DE19954351A1

DE19954351A1 - Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung

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Publication number: DE19954351A1
Application number: DE19954351A
Authority: DE
Inventors: Yasushi Miyasaka; Tatsuhiko Fujihira; Yasuhiko Ohnishi; Katsunori Ueno; Susumu Iwamoto
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 1998-11-12
Filing date: 1999-11-11
Publication date: 2000-05-18
Anticipated expiration: 2019-11-12
Also published as: DE19954351B4; US6787420B2; US6291856B1; US20010046739A1

Abstract

Die Erfindung verdeutlicht die Effekte von Parametern und ermöglicht die Massenproduktion eines Halbleiterbauelements mit Super-Zonenübergang, der eine Driftschicht besitzt, die aus einer pn-Parallelschicht besteht, welche im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist. Die Dotierstoffmenge in den n-Driftzonen liegt im Bereich zwischen 100% und 150% oder zwischen 110% und 150% der Menge an Dotierstoff in den p-Trennzonen. Die Dotierstoffdichte einer der beiden Zonenarten, d. h. der Driftzonen oder der Trennzonen, liegt im Bereich zwischen 92% und 108% der Dotierstoffdichte der anderen Zonenart. Außerdem liegt die Breite einer der beiden Zonenarten innerhalb des Bereichs zwischen 94% und 106% der Breite der anderen Zonenart.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement, etwa einen MOS-Feldeffekttransistor, einen Bipolartransistor mit isoliertem Gate (IGBT), einen Bipolartransistor oder eine Diode, das eine sogenannte pn-Parallelschicht aufweist, die im Einschaltzustand elektrisch leitend ist und im Ausschaltzustand verarmt ist.

Bei einem Longitudinal-Halbleiterbauelement mit jeweils einer Elektrode auf zwei gegenüberlie genden Hauptflächen, bei dem elektrischer Strom zwischen den beiden Elektroden fließt muß eine zwischen den beiden Elektroden angeordnete Schicht hohen Widerstands dick sein, damit eine hohe Spannungsfestigkeit, d. h. eine hohe Stehspannung erzielt wird. Ein Bauelement mit einer dicken Schicht hohen Widerstands führt zu einem hohen Durchlaßwiderstand zwischen den beiden Elektroden und damit zu unvermeidbar hohen Verlusten. Es besteht ein Widerspruch zwischen der Forderung nach einem geringen Durchlaßwiderstand (Stromleitvermögen) einerseits und einer hohen Stehspannung andererseits. Es ist bekannt, daß dieser Widerspruch für eine Vielfalt von Halbleiterbauelementen wie einen IGBT, einen Bipolartransistor und eine Diode gilt. Das Problem gilt auch für laterale Halbleiterbauelemente, bei denen die Richtung, in der ein Driftstrom im Einschaltzustand fließt, anders ist als die Richtung, in der sich eine Verarmungs schicht im Ausschaltzustand infolge der Sperrvorspannung ausbreitet.

Zur Lösung dieses Problems ist ein in den Patentschriften EP 0 053 854 A, US 5,216,275, US 5,438,215 und, von den Erfindern der vorliegenden Erfindung, in der JP 9-266311 A offenbartes Halbleiterbauelement entwickelt worden, das eine als "pn-Parallelschicht" bezeichnete Drift schicht aufweist, die sich aus zueinander parallelen, abwechselnd aneinandergereihten bzw. aufeinandergestapelten n-Zonen und p-Zonen mit hoher Dotierstoffdichte zusammensetzt. Bei diesem Halbleiterbauelement ist die pn-Parallelschicht im Ausschaltzustand verarmt, um die Stehspannung zu belasten.

In der folgenden Beschreibung wird ein Halbleiterbauelement mit einer Driftschicht in Form einer pn-Parallelschicht, welche im Einschaltzustand elektrisch leitend ist und im Ausschaltzustand verarmt ist, als SJ-Halbleiterbauelement bezeichnet. Das Akronym SJ steht dabei für Super-Junction bzw. Super-Zonenübergang.

Das obenerwähnte herkömmliche Halbleiterbauelement befindet sich in einem Experimentiersta dium und kann noch nicht in großen Stückzahlen hergestellt werden. Beispielsweise müssen die Dotierstoffdichte und die Breite der pn-Parallelschicht gleichförmig sein, während sie jedoch durch den Herstellungsprozeß immer ungleichförmig werden.

