[go: up one dir, main page]

DE69325972T2 - Vibrationsangetriebener Motor - Google Patents

Vibrationsangetriebener Motor

Info

Publication number
DE69325972T2
DE69325972T2 DE69325972T DE69325972T DE69325972T2 DE 69325972 T2 DE69325972 T2 DE 69325972T2 DE 69325972 T DE69325972 T DE 69325972T DE 69325972 T DE69325972 T DE 69325972T DE 69325972 T2 DE69325972 T2 DE 69325972T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vibration
contact
component
driven motor
spring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69325972T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69325972D1 (de
Inventor
Nobuyuki Kojima
Shinichi Koreeda
Mitsuo Nishimura
Takayuki Tsukimoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of DE69325972D1 publication Critical patent/DE69325972D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69325972T2 publication Critical patent/DE69325972T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/106Langevin motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)

Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft einen vibrationsangetriebenen Motor gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • In Fig. 2 ist eine Stapelanordnung piezoelektrischer Elemente und ein elektrisches Polarisationsmuster der piezoelektrischen Elemente dargestellt, die bei einem stabförmigen durch Ultraschallschwingungen angetriebenen Motor (nachstehend als "stabförmiger vibrationsangetriebener Motor" bezeichnet) verwendet werden. Wie in Fig. 2 angegeben ist, ist jedes piezoelektrische Element durch einen an einer Mittellinie gelegenen Abschnitt in zwei Hälften geteilt, wobei die zwei Hälften entgegengesetzt polarisiert sind.
  • Die fünf piezoelektrischen Elemente bestehen aus zwei A- Phasen-Elementen, zwei B-Phasen-Elementen und einem S- Phasen-Element. Die piezoelektrischen A-Phasen- und B- Phasen-Elemente sind derart angeordnet, daß sie eine Phasendifferenz von 90º aufweisen. Das piezoelektrische S-Phasen-Element ist am Boden des Stapels angeordnet und wird zur Erfassung einer Resonanzschwingung verwendet. Auch wenn es nicht in Fig. 2 gezeigt ist, werden beim Zusammenbau zwischen die piezoelektrischen Elemente Elektrodenplatten gesetzt.
  • Unter Bezugnahme auf Fig. 3 wird nun die Arbeitsweise des stabförmigen vibrationsangetriebenen Motors beschrieben.
  • Wenn lediglich die piezoelektrischen A-Phasen-Elemente mit einer Wechselspannung versorgt werden, ziehen sie sich wiederholt zusammen und dehnen sich aus, weshalb sich (wie in Fig. 3 gezeigt) bei einem Vibrationsbauteilkomponenten 1c, 1d aufweisenden Vibrationsbauteil 1 in Rechts/Links-Richtung eine primäre Biegehauptschwingung einstellt. Wenn lediglich die piezoelektrischen B-Phasen- Elemente mit einer Wechselspannung versorgt werden, schwingt das Vibrationsbauteil 1 entsprechend in einer Ebene senkrecht zu der Ebene der Zeichnung. Falls die Schwingung durch die A-Phase und die Schwingung durch die B-Phase eine Phasendifferenz von 90º aufweisen, dann stellt sich bei dem Vibrationsbauteil 1 eine im Uhrzeigersinn oder gegen den Uhrzeigersinn verlaufende kreisförmige Bewegung um die Längsachse des Vibrationsbauteils herum ein.
  • Das Vibrationsbauteil 1 weist eine Umfangsnut 1a zur Verstärkung einer durch die Schwingung hervorgerufenen Verschiebung auf, derart daß der Endabschnitt des Vibrationsbauteils wie in Fig. 3 angegeben in einer kreisförmigen Bewegung oszilliert. Von oberhalb der Kontaktfläche (der Oberseite des Vibrationsbauteils 1) aus gesehen erscheint diese oszillierende Schwingung als eine einzelne fortschreitende Welle. Wenn ein Rotor 2 mit einem Kontaktfederabschnitt mit dem Vibrationsbauteil 1 an dessen oberem Ende in Preßkontakt gebracht wird, steht der Rotor dann mit einem Abschnitt an dem oberen Ende in Kontakt, der dem Scheitel der fortschreitenden Welle entspricht, wodurch er so angetrieben wird, daß er sich in einer zu der Richtung der kreisförmigen Oszillation des Vibrationsbauteils 1 entgegengesetzten Richtung dreht. Durch ein Zahnrad 4, das um ein an einem oberen Abschnitt des Rotors 2 bereitgestelltes Kugellager 3 herum vorgesehen ist, wird ein Antriebsleistung entnommen.
  • Im allgemeinen wird ein stabförmiger vibrationsangetriebener Motor auf der Grundlage einer FEM-Analyse der charakteristischen Mode eines zusammengesetzten Zusammenbaus des Vibrationsbauteils 1, eines tragenden Stiftschafts 5 (des Schaftendes) und eines Flanschabschnitts 6 konstruiert, um so die Schwingungsamplitude des Flanschabschnitts 6 zu reduzieren. Verglichen mit ringförmigen vibrationsangetriebenen Motoren erfahren daher stabförmige vibrationsangetriebene Motoren einen deutlich geringeren Stützverlust.
