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DE69432192T2 - Linearantrieb - Google Patents

Linearantrieb

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DE69432192T2
DE69432192T2 DE69432192T DE69432192T DE69432192T2 DE 69432192 T2 DE69432192 T2 DE 69432192T2 DE 69432192 T DE69432192 T DE 69432192T DE 69432192 T DE69432192 T DE 69432192T DE 69432192 T2 DE69432192 T2 DE 69432192T2
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DE
Germany
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bearing
housing
encoder
shaft
rotatable shaft
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DE69432192T
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English (en)
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Shigekazu Nagai
Masahiko Suzuki
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Original Assignee
SMC Corp
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Priority claimed from JP5281203A external-priority patent/JPH07133855A/ja
Priority claimed from JP33657493A external-priority patent/JP3370759B2/ja
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Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Stellglied gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Beschreibung des Standes der Technik:
  • Bisher war ein Stellglied bekannt, welches als Antriebsquelle einen Elektromotor hat, der mit einem Sensor, wie bspw. einem Encoder, einem Tachometergenerator oder ähnlichem ausgestattet ist, um es zu ermöglichen, eine Rotationsgeschwindigkeit, ein Antriebsdrehmoment, eine Halteposition, oder ähnliches zu kontrollieren. Die Rotationsbewegung des Elektromotors wird durch eine Antriebskraftübertragungswelle, wie z. B. eine Kugelspindel, eine trapezförmige Spindel, oder ähnlichem in eine Linearbewegung umgewandelt und die Linearbewegung wird an einen Tischmechanismus übermittelt, der verstellt wird, um ein Werkstück zu befördern.
  • Ein Elektromotor, der in solch ein Stellglied eingebaut ist, ist im Längsschnitt in Fig. 1 der beigefügten Zeichnungen dargestellt. Wie es in Fig. 1 gezeigt ist, weist der im Allgemeinen mit 1 bezeichnete Elektromotor eine Kupplung 4 auf, die ein Ende einer Kugelspindel 2 und ein Ende einer Motorwelle 3 koaxial miteinander verbindet. Die Kupplung 4 dient zur Absorption einer Fehlausrichtung zwischen den Achsen der Motorwelle 3 und der Kugelspindel 2 und verhindert, dass Vibrationen, welche entstehen, wenn die Rotationsbewegung in eine Linearbewegung umgewandelt wird, und auch Vibrationen, welche dadurch entstehen, dass die Rotationsbewegung eine Krümmungskomponente rechtwinklig zu der Achse enthält, wenn die Kugelspindel 2 länger wird, an die Motorwelle 3 übertragen werden.
  • Ein Ende der Kugelspindel 2 wird von einem ersten Lager 5 drehbar gelagert, welches Kugeln 5a aufweist, die schräg zwischen dessen inneren und äußeren Bahnen angeordnet sind. Da die Kugeln 5a Belastungen mit einem bestimmten Winkel in Bezug zur Achse der Kugelspindel 2 aufnehmen, wie es durch die gestrichelten Linien in Fig. 1 angedeutet ist, sind die Kugeln 5a in der Lage, eine Belastung in einer im Wesentlichen rechtwinkligen Richtung zu der Achse der Kugelspindel 2 und auch eine Belastung in einer im Wesentlichen parallelen Richtung zur Achse der Kugelspindel 2 zu absorbieren.
  • Die Motorwelle 3, welche in einem Motorgehäuse 6 aufgenommen ist, weist ein durch ein zweites Lager 7 drehbar gelagertes Ende und eine Federscheibe 8 auf, sowie ein entgegengesetztes Ende, welches durch ein drittes Lager 9, das eine Doppellageranordnung aufweist, drehbar gelagert ist.
  • Das erste Lager 5 trägt die Kugelspindel 2 sowohl in axialer als auch radial inwärtiger Richtung. Das zweite Lager 7 trägt die Motorwelle 3 in einer radialen Innenrichtung, um so Vibrationen und Trägheitskräfte zu absorbieren, die in einer radialen Außenrichtung durch die Rotationskräfte der Motorwelle 3 entstehen. Das dritte Lager 9 trägt die Motorwelle 3 sowohl in axialer als auch radialer Innenrichtung. In dem Fall, dass ein Fotosensor P in den Elektromotor 1 eingebaut ist, um die Drehzahl, die Rotationsgeschwindigkeit oder ähnliches des Elektromotors 1 zu erfassen, ist es folglich möglich, eine fest an der Motorwelle 3 montierte Encoderscheibe D genau innerhalb eines Zwischenraums A im Fotosensor P zu positionieren.
  • Der Elektromotor 1, welcher dazu neigt, während des Betriebs eine relativ hohe Temperatur zu erfahren, leidet wegen der unterschiedlichen Materialen und Formen der eingesetzten Teile unter dem Problem unterschiedlicher Wärmeausdehnungen. Typischerweise besteht das Motorgehäuse 6 aus einem aluminiumbasierten Material zur Wärmeabstrahlung, und die Motorwelle 3 besteht aus einem eisenbasierten Material. Der Unterschied zwischen den unterschiedlichen Wärmeausdehnungen der Materialen des Motorgehäuses 6 und der Motorwelle 3 verursacht eine Axialverschiebung des Motorgehäuses 6, was möglicherweise die Belastung auf das die Motorwelle 3 tragende Lager 7 konzentriert. Dementsprechend ist es notwendig, den Unterschied zwischen diesen unterschiedlichen Wärmeausdehnungen auf irgendeine Weise zu absorbieren.
