DE3237225C2 - Vorrichtung zum Prüfen elektrischer Schaltungsanordnungen - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf die Prüfung elektrischer Schaltungsanordnungen und betrifft speziell eine Vorrich­ tung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Eine Vorrichtung dieser Gattung ist aus der US 42 87 594 bekannt.

Zum Prüfen elektrischer Schaltungen werden ausgewählten Anschlüssen der Prüflinge besonders abgestimmte Eingangssi­ gnale als "Prüfsignale" zugeführt, und die sich daraus ergebenden Ausgangssignale der Prüflinge werden mit vorbe­ stimmten Normwerten verglichen. Automatische Prüfvorrich­ tungen enthalten im allgemeinen eine Folgesteuereinrich­ tung, welche die Reihenfolge des Anlegens der Prüfsignale und des Vergleichens der Ausgangssignale mit den Normwerten steuert. Diese Folgesteuereinrichtung kann einen Adressen­ generator enthalten, der die Speicherplätze einer Speicher­ einrichtung adressiert, in denen die verschiedenen Prüf­ signale und Normwerte gespeichert sind. Eine entsprechende Vorrichtung, wie sie auch in der oben erwähnten US 42 87 594 beschrieben ist, und eignet sich zum Prüfen integrierter Schaltungen, die keine Speicherschaltungen sind.

Bei der Prüfung von Speicherschaltungen ist meist anders vorzugehen. Um zu prüfen, ob eine Speicherschaltung einge­ gebene Daten an den einzelnen Speicherplätzen korrekt aufnimmt und auf Abruf unverändert wieder abgibt, müssen gleichzeitig mit den "Daten"-Prüfsignalen am Datenanschluß auch Adressensignale am Adressenanschluß angelegt werden. Ausgangssignale treten nur an den Datenanschlüssen auf und werden mit den vorher eingegebenen Datensignalen vergli­ chen. Bekannte Vorrichtungen zur Speicherprüfung, wie sie z. B. in der DE 24 08 990 A1 schrieben sind, enthalten daher einen gesonderten Speicher-Adressengenerator, der während der Prüfung der Speicherschaltung unter dem Einfluß der Folgesteuereinrichtung die einzelnen Speicherplätze der Speicherschaltung nacheinander adressiert.

In vielen Fällen ist es bei der Prüfung elektrischer Schal­ tungsanordnungen auch notwendig, Format- und Zeitsteuerin­ formationen entsprechend den Prüfsignalen und Normwerten zu liefern. Bei der Prüfung nichtspeichernder Schaltungen müssen dann für jedes Prüfsignal die entsprechenden Format- und Zeitsteuerinformationen bereitgestellt werden, während bei der Prüfung von Speicherschaltungen die besagten Infor­ mationen für lange Folgen von Prüfsignalen konstant bleiben können.

Aus den vorgenannten Gründen war es bisher gängige Praxis, für die Prüfung nichtspeichernder Schaltungen grundsätzlich andere Vorrichtungen zu verwenden als für die Prüfung von Speicherschaltungen. Dies kann unwirtschaftlich sein, insbesondere dann, wenn eine Schaltungsanordnung zu prüfen ist, die sowohl nichtspeichernde Schaltungen als auch Spei­ cherschaltungen enthält, was bei hochintegrierten Schal­ tungsanordnungen (sogenannte LSI-Schaltungen) vorkommt.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine anpassungsfähige und wirtschaftliche Vorrichtung zur Schal­ tungsprüfung zu schaffen, mit der es möglich ist, wahlweise speichernde und nichtspeichernde Schaltungen (oder auch speichernde und nichtspeichernde Bereiche in ein und derselben Schaltungsanordnung) in Aufeinanderfolge und beliebiger Reihenfolge zu prüfen. Die wesentlichen Merkmale erfindungsgemäßer Vorrichtungen, mit denen die gestellte Aufgabe gelöst wird, sind in den Patentansprüchen 1 und 3 beschrieben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen 2 und 4 bis 8 gekennzeichnet.

Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung nach Patentanspruch 1 enthält die Prüfvorrichtung einen Generator zum Erzeugen von Prüfsignalen und Normwerten für die Prüfung von Speicherschaltungen. Um wahlweise speichernde und nicht­ speichernde Schaltungen zu prüfen, ist eine Umschaltein­ richtung vorgesehen, die abhängig von Signalen aus der Folgesteuereinrichtung umschaltbar ist, um entweder die in der Speichereinrichtung gespeicherten Signale oder die vom Generator erzeugten Signale als "Prüfsignale" an den Prüfling zu legen, je nachdem, ob der Prüfling eine nicht­ speichernde oder eine speichernde Schaltung ist. Die mit den Prüfsignalen zu beaufschlagenden Anschlüsse sind im ersteren Fall die hierzu ausersehenen Anschlüsse der zu prüfenden nichtspeichernden Schaltung und im zweiten Fall die Datenanschlüsse der zu prüfenden Speicherschaltung. Bei der Speicherprüfung liefert die Folgesteuereinrichtung Steuersignale zur Adressierung der einzelnen Speicherplätze des Prüflings.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung können die Adressen für die einzelnen Speicherplätze der zu prüfenden Speicherschaltung in derjenigen Speichereinrich­ tung gespeichert sein, welche beim Prüfen nichtspeichernder Schaltungen die Prüfsignale und Normwerte für diese Schal­ tungen enthält. Zur Prüfung von Speicherschaltungen liefert dann die Folgesteuereinrichtung Adressensignale für diese Speichereinrichtung, um von dort die Adressensignale für die Speicherplätze des Prüflings in der gewünschten Reihen­ folge auszulesen (was gewünschtenfalls auch eine Umordnung der Prüfreihenfolge für die Speicherplätze gestattet).

Während sich der erste Aspekt der Erfindung auf die Selek­ tion der Prüfsignale (und der zugehörigen Normwerte) zur wahlweisen Prüfung speichernder und nichtspeichernder Schaltungen konzentriert, betrifft ein weiterer Aspekt nach Patentanspruch 3 die Selektion von Format- und Zeit­ steuerinformationen. Wie erwähnt, sind bei der Prüfung nichtspeichernder Schaltungen die Format- und Zeitsteuer­ informationen mit jedem Prüfsignal (und Normwert) auf den jeweils neuesten Stand zu bringen, während bei der Prüfung von Speicherschaltungen die Format- und Zeitsteuerinforma­ tionen für lange Folgen oder "Gruppen" von Prüfsignalen konstant bleiben. Um einem solchen Fall Rechnung zu tragen, ist eine Modus-Steuereinrichtung vorgesehen, die je nachdem, ob eine nichtspeichernde oder eine speichernde Schaltung geprüft wird, einen Format- und Zeitsteuergenera­ tor veranlaßt, eine jeweils zugeordnete Format- und Zeit­ steuerinformation entweder für jedes Prüfsignal und den dazugehörigen Normwert (im Falle nichtspeichernder Schal­ tungen) oder für jeweils eine Gruppe von Prüfsignalen und Normwerten (im Falle der Prüfung von Speicherschaltungen) bereitzustellen. Der jeweilige Modus wird durch die Folgesteuereinrichtung gesteuert.

Die Erfindung ermöglicht also ein anpassungsfähiges, wirtschaftliches und wirkungsvolles Prüfen von LSI- und Speichervorrichtungen (auch LSI-Vorrichtungen mit Speicher­ bereichen) in Aufeinanderfolge und beliebiger Reihenfolge und erlaubt es, daß jeder Anschluß jeder zu prüfenden Vorrichtung entweder als LSI-Anschluß, als Speicherdaten­ anschluß oder als Speicheradreßanschluß für jeden Prüfsignalzyklus behandelt wird.

In der ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wiedergebenden Zeichnung stellen im einzelnen dar:

Fig. 1 das Blockschaltbild von Komponenten einer Prüf­ vorrichtung gemäß der Erfindung;

Fig. 2 ein Blockschaltbild des Steuer-RAM und weiterer Kom­ ponenten der Musterfolgesteuerung aus Fig. 1.