  • In einem unteren Abschnitt eines Rotorhauptrings 2a des Rotors 2 des stabförmigen vibrationsangetriebenen Motors ist eine Rotorkontaktfeder 7 ausgebildet. Die Form der Rotorkontaktfeder 7 sorgt für Elastizität. Wie auch die Rotorkontaktfeder eines ringförmigen vibrationsangetriebenen Motors ist die Rotorkontaktfeder des stabförmigen vibrationsangetriebenen Motors so konstruiert, daß sie eine Eigenfrequenz aufweist, die wesentlich höher als die Erregungsfrequenz des Vibrationsbauteils 1 ist, weswegen sie der Schwingung folgt. Der Rotorhauptring 2a weist außerdem eine große Trägheitsmasse auf und verbleibt daher selbst dann in einem nicht erregten Zustand, wenn das Vibrationsbauteil 1 erregt wird.
  • Die Vorteile eines vibrationsangetriebenen Motors schließen einen Körper kleiner Abmessung und eine hohe Drehmomentleistung ein. Außerdem erfordert ein vibrationsangetriebener Motor normalerweise kein Untersetzungszahnrad oder lediglich ein im allgemeinen kleines Untersetzungsverhältnis, falls dennoch ein derartiges Zahnrad erforderlich ist. Ein derartiger Motor ist daher von besonderem Nutzen bei einem Gerät kleiner Abmessung, bei dem ein leiser Betrieb erzielt werden muß. Bei derartigen Anwendungen sind jedoch in bezug auf die vibrationsangetriebenen Motoren eine weitere Größenverringerung und Drehmomentsteigerung gewünscht.
  • Um eine hohe Drehmomentleistung zu erzielen, ist es wünschenswert, den Rotor und das Vibrationsbauteil mit großen Schwingdurchmessern zu versehen.
  • Zur Ausgabe eines großen Drehmoments kann darüber hinaus der Kontaktdruck erhöht werden. Da die Komponententeile des Rotortragesystems und dergleichen infolge der Größenverringerung des Motors zwangsläufig kleiner und dünner werden, führt ein großer Kontaktdruck zwischen dem Rotor und dem Vibrationsbauteil leicht zu einer Verformung derartiger Komponententeile. Die Verformung derartiger Komponententeile führt dann zu einer Verschlechterung des Leistungsvermögens des Motors wie beispielsweise einer Schwankung des Kontaktdrucks dazwischen. Zudem kann eine Erhöhung des Kontaktdrucks die Betriebslebensdauer des Lagers um einiges verkürzen.
  • Um sowohl eine Größenverringerung als auch eine Drehmomentsteigerung zu erzielen, ist es daher vorzuziehen, daß der Kontaktabschnitt des Rotors an den äußersten Rand des Rotors angrenzt.
  • Zur Verringerung von Schlupfverlusten muß die Rotorkontaktfeder 7 so konstruiert sein, daß ein unerwünschter Schlupf, d. h. ein nicht zum Antrieb benötigter Schlupf, weitestgehend vermieden wird.
  • Einen Teil eines derartigen unerwünschten Schlupfs stellt ein radialer Schlupf dar. Wie in Fig. 4 gezeigt ist, zeigt das Vibrationsbauteil 1 an einem Rotorkontaktabschnitt eine Verschiebung Δz in Axialrichtung und eine Verschiebung Δr in Radialrichtung.
  • Bei einem herkömmlichen vibrationsangetriebenen Motor ist eine an dem Rotor 2 bereitgestellte Kontaktfeder 7 in Form des Buchstabens "L" ausgebildet, wie in Fig. 5 gezeigt ist. Die "L"-förmige Kontaktfeder 7 biegt sich drehend im wesentlichen um einen Punkt A&sub0;, um so Verschiebungen Δz und Δr des Kontaktabschnitts P&sub0; zu erzielen, wodurch ein radialer Schlupf verhindert wird.
  • Da der Kontaktabschnitt jedoch an einer Stelle radial innen von dem äußersten Rand des Rotors 2 gelegen ist, weist dieser Aufbau den Nachteil auf, daß sich die Größe des Durchmessers des Rotors 2 nur begrenzt verringern läßt.
  • Um diesem Nachteil zu begegnen, kann sich wie in Fig. 6 gezeigt eine Rotorkontaktfeder 7 von dem Rotorhauptring 2a aus nach außen erstrecken. Da sich die Richtung der drehenden Verbiegung der Kontaktfeder 7 um einen Punkt A&sub1; und genauer die Richtung der Verschiebung des Kontaktpunkts P&sub1; stark von der Richtung der Verschiebung des Vibrationsbauteils unterscheidet, gestaltet es sich jedoch bei diesem Aufbau als schwierig, eine Kontaktfeder bereitzustellen, die einen radialen Schlupf verhindert und in bezug auf die Axialrichtung eine geeignete Federhärte aufweist.
  • Es wurde ein wie in Fig. 7 gezeigter Aufbau vorgeschlagen, bei dem ein Vibrationsbauteil eine Kontaktfeder 1b aufweist. Dieser Aufbau erleichtert es, eine Übereinstimmung der Verschiebungsrichtung des einen Randpunkt P&sub2; aufweisenden Kontaktabschnitts, der sich drehend um einen Punkt A&sub2; bewegt, mit der Verschiebungsrichtung des Vibrationsbauteils zu erreichen, wodurch ein radialer Schlupf ausgeschlossen wird.