Darüber hinaus sind keine spezifischen numerischen Werte bezüglich eines Lawinendurchbruch stroms bei induktiver Last bekannt, bei dem es sich um einen wichtigen Faktor bei der Herstel lung der Bauelemente handelt. Der Lawinendurchbruchstrom bei induktiver Last ist vorzugsweise größer als der Nennstrom zur Herstellung der Bauelemente.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein SJ-Halbleiterbauelement zu schaffen, das ein deutlich besseres Abwägungsverhältnis bzw. einen besseren Kompromiß zwischen Durchlaßwi derstand und Stehspannung bietet, mit dem eine hohe Sperrspannung leicht erreichbar ist und das sich für eine Massenproduktion eignet.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein SJ-Halbleiterbauelement gemäß einem der Ansprüche 1, 2, 5, 6, 7 und 8 bzw. ein Herstellungsverfahren gemäß einem der Ansprüche 15 und 16 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

In einer Ausführungsform schafft die vorliegende Erfindung ein SJ-Halbleiterbauelement mit einer ersten und einer zweiten Hauptfläche, zwei auf den Hauptflächen vorgesehenen Hauptelektroden und einer pn-Parallelschicht, bei der Driftzonen eines ersten Leitfähigkeitstyps und Trennzonen eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd angeordnet sind, wobei die pn-Parallelschicht zwischen den beiden Hauptelektroden vorgesehen ist und in einem EIN-Zustand Elektrizität leitet und in einem AUS-Zustand verarmt ist, wobei die Dotierstoffmenge in den Driftzonen innerhalb eines Bereichs zwischen 100% und 150% der Dotierstoffmenge in den Trennzonen liegt. Vorzugsweise liegt die Dotierstoffmenge in den Driftzonen zwischen 110% und 150% der Dotierstoffmenge in den Trennzonen.

Die Driftzonen des ersten Leitfähigkeitstyps und die Trennzonen des zweiten Leitfähigkeitstyps sind vorzugsweise in Streifen gleicher Breite angeordnet.

Gemäß einer anderen Ausführungsform schafft die Erfindung ein SJ-Halbleiterbauelement, das eine erste und eine zweite Hauptfläche, zwei auf den Hauptflächen angeordnete Hauptelektroden und eine pn-Parallelschicht aufweist, bei der Driftzonen eines ersten Leitfähigkeitstyps und Trennzonen eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd angeordnet sind und die pn-Parallel schicht zwischen den beiden Hauptelektroden vorgesehen ist und in einem EIN-Zustand Elektrizi tät leitet und in einem AUS-Zustand verarmt ist, wobei die Driftzonen und die Trennzonen in Streifen bei gleicher Breite angeordnet sind und die Dotierstoffmenge entweder in den Driftzonen oder in den Trennzonen im Bereich zwischen 92% und 108% der Dotierstoffmenge der jeweiligen anderen Zonen liegt.

Insbesondere kann die mittlere Dotierstoffdichte entweder in den Driftzonen oder in den Trennzo nen im Bereich zwischen 92% und 108% der durchschnittlichen Dotierstoffdichte der jeweiligen anderen Zonen liegen. Die Dotierstoffdichte in den Driftzonen oder in den Trennzonen kann innerhalb des Bereichs zwischen 92% und 108% der Dotierstoffdichte in den jeweiligen anderen Zonen liegen.

Die Breite der Driftzonen oder diejenige der Trennzonen liegt im Bereich zwischen 94% und 106% der Breite der jeweiligen anderen Zonen.

Die Driftzonen des ersten Leitfähigkeitstyps und die Trennzonen des zweiten Leitfähigkeitstyps weisen im wesentlichen die gleiche Dotierstoffmenge auf, um die pn-Parallelschicht, bei der die Driftzonen und die Trennzonen abwechselnd angeordnet sind, im AUS-Zustand zu verarmen. Wenn die Dotierstoffdichte der Driftzonen oder diejenige der Trennzonen die Hälfte der Dotier stoffdichte der jeweiligen anderen Zonen beträgt müssen die ersterben Zonen doppelt so breit wie die letzteren sein. Wenn daher die Driftzonen und die Trennzonen die gleiche Dotierstoff dichte aufweisen, können sie mit gleicher Breite ausgebildet werden. Dies ist zur effizienten Nutzung der Oberfläche des Halbleiters vorzuziehen.

Die Driftzonen und die Trennzonen mit gleicher Dotierstoffdichte und Breite können nahezu gleichförmig verarmt werden. Dies hält den Abfall der Stehspannung, der von einer unvollständi gen Verarmung herrührt, bei etwa 10%.

Zur Herstellung des SJ-Halbleiterbauelements können entweder die Driftzonen oder die Trennzo nen mit einer Dotierstoffmenge im Bereich zwischen 92% und 108% der Dotierstoffmenge der jeweiligen anderen Zonen durch Epitaxialwachstum ausgebildet werden. Alternativ werden die Dotierstoffe in einer Menge im Bereich zwischen 92% und 108% der Dotierstoffmenge, die zur Ausbildung entweder der Driftzonen des ersten Leitfähigkeitstyps oder der Trennzonen des zweiten Leitfähigkeitstyps erforderlich sind, implantiert, während die jeweiligen anderen Zonen dann durch thermische Diffusion ausgebildet werden.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sowie weitere Aufgaben und Vorteile der Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen erläutert, in denen in allen Figuren gleiche Bezugszahlen gleiche oder ähnliche Teile bezeichnen. Es zeigen:

Fig. 1 Eine Kennlinie der Abhängigkeit der Stehspannung V_DSS von der Breite Lp in einem SJ-MOSFET gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 2 eine Kennlinie der Abhängigkeit der Stehspannung V_DSS von der Dotierstoffdichte Cp,

Fig. 3 eine Teilschnittansicht, die wesentliche Teile eines SJ-MOSFETS gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel zeigt,

Fig. 4 eine Teilschnittansicht, die wesentliche Teile eines SJ-MOSFETS gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel zeigt,

Fig. 5 eine Kennlinie der Abhängigkeit des Durchlaßwiderstands Ron.A und der sich einstel lenden Stehspannung V_DSS von der Dotierstoffmenge in einem SJ-MOSFET gemäß der vorliegenden Erfindung, und

Fig. 6 eine Kennlinie der Abhängigkeit des Lawinendurchbruchstroms bei induktiver Last von der Dotierstoffmenge.

