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CN1550747A - 管道装置以及包含该管道装置的管道系统 - Google Patents

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CN1550747A
CN1550747A CNA2004100432514A CN200410043251A CN1550747A CN 1550747 A CN1550747 A CN 1550747A CN A2004100432514 A CNA2004100432514 A CN A2004100432514A CN 200410043251 A CN200410043251 A CN 200410043251A CN 1550747 A CN1550747 A CN 1550747A
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Abstract

本发明的管道装置，含氟树脂制的外壳(1)具备：包围流体管(3)的外周的含氟树脂制的管子(4)；具备接收管子(4)的端部的承口部(8)、设置在该承口部内的至少1个的密封面(10)、以及与其它管道(28)连接的连接部(29)的含氟树脂制的盖部件(5)；联管螺母(6)通过向盖部件(5)的一端部拧紧从基外侧推压管子(4)，由于该推压作用，管子(4)的端部和盖部件(5)的密封面(10)紧密贴合，由此形成的至少1处的密封部(19)。在该外壳(1)上配备有过滤部件(3)等装置要素。

Description

管道装置以及包含该管道装置的管道系统
技术领域
本发明涉及一种半导体制造装置和液晶装置、化学药品制造装置、食品生产线等所使用的管道装置以及包含该管道装置的管道系统。
背景技术
半导体装置和液晶装置、化学药品制造装置、食品生产线等的管道系统，根据各自用途的不同，要求进一步的完整性。例如，半导体制造装置的管道系统，由于随着半导体器件的高集成化，一味追寻不断增加的半导体湿式处理的溶液之一的各种洗涤装置上的洗涤工序数，所以洗涤的清洁度也越发要求完整性。因此，对将由超纯水和药液构成的洗涤液清洁地供给到洗涤装置的技术的要求越发严格。现在，虽然药液在药液供给系统中，在混合、稀释、输送的过程中受到了污染，但，晶片清洁度必须与亚四分之一微米时代相对应。作为药液供给系统，众所周知的有大量调整方式。是药液从接收槽被泵送到稀释混合槽，调整到所需要的组成和浓度，从供给槽用长距离管道进行泵送，被泵送到贮液站的贮液槽中，再经泵和过滤器供给到洗涤槽的方式(例如，参照日本国专利公报特开2000-265945号和特开平11-70328号。)。
这种半导体制造装置等的管道系统所应用的各种管道装置的其中之一，例如是图19、图20所示那样的热交换器。该热交换器由于确保热交换管70穿过的外壳71具有足够的密封性，所以，其结构能耐受适当程度的内压。该热交换器，在外壳71的构成本体的圆筒状的型壳72的外周，沿其长度方向相互平行地配置有多根系杆或贯穿螺栓等金属制的紧固件73，而且，将该金属制的紧固件73的两端部贯穿配置在型壳72的两端部的盖部件74，通过将螺母75紧固在从该盖部件74突出来的金属制的紧固件73的两端的外螺纹部上，以紧贴状密封型壳72的两端部和盖部件74的对接面，从而，外壳71构成为密封状(例如，参照日本国专利公报特开平10-160362号。)。另外，将作为密封件的“O”形圈76夹在上述型壳72的两端部和盖部件74的对接面之间(参照前面提到的日本国专利公报特开平10-160362号。)。
然而，在大量调整方式的上述药液供给系统中，会产生来自贮液槽、管道、接头、泵、热交换器、流量计、过滤器、脱气模块等整个装置的组成零件的各种接触液体部分等的颗粒或金属污染的问题。
另一方面，随着洗涤半导体晶片等的基片洗涤装置的高速洗涤化，会产生整个装置的大规模化和复杂化的问题，特别是，配备各种装置的管道系统，出于设置在清洁室的关系，要求小型化和紧凑化。
由于各种管道装置大多数场合使用金属材料，会产生金属污染，而且，由于装置形状已固定化了，所以，管道系统的设计自由度小，容易产生管道死空间，常常导致管道系统的体积庞大，洗涤装置等的机械装置也包含在内，紧凑化和低成本化有一定限度。另外，针对现有的管道系统的改造要求，不存在具有能灵活地应对该问题的形状的装置，管道系统的改造存在许多空间上的制约。
另外，对于通过拧紧多根系杆或贯穿螺栓等金属制的紧固件73和螺母75来密封型壳72的两端部和盖部件74的上述热交换器(管道装置)，用于密封的零件个数多，不仅招致成本提高、外壳结构的大型化，在金属制的紧固件73配置在暴露于硫酸氛围气等中的场所的情况下，由于容易腐蚀、还不能避免金属污染，所以，近年来，特别在半导体业界，对其限制使用的呼声很高。
另外，虽然对于拧紧的金属制的紧固件73的松动，需要定期地再拧紧金属制的紧固件73，但通常由于金属制的紧固件73有多根，至少是4根以上，所以，各金属制的紧固件73的再拧紧的程度容易产生差异，由于该差异有可能招致盖部件74或型壳72的变形。若盖部件74或型壳72产生变形，则由于在型壳72的端部和盖部件74之间产生扭曲或变形，所以，存在产生局部应力集中，助长蠕变增大的问题。另外，也存在金属制的紧固件73的金属制系杆和金属制系杆护套的中心轴不一致，两者相互摩擦，滑动阻力增大，而且，成为产生包含金属粉的磨耗粉末的主要原因之类的问题。再有，在型壳72和盖部件74出现变形的场合，虽然需要更换这些部件，但，由于这些部件通常是机加零件，价格也比较昂贵，所以，也是更换外壳结构、继续利用装置要素(例如热交换管70)而难以进行再利用的结构。
对于将“O”形圈76作为密封件安装在型壳72的两端部和盖部件74的对接面之间的连接结构的上述热交换器，由于使用“O”形圈76，所以，耐腐蚀性和使用温度范围存在限制。例如，不能使高温的药液与“O”形圈76接触的空间连通。另外，也有由于“O”形圈76产生尘埃而引起的污染问题。因此，近年来，在半导体业界，限制使用这样的“O”形圈76的呼声很高。
另外，当在药液中使用这种热交换器的场合，虽然该型壳72和盖部件74等结构部件大多使用耐腐蚀性优异的PTFE或PFA等含氟树脂，但由于含氟树脂润滑性好，因管道的振动或热的影响，型壳72和盖部件74之间的连接部产生蠕变，因此，系杆或贯穿螺栓等金属制的紧固件73产生松动，存在有时出现流体从型壳72两端的连接部泄漏出来的现象的问题。
作为型壳72和盖部件74之间的外壳连接结构，除此之外，虽然有时采用螺纹密封或焊接，但效果不太好。即，用简单的螺纹进行连接的连接密封结构，不能获得好的密封性能，耐压性能不足，且由于蠕变容易产生泄漏。另外，由于焊接一般需要有熟练的技术，不容易进行作业，所以，存在生产效率低，现场可操作性不好，在现场保养、检修困难之类的问题。
发明内容
本发明是为了解决这样的各种问题而提出的，其目的在于提供一种不使用金属制的紧固件等金属材料，由于能使所有的组成部件为合成树脂制的部件，所以，能解决金属熔析和产生金属摩耗粉的问题的、适合于半导体制造装置等的管道装置以及包含该管道装置的管道系统。
另外，本发明的目的在于提供一种便于各种装置细化、管道系统小型化、紧凑化的、适合于半导体制造装置的管道装置以及包含该管道装置的管道系统。