  • Dieser Aufbau weist jedoch die folgenden Nachteile auf.
  • Die Kontaktfeder 1b steht dann mit dem Vibrationsbauteil gleichmäßig in Kontakt, wenn ein Randpunkt wie beispielsweise der Punkt P&sub2; auf der Kontaktfeder 1b so verschoben wird, wie durch das Diagramm in Fig. 8 angegeben ist, wobei. fr die Ansteuerungsfrequenz ist. Um eine derartige Verschiebung zu erreichen, muß die Kontaktfeder 1b auf eine Frequenz ansprechen, die zumindest den Zweifachen der Motoransteuerungsfrequenz entspricht, und vorzugsweise auf eine noch höhere Frequenz.
  • In Hinblick auf eine Größenverringerung weist das Vibrationsbauteil vorzugsweise eine verkleinerte Axiallänge auf. Eine Verkleinerung der Axiallänge erhöht jedoch die Ansteuerungsfrequenz. Damit die Drehung des vibrationsangetriebenen Motors mit geringer Geschwindigkeit aufrechterhalten wird, die eines seiner Merkmale darstellt, muß daher trotz der verkleinerten Axiallänge die Amplitude auf einen kleinen Bereich begrenzt werden, was bezüglich der maschinellen Bearbeitungsbedingungen zu strengen Toleranzerfordernissen wie etwa bei der Oberflächenpräzision führt.
  • Um die charakteristische Frequenz des Vibrationsbauteils zu verringern und dadurch die obengenannten Nachteile zu überwinden, wird für ein Vibrationsbauteil einschließlich einer Kontaktfeder herkömmlicherweise ein Material wie etwa Messing verwendet, das Schall mit geringer Geschwindigkeit überträgt. Ein derartiges Material verschlechtert jedoch das Frequenzansprechverhalten der Kontaktfeder, weshalb sich kein gleichmäßiger Kontakt mit dem Rotor erzielen läßt. Fig. 9 zeigt das experimentell bestimmte Verschiebungsmuster eines Kontaktpunktes P2 auf der Kontaktfeder. Das Verschiebungsmuster unterscheidet sich erheblich von dem in Fig. 8 gezeigten gewünschten Muster. Das in Fig. 9 gezeigte Muster deutet darauf hin, daß der Rotor während des Betriebs springt und Geräusche erzeugt.
  • Um diesem Nachteil zu begegnen, ist eine herkömmliche Kontaktfeder aus einem Material ausgebildet, das Schall mit hoher Geschwindigkeit überträgt. Wenn jedoch wie in Fig. 10 gezeigt mit dem Vibrationsbauteil 1 eine Kontaktfeder 1b verbunden ist, die aus einem schnell Schall übertragenden Material wie etwa Aluminium ausgebildet ist, dann wird die Schwingung an dem Verbindungsabschnitt erheblich gedämpft. Daher unterliegt dieser Aufbau einer Verschlechterung der Motoreffizienz sowie einer Erhöhung der Herstellungskosten. Bei einem anderen herkömmlichen Aufbau, wie er in Fig. 7 gezeigt ist, wird Aluminium oder dergleichen verwendet, um eine Komponente 1c des Vibrationsbauteils 1 auszubilden. Da bei diesem Aufbau die Ansteuerungsfrequenz des Vibrationsbauteils erhöht ist, sind jedoch die Anforderungen an das Frequenzansprechverhalten der Kontaktfeder strenger und daher schwer zu erreichen. Mit diesem Aufbau lassen sich daher keine wesentlichen Verbesserungen oder Vorteile erzielen.
  • In der EP-A-0473423 ist ein vibrationsangetriebener Motor dieser Art offenbart.
  • Gemäß dieser Druckschrift hat ein Rotor einen Federkontaktabschnitt, der mit einem Kontaktabschnitt eines Vibrationsbauteils in Kontakt steht. Der Federkontaktabschnitt des Rotors besitzt in sowohl der axialen als auch der radialen Richtung des Motors Elastizität. Zu diesem Zweck ist der Federkontaktabschnitt U-förmig ausgebildet, wobei der Kontaktabschnitt des Vibrationsmotors in bezug auf dessen Längsachse unter Ausbildung eines Winkel ausgerichtet ist.
  • Durch diese besondere Konstruktion wird ein radialer Schlupf vermieden. Der Aufbau insbesondere des Federkontaktabschnitts ist jedoch äußerst kompliziert und daher teuer. Abgesehen davon befindet sich der Kontaktpunkt zwischen dem Federkontaktabschnitt des Rotors und dem Kontaktabschnitt des Vibrationsbauteils nicht an dessen Außenrand, so daß auch bei diesem Stand der Technik eine weitere Verringerung der konstruktiven Größe des vibrationsangetriebenen Motors begrenzt ist.
  • In der EP-A-0469881 ist als weiterer Stand der Technik ein vibrationsangetriebenes Stellglied gezeigt, das ein Vibrationsbauteil umfaßt, das mittels eines Kontaktabschnitts in Kontakt mit einem elastischen Kontaktabschnitt eines Rotors steht. Der elastische Kontaktabschnitt erfüllt dieselbe Aufgabe wie zum Beispiel der vorstehend beschriebene Federkontaktabschnitt gemäß der EP-A-0473423. Jedoch ist gemäß der EP-A-0469881 der Kontaktpunkt zwischen den zwei Kontaktabschnitten am Außenrand des Vibrationsbauteils vorgesehen.
