JP3450524B2 - 振動アクチュエータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、振動する振動子に発生
させた振動によって、該振動子に圧接した接触体を相対
的に移動させる振動アクチュエータに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】本発明の従来例として、特開平５−２１
１７８５号公報より棒状超音波モータの断面図を図１０
に示してある。圧電素子３に印加された交流電圧により
振動子１が首ふり振動を起こし、その摺動部Ｂの表面粒
子は楕円運動を生じる。一方、移動体２は摺動部Ｂに加
圧接触させることで、振動子より摩擦駆動力を与えられ
る。ところでこの時振動子側の摩擦層１ａ’はＮｉ−Ｐ
−ＳｉＣ複合メッキであり、振動子部材１の全体にほど
こされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では摩擦層として必要な機能を前記複合メッキで与
えているわけであるが、このメッキの大部分は前記機能
とは無関係な所にほどこさなければならない結果になっ
ている。それでもメッキそのものが全体的に均一かつな
めらかに付着されれば、単に無駄な処理ということで済
んでしまうが、メッキ厚の不均一性やその表面粗さ、う
ねりにより、メッキ処理後の後加工の必要性が生じてく
る。第１の例として、振動子の摺動面１ａ′は圧電素子
の微小な変位を有効に受けとめなければならないため、
切削や研削で得られる程度の面精度に仕上げる必要があ
る。そこで、実際メッキ処理後に前記摺動面はラップし
ている。このことは圧電素子を振動子に接着するタイプ
のものでも同様である。第２の例として、摩擦駆動に用
いられる振動モードの共振周波数はある一定の範囲にお
さめる必要性から、メッキ部を後加工で除去しなければ
ならないことが上げられる。すなわち、図１０の従来例
で言えば、振動子１のくびれている部分１ｄ′に付着し
ているメッキを部分的に除去して、所定の周波数に調整
する必要が生じることである。この件については特開平
５−３００７６８号公報に詳しく記載されてあるので、
ここではその詳細は省略する。

【０００４】一方、摩擦層として樹脂やゴムを利用する
試みがある。しかし、この方法であると樹脂やゴムの剛
性が小さいため、それらの材料による成形品が一定の形
を保てず、振動子と結合させようとしても高い位置精度
を維持することが困難になる。逆に前記成形品を厚肉に
して剛性を高めたものを振動子に結合させると、樹脂や
ゴムの振動減衰が大きいため、モータのエネルギー損失
が大きくなってしまう。

【０００５】

【課題を解決するための手段および作用】本発明は、上
記した従来の問題点を解決することを目的とする。本発
明の目的を実現する手段は、振動体の摺動部分を振動体
に結合した別部材とするとともに、接触体の振動体の摺
動部分と接触する部分を、摺動部分よりも摩耗量の多い
ステンレス製とし、斜めに形成したことである。

【０００６】

【０００７】

【実施例】

（第１の実施例）図１は本発明による第１の実施例の前
提となる振動波アクチュエータとしての超音波モータを
示している。図１はモータ全体の縦断面図である。

【０００８】振動体としての振動子は駆動用及びセンサ
ー用圧電素子（電気−機械又は機械−電気エネルギー変
換素子）３と電極板４を挾持用の上部振動子構成体１と
下部振動子構成体５の間にはさんだ上、ボルト６により
締結して構成している。また上部振動子構成体１とボル
ト６を電気的に絶縁するために、絶縁シート７が介装さ
れている。振動子の摺動面１ｂに生じる振動変位の大き
さはくびれ部１ｄの太さにより調整される。この摺動面
１ｂには接触体としての移動体２の摺動面２ｂがコイル
バネ８の伸びようとする力で圧接される。振動子の摺動
面１ｂに生じた変位は、摩擦により移動体２に伝えら
れ、ギヤ９を介して外部に出力される。

