DE1279426B

DE1279426B - Bandbedampfungsvorrichtung

Info

Publication number: DE1279426B
Application number: DE1966H0060329
Authority: DE
Inventors: Heinz Walter
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1966-08-24
Filing date: 1966-08-24
Publication date: 1968-10-03

Description

Bandbedampfungsvorrichtung Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Bedampfen von bandförmigem Gut in einem Vakuumbehälter.
Es sind Vorrichtungen zum Metallisieren von bandförmigem Gut bekannt. Diese Vorrichtungen weisen einen unter hohem Vakuum befindlichen Arbeitsraum auf, in dem ein Band durch thermische Metallaufdampfung metallisiert wird. Diesem Arbeitsraum sind wenigstens zwei Vorkammern vorgeschaltet. Diese Vorkammern weisen unterschiedliches Vakuum auf, und zwar ist einerseits das Vakuum in der unmittelbar an den Arbeitsraum anschließenden Vorkammer etwas schlechter als das im Arbeitsraum herrschende Vakuum, und andererseits ist das Vakuum in der anderen Vorkammer wiederum etwas schlechter als das in der unmittelbar an den Arbeitsraum anschließenden Vorkammer aufrechterhaltene Vakuum. Der Druck sinkt also stufenweise in Richtung auf den Arbeitsraum. Das zu bedampfende bandförmige Gut befindet sich außerhalb der Bedampfungsvorrichtung unter normalem Atmosphärendruck auf einer Vorratsrolle. Von dieser Rolle wird es kontinuierlich abgezogen und durch Schlitze, welche in den Trennwänden der Vorkammern vorgesehen sind, in den Arbeitsraum eingeführt, wo es metallisiert wird. Nach der Metallisierung wird das Band wieder durch Schlitze in den Trennwänden der Vorkammern aus der Bedampfungsvorrichtung in die freie Atmosphäre herausgeführt und auf eine Rolle aufgewickelt. Diese bekannten Bandbedampfungsvorrichtungen eignen sich nur zur Bedampfung von Papier-, Metall- oder auch Kunststoffbändern relativ großer Dicke.
Die Verwendung eines endlosen Bandes bei Vakuum-Bandbedampfungsanlagen od. dgl. ist aus der deutschen Patentschrift 961771 und dem deutschen Gebrauchsmuster 1832 864 bekannt. In beiden Fällen läuft das endlose Band jeweils in einer Kammer um. Im Fall der deutschen Patentschrift 961771 bildet das endlose Band zusammen mit einer umlaufenden Walze eine Abdichtvorrichtung zum laufenden Hindurchführen von bandförmigem Gut aus einem Raum bestimmten Druckes in einen Raum anderen Druckes. Im Fall des deutschen Gebrauchsmusters 1832 864 wird das endlose Band zur teilweisen Abdeckung eines durch Bedampfen unter Vakuum zu metallisierenden Isolierstoffbandes benutzt. Beide Fälle haben gemein, daß das endlose Band zur Lösung einer anderen Aufgabenstellung als der hier vorliegenden dient.
Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, eine Bedampfungsvorrichtung für bandförmiges Gut zu schaffen, die unabhängig von der Dicke des zu bedampfenden Bandes stets einen sicheren Arbeitsablauf gewährleistet, d. h., daß die Funktionstüchtigkeit nicht von der Dicke des zu bedampfenden Bandes abhängt.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird eine Bedampfungsvorrichtung zur kontinuierlichen Bedampfung eines Bandes in einem unter hohem Vakuum befindlichen Arbeitsraum vorgeschlagen, welche wenigstens zwei Vorkammern aufweist, deren Drücke verschieden sind und stufenweise in Richtung auf den Arbeitsraum abnehmen, und bei der das zu bedampfende Band durch Schlitze in den Trennwänden der Vorkammern in den Arbeitsraum hineingeführt und nach seiner Bedampfung wieder herausgeführt wird. Diese Bedampfungsvorrichtung ist nun erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß ein endloses umlaufendes Trägerband vorgesehen ist, welches einerseits über eine außerhalb der Bedampfungsvorrichtung in der freien Atmosphäre angeordnete Umlenkrolle und andererseits über eine in dem Arbeitsraum angeordnete Umlenkrolle sowie durch die Schlitze in den Trennwänden der Vorkammern läuft. Als Trägerband wird vorzugsweise ein Metallband verwendet. Ferner ist es vorteilhaft, die im Arbeitsraum angeordnete Umlenkrolle für das Trägerband zu kühlen. Außerhalb der Bedampfungsvorrichtung wird das zu bedampfende Band von einer Vorratsrolle abgezogen und auf die Außenseite des umlaufenden endlosen Trägerbandes gebracht. Zusammen mit dem Trägerband wandert nun das zu bedampfende Band durch die Vorkammern zu dem Arbeitsraum und wird dort bedampft. Anschließend gelangt es dann wieder durch die Vorkammern in die freie Atmosphäre, wo es vom Trägerband abgenommen und auf eine Rolle aufgewickelt wird. Durch die erfindungsgemäße Ausbildung der Bedampfungsvorrichtung ist es nun möglich, auch außerordentlich dünnes bandförmiges Gut, wie hauchdünne Folien aus Kunststoff, Metall, Papier od. dgl., zu bedampfen, ohne daß befürchtet werden muß, daß die Folien zerreißen oder in sonstiger Weise beschädigt werden. Auch das, Abwickeln und Aufwickeln des zu bedampfenden Bandes kann in einfacher Weise erfolgen. Die bei sehr dünnen Folien vorhandenen Umrollprobleme sind auf ein Mindestmaß reduziert. Schließlich gestattet auch die erfindungsgemäß ausgebildete Bedampfungsvorrichtung, sehr wärmeempfindliches bandförmiges Gut zu bedampfen, denn durch die Verwendung eines metallenen Trägerbandes wird störende Wärme schnell abgeführt. Dies kann noch dadurch unterstützt werden, daß die Trägerband-Umlenkrolle im Arbeitsraum. gekühlt wird. Nicht zuletzt zeichnet sich die erfindungsgemäße Bandbedampfungsvorrichtung auch noch durch ihren sehr einfachen Aufbau aus.
In der Figur ist schematisch ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Bandbedampfungsvorrichtung dargestellt.
Der Arbeitsraum 1 befindet sich auf hohem Vakuum. In diesem Arbeitsraum ist eine Dampfquelle 2, wie ein Verdampferschiffchen od. dgl., angeordnet sowie die Umlenkrolle 3. Dem Arbeitsraum :t sind drei Vorkammern 4, 5 und 6 vorgeschaltet, deren Trennwände 7, 8, 9 und 10 jeweils zwei Schlitze 7 a, 7 b; 8 a, 8 b; 9 a, 9 b und 10 a, 10 b aufweisen. Die Vorkammern 4, 5 und 6 befinden sich auf verschiedenem Druck, und zwar sinkt der Druck in Richtung zum Arbeitsraum 1 stufenweise ab, d. h., der Druck in der Vorkammer 6 ist höher als der in der Vorkammer 5, der Druck in der Vorkammer 5 ist höher als der in der Vorkammer 4 und der Druck in der Vorkammer 4 ist höher als im Arbeitsraum 1. Die Höhe und Breite der Schlitze ist so gewählt, daß einerseits das umlaufende Trägerband 11 zusammen mit dem auf ihm aufliegenden, zu bedampfenden bzw. bedampften Band 12 einwandfrei hindurchtreten kann und andererseits die gewünschten Drücke in den einzelnen Vorkammern aufrechterhalten werden können. Beispielsweise wird bei einem Vakuum von etwa 10-4 mm Hg im Arbeitsraum 1 ein Druck von etwa 10-2 mm Hg in der Vorkammer 4, von etwa 1 mm Hg in der Vorkammer 5 und von etwa 20 mm Hg in der Vorkammer 6 aufrechterhalten.
An die Stutzen 1 a, 4 a, 5 a und 6 a werden entsprechend dimensionierte Vakuumpumpenaggregate angeschlossen. Außerhalb der Bedampfungsvorrichtung sind in der freien Atmosphäre die Umlenkrolle 13 für das endlose Trägerband 11 sowie eine Vorratsrolle 14 von zu bedampfendem bandförmigem Gut 12 und eine Aufwickelrolle 15 für bedampftes Gut angeordnet.
Von der Vorratsrolle 14 wird das Gut 12 abgewickelt und auf die Außenseite des umlaufenden Trägerbandes 11 gebracht. Zusammen mit dem Trägerband 11 gelangt es durch die Schlitze 10a, 9a, 8a und 7a in den Arbeitsraum 1. Dort wird es bedampft und dann durch die Schlitze 7 b, 8 b, 9 b und 10b aus der Bedampfungsvorrichtung herausgeführt, vom Trägerband 11 abgenommen und auf die Rolle 15 aufgewickelt.
Die Antriebsvorrichtungen für die Trägerbandrolle bzw. -rollen 3, 13 sowie die Vorratsrolle 14 und die Aufwickelrolle 15 sind in der schematischen Darstellung aus Gründen der übersicht nicht eingezeichnet. Hierzu können handelsübliche Antriebsvorrichtungen verwendet werden.