  • Insofern können die Abmessungen des vibrationsangetriebenen Stellglieds bei dieser Konstruktion weiter verkleinert werden, doch ist der Aufbau des elastischen Kontaktabschnitts äußerst kompliziert.
  • In der EP-A-0553827, die in bezug auf diese Erfindung nachveröffentlicht ist, ist ein vibrationsangetriebener Motor offenbart, dessen Aufbau ähnlich dem des Stellglieds gemäß der EP-A-0469881 ist.
  • Der grundlegende Unterschied gegenüber der EP-A-0473423 besteht darin, daß bei dem beanspruchten Gegenstand dieser Erfindung sowohl der Kontaktabschnitt des Rotors als auch der Kontaktabschnitt des Vibrationsbauteils elastisch sind, wobei der Kontaktabschnitt des Vibrationsbauteils im wesentlichen nur in einer ersten Richtung elastisch verschoben und der Kontaktabschnitt des Rotors im wesentlichen nur in einer von der ersten Richtung unterschiedlichen zweiten Richtung verschoben wird. Durch Aufteilung des elastischen Kontaktabschnitts in eine Feder, die in Axialrichtung elastisch ist, und in eine Feder, die bloß in Radialrichtung elastisch ist, kann selbst dann ein radialer Schlupf vermieden werden, falls die konstruktive Größe des vibrationsangetriebenen Motors weiter verkleinert wird, wobei der Aufbau der einzelnen Elemente so einfach ist, daß sie zu geringen Kosten hergestellt werden können.
  • Die beanspruchte Erfindung besteht daher darin, daß sowohl der Kontaktabschnitt des Rotors als auch der Kontaktabschnitt des Vibrationsbauteils elastisch sind, wobei der Kontaktabschnitt des Vibrationsbauteils im wesentlichen in einer ersten Richtung elastisch verschoben und der Kontaktabschnitt des Rotors im wesentlichen in einer von der ersten Richtung unterschiedlichen zweiten Richtung elastisch verschoben wird. Durch Aufteilung der elastischen Kontaktabschnitte in eine Feder, die in Axialrichtung elastisch ist, und in eine Feder, die bloß in Radialrichtung elastisch ist, kann selbst dann ein radialer Schlupf vermieden werden, falls die konstruktive Größe des vibrationsangetriebenen Motors weiter verkleinert wird, wobei der Aufbau der einzelnen Elemente so einfach ist, daß sie zu geringen Kosten hergestellt werden können.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen vibrationsangetriebenen Motor einfachen Aufbaus bereitzustellen, um die Herstellungskosten zu senken.
  • Diese Aufgabe wird durch die technischen Merkmale gemäß Patentanspruch 1 gelöst.
  • Mit der Ausgestaltung der Erfindung gemäß Anspruch 6 wird ein Objektivtubus bereitgestellt, der als Antriebsquelle den erfindungsgemäßen vibrationsangetriebenen Motor verwendet.
  • Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung aus der folgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele hervor.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
  • Fig. 1 stellt ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Vibrationsmotors dar.
  • Fig. 2 ist eine auseinandergezogene Perspektivansicht piezoelektrischer Elemente, die deren Polarisationsmuster veranschaulicht.
  • Fig. 3 stellt einen herkömmlichen vibrationsangetriebenen Motor dar.
  • Fig. 4 stellt die Antriebsschwingungsmode eines stabförmigen vibrationsangetriebenen Motors dar.
  • Fig. 5 stellt die Verformung der Kontaktfeder des Rotors bei einem herkömmlichen vibrationsangetriebenen Motor dar.
  • Fig. 6 stellt einen Rotor eines anderen herkömmlichen vibrationsangetriebenen Motors dar.
  • Fig. 7 zeigt eine Schnittansicht eines herkömmlichen stabförmigen vibrationsangetriebenen Motors.
  • Fig. 8 zeigt ein Diagramm, das den Kontaktzustand eines Rotors eines herkömmlichen vibrationsangetriebenen Motors zeigt.
  • Fig. 9 zeigt ein Diagramm, das die tatsächliche Messung des Kontaktzustand angibt.
  • Fig. 10 stellt einen herkömmlichen Aufbau eines Vibrationsbauteils dar, bei dem ein Vibrationsbauteil mit einer Kontaktfeder verbunden ist.
  • Fig. 11 stellt ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen vibrationsangetriebenen Motors dar.
  • Fig. 12 stellt ein Beispiel dar, das kein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen vibrationsangetriebenen Motors ist.
  • Fig. 13 stellt ein drittes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen vibrationsangetriebenen Motors dar.
  • Fig. 14(a) bis Fig. 14(c) stellen ein viertes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen vibrationsangetriebenen Motors dar.
  • Fig. 15 stellt ein fünftes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen vibrationsangetriebenen Motors dar.