再有，本发明的目的在于提供一种不使用系杆或贯穿螺栓等金属制的紧固件、以及“O”形圈、便于减少零件个数、降低成本，而且，具有耐压性能好的外壳结构以及可靠性高的密封结构的、适合于半导体制造装置等的管道装置以及包含该管道装置的管道系统。
另外，本发明的另一目的在于提供一种即使全部用含氟树脂构成其组成部件，也能确保高密封性，而且，能应用、设置在耐药性氛围气中的管道装置以及包含该管道装置的管道系统。
本发明的管道装置，是包含外壳、配备在上述外壳上的装置要素的管道装置，上述外壳具备：合成树脂制的管子；分别具备接收上述管子的端部的承口部和设置在上述承口部内的至少1个密封面的1对合成树脂制的盖部件；分别外嵌在上述管子的一端部以及另一端部上、而且、分别旋合在上述盖部件的具备上述承口部的一端部上的合成树脂制的联管螺母；是上述管子的端部和上述盖部件的密封面通过紧密贴合至少在1处形成的密封部，上述管子的端部和上述盖部件的密封面通过上述联管螺母从上述管子的外侧推压上述管子而紧密贴合，上述联管螺母由于上述联管螺母向上述盖部件的一端部旋进而拧紧上述盖部件的一端部，由此从上述管子的外侧推压上述管子的密封部，由此能达到上述目的。
本发明的管道系统，包含管道和安装在上述管道的中间的上述管道装置，由此能达到上述目的。
在这种场合，能全部用耐热性能、耐药性能优异的含有含氟树脂或导电性物质的防静电含氟树脂制成上述管子、上述盖部件以及上述联管螺母。
另外，作为上述装置要素，可以举出以下部件：例如，由于上述装置要素为在上述外壳内穿过的含氟树脂制的热交换管、以及上述盖部件所具备的、连接用于导入以及导出在上述外壳的内部和上述热交换管的外部之间穿过的流体的管道的连接部，所以可以构成热交换器。另外，由于上述装置要素为收容在上述外壳内的过滤部件，所以可以构成过滤装置。另外，由于上述装置要素为组装在上述管子的两端的盖部件上的超声波流量计用的超声波激振器以及超声波接收器，所以可以构成超声波流量计。另外，由于上述装置要素为组装在上述盖部件上的排气用阀，所以可以构成脱气装置。除此之外，由于上述装置要素为在上述管子内穿过的透气性管、以及设置在盖部件上的脱气口，所以可以构成脱气模块。再有，由于上述装置要素为在上述管子内穿过的透气性管、以及设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口，所以可以构成气体溶解装置。
上述结构的管道装置，仅仅用将联管螺母拧紧在盖部件的一端这一简单的操作，就能通过使管子的端部和盖部件的密封面紧密贴合的密封部可靠地密封。因此，不用像以往那样使用系杆或贯穿螺栓等金属制的紧固件以及“O”形圈，能减少零件个数，能获得价格便宜且紧凑、耐压性能好的外壳结构以及可靠性高的密封结构的管道装置以及包含该管道装置的管道系统。
上述管道装置是不像现有的外壳连接结构那样使用系杆或贯穿螺栓的耐压密封结构，且能制成细的外壳结构，通过用单一的联管螺母进行再拧紧，能确保密封性均匀，即，该管道装置仅仅用单一的联管螺母密封管子的两端部的与盖部件的连接部，能获得比系杆或贯穿螺栓可靠性高的密封结构，而且，以该细的外壳管道装置能实现管道系统的小型化、紧凑化。另外，该管道装置由于通过再拧紧联管螺母每次都能确保密封性，所以，即使与螺纹密封或“O”形圈密封相比，也是能长时间保持高可靠性的密封结构。再有，该管道装置，由于用再拧紧单一的联管螺母这一简单的手段就足够了，所以，与用焊接进行连接的连接结构不同，现场施工很容易，在现场也能很容易地进行保养、检修。
由于完全不使用金属制的紧固件等金属材料，所以，能解决金属熔析或产生金属磨耗粉末的问题。
由于通过拧紧联管螺母能均匀地推压管子端部的外侧全周，所以，不会出现招致管子或盖部件的意外变形之类的现象。因此，能解决这些部件的蠕变或更换的问题。
由于通过松开拧紧的联管螺母就能简单地从管子的端部拆下盖部件，所以，能很容易地除去滞留在管子内的滞留物。
另外，安装在该管道系统的管道中间的管道装置，由于仅仅通过拧紧联管螺母，即使在管子施加内压，也能保证有足够的气密性能，能防止流体泄漏，所以，不用像以往一样使用“O”形圈就能完成，由于用含氟树脂制成全部组成部件，所以，对高温、腐蚀性强的药液也能很好地适应，能应用、设置在耐药性氛围气中。
附图说明
图1是表示本发明的管道系统的一实施例—包含药液供给管道系统的半导体晶片(基片)洗涤装置的整体结构的结构简图。
图2是图1所示的本发明的实施方式的管道装置的一个例子的热交换器的剖视图。
图3是图2的热交换器的管子端部和盖部件的连接结构的放大剖视图。
图4是与图3相对应表示图2的热交换器的热交换管的其它例子的剖视图。
图5是与图3相对应表示图2的热交换器的热交换管的其它例子的剖视图。
图6是与图3相对应表示图2的热交换器的热交换管的又一其它例子的剖视图。
图7是本发明的实施方式的管道装置的其它例子—过滤装置的剖视图。
图8是表示本发明的实施方式的过滤装置的其它例子的剖视图。
图9是本发明的实施方式的管道装置的其它例子—超声波流量计的剖视图。
图10是本发明的实施方式的管道装置的又一其它例子—手动脱气装置的剖视图。
图11是本发明的实施方式的管道装置的又一其它例子—自动脱气装置的剖视图。
图12是本发是的实施方式的管道装置的又一其它例子—脱气模块的剖视图。
图13是表示本发明的实施方式的管道装置的外壳的其它例子的剖视图。
图14是表示本发明的实施方式的管道装置的外壳的又一其它例子的剖视图。
图15是表示本发明的实施方式的管道装置的密封部的其它例子的剖视图。
图16是表示本发明的实施方式的管道装置的密封部的又一其它例子的剖视图。
图17是表示本发明的实施方式的管道装置的密封部的又一其它例子的剖视图。
图18是表示本发明的实施方式的管道装置的密封部的又一其它例子的剖视图。
图19是现有例的管道装置(热交换器)的主视图。
图20是图19的热交换器的剖视图。
具体实施方式
依据附图对本发明的理想实施方式进行说明。
图1是表示本发明的管道系统的一实施例—包含药液供给管道系统的半导体晶片(基片)洗涤装置的整体结构的结构简图。A是设置晶片(基片)W进行洗涤的洗涤室，B是生成所希望的浓度的洗涤液、供给到洗涤室A的药液供给系统。药液供给管道系统B具备：以原液的状态贮藏药液的药液贮藏罐100；与药液贮藏罐100连接、进行药液供给的药液供给装置101；与药液供给装置101连接、作为与药液混合的超纯水的通道的供给流道管102；设置在供给流道管102的下游侧端部，并与设置在洗涤室A内的晶片W的表面对峙、将洗涤液供给到晶片W的表面的1对喷嘴103、104；用于调节从喷嘴103、104供给的洗涤液的浓度和流量等各种状态的控制系统105。
药液供给装置101具备：药液供给泵106；连接供给流道管102和药液供给泵106、形成流道的连接管107；在连接管107内直接与供给流道管102内连接的毛细管108。通过药液供给泵106的驱动，药液从毛细管108排出到供给流道管102内的超纯水中。
供给流道管102设有：调节在该供给流道管102内通过的超纯水的流量的流量调节手段109；调节在供给流道管102内通过的洗涤液的浓度的浓度调节手段110；配置在供给流道管102和毛细管108的连接部位、进行搅拌使洗涤液产生涡流，使洗涤液均匀的混合手段111。