Nachfolgend werden Experimente und deren Ergebnisse beschrieben, die zur Entwicklung der vorliegenden Erfindung geführt haben.

Fig. 3 ist eine Teilschnittansicht, die den grundlegenden Aufbau eines Longitudinal-n-Ka nal-SJ-MOSFETS gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt, der bei den Experimen ten verwendet wurde. Zusätzlich ist an der Umfangskante des MOSFETs ein Teil zur Aufrechter haltung einer Stehspannung ausgebildet, und dieser Teil ist beispielsweise mit einer üblichen Struktur, etwa einer Schutzringstruktur, versehen. Bei der folgenden Beschreibung bezeichnet der Vorsatz n oder p Zonen oder Schichten, bei denen die Hauptladungsträger Elektronen bzw. Löcher sind. Der Zusatz ⁺ verweist auf eine relativ hohe Dotierstoffdichte, während der Zusatz ⁻ auf eine relativ niedrige Dotierstoffdichte verweist.

In Fig. 3 bezeichnet die Bezugszahl 11 eine n⁺-Drainschicht niedrigen Widerstands, während 12 eine Driftschicht in Form einer pn-Parallelschicht ist, die sich aus n-Driftzonen 12a und p-Trennzonen 12b zusammensetzt. Ein elektrischer Strom fließt nur durch die Driftzonen 12a der Driftschicht 12. Dennoch wird hier die gesamte pn-Parallelschicht einschließlich der Trennzonen 12b als die Driftschicht 12 bezeichnet. In einer Oberflächenschicht sind n-Kanalzonen 12e mit den n-Driftzonen 12a und p-Wannenzonen 13a mit den p-Trennzonen 12b verbunden. Außerdem sind innerhalb der Wannenzonen 13a n⁺-Sourcezonen 14 sowie Kontaktzonen 13b hoher Dichte ausgebildet. Gateelektrodenschichten 16 aus polykristallinem Silicium sind auf der Oberfläche der Wannenzone 13a zwischen den Sourcezonen 14 und den Driftzonen 12a unter Zwischenlage jeweils eines Gateisolierfilms ausgebildet. Eine Sourceelektrode 17 ist ebenfalls auf den Oberflä chen der Wannenzonen 13a vorgesehen und steht mit den Oberflächen sowohl der Sourcezonen 14 als auch der Kontaktzonen 13b in Kontakt. Eine Drainelektrode 18 ist an der Rückseite der Drainschicht 11 vorgesehen. Die Bezugszahl 19 bezeichnet einen Isolierfilm zum Schutz und zur Stabilisierung der Oberfläche. Der Isolierfilm 19 besteht beispielsweise aus einem thermischen Oxidationsfilm und Phosphorsilikatglas (PSG). In vielen Fällen erstreckt sich die Sourceelektrode 17 unter Zwischenlage des Zwischenschichtisolierfilms 19 zur bzw. über die Gateelektroden schicht 16, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist. Eine Gateelektrode aus einem Metallfilm ist an einem (nicht gezeigten) Teil jeder Gateelektrodenschicht 16 vorgesehen. Ein elektrischer Driftstrom wird durch die Driftzonen 12a geleitet, dennoch wird die gesamte pn Parallelschicht einschließlich der p-Trennzonen 12b hier als die Driftschicht 12 bezeichnet. In einer Horizontalschnittebene in Fig. 1 betrachtet, können die Driftzonen 12a und die Trennzonen 12b abwechselnd entweder in Streifen oder in anderer Form angeordnet sein, etwa so, daß entweder die Driftzonen 12a oder die Trennzonen 12b in Kreuz- oder Querstreifen angeordnet sind und die jeweiligen anderen Zonen umgeben oder daß eine der Zonenarten als z. B. rechteckförmige Inseln in der anderen Zonenart angeordnet sind.

Die n-Driftzonen 12a werden beispielsweise durch Epitaxialwachstum gebildet. Das Epitaxial wachstum bewirkt, daß die p-Trennzonen 12b die Hohlräume füllen, die in den n-Driftzonen 12a gebildet sind. Dies ist im einzelnen in der japanischen Patentanmeldung Nr. 10-209267 beschrie ben.