Gemäß Darstellung der Fig. 1 ist jeder Anschluß 10 der zu prüfenden Vorrichtung 12 in einer Prüfstation 14 (die eine Anschluß-Ausgangssignalfolgesteuerung und eine übliche An­ schluß-Treiberschaltung enthält) und eine Zweirichtungsleitung 16 mit einem Formatierungssystem 18 verbunden (welches inte­ grierte Logikelemente mit Multiplexern für das Formatieren und Zeitsteuern von Prüfsignaleingaben und Durchführen von Ver­ gleichen enthält). Die Eingangsanschlüsse des Formatierungs­ systems 18 sind über eine Prüfsignalleitung 20 mit einer Prüf­ signalerzeugerschaltung 22, über eine Formatleitung 24 mit einem Formatgenerator 26 und über eine Zeitsteuerleitung 28 mit einem Zeitsteuergenerator 30 verbunden. Ein Ausgangsanschluß des Formatierungssystems 18 ist durch eine Fehlerleitung 31 an eine Fehlerverarbeitungsschaltung 32 angeschlossen.

Die Prüfsignalerzeugerschaltung 22 ist mit einer zur Muster­ folgesteuerung dienenden Folgesteuereinrichtung 50 durch eine Quellenauswahlleitung 52, eine Nachladeleitung 53 und für die Prüfsignalspeichersteuerung vorgesehenen Leitungen 54, 56 und 57 verbunden (die Leitungen 54 und 56, mit Fehlersystemunter­ brechungs- und Steuerleitungen 58 und 59, verbinden auch die Folgesteuereinrichtung 50 mit der Fehlerverarbeitungsschaltung 32). Die Quellenauswahlleitung 52, die Nachladeleitung 53, die Leitung 57 und die Leitungen 60 und 62 verbinden die Folge­ steuereinrichtung 50 mit den Format- und Zeitsteuergeneratoren 26 und 30.

In der Prüfsignalerzeugerschaltung 22 ist als Umschalteinrich­ tung ein Prüfsignalquellenwähler 70 mit einem zugehörigen Speicher 72 (Kapazität 256 Bytes pro Anschluß) und mit fünf möglichen Quellen von Prüfsignalen verbunden: A- oder B-Prüf­ signalspeichern 74, 76 (welche LSI-Prüfsignale für jeden An­ schluß 10 oder Descrambleinformationen für Speicheradreßan­ schlüsse speichern); einem C-Prüfsignalspeicher 78 (über eine Nachladesteuerung 138); einem Speicherprüfsignalgenerator 80 (enthält einen adreßgetriebenen Algorithmusgenerator mit Logik­ elementen und einen adreßgetriebenen Nachschlagetabellengenera­ tor mit Speicherelementen); und einer Wechselquellenleitung 82.

In gleicher Weise ist in dem Formatadressen erzeugenden Format­ generator 26 ein Formatdatenquellenwähler 90 mit einem zuge­ hörigen Speicher 94 (mit 256 Bytes Kapazität pro Anschluß) und vier möglichen Quellen für Formatadressen verbunden: A- oder B- Formatadressenspeichern 96, 98; einem C-Formatadressenspeicher 100 (über eine Nachladesteuerung 136); und einer Wechselquellen­ leitung 122. Ein Ausgang des Formatdatenquellenwählers 90 ist mit einem Formatspeicher 92 (Kapazität 256 Bytes pro Anschluß) verbunden.

In dem Zeitsteuergenerator 30 ist ein Zeitsteuerwähler 110 mit einem zugehörigen Speicher 114 (Kapazität 256 Bytes pro An­ schluß) und vier möglichen Quellen für Zeitsteuerinformations­ adressen verbunden: A- oder B-Zeitsteueradressenspeichern 116, 118; einem C-Zeitsteueradressenspeicher 120 (über eine Nach­ ladesteuerung 134); und der Wechselquellenleitung 122. Die Ausgangsseite des Zeitsteuerauswahlkreises 110 ist über einen Zeitsteuerspeicher 124 (ein RAM mit einer Kapazität von 256 Bytes pro Anschluß) mit einem Zeitsteuergenerator 126 verbun­ den, der programmierbare Zeitsteuergeneratoren enthält.