控制系统105具备：调节药液供给泵106的药液的供给到超纯水的供给量，同时，驱动流量调节手段109的药液供给控制手段112；驱动浓度调节手段110的浓度控制手段113。而且，连接药液供给控制手段112和浓度控制手段113，将由浓度控制手段113控制的浓度控制的结果反馈到药液供给控制手段112，控制药液供给泵106，调节药液的供给量。
本发明所具有的特征在于将各种管道装置安装在上述药液供给管道系统B的管道的适当部位，按以下的方式构成该管道装置。
图1所示是将热交换器114作为管道装置安装在上述药液供给管道系统B的管道—供给流道管102的中间的场合的实施例。如图2所示，该热交换器114是在两种流体之间进行热交换的部件，第一种流体是在从外壳1的内部(热交换室)2通过的热交换管3内穿过的流体，第二种流体是在外壳1的内部和热交换管3的外部之间穿过的流体。
如图2、图3所示，外壳1具备：包围热交换管3的外周的管子4；分别以密封状堵塞该管子4的一端部和另一端部的1对盖部件5；以及将盖部件5紧固在管子4的端部的联管螺母6。
管子4由耐热性、耐药性能优异的含有PFA、PTFE等含氟树脂和导电性物质的防静电含氟树脂等合成树脂制成筒状，在该管子4的两端部分别插入同样由含氟树脂等合成树脂构成的盖部件5，通过拧紧含氟树脂制的联管螺母6进行连接。
盖部件5制成的形状具有：筒壁部7；在该筒壁部7的一端敞口的承口部8；堵塞筒壁部7的另一端的底壁部9。而且，如图3所示，在盖部件5的承口部8的内部设有第1～3密封面10～12。第1密封面10由从盖部件5的承口部8的入口向内部深处、以相对盖部件5的轴线C成交叉状、也就是向轴线C方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成。第2密封面11由在承口部8的入口、以相对上述轴线C成交叉状，也就是向轴线C方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成。第3密封面12由在盖部件5的承口部8的内部深处、在第1密封面10的径向外侧、制成与轴线C平行的环状槽部13构成。在盖部件5的承口部8的外周形成有外螺纹14。
另一方面，在管子4的一端部和另一端部分别压入含氟树脂等合成树脂制成的内圈15。如图3所示，该内圈15制成套筒形状，具有：压入管子4的端部、将该端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状的、截面为算盘珠形状的压入部16；连接该压入部16设置、在管子4的端部突出的突出部17。在截面为算盘珠形状的压入部16上，在其中一个斜面部上形成有向外的锥面18，在另一斜面部上形成有在与第2密封面11之间以倾斜状态夹着管子4的端部、形成第2密封部21的向内的锥面20。在突出部17的端部形成有：由以紧贴状抵在上述第1密封面10上、形成第1密封部19的锥面构成的突出端面22；嵌入上述环状槽部13中、形成第3密封部23的圆筒部24。由于该内圈15的内径设定成与管子4的内径相同或大致相同，所以，在内圈15和管子4内流动的流体不会滞留在内圈15和管子4的边界，能顺畅地流动。
如图3所示，在联管螺母6上、在其内周形成有旋合在盖部件5的外螺纹14上的内螺纹25，且在联管螺母6的一端部，环状凸缘部26向内伸出，而且，在该环状凸缘部26的内周面的轴向内端，设有锐角或直角的推压棱边部26a。
而且，将压入了上述内圈15的管子4的端部插入到盖部件5的承口部8中，将预先留有间隙地嵌合在该管子4的端部的外周上的联管螺母6的内螺纹25旋合在盖部件5的外螺纹14上，拧紧。随着联管螺母6的拧紧，联管螺母6的推压棱边部26a抵在管子4的扩径部27的扩径根部上，沿轴向推压内圈15。因此，如图3所示，内圈15的突出端面22被压靠在盖部件5的第1密封面10上，形成第1密封部19，同时，在内圈15的向内锥面20和盖部件5的第2密封面11之间，以倾斜状态夹着管子4的端部、形成第2密封部21，再有，内圈15的圆筒部24压入环状槽部13内，形成第3密封部23。由这些第1～3密封部19、21、23发挥可靠性高的密封功能。
如图2所示，在上述管子4的一端的盖部件5上具备连接另一管道—热交换流体的导入用管道28A的连接部29a，在另一端的盖部件5上具备连接另一管道—导出用管道28b的连接部29b。即，与其它管道连接的连接部29a、29b，在一个盖部件5的筒壁部7上形成有温度调节水等热交换流体的输入口30，在另一盖部件5的筒壁部7上形成有输出口31，热交换流体的导入用管道28a的端部中间隔着含氟树脂等合成树脂制的联管螺母32、含氟树脂等合成树脂制的内圈33连接在输入口30上，热交换流体的导出用管道28b的端部中间隔着含氟树脂等合成树脂制的联管螺母32、含氟树脂等合成树脂制的内圈33连接在输出口31上，其结构为热交换流体应按输入口30、管子4内的热交换室2、输出口31的顺序流通。
输入口30和输出口31的各内部结构与盖部件5的承口部8的内部结构相同(但是直径不同)，另外，在热交换流体的导入用管道28a和导出用管道28b的各端部，压入与管子4的端部的内圈15的截面形状同样的内圈33，由于相对输入口30和输出口31的导入用管道28a和导出用管道28b的各端部的连接结构，与管子4的端部相对盖部件5的承口部8的连接结构同样，所以，省略其详细说明。但是，相对输入口30和输出口31的热交换流体的导入用管道28a和导出用管道28b的各端部的连接结构，除此之外，也可以采用将热交换流体的导入用管道28a和导出用管道28b的各端部直接焊接在输入口30和输出口31上，或螺纹连接等手段。也就是说，与其它管道连接的连接部29a、29b可以是焊接、螺纹连接等连接手段。
另一方面，由药液通过的含氟树脂等合成树脂制的盘管构成的热交换管3在管子4的内部穿过，该热交换管3的两端部从在盖部件5的底壁部9上开口的导出口34导出，连接在上述药液供给管道系统B的供给流道管102的中间。含氟树脂等合成树脂制的联管螺母35外嵌在该热交换管3的导出端部上，通过中间隔着含氟树脂等合成树脂制的套筒36将该联管螺母35拧紧在导出口34上，密封该导出口34和热交换管3的端部之间的间隙。
这样构成的热交换器，虽然在从热交换管3内穿过的例如药液等流体和从筒状外壳本体4内的热交换管3的外部穿过的温度调节水等热交换流体之间进行热交换，但是，也可以取代使药液等流体从热交换管3内穿过、使温度调节水等热交换流体从热交换管3的外部穿过，与其相反，使温度调节水从热交换管3内穿过，使药液等流体从热交换管3外部穿过。
如图4所示，也可以是上述热交换管3的两端部导出到在盖部件5的筒壁部7上开口的导出口34，药液等流体的输入口30和输出口31设置在盖部件5的底壁部9上。
如图5所示，可以用含氟树脂制的单一的直的管子构成使药液等流体或温度调节水等热交换流体穿过的热交换管3。在这种场合，与由图3所示的盘管构成的热交换管的场合同样，热交换管3的两端部从在盖部件5的底壁部9上开口的导出口34导出。将含氟树脂等合成树脂制的联管螺母37外嵌在该热交换管3的导出端部上，通过中间隔着含氟树脂等合成树脂制的套筒38将该联管螺母37拧紧在导出口34上，密封该导出口34和热交换管3的端部之间的间隙。
除此之外，使药液等流体或温度调节水等热交换流体穿过的热交换管3，如图6所示，也可以用与图20所示的现有的热交换器的场合同样的含氟树脂等合成树脂制的多个直的管子构成。
