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DE888792C - Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Baendern gasabgebender Stoffe im Vakuum - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Baendern gasabgebender Stoffe im Vakuum

Info

Publication number
DE888792C
DE888792C DEB9520D DEB0009520D DE888792C DE 888792 C DE888792 C DE 888792C DE B9520 D DEB9520 D DE B9520D DE B0009520 D DEB0009520 D DE B0009520D DE 888792 C DE888792 C DE 888792C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
vacuum
gas
processing
paper
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DEB9520D
Other languages
English (en)
Inventor
Eberhart Dr-Ing Traub
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DEB9520D priority Critical patent/DE888792C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE888792C publication Critical patent/DE888792C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021Cleaning or etching treatments
    • C23C14/022Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Bändern gasabgebender Stoffe im Vakuum Zur .Bearbeitung von kontinuierlich laufenden Bändern im Vakuum, z. B. zur Metallbe.dlampfung von Papier, hat man die Vorrats'rolIe sowie die Aufwickelrolle im gleichen evakuierten Raum angeordnet, in dem sich auch, die Bearbeitungsstelle, z. B. die Bedampfungsstelle, befindet. Das Band muß also im Vakuum von einer Rolle abgezogen und nach erfolgter Bearbeitung auf eine. Rolle aufgewickelt werden. Dieser Umspulvorganig im Vakuum hat nun zu folgendem Mißstand geführt: Ein Papierband läuft nicht mehr geradlinig von der Vorratsrolle ab, sondern es verläßt diese mit einer seitlichen Verschiebung. Zur Abhilfe könnte man hier an eine mechanische seitliche Führung des Bandes denken, jedoch kann eine solche, z. B. bei sehr dünnen und noch dazu schnell laufenden Fapierhahnen wegen der geringen Festigkeit des Papiers nicht Immer angewendet werden. Noch mißlicher ist aber das gute Aufrollen nach Beendigung des Arbeitsprozesses zu erreichen. Auch :hier schießt das Band: seitlich aus, und es ist daher oft nur schwer möglich, eine solche Rolle noch weiterzuverarbeiten ohne stirnseitige Rollenbeschneidung. Man kann sie dann z. B. nicht mehr in der Länge ohne Verluste schneiden. Wil!1 man sich hier nun in der Weise helfen,, daß man eine Geradeführung beim Aufrollen dadurch zu erreichen sucht, daß man z. B. eine Papierbahn auf eine konische: oder in der Mitte überhöhte Roale auflaufen läßt, wobei bekanntermaßen unter normalen Bedingungen die @GleichmäBigkeit bewirkt wird, so muß man die Erfahrung machen, daß dieses einfache Mittel .der Führung hier vollkommen versagt.
  • Gemäß der Erfindung sind Maßnahmen getroffen, um die Reibung der einzelnen Bandlagen gegen-, einander beizubehalten. Dies geschieht dadurch, daß alle diejenigen Arbeitsgänge, für die der niedrige Druck des hohen Vakuums, welcher .den Austritt von Gasen ermöglicht, im Bearbeitungsraum nicht erforderlich ist, unter höherem Druck durchgeführt und die Bänder nur .kurzzeitig dem niedrigen Druck des evakuierten Bearbeitungsraumes ausgesetzt werden, so daß die dabei ausgetretene geringe Gasmenge späteren, unter höherem Druck durchgeführten Arbeitsgängen nicht hinderlich ist.