Die A-Prüfsignal- bzw. Format- bzw. Zeitsteueradressenspeicher 74, 96 und 116 und die entsprechenden B-Speicher 76, 98 und 118 sind jeweils Teile von zwei identischen, statischen 4 k-RAM, und die entsprechenden C-Speicher 78, 100 und 120 sind Teile eines dynamischen 64 k-256 k-RAM. Die Wähler 70, 90 und 110 sind gewöhnliche Multiplexer. Die Nachladesteuerungen 134, 136, 138 (die gewöhnliche Multiplexer enthalten) besitzen Eingänge, die mit der Nachladeleitung 53 und mit den Speichern 78, 100 bzw. 120 verbunden sind, während ihre Ausgänge mit den Speichern 74, 96 bzw. 116 und den Speichern 76, 98 bzw. 188 verbunden sind.

In der Fehlerverarbeitungsschaltung 32 ist ein Fehlerstellen­ prozessor 250 (der integrierte Schaltungslogikelemente zum Analysieren und für die Leitweglenkung von Fehlersignalen enthält) durch eine Speichervorrichtungsfehlerleitung 252 mit einem Fehlerstellen-Lagebildspeicher 254 verbunden (eine Real­ zeitspeichereinrichtung zum Speichern von Fehlersignaien, die als 16 × 64 k, 8 × 128 k oder 1 k × 1 k gestaltet sein können, um Speicherfehlersignale zu halten). Außerdem ist der Fehler­ stellenprozessor 250 durch eine Fehlerfolgeleitung 258 mit einem Fehlerstellenfolgespeicher 260 verbunden, einem RAM, der Ausfallsignale und zugehörige Block- und Zyklusinformation speichert.

In der Fig. 2 sind A- und B-Prüfsignaladreßgeneratoren 310, 312 (beide enthalten je drei 12-Bit-Adreßzähler 314 bzw. 316, Adressenwähler 318, 320 und Exclusiv-ODER-Adressensperrgatter 322, 324) durch Steuerbitleitungen 326, 328 und Generatorsperr­ leitungen 330, 332 mit einem Steuer-RAM 333 verbunden (ein pro­ grammierbarer Mikroprozessor mit 4 k Befehlswortkapazität von jeweils 112 Bits). Außerdem hat der Steuer-RAM 333 folgende Ver­ bindungen: über einen C-Adreßgenerator und Steuerzähler 302 (der integrierte Schaltungslogik- und Zeitsteuerschaltungen zum Adressieren und Steuern der Speicher 78, 100, 120 enthält) mit der Leitung 57 und der Nachladeleitung 53; zur Quellenauswahl­ leitung 52; über die Speicherformat- und Zeitsteueradreßleitung 325 mit den zur LSI/Speicher-Modus-Wahl dienenden Modus-Steuer­ einrichtungen 334, 336 (die ebenfalls mit den Prüfsignaladreß­ generatoren 310, 312 verbunden sind); über eine Folgesteuerlei­ tung 338 mit einer nicht dargestellten Schaltung zur Bestimmung der Adresse des nächsten Steuerbefehls im Steuer-RAM 333, der auszuführen ist; und über eine Prüfsteuerleitung 340 mit einer nicht gezeigten Prüfsteuerschaltung.

Auswahlschaltungen 350 und 352 sind mit ihren Dateneingängen mit der Leitung 57 und mit dem Prüfsignaladreßgenerator 310 bzw. 312 verbunden und sind über eine Leitung 323 an einem Steuereingang mit dem C-Adreßgenerator und Steuerzähler 302 verbunden.

Die Auswahlschaltungen 354 und 356 besitzen in gleicher Weise Eingänge, die mit der Leitung 57 und mit den Modus-Steuerlei­ tungen 334 bzw. 336 verbunden sind, während ihre Steuereingänge mit dem C-Adreßgenerator und Steuerzähler 302 verbunden sind. Die Steuereingänge der Modus-Steuereinrichtungen 334 und 336 sind mit den Registern 335 bzw. 337 verbunden.

Die Wähler bzw. Auswahlschaltungen 318, 320, 334, 336, 350, 352, 354 und 356 sind gewöhnliche Multiplexer mit integriertem Schaltungsaufbau.

Zum Betrieb kann die Prüfeinrichtung zwischen dem Prüfen von LSI-Vorrichtungen und Speichervorrichtungen in beliebiger Folge hin- und hergeschaltet werden und LSI-Vorrichtungen mit oder ohne Speicherbereiche prüfen. Der Prüfmodus wird zwischen LSI- Modus und Speichermodus gewechselt durch Ändern der Werte in den Registern 335 und 337 zu den Modus-Steuereinrichtungen 334 bzw. 336 für die Bestimmung der Quelle der Adressen -für die Speicher 96, 98, 116 und 118; und durch Ändern der Steuer-Bits, die über die Leitung 52 zu den Speichern 72, 94 und 114 gelan­ gen, um die Quelle der Testsignale festzulegen.