【０００９】図２は第１実施例を示すもので、図２
（ａ）は上部振動子構成体１に別部材としての摺動用部
材１０−１を圧入して結合して構成した例である。従来
は上部振動子構造体１には全面にＮｉ−Ｐ−ＳｉＣメッ
キが施されていたが、本実施例ではＪＩＳ規格Ｃ３６０
４の黄銅が表面処理せずそのまま使われている。又摺動
用部材１０−１は析出硬化系ステンレス鋼板をプレス加
工でリング状に打抜いた後、バレル処理により、かえり
部、だれ部及びバリを除去した。この様な形状はプレス
加工により容易に作製出来るので、切削などの加工法に
比べて大巾に工程を短縮出来る。この時ステンレス鋼の
硬さはビッカース硬さで４８０程度であったが、この後
４７５℃という低温で時効処理することで５８０程度ま
で上昇した。この様に析出硬化系の材料を使えば、加工
する時比較的軟質で加工しやすく、又摺動摩耗量を低減
するための硬化処理が残留歪の余り生じない低温で行わ
れるため、変形やスケールも生じにくい。

【００１０】もちろん、マルテンサイト系ステンレス鋼
を使用しても良いし、又、オーステナイト系ステンレス
鋼に冷間圧延を施し、加工誘起マルテンサイト組織を生
じさせて使っても良い。さらに、耐食性の高いオーステ
ナイト系ステンレス鋼ＪＩＳ規格ＳＵＳ３１６を用い
て、表面を窒化処理して使っても良い。一方、移動体は
ＪＩＳ規格アルミ合金Ａ５０５６Ｈ３４に硬質アルマイ
ト処理をしたものである。

【００１１】図２（ｂ）は摺動部材の端面に台形状の突
起を設けたものである。この摺動部材１０−２は切削加
工、焼結成形加工、プレス加工などで該突起部も含めて
成形出来る。プレス加工の場合は突起部の反対側の面を
押し込むことで容易に突起部を成形出来る。

【００１２】この突起により、移動体側のもろいアルマ
イトエッヂが振動子側の摺動面と接触しないので摩耗耐
久性が向上する。この突起部は上部振動子構成体１の端
部よりさらに外側に位置しているので、結合後この摺動
面をラップ処理（回転している平らな円板を試料に当て
て、試料の平面度や表面粗度を向上させる処理で、試料
の最外側面しか円板面が接触しないので、凹んだところ
はラップ処理出来ない）出来る。

【００１３】摺動部材は上部振動子構成体１に対して圧
入しても良いし、冷しばめ、焼ばめでも良い。又接着剤
による接着力を併用しても良い。本実施例では結合面は
モータ軸と平行な面１ｆと垂直な面１ｅになるが、間に
空隙部１１−１を設けて、上記２面が交わらない構造に
なっている。結合面１ｆは摺動部材１０−２のモータ軸
心に対する同軸度を良好に保つものであり、結合面１ｅ
は摺動部材１０−２のモータ軸方向位置精度を保つため
のものである。この２つの役割は前述した図２（ａ）に
おいても共通のものであるが、図２（ｂ）ではさらに空
隙部１１−１を設けることで、結合面１ｅでの結合（接
触）を確実にし、摺動部材１０−２のモータ軸方向の位
置精度をより高めている。結合面１ｅは台形部の真下に
あっても良い。図２（ｃ）は摺動部材１０−３の外周側
を振動子構成体１に結合した例を示している。摺動部材
がアルミナ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、サイアロン、窒
化アルミなどのセラミック又はアルミ合金にアルマイト
処理をした材料又は炭素材料（グラファイト）やガラス
などの無機材料の他、超硬（カーバイド）をはじめとし
たサーメットは硬いものが多く良好な摩擦材となるが、
圧縮による破壊応力が引張りによるそれより比較的大き
いので、外周側を結合面の１つとした。以上述べたよう
な材料では、摺動部材としては高い摩擦力を得ながら耐
摩耗性も高いので、超音波モータ用の摩擦部材として高
い機能を発揮する上、ゴムや樹脂材料と違って振動減衰
も小さいので振動のさまたげにならない。しかし、この
様な材料は加工性が金属などと比べて劣るため、振動子
構成体全体をそれらの材料で作るのは実用的でない。本
実施例では、加工性の劣る材料を簡単なリング形状にす
れば良い。

【００１４】図２（ｄ）では摺動部材１０−４の摺動面
を予めラップ処理しておいてから、振動子構成体１と結
合した。移動体２との圧接位置は図で下の方になってい
る。これは、振動子の摺動面粒子の振動方向を変えた所
で摩擦駆動させようとした例である。

【００１５】図２（ｅ）は図２（ｂ）の台形状突起の上
底面の幅をもった部材、すなわち薄肉パイプを輪切りに
した様な摺動部材１０−５を振動子構成体１に圧入した
ものである。摺動部材１０−５と振動子構成体１との結
合を確実にするため空隙部１１−２を設けている。又、
結合部１ｆを圧接するため振動子構成体１に溝部１２を
設けて支持部１ｇにバネ復元力をもたせて、しっかり結
合させている。図２（ｆ）はモータ軸心を含む平面によ
る切断面形状がＬ字形をしているリング部材を圧入した
例である。前述のバネ復元力を摺動部材１０に溝１０ａ
（図２（ｇ）参照）を設けることで与えるようにした。
摺動面はＬ字形断面の陵線近傍で形成される。なお、該
切断面形状はＬ字形の他円弧の一部、曲線の一部、多角
形の一部あるいは曲線と直線を組合わせた形状などでも
良い。この形状のねらいは図２（ｂ）の所で説明したこ
と以外に、モータの起動性を改良することである。すな
わち、摺動部を多角形の陵線や曲面の一部という狭い幅
にすることで、モータの起動性能を向上させることがで
きる。すなわち、高湿度下では移動体側摺動面と振動子
側摺動面の間の狭いすきまに水分が凝縮し、互いを密着
させてしまう。この時、この摺動面が広いと上述の密着
力も増大するのである。

【００１６】図２（ｈ）はＬ字形断面のリング状の摺動
部材１０−７を圧入して、その板厚に相当する面を摺動
面としている。

【００１７】図３は第２の実施例の前提となる超音波モ
ータを示すもので、振動子構成体１の摺動面近傍に溝１
ｈを設けて、振動子側の摺動面にも剛性的柔さをもたせ
ている。こうすることで移動体２には簡単な形状の溝２
ｃで移動体の設計が可能になり、この様な形状の移動体
のツバ部２ｄには図１の様にアンダーカット部がないの
で、プレス加工で成形することも可能になる。

【００１８】図４は第２実施例を示すもので、図４
（ａ）は摺動部近傍の拡大図で、別に成形された摺動部
材１０−８を振動子構成体１に圧入している。

【００１９】図４（ｂ）はプレス加工で作られた摺動部
材１０−９を振動子構成体１にプロジェクション１ｉで
溶接している。溶接によると確実な金属結合が出来るた
め振動を阻害しない。溝部１ｊは前述摺動面における剛
性的軟さの程度を安定させるために設けたものである。

【００２０】図４（ｃ）は摺動部材１０−１０をネジに
より結合させたもので、ネジによる結合で最も確実な結
合を期待出来る。突起１０ｂは図２（ｂ）で説明した突
起をプレス加工で成形した例である。移動体２の方も図
の様に２部品に分けると摺動部材として最適なものを加
工上の実用性を阻害せず選択できる。この実施例では部
材２ｄがステンレス鋼で、摺動部材１０−１０はアルミ
合金にアルマイト処理したものである。

【００２１】図４（ｄ）及び（ｅ）は摺動部材１０−１
１において、移動体側と摺動する面１０ｂの中に凹み部
を設けた例である。こうすることで、前述した起動性の
改良がなされる。又、逆に凸部１０ｃを摺動部として用
いても同等の効果がある。凹みのかわりに孔でも良い
し、凹み部は内外周まで及んでもかまわない。

【００２２】図４（ｆ）は前述した剛性的柔さを摺動部
材１０−１２に付与するためにスリット１０ｄを付与し
た例である。この場合、移動体２との摺動面は１０ｂに
なる。断面形状は図ではＬ字形になっているが直線でも
かまわない。

【００２３】図５も第２実施例を示すもので、図５
（ａ）は今まで説明してきた例が片持ちバリによる剛性
的軟さの付与に対して、両端支持または両端固定の例で
ある。変位の方向がモータの軸心方向に近いのでこの方
向への振動変位が必要な時有効となる。又、摺動部材１
０−１３の凹み部１０ｆは移動体が偏心して回転しない
よう設けている。

【００２４】図５（ｂ）は今まで説明してきた例とは異
なり、摺動部材１０−１４の外周側で振動子構成体に対
して結合している。これも図５（ａ）の例と同じく、振
動変位の方向によって選択される例である。摺動面１０
ｂはプレス加工によりカーリング成形が施されている。
効果は図２（ｂ）で述べたことと同じである。

【００２５】図５（ｃ）は摺動部材１０−１５を振動子
構成体１に対して１ｋをつぶしてかしめることで結合し
ている。振動子構成体１に用いられる材料の延性が高い
時は簡単な割には確実な結合方法となる。本例では摺動
部材１０−１５はリン青銅よりなり、その表面にはＮｉ
−Ｐメッキが施されている。本例では摺動部材１０−１
５を成形してからメッキなどの表面処理あるいは表面コ
ーティングをしている。

【００２６】図５（ｄ）の例では、図５（ｃ）とは異な
り予め素材に表面処理、表面コーティングをしておいた
ものをプレス加工などにより打ち抜いて摺動部材１０−
１６としている。こうすることで、１つ１つの部品に処
理する必要がないので表面処理、表面コーティングの工
程を大巾に短縮出来る。例えば、純アルミ又はアルミ合
金板をプレス順送加工により摺動部材１０−１６の形状
を作製しておく。但し、多数の部材をバラバラにせず、
さんでつなげておいたままにする。これをアルマイト処
理した後、個々の部材としてさんから切り離して摺動部
材とする。表面処理はアルマイトの他に、摺動部材の素
材として鉄合金、銅合金などを選んで、Ｃｒ、Ｎｉ合
金、Ｃｏなどのメッキをする他、ステンレス鋼に窒化し
たものでも良い。表面コーティングとしては樹脂コーテ
ィング、溶射などでも良い。又、本例では図（ｃ）の例
とは逆に凹部を移動体側との摺動面に用いている。この
理由は前述した偏心をおさえるためだけでなく、次の効
果もある。例えば樹脂コーティングや溶射コーティング
する時の例の様に、コーティング直後に溶融状態の膜は
その表面張力により図の様に凹み部は平坦部に比べて厚
くなる。摩擦摺動材として使用される所だけの膜が厚く
なって、モータの耐久性能が長くなるのである。

【００２７】図５（ｅ）の摺動部材は放射状３ヶ所にプ
レス加工で突起１０ｈを設けたものである。移動体側の
摺動部との接触はこの突起部１０ｈのみでおこなわれ
る。接触が３か所であり、これにより面を決定できるの
で、この突起部はラップ加工することなく、移動体側摺
動面と均一な接触が可能になる。この突起は図の様な線
状のものに限らず点状でも良い。又、線状であってもこ
の部材の直径方向と角度をもっても良い。つまり放射状
以外でも良い。

【００２８】図６は第３実施例を示すもので、図６
（ａ）は移動体２において、摺動面での剛性を低くする
ために設けたツバ部２ｄを斜めにして、図２（ｆ）と同
等の変形方向を達成した例を示している。この例では移
動体側のツバ部材２ｄには時効硬化型ステンレス鋼を用
い、振動子側摺動部材１０−１８には超硬材料を用い
た。超硬材料に比べてステンレス鋼の方が摩耗量が多い
のだが、ツバ部２ｄの先端が摩耗していくと、超硬材料
方はその外周寄りにツバ部先端との接触位置が移動して
いき、両方の材料ともまんべんなく摩耗していき、モー
タの耐久性が向上した。図６（ｂ）は振動子側、移動体
側ともにばね性をもたせた構造のものである。ツバ部２
ｄの先端の摩耗が進んでもモータとしての機能が保たれ
る。モータの耐久性をより向上されるにはツバ部２ｄの
軸方向長さを長くしておくと良い。この構造の場合、振
動子側摺動部材１０−１９にはツバ部２ｄの部材より耐
摩耗性の高い材料を使用することが望ましい。図６
（ｃ）は図６（ｂ）と全く配置が逆の例を示している。

【００２９】図６（ａ）〜（ｃ）においてツバ部２ｄと
振動子側摺動部材１０−１８〜１０−２０の材料として
数多くをテストした結果、図７に示す組み合わせが耐摩
耗性の点で良好な結果を示した。

【００３０】図８は第４実施例の前提なる円環型超音波
モータを示しており、その駆動原理など詳細は昭６０−
２１０１７５号公報などに記載されている。この種の超
音波モータは圧電素子３が振動体１に接着されて振動子
を構成している。２は移動体である。ここで、振動体に
は多数の溝１ｉが設けられており、この溝１ｉにより振
動変位を拡大している。従来、この溝１ｉの加工は切削
又は研削加工に頼らざるをえなかったので多大な工程を
必要とした。第４実施例ではこれを図９（ａ）のよう
に、複数の孔２０ｄをプレス加工やエッチング加工で作
製した板２０−１を（ｂ）の様にプレス成形して、振動
子構成体１に接着や溶接で強固に結合した。この様にし
て振動子を構成することで、振動子構成体１に生じた曲
げ振動変形を確実に該プレス成形品に伝達することが出
来る上、摺動部材２０−１には切削や研削加工が困難な
材料でも採用可能になり、大巾な工程短縮が達成出来
た。

【００３１】図９（ｃ）は前記振動子構成体１を省略し
た構造を示している。振動子側摺動部材２０−２に直接
圧電素子３を貼りつけている。図９（ｄ）はそのプレス
用ブランクで、リング状部材に孔２０ｄがあけてある。

【００３２】図９（ｅ）は前記部材２０−２をプレス加
工で成形する時の金型構造を示している。

【００３３】なお、３１、３２は固定の金型であり、可
動金型３０を図において下方に押下げることにより部材
２０−２は図９（ｃ）の形状にプレス加工される。

【００３４】図１１，１２は第５，第６実施例を示すも
ので、略リング状の摺動用部材１０−２１はその内周面
（Ａ）で振動子構成体１と嵌合していると共にその外周
面（Ｂ）でも同じ振動子構成体１と嵌合している。次に
この様に内外周面に両嵌合にすることによる利点につい
て説明する。

【００３５】まず、振動子の摩耗防止を目的として異な
る材料の摺動用部材を振動子構成体にはめこむと、振動
子構成体と摺動用部材の材料（熱膨張係数）は異なる事
になる。

【００３６】その為に温度，湿度などの環境の変化によ
ってはめ合い状態に変化が生じ、摺動用部材と振動子構
成体との間にすき間ができた場合には、振動などの影響
も加わってモーター回転時に摺動用部材が加圧接触され
ている移動体と共に、まわってしまう可能性がある。

【００３７】図１３，１４に示す様に、一例として振動
子構成体１を黄銅（ＢＳ）摺動用部材２をステンレス鋼
ＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃにした場合、ステンレス鋼よ
りも黄銅の方が熱膨張係数が大きい為、内径のみ嵌合の
場合では低温（−２０℃）環境下で、又外径のみ嵌合の
場合高温（４５℃）環境下で振動子構成体と摺動用部材
の間にすき間が出来てしまい（図１３（ａ），図１４
（ｂ））、摺動用部材２が回転してしまう危険性が大き
くなる。