  • Fig. 16 zeigt eine Schnittansicht eines Objektivtubus als Beispiel für ein System, das als Antriebsquelle den vibrationsangetriebenen Motor gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel einsetzt.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Die bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung sind nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben. Die folgende Beschreibung bezieht sich vor allem auf die Unterschiede zwischen diesen Ausführungsbeispielen und herkömmlichen vibrationsangetriebenen Motoren.
  • Gemäß Fig. 1 ist bei dem ersten Ausführungsbeispiel ein hohles zylinderförmiges Vibrationsbauteil 1 aus Messing hergestellt und mit einer ringförmigen Kontaktfeder 1b versehen, die um dessen Umfang herum ausgebildet ist. Ein Rotor 2 ist aus Aluminium hergestellt und mit einer flanschähnlichen Feder 7c versehen. Die Kontaktfeder 1b weist eine hohe Steifigkeit in Axialrichtung des Vibrationsbauteils 1 und die Feder 7c eine hohe Steifigkeit in Radialrichtung des Vibrationsbauteils 1 auf. Daher bestimmen die Kontaktfeder 1b und die Kontaktfeder 7c einzeln und unabhängig das radiale und axiale Federverhalten des Kontaktabschnitts.
  • Da die Axiallänge der Feder 1b und die Radiallänge der Feder 7c verkleinert werden können, läßt sich das Frequenzansprechverhalten verbessern.
  • Da die Federn 1b, 7c einfache Formen aufweisen, lassen sie sich einfach konstruieren und maschinell bearbeiten.
  • Ein zweites Ausführungsbeispiel wird unter Bezugnahme auf Fig. 11 beschrieben. Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel weist ein Vibrationsbauteil 1 eine Feder 1e mit Elastizität in Axialrichtung des Vibrationsbauteils 1 und ein Rotor 2 eine Feder 7d mit Elastizität in Radialrichtung des Vibrationsbauteils 1 auf. Der Rotor 2 ist vorzugsweise aus Harz geformt, und zwar zusammen mit einem an seiner Seite vorgesehen Zahnrad 2 G. Der Innenrand des Rotors 2 ist lose, aber direkt auf einen Tragestift 5 aufgesetzt, der demgemäß ein Gleitlager ausbildet. Der Rotor 2 wird von einer konusförmigen Scheibenfeder 8 auf das Vibrationsbauteil 1 gedrängt.
  • Die Federn gemäß diesem Ausführungsbeispiel haben eine Anordnung, die zu der Anordnung der Federn bei dem ersten Ausführungsbeispiel entgegengesetzt ist. Das heißt, daß die Feder 1e des Vibrationsbauteils 1 und die Feder 7c des Rotors 2 bei dem zweiten Ausführungsbeispiel bezüglich der Form der Feder 7c des Rotors 2 beziehungsweise der Feder 1b des Vibrationsbauteils bei dem ersten Ausführungsbeispiel entsprechen. Jedoch werden durch das zweite Ausführungsbeispiel allgemein die gleichen Vorteile erzielt, wie durch das erste Ausführungsbeispiel erzielt werden.
  • Unter Bezugnahme auf Fig. 12 wird ein Beispiel beschrieben, das kein Ausführungsbeispiel ist. Das Beispiel umfaßt Federn, die in Übereinstimmung mit den Verschiebungsrichtungen der Antriebsschwingungen konstruiert sind.
  • Ein Vibrationsbauteil weist eine flanschähnliche Feder 1f auf, die sich in einer die Achse des Vibrationsbauteils 1 einschließenden Ebene im wesentlichen in Richtung der Verschiebung des Vibrationsbauteils 1 erstreckt. Die Feder 1f ist in der Verschiebungsrichtung steif und in einer Richtung senkrecht zu der Verschiebungsrichtung verhältnismäßig weich oder federnd.
  • Ein Rotor 2 weist eine flanschähnliche Feder 7e auf, die sich im wesentlichen senkrecht zu der flanschähnlichen Feder 1f erstreckt. Daher ist die Feder 7e verhältnismäßig weich in Richtung der Verschiebung des Vibrationsbauteils 1 und steif in der zu der Verschiebungsrichtung senkrechten Richtung.
  • Bei diesem Beispiel kann die Resonanzfrequenz erheblich erhöht werden, da die Verschiebung gering ist, der die Feder 1f des Vibrationsbauteils 1 folgen muß.
  • Da der Kontaktabschnitt geneigt ist beziehungsweise konisch zuläuft, sorgt der Kontaktabschnitt darüber hinaus für eine ausrichtende Wirkung.
  • Der Rotor 2 ist auf ein Bauteil 9 aufgesetzt, das eine Motorabtriebswelle 9a aufweist. Das Bauteil 9 ist mit dem Vibrationsbauteil 1 durch eine Schraubenfeder 10 verbunden, durch die das Vibrationsbauteil auf den Rotor 2 gedrängt wird. Die Schraubenfeder 10 ist mit dem Bauteil 9 durch ein Lager 9b verbunden, das eine Drehung des Bauteils 9 zuläßt.
  • Fig. 13 stellt ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung in Form eines ringförmigen vibrationsangetriebenen Motors dar.
  • Ähnlich dem stabförmigen Vibrationsbauteil verschiebt sich ein Punkt auf der Oberfläche eines ringförmigen Vibrationsbauteils 1 während der planaren Biegeschwingung des ringförmigen Vibrationsbauteils 1 sowohl axial als auch radial, wobei eine derartige radiale Verschiebung für den Antriebsvorgang des Rotors unnötig ist. Um zu verhindern, daß die radiale Verschiebung Schlupf verursacht, ist das Vibrationsbauteil 1 mit einer Feder 1g versehen.