  • Bei dem herkömmlichen Elektromotor 1 ist die Federscheibe 8 zwischen Kugeln 7a des zweiten Lagers 7 und einer Innenwandfläche einer Klammer 6a des Motorgehäuses 6 angeordnet. Der Unterschied zwischen den unterschiedlichen Wärmeausdehnungen kann absorbiert werden, wenn die Federscheibe 8 elastisch verformt wird, sodass sie die Kugeln 7a in eine zur Achse der Motorwelle 3 im Wesentlichen parallele Richtung drückt.
  • Stellglieder zur Durchführung von Dreh- und Linearbewegungen, wie bspw. ein durch einen Elektromotor dargestelltes elektrisches Stellglied und ein durch einen Fluidzylinder dargestelltes Fluiddruckstellglied, werden durch einen Motorantrieb und ein spulenbedientes Ventil gesteuert. Diese Stellglieder, die auch Stellglieder zur Benutzung in Robotern enthalten, sind normalerweise unabhängig von, und nicht integral mit einer Steuerung angeordnet.
  • Wenn der Elektromotor 1 als Stellglied in eine Vorrichtung eingebaut wird (nicht dargestellt), sodass eine Antriebsquelle zur Verfügung steht, ist es notwendig, die Größe und das Gewicht des Stellgliedes so weit wie möglich zu verringern, um die Einsetzbarkeit des Stellgliedes zu erhöhen.
  • Die Kupplung 4, welche die Motorwelle 3 und die Kugelspindel 2 miteinander verbindet, kann, wenn sie gedreht wird, Resonanzen in der Motorwelle 3 und in der Kugelspindel 2 erzeugen. Wenn der wie bei einem Servomotor hohe dynamische Eigenschaften benötigende Elektromotor 1 resonant schwingt, wird dessen Positionssteuerungsgenauigkeit verringert und seine dynamischen Eigenschaften werden beeinträchtigt. Wenn auf die Kupplung 4, welche dazu dient, zu verhindern, dass Vibrationen auf die Motorwelle 3 aufgebracht werden, verzichtet würde, und die Motorwelle 3 und die Kugelspindel 2 einheitlich direkt miteinander gekoppelt würden, um die oben genannten Nachteile zu vermindern, würden unerwünschte Vibrationen an die Motorwelle 3 übertragen. Als Ergebnis wäre es schwierig, ein Werkstück in gleichmäßiger und stabiler Weise zu befördern.
  • Das Dokument WO 93/05321 A1 (entspricht EP 0 601 185 A1) offenbart ein Stellglied gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Insbesondere sind in diesem Stellglied ein Motor, eine Kugelspindelwelle u. s. w. in einen äußeren Rahmen eingepasst und Direktantriebsführungen sind an beiden Seiten der in diesem Rahmen geformten rillenähnlichen Öffnung vorgesehen. Die Kugelspindelwelle ist an dem zentralen Abschnitt des Rahmens vorgesehen, und ein Tisch gleitet entlang der Direktantriebsführungen mittels der Drehwirkung der Kugelspindelwelle. Der Elektromotor und eine Encodereinheit sind an einem Ende der Kugelspindelwelle montiert und in ein Gehäuse eingebaut. In diesem Gehäuse wird die Kugelspindelwelle durch Lager getragen, welche an ihren entgegengesetzten Enden montiert sind.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Stellglied vorzuschlagen, welches es ermöglicht, den Zwischenraum zwischen den Sensoren und der Encoderscheibe unter axialer Belastung der Welle genau einzuhalten.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Stellglied vorgesehen, welches die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind aus den Unteransprüchen ersichtlich.
  • Die Stellglieder können entsprechende Rahmen aufweisen, wobei die Rahmen Energieversorgungsleitungen und Signalleitungen beinhalten, welche die Komponenten miteinander verbinden. Die Signalleitungen können in einer drahtlosen Anordnung miteinander verbunden sein. Das Stellgliedsystem kann außerdem ein Netzwerkkommunikationssystem zur Verbindung der Komponenten aufweisen.
  • Der Bediener kann Abdeckungen mit unterschiedlichen Formen frei auswählen und an dem Rahmen befestigen, abhängig von der Umgebung, in welcher das Stellglied installiert werden soll, und von der Anwendung, für welche das Stellglied benutzt werden soll. Da die Abdeckungen von dem Rahmen abnehmbar sind, kann das Stellglied durch Entfernen oder Hinzufügen einiger Abdeckungen in eine andere Anordnung verändert werden, wenn das Stellglied an einem anderen Ort installiert werden soll.
  • Vibrationen, die durch die Antriebskraftübertragungswelle erzeugt werden, wenn der Motor unter Strom gesetzt wird, werden durch das erste Lager absorbiert, und folglich daran gehindert, an den Motor übertragen zu werden. Wenn zum Zeitpunkt, an dem der Motor erhitzt wird, eine Verschiebung wegen des Unterschiedes zwischen den Wärmeausdehnungen des Gehäuses und der drehbaren Welle entsteht, wird das Federelement elastisch verstellt, um die Verschiebung zu absorbieren, wodurch verhindert wird, dass Spannungen in der axialen Richtung der Antriebswelle auf das erste Lager aufgebracht werden.
  • Das zweite Lager ist in der Lage, eine Belastung in der axialen Richtung und eine Belastung in einer zur axialen Richtung senkrechten Richtung zu absorbieren.
