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JP3169899B2 - フッ素含有排水の処理方法とその装置 - Google Patents

フッ素含有排水の処理方法とその装置

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JP3169899B2
JP3169899B2 JP20078298A JP20078298A JP3169899B2 JP 3169899 B2 JP3169899 B2 JP 3169899B2 JP 20078298 A JP20078298 A JP 20078298A JP 20078298 A JP20078298 A JP 20078298A JP 3169899 B2 JP3169899 B2 JP 3169899B2
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Japan
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reaction
tank
fluorine
treatment
wastewater
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JP20078298A
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祐司 和田
憲一 池田
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日本電気環境エンジニアリング株式会社
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Priority to TW088111932A priority patent/TW473460B/zh
Priority to CN99109805A priority patent/CN1244501A/zh
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素含有排水、
例えば半導体製造工場、金属表面処理工場、ステンレス
製造工場、セラミックス製造工場等から排出されるフッ
素含有排水の処理方法とその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、フッ素含有排水を処理する方法と
して、フッ素含有排水にカルシウム化合物等を加え、カ
ルシウムをフッ化カルシウムとして沈降させ、沈降槽内
でこれを排水中から固液分離して排水を浄化する方法が
知られている。
【0003】しかしながら、排水中にカルシウム化合物
を加えて排水中にフッ化カルシウムを生成するいわゆ
る”1段処理法”では、処理水中のフッ素濃度を10〜
20mg/L(リットル)程度に浄化するのが限界であ
り、排水中のフッ素濃度を5mg/L程度に下げるには
さらにアルミニウム化合物・マグネシウム化合物等を加
える処理が必要であった。
【0004】カルシウム化合物を排水中に添加してフッ
素の処理性を向上させる方法として、沈降槽内に生成し
たスラッジの一部を原排水の処理に再利用する方法、い
わゆる”スラッジ循環法”がある(例えば特開昭60−
241988号公報、特開昭60−166083号公報
参照)。
【0005】この方法によるときには、生成したスラッ
ジの一部を反応槽の原排水中に返送することにより反応
槽中のフッ化カルシウム濃度を高め、フッ化カルシウム
表面での結晶成長反応を促進することによりフッ素の処
理性を向上させることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこれらの
方法では、以下に述べる(1)〜(4)の欠点があっ
た。すなわち、 (1)処理水のフッ素濃度を5〜10mg/L程度に下
げるのが限界であり、5mg/L以下とするのは困難で
ある。
【0007】(2)処理水のフッ素濃度を下げるために
は反応槽中のフッ化カルシウムを高濃度に維持すること
が必要であり、そのためには沈降槽内から反応槽にスラ
ッジを大量に返送する必要があり、このため、処理系統
の水量が増加する。
【0008】(3)スラッジ循環法では、返送スラッジ
の濃度に限界があるため、スラッジ循環量をいくら増加
させても反応槽内のフッ化カルシウム濃度には限界があ
り、実用的にはフッ化カルシウム濃度を2%以上にする
ことは困難である。
【0009】(4)反応槽内のフッ化カルシウム濃度を
適性値以上に管理する必要があるため、スラッジ循環量
を適宜変化させる必要性が生じ、運転管理に注意を要す
る、という問題である。
【0010】本発明は前記した従来法の問題点を解決
し、常にスラッジを循環させることなく反応槽内のフッ
化カルシウム濃度を安定的に2%以上に維持し、カルシ
ウム化合物の1段処理のみでフッ素濃度を5mg/L以
下に処理する方法とその装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によるフッ素含有排水の処理方法において
は、反応処理と、沈降処理と、保持処理とを有するフッ
素含有排水の処理方法であって、反応処理は、フッ素含
有排水にカルシウム化合物を添加して排水中に含まれた
フッ素とカルシウム化合物とを反応させる処理であり、
沈降処理は、反応処理によって生じた反応生成物の少な
くとも一部を沈降させる処理であり、保持処理は、沈降
処理によって沈降した反応生成物の少なくとも一部を自
ずから返還させて反応処理に保持する処理であることを
特徴とするフッ素含有排水の処理方法である。
【0012】また、凝集処理と、沈降処理とをさらに有
し、凝集処理は、沈降処理後の排水を受け入れ、排水中
に残存する反応生成物を凝集させる処理であり、沈降処
理は、凝集処理後の排水を受け入れ、排水中に生じた反
応生成物を沈降させ、上澄液を放流する処理である。
【0013】
【0014】また、反応処理に高分子凝集剤を添加する
ものである。
【0015】また、反応処理に第2鉄塩を添加するもの
である。
【0016】また、反応処理にアルミニウム塩を添加す
るものである。
【0017】また、反応処理に、粒状担体を添加し、粒
状担体に反応生成物を付着又は共沈させるものである。
【0018】また、反応処理に、反応処理によって生ず
る反応生成物と同じ成分の粒子を添加するものである。
【0019】また、本発明のフッ素含有排水の処理装置
においては、少なくとも反応槽と、沈降槽とを有するフ
ッ素含有排水の処理装置であって、反応槽は、フッ素含
有排水と、カルシウム化合物とが投入され、排水中に含
まれたフッ素とカルシウム化合物とを反応させた後、排
水を沈降槽に送出するものであり、沈降槽は、反応槽か
ら受け入れた排水中に生じる反応生成物の少なくとも一
を沈降させ、上澄液を放水するものであり、反応槽と
沈降槽とは、槽の下部において互いに連通し、反応槽内
の排水は槽の下部を通して沈降槽内に送出され、反応に
よって生じた反応生成物の少なくとも一部は反応槽内に
留まり、あるいは沈降槽から返還されて反応槽に保持さ
れるものである。
【0020】また、反応槽と、沈降槽とは槽の下部にお
いて互いに連通し、沈降槽の底は、傾斜面を有し、傾斜
面は、反応槽に向けて傾斜し、沈降槽内に沈降した反応
生成物を反応槽内に返還させる面である。
【0021】本発明においては、反応槽内での反応処理
によって、排水中のフッ素と、カルシウム化合物との反
応が進行し、槽の下部を通じて沈降槽内に移される。次
に、沈降槽内での沈降処理によって、反応生成物が槽内
に沈降し、両槽はその下部において互いに連通している
ため、保持処理として反応生成物の全量あるいはその一
部が自ずから反応槽内に保持される。反応生成物は、主
としてフッ化カルシウムであり、反応生成物を反応処理
が進行中の排水中に保持させることによって、排水中の
フッ化カルシウム濃度を高濃度に維持して反応処理を促
進させることができる。
【0022】この際、沈降槽の底部には、沈降した反応
生成物が自ずから反応槽内に返還されやすいように反応
槽に向けて下傾する傾斜面を設けておくと好都合であ
る。
【0023】反応槽内のフッ化カルシウム濃度が高くな
ることにより、フッ化カルシウム結晶比表面積は大きく
なる。その結果、結晶表面にて進行するフッ素イオンと
カルシウムイオンとの結晶成長反応が促進し、反応処理
の処理性が向上する。
【0024】本発明によれば、反応槽中のフッ化カルシ
ウム濃度は、反応槽に連通させた沈降槽の水面積負荷及
びフッ化カルシウム粒子の沈降性に依存するが、おおよ
そ2%以上に維持することが可能であり、処理水のフッ
素濃度を5mg/L以下とすることが可能となる。反応
槽中には、処理すべきフッ素含有排水を連続的または間
欠的に導入し、これにカルシウム化合物を添加して撹拌
する。
【0025】本発明に使用するカルシウム化合物として
は、例えば塩化カルシウム、水酸化カルシウム、炭酸カ
ルシウム、硫酸カルシウム等が挙げられる。この際、好
ましくは反応槽内に高分子凝集剤、無機凝集剤、粒状担
体を連続的または間欠的に添加し、フッ化カルシウムの
沈降性の向上を利用する。さらに反応処理によって生ず
る反応生成物と同じ成分の化学物質、例えば蛍石の粒を
反応槽に添加しておくのも有効である。反応生成物は、
蛍石を核として粒成長し、槽内部の水流によっても容易
には流出しない。
【0026】本発明に使用する無機凝集剤としては、例
えば塩化第2鉄等の第2鉄イオンや、硫酸アルミニウ
ム、ポリ塩化アルミニウム等のアルミニウム塩が挙げら
れる。本発明に使用する粒状担体としては、炭酸カルシ
ウムやシリカ、ゼオライト等が挙げられる。粒状担体を
反応処理に添加する事により、反応生成物を粒状担体に
付着させあるいは反応生成物を共沈させて、反応生成物
の保持性を高めることができる。本発明に従えば、反応
槽中に保持されず流出するフッ化カルシウム量は、沈降
槽の水面積負荷や粒子の沈降性に依存し、流出したフッ
化カルシウムは最終的にクラリファイヤーや砂濾過等に
より除去することができる。
【0027】クラリファイヤーを設置した場合には、反
応槽のフッ化カルシウム濃度を維持するためにクラリフ
ァイヤーから反応槽へ汚泥を返送する経路を設置しても
よい。
【0028】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。図1において、この実施形態におい
ては、反応槽1と、沈降槽2とを槽の下部で互いに連通
させ、沈降槽2の底は、反応槽1に向けて下傾させた傾
斜面である。反応槽1には、フッ素含有排水が連続的に
投入され、さらに、カルシウム化合物と凝集剤としてポ
リマー溶液が添加される。
【0029】反応槽1内では、撹拌機5をもって、排水
を撹拌することにより、反応処理として排水中のフッ素
とカルシウム化合物との反応が進行し、反応生成物とし
てフッ化カルシウムが生成すると同時に添加されたポリ
マーによって生成粒子の凝集化が起こる。排水は反応槽
1の下部を通じて沈降槽2に流入し、沈降槽2内では、
反応槽1から受け入れた排水中の凝集したフッ化カルシ
ウムの沈降処理が進行し、沈降槽2内に沈降したフッ化
カルシウムは、沈降槽2の底の傾斜面に沿ってそのほぼ
全量が反応槽1内に戻され、反応槽1内、すなわち、反
応処理が進行する排水中に保存される。一方、沈降槽2
内で固液分離された上澄液は処理水として放流される。
【0030】図3の実施形態においては、反応槽1と、
第1の沈降槽2と、凝集槽3と、第2の沈降槽4とを連
設し、反応槽1と第2の沈降槽2とを槽の下部で互いに
連通させた例である。この実施形態においては、第1の
沈降槽2の水面積が小さいため、第1沈降槽2内で沈降
しきれなかった反応生成物を後段の凝集槽3と第2の沈
降槽4とによって処理しょうとするものである。反応槽
1および凝集槽3内にはそれそれ撹拌機5が装備され、
排水を撹拌しつつ反応を促進し、あるいは反応生成物の
凝集を促進する。この実施形態では、反応槽1内にフッ
素含有排水が反応物の生成に必要な添加物と共に投入さ
れ、反応処理が進行し、ついで第1の沈降槽2内に受け
入れられ、第1の沈降槽2では沈降処理が進行し、第1
の沈降槽2内に生じた反応生成物の一部が反応槽1内に
戻され、これによって、反応生成物は、反応槽1で進行
する反応処理中の排水中に保持される。
【0031】この実施形態においては、沈降槽2内で固
液分離されずに流出した反応生成物は、さらに凝集槽3
内に受け入れられ、凝集槽3内で凝集剤の添加を受け、
凝集処理が進行して反応生成物が凝集し、さらに凝集槽
3から流出して第2の沈降槽4内に流入して第2の沈降
槽4内で沈降処理が進行し、反応生成物は第2の沈降槽
4内に沈降し、固液分離されて、その上澄液が処理水と
して放流される。
【0032】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。 (実施例1)図1において、まず、フッ化ナトリウムを
市水に溶解してフッ素濃度100mg/Lのフッ素模擬
排水(フッ素溶液)13をつくり、このフッ素溶液を容
積1Lの反応槽1に1L/hrの割合で連続的に流入さ
せた。同時に、塩化カルシウムを市水に溶解してカルシ
ウム濃度を20,000mg/Lに調整したカルシウム
溶液14及びダイヤフロック社製高分子凝集剤AP−1
20を市水に溶解して100mg/Lとしたポリマー溶
液15をそれぞれ30.6mL/hr、10.2mL/
hrで反応槽1に流入させ、200rpmで撹拌した。
【0033】反応槽1内のフッ素溶液は、反応槽1の下
部を経て水面積負荷0.14m/hrの沈降槽2に流入
した。沈降槽2内において、模擬排水中のフッ化ナトリ
ウムと塩化カルシウムとの反応が進み、処理水である上
澄水と、反応生成物であるフッ化カルシウム凝集フロッ
クとに分離され、沈降槽2内に生じた反応生成物は傾斜
面を下降して反応槽1中に戻され、反応槽1中にフッ化
カルシウムとして保持された。
【0034】沈降槽2から流出する処理水16をNo.
5Cの濾紙で濾過した後、フッ素濃度を測定した。フッ
化ナトリウムと塩化カルシウムとの反応時間に対応する
処理水16中のフッ素濃度及び反応槽1中のフッ化カル
シウム濃度の変化を図2に示す。
【0035】図2に示されるように、反応槽1内のフッ
化カルシウム濃度は時間の経過とともに増加し、反応時
間が300hrを経過した後はほぼ3%程度で安定し
た。また、処理水16中に残存するフッ素濃度もフッ化
カルシウム濃度の増大とともに減少し、最終的にはほぼ
3mg/L程度で安定した。
【0036】(実施例2)図3において、まず、フッ化
ナトリウムを市水に溶解し、フッ素濃度25,000m
g/Lのフッ素模擬排水(フッ素溶液)25を作り、こ
のフッ素溶液1Lに、35%塩化カルシウム溶液26を
カルシウム添加濃度が35,000mg/Lとなるよう
添加し、30min撹拌してフッ化カルシウムを生成さ
せた。
【0037】次に、ダイヤフロック製高分子凝集剤AP
−120を市水に溶解し、1,000mg/Lとしたポ
リマー溶液27を、上述のフッ素溶液に添加濃度100
mg/Lとなるよう添加し、フッ化カルシウム種汚泥2
8を調製した。調製した種汚泥28を反応槽1に投入し
た後、フッ化ナトリウムを市水に溶解し、フッ素濃度1
00mg/Lとなるよう調製したフッ素模擬排水25を
容積1Lの反応槽1に1L/hrで連続的に流入させ
た。
【0038】同時に、塩化カルシウムを市水に溶解し、
カルシウム濃度20,000mg/Lとしたカルシウム
溶液26、及びダイヤフロック社製高分子凝集剤AP−
120を市水に溶解し、100mg/Lとしたポリマー
溶液27をそれぞれ30.6mL/hr、10.2mL
/hrで反応槽1に流入させ、200rpmで撹拌し
た。
【0039】反応槽1中の溶液は、反応槽1の下部を経
て水面積負荷5.0m/hrの第1の沈降槽2に流入
し、反応槽1内に生成したフッ化カルシウム及び投入し
た種汚泥28の一部が反応槽1内に保持された。次に、
ダイヤフロック社製高分子凝集剤AP−120を市水に
溶解し、100mg/Lとしたポリマー溶液33を、添
加濃度2mg/Lとなるよう容積100mLの凝集槽3
に添加し、100rpmにて撹拌した。
【0040】凝集槽3からの流出水中に含まれる反応生
成物は、第2の沈降槽4内で固液分離し、上澄水として
処理水24を得た。運転開始後10hrで得られた処理
水24をNo.5Cの濾紙で濾過した後、処理水中のフ
ッ素濃度を測定したところ、フッ素濃度は4.5mg/
Lであり、反応槽1中のフッ化カルシウム濃度は3.8
%であった。
【0041】(実施例3)図3において、反応槽1に実
施例2と同様の操作で調製した種汚泥28及び炭酸カル
シウム粉末(試薬特級)39を50gを投入した。実施
例2の運転条件と同条件にて10hr連続処理を行い、
10hr後の処理水24中に含まれるフッ素の濃度及び
反応槽中のフッ化カルシウム濃度を測定した。フッ素濃
度は3.8mg/L、フッ化カルシウム濃度は4.1%
であった。
【0042】(実施例4)図3において、まず、塩化第
2鉄(試薬特級)を鉄イオンとして400mg/Lとな
るよう市水に溶解し、25%苛性ソーダでpHを7とし
て水酸化第2鉄30を調製した。反応槽1に実施例2と
同様の操作で調製した種汚泥28及び水酸化第2鉄30
を50mL投入した。実施例2の運転条件と同条件にて
10hr連続処理を行い、10hr後の処理水24のフ
ッ素濃度及び反応槽1中のフッ化カルシウム濃度を測定
した。フッ素濃度は3.9mg/L、フッ化カルシウム
濃度は4.0%であった。
【0043】(実施例5)図3において、まず、硫酸ア
ルミニウム(試薬特級)をアルミニウムイオンとして4
00mg/Lとなるよう市水に溶解し、25%苛性ソー
ダでpHを7として水酸化アルミニウム31を調製し
た。反応槽1に実施例2と同様の操作で調製した種汚泥
28、及び水酸化アルミニウム31を50mL投入し
た。実施例2の運転条件と同条件にて10hr連続処理
を行い、10hr後の処理水24のフッ素濃度及び反応
槽1中のフッ化カルシウム濃度を測定した。フッ素濃度
は4.8mg/L、フッ化カルシウム濃度は4.3%で
あった。
【0044】(実施例6)実施例2の連続処理装置を用
い、反応槽1に実施例2と同様の操作で調製した種汚泥
28、及びシリカゲル32(28〜200mesh)を
50g投入した。実施例2の運転条件と同条件にて10
hr連続処理を行い、10hr後の処理水24のフッ素
濃度及び反応槽1中のフッ化カルシウム濃度を測定し
た。フッ素濃度は3.2mg/L、フッ化カルシウム濃
度は3.9%であった。
【0045】(実施例7)図3において、まず、蛍石3
4として、粒状蛍石(純度96%、粒度50〜150メ
ッシュ)50gを反応槽1に投入した。次にフッ素模擬
排水25及びカルシウム溶液26を反応槽1に、ポリマ
ー溶液33を凝集槽3に、それぞれ実施例2と同じ条件
で添加して排水中のフッ素の処理を行った。10hr後
の処理水24中のフッ素濃度及びフッ化カルシウム濃度
は、それぞれ3.2mg/L,4.9%であった。
【0046】(比較例1)図4に示す処理装置を用いた
フッ素模擬排水(フッ素溶液)の処理例を工程順に説明
する。この処理装置においては、図4のように反応槽1
と凝集槽2とを連設しているが、両槽は、槽の下部がつ
ながれていない。したがって、反応槽1内に生成した反
応生成物は、反応槽1の口縁から溢流して凝集槽2内に
流れ込み、反応生成物が反応槽1内に保持されることは
ない。
【0047】この例においては、まず、フッ化ナトリウ
ムを市水に溶解し、フッ素濃度100mg/Lとしたフ
ッ素疑似排水43を容積1Lの反応槽1に1L/hrで
連続的に流入させた。同時に、塩化カルシウムを市水に
溶解し、カルシウム濃度20,000mg/Lとしたカ
ルシウム溶液44を、30.6mL/hrで反応槽1に
連続的に流入させ、撹拌機5を用い、反応槽1内の排水
を200rpmにて撹拌した。
【0048】次に、ダイヤフロック社製高分子凝集剤A
P−120を市水に溶解し、100mg/Lとしたポリ
マー溶液45を、添加濃度2mg/Lとなるよう容積1
00mLの凝集槽2に添加し、100rpmにて撹拌し
た。処理水46をNo.5Cの濾紙で濾過した後、処理
水46中に含まれるフッ素の濃度を測定した。処理水中
のフッ素濃度は10.5mg/Lであった。
【0049】以上実施例1〜7と比較例1との結果をま
とめて表1に示す。
【0050】
【表1】
【0051】以上、実施例と比較例とを比較して明らか
な通り、本発明によるときには、フッ化カルシウムを反
応槽内に保持し、好ましくは凝集剤や粒状担体を添加
し、フッ化カルシウムの保持性を高めることにより処理
水のフッ素濃度を5mg/L以下にすることができる。
【0052】
【発明の効果】以上のように本発明によるときには、カ
ルシウムによる処理工程のみで排水中のフッ素を5mg
/L以下に処理することができる。特に、反応槽と沈降
槽とを槽の下部において互いに連通させておくことによ
り、反応によって排水中に生じた反応生成物の少なくと
も一部を自ずから返還させて反応処理に保持すること
、槽中のフッ化カルシウム濃度を2%以上に維持する
ことができる。さらに、無機凝集剤や高分子凝集剤、粒
状担体を併用することによりフッ化カルシウムの沈降性
を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す図である。
【図2】実施例1における処理水中のフッ素の濃度変化
と反応槽中のフッ化カルシウムの濃度変化を示すグラフ
である。
【図3】本発明の第2の実施形態を示す図である。
【図4】比較例1に用いた装置を示す図である。
【符号の説明】 1 反応槽 2 沈降槽 3 凝集槽 4 沈降槽 5 撹拌機 13、25 フッ素模擬排水(フッ素溶液) 14、26 カルシウム溶液 15、27、33 ポリマー溶液 16、23、24 処理水 28 種汚泥 30 水酸化第2鉄 31 水酸化アルミニウム 32 シリカゲル 34 蛍石 39 炭酸カルシウム
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−113362(JP,A) 特開 平5−185073(JP,A) 特開 昭60−241988(JP,A) 特公 平1−26755(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C02F 1/58 C02F 3/12 C02F 1/52

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 反応処理と、沈降処理と、保持処理とを
    有するフッ素含有排水の処理方法であって、 反応処理は、フッ素含有排水にカルシウム化合物を添加
    して排水中に含まれたフッ素とカルシウム化合物とを反
    応させる処理であり、 沈降処理は、反応処理によって生じた反応生成物の少な
    くとも一部を沈降させる処理であり、 保持処理は、沈降処理によって沈降した反応生成物の少
    なくとも一部を自ずから返還させて反応処理に保持する
    処理であることを特徴とするフッ素含有排水の処理方
    法。
  2. 【請求項2】 凝集処理と、沈降処理とをさらに有し、 凝集処理は、沈降処理後の排水を受け入れ、排水中に残
    存する反応生成物を凝集させる処理であり、 沈降処理は、凝集処理後の排水を受け入れ、排水中に生
    じた反応生成物を沈降させ、上澄液を放流する処理であ
    ることを特徴とする請求項1に記載のフッ素含有排水の
    処理方法。
  3. 【請求項3】 反応処理に高分子凝集剤を添加すること
    を特徴とする請求項1又は2に記載のフッ素含有排水の
    処理方法。
  4. 【請求項4】 反応処理に第2鉄塩を添加することを特
    徴とする請求項1又は2に記載のフッ素含有排水の処理
    方法。
  5. 【請求項5】 反応処理にアルミニウム塩を添加するこ
    とを特徴とする請求項1又は2に記載のフッ素含有排水
    の処理方法。
  6. 【請求項6】 反応処理に、粒状担体を添加し、粒状担
    体に反応生成物を付着又は共沈させることを特徴とする
    請求項1又は2に記載のフッ素含有排水の処理方法。
  7. 【請求項7】 反応処理に、反応処理によって生ずる反
    応生成物と同じ成分の粒子を添加することを特徴とする
    請求項1又は2に記載のフッ素含有排水の処理方法。
  8. 【請求項8】 少なくとも反応槽と、沈降槽とを有する
    フッ素含有排水の処理装置であって、 反応槽は、フッ素含有排水と、カルシウム化合物とが投
    入され、排水中に含まれたフッ素とカルシウム化合物と
    を反応させた後、排水を沈降槽に送出するものであり、 沈降槽は、反応槽から受け入れた排水中に生じる反応生
    成物の少なくとも一部を沈降させ、上澄液を放水するも
    のであり、 反応槽と沈降槽とは、槽の下部において互いに連通し、
    反応槽内の排水は槽の下部を通して沈降槽内に送出さ
    れ、反応によって生じた反応生成物の少なくとも一部は
    反応槽内に留まり、あるいは沈降槽から返還されて反応
    槽に保持されることを特徴とするフッ素含有排水の処理
    装置。
  9. 【請求項9】 反応槽と、沈降槽とは槽の下部において
    互いに連通し、沈降槽の底は、傾斜面を有し、 傾斜面は、反応槽に向けて傾斜し、沈降槽内に沈降した
    反応生成物を反応槽内に返還させる面であることを特徴
    とする請求項に記載のフッ素含有排水の処理装置。
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