  • Der in Fig. 13 gezeigte Aufbau und die grundsätzliche Arbeitsweise können auch auf einen Linearmotor angewendet werden, wobei das Vibrationsbauteil in elliptischer Form ausgebildet ist und einen linearen Abschnitt aufweist, auf den ein Bauteil gepreßt wird.
  • Fig. 14(a) bis Fig. 14(c) stellen ein viertes Ausführungsbeispiel dar, bei dem ein erfindungsgemäßer stabförmiger vibrationsangetriebener Motor bei einem Linearmotor Anwendung findet. Ein Vibrationsbauteil 1 weist eine federnde Spitze 1h auf, die sich radial von einem Endabschnitt des Vibrationsbauteil 1 aus erstreckt. Die federnde Spitze 1h ist auf einen federnden Kantenabschnitt 11a gedrängt, der sich horizontal von einem beweglichen Bauteil 11 eines linearen Gleitstücks aus erstreckt. Da der Endabschnitt des Vibrationsbauteils 1 kreisförmig oszilliert, ergibt sich zwischen der federnden Spitze 1h und dem federnden Kantenabschnitt 11a eine lineare Bewegung zueinander, wodurch das bewegliche Bauteil 11 linear bewegt wird. Auch wenn das Vibrationsbauteil bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 14(b) als an einem Befestigungsbauteil befestigt beschrieben ist, kann das Vibrationsbauteil 1 auch an einem Abschnitt eines linearen Gleitstücks wie beispielsweise dem beweglichen Bauteil befestigt sein, wodurch das Vibrationsbauteil 1 linear bewegt wird.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel wird ein Kontaktpunkt P&sub3; entsprechend dem Zusammenwirken der Verschiebungskomponenten Δr und Δz verschoben. Die Komponente Δz, die einen unnötigen Schlupf verursacht, wird durch die federnde Spitze 1h des Vibrationsbauteil 1 absorbiert. Fig. 14(c) stellt eine Abwandlung dar, bei der ein bewegliches Bauteil 11 mit einem federnden Kantenabschnitt 11b zur Absorption der Verschiebungskomponente Δz versehen ist.
  • Fig. 15 stellt ein fünftes Ausführungsbeispiel der Erfindung dar, das ähnlich dem in Fig. 1 gezeigten ersten Ausführungsbeispiel ist, das Frequenzansprechverhalten der Kontaktfedern aber weiter verbessert. Die Kontaktfedern 1i und 7f eines Vibrationsbauteils 1 und eines Rotors 2 laufen jeweils spitz zu, so daß sie zu ihren freien Enden hin schmaler werden. Bei gleichen statischen Steifigkeiten stellt sich bei den Kontaktfedern 1i, 7f eine höhere Resonanzfrequenz als bei den entsprechenden Kontaktfedern gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel ein.
  • Fig. 16 stellt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung dar, bei dem der vibrationsangetriebene Motor gemäß Fig. 15 als Antriebsmotor für einen Objektivtubus verwendet wird. Der vibrationsangetriebene Motor und eine Untersetzungszahnradvorrichtung 22 sind mit einem feststehenden Tubus 21 des Objektivtubus verbunden. Das Abtriebszahnrad 4 des Vibrationsmotors steht mit dem Antriebszahnrad 23 der Untersetzungszahnradvorrichtung 22 in Eingriff. Das Abtriebszahnrad 24 der Untersetzungszahnradvorrichtung 22 steht mit einem Zahnradabschnitt 20a in Eingriff, der an dem Außenrand eines Linsentragebauteils 20 ausgebildet ist. Bei Betätigung des vibrationsangetriebenen Motors wird das Linsentragebauteil 20 mittels der Untersetzungszahnradvorrichtung 22 unter Drehung um die optische Achse entlang dieser Achse bewegt, wodurch beispielsweise ein Fokussierungsvorgang durchgeführt wird.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, stellt sich bei dem vibrationsangetriebenen Motor der beanspruchten Erfindung zwischen dem Vibrationsbauteil und dem Rotor (oder dem beweglichen Bauteil) ein gewünschter Kontakt ein, wodurch sowohl eine Größenverringerung als auch eine Drehmomentsteigerung eines vibrationsangetriebenen Motors ermöglicht werden.
  • Da der vibrationsangetriebene Motor der beanspruchten Erfindung für unterschiedliche Aufgaben unterschiedliche Kontaktfedern aufweist, kann darüber hinaus jede Kontaktfeder so konstruiert werden, daß sie für ihre individuelle Aufgabe eine optimale Federkraft ergibt, wodurch die Konstruktion des Motors erleichtert und die Motoreffizienz gesteigert wird.
  • Obwohl die beanspruchte Erfindung unter Bezugnahme auf derzeit als bevorzugt erachtete Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist die Erfindung als nicht auf die offenbarten Ausführungsbeispiel beschränkt zu verstehen. Die Erfindung soll dagegen verschiedene Abwandlungen und äquivalente Anordnungen abdecken, die innerhalb des Schutzumfangs der beigefügten Ansprüche fallen.