  • Bei dem Stellgliedsystem ist jede der Komponenten des Stellgliedsystems zur Selbsterkennung einer Steuerung zugeordnet. Folglich können die Stellglieder leicht verändert werden.
  • Die obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden in der folgenden Beschreibung offensichtlich, wenn sie in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen gesehen wird, in denen bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung als illustrative Beispiele gezeigt sind.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch einen in ein Stellglied eingebauten herkömmlichen Elektromotor;
  • Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Stellglieds gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • Fig. 3 zeigt eine perspektivische Teilansicht des in Fig. 2 gezeigten Stellgliedes;
  • Fig. 4 zeigt einen Schnitt des in Fig. 2 gezeigten Stellgliedes.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Ein Stellglied gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in den Fig. 2 bis 4 gezeigt.
  • Das Stellglied, allgemein mit 330 bezeichnet, umfasst einen Rahmen 336, der eine Mehrzahl im Wesentlichen paralleler länglicher Rillen 334 mit einem im Wesentlichen T-förmigen Querschnitt hat, die in seinen Seitenflächen ausgebildet sind, außer in einer Seitenfläche mit einer darin definierten Öffnung 332, eine lineare Führung 338, die am Boden des Rahmen 336 angeordnet ist, einen Tischmechanismus 342, welcher bei Drehung der Kugelspindelwelle 340 entlang der linearen Führung 338 linear verstellbar ist, und einen Elektromotor 344, der an ein Ende des Rahmens 336 gekoppelt ist.
  • Wie es in Fig. 3 gezeigt ist, weist der Tischmechanismus 342 ein entlang der linearen Führung 338 gleitbares Lager 346 auf, und einen an das Lager 346 befestigten Tisch 349, welcher entsprechend der Drehung der Kugelspindelwelle 340, die in eine in den Tisch 349 montierte Kugelspindeldurchführung 348 eingeschraubt ist, linear verstellbar ist.
  • Wie es in Fig. 4 gezeigt ist, weist der Elektromotor 344 eine Motoreinheit 352 und eine Encodereinheit 354 auf, welche in einem Gehäuse 350 aufgenommen sind. Das Gehäuse 350 umfasst einen Rahmen 358 mit einer Klammer 356 und eine Endabdeckung 360, die an dem Rahmen 358 befestigt ist. Das Gehäuse 350 enthält eine zur Kugelspindelwelle 340 koaxiale und mit dieser einstückige Antriebswelle 362, wobei die Antriebswelle 362 als Motorwelle dient. Die Antriebswelle 362 wird durch ein durch eine Klammer 356 zurückgehaltenes erstes Lager 364 und ein durch einen Encoderrahmen 366 (ist später beschrieben) zurückgehaltenes zweites Lager 368 drehbar gelagert.
  • Das erste Lager 364, welches ein Tiefrillenkugellager aufweist, wird axial von einer Federscheibe 370 getragen, die seitlich vom ersten Lager 364 angeordnet ist. Das erste Lager 364 und die Federscheibe 370 weisen im Wesentlichen dieselbe Struktur wie diejenigen des in Fig. 1 gezeigten Elektromotors 2 in dem herkömmlichen Stellglied 1 auf, unterscheiden sich aber davon wie folgt:
  • Das erste Lager 364 ist nahe an einem Bereich angeordnet, in welchem die Antriebswelle 362 außerhalb des Gehäuses 350 frei liegt und hält die Antriebswelle 362 radial nach innen, um einen Zwischenraum zwischen einem Permanentmagneten 372 und einer ringförmigen Statorspule 374 der Motoreinheit 352 hochgenau zu erhalten, und auch um von der Biegebewegung der Kugelspindelwelle 340 verursachte Vibrationen daran zu hindern, auf die Motoreinheit 352 übertragen zu werden.
  • Verschiebungen, die zum Zeitpunkt, an dem der Elektromotor 344 erhitzt wird, durch den Unterschied zwischen den Wärmeausdehnungen der Materialien des Rahmens 358 und der Antriebswelle 362 entstehen, werden durch die Federscheibe 370 absorbiert, wenn diese wegen ihrer eigenen elastischen Verformung axial verstellt wird. Dadurch wird verhindert, dass das erste Lager 364 innere Axialspannungen erleidet.
  • Die Motoreinheit 352 weist auch einen ringförmigen Motorrotor 376 und einen Statorkern 378 auf. Der ringförmige Motorrotor 376 und der Permanentmagnet 372 sind nacheinander radial über der Antriebswelle 362 eingepasst, und die ringförmige Statorspule 374 und der Statorkern 378 sind nacheinander radial an einer inneren Wandfläche des Rahmens 358 befestigt, welche sich um den Permanentmagneten 372 erstreckt. Die Antriebswelle 362 und der Motorrotor 376 sind durch Stellschrauben (nicht dargestellt), welche durch den Motorrotor 376 durchgeschraubt sind und gegen an der Antriebswelle 362 geformte flache Flächen 379a, 379b gehalten werden, aneinander befestigt. Alternativ können die Antriebswelle 362 und der Motorrotor 376 durch eine Schlüsselausnehmung und einen Schlüssel, einen Rückhaltering, einen Kragen, einen Kleber oder dgl. aneinander befestigt sein. Weiterhin alternativ kann ein Magnet direkt auf die Antriebswelle 362 montiert und danach magnetisiert werden, wodurch die Antriebswelle 362 und der Motorrotor 376 integral miteinander geformt werden. Mit diesen Befestigungsanordnungen ist es möglich, die Antriebswelle 362 aus dem Gehäuse 350 zu entfernen.