(管道装置的其它实施例)
作为管道装置，除了上述热交换器114之外，可以采用图7、图8所示的过滤装置、图9的超声波流量计、图10的手动脱气装置、图11的自动脱气装置、图12的脱气模块等，根据各自具有的功能，安装配置在上述药液供给管道系统B的管道的适当的部位。
在图7中，过滤装置115，作为器件要素将过滤部件3收容在外壳1的内部。该过滤部件3，是使合成纤维等载持体含有例如陶瓷或活性碳、氧化钛等功能性粉末，使从设置在盖部件5上输入口30流入的例如纯水在该过滤部件3内穿过，制成超纯水，或使载持体含有硅胶等离子交换树脂，使从输入口30流入的纯水或药液在该过滤部件3内穿过，除去含在纯水或药液中的金属离子的部件。
该过滤装置115的外壳1具备：管子4；以密封状堵塞该管子4的两端部的盖部件5；将盖部件5拧紧在管子4的端部上的联管螺母6。设置在盖部件5、5上的输入口30和输出口31连接在上述药液供给管道系统B的管道的适当的部位。由于这些管子4、盖部件5、以及联管螺母6的各结构与上述热交换器114的这些部件的结构相同，所以，在同一部件、同一要素上标同一标号，且省略其说明。
图8所示是过滤装置115的其它例子。该过滤装置116在外壳1的内部作为器件要素收容有由空心系膜构成的过滤部件3，除了为使例如纯水从该过滤部件3内穿过、制成超纯水的过滤装置之外，其它结构与上述过滤装置115的同样，所以，在同一部件、同一要素上标同一标号，且省略其说明。
在图9中，超声波流量计117与上述热交换器114的场合同样，外壳1具备：管子4；以密封状堵塞该管子4的两端部的盖部件5；将盖部件5拧紧在管子4的端部上的联管螺母6。而且，作为器件要素，将超声波流量计用的超声波激振器51组装在外壳1的管子4两端的盖部件5、5之一的底壁部9上，将超声波接收器52组装在另一底壁部9上。
该超声波流量计117根据从设置在一个盖部件5的筒壁部7上的输入口30流入、在管子4内向设置在另一盖部件5上的输出口31流动的、例如纯水或超纯水、或者药液的流速，能利用超声波多普勒变位现象测量流量。设置在盖部件5、5上的输入口30和输出口31连接在上述药液供给管道系统B的管道的适当的部位。除此之外，由于外壳的结构、管子4的端部和盖部件5的连接结构等与上述热交换器114的场合相同，所以，在同一部件、同一要素上标同一标号，且省略其说明。
在图10中，手动脱气装置118的外壳1具备：以纵向姿势配置的管子4；以密封状态堵塞该管子4的上下端部的上下1对盖部件5；将各盖部件5分别紧固在管子4的上下端部上的联管螺母6。而且，作为器件要素，在上方的盖部件5的筒壁部7上组装输入口30，在底壁部9上组装排气管53以及手动式的排气用阀54。在下方的盖部件5的筒壁部7上设置输出口31。该手动脱气装置118，通过打开排气用阀54，能除去从上方的盖部件5的输入口30进入、滞留在管子4内、从下方的盖部件5的输出口31流出的、例如纯水或超纯水、或者药液中的气泡。设置在盖部件5、5上的输入口30和输出口31连接在上述药液供给管道系统B的管道的适当部位。除此之外，由于外壳1、管子4的端部与盖部件5的连接结构等与上述热交换器114的场合同样，所以，在同一部件、同一要素上标同一标号，且省略其说明。
在图11中，自动脱气装置119在排气管53上设置自动式的排气用阀55，该排气用阀55与配置在以纵向姿势配设的管子4的外侧的液面传感器56同步工作，若由液面传感器56检测到管子4内的液面，则打开排气用阀55，使其排出滞留在液体中的空气，除此之外与图10的手动脱气装置的场合的结构和作用相同。因此，在同一部件、同一要素上标同一标号，且省略其说明。
在图12中，脱气模块120是作为器件要素，使由泡沫含氟树脂构成的多根透气性管57以集束状从管子4中穿过，而且，将脱气口设置在盖部件5上的部件。透气性管57的两端部与流入管道61和流出管道62连通，该流入管道61和流出管道62分别与设置在管子4的两端的盖部件5的各底壁9上的导入口59和导出口60连通。流入管道61和流出管道62连接在上述药液供给管道系统B的管道的适当的部位。
该脱气模块为：若一边由真空泵等从脱气口58对管子4内进行减压，一边使例如药液从流入管道61在透气性管57内穿过，则溶解在药液中的空气等气体透过透气性管57的周壁，在透气性管57的外侧被除去，进行脱气，脱气处理后的药液排出到流出管道62。除此之外，由于外壳1、管子4的端部和盖部件5的连接结构等与上述热交换器114的场合相同，所以，在同一部件、同一要素上标同一标号，且省略其说明。
图12所示的脱气模块120也可以作为气体溶解装置进行使用。在作为气体溶解装置进行使用的场合，将脱气口58用作溶解性气体供给口，若一边将臭氧等溶解性气体加压供给到管子4内，一边使例如超纯水或药液从流入管道61在透气性管57内穿过，则管子4内的溶解性气体透过透气性管57的周壁，溶解在该透气性管57内的超纯水或药液中，溶解处理后的被处理液排出到流出管道62，也可以用于这类气体溶解装置。
(管道装置的外壳的其它实施例)
管道装置的外壳1的整体形状，可以取代上述各实施例那样的制成直管的形状，而采用如图13所示的L字形状、或如图14所示的U字形状等应用形式。在这种场合，图13所示的L字形状的外壳1，使用2个第1、2管子4A、4B，2个第1、2盖部件5A、5B，以及1个弯头形状的含氟树脂等合成树脂制的连接部件39，图13所示的U字形状的外壳1使用3个第1、2、3管子4A、4B、4C，2个第1、2盖部件5A、5B，以及2个弯头形状的含氟树脂等合成树脂制的第1、2连接部件39A、39B。
在图13所示的L字形状的外壳1中，用第1联管螺母6将第1、2盖部件5A、5B连接在第1、2管子4A、4B的各自的一端部上，用1个弯头形状的连接部件39和1对第2联管螺母40连接第1、2管子4A、4B的另一端部。在这种场合，对于将第1、2盖部件5A、5B连接在第1、2管子4A、4B的各一端部上的连接结构来说，此结构与上述各实施例的管子4的端部和盖部件5的连接结构相同。
连接部件39在其两端设有开口，使连接口41以正交状相互连通，各连接口41的内部结构与盖部件5的承口部8的内部结构相同。即，在连接部件39的连接口41的内部形成有第1～3密封面。第1密封面由从连接口41的入口向内部深处、并向轴向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成。第2密封面由向轴向外侧逐渐扩大直径的锥面构成。第3密封面由在连接口41的内部深处在第1密封面的径向外侧制成与轴向平行的环状槽部构成。另一方面，由于将与第1、2管子4A、4B的各一端部的内圈15同样的截面形状的内圈15压入在第1、2管子4A、4B的各另一端部上，所以，分别用与上述第1、2管子4A、4B的各一端部的、相对第1、2盖部件5A、5B的承口部8连接的连接结构同样的连接结构，在连接部件39的一端的连接口41上连接第1管子4A的另一端部，另外在另一端的连接口41上连接第2管子4B的另一端部。流体管3在连接部件39的内部被弯曲成直角。