Claims (6)

1. Vibrationsangetriebener Motor, mit
einem Vibrationsbauteil (1) zur Erzeugung einer Vibration darin als Antriebskraft, wobei das Vibrationsbauteil (1) einen elastischen Kontaktabschnitt (1b) umfaßt; und
einem in Preßkontakt mit dem Vibrationsbauteil (1) befindlichen Kontaktbauteil (2), wobei das Kontaktbauteil (2) einen elastischen Kontaktabschnitt (7c) umfaßt, der sich mit dem Kontaktabschnitt (1b) des Vibrationsbauteils (2) in Kontakt befindet, wobei eine in dem Vibrationsbauteil (1) erzeugte Vibration eine Relativbewegung zwischen dem Vibrationsbauteil (1) und dem Kontaktbauteil (2) hervorruft,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Kontaktabschnitt (1b) des Vibrationsbauteils (1) in Betrieb im wesentlichen nur in einer ersten Richtung elastisch verschoben wird und der Kontaktabschnitt (7b) des Kontaktbauteils (2) in Betrieb im wesentlichen nur in einer zweiten Richtung elastisch verschoben wird, die sich von der ersten Richtung unterscheidet, wobei eine der ersten und zweiten Richtungen die Radialrichtung des Vibrationsbauteils (1) ist und die andere der ersten und zweiten Richtungen die Axialrichtung des Vibrationsbauteils (1) ist.
2. Vibrationsangetriebener Motor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktabschnitt (1b) des Vibrationsbauteils (1) ein Federverhalten mit einer hohen Steifigkeit in Axialrichtung des Vibrationsbauteils (1) aufweist und der Kontaktabschnitt (7c) des Kontaktbauteils (2) ein Federverhalten mit einer hohen Steifigkeit in Radialrichtung des Vibrationsbauteils (1) aufweist.
3. Vibrationsangetriebener Motor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktabschnitt (1e) des Vibrationsbauteils (1) Elastizität in Axialrichtung des Vibrationsbauteils (1) aufweist und der Kontaktabschnitt (7d) des Kontaktbauteils (2) Elastizität in Radialrichtung des Vibrationsbauteils (1) aufweist.
4. Vibrationsangetriebener Motor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Motor ein stabförmiger oder ringförmiger vibrationsangetriebener Motor ist.
5. Vibrationsangetriebener Motor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sich zumindest einer der Kontaktabschnitte (1b, 7c) in Schnittansicht derart verjüngt, daß er zu seinem freien Ende hin schmaler wird.
6. Objetivtubus, der als Antriebsquelle einen vibrationsangetriebenen Motor gemäß einem der Ansprüche 1, 2 und 5 verwendet.
DE69325972T 1992-12-03 1993-12-02 Vibrationsangetriebener Motor Expired - Lifetime DE69325972T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04324236A JP3107933B2 (ja) 1992-12-03 1992-12-03 振動波駆動装置および振動波駆動装置を備えた装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69325972D1 DE69325972D1 (de) 1999-09-16
DE69325972T2 true DE69325972T2 (de) 2000-04-27