  • Die Encodereinheit 354 umfasst einen Encoderrahmen 366, der an einer inneren Wandfläche der Endabdeckung 360 befestigt ist. Das zweite Lager 368 wird durch eine Lagerhalterung 380 in dem Encoderrahmen 366 gehalten. Das zweite Lager 368 weist ein Doppelschrägkugellager mit zwei parallelen Kugelanordnungen 369 auf. Die zwei parallelen Kugelanordnungen 369 des zweiten Lagers 368 sind um entsprechende Winkel zu einer zur Achse des zweiten Lagers 368 rechtwinkligen Linie geneigt, sodass sie in der Lage sind, eine Belastung in Richtung der Achse des zweiten Lagers 368 und auch eine Belastung in einer Richtung senkrecht zur Achse des zweiten Lagers 368 zu absorbieren. Das zweite Lager 368 kann durch ein anderes kombiniertes Winkelkugellager, ein kombiniertes konisches Rollenlager, ein doppeltes konisches Rollenlager oder ähnliches ersetzt werden.
  • Die Encodereinheit 354 weist ein Paar voneinander beabstandete und durch Stifte 386 an dem Encoderrahmen 366 befestigte Platten 384a, 384b und ein Paar jeweils an den Platten 384a, 384b gesicherte Fotosensoren 388a, 388b auf, wobei die Fotosensoren 388a, 388b als ein Licht aussendendes Element bzw. als ein Licht erfassendes Element dienen. Eine Mutter 390 ist über das entfernte Ende der Antriebswelle 362 geschraubt, und eine ringförmige Encoderscheibe 392 ist fest an und um die Mutter 390 montiert. Die Encoderscheibe 392 weist eine Vielzahl von Schlitzen (nicht dargestellt) auf, die zwischen den Fotosensoren 388a, 388b angeordnet sind. Von dem Licht aussendenden Element ausgesandtes Licht durchquert die Schlitze und wird dann durch das Licht erfassende Element erfasst, um die Rotationsgeschwindigkeit des Motors 344 und die Stellung des Tisches 349 zu erfassen.
  • Der Betrieb und Vorteile des Stellglieds 330 werden im Folgenden beschrieben.
  • Eine über Leitungen mit dem Motor 344 elektrisch verbundene Energieversorgung (nicht dargestellt) wird angeschaltet, um die Motoreinheit 352 unter Strom zu setzen, und dadurch die Antriebswelle 362 in eine vorbestimmte Richtung zu drehen. Die Drehbewegung der Antriebswelle 362 wird durch die Kugelspindelwelle 340 an die Kugelspindeldurchführung 348 übertragen, die linear entlang der Kugelspindelwelle 340 bewegt wird, um den Tisch 349 daran entlang zu verstellen.
  • Während der Motor 344 in Betrieb ist, absorbiert das erste Lager 364 Vibrationen der Kugelspindelwelle 340 und verhindert folglich, dass Vibrationen an die Antriebswelle 362 übertragen werden. Dementsprechend kann die Motoreinheit 352 die Antriebswelle 362 stabil und gleichmäßig drehen, ohne beschädigt zu werden.
  • Wenn der Motor 344 während des Betriebes erhitzt wird, neigt der Rahmen 358 dazu, wegen der unterschiedlichen Wärmeausdehnungen der Materialien des Rahmens 358 und der Antriebswelle 362 in axialer Richtung verschoben zu werden. Solch eine Verschiebung kann jedoch durch die Federscheibe 370 absorbiert werden, wenn diese axial elastisch verformt wird. Dementsprechend wird verhindert, dass axiale Spannungen an das erste Lager 364 angelegt werden.
  • Da das zweite Lager 368 die Antriebswelle 362 in einer zu deren Achse rechtwinkligen Richtung und auch in deren Axialrichtung trägt, kann der erwünschte Zwischenraum zwischen den Fotosensoren 388a, 388b mit hoher Genauigkeit erhalten werden, was ein genaues und zuverlässiges Drehen der Encoderscheibe 392 zwischen den Fotosensoren 388a, 388b erlaubt.
  • Die Encodereinheit 354 kann von der Antriebswelle 362 gelöst werden, wenn die Endabdeckung 360 von dem Rahmen 358 entfernt wird.
  • Bei dem integral in dem Stellglied 330 eingebauten Elektromotor 344 sind die Kugelspindelwelle 340 und die Antriebswelle 362 ohne Benutzung irgendeiner dazwischen liegender Kupplung einheitlich zusammengesetzt. Folglich kann der Elektromotor 344 in seiner Größe verringert werden, da er keinen Raum für die Aufnahme einer solchen Kupplung benötigt, und er kann die Antriebswelle 362 drehen, ohne zusätzliche Trägheitskräfte zu erzeugen. Das Ergebnis ist, dass das Stellglied 330 zur Erhöhung der Einsetzbarkeit in Größe und Gewicht verringert werden kann.

Claims (6)

1. Stellglied mit:
einem Elektromotor (344), der eine drehbare Welle (362) aufweist;
einer Antriebskraftübertragungswelle (340) zur Umwandlung der Drehbewegung von dem Elektromotor (344) in eine Linearbewegung; und
einem Tischmechanismus (342), welcher durch die Linearbewegung von der Antriebskraftübertragungswelle (340) bewegbar ist, um ein auf dem Tischmechanismus (342) getragenes Werkstück zu transportieren;
wobei die drehbare Welle (342) und die Antriebskraftübertragungswelle (340) integral miteinander ausgebildet sind;
einem Gehäuse (350), welches sowohl den Elektromotor als auch eine Encodereinheit (354) aufnimmt, wobei die Encodereinheit (354) ein Paar von Sensoren (388a, b), welche in dem Gehäuse (350) angebracht sind, und außerdem eine Encoderscheibe (392) aufweist, welche zwischen den Sensoren (388a, b) angeordnet ist, wobei die Encoderscheibe (392) integral mit der drehbaren Welle (362) gekoppelt ist; und
ersten und zweiten Lagern (364, 368), wobei die drehbare Welle (342) an ihren gegenüberliegenden Enden von den ersten und zweiten Lagern (364, 368) gehalten wird;
dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Lager (368) ein doppeltes Schrägkugellager mit zwei parallelen Kugelreihen (369) aufweist; und
dass ein Encoderrahmen (366) in dem Gehäuse (350) aufgenommen ist, wobei das Paar von Sensoren (388a, b) an dem Encoderrahmen (366) angebracht ist, wobei das zweite Lager (368) in dem Encoderrahmen (366) gehalten wird.
2. Stellglied nach Anspruch 1, wobei das erste Lager (364) nahe der Antriebseinheit (352) angeordnet ist und dass das zweite Lager (368) nahe dem Detektor (354) angeordnet ist, wobei die ersten und zweiten Lager die drehbare Welle (362) axial und radial halten.
3. Stellglied nach Anspruch 1, wobei die ersten und zweiten Lager (364, 368) einen festgelegten Freiraum zwischen den Sensoren (388a, b) und der Encoderscheibe (392) halten.
4. Stellglied nach Anspruch 1, außerdem mit einem elastischen Element (370) zur Absorption einer Verschiebung, die durch unterschiedliche thermische Expansionen des Gehäuses (350) und der drehbaren Welle (362) erzeugt wird.
5. Stellglied nach Anspruch 1, wobei die drehbare Welle (362) von dem Gehäuse (350) entfernbar ist.
6. Stellglied nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse umfasst:
ein Primärgehäuse (358), welches den Elektromotor (352) aufnimmt; und
eine Endabdeckung (360), die lösbar mit dem Primärgehäuse (358) gekoppelt ist, indem sie über einen Abschnitt des Encoderrahmens (366) gesetzt ist.
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Families Citing this family (97)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0647503A3 (de) 1993-10-12 1995-12-13 Smc Kk Linearführungseinheit und -system.
WO1997009659A1 (en) * 1995-09-05 1997-03-13 Cts Corporation Rotary position sensor with insert molded coil winding
DE19650360A1 (de) * 1996-10-28 1998-05-07 Wurst Karl Heinz Dr Ing Antriebseinheit für eine Maschine
DE19882072T1 (de) * 1997-02-05 2000-01-27 Smc Kk Stellglied und Steuervorrichtung hierfür
US6698305B1 (en) * 1997-10-30 2004-03-02 Franz Hammer Linear module
US6270414B2 (en) * 1997-12-31 2001-08-07 U.S. Philips Corporation Exoskeletal platform for controlling multi-directional avatar kinetics in a virtual environment
US7170241B1 (en) * 1998-02-26 2007-01-30 Anorad Corporation Path module for a linear motor, modular linear motor system and method to control same
US5959384A (en) * 1998-03-13 1999-09-28 Mfm Technology, Inc. Brushless motor housing assembly
JP2000088071A (ja) * 1998-09-18 2000-03-28 Smc Corp 電動アクチュエータ
JP2001182828A (ja) * 1999-12-27 2001-07-06 Aisin Aw Co Ltd 自動変速機のレンジ切り替え装置
JP4019585B2 (ja) * 1999-12-27 2007-12-12 アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 自動変速機のレンジ切り替え装置
US6392322B1 (en) 2000-01-31 2002-05-21 Precision Engine Controls Corporation Rugged explosion-proof actuator with integral electronics
WO2001061274A1 (en) * 2000-02-17 2001-08-23 Control Products Inc. Multi-turn, non-contacting rotary shaft position sensor
DE10045424A1 (de) * 2000-09-14 2002-03-28 Va Tech Elin Ebg Motoren Gmbh Flüssigkeitsgekühlter Elektromotor