在图14所示的U字形状的外壳1，用第1联管螺母6将盖部件5连接在第1、2管子4A、4B的各自的一端部上，用2个弯头形状的连接部件39和1对第2联管螺母40，将第3管子4C连接在第1、2管子4A、4B的另一端部彼此之间。在这种场合，将第1、2盖部件5的承口部8连接在第1、2管子4A、4B的各一端部上的连接结构，与上述各实施例的管子4的端部和盖部件5的连接结构相同。而且，将各连接部件39的连接口41连接在第1、2管子4A、4B的各另一端部上的连接结构、和将各连接部件39的连接口41连接在第3管子4C的两端部上的连接结构，分别与上述第1、2管子4A、4B的各一端部的、相对第1、2盖部件5的承口部8连接的连接结构相同。流体管3在各连接部件39的内部被弯曲成直角。
而且，外壳1也可以制成组合图13的L字形状的外壳1和图14的U字形状的外壳1的形状。
这样一来，由于将管道装置的外壳1制成L字形状或U字形状，所以能组装成有效利用管道的死空间的紧凑的管道系统。另外，能制成将新的管道装置设置在现有的管道中等的、适应管道系统的改造要求的形状，在这方面很有用。
(密封部的其它实施例)
作为在上述管子4的端部和盖部件5的承口部8之间形成的密封部，虽然除了如图3所示的上述实施例的第1、2密封部19、21之外，通过附加由内圈15的圆筒部24和盖部件5的环状槽部13形成的第3密封部23，能更加可靠地提高密封性能，但并不一定限于此。除此之外，例如，如图15所示，也可以是仅形成第1、2密封部19、21，省略第3密封部23的，即，不在盖部件5的内部深处设置环状槽部13，也不在内圈15上设置圆筒部24的。在这种场合，设置在盖部件5内部深处的第1密封面10由相对轴线C向与第2密封面11相反的方向成交叉状的、也就是向轴线C方向的外侧逐渐缩小直径的锥面构成。
另外，如图16所示，在盖部件5的承口部8前端一侧的端部外周，形成有由直径比管子4的内径大的锥面构成的密封面42，在该密封面42的后方的外周，形成有直径比该密封面42的外径大的外螺纹14。另一方面，管子4的端部进行扩口加工，形成扩径部43。这样将管子4的端部的扩径部43压入在盖部件5的密封面42上。而且，通过将外嵌在管子4上的联管螺母6的内螺纹25旋合在盖部件5的外螺纹14上、拧紧，使联管螺母6的环状凸缘部26的推压棱边部26a抵在管子4的外侧，将扩径部43的内周面沿轴向压靠在承口部8的密封面42上，使其紧密贴合，由此也能形成密封部44。
如图17所示，通过将含氟树脂等合成树脂制的截面为圆弧状的内圈45压入管子4的端部，使该管子4的端部扩大直径膨胀成截面为突起状，旋进旋合在盖部件5的外螺纹14上的联管螺母6，并拧紧，由此将管子4的端部与内圈45一起压靠在设置于盖部件5的承口部8的内周的圆锥状的密封面46上，使其紧密贴合，因此也是形成密封部47的密封结构。
另外，如图18所示，将外圈48嵌入管子4的端部，使管子4的末端部折返到该外圈48的外侧上面，旋进旋合在盖部件5的外螺纹14上的联管螺母6，并拧紧，由此将管子4的端部与外圈48一起压靠在盖部件5的承口部8内的密封面49上，使其紧密贴合，因此也是形成密封部50的密封结构。
当然不用说，本发明同样也能应用于上述半导体制造装置的药液供给管道系统以外的各种管道系统。

Claims (72)

1.一种管道装置，包含外壳和配备在上述外壳上的装置要素，其特征是：
上述外壳具备：
合成树脂制的管子；
分别具备接收上述管子的端部的承口部和设置在上述承口部内的至少1个密封面的1对合成树脂制的盖部件；
分别外嵌在上述管子的一端部以及另一端部上、且分别旋合在上述盖部件的具备上述承口部的一端部上的1对合成树脂制的联管螺母，
上述联管螺母由于向上述盖部件的一端部旋进而拧紧，由此从其外侧推压上述管子，靠该推压作用，上述管子的端部和上述盖部件的密封面紧密贴合，由此至少在1处形成密封部。
2.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述装置要素是外周被上述合成树脂制的管子包围的合成树脂制的热交换管、以及上述1对合成树脂制的盖部件所具备的连接部，是上述热交换管的导出部、以及连接用于导入以及导出在上述外壳的内部和上述热交换管的外部之间穿过的流体的管道的连接部。
3.根据权利要求1的管道装置，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部，通过密封面和突出端面的紧密贴合形成，该密封面由在上述盖部件的承口部的入口向内部深处、并向该盖部件的轴线方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成，而突出端面由在上述内圈的突出部的前端形成的锥面构成。
4.根据权利要求1的管道装置，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部通过在密封面和向内的锥面之间以倾斜状态夹持上述管子的端部而形成，该密封面由在上述盖部件的承口部的入口、与该盖部件的轴线交叉的锥面构成，而该向内的锥面在上述内圈的压入部的斜面部上形成。
5.根据权利要求1的管道装置，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部具备多个，包含：
由在上述盖部件的承口部的入口向内部深处、并向该盖部件的轴线方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成的密封面，以及由在上述内圈的突出部的前端形成的锥面构成的突出端面紧密贴合而形成的密封部；
由在上述盖部件的承口部的入口、与该盖部件的轴线交叉的锥面构成的密封面，以及在上述内圈的压入部的斜面部上形成的向内的锥面之间以倾斜状态夹持上述管子的端部而形成的密封部。
6.根据权利要求1的管道装置，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部具备多个，包含：
由在上述盖部件的承口部的入口向内部深处、并向该盖部件的轴线方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成的密封面，以及由在上述内圈的突出部的前端形成的锥面构成的突出端面紧密贴合而形成的密封部；
通过在上述盖部件的承口部的内部深处的上述密封面的径向外侧与盖部件的轴线平行地形成的环状槽部中，嵌入在上述内圈的突出部的前端形成的圆筒部而形成的密封部。
7.根据权利要求1的管道装置，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部具备多个，包含：
由在上述盖部件的承口部的入口、与该盖部件的轴线交叉的锥面构成的密封面，以及向内的锥面在上述内圈的压入部的斜面部上形成的向内的锥面之间以倾斜状态夹持上述管子的端部而形成的密封部；
通过在上述盖部件的承口部的内部深处的上述密封面的径向外侧与盖部件的轴线平行地形成的环状槽部中，嵌入在上述内圈的突出部的前端形成的圆筒部而形成的密封部。
8.根据权利要求1的管道装置，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部具备多个，包含：
由在上述盖部件的承口部的入口向内部深处、并向该盖部件的轴线方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成的密封面，以及由在上述内圈的突出部的前端形成的锥面构成的突出端面紧密贴合而形成的密封部；
由在上述盖部件的承口部的入口、与该盖部件的轴线交叉的锥面构成的密封面，以及在上述内圈的压入部的斜面部上形成的向内的锥面之间以倾斜状态夹持上述管子的端部而形成的密封部；
通过在上述盖部件的承口部的内部深处的上述密封面的径向外侧与盖部件的轴线平行地形成的环状槽部中，嵌入在上述内圈的突出部的前端形成的圆筒部而形成的密封部。
9.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述管子、上述盖部件、以及上述联管螺母全部由含氟树脂构成。
10.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述装置要素是收容在上述外壳内的过滤部件。
11.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述装置要素是组装在上述管子的两端的盖部件上的超声波流量计用的超声波激振器以及超声波接收器。
12.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述装置要素是组装在上述盖部件上的排气用阀。
13.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口。
14.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口。
15.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
16.根据权利要求1的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
17.一种管道装置，包含外壳和配备在上述外壳上的装置要素，其特征是：
上述外壳具备：
相互成直角配置的合成树脂制的第1、2管子；
具备分别接收上述第1、2管子的一端部的承口部和设置在上述承口部内的至少1个的密封面的1对盖部件；
用于将上述1对盖部件连接在上述第1、2管子的各一端部上的1对合成树脂制的第1联管螺母，该第1联管螺母外嵌在上述第1、2管子的各一端部上、且旋合在上述盖部件的具备上述承口部的各一端部上；
在两端形成接收上述第1、2管子的各另一端部的连接口、使其以相互正交状连通的1个弯头形状的合成树脂制的连接部件，该连接部件具备设置在上述连接口内的至少1个密封面；
用于将上述连接部件连接在上述第1、2管子的另一端部上的1对合成树脂制的第2联管螺母，该第2联管螺母外嵌在上述第1、2管子的各另一端部上、且分别旋合在上述连接部件的两端，
上述各第1联管螺母由于向上述盖部件的各一端部旋进而拧紧，由此从上述第1、2各管子的外侧推压上述第1、2各管子，靠该推压作用，使上述第1、2管子的各一端部和上述盖部件的密封面紧密贴合，由此分别形成至少1处的密封部，
上述各第2联管螺母由于向上述连接部件的两端旋进而拧紧，由此从上述第1、2各管子的外侧推压上述第1、2各管子，靠该推压作用，使上述第1、2管子的各另一端部和上述连接部件的密封面紧密贴合，由此分别形成至少1处的密封部。
18.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述装置要素是外周被上述合成树脂制的管子包围的合成树脂制的热交换管；是在上述连接部件的内部弯曲成直角的热交换管，以及，上述1对合成树脂制的盖部件所具备的连接部；是上述热交换管的导出部、以及连接用于导入以及导出在上述外壳的内部和上述热交换管的外部之间穿过的流体的管道的连接部。
19.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述管子、上述盖部件、以及上述联管螺母全部由含氟树脂构成。
20.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述装置要素是收容在上述外壳内的过滤部件。
21.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述装置要素是组装在上述管子的两端的盖部件上的超声波流量计用的超声波激振器以及超声波接收器。
22.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述装置要素是组装在上述盖部件上的排气用阀。
23.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口。
24.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口。
25.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
26.根据权利要求17的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
27.一种管道装置，包含外壳和配备在上述外壳上的装置要素，其特征是：
上述外壳具备：
相互平行相对配备的合成树脂制的第1、2管子；
具备分别接收上述第1、2管子的一端部的承口部和设置在上述承口部内的至少1个的密封面的1对盖部件；
用于将上述1对盖部件连接在上述第1、2管子的各一端部上的1对合成树脂制的第1联管螺母；
与上述第1、2管子垂直配备的合成树脂制的第3管子；
用于在上述第1、2管子的各另一端部之间连接第3管子的1对弯头形状的合成树脂制的连接部件，该1对连接部件具备在两端形成的、以相互成正交状连通的连接口，以及在上述连接口内分别至少一个的密封面，在各一端的连接口分别接收上述第1、2管子的另一端部，在各另一端的连接口分别接收上述第3管子的一端部和另一端部的1对连接部件；
用于将上述连接部件的各一端部连接在上述第1、2管子的另一端部上的1对合成树脂制的第2联管螺母；
用于将上述连接部件的各另一端部连接在上述第3管子的两端部上的1对合成树脂制的第3联管螺母，
上述第1联管螺母外嵌在上述第1、2管子的各一端部上，而且，旋合在上述盖部件的具备上述承口部的各一端部上，由于向上述盖部件的一端部旋进而拧紧，由此从其外侧推压上述第1、2各管子，靠该推压作用，使上述第1、2管子的各一端部和上述盖部件的密封面紧密贴合，由此至少在1处形成密封部，
上述第2联管螺母外嵌在上述第1、2管子的各另一端部上，而且，分别旋合在上述连接部件的各一端部上，由于向上述连接部件的各一端部旋进而拧紧，由此从其外侧推压上述第1、2各管子，靠该推压作用，分别使上述第1、2管子的各另一端部和上述连接部件的各一端部的密封面紧密贴合，由此形成至少1处的密封部，
上述第3联管螺母外嵌在上述第3管子的两端部上，而且，分别旋合在上述连接部件的各另一端部上，由于向上述连接部件的各另一端部旋进而拧紧，由此从其外侧推压上述第3管子，靠该推压作用，分别使上述第3管子的两端部和上述连接部件的各另一端部的密封面紧密贴合，由此形成至少2处的密封部。
28.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述装置要素是外周被上述合成树脂制的管子包围的合成树脂制的热交换管；是在上述连接部件的内部弯曲成直角的热交换管，以及，上述1对合成树脂制的盖部件所具备的连接部；是上述热交换管的导出部、以及连接用于导入以及导出在上述外壳的内部和上述热交换管的外部之间穿过的流体的管道的连接部。