Die Standardgröße und die Dotierstoffdichte der einzelnen Teile eines MOSFETs der 400 V-Klasse weisen beispielsweise folgende Werte auf. Der spezifische Widerstand der n⁺-Drainschicht 11 beträgt 0,01 Ωcm und ihre Dicke beträgt 350 µm; die Dicke der Driftschicht 12 beträgt 32 µm; die Breite der n-Driftzonen 12a und der p-Trennzonen 12b beträgt 8 µm (d. h. der Abstand zwischen den Mitten der gleichen Zonen beträgt 16 µm); die Dotierstoffdichte in den Zonen 12a und 12b beträgt 3,0×10¹⁵cm^-3; die Diffusionstiefe der p-Wannenzone 13a beträgt 3 µm; die Oberflächendo tierstoffdichte der Wannenzone 13a beträgt 2×10¹⁷cm^-3; die Diffusionstiefe der n⁺-Sourcezone 14 beträgt 0,3 µm; und die Oberflächendotierstoffdichte Sourcezone 14 beträgt 3×10cm^-3.

Die Standardgröße und die Dotierstoffdichte der einzelnen Teile bei einem MOSFET der 800 V Klasse sind beispielsweise wie folgt. Der spezifische Widerstand der n⁺-Drainschicht 11 beträgt 0,01 Ωcm und die Dicke 350 µm; die Dicke der Driftschicht 12 beträgt 48 µm, die Breite einer n-Driftzone 12a und die einer p-Trennzone 12b beträgt 5 µm (d. h. der Abstand zwischen den Mitten zweier gleicher Zonen beträgt 10 µm); die Dotierstoffdichte in den Zonen 12a und 12b beträgt 3,5×10¹⁵cm^-3; die Diffusionstiefe der p-Wannenzone 13a beträgt 1 µm; die Oberflä chendotierstoffdichte der Wannenzone 13a beträgt 1×10¹⁸cm^-3; die Diffusionstiefe der n⁺-Zone 14 beträgt 0,3 µm; und die Oberflächendotierstoffdichte Sourcezone 14 beträgt 1×10²⁰cm^-3.

Es soll nun die Betriebsweise des SJ-MOSFETs von Fig. 3 beschrieben werden. Wenn eine vorbestimmte positive Spannung an die Gateelektrodenschicht 16 angelegt wird, wird in der Oberflächenschicht der Wannenzonen 13a unmittelbar unter der jeweiligen Gateelektrodenschicht 16 eine Inversionsschicht induziert, und Elektronen werden von der Sourcezone 14 durch diese Inversionsschicht in eine jeweilige n-Kanalzone 13d injiziert. Die injizierten Elektronen erreichen die Drainschicht 11 über die entsprechende Driftzone 12a, so daß Elektrizität zwischen der Drainelektrode 18 und der Sourceelektrode 17 transportiert wird.

Wenn die positive Spannung von der Gateelektrodenschicht 16 abgenommen wird, verschwindet die Inversionsschicht von den Oberflächen der Wannenzonen 13a und der Stromfluß zwischen der Drainelektrode 18 und der Sourceelektrode 17 wird unterbrochen. Wenn die Sperrvorspan nung erhöht wird, dehnen sich Verarmungsschichten von pn-Übergängen Ja zwischen den Wannenzonen 14a und den Kanalzonen 12e sowie von pn-Übergängen Jb zwischen den Driftzonen 12a und den Trennzonen 12b in die Driftzonen 12a und die Trennzonen 12b aus, wodurch die Driftzonen 12a und die Trennzonen 12b verarmt werden.

Die Verarmungsenden von den pn-Übergängen Jb dehnen sich entlang der Breite der Driftzonen 12a aus, und die Verarmungsschichten dehnen sich von den Trennzonen 12b auf beiden Seiten einer Driftzone 12a aus. Demzufolge werden die Driftzonen 12a sehr rasch verarmt, was zu einer Zunahme der Dotierstoffdichte in den Driftzonen 12a führt.

Zur gleichen Zeit werden auch die Trennzonen 12b verarmt. Die Verarmungsschichten dehnen sich von den pn-Übergängen auf deren beiden Seiten in die Trennzonen 12b aus, so daß die Trennzonen 12b rasch verarmt werden können. Da die Trennzonen 12b und die Driftzonen 12a abwechselnd angeordnet sind, breitet sich die Verarmung von den Trennzonen 12b in die benachbarten Driftzonen 12a aus. Dies reduziert die Gesamtbreite der Trennzonen 12b, die zur Hälfte die Verarmungsschicht bilden, und resultiert in der Zunahme der Querschnittsfläche der Driftzonen 12a.

Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel wurde ein n-Kanal-MOSFET simuliert und unter den folgenden Bedingungen experimentell hergestellt: Die Menge (Dosis) von Bor als Dotierstoff in den p-Trennzonen 12b war auf 1×10¹³cm^-2 festgesetzt und demgemäß war die Menge (Dosis) von Phosphor als Dotierstoff in den n-Driftzonen 12a innerhalb eines Bereichs zwischen 80% und 150% variabel.

Fig. 5 zeigt eine Kennlinie der Abhängigkeit des Durchlaßwiderstands Ron.A und der Stehspannung V_DSS von der Dotierstoffmenge. Auf der Abszisse ist die Stehspannung und auf der Ordinate der Durchlaßwiderstand aufgetragen. Die Menge (Dosis) an Dotierstoff in den p-Trennzonen 12b ist auf 1×10¹³cm^-2 fixiert, und die Breite der Trennzonen beträgt 8 µm. Die Tiefe der Driftschicht beträgt 32 µm.