Claims

Patentansprüche: 1. Bedampfungsvorrichtung zur kontinuierlichen Bedampfung eines Bandes in einem unter hohem Vakuum befindlichen Arbeitsraum, welche wenigstens zwei Vorkammern aufweist, deren Druck verschieden ist und stufenweise in Richtung auf den Arbeitsraum abnimmt, und bei der das zu bedampfende Band durch Schlitze in den Trennwänden der Vorkammern in den Arbeitsraum und nach seiner Bedampfung wieder aus diesem gelangt, dadurch gekennzeichnet, daß ein endloses, umlaufendes Trägerband (11) vorgesehen ist, welches einerseits über eine außerhalb der Bedampfungsvorrichtung in der freien Atmosphäre angeordnete Umlenkrolle (13) und anderseits über eine in dem Arbeitsraum (1) angeordnete Umlenkrolle (3) sowie durch die Schlitze (7 a, 7 b; 8 a, 8 b; 9 a, 9 b; 10 a, 10 b) in den Trennwänden (7, 8, 9, 10) der Vorkammern (4, 5, 6) verläuft. z. Bedampfungsvorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein endloses, umlaufendes Trägerhand (11) aus Metall. 3. Bedampfungsvorrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkrolle (3) kühlbar ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 961771; deutsches Gebrauchsmuster Nr. 1860 435.