29.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述管子、上述盖部件、以及上述联管螺母全部由含氟树脂构成。
30.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述装置要素是收容在上述外壳内的过滤部件。
31.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述装置要素是组装在上述管子的两端的盖部件上的超声波流量计用的超声波激振器以及超声波接收器。
32.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述装置要素是组装在上述盖部件上的排气用阀。
33.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口。
34.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口。
35.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
36.根据权利要求27的管道装置，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
37.一种管道系统，包含管道和介于上述管道的中间的管道装置的半导体装置等，其特征是：
上述管道装置具备外壳和配备在上述外壳上的装置要素，
上述外壳具备：
合成树脂制的管子；
分别具备接收上述管子的端部的承口部和设置在上述承口部内的至少1个密封面的1对合成树脂制的盖部件；
分别外嵌在上述管子的一端部以及另一端部上、且分别旋合在上述盖部件的具备上述承口部的一端部上的1对合成树脂制的联管螺母，
上述联管螺母由于向上述盖部件的一端部旋进而拧紧，由此从其外侧推压上述管子，靠该推压作用，上述管子的端部和上述盖部件的密封面紧密贴合，由此至少在1处形成密封部。
38.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述装置要素是外周被上述合成树脂制的管子包围的合成树脂制的热交换管和上述盖部件所具备的、连接用于导入以及导出在上述外壳的内部和上述热交换管的外部之间穿过的流体的管道的连接部。
39.根据权利要求37的管道系统，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部，通过密封面和突出端面的紧密贴合形成，该密封面由在上述盖部件的承口部的入口向内部深处、并向该盖部件的轴线方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成，而突出端面由在上述内圈的突出部的前端形成的锥面构成。
40.根据权利要求37的管道系统，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部通过在密封面和向内的锥面之间以倾斜状态夹持上述管子的端部而形成，该密封面由在上述盖部件的承口部的入口、与该盖部件的轴线交叉的锥面构成，而该向内的锥面在上述内圈的压入部的斜面部上形成。
41.根据权利要求37的管道系统，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部具备多个，包含：
由在上述盖部件的承口部的入口向内部深处、并向该盖部件的轴线方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成的密封面，以及由在上述内圈的突出部的前端形成的锥面构成的突出端面紧密贴合而形成的密封部；
由在上述盖部件的承口部的入口、与该盖部件的轴线交叉的锥面构成的密封面，以及在上述内圈的压入部的斜面部上形成的向内的锥面之间以倾斜状态夹持上述管子的端部而形成的密封部。
42.根据权利要求37的管道系统，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部具备多个，包含：
由在上述盖部件的承口部的入口向内部深处、并向该盖部件的轴线方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成的密封面，以及由在上述内圈的突出部的前端形成的锥面构成的突出端面紧密贴合而形成的密封部；
通过在上述盖部件的承口部的内部深处的上述密封面的径向外侧与盖部件的轴线平行地形成的环状槽部中，嵌入在上述内圈的突出部的前端形成的圆筒部而形成的密封部。
43.根据权利要求37的管道系统，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部具备多个，包含：
由在上述盖部件的承口部的入口、与该盖部件的轴线交叉的锥面构成的密封面，以及向内的锥面在上述内圈的压入部的斜面部上形成的向内的锥面之间以倾斜状态夹持上述管子的端部而形成的密封部；
通过在上述盖部件的承口部的内部深处的上述密封面的径向外侧与盖部件的轴线平行地形成的环状槽部中，嵌入在上述内圈的突出部的前端形成的圆筒部而形成的密封部。
44.根据权利要求37的管道系统，其特征是：
在上述管子的端部形成具有被压入上述管子的端部的压入部和从上述管子的端部突出的突出部的内圈，以使上述管子的端部扩大直径膨胀成截面为凸起的形状，
上述密封部具备多个，包含：
由在上述盖部件的承口部的入口向内部深处、并向该盖部件的轴线方向的外侧逐渐扩大直径的锥面构成的密封面，以及由在上述内圈的突出部的前端形成的锥面构成的突出端面紧密贴合而形成的密封部；
由在上述盖部件的承口部的入口、与该盖部件的轴线交叉的锥面构成的密封面，以及在上述内圈的压入部的斜面部上形成的向内的锥面之间以倾斜状态夹持上述管子的端部而形成的密封部；
通过在上述盖部件的承口部的内部深处的上述密封面的径向外侧与盖部件的轴线平行地形成的环状槽部中，嵌入在上述内圈的突出部的前端形成的圆筒部而形成的密封部。
45.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述管子、上述盖部件、以及上述联管螺母全部由含氟树脂构成。
46.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述装置要素是收容在上述外壳内的过滤部件。
47.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述装置要素是组装在上述管子的两端的盖部件上的超声波流量计用的超声波激振器以及超声波接收器。
48.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述装置要素是组装在上述盖部件上的排气用阀。
49.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口。
50.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口。
51.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
52.根据权利要求37的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