Family

ID=18163563

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69325972T Expired - Lifetime DE69325972T2 (de) 1992-12-03 1993-12-02 Vibrationsangetriebener Motor

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5646469A (de)
EP (1) EP0600484B1 (de)
JP (1) JP3107933B2 (de)
DE (1) DE69325972T2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8253304B2 (en) 2007-11-08 2012-08-28 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Ultrasonic linear drive unit comprising a hollow cylindrical oscillator

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3450524B2 (ja) * 1994-08-04 2003-09-29 キヤノン株式会社 振動アクチュエータ
JPH09121570A (ja) * 1995-08-22 1997-05-06 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JPH09322572A (ja) * 1996-05-30 1997-12-12 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JP4026885B2 (ja) 1997-05-16 2007-12-26 キヤノン株式会社 圧電素子および振動型駆動装置
US6628046B2 (en) 1997-05-27 2003-09-30 Canon Kabushiki Kaisha Vibration type actuator
US6404104B1 (en) 1997-11-27 2002-06-11 Canon Kabushiki Kaisha Vibration type actuator and vibration type driving apparatus
US6074286A (en) 1998-01-05 2000-06-13 Micron Technology, Inc. Wafer processing apparatus and method of processing a wafer utilizing a processing slurry
JP3804312B2 (ja) * 1998-12-17 2006-08-02 コニカミノルタホールディングス株式会社 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータ駆動装置
JP4328412B2 (ja) 1999-05-14 2009-09-09 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置
JP3526298B2 (ja) * 2001-01-22 2004-05-10 キヤノン株式会社 振動体および振動波駆動装置
US6930436B2 (en) 2001-01-22 2005-08-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration element and vibration wave driving apparatus
JP4726167B2 (ja) * 2001-03-12 2011-07-20 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP3805242B2 (ja) * 2001-12-07 2006-08-02 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP4027090B2 (ja) * 2001-12-27 2007-12-26 キヤノン株式会社 振動体および振動波駆動装置
JP4290168B2 (ja) * 2005-03-31 2009-07-01 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP4756916B2 (ja) * 2005-05-31 2011-08-24 キヤノン株式会社 振動波モータ
US7348710B2 (en) * 2005-11-01 2008-03-25 Piezomotor Uppsala Ab Robust electromechanical motor
JP5631018B2 (ja) * 2009-04-07 2014-11-26 キヤノン株式会社 回転型振動波駆動装置
WO2011147467A1 (en) * 2010-05-28 2011-12-01 Piezomotor Uppsala Ab Rotating load bearer
CN102151829A (zh) * 2011-03-22 2011-08-17 哈尔滨工业大学 一种喷射成形沉积坯锭的辅助致密化超声振动沉积装置
JP5843469B2 (ja) * 2011-04-26 2016-01-13 キヤノン株式会社 振動波モータ
CN109861583A (zh) * 2019-04-15 2019-06-07 太原科技大学 一种叠加型纵振模态旋转压电马达

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4210837A (en) * 1979-03-08 1980-07-01 Misikov Vitaly M Piezoelectrically driven torsional vibration motor
US4831305A (en) * 1984-04-02 1989-05-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor
JPS61224881A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS61224882A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS63154075A (ja) * 1986-12-17 1988-06-27 Canon Inc 振動波モ−タ
JPH01238473A (ja) * 1988-03-17 1989-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd ライニング材及びそのライニング材を用いた超音波駆動モータ
JP3030050B2 (ja) * 1989-05-30 2000-04-10 オリンパス光学工業株式会社 超音波モータ
US5091670A (en) * 1989-06-19 1992-02-25 Seiko Instruments Inc. Ultrasonic motor
US5043956A (en) * 1989-06-26 1991-08-27 Seiko Instruments Inc. Wristwatch with oscillation alarm
JPH03253272A (ja) * 1990-03-01 1991-11-12 Canon Inc 振動波モータ
JP2898053B2 (ja) * 1990-03-28 1999-05-31 キヤノン株式会社 振動波装置
US5428260A (en) * 1990-08-03 1995-06-27 Canon Kabushiki Kaisha Vibration driven motor
JP2879955B2 (ja) * 1990-08-03 1999-04-05 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP2925272B2 (ja) * 1990-08-31 1999-07-28 キヤノン株式会社 振動波モータ
JP2714261B2 (ja) * 1990-12-14 1998-02-16 キヤノン株式会社 振動子および振動装置
JP3167394B2 (ja) * 1992-01-29 2001-05-21 キヤノン株式会社 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8253304B2 (en) 2007-11-08 2012-08-28 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Ultrasonic linear drive unit comprising a hollow cylindrical oscillator

Also Published As

Publication number Publication date
US5646469A (en) 1997-07-08
EP0600484A1 (de) 1994-06-08
EP0600484B1 (de) 1999-08-11
JPH06178561A (ja) 1994-06-24
DE69325972D1 (de) 1999-09-16
JP3107933B2 (ja) 2000-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69325972T2 (de) Vibrationsangetriebener Motor
DE3233216C2 (de) Elektromotor mit senkrechter Welle
DE3626389A1 (de) Wanderwellenmotor
DE69432192T2 (de) Linearantrieb
DE69625870T2 (de) Lagereinheit
EP0521446B1 (de) Tilger
DE69622322T2 (de) Elastische Kupplungsvorrichtung für Kraftfahrzeuge, insbesondere Riemscheibe mit einer elastischen Kupplung
DE202018006321U1 (de) Fliehkraftpendel und Antriebsanordnung für ein Kraftfahrzeug
DE69118782T2 (de) Durch Vibration angetriebener Motor
DE69628881T2 (de) Vibrationswellengetriebene Anordnung und Vibrationselement
EP0631063A1 (de) Drehschwingungsdämpfer
DE69129718T2 (de) Vibrationsgetriebener Antrieb
DE2001654A1 (de) Vorrichtung zur Kompensation von Unwuchten
EP1492962A1 (de) Maschine, insbesondere generator
DE4330032A1 (de) Piezoelektrischer Rotationsmotor
DE19840217B4 (de) Flexibles Schwungrad
DE19909913B4 (de) Elektromechanische Antriebsvorrichtung
DE69410734T2 (de) Vibrationsangetriebene Anordnung
DE102007023217A1 (de) Elektromechanischer Motor, insbesondere piezoelektrischer Mikroschrittantrieb
DE69328233T2 (de) Durch Vibrationen angetreibener Motor oder Antrieb
DE69321742T2 (de) Vibrationsgetriebener Antrieb
EP3646459B1 (de) Rotationsultraschallmotor
DE112006001027T5 (de) Motor-Kodierer-System mit flexibler Kopplung
DE19916871B4 (de) Dämpfungsscheibenanordnung
DE2225925A1 (de) Schwungrad, insbesondere zur stabilisierung von raumfahrzeugen

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition