DE2712421C2 - Gekapselte Längenmeßeinrichtung - Google Patents
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- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229910001060 Gray iron Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
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Description
Die Erfindung betrifft eine gekapselte Längenmeßeinrichtung, insbesondere für große Meßlängen, nach
dem Oberbegriff des Patentanspruches.
Mit derartigen Meßeinrichtungen wird eine Relativbewegung — 2. B. zweier Maschinenbauteile —
gemessen. Die Maschinenbauteile können durch Maschinenbett und Maschinenschaden gebildet werden.
Zum Schütze der im allgemeinen sehr genauen Meßeinrichtung ist der Maßstab .n einem Hohlprofil
eingebettet, und die Abtasteinheit ist ebenfalls innerhalb des Hohlprofiles angeordnet
Bei Systemen dieser Genauigkeitsklasse ist die Auswahl der verschiedenen Materialien von großer
Bedeutung, da Werkstoffe mit unterschiedlichem Ausdehnungskoeffizienten kombiniert werden müssen.
Aus Kostengründen können nur in den seltensten Fällen Werkstoffe gleicher oder ähnlicher Ausdehnungskoeffizienten
verwendet werden. Am häufigsten kombiniert man Grauguß (Maschinenteile), Aluminium (Hohlprofile)
und Stahl oder Glas für den Maßstab.
Es ist bekannt. Maßstab und Grundkörper Iängsverschieblich,
z. B. über eine hochelastische Zwischenschicht, zu verbinden. Längenänderungen durch Verbiegung
des Grundkörpers bleiben damit ohne Einfluß auf den Maßstab (DE-PS 11 76 382). Des weiteren ist aus
der US-PS 38 16 002 eine Meßeinrichtung bekannt, deren Gehäuse an dem Schlitten einer Werkzeugmaschine
befestigt ist Der Maßstab wird innerhalb des Gehäuses an einem Ende fixiert, während das andere
Ende des Maßstabes in einer Art Spannvorrichtung innerhalb des Gehäuses gelagert ist. Mit dieser
Spannvorrichtung werden über eine Feder die temperaturabhängigen Längenänderungen des Gehäuses kompensiert.
Der Maßstab bleibt durch diese Anordnung Von den temperaturbedingten Längenänderungen des
Gehäuses unbeeinflußt Bei der letztgenannten Anordnung ist jedoch Von Nachteil, daß der Maßstab zwischen
den Aufhängungen an seinen beiden Enden frei im inneren des Gehäuses gespannt ist. Dadurch können
Schwingungen der Werkzeugmaschine auf den Maßslab einwirken und diesen ebenfalls zum Schwinget« bringen.
Das kann zu Meßfehlern und zu Beschädigungen des
Abtastwagens führen. Dieses Verfahren ist daher nur bedingt, und auch dann nur für kleine Meßlängen
anwendbar.
Aufgabe der Erfindung ist es, die vorgenannten Nachteile zu vermeiden und ein Längenmeßsystem,
insbesondere für große Meßlängen zu schaffen, bei dem trotz der Verwendung von unterschiedlichen Materialien
die Störeinflüsse auf den Maßstab vernachlässigbar kleine Wirkungen hervorrufen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruches gelöst
Bei der Längenmeßeinrichtung ist es von erheblichem Vorteil, daß die Maßstabbefestigungseinrichtungen vom
Maßstabträger mechanisch abgekoppelt sind, so daß bei Temperaturveränderungen die Längenänderungen des
Maßstabträgers nicht die Maßstablänge beeinflussen, und daß der Maßstab dennoch weitestgehend vor
Schwingungserscheinungen geschützt ist
Besondere Vorteile werden bei der erfindungsgemäßen Meßeinrichtung noch dadurch erzielt daß der
Maßstab mittels einer Korrektureinrichtung a« einem Maschinenbauteil befestigt ist
Für große Meßlängen ist es von entscheidendem Vorteil, daß das Hohlprofil in günstigen Teillängen verwendet werden kann, der Maßstab jedoch in voller Länge eingezogen wird.
Für große Meßlängen ist es von entscheidendem Vorteil, daß das Hohlprofil in günstigen Teillängen verwendet werden kann, der Maßstab jedoch in voller Länge eingezogen wird.