LSI-Prüfung

Bei Prüfung einer LSI-Vorrichtung werden Folgen von Testsigna­ len für sämtliche Anschlüsse 10 durch das Formatierungssystem 18 zur Prüfstation 14 wechselweise vom A- oder B-Prüfsignal­ speicher 74 oder 76 zugeführt, wobei die Wahl durch den Prüf­ signalquellenwähler 70 bestimmt wird, der seine Vorgabe durch den zur Prüfsignalquellenauswahl dienenden Speicher 72 unter Steuerung der Folgesteuereinrichtung 50 erhält.

Wenn der A-Prüfsignalspeicher 74 von dem Prüfsignalquellenwäh­ ler 70 ausgewählt ist, gibt er Prüfsignale aus einer Folge seiner Speicherplätze unter Führung durch Adressen ab, die auf der Leitung 54 anstehen. Gleichzeitig wird der B-Prüfsignal­ speicher 76 aus einem größeren Reservoir von Testsignalen nach geladen, die im Prüfsignalspeicher 78 gespeichert sind. Nachdem der A-Prüfsignalspeicher 74 seine sämtlichen Prüfdaten abgegeben hat, sorgt der Prüfsignalquellenwähler 70 ohne Verzö­ gerung dafür, daß der B-Prüfsignalspeicher 76 seine wieder aufgefüllten Daten abgibt, und dabei wird der A-Prüfsignalspei­ cher 74 vom C-Prüfsignalspeicher 78 nachgeladen.

Der Nachladevorgang wird durch den C-Adreßgenerator und Steuerzähler 302 gesteuert, welcher ein "Lade A"- oder "Lade B"-Signal auf der Nachladeleitung 53 an die Nachladesteuerung 134 und C-Adressen auf Leitung 57 abgibt, in einer Weise und unter Verwendung einer Einrichtung, wie in der DE 32 37 224 C2 beschrieben.

Jedes LSI-Prüfsignal wird in einem Zeitpunkt, der durch den Zeitsteuergenerator 126 in Übereinstimmung mit im Speicher 114 gespeicherten Zeitsteuerinformationen festgelegt ist, abgegeben sowie in einem Format (z. B. keine Rückkehr auf Null (NRZ), Rückkehr auf Null (Rz), Rückkehr nach Eins (RTO), oder Rückkehr zum Komplementärwert (RTC)), das durch im Formatspeicher 92 gespeicherte Formatinformationen vorgegeben ist. Der Speicher 114 und der Formatspeicher 92 werden wechselweise vom A-Zeit­ steuer- bzw. Formatadressenspeicher 116 bzw. 96 und vom B- Zeitsteuer- bzw. Formatadressenspeicher 118, 98 (in derselben Reihenfolge, wie zwischen den A- und B-Prüfsignalspeichern 74 und 76 gewechselt wird) unter Steuerung der zur Zeitsteuerung und Formatquellenauswahl dienenden Speicher 114 bzw. 94 über die Zeitsteuer- bzw. Formatdatenquellenwähler 110, 90 adres­ siert. Der Wechsel wird auf den Leitungen 60 und 62 angesteuert (durch dieselben A- und B-Adressen, die auf den Leitungen 54 und 56 auftreten) durch Betätigung der Modus-Steuereinrichtun­ gen 334, 336, die durch die Register 335, 337 gesteuert werden, um in "LSI"-Prüfmodus zu arbeiten. Wenn der A- oder B-Zeit­ steuer- und -Formatspeicher keine Signale abgibt, werden sie aus einem größeren Zeitsteuer- und Formatsignal-Vorrat nachge­ laden, der in den Format- bzw. Zeitsteueradressenspeichern 100 und 120 für C-Zeitsteuerung und -Format enthalten sind.

