は行わず、直流分のみの補正を行う。そうし
て、次の区間では直流分は、ほぼゼロに補正されるの
で、Ｄ1 ＝Ｄ2 ＝０となるから、 Ａ＝Ｅｄ＝Ｅｆ‥‥（２２） Ｂ＝Ｅｃ＝Ｅｅ‥‥（２３） となり、この取り込まれた電圧が出力振幅になる。この
様子は図１９に示してある。
は時間がかかるので、ここでは、信号ａ，ｂに対して振
幅比の補正は行わず、直流分のみの補正を行う。そうし
て、次の区間では直流分は、ほぼゼロに補正されるの
で、Ｄ1 ＝Ｄ2 ＝０となるから、 Ａ＝Ｅｄ＝Ｅｆ‥‥（２２） Ｂ＝Ｅｃ＝Ｅｅ‥‥（２３） となり、この取り込まれた電圧が出力振幅になる。この
様子は図１９に示してある。
【００２３】次に、位相の補正も含めた全成分について
調整を行う場合について説明する。この場合には、信号
ａ，ｂの出力電圧をＥａ，Ｅｂとし、θ＝２πＸ／λと
すると、 Ｅａ＝Ａｓｉｎθ＋Ｄ1 ‥‥（２４） Ｅｂ＝Ｂｃｏｓ（θ＋δ）＋Ｄ2 ‥‥（２５） 図１８に示すように検出点ｃ，ｄ，ｅ，ｆの値がＥｃ，
Ｅｄ，Ｅｅ，Ｅｆとして求まるので、位相をθｃ，θ
ｄ，θｅ，θｆとすると、次の４つの連立方程式が成立
する。 Ｅａｃ＝Ａｓｉｎθｃ＋Ｄ1 ＝０ ‥‥（２６） Ｅｂｃ＝Ｂｃｏｓ（θｃ＋δ）＋Ｄ2 ＝Ｅｃ ‥‥（２７） 式（２６）より、 ｓｉｎθｃ＝−Ｄ1 ／Ａ ‥‥（２８） 式（２８）より これを式（２７）に代入して となる。
調整を行う場合について説明する。この場合には、信号
ａ，ｂの出力電圧をＥａ，Ｅｂとし、θ＝２πＸ／λと
すると、 Ｅａ＝Ａｓｉｎθ＋Ｄ1 ‥‥（２４） Ｅｂ＝Ｂｃｏｓ（θ＋δ）＋Ｄ2 ‥‥（２５） 図１８に示すように検出点ｃ，ｄ，ｅ，ｆの値がＥｃ，
Ｅｄ，Ｅｅ，Ｅｆとして求まるので、位相をθｃ，θ
ｄ，θｅ，θｆとすると、次の４つの連立方程式が成立
する。 Ｅａｃ＝Ａｓｉｎθｃ＋Ｄ1 ＝０ ‥‥（２６） Ｅｂｃ＝Ｂｃｏｓ（θｃ＋δ）＋Ｄ2 ＝Ｅｃ ‥‥（２７） 式（２６）より、 ｓｉｎθｃ＝−Ｄ1 ／Ａ ‥‥（２８） 式（２８）より これを式（２７）に代入して となる。
【００２４】点ｅにおいては、
Ｅａｅ＝Ａｓｉｎθｅ＋Ｄ1 ＝０ ‥‥（３２）
Ｅｂｅ＝Ｂｃｏｓ（θｅ＋δ）＋Ｄ2 ＝Ｅｅ ‥‥（３３）
となるので、式（３１）と式（３４）から
Ｄ2 ＝（Ｅｃ＋Ｅｅ）／２−（Ｄ1 ／Ａ）ｓｉｎδ ‥‥（３５）
【００２５】点ｄにおいては、
Ｅａｄ＝Ａｓｉｎθｄ＋Ｄ1 ＝Ｅｄ ‥‥（３６）
Ｅｂｄ＝Ｂｃｏｓ（θｄ＋δ）＋Ｄ2 ＝０ ‥‥（３７）
式（３７）より
ｃｏｓ（θｄ＋δ）＝−Ｄ2 ／Ｂ ‥‥（３８）
これより、Ｄ１は
【００２６】点ｆにおいては、
Ｅａｆ＝Ａｓｉｎθｆ＋Ｄ1 ＝Ｅｆ‥‥（４２）
Ｅｂｆ＝Ｂｃｏｓ（θｆ＋δ）＋Ｄ2 ＝０‥‥（４３）
であり、この方程式を解けば、
となる。従って、式（４１）と式（４４）から
Ｄ1 ＝｛（Ｅｄ＋Ｅｆ）／２｝−（Ｄ2 ／Ｂ）ｓｉｎδ‥‥（４５）
式（３５）の（Ｄ1 ／Ａ）ｓｉｎδおよび式（４５）の
（Ｄ2 ／Ｂ）ｓｉｎδはＤ1 およびＤ2 に比べて小さい
ので、補正をおこなうと、直流分が減少する。従ってこ
の補正を区間に対して繰り返し行えば（通常２，３回
で）直流分を補正することができる。信号ａ，ｂの直流
分が補正されるとＤ1 およびＤ2 成分がゼロ近傍に収束
するので、次に振幅比の補正を行う。
（Ｄ2 ／Ｂ）ｓｉｎδはＤ1 およびＤ2 に比べて小さい
ので、補正をおこなうと、直流分が減少する。従ってこ
の補正を区間に対して繰り返し行えば（通常２，３回
で）直流分を補正することができる。信号ａ，ｂの直流
分が補正されるとＤ1 およびＤ2 成分がゼロ近傍に収束
するので、次に振幅比の補正を行う。
【００２７】式（３４）および式（４４）から振幅Ａ，
Ｂは Ａ＝Ｅｆ／ｃｏｓδ ‥‥（４６） Ｂ＝Ｅｅ／ｃｏｓδ ‥‥（４７） となる。つまり、位相δのずれ分だけ検出する出力比が
低下するが、同じ比率で出力が低下するので、振幅Ａ，
Ｂの比率を等しく補正する。位相の検出は直流分と振幅
が補正された後に、図２０に示すようにして行う。即
ち、ｇ，ｈ点の電圧Ｅｇ，Ｅｈを取り込む。 Ｅｇ＝Ａｓｉｎ｛（π／４）−δ｝＝Ａｃｏｓ｛（π／４）＋δ｝ ‥‥（４８） Ｅｈ＝Ａｓｉｎ｛（π／４）＋δ｝ ‥‥（４９） となるから、 Ｅｈ／Ｅｇ＝ｔａｎ｛（π／４）＋δ｝ ‥‥（５０） δ＝ａｒｃｔａｎ（Ｅｈ／Ｅｇ）−π／４ ‥‥（５１） が求まる。この位相ずれ量を用いて位相の補正を行う。
Ｂは Ａ＝Ｅｆ／ｃｏｓδ ‥‥（４６） Ｂ＝Ｅｅ／ｃｏｓδ ‥‥（４７） となる。つまり、位相δのずれ分だけ検出する出力比が
低下するが、同じ比率で出力が低下するので、振幅Ａ，
Ｂの比率を等しく補正する。位相の検出は直流分と振幅
が補正された後に、図２０に示すようにして行う。即
ち、ｇ，ｈ点の電圧Ｅｇ，Ｅｈを取り込む。 Ｅｇ＝Ａｓｉｎ｛（π／４）−δ｝＝Ａｃｏｓ｛（π／４）＋δ｝ ‥‥（４８） Ｅｈ＝Ａｓｉｎ｛（π／４）＋δ｝ ‥‥（４９） となるから、 Ｅｈ／Ｅｇ＝ｔａｎ｛（π／４）＋δ｝ ‥‥（５０） δ＝ａｒｃｔａｎ（Ｅｈ／Ｅｇ）−π／４ ‥‥（５１） が求まる。この位相ずれ量を用いて位相の補正を行う。
【００２８】次に、図１を参照して、本発明の変位量検
出装置の一例について説明する。同図において、１０１
はスケールであり、１０２，１０３はセンサである。セ
ンサ１０２で検出した信号ａは増幅器１０４で増幅した
後、内挿回路１０６，比較器１０７，及びマルチプレク
サ１０８に供給される。他方、センサ１０３で検出され
た信号ｂは増幅器１０５で増幅された後、上記内挿回路
１０６，比較器１０７，及びマルチプレクサ１０８に供
給される。増幅器１０４及び１０５は、センサ１０２及
び１０３で検出した信号ａ，ｂを必要なレベルにまで増
幅するが、このとき、直流分及び電圧比、位相は、予め
ＥＥＰＲＯＭ１１５に設定された値に従って調整され
る。
出装置の一例について説明する。同図において、１０１
はスケールであり、１０２，１０３はセンサである。セ
ンサ１０２で検出した信号ａは増幅器１０４で増幅した
後、内挿回路１０６，比較器１０７，及びマルチプレク
サ１０８に供給される。他方、センサ１０３で検出され
た信号ｂは増幅器１０５で増幅された後、上記内挿回路
１０６，比較器１０７，及びマルチプレクサ１０８に供
給される。増幅器１０４及び１０５は、センサ１０２及
び１０３で検出した信号ａ，ｂを必要なレベルにまで増
幅するが、このとき、直流分及び電圧比、位相は、予め
ＥＥＰＲＯＭ１１５に設定された値に従って調整され
る。
【００２９】内挿回路に供給された信号ａ，ｂは、そこ
で内挿されて、Ａ／Ｂ相信号として出力される。また、
比較器１０７に供給された信号ａ，ｂはそれぞれ基準電
位と比較され、そのゼロクロス点が検出される。
で内挿されて、Ａ／Ｂ相信号として出力される。また、
比較器１０７に供給された信号ａ，ｂはそれぞれ基準電
位と比較され、そのゼロクロス点が検出される。
【００３０】図３は、信号ａ，ｂのゼロクロスについて