Anhand der Zeithnungen soll an einem Beispiel die
Erfindung noch näher erläutert werden. Es zeigt
F i g. 1 einen Querschnitt durch eine Meßeinrichtung in vereinfachter Darstellung,
F i g. 2 eine Längsansicht einer entsprechenden Meßeinrichtung, teilweise geschnitten.
F i g. 3 eine systematische Darstellung einer Meßeinrichtung, insbesondere für große Längen.
F i g. 3 eine systematische Darstellung einer Meßeinrichtung, insbesondere für große Längen.
Ein starres und stabiles Hohlprofil 1 ist mittels Schrauben und Stiften 2 an einem Maschinenbauteil 3
befestigt. Im Inneren des Hohlprofiles 1 ist ein Abtastwagen 4 in Meßrichtung beweglich gelagert.
Dieser Abtastwagen 4 stüm sici über Rollen 4' an
Führungsflächen Γ im Hohlprofil 1 ab. Über einen schwertförmig ausgebildeten Mitnehmer 5 ist der
Abtastwagen 4 an ein zweites, nicht dargestelltes Maschinenbauteil angekoppelt, welches die zu messende
Längsbewegung ausführt Dichtlippen 6, die dachförmig an dem Mitnehmer 5 anliegen, verhindern das
Eindringen von Schmutz und Spritzwasser in das Innere der Meßeinrichtung.
In einer Nut 7 ist ein Maßstab 8 eingebettet. Dieser Maßstab 8 besteht bei der erfindungsgemäßen Meßeinrichtung
aus einem dünnen, flexiblen Stahlband, welches eine hochpräzise Teilung trägt die im Auflichlverfahren
von einer nicht dargestellten Auswerteeinheit abgetastet wird. Diese Auswerteeinheit befindet sich auf dem
Abtastwagen 4. Die Nut 7 ist mit Auflageflächen T für den Maßstab 8 versehen. Oberhalb der Auflageflächen
T wird der Maßstab 8 von einem hervorstehenden Falz 7" umgriffen. Die Aufiageflächen T und der Falz 7" sind
maßlich so genau auf den Maßstab 8 abgestimmt, daß der Maßstab 8 in Meßrichtung zwar verschiebbar ist.
daß er jedoch in den Richtungen quer zur Meßrichtung nur ein vernachlässigbar kleines Spie! in der Nut 7
aufweist
In der Fig.2 ist eine Meßeinrichtung in stark
vereinfachter Weise dargestellt. Der Meßwagen 4 ist nicht gezeigt, da er hier nicht zur Verdeutlichung
beiträgt. Eine Maßbandhalterurlg 9 ist fest mit dem Maschinenbauteil 3 verbunden, z. B. durch Schrauben
und Stifte. Die Maßbandhalterung 9 weist einen Träger
9' auf, in dessen Bohrung 9" ein Tellerstift 10 befestigt
ist, der das Maßband 8 hält. Eine zweite Maßbandhalterung 11 ist ebenfalls durch Schrauben und Stifte auf dem
Maschinenbauteil 3 fest angebracht. Diese Maßbandhaiterung 11 beinhaltet eine Korrektureinrichtung, in
diesem Falle eine Maßbanddehneinrichtung. In einer Aussparung 11' der Maßbandhalterung 11 ist ein Hebel
12 — um eine Achse 13 in gewissen Grenzen drehbar — gelagert Ein ^Väger 14 ist an einem Ende des Hebels 12
angelenkt. Das Maßband 8 wird von einem Tellerstift 15 gehalten, der in eine Bohrung 14' eingepaßt ist. An
seinem anderen Ende weist der Hebel 12 ein Sackloch 16 auf, das eine Druckfeder 17 aufnimmt Die
Druckfeder 17 ragt in eine Bohrung 18 hinein, die an der Maßbandhalterung 11 vorhanden ist, und die an der von
außen zugänglichen Seite ein Gewinde 18' trägt Eine Einstellschraube 19 ist mit einem Dorn 19' versehen, der
die Feder 17 zentriert Durch Eindrehen der Einstellschraube 19 wird der Hebel Ϊ2 über die Feder 17 um die
Achse 13 verdreht und das Maßband 8 wird gedehnt Mit Hufe dieser Korrektureinrichtung kann die
Meßeinrichtung genau auf den bestehenden Maschinenfehler eingestellt werden. Üblicherweise werden solche
Meßsysteme in Serien hergestellt Da die Maschinen, an denen sie eingesetzt werden, auch Fehler aufweisen,
fertigt man die Maßstäbe etwas kleiner als das Soll-Maß und eicht sie an der Maschine entsprechend deren
Fehlerprotokoll, im allgemeinen mit Hilfe eines Laserinterferometers. Im Laufe der Zeit auftretende
Fehler durch Abnutzung der Maschinenführungen können mit Hilfe der gezeigten Anordnung jederzeit am
Maßstab 8 kompensiert werden.