US6656133B2 (en) * 2000-10-13 2003-12-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Transmission assembly for a surgical biopsy device
US6634515B2 (en) * 2000-12-05 2003-10-21 Demag Cranes & Components Gmbh Lifting apparatus for implementing a rectilinear movement of a handling device
CA2435517A1 (en) * 2001-01-26 2002-08-08 Tol-O-Matic, Inc. Electric actuator
US7100861B2 (en) 2002-01-23 2006-09-05 Control Products, Inc. Lead guide for cable extension type position sensors
US7093361B2 (en) 2002-01-23 2006-08-22 Control Products, Inc. Method of assembling an actuator with an internal sensor
JP2003334840A (ja) * 2002-03-12 2003-11-25 Toshiba Mach Co Ltd リニアモータを使用した射出成形機
US7109614B2 (en) * 2002-04-29 2006-09-19 Siemens Aktiengesellschaft Drive unit for determining a rotation position and/or rotation speed of a drive shaft
US6989646B2 (en) * 2002-04-29 2006-01-24 Stuart Pollard Jackson Multi-axis air/electrical control system
EP1369608A3 (de) * 2002-05-23 2005-06-01 Nsk Ltd Linearführung
US6791215B2 (en) * 2002-06-05 2004-09-14 Board Of Regents The University Of Texas System Fault tolerant linear actuator
KR20040015837A (ko) * 2002-08-13 2004-02-21 (주)다사테크 직각좌표 로봇장치
US9879760B2 (en) 2002-11-25 2018-01-30 Delbert Tesar Rotary actuator with shortest force path configuration
US7121073B2 (en) * 2003-04-30 2006-10-17 Deere & Company Cutting reel adjusting system
ITMI20032000A1 (it) * 2003-10-16 2005-04-17 Univer Spa Cilindro elettrico
DE102004055306B4 (de) * 2003-11-21 2007-06-14 Smc K.K. Stellglied
JP4514021B2 (ja) * 2003-12-11 2010-07-28 Ntn株式会社 ボールねじアクチュエータ
US7541707B2 (en) * 2004-01-08 2009-06-02 Tol-O-Matic, Inc. Electric actuator
US7197974B2 (en) 2004-01-15 2007-04-03 Control Products Inc. Position sensor
ATE327077T1 (de) * 2004-02-07 2006-06-15 Festo Ag & Co Elektrischer linearantrieb mit einer steckkupplung zwischen einem spindeltrieb und einem motormodul
US7040056B2 (en) * 2004-03-24 2006-05-09 Dubose Monty C Gear shaft assembly
US20050284026A1 (en) * 2004-06-25 2005-12-29 Dubose Monty C Shutter drive and lock assembly
US7609055B2 (en) 2004-07-21 2009-10-27 Control Products, Inc. Position sensing device and method
US7146786B2 (en) * 2004-07-27 2006-12-12 Dennis Brandon Electric linear deck lift assembly
JP2006266310A (ja) * 2005-03-22 2006-10-05 Ntn Corp 電動リニアアクチュエータ
DE112005003552B4 (de) * 2005-04-22 2018-10-31 Harmonic Drive Systems Inc. Linearaktuator des Typs mit Kugelumlauf-Spindel/Mutter
US7151332B2 (en) * 2005-04-27 2006-12-19 Stephen Kundel Motor having reciprocating and rotating permanent magnets
JP4405442B2 (ja) * 2005-07-26 2010-01-27 住友重機械工業株式会社 ピニオン付きモータ
US20070068291A1 (en) * 2005-08-24 2007-03-29 Reinhard Beatty Failure-tolerant redundant actuator system
JP2007089275A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Smc Corp 電動シリンダ
US20070205910A1 (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Parker-Hannifin Corporation Wireless motion control system
ITBG20060043A1 (it) * 2006-09-11 2008-03-12 Motus Tech Srl Motion Tecnology Attuatore lineare ad elementi di giunzione in costituzione monolitica pressofusa.
KR100909426B1 (ko) * 2006-10-17 2009-07-24 엘에스산전 주식회사 액츄에이터
WO2008133187A1 (ja) * 2007-04-19 2008-11-06 Kokusai Keisokuki Kabushiki Kaisha 万能試験装置及び直動アクチュエータ、並びにねじり試験装置
ATE528543T1 (de) * 2007-08-01 2011-10-15 Skf Ab Linearbetätigungsglied
GB0715754D0 (en) * 2007-08-14 2007-09-19 Delphi Tech Inc Powered closure device
US8365470B1 (en) * 2008-03-07 2013-02-05 Campbell Frank W Lead screw operator
US8196484B2 (en) * 2008-04-18 2012-06-12 Tol-O-Matic, Inc. Electric actuator
DE102008028335B3 (de) * 2008-06-13 2010-05-06 Limoss Gmbh & Co. Kg Linearer Stellantieb für Sitz- und/oder Liegemöbel
KR101134603B1 (ko) * 2008-10-06 2012-04-09 엘지이노텍 주식회사 스테핑 모터
JP5460021B2 (ja) * 2008-11-05 2014-04-02 遠藤工業株式会社 エアバランサー
US9032880B2 (en) 2009-01-23 2015-05-19 Magnemotion, Inc. Transport system powered by short block linear synchronous motors and switching mechanism
US8616134B2 (en) 2009-01-23 2013-12-31 Magnemotion, Inc. Transport system powered by short block linear synchronous motors