【００３８】なお、図１３（ｂ），図１４（ａ）の場合
は、逆にすき間がなくなる方向に変化することになる。

【００３９】例えば内径８．５ｍｍ程度の略リング形状
のＳＵＳ４４０Ｃから成る摺動用部材において温度が４
５℃から−２０℃に変化する事により、ＢＳ母材から成
る振動子構成体との間に計算上おおよそ４μｍ程度のす
き間が生じる事になる。

【００４０】なお、摺動用部材を振動子構成体に接着剤
によって固定する方法も考えられるが、接着剤塗布位置
が振動子と移動体の接触部近傍であることなどを考えた
場合、接着箇所、接着量の管理をきびしく行わなければ
ならずトータル的なコストｕｐにつながってしまう。

【００４１】図１１に示す様に略リング状の摺動用部材
１０−２１は、その内径面（Ａ）で振動子構成体１と嵌
合していると共にその外径面（Ｂ）でも同じ振動子構成
体１と嵌合させている。この様にすると環境の変化によ
り（Ａ）の部分にすき間ができてもその時は、必ず
（Ｂ）の部分は、すき間がつまる事になる（逆も同
じ）。

【００４２】つまり摺動用部材１０−２１の内外径面両
嵌合にする事により環境（温度）が変化しても必ずどち
らか一方のすき間がつまる方向に働く為、接着剤等を用
いなくても摺動部材１０−２１が振動子構成体１に対し
て回転する事がない。

【００４３】なお、図１２は、摺動用部材と振動子構成
体に対する嵌合を逆にしたもので効果は図１１と全く同
じである。なお、図１１，１２で摺動用部材のリング状
断面はＬ型であるが内外両嵌合であれば形状は問わない
ことはむろんである。

【００４４】図１５は、実施例７の説明図である。実施
例７は略リング状の摺動用部材１０−２２と振動子構成
１のはめこみ底面部に傾斜を設けくさび状にして挿入し
たものである。

【００４５】この場合も実施例５，６と同様に（Ａ）部
にすき間が出来る環境の時、（Ｂ）部はより密着する方
向に働き、又（Ｂ）部にすき間が出来る環境の時は
（Ａ）部は密着する方向に働く為、摺動用部材の回転を
防止する事ができる。実施例７は図１５，１６で示す様
に移動体２からの加圧力が成分ａ，ｂに分けられ、成分
ａができたすき間をうめる様な働きを示す。

【００４６】図１９，２０に基づいて、作用を説明す
る。図１９のような構造では、移動体２の加圧力はすき
間をうめる働きはしないが、図２０のように摺動用部材
をくさび状にして挿入することにより成分ａは温度変化
で生じたすき間をうめるように摺動用部材を移動させ
る。

【００４７】したがってこの効果があれば、摺動用部材
１０−２２を移動体２によって常に加圧しているかぎ
り、すき間がなくなる方向に動くので、よりシンプルな
はめあい構造を得る事ができる。

【００４８】図１６，１７，１８は第８，９，１０実施
例を示すもので、振動子構成体と摺動用部材の内径面と
外径面の関係をそれぞれ逆にしたものである。

【００４９】図２１は実施例１１の説明図である。実施
例１１は摺動用部材１０−２３の内周に突起１０１を設
けて硬度の低い振動子構成体に圧入する様に結合させ
て、突起１０１を噛み合せて強固に固定したものであ
る。突起形状は山型，凹凸型，丸型などどのような形状
でもよい。又突起の数は軸方向，円周方向共適宜の数と
する。

【００５０】図２２は実施例１２を示すものであり、摺
動用部材１０−２３の外周面に突起１０１を設けたもの
である。

【００５１】これにより振動子構成体１と摺動用部材１
０−２３の周方向の摩擦力が大きくなり、環境の変化に
よっても摺動用部材１０−２３の回転を防止できる。

【００５２】図２３は実施例１３としての円環型超音波
モータを示すもので、略リング状の摺動部材２０−３は
図９で示す実施例と同様にプレス加工により形成されて
いる。実施例１３では振動子構造体１に凹みを形成し
て、摺動部材２０−３の内径面及び外径面の両方で嵌合
するようにしている。この構造により、図２４（ａ）で
示す常温時では摺動部材２０−３は振動子構造体１に対
して、内径面（Ａ）及び外径面（Ｂ）で嵌合する。例え
ば、上述の実施例のように振動子構成体１を黄銅（Ｂ
Ｓ）で形成し、摺動部材２０−３をステンレス鋼（ＳＵ
Ｓ）で形成したとしても、図２４（ｂ）で示す高温時で
は内周面（Ａ）は強く嵌合しており、又、図２４（ｃ）
で示す低温時では外周面（Ｂ）は強く嵌合している。し
たがって、温度変化に基づく熱膨張係数の差があっても
摺動部材２０−３は振動子構成体１と強く結合してお
り、摺動部材２０−３が振動子構成体１に対して回転し
たり、外れたりすることはなくなる。

【００５３】なお、上述した第５〜１３実施例では高温
時に振動子構成体の方が摺動部材より膨張する例を示し
たが、逆の関係であっても同様な効果を得ることができ
るものである。

【００５４】又、上述した各々の実施例では振動子を固
定とし、移動体を移動させるようにしたが、これは移動
体（接触体）を固定とし、振動体を移動させることもで
きる。本発明は振動体に発生させた振動によって振動体
と接触体とが相対移動すればよい。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
耐久性が高く、効率が高くかつ起動性がすぐれた振動ア
クチュエータを容易な加工手段で振動体又は接触体を提
供できる。

【００５６】

【００５７】

【００５８】

【００５９】

【００６０】

【００６１】

【００６２】

【００６３】

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の前提となる超音波モータの断面
図。

【図２】第１実施例としての要部拡大図。

【図３】第２実施例の前提となる超音波モータの断面
図。

【図４】第２実施例としての要部拡大図。

【図５】第２実施例としての要部拡大図。

【図６】第３実施例としての要部拡大図。

【図７】材料別の性能を表す一覧表図。

【図８】第４実施例の前提となる超音波モータの斜視
図。

【図９】第４実施例としての要部拡大図。

【図１０】従来例を示す説明図。

【図１１】第５実施例としての要部拡大図。

【図１２】第６実施例としての要部拡大図。

【図１３】温度変化の状態を示す説明図。

【図１４】温度変化の状態を示す説明図。

【図１５】第７実施例としての要部拡大図。

【図１６】第８実施例としての要部拡大図。

【図１７】第９実施例としての要部拡大図。

【図１８】第１０実施例としての要部拡大図。

【図１９】作用を示す説明図。

【図２０】作用を示す説明図。

【図２１】第１１実施例としての要部拡大図。

【図２２】第１２実施例としての要部拡大図。

【図２３】第１３実施例としての要部拡大斜視図。

【図２４】温度変化の状態を示す説明図。

【符号の説明】

１ 振動子 １ｂ 振動体側摺動面 ２ 移動体 ２ｂ 移動体側摺動面 ３ 圧電素子 １０ 振動子側摺動部材

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−334984（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−76189（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−82850（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−30760（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−244784（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−117384（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−235153（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−163165（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−112686（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−64582（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−18369（ＪＰ，Ａ) 実開 平６−5396（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−34893（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−136492（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−124093（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−147694（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 2/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気信号を印加することにより、駆動部
   に振動を発生させる振動体と、該振動体の摺動部分と接
   触し、該振動体の振動によって該振動体と相対移動する
   接触体とから構成される振動アクチュエータにおいて、 前記振動体の前記摺動部分を該振動体に結合した別部材
   とし、前記接触体の該摺動部分と接触する部分を該摺動
   部分よりも摩耗量の多いステンレスを用いて、斜めに形
   成したことを特徴とする振動アクチュエータ。
2. 【請求項２】 前記振動体の前記摺動部分をプレス加工
   によって成形したことを特徴とする請求項１に記載の振
   動アクチュエータ。