  • Es wurde nämlich gefunden, daß die Ursache für .das seitliche Abgleiten von der ab.. o,cler aufizuwickeln:den Bandrolle affenbar in einer Reibungsverminderung zwischen .den Bandlagen zu suchen ist. Di!e .beschriebenen Beobachtungen wurden an Papier .gemacht, das imstande ist, .im Vakuum Wasserdampf oder Gas aus seinen flüchtigen Bestandteilen abzugeben. Der Wasserdampf oder das abgegeben!- Gas bildet vor der Oberfläche des Bandes ein Polster oder eine dünne Haut, ,die die Reibung zwischen den Bandlagen so vermindert, daß die ragten gegeneinander abgleiten können. Die obere Lage schwimmt gewissermaßen, da sie keinen Halt findet, geringsten Zugkräften nachgebend, seitlich ab. Es kommt hinzu, daß z. B. Papserbahnen in der Regel etwas einsaitig verzogen aufgewickelt angeliefert werden, so daß schon eine sehr bringe Veränderung der Reibung genügt, um die Papierbahn schief von der Vorratsrolle abilaufen zu lassen.
  • Eine Bestätigung dafür, daß es sich um Wasser-Aampfpolster handelt, .gibt die Beobachtung, daß die beschriebenen störenden Erscheinungen beim Ab- und Aufrollen von z. B. Papii!erbahnen vornehmlich unterhalb eines Drucks ünrd einer Temperatur im Vakuum auftreten, bei .denen :das Wasser siedet. Hier wind also ohne Zweifel Wasserdampf aus dem feuchten Papier frei gemacht.
  • Man hatte schon früher erkannt, :daß man Papierunterlagen bei _ der thermischen Bedampfung im Vakuum dem Metalldampf nur kurzzeitig auszusetzen -braucht im Gegensate zu anderen BedampIungsverfahren, z. B. der Elektrodenzerstäubung, wo man die Bedampfung mit geringeren Dampfkonzentrationen in längerer Zeit durchführen muß. Die thermische Beda:mP@fung bietet hier den Vorteil, daß eine Zerstörung der wärmeempfindlichen Pap,ierunterllage durch die heißen Metalldämpfe leicht verhindertwird, ohne daß man das Papier kühlen mußte.
  • Bei der Ausführung der Metallilsierung -durch kurzzeitiges Bedampfen von Papierbändern, .die in großen Längen von xoo m und mehr von Rollen abgewickelt und- auf Rollen wieder aufgewickelt werden müssen, ergaben sich .die eingangs genannten Schwierigkeiten.
  • Aus :praktischen Gründen hatte man sowohl die Vorratsrolle des Papiers als auch die Aufwickelrolle im evakuierten Gefäß mit untergebracht, denn die Aufrechterhaltung des .notwendigen Hochfür die thermische Bedampfung von zo-2 bis ro-5 Torr läßt sich bei Verlegung der fraglichen Papierrollen z. B. in den Außenraum (von Atmosphärendruck) nur durch. komplizierte Schleusenkonstruktionen für den Ein- und Austritt laufender Bänder in den evakuierten Bedampfungsraum erreichen, aber dies wollte man vermeiden..
  • ,Als man aber erkannte, daß durch die. Gasabgabe längerer Papierbänder gchwreriggkeiben auftraten, ging man von der einfachen Konstruktion ab und nahm die Papiertrollen ,aus dem Bedampfungsraum heraus und. legte. .sie :erfindungsgemäß in Räume, indenken ein höherer Druck herrschen kann, so daß die Gase aus dem Papier noch nicht austreten können.
  • Das Austreten der Gase oder Dämpfe von vornherein._ zu verhindern oder auf ein geringes Maß herabzudrücken, kann in -der Weise erfolgen, daß . man z. B. eine Papierhahn vo-r dem Einsetzen in das Vakuumgefäß in einem besonderen Arbeitsgang für sich ran -der Luft oder .im. Vakuum vorgetrocknet hat.
  • Die Gasabgabe im Vakuum i!st damit-, wenn auch nicht gänzlich vermieden, jedoch so eingeschränkt worden, daß die Reibung zwischen .den einzelnen Bandlagen beim Ab- oder Aufwickeln nicht mehr in störendter Weise herabgesetzt wird.
  • Die erfindungsgemäße Maßnahme zur Behebung des seitlichen, Abgleitens ider Bänder durch Verhinderung des Gasaustritts beruht auf der schon angedeuteten Beobachtung, daß das Gasen oberhalb eines. Druck- und Temperaturzustands, bei :dem das in den; Bändern enthaltene Wasser noch nicht siedet, so gering ist, daß es nicht mehr stört. Man trennt den eigentlichen; - Bearbeitungsraum, in welchem man z. B. ein sehr hohes Vakuum benötigt, in welchem Wasser bereits siedet, vom Abroll- und vom Aufwickelraum ab. Diese beiden letzteren ebenfalls evakuierten lassen sich leicht mf Hilfe von Schleusen miteinander verbinden:, so daß ein kontinuierlicher Durchlauf .des Bandes durch den Bearbeitungsraum stattfinden kann. Diese beiden Hilfsräume können nun auf einem Vakuum gehalten werden, dessen Druck bei einer gegebenen Temperatur über dem Siededruck des Wassers liegt, so-daß man die im Band enthaltene Feuchtigkeit .für die Waoserdampfabgabe ausgeschaltet hat. Das Durchlaufen des Bandes durch den Bearbeitungsraum im höheren Vakuum, z. B. bei der Metallbedampfung, erfolgt mit so großer Geschwindigkeit, daß ,gar kein öder nur sehr wenig Dampf bzw. Gas vom Band abgegeben wird. Daher kann du .nachher .im Hilfsarbeitsraum erfolgende Aufrollen nicht mehr durch ein sich etwa im Hochvakuumraum blildendes Gaspolster gestört :werden. Auf jeden Fall tritt im Hil!fsurbeitsraum kein Ausblasen des Gases mehr auf, das die Reibung beim Aufrollen (herabsetzen würde. Es ist schon vorgeschlagen. worden, Gase, die auf Oberflächen haften, z. B: auf Kathoden, und sich wegen ihrer großen Absorbierbarkeit nicht durch Vakuumpumpen absaugen, lassen, durch chemische Reaktionen in weniger fest absorbierbare Stoffe umzuwandeln und diese dann abzusaugen. So kann man .Sauerstoff, der sehr fest absorbiert wund, mit Wasserstoff zu Wasserdampf umsetzen und diesen letzteren von der Oberfläche der Kathoden absaugen, was allerdings längere Zeit in Anspruch nimmt. Die fest ;absorbierten Gase, wie z. B. Sauerstoff, sind hier ,dem um:gebenden Raum entnommen" während: die im den Papierbändern enthaltenen Gase erst im Ihoc'hevakuierten Raum an die Oberfläche treten. Nach unseren Beobachtung n bestehen die an den Papieroberflächen austretenden Gase im wesentlichen aus Wasserdampf, der sich grundsätzlich ,absaugen läßt, wenn man genügend Zeit dazu zur Verfügung hat. Bei .der schnellen Bearbeitung ,laufender Papierbänder ist aber die Zeit zum Absaugen viel zu kurz, außerdem wäre zur Beseitigung dier Gase eine erhöhte Pumpenleistung notwendig, da ja fortgesetzt neue Gase in den evakuierten Rauur eingekracht werden, und schließlich wäre unter Umständen durch Iden Entzug der Gase eine Herabsetzung .der mechanischen Eigenschaften (Brüchigwerden) der Papier-'bänder zu befürchten.
  • Die Unterteilung in- evakuierte Räume von verschiedenen Drucken ermöglicht außerdem sogar verschiedene Bearbeitungsverfahren in einem Arbeitsgang zus,arnmenzufasisen"die bisher nicht bei einem bestimmten Gasdruck im Vakuum ausgeführt werden konnten.