示している。図示の通り、信号ａが基準電位と一致した
点ｃの信号ｂの値を検出しこれをＥbcとし、信号ａが次
に基準電位と一致した点ｅの信号ｂの値をＥbeとする。
同様にして、信号ｂが基準電位と一致した点ｄ，ｆの信
号ａの値をＥad，Ｅafとし、各点を直交するａ軸，ｂ軸
上にプロットすると同図下段にしめすようなリサージュ
波形で表せる。
示している。図示の通り、信号ａが基準電位と一致した
点ｃの信号ｂの値を検出しこれをＥbcとし、信号ａが次
に基準電位と一致した点ｅの信号ｂの値をＥbeとする。
同様にして、信号ｂが基準電位と一致した点ｄ，ｆの信
号ａの値をＥad，Ｅafとし、各点を直交するａ軸，ｂ軸
上にプロットすると同図下段にしめすようなリサージュ
波形で表せる。
【００３１】図６は、このゼロクロス点の検出回路を示
している。信号ａと信号ｂに対する回路は同様の回路で
構成されているので、信号ａの回路についてのみ説明す
る。入力端子６０１に印加された信号ａは比較器６０３
で基準電圧と比較され、クロスすることで出力を出し、
その出力がクロック信号によってフリップフロップ６０
５に取り込まれる。次のクロックでフリップフロップ６
０５の出力がフリップフロップ６０７に取り込まれる。
この間にイクスクルーシブオア回路６０９を通って出力
パルスが出力される。信号ｂについても同様にして、基
準電圧と一致する所で出力パルスを出す。
している。信号ａと信号ｂに対する回路は同様の回路で
構成されているので、信号ａの回路についてのみ説明す
る。入力端子６０１に印加された信号ａは比較器６０３
で基準電圧と比較され、クロスすることで出力を出し、
その出力がクロック信号によってフリップフロップ６０
５に取り込まれる。次のクロックでフリップフロップ６
０５の出力がフリップフロップ６０７に取り込まれる。
この間にイクスクルーシブオア回路６０９を通って出力
パルスが出力される。信号ｂについても同様にして、基
準電圧と一致する所で出力パルスを出す。
【００３２】図１の回路の説明に戻ると、比較器（コン
パレータ）１０７の出力は制御回路１０９に供給され、
この制御回路１０９は、比較器１０７からの信号を受け
て、マルチプレクサ１０８を制御して信号ａ及びｂをサ
ンプリング／ホールド回路１１０に読み込む。サンプリ
ング／ホールド回路１１０は読み込んだ信号をサンプリ
ングして保持する。
パレータ）１０７の出力は制御回路１０９に供給され、
この制御回路１０９は、比較器１０７からの信号を受け
て、マルチプレクサ１０８を制御して信号ａ及びｂをサ
ンプリング／ホールド回路１１０に読み込む。サンプリ
ング／ホールド回路１１０は読み込んだ信号をサンプリ
ングして保持する。
【００３３】サンプリング／ホールド回路１１０で保持
された信号はシフト回路１１１に供給され、そこでＣＰ
Ｕ１１４からの信号によってシフトされて必要部分のみ
が拡大回路１１２に送られる。拡大回路１１２は解析に
必要な部分のみを拡大して次のＡ／Ｄ変換器１１３に送
る。Ａ／Ｄ変換器１１３は信号ａ，ｂをディジタル信号
に変換してＣＰＵ１１４に供給する。ＣＰＵ１１４はメ
モリＥＥＰＲＯＭ１１５，ＲＡＭ１１６，ＲＯＭ１１７
の記憶内容を参照して信号ａ，ｂに関する振幅の値を計
算して補正回路１１８に補正信号を送る。補正回路１１
８は前述の増幅器１０４及び１０５に振幅補正信号を印
加して信号ａ，信号ｂの振幅の補正を行う。かくして、
基準電位と振幅の補正された信号が内挿回路１０６に送
られ、正しいＡ／Ｂ相信号が得られる。
された信号はシフト回路１１１に供給され、そこでＣＰ
Ｕ１１４からの信号によってシフトされて必要部分のみ
が拡大回路１１２に送られる。拡大回路１１２は解析に
必要な部分のみを拡大して次のＡ／Ｄ変換器１１３に送
る。Ａ／Ｄ変換器１１３は信号ａ，ｂをディジタル信号
に変換してＣＰＵ１１４に供給する。ＣＰＵ１１４はメ
モリＥＥＰＲＯＭ１１５，ＲＡＭ１１６，ＲＯＭ１１７
の記憶内容を参照して信号ａ，ｂに関する振幅の値を計
算して補正回路１１８に補正信号を送る。補正回路１１
８は前述の増幅器１０４及び１０５に振幅補正信号を印
加して信号ａ，信号ｂの振幅の補正を行う。かくして、
基準電位と振幅の補正された信号が内挿回路１０６に送
られ、正しいＡ／Ｂ相信号が得られる。
【００３４】次に、信号ａ，ｂの直流分、出力電圧比、
位相ずれの変動の３つを補正する場合の例について説明
する。再び、図１を参照すると、センサ１０２，１０３
で読み取った信号ａ及び信号ｂは増幅器１０４，１０５
において、必要なレベルにまで増幅された後、内挿回路
１０６，比較器１０７，及びマルチプレクサ１０８に供
給される。
位相ずれの変動の３つを補正する場合の例について説明
する。再び、図１を参照すると、センサ１０２，１０３
で読み取った信号ａ及び信号ｂは増幅器１０４，１０５
において、必要なレベルにまで増幅された後、内挿回路
１０６，比較器１０７，及びマルチプレクサ１０８に供
給される。
【００３５】この時、直流分，出力電圧比，位相は、予
めＥＥＰＲＯＭ１１５に設定された値に従って調整され
る。内挿回路１０６に供給された信号は、ここで内挿さ
れて、Ａ／Ｂ相信号として出力される。
めＥＥＰＲＯＭ１１５に設定された値に従って調整され
る。内挿回路１０６に供給された信号は、ここで内挿さ
れて、Ａ／Ｂ相信号として出力される。
【００３６】比較器１０７に供給された信号ａ及びｂ
は、ここで基準電位との比較が行われ、ゼロクロス点が
検出される。この比較器は、また、絶対量一致検出も行
う。このゼロクロス点と絶対量検出点を検出する回路を
図７と図６に示す。図６については既に説明したとおり
であるから、ここでは、図７の回路について説明する。
は、ここで基準電位との比較が行われ、ゼロクロス点が
検出される。この比較器は、また、絶対量一致検出も行
う。このゼロクロス点と絶対量検出点を検出する回路を
図７と図６に示す。図６については既に説明したとおり
であるから、ここでは、図７の回路について説明する。
【００３７】端子７０１に入力する信号ａと端子７０２
に入力する信号ｂとは比較器７０３において比較され
て、これらの信号が一致する点で出力を出す。比較器７
０３からの出力はクロック信号によって、フリップフロ
ップ７０５に取り込まれる。次のクロックでフリップフ
ロップ７０５の出力がフリップフロップ７０７に取り込
まれ、その間にイクスクルーシブオア回路７０９を通し
て、出力パルスが出る。
に入力する信号ｂとは比較器７０３において比較され
て、これらの信号が一致する点で出力を出す。比較器７
０３からの出力はクロック信号によって、フリップフロ
ップ７０５に取り込まれる。次のクロックでフリップフ
ロップ７０５の出力がフリップフロップ７０７に取り込
まれ、その間にイクスクルーシブオア回路７０９を通し
て、出力パルスが出る。
【００３８】他方、端子７１２には入力信号ａが供給さ
れ、端子７１３には信号ｂの反転信号が供給され、これ