53.一种管道系统，包含管道和介于上述管道的中间的管道装置的半导体装置等，其特征是：
上述管道装置具备外壳和配备在上述外壳上的装置要素，
上述外壳具备：
相互成直角配置的合成树脂制的第1、2管子；
具备分别接收上述第1、2管子的一端部的承口部和设置在上述承口部内的至少1个的密封面的1对盖部件；
用于将上述1对盖部件连接在上述第1、2管子的各一端部上的1对合成树脂制的第1联管螺母，该第1联管螺母外嵌在上述第1、2管子的各一端部上、且旋合在上述盖部件的具备上述承口部的各一端部上；
在两端形成接收上述第1、2管子的各另一端部的连接口、使其以相互正交状连通的1个弯头形状的合成树脂制的连接部件，该连接部件具备设置在上述连接口内的至少1个密封面；
用于将上述连接部件连接在上述第1、2管子的另一端部上的1对合成树脂制的第2联管螺母，该第2联管螺母外嵌在上述第1、2管子的各另一端部上、且分别旋合在上述连接部件的两端，
上述各第1联管螺母由于向上述盖部件的各一端部旋进而拧紧，由此从上述第1、2各管子的外侧推压上述第1、2各管子，靠该推压作用，使上述第1、2管子的各一端部和上述盖部件的密封面紧密贴合，由此分别形成至少1处的密封部，
上述各第2联管螺母由于向上述连接部件的两端旋进而拧紧，由此从上述第1、2各管子的外侧推压上述第1、2各管子，靠该推压作用，使上述第1、2管子的各另一端部和上述连接部件的密封面紧密贴合，由此分别形成至少1处的密封部。
54.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述装置要素是外周被上述合成树脂制的管子包围的合成树脂制的热交换管和上述盖部件所具备的、连接用于导入以及导出在上述外壳的内部和上述热交换管的外部之间穿过的流体的管道的连接部。
55.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述管子、上述盖部件、以及上述联管螺母全部由含氟树脂构成。
56.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述装置要素是收容在上述外壳内的过滤部件。
57.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述装置要素是组装在上述管子的两端的盖部件上的超声波流量计用的超声波激振器以及超声波接收器。
58.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述装置要素是组装在上述盖部件上的排气用阀。
59.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口。
60.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口。
61.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
62.根据权利要求53的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
63.一种管道系统，包含管道和介于上述管道的中间的管道装置的半导体装置等，其特征是：
上述管道装置具备外壳和配备在上述外壳上的装置要素，
上述外壳具备：
相互平行相对配备的合成树脂制的第1、2管子；
具备分别接收上述第1、2管子的一端部的承口部和设置在上述承口部内的至少1个的密封面的1对盖部件；
用于将上述1对盖部件连接在上述第1、2管子的各一端部上的1对合成树脂制的第1联管螺母；
与上述第1、2管子垂直配备的合成树脂制的第3管子；
用于在上述第1、2管子的各另一端部之间连接第3管子的1对弯头形状的合成树脂制的连接部件，该1对连接部件具备在两端形成的、以相互成正交状连通的连接口，以及在上述连接口内分别至少一个的密封面，在各一端的连接口分别接收上述第1、2管子的另一端部，在各另一端的连接口分别接收上述第3管子的一端部和另一端部的1对连接部件；
用于将上述连接部件的各一端部连接在上述第1、2管子的另一端部上的1对合成树脂制的第2联管螺母；
用于将上述连接部件的各另一端部连接在上述第3管子的两端部上的1对合成树脂制的第3联管螺母，
上述第1联管螺母外嵌在上述第1、2管子的各一端部上，而且，旋合在上述盖部件的具备上述承口部的各一端部上，由于向上述盖部件的一端部旋进而拧紧，由此从其外侧推压上述第1、2各管子，靠该推压作用，使上述第1、2管子的各一端部和上述盖部件的密封面紧密贴合，由此至少在1处形成密封部，
上述第2联管螺母外嵌在上述第1、2管子的各另一端部上，而且，分别旋合在上述连接部件的各一端部上，由于向上述连接部件的各一端部旋进而拧紧，由此从其外侧推压上述第1、2各管子，靠该推压作用，分别使上述第1、2管子的各另一端部和上述连接部件的各一端部的密封面紧密贴合，由此形成至少1处的密封部，
上述第3联管螺母外嵌在上述第3管子的两端部上，而且，分别旋合在上述连接部件的各另一端部上，由于向上述连接部件的各另一端部旋进而拧紧，由此从其外侧推压上述第3管子，靠该推压作用，分别使上述第3管子的两端部和上述连接部件的各另一端部的密封面紧密贴合，由此形成至少2处的密封部。
64.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述装置要素是外周被上述合成树脂制的管子包围的合成树脂制的热交换管和上述盖部件所具备的、连接用于导入以及导出在上述外壳的内部和上述热交换管的外部之间穿过的流体的管道的连接部。
65.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述管子、上述盖部件、以及上述联管螺母全部由含氟树脂构成。
66.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述装置要素是收容在上述外壳内的过滤部件。
67.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述装置要素是组装在上述管子的两端的盖部件上的超声波流量计用的超声波激振器以及超声波接收器。
68.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述装置要素是组装在上述盖部件上的排气用阀。
69.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口。
70.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口。
71.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在盖部件上的脱气口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
72.根据权利要求63的管道系统，其特征是：上述装置要素是在上述管子内穿过的透气性管、和设置在上述盖部件上的溶解性气体供给口，上述透气性管由泡沫含氟树脂构成。
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