  • Es ist z. B. schon vo-rgeschl@agen worden, Oberflächen von Stoffen, auf welche. im, Vakuum metallische Schichten aufgebracht werden sollen, durch Glimmentladung vorzubehandeln. Diese letztere erfordert nun zur Ionisation einen bestimmten Druck, der eriheib'li!ch ,größer :sein mzuß als derjenige, bei dem später die Au.fbiringung der metallischen Schichiten erfolgen kann. Die Behandlung mittels, Glimmentladung .läßt sich am laufenr den Band in einem evakuierten Raum von passendem Druck vornehmen, wonach das Band durch Passieren einer Schleuse in .den Arbeitstraum geführt wird, welcher einen für die M.etafili@sierumg notwendigen wesentlich niederen Gasdruck hat. Auf diese Art sind, zwei räumlich getrennte Bearbeitungen in einem laufenden Arbeitsgang möglich geworden.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: r. Verfahren zur Vermeidung der durch austretende Gase hervorgerufenen Bearbeitiunigsschwierigkeiten laufender Bänder aus .im Vakuum gasabgebenden Stoffen, dadurch igekennzeichnet, idaß alle ,diejenigen Arbekisgän,ge, für die .der niedrige Druck des Ihohen Vakuums, welcher .den Austritt der Gase ermöglicht, im Bearbeitungsiraum nicht erforderlich ist,, unter höherem ,Druck durchgeführt und -die Bänder nur kurzzeitig dem niedrigeren Druck des evakuierter Bearbeitungsraumes ausgesetzt werden, so idaß die dabei ausgetretene geringe Gasmenge @;späterem, unter höherem: Druck .durchgeführten, Arbeitsgängen nicht 'hinderliich ist. a. Vorrichtung zur Durchführung des Ver-@fah:rens, nach. Anspruch r, gekennzeichnet durch mehrere von den Bändern, z. B. Papier, id!u.rchlaufene Vakuumräume, von denen diejenigen, in denen sich die Absipü'1- u id Aufspulvorrichtungen befinden, unter einem höheren Druck stehen, als der Raum für Üie ei;gentliiche Bearbeitung .der Bänder, wobei der hÖhere Druck sio 'hoch ist, daß hierbei noicih ,kein störerndias Gasen des Bandes eintritt. 3. Vorrichtung nach Anspruch a, dadurich gekennzeichnet, daß -die Räume, -durch diie dtas Band läuft, durch Schleusen miteinander verbunden sind. 4. Vorrifchtunig nach Anspruch a und 3 zur Bearbeitunig von kontinui-er'lich laufenden Papierbändern, dadurch gekennzeichnet, daß für die- Abspul- und Aufspulräume ein Druck vorgesehen ist, der bei den in diesen Räumen herrschenden Temperaturen über &m Dampfdruck des Wassers liegt. 5. Verfahren nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, d@aß eine Vorbehandlwng .der Bänder durch Gli.mimentliadung :bei. ;höherem Druck, als er für die Metallisierung notwendig isst, durchgeführt wird, wonach,das; Band durch eine Schleuse in de;n Arbeitstraum gebracht wird, der den für die Metallsiierung notwendii;ge,n niedrigen Gastdruck hat, und beIde Behandlungen in einem laufenden Arbeiitsganig durchgeführt werden.
DEB9520D 1942-01-25 1942-01-25 Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Baendern gasabgebender Stoffe im Vakuum Expired DE888792C (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1213699B (de) * 1957-01-24 1966-03-31 Bosch Gmbh Robert Durch Aufdampfen metallisierte Unterlage zur Erzielung von Verzierungseffekten
DE1496096B1 (de) * 1963-09-16 1970-08-20 Saint Gobain Vorrichtung zum Herstellen eines duennen und gleichmaessigen,auf einer der Oberflaechen eines endlosenGlasbandes haftenden metallischen UEberzugs im Vakuum

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1213699B (de) * 1957-01-24 1966-03-31 Bosch Gmbh Robert Durch Aufdampfen metallisierte Unterlage zur Erzielung von Verzierungseffekten
DE1496096B1 (de) * 1963-09-16 1970-08-20 Saint Gobain Vorrichtung zum Herstellen eines duennen und gleichmaessigen,auf einer der Oberflaechen eines endlosenGlasbandes haftenden metallischen UEberzugs im Vakuum

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