らの信号が比較器７０４で比較され、一致する時に出力
をだす。
れ、端子７１３には信号ｂの反転信号が供給され、これ
らの信号が比較器７０４で比較され、一致する時に出力
をだす。
【００３９】絶対量一致検出の様子は、図８に図解して
ある。同図において、正弦波と余弦波の絶対値が示され
ていて、正弦波の振幅と余弦波の振幅が一致する点が
ｇ，ｈ，ｉ，ｊで示されている。同図には、正弦波と余
弦波の最大値もｆ，ｃ，ｄ，ｅで表されている。この
時、取り込まれる信号の間隔は図５に示すとおりπ／４
である。
ある。同図において、正弦波と余弦波の絶対値が示され
ていて、正弦波の振幅と余弦波の振幅が一致する点が
ｇ，ｈ，ｉ，ｊで示されている。同図には、正弦波と余
弦波の最大値もｆ，ｃ，ｄ，ｅで表されている。この
時、取り込まれる信号の間隔は図５に示すとおりπ／４
である。
【００４０】ゼロクロス点と絶対量一致検出点が検出さ
れると、この時の信号量はマルチプレクサ１０８を通し
てサンプルホールド回路１１０に供給され、そこでサン
プリング保持される。このサンプリングされ保持された
信号は、シフト回路に送られ、図９の上段に図示すると
おり、正弦波，余弦波の絶対値が一致する点よりも上の
部分が取り出されるように、シフトされ、その結果が拡
大回路に供給される。
れると、この時の信号量はマルチプレクサ１０８を通し
てサンプルホールド回路１１０に供給され、そこでサン
プリング保持される。このサンプリングされ保持された
信号は、シフト回路に送られ、図９の上段に図示すると
おり、正弦波，余弦波の絶対値が一致する点よりも上の
部分が取り出されるように、シフトされ、その結果が拡
大回路に供給される。
【００４１】拡大回路１１２は、一致点近くが拡大さ
れ、ダイナミックレンジが広げられた信号を作ってＡ／
Ｄ変換器１１３に供給する。Ａ／Ｄ変換器は、拡大され
た信号についてＡ／Ｄ変換するので精度のよい変換が行
われる。Ａ／Ｄ変換器で変換されたディジタル信号はＣ
ＰＵ１１４に送られる。
れ、ダイナミックレンジが広げられた信号を作ってＡ／
Ｄ変換器１１３に供給する。Ａ／Ｄ変換器は、拡大され
た信号についてＡ／Ｄ変換するので精度のよい変換が行
われる。Ａ／Ｄ変換器で変換されたディジタル信号はＣ
ＰＵ１１４に送られる。
【００４２】このようにして、図３に示すゼロクロス点
のデータｃ，ｄ，ｅ，ｆの４点と図４に示す絶対量一致
検出点ｇ，ｈまたはｈ，ｉまたはｉ，ｊまたはｊ，ｇの
データの２点の合計６点が取り込まれた時、直流成分の
誤差量を計算し、図１０に示す回路の電子ボリュームを
制御して補正を行う。もしこのとき、直流成分の誤差量
が許容量以下であれば、出力電圧Ａ，Ｂを算出し補正を
行う。そうして、出力電圧比も許容値以下であれば、位
相量を計算して補正を行う。
のデータｃ，ｄ，ｅ，ｆの４点と図４に示す絶対量一致
検出点ｇ，ｈまたはｈ，ｉまたはｉ，ｊまたはｊ，ｇの
データの２点の合計６点が取り込まれた時、直流成分の
誤差量を計算し、図１０に示す回路の電子ボリュームを
制御して補正を行う。もしこのとき、直流成分の誤差量
が許容量以下であれば、出力電圧Ａ，Ｂを算出し補正を
行う。そうして、出力電圧比も許容値以下であれば、位
相量を計算して補正を行う。
【００４３】図１０は、本発明の誤差補正回路の一構成
例を示し、検出ヘッドＡとＢで検出した信号ａ，ｂに対
して、チャンネル１（ＣＨ１），チャンネル２（ＣＨ
２）が形成されている。各チャンネルの初段の増幅器の
電子ボリュウムには直流分調整信号が印加されるように
なっており、次段の増幅器の電子ボリュウムには出力電
圧調整信号が印加されるようになっており、チャンネル
１と２の間のインピーダンス回路の電子ボリュウムには
位相調整信号が印加されるようになっている。
例を示し、検出ヘッドＡとＢで検出した信号ａ，ｂに対
して、チャンネル１（ＣＨ１），チャンネル２（ＣＨ
２）が形成されている。各チャンネルの初段の増幅器の
電子ボリュウムには直流分調整信号が印加されるように
なっており、次段の増幅器の電子ボリュウムには出力電
圧調整信号が印加されるようになっており、チャンネル
１と２の間のインピーダンス回路の電子ボリュウムには
位相調整信号が印加されるようになっている。
【００４４】次に、図１１を参照して誤差補正の動作説
明をする。ステップ１で開始し、ステップ２で電子ボリ
ュウムの初期抵抗値をセットする。ステップ３でｃ，
ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈ，ｉ，ｊ点を検出したかどうかを判
定する。もしこれらの点が検出されていなければ、検出
されるまで動作を繰り返す。
明をする。ステップ１で開始し、ステップ２で電子ボリ
ュウムの初期抵抗値をセットする。ステップ３でｃ，
ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈ，ｉ，ｊ点を検出したかどうかを判
定する。もしこれらの点が検出されていなければ、検出
されるまで動作を繰り返す。
【００４５】これらの点のいずれか１つが検出される
と、ステップ４に進み、検出点のデータを取り込む。続
いてステップ５に進み、検出点が６点全部そろったか否
かを判断する。そろっていなければ、上述の３〜５のス
テップを繰り返す。
と、ステップ４に進み、検出点のデータを取り込む。続
いてステップ５に進み、検出点が６点全部そろったか否
かを判断する。そろっていなければ、上述の３〜５のス
テップを繰り返す。
【００４６】６点の検出がそろった時、ステップ６へ進
み、直流分の計算をする。引き続きステップ７で直流分
が許容値以下かどうかを判断する。もし、許容値以下で
なければ、ステップ１２に跳んで直流分の補正を行う。
直流分が許容値以下であれば、ステップ８に進んで出力
電圧比の計算をする。
み、直流分の計算をする。引き続きステップ７で直流分
が許容値以下かどうかを判断する。もし、許容値以下で
なければ、ステップ１２に跳んで直流分の補正を行う。
直流分が許容値以下であれば、ステップ８に進んで出力
電圧比の計算をする。
【００４７】出力電圧比が許容値以下かどうかが判断さ
れ、もし許容値以下でなければ、ステップ１３に跳ん
で、出力電圧の補正が行われる。出力電圧比が許容値以
下であれば、ステップ１０に進んで、位相差の計算をす
る。そうして、その計算結果にもとづいて位相差の補正
を行う。
れ、もし許容値以下でなければ、ステップ１３に跳ん
で、出力電圧の補正が行われる。出力電圧比が許容値以
下であれば、ステップ１０に進んで、位相差の計算をす
る。そうして、その計算結果にもとづいて位相差の補正
を行う。
【００４８】次に、図２を参照して、本発明の第３の実
施例の説明をする。同図の回路において図１の回路と異
なる部分はマルチプレクサ２１９が加わったことで、そ
の他は図１の回路と同様である。
施例の説明をする。同図の回路において図１の回路と異