Wenn beispielsweise die Dotierstoffmenge in den Driftzonen 12a 1,0×10¹³cm^-2 (100%) beträgt ergeben sich eine Stehspannung von 445 V und ein Durchlaßwiderstand von 38 mΩcm². Wenn die Dotierstoffmenge in den Driftzonen 12a 1,3×10¹³cm^-2 (130%) beträgt₁ ergibt sich die Stehspan nung zu 365 V bei einem Durchlaßwiderstand von 24 mΩcm². Wenn die Dotierstoffmenge in den Driftzonen 12a 1,5×10¹³cm^-2 (150%) beträgt, ergeben sich eine Stehspannung von 280 V und ein Durchlaßwiderstand von 20 mΩcm².

Wie aus Fig. 5 hervorgeht, sinken mit zunehmender Dotierstoffmenge in den Driftzonen 12a von 100% auf 150% der Dotierstoffmenge in den Trennzonen 12b die erzeugte Stehspannung V_DSS und der Durchlaßwiderstand Ron.A. Innerhalb des Bereichs zwischen 100% und 150% ergeben sich nur geringe Unterschiede beim Durchlaßwiderstand zwischen verschiedenen Produkten, so daß im Falle einer Massenproduktion nur mit Schwankungen bei der Stehspannung zu rechnen ist. Es ist daher einfach, die MOSFETs herzustellen und den Herstellungsprozeß in Griff zu kriegen. Dies gilt für jede Stehspannung, obwohl ein MOSFET der 400 V-Klasse Grundlage dieses Ausführungsbeispiels ist.

Fig. 6 zeigt eine Kennlinie der Abhängigkeit des Lawinendurchbruchstroms bei induktiver Last von der Dotierstoffmenge bezüglich eines dritten Ausführungsbeispiels. Auf der Abszisse ist die Menge (Dosis) von Bor in den n-Driftzonen 12a aufgetragen, während die Ordinate den Lawinen durchbruchstrom wiedergibt. Die Menge (Dosis) von Dotierstoff in den p-Trennzonen 12b ist auf 1×10¹³cm^-2 fixiert, so daß folglich die Menge (Dosis) von Phosphor in den n-Driftzonen 12a innerhalb eines Bereichs zwischen 80% und 150% variabel ist. Es gelten dieselben Bedingungen wie beim ersten Ausführungsbeispiel.

Wenn beispielsweise die Dotierstoffmenge in den Driftzonen 12a 1,0×10¹³cm^-2 (100%) ist, ergibt sich ein Lawinendurchbruchstrom von etwa 7 A. Wenn die Dotierstoffmenge in den Driftzonen 12a 1,3×10¹³cm^-2 (130%) beträgt, liegt der Lawinendurchbruchstrom bei etwa 63 A. Wenn die Dotierstoffmenge in den Driftzonen 12a 1,5×10¹³cm^-2 (150%) beträgt, wird der Lawinendurch bruchstrom etwa 72 A.

Aus Fig. 6 ist klar, wenn mehr als ein Nennstrom, vorzugsweise mehr als der doppelte Nenn strom als Lawinendurchbruchstrom bei induktiver Last erforderlich ist, dann muß die Menge (Dosis) an Dotierstoff in den Driftzonen 12a mehr als 110% betragen. Wenn die Dotierstoff menge mehr als 140% beträgt, gerät der Lawinendurchbruchstrom in die Sättigung, weshalb die Dotierstoffmenge in den Driftzonen 12a mit Blick auf die Stehspannung in Fig. 1 unter 150% liegt.

Die oben beschriebenen Experimente machen den zulässigen Bereich der Dotierstoffmenge in den n-Driftzonen 12a und den p-Trennzonen 12b der pn-Parallelschicht klar. Wenn das SJ-Halbleiter bauelement nach diesen Maßgaben ausgelegt wird, lassen sich SJ-Halbleiterbauelemente mit hoher Stehspannung in großen Mengen herstellen, bei denen das Abwägungsverhältnis zwischen dem Durchlaßwiderstand und der Stehspannung deutlich verbessert ist und ein ausreichender Lawinendurchbruchstrom bei induktiver Last garantiert ist.

Bei einem vierten Ausführungsbeispiel wurde ein n-Kanal-MOSFET simuliert und experimentell unter der Voraussetzung hergestellt, daß die Dotierstoffdichte Cp der p-Trennzonen 12b variabel war.

Fig. 1 zeigt eine Kennlinie der Abhängigkeit der Stehspannung V_DSS von der Dotierstoffdichte Cp. Auf der Abszisse ist die Dotierstoffdichte Cp der Trennzonen 12b aufgetragen, während auf der Ordinate die Stehspannung aufgetragen ist. Die Dotierstoffdichte Cn der n-Driftzonen 12a ist auf 3,5×10¹⁵cm^-3 fixiert, und die Breite der Trennzonen 12b und der Driftzonen 12a beträgt 5 µm. Die Tiefe der Driftschicht 12 beträgt 48 µm.

Wenn beispielsweise Cn = Cp = 3,5×10¹⁵cm^-3 ist, ist die Stehspannung 960 V. Wenn Cp = 3×10¹⁵cm^-3, ist die Stehspannung etwa 750 V. Wenn Cp = 2×10¹⁵cm^-3, ist die Stehspannung etwa 380 V.