Das Hohlprofil 1 ist in dieser Darstellung etwa in Höhe des Maßstabes 8 längsseitig aufgeschnitten.
Unterhalb des Maßstabes 8 ist die Nut 7 gezeigt, deren Aufiageflächen T den Maßstab 8 stützen. Oberhalb des
Maßstabes 8 liegt der den Maßstab 8 umgreifende Falz 7". Das Hohlprofil 1 wird separat durch nicht
dargestellte Befestigungselemente an dem Maschinenbauteil 3 befestigt Mittels elastischer Dichtungen 20
wird das Hohlprofi! 1 gegen die Maßbandhalterungen 9 und 11 abgedichtet
In der F i g. 3 wird schematisch gezeigt, wie Eich die
Erfindung bei Meßeinrichtungen mit großer Meülänge einsetzen läßt Längenmäßig günstige Teilstücke la, Xb,
Ic des Hohlprofils 1 werden auf einem Maschinenbauteil 3 justiert und fixiert Zwischen den Profilteilstücken
la, Xb, Ic ist jeweils eine elastische Dichtung 20 angebracht die zusätzlich zu ihrer Dichtungsfunktion
auch noch die temperaturbedingten Längenänderungen der Profilteilstücke la, Xb, Xc ausgleicht Nach der
Montage der Profilteilstücke la, Xb, Ie wird da.=
Maßband δ in die Nut 7 der Prof.'·eilstücke la, Xb, \c eingezogen und an der maßbandhäitprdng B befestigt
Die Maßbandhalterungen 9 und 11 werden ebenfalls an dem Maschinenbauteil 3 in bekannter Weise fixiert Mit
Hilfe der in Fig.2 gezeigten Korrektureinrichtung 12
bis IS' wird das Maßband 8 auf den Maschinenfehler geeicht
Der an den Trennsiellen der Profilteilstücke Xa, Xb, Xc
auftretende Stoß kann mit einem entsprechend ausgestalteten Abtastwagen ohne Beeinflussung des
Meßergebnisses überfahren werden. Das Maßband 8 selbst weist hingegen keine Stoßstelle auf.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentanspruch:Gekapselte Längenmeßeinrichtung, insbesondere für große Meßlängen, zur Messung der Lage zweier relativ zueinander verschiebbarer Maschinenbauteile, bei der einem Maschinenbauteil der Maßstab und dem anderen Maschinenbauteil die Abtasteinheit zugeordnet ist, mit einem in Meßrichtung geringfügig Iängsverschieblich befestigten, flexiblen Maßstab und einem den Maßstab und die Abtasteinheit umschließenden Hohlprofil als Maßstabträgerkörper, sowie mit einer Auswerte- und Ableseeinheit, dadurch gekennzeichnet, daß der Maßstabträgerkörper (1) eine Ausnehmung (7) in Längserstreckung mit den Maßstab (8) abstützenden Ausbildungen (7') und beidseitig in Längserstrekkung übergreifenden Falzen (7") aufweist, daß der flexible Maßstab (8) in dieser Ausnehmung (7) in Längsrichtung verschiebbar gehaltert ist, und an seinen Enden mittels Befestigungselementen (3, 11), die mit dcii Maßstabträgerkörper (1) nicht verbunden sind, an dem bezüglich seiner Relativbewegung zu messenden Maschinenbauteil (3) befestigt ist
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ID=6004271
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