US9431868B2 (en) * 2010-01-19 2016-08-30 Tolomatic, Inc. Manual override device for an electric actuator and method for use
US8701513B2 (en) 2010-07-14 2014-04-22 Tol-O-Matic, Inc. Screw driven linear actuator and housing assembly
CN102152131B (zh) * 2011-02-28 2012-06-13 西安理工大学 滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置
JP5763966B2 (ja) * 2011-05-12 2015-08-12 日本トムソン株式会社 クリーン環境用アクチュエータ
US8556518B2 (en) 2011-05-16 2013-10-15 Hamilton Sundstrand Corporation Flanged bearing support arrangement
KR101371454B1 (ko) * 2011-12-06 2014-03-11 현대자동차주식회사 이동 장치
JP2013143824A (ja) * 2012-01-11 2013-07-22 Smc Corp 電動アクチュエータ
JP6243414B2 (ja) * 2012-06-12 2017-12-06 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. イメージングシステム被験者支持部
DE102012013947A1 (de) * 2012-07-12 2014-01-16 Brose Fahrzeugteile GmbH & Co. Kommanditgesellschaft, Würzburg Getriebeeinheit
HU229852B1 (en) * 2012-08-15 2014-10-28 Hibar Systems Ltd Richmond Hill Electronically controlled and driven linear pump actuator
DE102012223592A1 (de) * 2012-12-18 2014-07-03 Robert Bosch Gmbh Geometrie zum Ausgleich axial auftretender Spalte in Elektropumpen
JP5746266B2 (ja) * 2013-06-07 2015-07-08 Thk株式会社 アクチュエータ
US9891079B2 (en) * 2013-07-17 2018-02-13 Masimo Corporation Pulser with double-bearing position encoder for non-invasive physiological monitoring
JP6633516B2 (ja) 2013-09-21 2020-01-22 マグネモーション インコーポレイテッド パッケージングおよび他の用途のためのリニアモータ輸送
CN104750106A (zh) * 2013-12-30 2015-07-01 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 单轴机器人
USD784306S1 (en) * 2014-03-17 2017-04-18 Smk Corporation Actuator
KR102220861B1 (ko) * 2014-04-22 2021-02-26 엘지이노텍 주식회사 스테핑 모터
US9726267B2 (en) * 2014-07-29 2017-08-08 Raytheon Company Relative translation system
CN104759930B (zh) * 2015-04-10 2017-02-01 沈阳景宏数控设备有限公司 一种炮塔铣床z轴传动系统结构
US9845851B2 (en) * 2015-05-28 2017-12-19 Honda Motor Co., Ltd. Spring mechanism and linear motion displacement mechanism
CN105058074A (zh) * 2015-07-23 2015-11-18 洪子涵 螺杆传动支撑装置
CN108637709B (zh) * 2016-03-31 2020-07-31 泉州市华茂机械设备有限公司 一种改进的支重轮侧盖加工翻转台
US10539159B2 (en) * 2016-04-14 2020-01-21 Superturbo Technologies, Inc. Two-piece shaft assembly for driven turbocharger
CN105904420A (zh) * 2016-06-29 2016-08-31 中信戴卡股份有限公司 一种高精度翻转装置
CN105922040B (zh) * 2016-06-30 2018-03-13 高满珍 电磁阀阀盖加工设备的第二阀盖换位机构
CN105945618B (zh) * 2016-06-30 2018-04-17 何淑琼 电磁阀阀盖加工设备的第一换位装置
US10611581B2 (en) * 2016-07-11 2020-04-07 Azbil Corporation Transfer apparatus
CN107842551B (zh) * 2016-09-20 2020-12-01 博世力士乐(常州)有限公司 直线滑轨装置及其组装方法
DE102017115183A1 (de) * 2017-07-06 2019-01-10 Edscha Engineering Gmbh Antriebsvorrichtung für eine Fahrzeugklappe
US11002057B1 (en) 2017-07-07 2021-05-11 QuB LLC Window operating system
WO2019241073A1 (en) * 2018-06-11 2019-12-19 Icon Health & Fitness, Inc. Increased durability linear actuator
CN109084002A (zh) * 2018-07-18 2018-12-25 嘉善圣士得毛皮服饰有限公司 一种移动机构
JP2020045929A (ja) * 2018-09-14 2020-03-26 三菱重工業株式会社 振動減衰装置及び電動アクチュエータ
WO2020117237A1 (en) 2018-12-06 2020-06-11 Harmonic Drive Systems Inc. Dual absolute encoder
US11421761B2 (en) * 2018-12-20 2022-08-23 Lippert Components, Inc. Motor stop for a through-frame slide out system
CN111371245A (zh) * 2018-12-26 2020-07-03 深圳市众恒达自动化设备有限公司 一种小尺寸精密定位模组
US11754157B2 (en) * 2020-05-20 2023-09-12 Tolomatic, Inc. Integrated motor linear actuator
JP7537346B2 (ja) * 2021-03-31 2024-08-21 日本精工株式会社 テーブル装置
EP4177402B1 (de) * 2021-11-03 2025-07-16 Dai Pra' Srl Einspritzvorrichtung für flüssigkeiten wie zement, harze und oxidierungsmittel zur erstellung von speziellen grundständen und zur bodenverfestigung
CN119032498A (zh) 2022-04-21 2024-11-26 塞特洛尼克股份有限公司 线性模块、具有磁铁的线性模块和编码器装置,用于确定角度位置和/或测定滑块的位置
KR102560332B1 (ko) * 2023-01-11 2023-07-26 박호영 설치 용이성이 향상된 리니어 로봇

Family Cites Families (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1379945A (en) * 1919-12-18 1921-05-31 Waldemar H Teetsow Ball-bearing
US2345952A (en) * 1942-12-16 1944-04-04 Singer Mfg Co Bearing construction
BE564803A (de) * 1955-05-13
US3096467A (en) * 1959-10-09 1963-07-02 Ferranti Ltd Brushless d. c. motor with permanent magnet rotor
BE627264A (de) * 1962-01-19