Die Stehspannung sinkt in oben angegebener Weise, weil die n-Driftzonen 12a nicht vollständig verarmt werden. Wenn die Dotierstoffdichte der Trennzonen 12b höher als die der Driftzonen 12a ist, werden die Trennzonen 12b nicht vollständig verarmt. Daher sinkt die Stehspannung.

Aus Fig. 1 ist klar, daß die Stehspannung nur um etwa 10% sinkt, wenn die Dotierstoffdichte Cp der Trennzonen 12b um etwa 8% über oder unter der Dotierstoffdichte Cn der Driftzonen 12a liegt.

Dies gilt auch für den Fall, wo die Dotierstoffdichte Cn der Driftzonen 12a variabel ist, obwohl bei diesem Ausführungsbeispiel die Dotierstoffdichte Cp der Trennzonen 12b variabel ist. Dies gilt gleichermaßen für alle anderen vorbestimmter Stehspannungs-Klassen.

Bei einem fünften Ausführungsbeispiel wurde ein n-Kanal-MOSFET simuliert und experimentell unter den folgenden Voraussetzungen hergestellt: Die Breite Ln der n-Driftzonen 12a ist auf 5 µm fixiert, während die Breite Lp der p-Trennzonen 12b variabel ist.

Fig. 2 zeigt eine Kennlinie der Abhängigkeit der Stehspannung V_DSS von der Breite Lp. Auf der Abszisse ist die Breite Lp der Trennzonen 12b aufgetragen, während auf der Ordinate die Stehspannung aufgetragen ist. Die Dotierstoffdichte ist auf 3,5×10¹⁵cm^-3 fixiert, und die Tiefe der Driftschicht 12 beträgt 48 µm.

Wenn beispielsweise Ln = Lp = 5 µm, beträgt die Stehspannung 960 V, was der Maximalwert ist. Wenn Lp = 4 µm, sinkt die Stehspannung auf etwa 550 V.

Dies resultiert von der unvollständigen Verarmung der Driftzonen 12a. Wenn die Trennzonen 12b dicker sind als die Driftzonen 12a, werden die Trennzonen 12b nicht vollständig verarmt. Deshalb sinkt die Stehspannung.

Aus Fig. 2 ist klar, wenn die Breite Lp der Trennzonen 12b etwa 6% über oder unter der Breite Ln der Driftzonen 12a liegt, dann sinkt die Stehspannung um nur etwa 10%.

Dies gilt auch für den Fall, daß die Breite Ln der Driftzonen 12a variabel ist, obwohl beim obigen Ausführungsbeispiel die Breite Lp der Trennzonen 12b variabel gemacht wurde. Dies gilt außerdem für alle anderen vorbestimmter Stehspannungs-Klassen.

Die oben beschriebenen Experimente machen den zulässigen Bereich von Dotierstoffdichte, Größe etc. der n-Driftzonen 12a und der p-Trennzonen 12b der pn-Parallelschicht klar. Wenn das SJ-Halbleiterbauelement nach diesen Vorgaben ausgelegt wird, können SJ-Halbleiterbauelemente mit hoher Sperrspannung in großen Stückzahlen mit einer deutlichen Verbesserung des Abwä gungsverhältnisses zwischen dem Durchlaßwiderstand und der Stehspannung hergestellt werden.

Bei einem sechsten Ausführungsbeispiel wird gemäß einem anderen Herstellungsverfahren ein Hohlraum für die Dotierstoffe teilweise vor dem Epitaxialwachstum gebildet, und das Epitaxial wachstum der Schicht hohen Widerstands wird dann wiederholt ausgeführt, wobei jeweils Dotierstoffe mittels Masken implantiert werden. Danach wird die pn-Parallelschicht durch thermische Diffusion der Dotierstoffe gebildet.

Fig. 4 ist eine Teilschnittansicht, die die wesentlichen Teile eines Longitudinal-n-Kanal-SJ-MOS FETS zeigt der mit diesem Verfahren hergestellt wurde.

Fig. 4 unterscheidet sich von Fig. 3 nur darin, daß die Dotierstoffdichte in den n-Driftzonen 22a und den p-Trennzonen 22b ungleichmäßig ist. Zur Vereinfachung der Beschreibung zeigt eine gepunktete Linie eine Linie gleicher Dotierstoffdichte. Die Linie gleicher Dotierstoffdichte ist eine Kurve (eine dreidimensional gekrümmte Fläche), und zwar aus folgenden Gründen: Der Hohlraum für die Dotierstoffe wird vor dem Epitaxialwachstum gebildet, das Epitaxialwachstum der Schicht hohen Widerstands wird mehrfach wiederholt, und dann diffundiert die Wärmebehandlung die Schicht hohen Widerstands von der Dotierstoffquelle.

Wenn die Diffusion ausreichend lange durchgeführt wird, wird die Grenze zwischen den n-Driftzonen 22a und p-Trennzonen 22b zu einer geraden Linie (bzw. dreidimensional zu einer Ebene), wie in Fig. 3 gezeigt.