Die Ausgangssignale von den Anschlüssen 10, die das Formatie­ rierungssystem 18 empfängt, werden mit Normwerten verglichen (durch übliche Komparatorschaltungen in Form integrierter Schaltungen; die Normwerte werden in derselben Weise wie die Prüfsignale auf der Prüfsignalleitung 20 bereitgestellt), und zugehörige Fehlersignale werden über den Fehlerstellenprozessor 250 dem Fehlerstellen-Folgespeicher 260 zugeleitet unter Steue­ rung der Folgesteuereinrichtung 50. Bei Auftreten bestimmter Fehlerfolgen sendet der Fehlerstellenprozessor 250 ein Unter­ brechungssignal an die Folgesteuereinrichtung 50, die dann die Prüffolge ändern kann.

Speichervorrichtungsprüfung

Beim Prüfen einer Speichervorrichtung werden die Prüfsignale den Vorrichtungsdatenanschlüssen vom Speicherprüfsignalgenera­ tor 80 (basierend auf Signalen, die auf den Leitungen 56 und 58 ankommen) über den Prüfsignalquellenwähler 70 zugeführt, und "Adressen"-Prüfsignale für die X- und Y-Adressenanschlüsse der Vorrichtung werden unmittelbar von den A- und B-Prüfsignal­ adreßgeneratoren 310 und 312 durch die A- und B-Prüfsignalspei­ cher 74 und 76 zugeführt (wo sie geordnet werden können, damit sie der Speicherform der Vorrichtung 12 angepaßt sind).

Format-und Zeitsteuerinformation (die typischerweise für Grup­ pen von Speichervorrichtungsprüfsignalen unverändert bleibt) wird durch die Format- bzw. Zeitsteuergeneratoren 26 und 30 be­ stimmt aufgrund von Adressen, die unmittelbar vom Steuer-RAM 333 über die Leitung 325 und die Modus-Steuereinrichtungen 334, 336 zugeleitet werden, die durch die Register 335, 337 auf "Speicher"-Prüfmodus eingestellt sind.

Fehlersignale werden über den Fehlerstellenprozessor 250 zum Fehlerstellen-Lagebildspeicher 254 geleitet, der die Fehler (unter Steuerung von Adressensignalen auf den Leitungen 54 und 56) an Plätzen übereinstimmend mit den Fehlerstellenplätzen in der Vorrichtung 12 speichert, um ein Lagebild "schlechter" Speicherplätze zu erstellen.

Claims (8)

1. Vorrichtung zum Prüfen elektrischer Schaltungsanord­ nungen durch Anlegen von Prüfsignalen an ausgewählte Anschlüsse der zu prüfenden Schaltungen und Vergleichen der sich daraus ergebenden Ausgangssignale der Prüflinge mit Normwerten, mit folgenden Einrichtungen:
einer Speichereinrichtung (74-78) zum Speichern von Prüfsignalen und Normwerten für die Prüfung nichtspeichern­ der Schaltungen;
einer Folgesteuereinrichtung (50), die für die Prüfung nichtspeichernder Schaltungen Steuersignale liefert, um die Reihenfolge des Anlegens der Prüfsignale aus der Speicher­ einrichtung (74-78) an die Anschlüsse der zu prüfenden nichtspeichernden Schaltungen und des Vergleichs der sich ergebenden Ausgangssignale mit den Normwerten zu steuern, dadurch gekennzeichnet,
daß ein Generator (80) zum Erzeugen von Prüfsignalen und Normwerten für die Prüfung von Speicherschaltungen vorgesehen ist;
daß eine Umschalteinrichtung (70, 72) vorgesehen ist, die in einem ersten Betriebszustand die in der Speicherein­ richtung (74-78) gespeicherten Signale an die Anschlüsse der jeweils zu prüfenden nichtspeichernden Schaltung legt und die in einem zweiten Betriebszustand die vom Generator (80) erzeugten Signale an die Datenanschlüsse der jeweils zu prüfenden Speicherschaltung legt;
daß die Folgesteuereinrichtung (50) für die Prüfung von Speicherschaltungen ein Steuersignal (Leitung 52) zur Umschaltung der Umschalteinrichtung (70, 72) in den zweiten Betriebszustand und Steuersignale (Leitungen 54, 56) zur Adressierung der einzelnen Speicherplätze der zu prüfenden Speicherschaltungen liefert.

2. Vorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnete daß für die Prüfung von Speicherschaltungen die Speicher­ vorrichtung (74-78) Adressen zur Adressierung der Speicher­ plätze der zu prüfenden Speicherschaltung speichert und die Folgesteuereinrichtung (50) Adressensignale zur Adressie­ rung der Speichervorrichtung liefert.

3. Vorrichtung zum Prüfen elektrischer Schaltungsanord­ nungen durch Anlegen von Prüfsignalen an ausgewählte Anschlüsse der zu prüfenden Schaltungen und Vergleichen der sich daraus ergebenden Ausgangssignale der zu prüfenden Schaltungen mit Normwerten, mit einer Folgesteuereinrichtung (50), welche die Reihenfolge des Anlegens der Prüfsignale und des Verglei­ chens der sich ergebenden Ausgangssignale mit den Normwerten steuert, dadurch gekennzeichnet,
daß ein Format- und Zeitsteuergenerator (26, 30) zur Erzeugung von Format- und Zeitsteuerinformationen entspre­ chend den Prüfsignalen und Normwerten vorgesehen ist;
daß eine Modus-Steuereinrichtung (334, 337) vorgesehen ist, die in einer ersten Betriebsart den Format- und Zeitsteuergenerator (26, 30) veranlaßt, für jedes an einen Anschluß einer zu prüfenden nichtspeichernden Schaltung anzulegendes Prüfsignal und den zugehörigen Normwert eine jeweils zugeordnete Format- und Zeitsteuerinformation bereitzustellen, und die in einer zweiten Betriebsart den Format- und Zeitsteuergenerator (26, 30) veranlaßt, für die Gruppen der an die Anschlüsse einer zu prüfenden Speicher­ schaltung anzulegenden Prüfsignale und Normwerte jeweils zugeordnete Format- und Zeitsteuerinformationen bereitzustellen;
daß die Folgesteuereinrichtung (50) die Modus-Steuer­ einrichtung (334, 337) für die Prüfung von nichtspeichernden Schaltungen auf die erste Betriebsart einstellt und für die Prüfung von Speicherschaltungen auf die zweite Betriebsart einstellt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß im Format- und Zeitsteuergenerator (26, 30) eine gesonderte Speichereinrichtung (92, 124) vorgesehen ist, welche die Format- und Zeitsteuerinformationen sowohl für die den nichtspeichernden Schaltungen zugeordneten Prüfsignale und Normwerte als auch für die an Speicher­ schaltungen zu legenden Gruppen von Prüfsignalen und Normwerten speichert.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Format- und Zeitsteuergenerator (26, 30) einen Formatspeicher (92) zum Speichern von Formatinformation und einen Formatadressenspeicher (96-100) aufweist, der, abhängig von der Folgesteuereinrichtung (50), Adressen entsprechend den Plätzen im Formatspeicher speichert.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Format- und Zeitsteuergenerator (26, 30) einen Zeitsteuerspeicher (124) zum Speichern von Zeitsteuerinformation, einen Zeitsteuergenerator (126) für die Erzeugung von Zeitsteuerimpulsen gemäß der Zeitsteuerinformation und einen Zeitsteueradressenspeicher (116-120) aufweist, welcher abhängig von der Folgesteuer­ einrichtung (50) Adressen entsprechend den Plätzen im Zeitsteuerspeicher speichert.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Komparator für die Erzeugung von Fehlersignalen, wenn die Ausgangssignale sich von den Normwerten unterscheiden, und eine Fehlerverarbei­ tungsschaltung (32), um wahlweise die Fehlersignale als Lagebild entsprechend den Speicherplätzen in der Speicher­ schaltung zu speichern oder als Folgen dieser Fehlersignale und der Prüfsignaie entsprechend den Anschlüssen der jeweils geprüften nichtspeichernden Schaltung.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Fehlerverarbeitungsschaltung (32) einen vom Komparator abhängigen Fehlerstellenprozessor (250), einen Fehlerstellen-Folgespeicher (260), der von der Folgesteuer­ einrichtung (50) und dem Fehlerstellenprozessor abhängig die Folgen speichert und einen Fehlerstellen-Lagebildspei­ cher (254) aufweist, der abhängig vom Fehlerstellenprozes­ sor und der Folgesteuereinrichtung das Lagebild speichert.