なる部分はマルチプレクサ２１９が加わったことで、そ
の他は図１の回路と同様である。
【００４９】スケールに規格以上の温度や力学的な衝撃
が加わった場合、スケール信号ａ，ｂは大幅に変動する
ことがある。この場合、拡大回路を通してＡ／Ｄコンバ
ータに入力される信号は規定の入力レンジを越えてしま
う。
が加わった場合、スケール信号ａ，ｂは大幅に変動する
ことがある。この場合、拡大回路を通してＡ／Ｄコンバ
ータに入力される信号は規定の入力レンジを越えてしま
う。
【００５０】図２に示す回路ブロックは、そのような場
合においても補正が可能である。スケールからの信号
ａ，ｂはＡＭＰ（増幅器）２０４，２０５において必要
なレベルまで増幅される。このとき、直流分及び電圧
比，位相は、あらかじめＥＥＰＲＯＭに設定された値に
したがって調整される。
合においても補正が可能である。スケールからの信号
ａ，ｂはＡＭＰ（増幅器）２０４，２０５において必要
なレベルまで増幅される。このとき、直流分及び電圧
比，位相は、あらかじめＥＥＰＲＯＭに設定された値に
したがって調整される。
【００５１】増幅器ＡＭＰ２０４及び２０５で増幅され
た信号ａ，ｂは内挿回路２０６に送られそこで内挿され
て、Ａ／Ｂ相信号とされて出力される。これらの信号
ａ，ｂは比較器（コンパレータ）２０７に送られて、そ
こで基準電位と比較されゼロクロス点が検出されるとと
もに、正弦波、余弦波の絶対量一致検出点が検出され
る。このゼロクロス点と絶対量一致検出点を検出する回
路は図６と図７に示すとおりである。
た信号ａ，ｂは内挿回路２０６に送られそこで内挿され
て、Ａ／Ｂ相信号とされて出力される。これらの信号
ａ，ｂは比較器（コンパレータ）２０７に送られて、そ
こで基準電位と比較されゼロクロス点が検出されるとと
もに、正弦波、余弦波の絶対量一致検出点が検出され
る。このゼロクロス点と絶対量一致検出点を検出する回
路は図６と図７に示すとおりである。
【００５２】この時、比較器２０７は制御回路２０９に
出力を出し、ゼロクロス点と絶対量一致検出点が検出さ
れたことを伝える。制御回路２０９はマルチプレクサ２
０８とサンプリングホールド回路２１０に制御信号を出
して、その時点での、即ち、ゼロクロス点と絶対量一致
検出点が検出された時点での増幅器２０４，２０５から
の出力信号は、マルチプレクサ２０８を通してサンプリ
ングホールド回路２１０に供給され、サンプル保持され
る。
出力を出し、ゼロクロス点と絶対量一致検出点が検出さ
れたことを伝える。制御回路２０９はマルチプレクサ２
０８とサンプリングホールド回路２１０に制御信号を出
して、その時点での、即ち、ゼロクロス点と絶対量一致
検出点が検出された時点での増幅器２０４，２０５から
の出力信号は、マルチプレクサ２０８を通してサンプリ
ングホールド回路２１０に供給され、サンプル保持され
る。
【００５３】サンプリングされ保持された信号はシフト
回路２１１に送られ検出点近傍を取り出すようにシフト
され、拡大回路２１２に送られる。拡大回路２１２は検
出点の近傍だけが取り出された信号について、それを拡
大してダイナミックレンジを広げてから、Ａ／Ｄ変換器
２１３に供給する。
回路２１１に送られ検出点近傍を取り出すようにシフト
され、拡大回路２１２に送られる。拡大回路２１２は検
出点の近傍だけが取り出された信号について、それを拡
大してダイナミックレンジを広げてから、Ａ／Ｄ変換器
２１３に供給する。
【００５４】この時、検出された電圧がＡ／Ｄ変換器２
１３のレンジを越えてしまった場合、拡大回路２１２を
通さずにサンプリングした信号をＡ／Ｄ変換器２１３に
取り込み拡大回路２１２のレンジ内に入るように直流分
とゲインの粗調を行う。
１３のレンジを越えてしまった場合、拡大回路２１２を
通さずにサンプリングした信号をＡ／Ｄ変換器２１３に
取り込み拡大回路２１２のレンジ内に入るように直流分
とゲインの粗調を行う。
【００５５】次に、図１２を参照して図２の回路の動作
について説明する。ステップ１でスタートし、ステップ
２で電子ボリュウムの初期抵抗値をセットする。引き続
きステップ３で拡大回路からｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈ，
ｉ，ｊ点を検出したか否かを判断する。
について説明する。ステップ１でスタートし、ステップ
２で電子ボリュウムの初期抵抗値をセットする。引き続
きステップ３で拡大回路からｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈ，
ｉ，ｊ点を検出したか否かを判断する。
【００５６】もし、これらのいずれの点も検出していな
ければ、ステップ３の動作を繰り返す。これらの点の内
のどれか一つが検出されると、ステップ４に進み、検出
点のデータを取り込む。引き続きステップ５で検出点の
データがレンジを越えていないかどうかを判定する。も
し、越えていなければステップ６に進み、検出点が６点
そろったか否かを判断する。
ければ、ステップ３の動作を繰り返す。これらの点の内
のどれか一つが検出されると、ステップ４に進み、検出
点のデータを取り込む。引き続きステップ５で検出点の
データがレンジを越えていないかどうかを判定する。も
し、越えていなければステップ６に進み、検出点が６点
そろったか否かを判断する。
【００５７】もし６点そろっていなければ、上記３〜６
のステップを繰り返す。検出点が６点そろっていれば、
次のステップ７に進み直流分の計算をする。ステップ８
で直流分が許容値以下であるかどうかを判断する。も
し、許容値以下であれば、ステップ９で出力電圧比の計
算をする。
のステップを繰り返す。検出点が６点そろっていれば、
次のステップ７に進み直流分の計算をする。ステップ８
で直流分が許容値以下であるかどうかを判断する。も
し、許容値以下であれば、ステップ９で出力電圧比の計
算をする。
【００５８】引き続きステップ１０に進み、出力電圧比
が許容値以下であるか否かを判断する。出力電圧比が許
容値以下であれば、ステップ１１に進み、位相差の計算
をする。更にステップ１２で位相差の補正を行う。
が許容値以下であるか否かを判断する。出力電圧比が許
容値以下であれば、ステップ１１に進み、位相差の計算
をする。更にステップ１２で位相差の補正を行う。
【００５９】ステップ８で、直流分が許容値以下でない
と判断した場合は、ステップ１３に進み、直流分の補正
を行う。また、ステップ１０で、出力電圧比が許容値以
下でないと判断した場合は、ステップ１４で出力電圧の
補正を行う。以上の動作が終わると、再びステップ３に
戻り、上述の動作が繰り返される。
と判断した場合は、ステップ１３に進み、直流分の補正
を行う。また、ステップ１０で、出力電圧比が許容値以
下でないと判断した場合は、ステップ１４で出力電圧の
補正を行う。以上の動作が終わると、再びステップ３に
戻り、上述の動作が繰り返される。
【００６０】ステップ５で、検出点のデータがレンジを
越えていると判断された場合にはステップ１５に進み、
サンプリングホールド回路からｃ，ｄ，ｅ，ｆ点を検出
したかどうかを判断する。もし、これらの点を検出しな
ければ検出するまでステップ１５の動作を繰り返す。
越えていると判断された場合にはステップ１５に進み、
サンプリングホールド回路からｃ，ｄ，ｅ，ｆ点を検出
したかどうかを判断する。もし、これらの点を検出しな
ければ検出するまでステップ１５の動作を繰り返す。
【００６１】上記いずれかの点が検出されると、ステッ
プ１６に進み、その検出点のデータを取り込む。次に、
ステップ１７で、上記４つの検出点についてデータが取
り込まれたかどうかを判断して、４点がそろうまでステ
ップ１５〜１７の動作を繰り返す。
プ１６に進み、その検出点のデータを取り込む。次に、
ステップ１７で、上記４つの検出点についてデータが取
り込まれたかどうかを判断して、４点がそろうまでステ
ップ１５〜１７の動作を繰り返す。
【００６２】４点のデータがそろったところで、ステッ
プ１８に進み、直流分の計算をする。この直流分は次の
ステップ１９で許容値以下かどうかの判断がなされて、
もし許容以下であれば、ステップ２０に進む。ステップ
２０では出力電圧比の計算をし、更にステップ２１で、
出力電圧の補正をする。もしステップ１９で直流分が許
容値を越えていると判断したときは、ステップ２２で直
流分の補正を行う。
プ１８に進み、直流分の計算をする。この直流分は次の
ステップ１９で許容値以下かどうかの判断がなされて、
もし許容以下であれば、ステップ２０に進む。ステップ
２０では出力電圧比の計算をし、更にステップ２１で、
出力電圧の補正をする。もしステップ１９で直流分が許
容値を越えていると判断したときは、ステップ２２で直
流分の補正を行う。
【００６３】次に、ステップ２３に進み、前述のステッ
プ１５と同様に、サンプリングホールドＳ／Ｈ回路から
ｃ，ｄ，ｅ，ｆ点を検出したかどうかを判断する。もし
検出されていなければ検出されるまで繰り返す。
プ１５と同様に、サンプリングホールドＳ／Ｈ回路から
ｃ，ｄ，ｅ，ｆ点を検出したかどうかを判断する。もし
検出されていなければ検出されるまで繰り返す。
【００６４】いずれかの点が検出されると、ステップ２
４に進み、その検出点のデータを取り込む。引き続きス
テップ２５において、取り込んだデータがレンジ内に入
っているか否かを判断して、もし入っていなければ、ス
テップ１５に戻り、上述の一連の動作を繰り返す。も
し、データがレンジ内にはいっていればステップ３にも
どる。以下、同様の動作が繰り返される。
４に進み、その検出点のデータを取り込む。引き続きス
テップ２５において、取り込んだデータがレンジ内に入
っているか否かを判断して、もし入っていなければ、ス
テップ１５に戻り、上述の一連の動作を繰り返す。も
し、データがレンジ内にはいっていればステップ３にも
どる。以下、同様の動作が繰り返される。
【００６５】以上、本発明の変位量検出装置について、
実施例を示して説明したが、本発明は、これらの実施例
に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱し
ない範囲で種々の改変がありうることを理解されたい。
実施例を示して説明したが、本発明は、これらの実施例
に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱し
ない範囲で種々の改変がありうることを理解されたい。
【００６６】
【発明の効果】本発明の変位量検出装置を用いれば、ス
ケール読み取りの際に生ずる誤差信号を補正するのに、
変換速度が比較的遅く、絶対精度があまり良くない、安
価なＡ／Ｄ変換器と安価なマイクロコンピュータを使っ
て補正をすることが可能になる。また、マルチプレクサ
を使用して一つのＡ／Ｄ変換器で入力信号をディジタル
化しているので、複数のＡ／Ｄ変換器使用時の相対精度
を心配する必要がない。
ケール読み取りの際に生ずる誤差信号を補正するのに、
変換速度が比較的遅く、絶対精度があまり良くない、安
価なＡ／Ｄ変換器と安価なマイクロコンピュータを使っ
て補正をすることが可能になる。また、マルチプレクサ
を使用して一つのＡ／Ｄ変換器で入力信号をディジタル
化しているので、複数のＡ／Ｄ変換器使用時の相対精度
を心配する必要がない。
【図１】本発明の変位量検出装置の補正回路の一例のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】本発明の変位量検出装置の補正回路の他の例の
ブロック図である。
ブロック図である。
【図３】ゼロクロス検出を説明するための波形図であ
る。
る。
【図４】絶対量一致検出を説明するための波形図であ
る。
る。
【図５】取り込まれる信号の間隔を図解した波形図であ
る。
る。
【図６】ゼロクロス点検出回路の回路図である。
【図７】絶対量一致検出回路の回路図である。
【図８】反転信号の取り込み点を図解した波形図であ
る。
る。
【図９】検出信号のシフト及び拡大の様子を示す波形図
である。
である。
【図１０】変位量検出装置の全体の回路図である。
【図１１】誤差補正の動作流れ図である。
【図１２】誤差補正の動作流れ図である。
【図１３】二つの検出ヘッドで検出した信号ａ，ｂの関
係を示す波形図である。
係を示す波形図である。
【図１４】二つの検出ヘッドで検出した信号ａ，ｂの関
係を示す波形図である。
係を示す波形図である。
【図１５】従来の変位量検出器の補正回路のブロック図
である。
である。
【図１６】従来の変位量検出器における信号サンプリン
グの様子を示す波形図である。
グの様子を示す波形図である。
【図１７】変位量検出装置における誤差変動要素の説明
図である。
図である。
【図１８】改良した誤差成分検出を説明するための波形
図である。
図である。
【図１９】改良した誤差成分検出を説明するための波形
図である。
図である。
【図２０】改良した誤差成分検出を説明するための波形
図である。
図である。
１０１ スケール
１０２，１０３ 検出ヘッド
１０４，１０５ 増幅器
１０６ 内挿回路
１０７ 比較器
１０８ マルチプレクサ
１０９ 制御回路
１１０ サンプリングホールド回路
１１１ シフト回路
１１２ 拡大回路
１１３ Ａ／Ｄ変換器
１１４ ＣＰＵ（集中処理ユニット）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−256638（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−172201（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01D 5/00 - 5/62
G01B 7/00 - 7/34
G01B 11/00 - 11/30
G01P 1/00 - 3/80
Claims (6)
- 【請求項１】 検出ヘッドから供給されるほぼ９０度の
位相差を有する２つの正弦波状信号から位相情報又は速
度情報を取り出す変位量検出装置において、 上記正弦波状信号の各々について、一方の信号が所定の
基準電位をクロスした時に、他方の正弦波状信号の振幅
をサンプリング保持回路でサンプリング保持して、１周
期当り４ポイントの信号量を検出する信号量検出回路
と、 上記サンプリング保持された信号量をディジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換器と、 上記ディジタル信号に変換された信号量を用いて各正弦
波状信号に対する誤差補正量を計算するＣＰＵ（集中処
理ユニット）と、 上記誤差補正量をＤ／Ａ変換して、対応する上記正弦波
状信号に加算または減算することにより、上記正弦波状
信号の振幅及び直流分を補正する補正回路とを備え、上記信号検出回路に得られる１周期当り４ポイントのデ
ータにて直流分の誤差補正量を算出し、誤差が許容値以
内の場合、続けて振幅誤差を算出し補正する、また直流
分の誤差が許容値を越える場合、直流分を補正し、その
後更に信号量検出回路にて新規データを取得し、該デー
タにて振幅の誤差補正量を算出し補正する ことを特徴と
する変位量検出装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の変位量検出装置におい
て、 上記２つの正弦波状信号をマルチプレクサを経由して、
１つのＡ／Ｄ変換器で取り込むようにしたことを特徴と
する変位量検出装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の変位量検出装置におい
て、 上記ほぼ９０度の位相差を有する２つの正弦波状信号の
直流分及び振幅が補正された後に、上記信号量検出回路
は上記２つの正弦波状信号を比較し、それが一致した上
記正弦波状信号の振幅を上記サンプリング保持回路でサ
ンプリング保持して、１周期２ポイントの一致信号量を
検出し、 該一致信号量を上記Ａ／Ｄ変換器でディジタル信号に変
換し、該ディジタル信号に変換された一致信号量を用い
て、 上記ＣＰＵで、位相ずれ量を計算し、該位相ずれ量を用
いて上記補正回路により上記正弦波状信号の位相を補正
することを特徴とする変位量検出装置。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の変位量検出装
置において、 検出点近傍の信号を切り出すために上記サンプリング保
持された信号をシフトするシフト回路と、 ダイナミックレンジを広げるために検出点近傍の信号を
拡大する拡大回路とを備え、 上記２つの正弦波状信号の所定の区間を指定して、上記
２つの正弦波状信号の検出された信号量に対し、振幅の
上記区間が上記Ａ／Ｄ変換器のダイナミックレンジに等
しくなるように拡大し、上記Ａ／Ｄ変換器に取り込むよ
うにしたことを特徴とする変位量検出装置。 - 【請求項５】 請求項４記載の変位量検出装置におい
て、 上記サンプリング保持回路でサンプルする信号の拡大率
及び振幅区間の設定を上記ＣＰＵが自動的に調整するよ
うにしたことを特徴とする変位量検出装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の変位量検出装置におい
て、 上記サンプリング保持回路に保持された信号量が上記Ａ
／Ｄ変換器のレンジを越えてしまった時に、上記サンプ
リング保持された信号を上記拡大回路を通さずに直接上
記Ａ／Ｄ変換器に送る回路を備えたことを特徴とする変
位量検出装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25549694A JP3367226B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 変位量検出装置 |
| US08/545,504 US5943639A (en) | 1994-10-20 | 1995-10-19 | Displacement detection apparatus including an error correction system |
| EP95116573A EP0708311B1 (en) | 1994-10-20 | 1995-10-20 | Displacement detecting apparatus |
| DE69518964T DE69518964T2 (de) | 1994-10-20 | 1995-10-20 | Verschiebungsmesseinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25549694A JP3367226B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 変位量検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122097A JPH08122097A (ja) | 1996-05-17 |
| JP3367226B2 true JP3367226B2 (ja) | 2003-01-14 |
Family
ID=17279565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25549694A Expired - Lifetime JP3367226B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 変位量検出装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5943639A (ja) |
| EP (1) | EP0708311B1 (ja) |
| JP (1) | JP3367226B2 (ja) |
| DE (1) | DE69518964T2 (ja) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP3026949B2 (ja) * | 1997-05-12 | 2000-03-27 | ファナック株式会社 | エンコーダのオフセット補正回路 |
| JP4239042B2 (ja) * | 1998-06-19 | 2009-03-18 | 株式会社安川電機 | ２次元アブソリュート位置センサおよびロボット |
| DE10066149B4 (de) * | 1999-03-30 | 2005-02-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Verfahren und Schaltungsanordnung zur Korrektur von periodischen Signalen eines inkrementalen Positionsmesssystems |
| DE50002537D1 (de) | 1999-03-30 | 2003-07-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und schaltungsanordnung zur korrektur von periodischen signalen eines inkrementalen positionsmesssystems |
| JP4660719B2 (ja) * | 2001-04-19 | 2011-03-30 | マッスル株式会社 | 位置検出方法および位置検出装置 |
| JP4748559B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2011-08-17 | 株式会社森精機製作所 | アブソリュートエンコーダ |
| JP4748557B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2011-08-17 | 株式会社森精機製作所 | アブソリュートエンコーダ |
| JP4748558B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2011-08-17 | 株式会社森精機製作所 | アブソリュートエンコーダ |
| DE10154153A1 (de) | 2001-11-03 | 2003-05-15 | Bosch Gmbh Robert | Achsenschnittverfahren und N-Punkte-Methode zum Offsetabgleich von Winkelsensoren |
| DE10157112A1 (de) * | 2001-11-21 | 2003-06-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Kontrollvorrichtung einer Positionsmesseinrichtung |
| DE10163528B4 (de) * | 2001-12-21 | 2005-07-07 | Siemens Ag | Verfahren zur Fehlerkompensation von sin/cos-Lagemesssystemen nach Offset-, Amplituden- und Phasenfehler |
| DE50206049D1 (de) * | 2002-01-11 | 2006-05-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur interpolation mindestens zweier positionsabhängiger, periodischer, zueinander phasenverschobener analogsignale |
| US6879405B2 (en) | 2002-11-18 | 2005-04-12 | Sony Precision Technology, Inc. | Displacement pickup |
| DE10301848B4 (de) | 2003-01-09 | 2014-10-09 | Anton Rodi | Messeinrichtung zur Erfassung von Größen, insbesondere von Winkeln oder Wegstrecken |
| DE10303495B4 (de) | 2003-01-30 | 2018-12-27 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Offset-Bestimmung von Winkelsensorsignalen |
| US7023201B2 (en) * | 2003-12-15 | 2006-04-04 | Texas Instruments Incorporated | Magnetic position sensor apparatus and method |
| US6940275B2 (en) * | 2003-12-15 | 2005-09-06 | Texas Instruments Incorporated | Magnetic position sensor apparatus and method |
| JP2005227073A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Ebara Densan Ltd | 欠相検知装置およびポンプシステム |
| JP2006017615A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Ricoh Co Ltd | マーク検出装置、回転体駆動装置及び画像形成装置 |
| JP4768248B2 (ja) * | 2004-10-13 | 2011-09-07 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ出力信号補正装置及び方法 |
| US8081948B2 (en) * | 2006-10-25 | 2011-12-20 | Georgia Tech Research Corporation | Analog signal processor in a multi-gigabit receiver system |
| JP5149820B2 (ja) * | 2009-01-19 | 2013-02-20 | キヤノン株式会社 | コントローラおよび加工装置 |
| US9791487B2 (en) * | 2012-03-29 | 2017-10-17 | Egalax_Empia Technology Inc. | Method and device for measuring signals |
| US9733317B2 (en) * | 2014-03-10 | 2017-08-15 | Dmg Mori Seiki Co., Ltd. | Position detecting device |
| DE102014015747B4 (de) * | 2014-10-24 | 2024-01-25 | Infineon Technologies Ag | Sensorsystem und Warneinheit zum Sensieren und Verifizieren von Daten in Bezug auf eine Bewegung eines Objekts |
| DE102015209016B4 (de) * | 2015-05-18 | 2021-12-30 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung einer Winkelposition eines Motors |
| CN108204830B (zh) * | 2017-11-28 | 2019-08-06 | 珠海格力电器股份有限公司 | 相位偏差的补偿方法和装置 |
| DE102020102064B3 (de) * | 2020-01-29 | 2021-05-27 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Kupplungsaktor, Erfassungssystem und Verfahren zur Erfassung einer Winkelposition eines Drehbauteils |
| US12078516B2 (en) | 2020-12-11 | 2024-09-03 | Dmg Mori Co., Ltd. | Automatic correction method |
| CN113670357B (zh) * | 2021-08-03 | 2024-06-21 | 深圳市汇川技术股份有限公司 | 信号处理方法及电路 |
| US20240401986A1 (en) | 2023-05-31 | 2024-12-05 | Magnescale Co., Ltd. | Displacement calculation device and displacement calculation method |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2953577C2 (de) * | 1978-04-10 | 1987-04-23 | Asahi Seimitsu K.K., Tokio/Tokyo | Zeichenmaschine mit Parallelführungsgestänge |
| DE3024716C2 (de) * | 1980-06-30 | 1986-10-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales Längen- oder Winkelmeßsystem |
| JPS5875074A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-06 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | 容量あるいは他のパラメ−タの測定装置 |
| JPH0726858B2 (ja) * | 1988-07-08 | 1995-03-29 | ヤマハ株式会社 | エンコーダ用信号処理回路 |
| JPH02251720A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-09 | Fanuc Ltd | エンコーダの内挿方式 |
| US5184062A (en) * | 1990-05-11 | 1993-02-02 | Nicolet Instrument Corporation | Dynamically calibrated trigger for oscilloscopes |
| DE59009482D1 (de) * | 1990-12-03 | 1995-09-07 | Siemens Ag | Verfahren zum Detektieren einer Amplituden- und Offset-Abweichung zweier etwa 90 elektrisch versetzter siusförmiger Signale sowie Schaltung zur Durchführung dieses Verfahrens und Verwendung dieses Verfahrens für einen Regler. |
| DE59101802D1 (de) * | 1991-01-21 | 1994-07-07 | Siemens Ag | Verfahren zum Überwachen der Ausgangssignale einer Gebereinrichtung. |
| JPH05122075A (ja) * | 1991-10-24 | 1993-05-18 | Sharp Corp | アナログ／デイジタル変換装置 |
| US5432443A (en) * | 1992-06-23 | 1995-07-11 | Sony Magnescale Inc. | Linear position detector including a phase shifter and a sample-and-hold circuit for synchronizing a sample pulse period with the reference period of the equilibrium modulated signal |
| DE4224225C2 (de) * | 1992-07-22 | 1996-03-14 | Walter Dr Mehnert | Schaltungsanordnung für einen induktiven Stellungsgeber |
| JP3173531B2 (ja) * | 1992-09-18 | 2001-06-04 | ソニー株式会社 | 位置検出方法 |
| JPH06167354A (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-14 | Sony Magnescale Inc | スケールの内挿処理装置 |
| JP3208933B2 (ja) * | 1993-06-01 | 2001-09-17 | 株式会社ニコン | 位置測定装置 |
| JPH07229757A (ja) * | 1994-02-18 | 1995-08-29 | Canon Inc | 信号処理装置、位置検出装置及び駆動装置 |
-
1994
- 1994-10-20 JP JP25549694A patent/JP3367226B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-10-19 US US08/545,504 patent/US5943639A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-20 DE DE69518964T patent/DE69518964T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-20 EP EP95116573A patent/EP0708311B1/en not_active Expired - Lifetime
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