Um die unvollständige Verarmung in den Driftzonen 22a und den Trennzonen 22b zu verhindern, sollte die in beide Arten von Zonen eingesetzte Dotierstoffmenge nahezu gleich sein.

Insbesondere ist, wie zuvor angegeben, der Ausnutzungsfaktor der Kristallebene des Halbleiters am besten, wenn die Breiten der Driftzonen 22a und der Trennzonen 22b gleich sind. Aus diesem Grund sollte die mittlere Dotierstoffdichte der Driftzonen 22a und der Trennzonen 22b nahezu gleich sein.

Wie im Fall des dritten Ausführungsbeispiels sinkt die Stehspannung nur um etwa 10%, wenn die Dotierstoffdichte in den Driftzonen des ersten Leitfähigkeitstyps oder in den Trennzonen des zweiten Leitfähigkeitstyps im Bereich zwischen 92% und 108% der Dotierstoffmenge der jeweils anderen Zonen ist.

Wenn die Breite gleich ist, sollte die mittlere Dotierstoffdichte entweder der Driftzonen des ersten Leitfähigkeitstyps oder der Trennzonen des zweiten Leitfähigkeitstyps innerhalb des Bereichs zwischen 92% und 108% der mittleren Dotierstoffdichte der jeweils anderen Zonen sein.

Der zulässige Bereich der Breite der Driftzonen 22a oder derjenigen der Trennzonen 22b sollte innerhalb des Bereichs zwischen 94% und 106% der Breite der jeweiligen anderen Zonen liegen.

Die Verringerung der Breite der Driftzonen 12a und der Trennzonen 12b und die Erhöhung ihrer Dotierstoffdichte würde zu einer Abnahme des Durchlaßwiderstands und zur Verbesserung des Abwägungsverhältnisses zwischen dem Durchlaßwiderstand und der Stehspannung führen.

Während die obigen Ausführungsbeispiele von einem Longitudinal-MOSFET ausgehen, kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung auch ein Lateral-Halbleiterbauelement eingesetzt werden, bei dem der elektrische Driftstrom in einer anderen Richtung fließt als derjenigen, in die sich eine Verarmungsschicht aufgrund der Sperrvorspannung im AUS-Zustand ausdehnt. Die gleichen Effekte können auch bei einem IGBT, einer pn-Diode, einer Schottkydiode und einem Bipolartran sistor erreicht werden.

Wie voranstehend ausgeführt, werden bei dem SJ-Halbleiterbauelement mit der pn Parallel schicht, bei der die Driftzonen des ersten Leitfähigkeitstyps und die Trennzonen des zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd angeordnet sind und die im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist, die zulässigen Bereiche der Dotierstoffdichte, der Größe oder ähnlicher Parameter der Driftzonen des ersten Leitfähigkeitstyps und der Trennzonen des zweiten Leitfä higkeitstyps spezifiziert, damit das Abwägungsverhältnis zwischen dem Durchlaßwiderstand und der Stehspannung deutlich verbessert wird, eine hohe Stehspannung erzielt wird, ein maximaler Lawinendurchbruchsstrom bei induktiver Last garantiert wird und eine Massenproduktion von SJ-Halbleiterbauelementen mit hoher Stehspannung ermöglicht wird.

Claims

1. Halbleiterbauelement mit Super-Zonenübergang, umfassend:
eine erste und eine zweite Hauptfläche,
eine erste und eine zweite Hauptelektrode (17, 18), die auf wenigstens einer der beiden Hauptflächen angeordnet sind, und
eine pn-Parallelschicht (12; 22), bei der Driftzonen (12a; 22a) eines ersten Leitfähig keitstyps und Trennzonen (12b; 22b) eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd angeordnet sind, wobei die pn-Parallelschicht zwischen den beiden Hauptelektroden angeordnet ist und im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Dotierstoffmenge in den Driftzonen (12a; 22a) inner halb des Bereichs zwischen 100% und 150% der Dotierstoffmenge in den Trennzonen (12b, 22b) liegt.

2. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dotier stoffmenge in den Driftzonen (12a; 22a) innerhalb des Bereichs zwischen 110% und 150% der Dotierstoffmenge in den Trennzonen (12b, 22b) liegt.

3. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl die Driftzonen (12a; 22a) als auch die Trennzonen (12b; 22b) in Streifen angeordnet sind.

4. Halbleiterbauelement mit Super-Zonenübergang, umfassend:
eine erste und eine zweite Hauptfläche,
eine erste und eine zweite Hauptelektrode (17, 18), die auf wenigstens einer der beiden Hauptflächen angeordnet sind, und
eine pn-Parallelschicht (12; 22), bei der Driftzonen (12a; 22a) eines ersten Leitfähig keitstyps und Trennzonen (12b; 22b) eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd angeordnet sind, wobei die pn-Parallelschicht zwischen den beiden Hauptelektroden angeordnet ist und im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Driftzonen (12a; 22a) und die Trennzonen (12b; 22b) in Streifen von im wesentlichen gleicher Breite angeordnet sind und die Dotierstoffmenge einer der beiden Zonenarten, d. h. der Driftzonen oder der Trennzonen, in dem Bereich zwischen 92% und 108% der Dotierstoffmenge der anderen der beiden Zonenarten liegt.