US3660704A (en) * 1970-07-31 1972-05-02 Thomas O Paine Ball-screw linear actuator
DE2110663C3 (de) * 1971-03-05 1982-05-27 Precise GmbH Fabrik für Elektrowerkzeuge, 5672 Leichlingen Lageranordnung für Präzisionsspindeln
US3894232A (en) * 1974-05-08 1975-07-08 Teletype Corp Rotationally adjustable support mechanism
IT1039407B (it) * 1975-06-26 1979-12-10 Cremona Angelo Dispositivo per l allontanamento e successivo avvicinamento rapido del gruppo porta lama e porta barra al tronco dopo ogni operazione di taglio in una trinciatrice verticale o pressocche verticale
GB1571322A (en) * 1976-01-16 1980-07-16 Toyota Motor Co Ltd Screw feed for machine tools
JPS5548598A (en) * 1978-09-29 1980-04-07 Fujitsu Fanuc Ltd Load reducing device of industrial robot
DE3034651C2 (de) * 1980-09-13 1984-04-12 FAG Kugelfischer Georg Schäfer KGaA, 8720 Schweinfurt Loslagerung für Wellen
US4444540A (en) * 1981-07-29 1984-04-24 Blatt Leland F Automation lift unit
JPS58196984A (ja) * 1982-05-12 1983-11-16 松下電器産業株式会社 工業用ロボツト
US4477862A (en) * 1982-05-19 1984-10-16 Gould Inc. Backplane connector
JPS6155461A (ja) * 1984-08-27 1986-03-19 Masanobu Fukuzumi 直動形駆動装置
JPS61279522A (ja) * 1985-06-05 1986-12-10 Ichikou Eng Kk 取出機用昇降装置
US4790762A (en) * 1985-07-23 1988-12-13 Honeywell Inc. Backplane for a modularly expandable programmable controller
JPS62258258A (ja) * 1986-05-02 1987-11-10 Chugoku Kiko:Kk 差動式直線運動発生機構
DE3890947C2 (de) * 1987-11-10 1995-05-18 Echelon Systems Netzwerk und Verfahren zur Nachrichtenübertragung
US4918690A (en) * 1987-11-10 1990-04-17 Echelon Systems Corp. Network and intelligent cell for providing sensing, bidirectional communications and control
DE8813656U1 (de) * 1988-10-31 1988-12-15 Deutsche Star Gmbh, 8720 Schweinfurt Linearführungs- und Antriebseinheit
US5073039A (en) * 1988-11-15 1991-12-17 Sundstrand Corporation Bearing assembly with thermal compensation
JPH0775462B2 (ja) * 1989-01-12 1995-08-09 富士電機株式会社 ロータリエンコーダ付の電動機
US4988905A (en) * 1989-07-05 1991-01-29 Pitney Bowes Inc. Integrated driver-encoder assembly for brushless motor
US5182956A (en) * 1989-09-25 1993-02-02 Woodall Bobbie L Protective boot
US4963041A (en) * 1989-10-02 1990-10-16 Ingersoll-Rand Company Bearing mounting with self-compensation for thermal expansion
US5041748A (en) * 1989-10-16 1991-08-20 Sundstrand Corporation Lightweight, direct drive electromechanical actuator
US5028073A (en) * 1990-01-08 1991-07-02 General Electric Company Dynamic vehicle suspension system including electronically commutated motor
DE4019749A1 (de) * 1990-06-21 1992-01-09 Bosch Gmbh Robert Elektromagnetischer drehsteller
US5197808A (en) * 1991-03-08 1993-03-30 Nsk Ltd. Device for mounting annular body
JP3135329B2 (ja) * 1991-12-28 2001-02-13 エスエムシー株式会社 アクチュエータおよびその構造体
EP0536493B1 (de) * 1991-08-01 1996-06-12 Smc Kabushiki Kaisha Linearführungseinheit und Montierung dafür
JP3301490B2 (ja) * 1991-09-09 2002-07-15 エスエムシー株式会社 アクチュエータの構造体
JP3135330B2 (ja) * 1991-12-28 2001-02-13 エスエムシー株式会社 アクチュエータおよびその構造体
US5187993A (en) * 1991-08-12 1993-02-23 Addco Manufacturing, Inc. Actuator for remote control
JP3174404B2 (ja) * 1992-07-23 2001-06-11 エスエムシー株式会社 アクチュエータ
US5499547A (en) * 1991-09-04 1996-03-19 Smc Kabushiki Kaisha Actuator
US5190380A (en) * 1991-11-04 1993-03-02 Vicente Comerci Device for compensating expansion in rotatory equipment
JP2573859Y2 (ja) * 1991-11-21 1998-06-04 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ 電磁式有限回転型電動機の原点復帰機構
JP3213367B2 (ja) * 1992-03-02 2001-10-02 エスエムシー株式会社 構造部材の連結機構
JP3139842B2 (ja) * 1992-07-07 2001-03-05 エスエムシー株式会社 アクチュエータ
JP3321253B2 (ja) * 1993-07-07 2002-09-03 エスエムシー株式会社 構造部材用連結機構
JP3517433B2 (ja) * 1993-07-07 2004-04-12 Smc株式会社 構造部材用連結機構
EP0647503A3 (de) 1993-10-12 1995-12-13 Smc Kk Linearführungseinheit und -system.
JP3347844B2 (ja) * 1993-10-12 2002-11-20 エスエムシー株式会社 バランサ
DE19511114C1 (de) * 1995-03-25 1996-08-29 Grundfos As Elektromotor
US5645434A (en) * 1995-12-01 1997-07-08 Asante Technologies, Inc. Connector element and component arrangement for a stackable communications network hub

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