5. Halbleiterbauelement mit Super-Zonenübergang, umfassend:
eine erste und eine zweite Hauptfläche,
eine erste und eine zweite Hauptelektrode (17, 18), die auf wenigstens einer der beiden Hauptflächen angeordnet sind, und
eine pn-Parallelschicht (12; 22), bei der Driftzonen (12a; 22a) eines ersten Leitfähig keitstyps und Trennzonen (12b; 22b) eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd angeordnet sind, wobei die pn-Parallelschicht zwischen den beiden Hauptelektroden angeordnet ist und im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Driftzonen (12a; 22a) und die Trennzonen (12b; 22b) in Streifen von im wesentlichen gleicher Breite angeordnet sind und die mittlere Dotierstoffdichte einer der beiden Zonenarten, d. h. der Driftzonen oder der Trennzonen, in dem Bereich zwischen 92% und 108% der mittleren Dotierstoffdichte der anderen der beiden Zonenarten liegt.

6. Halbleiterbauelement mit Super-Zonenübergang, umfassend:
eine erste und eine zweite Hauptfläche,
eine erste und eine zweite Hauptelektrode (17, 18), die auf wenigstens einer der beiden Hauptflächen angeordnet sind, und
eine pn-Parallelschicht (12; 22), bei der Driftzonen (12a; 22a) eines ersten Leitfähig keitstyps und Trennzonen (12b; 22b) eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd angeordnet sind, wobei die pn-Parallelschicht zwischen den beiden Hauptelektroden angeordnet ist und im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Driftzonen (12a; 22a) und die Trennzonen (12b; 22b) in Streifen von im wesentlichen gleicher Breite angeordnet sind und die Dotierstoffdichte einer der beiden Zonenarten, d. h. der Driftzonen oder der Trennzonen, in dem Bereich zwischen 92% und 108% der Dotierstoffdichte der anderen der beiden Zonenarten liegt.

7. Halbleiterbauelement mit Super-Zonenübergang, umfassend:
eine erste und eine zweite Hauptfläche,
eine erste und eine zweite Hauptelektrode (17, 18), die auf wenigstens einer der beiden Hauptflächen angeordnet sind, und
eine pn-Parallelschicht (12; 22), bei der Driftzonen (12a; 22a) eines ersten Leitfähig keitstyps und Trennzonen (12b; 22b) eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd angeordnet sind, wobei die pn-Parallelschicht zwischen den beiden Hauptelektroden angeordnet ist und im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Driftzonen (12a; 22a) und die Trennzonen (12b; 22b) in Streifen angeordnet sind und die Breite einer der beiden Zonenarten, d. h. der Driftzonen oder der Trennzonen, im Bereich zwischen 94% und 106% der Breite der anderen der beiden Zonenarten liegt.

8. Halbleiterbauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn zeichnet, daß die erste und die zweite Hauptelektrode (17, 18) auf der ersten bzw. der zweiten Hauptfläche angeordnet sind.

9. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit Super-Zonenübergang, das eine erste und eine zweite Hauptfläche aufweist, umfassend
Ausbilden zweier Hauptelektroden (17, 18) auf der ersten und der zweiten Hauptfläche, und
Ausbilden einer pn-Parallelschicht (12; 22), bei der Driftzonen (12a; 22a) eines ersten Leitfähigkeitstyps und Trennzonen (12b; 22b) eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd in Streifen im wesentlichen gleicher Breite angeordnet sind, wobei die pn-Parallelschicht zwischen den beiden Hauptelektroden angeordnet wird und im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine der beiden Zonenarten, d. h. die Driftzonen oder die Trennzonen, durch Epitaxialwachstum mit einer Dotierstoffmenge in dem Bereich zwischen 92% und 108% der Dotierstoffmenge der anderen der beiden Zonenarten ausgebildet wird.

10. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit Super-Zonenübergang, das eine erste und eine zweite Hauptfläche aufweist, umfassend
Ausbilden zweier Hauptelektroden (17, 18) auf der ersten und der zweiten Hauptfläche, und
Ausbilden einer pn-Parallelschicht (12; 22), bei der Driftzonen (12a; 22a) eines ersten Leitfähigkeitstyps und Trennzonen (12b; 22b) eines zweiten Leitfähigkeitstyps abwechselnd in Streifen nahezu gleicher Breite angeordnet sind, wobei die pn-Parallelschicht zwischen den beiden Hauptelektroden angeordnet wird und im EIN-Zustand Elektrizität leitet und im AUS-Zustand verarmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß Dotierstoffe eines Leitfähigkeitstyps in einer Menge in dem Bereich zwischen 92% und 108% der Menge an Dotierstoffen des anderen Leitfähigkeits typs implantiert werden, die zur Ausbildung einer der beiden Zonenarten, d. h. der Driftzonen (12a; 22a) oder der Trennzonen (12b; 22b) erforderlich sind, und daß dann die Zonen der anderen Zonenart durch thermische Diffusion der Dotierstoffe des einen Leitfähigkeitstyps ausgebildet werden.